CN100383629C - 导光板网点制造装置 - Google Patents

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Abstract

本发明导光板网点制造装置包括一激光光源、多个分光器、多个旋转位移平台、多个反射镜和一平台控制器，该激光光源用以产生强光，该多个分光器用以将由激光光源产生的强光分成四道光束，一旋转位移平台用于放置导光板工件，该多个反射镜分别位于其余旋转位移平台上，将四道光束反射导引至导光板工件上，该平台控制器电性连接各旋转位移平台，并外接计算机。

Description

导光板网点制造装置
【技术领域】
本发明涉及一种导光板网点制造装置。
【背景技术】
近年来，随着液晶显示器的彩色化及大型化，其应用领域更为广泛，如笔记本式计算机、各种台式计算机、液晶电视等。因液晶显示器的液晶面板是一种被动组件，其本身不能发光，因而需利用一光源系统作为液晶显示器的光源，如背光模块(BacklightModule)，其中，导光板是背光模块中的重要组件，用来引导自光源发出光束的传输方向，将线光源或点光源转换成面光源射出。
为了提高光线射出的均匀性，一般在导光板表面设置多个网点，用来破坏光束在导光板内部传输的全反射条件，且使其散射来提高导光板射出光束的均匀性，进而提升背光模块的整体性能。
请一起参阅图1至图6，是一现有技术具有双圆结构网点的导光板的制造方法。
如图1与图2所示，提供一基板100，在该基板100上均匀涂覆一光阻层200。利用光罩300对该光阻层200进行曝光步骤，其中，光罩300包括多个遮光区域340及多个透光区域320，该透光区域320是一圆形图案。光线透过光罩300的透光区域320照射至涂覆光阻层200的基板100。进行显影步骤，将光罩300的图案转移至基板100，该基板100的图案包含经显影曝露部分220与剩余光阻部分240。
如图3所示，是湿蚀刻步骤示意图。蚀刻液与基板的经显影曝露部分220发生化学反应，形成双圆结构的外圆图案120。
请一起参阅图4与图5，在该基板100上再次涂覆光阻层210，而且，光阻层210也涂覆在外圆图案120表面122上。利用光罩400进行曝光步骤，其中，光罩400包括多个遮光区域440、460及多个透光区域420。透光区域420是圆环图案，遮光区域440是圆形图案。而且，光罩400需精确对准以保证预先设计的图案不失真。光线透过光罩400的透光区域420照射至基板100，将光罩400的图案转移至基板100上，此时基板100上的图案包含经显影曝露部分122与剩余光阻部分240、124。
如图6所示，是第二次湿蚀刻步骤示意图。蚀刻液与基板的经显影曝露部分122发生化学反应，形成双圆结构图案140。
该现有技术采用不同图形的光罩，可用于其它不同图案的导光板网点制作。
采用这种方法的现有技术制作导光板网点的设备一般为微影蚀刻设备。
然而，该微影蚀刻设备价格昂贵，并且应用该设备制作复杂结构网点的导光板需经两次蚀刻，而且，进行两次曝光时，需要根据所需形状重新制作一光罩，造成生产成本提高，生产效率降低，而且制程繁琐。而且第二次曝光时需要将该光罩进行精密定位，存在因定位不准造成预先设计的图案失真的问题。
【发明内容】
为克服现有技术导光板网点制造装置生产成本高、效率低、制程繁琐，而且不容易精准定位的缺陷，本发明提供一种制程简单、精准度高的导光板网点制造装置。
本发明解决技术问题所采用的技术方案是：提供一种导光板网点制造装置，其包括一用以产生强光的激光光源，多个用来将由激光光源产生的强光分成四道光束的分光器，多个旋转位移平台，其中一个旋转位移平台用来放置待加工工件，多个分别位于一旋转位移平台上的反射镜，其将四道光束反射导引至导光板工件上，和一平台控制器，其与各旋转位移平台电性连接并外接计算机，用于控制各旋转位移平台之旋转方向与角度。
与现有技术相比，本发明导光板网点制造装置与方法的优点在于：以计算机控制旋转位移平台的移动方向和角度，可以进行精确定位，防止对位不准造成的失真，而且相对两次微影蚀刻，本发明调节方便，对于设计不同尺寸及分布的网点，可省却光罩制程，从而制程得到简化。
