CN100460825C - 基于波登管作为换能器的光纤光栅传感器及方法 - Google Patents

基于波登管作为换能器的光纤光栅传感器及方法 Download PDF

Info

Publication number
CN100460825C
CN100460825C CNB2005101093339A CN200510109333A CN100460825C CN 100460825 C CN100460825 C CN 100460825C CN B2005101093339 A CNB2005101093339 A CN B2005101093339A CN 200510109333 A CN200510109333 A CN 200510109333A CN 100460825 C CN100460825 C CN 100460825C
Authority
CN
China
Prior art keywords
bourdon tube
pressure
fiber
fiber grating
girder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CNB2005101093339A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1948914A (zh
Inventor
王永杰
李芳�
刘育梁
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Institute of Semiconductors of CAS
Original Assignee
Institute of Semiconductors of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Institute of Semiconductors of CAS filed Critical Institute of Semiconductors of CAS
Priority to CNB2005101093339A priority Critical patent/CN100460825C/zh
Publication of CN1948914A publication Critical patent/CN1948914A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN100460825C publication Critical patent/CN100460825C/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Optical Transform (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

本发明涉及传感器技术领域,特别是一种基于波登管(又叫弹簧管)作为换能器的光纤光栅传感器及方法。主要包括一个波登管压力换能器,一个光纤光栅悬臂梁,光纤耦合器,传输光纤,封装外壳及各部件的紧固定位器件、密封器件。在介质压力的作用下,弹簧管在内部压力的作用使其断面极力倾向变为圆形,迫使弹簧管的自由端13产生移动,这一移动通过连接点13传递给悬臂梁14并使之产生挠曲变形,粘贴在悬臂梁14上下表面的光纤光栅4、5分别受到所处面产生的拉应变或者压应变ε,引起光纤光栅的Bragg波长的漂移,通过检测两个光纤光栅相应的波长变化即可知道待测压力和温度大小。

