CN100405677C - 一种制备半导体激光抽运模块中的激光反射腔的装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种制备半导体激光抽运模块中的激光反射腔的装置。该装置包括：三个遮挡压片，该遮挡压片的一侧紧靠需要镀膜的圆形管，该遮挡压片的一侧面是弧形面；两个用于对所述遮挡压片进行定位的分度定位盘；两个用于固定遮挡压片的压片锁紧构件；其中需要镀膜的圆形管设置在三个遮挡压片中间，遮挡压片的两端嵌入两个对应的定位槽中，两个压片锁紧构件和两个分度定位盘之间通过螺纹旋紧将所述遮挡压片固定。本发明装置可以方便地直接在圆形玻璃管或者石英玻璃管外壁表面，保留适当的泵浦光入射窗口，在其余部分镀全反射或者漫反射膜，且精度高、使用方便。

Description

一种制备半导体激光抽运模块中的激光反射腔的装置
技术领域
本发明涉及一种制备激光反射腔的装置，特别是涉及一种制备半导体激光抽运模块中的激光反射腔的装置。
背景技术
通常，采用三维或者多维环绕侧泵浦的半导体激光抽运模块中，激光全反射腔或漫反射腔的结构是在一个石英玻璃管外加装金属或者陶瓷反射腔来实现。石英玻璃管内部安装激光晶体，激光晶体与石英玻璃管之间充满流动的冷却液体，泵浦光在石英玻璃管外对激光晶体进行泵浦，泵浦光被加装在石英玻璃管外的金属或陶瓷反射腔反射。而金属或者陶瓷反射腔的加工工艺复杂，加工效率低，制成的反射腔结构体积大，加长了泵浦半导体激光器(LD)的发光面和激光晶体之间的距离(而LD与激光晶体间的合适距离是提高抽运模块激光输出功率的重要条件)，导致抽运效率低。另外在已有的侧泵浦半导体激光抽运模块中，LD的泵浦光第一次经过激光晶体后，剩余的泵浦光透过石英管出射到金属或者陶瓷反射腔上，会使其部件加热，给激光装置的散热造成严重隐患。
因此，采用在圆形石英玻璃管的外表面镀反射膜的方法，在圆形石英玻璃管外表面保留所需的泵浦光入射窗口，在其余部分镀全反射或者漫反射膜，可以使激光抽运模块的结构更有利于提高泵浦效率，避免激光反射造成的器件温度升高。由于采用了在表面精确镀膜的石英玻璃管，侧泵浦半导体激光抽运模块中的圆形玻璃管或者石英玻璃管内壁同时是激光晶体的水冷却通道，水可以直接把热量带走，这样既能减少其它部件的热量，还可提高激光器的效率，可获得大功率激光输出，从而使侧泵浦半导体激光装置效率高，体积小。该种激光全反射腔或漫反射腔的优点是：结构简单，工艺先进，可以使而LD与激光晶体间的距离安装在恰当的距离内，激光抽运效率高，可以使激光抽运模块的体积小，装配工艺简单，使得半导体侧泵浦抽运模块机构小型化、高效化。
但是，由于侧面泵浦抽运模块中所用激光二极管发光面细小，照射在圆形玻璃管表面的宽度一般为0.5～1.2mm左右，长度一般在20～100mm之间，并且泵浦光要求入射窗口在圆周上精确分度。而手工操作很难达到所需的精度，尤其是泵浦光入射窗口的尺寸精度，如果没有精密的工装设备，在镀膜过程中将难以控制。因此就需要一种装置，该装置可以直接在圆形玻璃管或者石英玻璃管外壁表面，保留所需的LD的泵浦光入射窗口，在其余部分镀全反射或者漫反射膜。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术中存在问题，提供一种制备各种采用三维或者多维环绕侧泵浦半导体激光抽运模块中激光全反射腔或漫反射腔的装置。
为了达到上述目的，本发明采取的技术方案如下：
一种制备半导体激光抽运模块中的激光反射腔的装置，如图1所示，包括：
三个遮挡压片3，所述遮挡压片的一侧紧靠需要镀膜的圆形管4，该遮挡压片的一侧面是弧形面31；
两个用于对所述遮挡压片3进行定位的分度定位盘2，所述分度定位盘2的四周边沿上分别对应地开有用于定位的定位槽21；分度定位盘2的外侧面上有与压片锁紧构件1结合的螺纹；
两个用于固定所述遮挡压片3的压片锁紧构件1，所述压片锁紧构件1为两个圆环型的旋钮，其内侧表面有与分度定位盘2结合的螺纹；
其中使用时将需要镀膜的圆形管4设置在三个遮挡压片3中间，所述遮挡压片3的两端嵌入两个对应的定位槽21中，所述两个压片锁紧构件1和两个分度定位盘2之间通过螺纹旋紧将所述遮挡压片3固定。
在上述技术方案中，所述遮挡压片3的与圆形管4紧靠的一侧面为弧形面31，其曲率与所述圆形管4的外表面相同，可以很好地与所述圆形管4外表面靠紧。
在上述技术方案中，所述两个分度定位盘2的四周边沿上分别对应地开有多个用于定位的定位槽21；所述遮挡压片3的两个端头可稳固地嵌入两个对应的定位槽21中。
在上述技术方案中，所述两个压片锁紧构件1和两个分度定位盘2之间通过螺纹旋紧将所述遮挡压片33定。
在上述技术方案中，所述遮挡压片2的至少一端开有缺口32；所述缺口32可以稳固地卡住所述分度定位盘2的定位槽21，使所述遮挡压片3稳定靠紧在圆形管4的外表面。
在上述技术方案中，所述遮挡压片3的至少一端的侧面有一斜面33，使得所述压片锁紧构件1可抵在该斜面上33将所述遮挡压片3很好地固定，从而使其紧紧靠在圆形管4的外表面。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明装置可以方便地直接在圆形玻璃管或者石英玻璃管外壁表面，保留适当的泵浦光入射窗口，在其余部分镀全反射或者漫反射膜，且精度高、使用方便。
附图说明
图1是本发明的制备半导体激光抽运模块中的激光反射腔的装置的分解图；
图2(a)是本发明的制备半导体激光抽运模块中的激光反射腔的装置正视图；
图2(b)是本发明的制备半导体激光抽运模块中的激光反射腔的装置侧视图；
图3(a)表示沿图2(a)中虚线A-A’的剖面图；
图3(b)表示图3(a)中遮挡压片3的放大图；
图4表示遮挡压片3的正视图。
具体实施方式
如图1所示，本发明通过把圆形管4安装在两个分度定位盘2的中间；根据需要，可以在分度定位盘2周围边沿上精确地加工出所需的定位槽21或其它定位构件，将带有和圆形管4的外圆半径相同弧度的一组遮挡压片3通过压片锁紧构件2紧密夹紧在圆形管4的外表面，就可以将需要保留的激光入射窗口通过该组遮挡压片3保护起来；然后可以直接将该装置连同被固定在其上的圆形管4放入镀膜区域，在圆形管4外壁表面其余部分镀各种所需的金属反射膜或者激光介质膜，形成全反射或者漫反射膜；镀膜以后拆下该装置即得到留有入射窗的激光反射腔。
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细描述：
一种制备半导体激光抽运模块中的激光反射腔的装置，如图1所示，包括：
三个遮挡压片3，遮挡压片3的一侧紧靠需要镀膜的圆形管4的外表面上；遮挡压片3的与圆形管4靠紧的侧面的宽度根据所需泵浦光入射窗口的宽度而定；本实施例中遮挡压片3的宽度为1.2mm；遮挡压片3的长度要大于圆形管4的长度，本实施例中，圆形管4为石英玻璃管，其长度为41mm，外径为D7mm；如图4所示，遮挡压片3的长度为45mm；遮挡压片3两端的两个缺口32的长度为6.5mm，深度为1.5mm；遮挡压片3两端各有一个斜面33，斜面33与压片纵向的夹角为150°。遮挡压片3的与圆形管4紧靠的一侧面为弧形面31，其曲率与圆形管4的外表面相同，可以很好地与圆形管4外表面靠紧。
两个分度定位盘2，用于对所述遮挡压片3进行定位，待镀膜的圆形管4放置在两个所述分度定位盘2之间；分度定位盘2的四周边沿上有六个定位用的等间距的定位槽21；分度定位盘2的外侧面上有螺纹可以与压片锁紧构件1结合。
两个压片锁紧构件1，用于固定遮挡压片3使其弧形面31紧靠需要镀膜的圆形管4的外表面；本实施例，两个压片锁紧构件1为两个圆环型的旋钮，其内侧表面有螺纹可以与分度定位盘2结合。
使用时，将圆形管4放置于三个遮挡压片3的中间，三个遮挡压片3的两个端头可稳固地嵌入两个对应的分度定位盘2的定位槽21中，两个压片锁紧构件1通过螺纹旋合于分度定位盘2上，使得压片锁紧构件1抵在遮挡压片3的斜面33上，使得遮挡压片3靠紧圆形管4的外表面。将本装置连同固定于其上的圆形管4一起放入真空室进行镀膜，镀膜完成后取出，将该装置从圆形管4上卸下，即可得到留有泵浦光入射窗口的反射腔。
本发明可以实现各种直径、各种长度的圆形管的外表面分度镀膜，可以实现在各种圆形管的外表面包括120度、180度或其他角度的均匀分度或者其他角度的不均匀分度，只需加工不同分度的精密分度定位盘和相应的精密遮挡压片组即可实现。