【附图说明】
图1是现有技术导光板网点制造方法第一次曝光、显影示意图。
图2是现有技术导光板网点制造方法所用的第一光罩示意图。
图3是现有技术导光板网点制造方法第一次蚀刻步骤示意图。
图4是现有技术导光板网点制造方法第二次曝光、显影步骤示意图。
图5是现有技术导光板网点制造方法所用的第二光罩示意图。
图6是现有技术导光板网点制造方法第二次蚀刻步骤示意图。
图7是本发明导光板网点制造装置第一实施方式示意图。
图8是本发明导光板网点制造装置第二实施方式示意图。
图9是本发明导光板网点制造方法所用基板的光阻涂覆示意图。
图10是本发明导光板网点制造方法产生的圆形网点示意图。
图11是本发明导光板网点制造方法产生的方形网点示意图。
【具体实施方式】
请参阅图7，是本发明导光板网点制造装置第一实施方式示意图。该导光板网点制造装置700包括一激光光源710、多个分光器720、反射镜740、旋转位移平台730和一平台控制器750。各反射镜740分别位于一旋转位移平台730上，另有一旋转位移平台732用于放置工件500，平台控制器750电性连接各旋转位移平台730，并外接一电脑。
如图8所示，是本发明导光板网点制造装置第二实施方式示意图。该导光板网点制造装置800与导光板网点制造装置700的不同之处在于：采用一半透半反膜820代替分光器720。
请一起参阅图7至图11，是本发明导光板网点制造方法示意图。其包括以下步骤：
请参照图9，提供一基板510，其中，该基板510形状为矩形，可采用常规导热率高的金属材料，如铜、铜合金或铍铜等电铸而成。此外，为提高基板的刚性，可掺杂镍、镍钴合金(NiCo).磷化镍(NiP)、混合碳化硅(SiC).铬或碳化钛(TiC)等高硬质材料电铸而成。将基板置于真空或氮气环境中进行去水烘烤，其烘烤温度为140℃～200℃。
在该基板510上涂覆一光阻层520。其中，涂覆的光阻为有机光阻剂材料，可采用正光阻剂，也可采用负光阻剂。本实施方式采用正光阻剂，如酚醛树脂。涂覆光阻的方法采用旋涂方法，也可采用喷涂方法。将涂覆好光阻层520的基板510放置在一垫板上加热烘烤，即软烤。其中，烘烤温度为90℃～100℃之间，烘烤时间为20～30分钟。如此形成一待加工工件500。
请参阅图7与图8，将欲制作网点的工件500放在工件专用旋转位移平台730上。激光光源710发出的光，经由分光器720或半穿半反膜820分成四道光束，此四道光束由位于旋转位移平台730上的四面反射镜740反射，导引至工件500上，四道光束两两互相垂直，产生干涉条纹，使光阻层520感光。移动放置反射镜740的旋转位移平台730，用以调整反射镜740的角度与位置，控制工件500上干涉条纹间距。移动放置工件500的旋转位移平台732，用以控制曝光区域。
请参阅图10与图11所示，是本发明导光板网点制造装置700、800产生的网点示意图。该网点530、540可为圆形、方形，也可为棱形等其它形状。

Claims (4)

1.一种导光板网点制造装置，其包括一激光光源、多个分光器、多个旋转位移平台、多个反射镜和一平台控制器，该激光光源用以产生强光，该多个分光器用以将由激光光源产生的强光分成四道光束，一旋转位移平台用于放置导光板工件，该多个反射镜分别位于其余旋转位移平台上，将该四道光束反射导引至该导光板工件上，该四道光束产生干涉条纹从而使该导光板工件曝光，该平台控制器电性连接各旋转位移平台，并外接电脑。
2.如权利要求1所述的导光板网点制造装置，其特征在于：该分光器可用半穿半反膜代替。
3.如权利要求1所述的导光板网点制造装置，其特征在于：该放置反射镜的旋转位移平台用于调整反射镜的方向与角度。
4.如权利要求1所述的导光板网点制造装置，其特征在于：放置该导光板工件的该旋转位移平台用以控制曝光区域。
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