Description

基于波登管作为换能器的光纤光栅传感器及方法
技术领域
本发明涉及传感器技术领域,特别是一种基于波登管(又叫弹簧管)作为压力换能器的光纤光栅传感器及方法。
背景技术
压力和温度的测量早已经是现代工业生产过程中非常重要的参数。在石化工业、油气田的勘探开采、航空仪表、水下作业等领域中,一般是采用电学量传感器对压力和温度进行分别测量,而后经过电缆将信号传输至终端进行信号的处理。由于电子元器件对于恶劣环境的适应性差(温度每升高10℃就会使电子仪表的故障率成倍增加)、微弱的电信号容易收到电磁干扰(电磁测量的先天不足)、特殊测量地点的安全要求(电信号容易对易燃易爆场所造成安全威胁)以及远距离传输使得信号大幅损耗等要求一种新的测量方式来替代传统的电测试。
光纤传感技术是现代通信的产物,是随着光纤及通信技术的发展而逐步发展起来的一门崭新技术。光在传输过程中,光纤易受到外界环境的影响,如温度、压力等,从而导致传输光的强度、相位、频率、偏振态等光波量发生变化,从而通过监测这些量的变化可以获得相应的物理量。光纤传感器具有下列特点:不受潮湿环境影响,能避免电磁场的干扰,电绝缘性好;耐久性好,具有抵抗包括高温在内的恶劣环境及化学侵蚀的能力;质量轻,体积小,对结构影响小,易于布置;信号、数据可多路传输,单位长度上信号衰减小等优点,可以完全胜任在恶劣环境正常工作的任务。
光纤光栅是利用光纤材料的光敏性,在光纤纤芯内形成空间相位光栅。当多波长信号入射进入光纤时,满足光栅反射条件的某个波长信号(称为Bragg波长),会被耦合成反向波并沿原光纤线路反向传输。光纤光栅传感的基本原理是:温度、应变和应力等物理量的变化会引起光纤光栅的栅距和有效折射率的变化,从而使光纤光栅反射的Bragg波长发生漂移,通过检测光纤光栅Bragg波长的变化就可以获得相应的温度、应变和应力的信息。光纤光栅传感器不仅拥有光纤传感器的优势,而且还拥有自身特殊的优点:测量动态范围只受光源谱宽的限制,不存在多值函数问题;检出量是波长信息,因此不受接头损失、传输损耗、弯曲损耗、光源功率起伏等因素的影响,对环境干扰不敏感,稳定性好;波长编码,可以方便实现被测量的绝对测量;输出线性范围宽,在10000微应变范围内波长移动与应变有良好的线性关系,频带宽,信噪比高;便于利用波分复用技术串联多个光纤光栅形成分布式传感网络,因此光纤光栅传感技术有着广阔的应用前景。
现有的波登管测试压力技术是在波登管上应变最大的地方粘贴电阻应变片,其采用的电阻应变片在温度变化或者电磁场干扰下容易形成信号的漂移,且温度的增加会使得应变片及电信号的放大系统故障率大大增加,如(中华人民共和国实用新型专利申请说明书CN85 2 03516 U)。已有的光纤光栅压力温度传感器还不多见,且在加工工艺和模块化设计方面还不成熟,结构复杂,密封难度大,如清华大学曾经提出用圆形的压力换能器结合悬臂梁的机构(中华人民共和国发明专利申请说明书,申请号02121327.5,公开号CN1384341A)。而现有的波登管光纤光栅压力传感器没有采用双光栅的结构,不能实现压力和温度的实时分离检测,且悬臂梁采用的材料为有机玻璃等聚合物,无论在温度测量范围、稳定性、可重复性及可靠性等方面存在较大的问题,不能实现实用化。
发明内容
本发明的目的是提供一种压力和温度可以同时测量的光纤光栅传感器,可以避免传统电学量测量的种种弊端、发挥光纤传感器诸多优点,且器件采用全金属结构,达到在恶劣环境中检测出压力和温度的目标。本发明应用于各领域气体或液体的压力和温度的测试、计量。
为了达到上述目的,本发明的技术方案如下:
一种压力和温度同时测量的光纤光栅传感器,主要包括一个波登管压力换能器、一个粘贴两个相同光纤光栅的弹性合金悬臂梁、光纤耦合器、传输光纤、封装外壳及各部件的紧固定位器件、密封器件。压力换能器制成波登管形式,自由端和在上下表面分别粘贴光纤光栅的悬臂梁的自由端相连接,光纤光栅通过耦合器和传输光纤相连接。当从波登管压力换能器固定端开口导入被测压力时,波登管压力换能器的曲率将随着被测压力的改变而改变,同时引起波登管压力换能器自由端的产生位移,进而带动悬臂梁的自由端,最终使得粘结在悬臂梁根部的光纤光栅的Bragg波长产生漂移,通过对这个两个波长的检测就可以得到压力和温度信息。
一种压力和温度同时测量的光纤光栅传感器的方法,其过程如下:在介质压力的作用下,波登管压力换能器在内部压力的作用使其断面极力倾向变为圆形,迫使波登管压力换能器的自由端13产生移动,这一移动通过连接点13传递给光纤光栅悬臂梁14并使之产生挠曲变形,粘贴在光纤光栅悬臂梁14上下表面的光纤光栅4、5分别受到所处面产生的拉应变或者压应变ε,引起光纤光栅的Bragg波长的漂移,通过检测两个光纤光栅相应的波长变化即可知道待测压力和温度大小。
本发明的有益效果:
1.传感器中无电子器件和功耗器件,可以有效的消除电、磁干扰,避免电测量的种种不足,提高环境适应能力和应用领域。
2.构成差动结构的贴在悬臂梁上下表面相应位置的两个光纤光栅在实现提高灵敏度的同时可以实现温度和压力的分离检测。
3.采用波长编码的方式,因此不受接头损失、传输损耗、弯曲损耗、光源功率起伏等因素的影响,可以方便实现远距离被测量的绝对测量。