Claims (5)

1.一种制备半导体激光抽运模块中的激光反射腔的装置，其特征在于，包括：
三个遮挡压片(3)，所述遮挡压片的一侧紧靠需要镀膜的圆形管(4)，该遮挡压片的一侧面是弧形面(31)；
两个用于对所述遮挡压片(3)进行定位的分度定位盘(2)，所述分度定位盘(2)的四周边沿上分别对应地开有用于定位的定位槽(21)；分度定位盘(2)的外侧面上有与压片锁紧构件(1)结合的螺纹；
两个用于固定所述遮挡压片(3)的压片锁紧构件(1)，所述压片锁紧构件(1)为两个圆环型的旋钮，其内侧表面有与分度定位盘(2)结合的螺纹；
其中，所述遮挡压片(3)的两端嵌入两个对应的定位槽(21)中，所述两个压片锁紧构件(1)和两个分度定位盘(2)之间通过螺纹旋紧将所述遮挡压片(3)固定。
2.根据权利要求1所述的制备半导体激光抽运模块中的激光反射腔的装置，其特征在于，所述遮挡压片(3)的至少一端的侧面有一斜面(33)。
3.根据权利要求2所述的制备半导体激光抽运模块中的激光反射腔的装置，其特征在于，所述斜面(33)与所述遮挡压片(3)纵向的夹角为150°。
4.根据权利要求1所述的制备半导体激光抽运模块中的激光反射腔的装置，其特征在于，所述弧形面(31)的曲率与所述需要镀膜的圆形管(4)的外表面相同。
5.根据权利要求1所述的制备半导体激光抽运模块中的激光反射腔的装置，其特征在于，所述遮挡压片(3)的至少一端开有缺口(32)；所述缺口(32)卡住所述分度定位盘(2)的定位槽(21)。
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