4.波登管技术、工艺成熟,波登管产品早已经市场化,任意调节波登管相应的参数,可以任意的改变传感器的灵敏度和测量范围,密封工艺简单,简单地实现产品的模块化。
5.由于悬臂梁采用高弹性合金材料材料,测温范围高达200℃,测量范围广且稳定性好、可靠性高。
附图说明
图1为本发明光纤光栅传感器的结构示意图。
图2为本发明实施例中波登管在外界压力作用下曲率变化从而引起自由端位移的示意图。
图3为本发明实施例中等强度悬臂梁结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明进一步详细说明。
图1为本发明所述光纤光栅传感器的结构示意图。该传感器主要包括一个波登管(又叫弹簧管)压力换能器3,换能器(即波登管)3包括含有导压孔7的第一安装基座16和封闭的自由端13,第一安装基座16通过若干螺钉6固定于下底板1上,自由端13通过焊接或者粘接的方式和光纤光栅悬臂梁14进行固接于点12,导压咀8和导压孔7相连,将外界压力引导到波登管3内;光纤光栅悬臂梁14通过紧固螺钉15固定于第二安装基座17上,两个性能一致且带有尾纤9和11的光纤光栅4和5分别粘贴于光纤光栅悬臂梁14上下表面相对应的根部;堵头10和侧壁2密封紧固,连接光纤9、11通过堵头10和外界相连。
压力换能器可制成波登管形式。波登管3是一根弯曲成圆弧形的横截面为椭圆形或者平椭圆的空心管子,末端为自由端13密封,另一端与第一安装基座16焊接一起,首端有导压咀8将传感器和待测压力空间相连,介质由所测空间通过导压孔7进入波登管3内部。在介质压力的作用下,波登管在内部压力的作用使其断面极力倾向变为圆形,迫使波登管的自由端13产生移动,这一移动通过连接点13传递给光纤光栅悬臂梁14并使之产生挠曲变形,粘贴在光纤光栅悬臂梁14上下表面的光纤光栅4、5分别受到所处面产生的拉应变或者压应变ε,引起光纤光栅的Bragg波长的漂移,通过检测两个光纤光栅相应的波长变化即可知道待测压力和温度大小。如图2所示,波登管3和光纤光栅悬臂梁14在压力作用下变形后为18、19。
光纤光栅悬臂梁14可制成等强度悬臂梁结构。
对于椭圆形截面薄臂波登管(管壁厚h和管截面半轴b之比不超过0.7~0.8时),其自由端的位移和所测的压力之间的关系可以用下式表示:
W = Δp 1 - μ 2 E R 3 bh ( 1 - b 2 a 2 ) α β + x 2 ( θ - sin θ ) 2 + ( 1 - cos θ ) 2 - - - ( 1 )
其中E——波登管材料的弹性模量
    μ——波登管材料的泊松比
    R——波登管的曲率半径
a和b——波登管截面的长半轴和短半轴
   h——波登管的管壁厚度
   x——波登管的基本参数   x = Rh a 2
α和β——与
Figure C200510109333D00072
有关的参数见《压力测量仪表》.P18.机械工业出版社
从(1)式可以看出,波登管的位移和待测压力的特性W=f(p)是线性关系的。
根据材料力学的知识,对于悬臂梁的应变和挠度之间的关系如下
ϵ l = 6 ( L - l ) L 3 tW - - - ( 2 )
其中,L——悬臂梁的长度
      t——悬臂梁的厚度
      l——距离固定端的距离
联立(1)、(2)可以得到
ϵ l = Δp · 6 ( L - l ) L 3 t 1 - μ 2 E R 3 bh ( 1 - b 2 a 2 ) α β + x 2 ( θ - sin θ ) 2 + ( 1 - cos θ ) 2 - - - ( 3 )
上式表明,光纤光栅在待测压力作用下产生的轴向应变和待测压力呈线性关系。
对于光纤光栅在应变和温度作用下产生中心Bragg波长漂移
Δ λ B λ B = ( 1 - P e ) · ϵ l + ( χ + ξ ) · ΔT - - - ( 4 )
其中λB——中心Bragg波长
    ΔλB——应变和温度共同作用下中心Bragg波长的变化量
    Pe——光纤的弹光系数
    χ——光纤光栅的热膨胀系数
    ξ——光纤光栅的热光系数
    ΔT——光纤光栅所处位置的温度变化
对于悬臂梁上下表面的光纤光栅,受到的温度影响是一致的,受到应变的影响是等值反向的,故在解调部分可以得到两个不同的Bragg波长ΔλB1和ΔλB2。由(4)可以得出,波长变化量和温度变化的关系为
ΔT = Δ λ B 1 + Δ λ B 2 2 ( χ + ξ ) λ B
波长变化量和应变变化的关系为
ϵ l = Δ λ B 1 - Δ λ B 2 2 ( 1 + P e ) λ B
由(3)得出,波长变化量和压力大小的关系为
Δp = Δ λ B 1 - Δ λ B 2 2 ( 1 + P e ) λ B / 6 ( L - l ) L 3 t 1 - μ 2 E R 3 bh ( 1 - b 2 a 2 ) α β + x 2 ( θ - sin θ ) 2 + ( 1 - cos θ ) 2 - - - ( 5 )
从上述过程可以看出,两个光纤光栅组成差动结构,通过对于两个光纤光栅波长的测量,就可以得到待测介质的压力、温度参数,且使得对于压力的灵敏度提高一倍。
图3是等强度悬臂梁结构。光纤光栅悬臂梁可制成等强度悬臂梁结构。

Claims (3)

1.一种压力和温度同时测量的光纤光栅传感器,其特征在于,该光纤光栅传感器包括一个波登管压力换能器、一个光纤光栅悬臂梁、光纤耦合器、传输光纤、封装外壳及各部件的紧固定位器件和密封器件;
其中,波登管压力换能器(3)包括含有导压孔(7)的第一安装基座(16)和封闭的自由端(13),第一安装基座(16)通过螺钉(6)固定于下底板(1)上,自由端(13)通过焊接或者粘接的方式和光纤光栅悬臂梁(14)连接,导压咀(8)和导压孔(7)相连,将外界压力引导到波登管压力换能器(3)内;
光纤光栅悬臂梁(14)通过紧固螺钉(15)固定于第二安装基座(17)上,两个性能一致且带有传输光纤(9、11)的光纤光栅(4、5)分别粘贴于光纤光栅悬臂梁(14)上下表面相对应的根部;堵头(10)和侧壁(2)密封紧固,传输光纤(9、11)通过堵头(10)和外界相连。
2.根据权利要求1所述的压力和温度同时测量的光纤光栅传感器,其特征在于,波登管压力换能器(3)是一根弯曲成圆弧形的横截面为椭圆形或者平椭圆的空心管子,自由端(13)密封,另一端与第一安装基座(16)焊接一起,并由导压咀(8)将传感器和待测压力空间相连,介质由待测空间通过导压孔(7)进入波登管压力换能器(3)内部。
3.根据权利要求1所述的压力和温度同时测量的光纤光栅传感器,其特征在于,光纤光栅悬臂梁制成等强度悬臂梁结构。
CNB2005101093339A 2005-10-13 2005-10-13 基于波登管作为换能器的光纤光栅传感器及方法 Expired - Fee Related CN100460825C (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNB2005101093339A CN100460825C (zh) 2005-10-13 2005-10-13 基于波登管作为换能器的光纤光栅传感器及方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNB2005101093339A CN100460825C (zh) 2005-10-13 2005-10-13 基于波登管作为换能器的光纤光栅传感器及方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1948914A CN1948914A (zh) 2007-04-18
CN100460825C true CN100460825C (zh) 2009-02-11

Family

ID=38018495

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB2005101093339A Expired - Fee Related CN100460825C (zh) 2005-10-13 2005-10-13 基于波登管作为换能器的光纤光栅传感器及方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN100460825C (zh)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102162816B (zh) * 2010-12-10 2012-09-26 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 一种扭转式光纤加速度传感器
CN102519638A (zh) * 2011-11-30 2012-06-27 承德石油高等专科学校 一种基于边缘解调技术的光纤光栅压力测试仪及测试方法
CN102937468B (zh) * 2012-11-16 2014-11-26 中国科学院半导体研究所 一种基于波登管的光纤流量计
CN103674319B (zh) * 2013-12-11 2016-08-17 昆明理工大学 一种气体压力式光纤Bragg光栅温度传感器及其使用方法
CN106652722B (zh) * 2016-11-17 2019-03-19 中国电子科技集团公司第四十一研究所 一种便携式分布式光纤温度应变复合演示装置及演示方法
CN109387309A (zh) * 2017-08-08 2019-02-26 江苏弘开传感科技有限公司 一种压强传感器
CN107621328B (zh) * 2017-09-07 2024-05-28 南京溯极源电子科技有限公司 一种大气压强测量装置及方法
CN112050748B (zh) * 2020-08-28 2021-12-03 华中科技大学 一种环形结构收敛监测装置及监测方法
CN113884228B (zh) * 2021-09-29 2024-03-26 燕山大学 一种适用于冷轧板形检测的金属化光纤光栅应力传感器
CN113865555A (zh) * 2021-10-18 2021-12-31 中建材科创新技术研究院(山东)有限公司 一种真空封装的光纤光栅倾角传感器、制造方法及应用

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN85203516U (zh) * 1985-08-26 1986-04-30 李胜男 波登管做为应变梁的远程压力表
CN87213201U (zh) * 1987-09-11 1988-04-20 北方工业大学 远传数字显示压力表
US5877426A (en) * 1997-06-27 1999-03-02 Cidra Corporation Bourdon tube pressure gauge with integral optical strain sensors for measuring tension or compressive strain
CN1230253A (zh) * 1996-09-09 1999-09-29 蓝路研究公司 光纤光栅横向应变传感器系统
JP2001033325A (ja) * 1999-07-22 2001-02-09 Hitachi Cable Ltd 光式圧力センサ
CN2468030Y (zh) * 2000-12-27 2001-12-26 刘焕彪 双面弹簧管压力表
CN1384341A (zh) * 2002-06-14 2002-12-11 清华大学 一种压力与温度同时检测的光纤光栅传感器

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN85203516U (zh) * 1985-08-26 1986-04-30 李胜男 波登管做为应变梁的远程压力表
CN87213201U (zh) * 1987-09-11 1988-04-20 北方工业大学 远传数字显示压力表
CN1230253A (zh) * 1996-09-09 1999-09-29 蓝路研究公司 光纤光栅横向应变传感器系统
US5877426A (en) * 1997-06-27 1999-03-02 Cidra Corporation Bourdon tube pressure gauge with integral optical strain sensors for measuring tension or compressive strain
JP2001033325A (ja) * 1999-07-22 2001-02-09 Hitachi Cable Ltd 光式圧力センサ
CN2468030Y (zh) * 2000-12-27 2001-12-26 刘焕彪 双面弹簧管压力表
CN1384341A (zh) * 2002-06-14 2002-12-11 清华大学 一种压力与温度同时检测的光纤光栅传感器

Also Published As

Publication number Publication date
CN1948914A (zh) 2007-04-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100460825C (zh) 基于波登管作为换能器的光纤光栅传感器及方法
Gholamzadeh et al. Fiber optic sensors
CN106441511B (zh) 基于光纤布拉格光栅技术的非连续型液位传感器
CN101709638B (zh) 一种光纤温度压力传感器
CN1228610C (zh) 一种用于油气管线检测的光纤光栅传感测试系统
CN101982740B (zh) 双等强度悬臂梁光纤光栅振动传感器
CN101280690A (zh) 压力传感器
CN1384341A (zh) 一种压力与温度同时检测的光纤光栅传感器
CN107121158B (zh) 一种内封式悬臂梁光纤光栅传感器
CN102829893A (zh) 一种通过腐蚀得到不同直径光纤光栅来同时测量温度和应力的方法
CN203163913U (zh) 具有温度补偿的膜片型光纤光栅压力传感器
CN102865900A (zh) 光纤光栅液位传感器及其制备方法
CN108845387B (zh) 一种能同时测量海水温度盐度压力的楔型微孔光纤光栅
CN100507484C (zh) 高性能光纤压力传感器
CN201382777Y (zh) 温度自补偿光纤光栅位移传感器
CN102279022B (zh) 可同时测量温度、密度的光纤涡街流量计
CN106705865A (zh) 一种光纤光栅串接方式下的光纤光栅位移计
CN101441103A (zh) 一种光纤振动传感器
CN201532269U (zh) 一种测量三向压力的光纤布拉格光栅传感器
CN101975638A (zh) 矿用光纤布拉格光栅正压传感器
CN105387968A (zh) 光纤包层表面Bragg光栅温度自补偿压力传感器
CN201408093Y (zh) 对外加应力应变不敏感的双管式光纤Bragg光栅温度传感器
Feng et al. An FBG temperature–pressure sensor based on diaphragm and special-shaped bracket structure
CN106153124A (zh) 一种光纤温压一体传感器
CN101441105A (zh) 一种光纤振动传感器

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20090211

Termination date: 20091113