CH710600B1

CH710600B1 - Electromechanical component and its manufacturing process.

Info

Publication number: CH710600B1
Application number: CH00021/15A
Authority: CH
Inventors: Glassey Marc-André
Original assignee: Sigatec Sa
Priority date: 2015-01-08
Filing date: 2015-01-08
Publication date: 2020-03-13
Also published as: CH710600A1

Abstract

La présente invention concerne un composant électromécanique (CE), notamment utilisable comme un actuateur ou générateur électrostatique, comprenant au moins une première électrode (E1) en un premier matériau et une deuxième électrode (E2), dans lequel la première électrode (E1) et la deuxième électrode (E2) reliées entre elles par une couche intermédiaire (Cl) en un deuxième matériau de manière à ce que le composant électromécanique (CE) est une structure monobloc. De même, la présente invention concerne également un procédé de fabrication d’un tel composant électromécanique.The present invention relates to an electromechanical component (CE), in particular usable as an actuator or electrostatic generator, comprising at least a first electrode (E1) made of a first material and a second electrode (E2), in which the first electrode (E1) and the second electrode (E2) connected together by an intermediate layer (Cl) made of a second material so that the electromechanical component (CE) is a one-piece structure. Likewise, the present invention also relates to a method of manufacturing such an electromechanical component.

Description

Domaine technique de l’inventionTechnical field of the invention

[0001] La présente invention concerne un composant électromécanique, notamment un composant utilisé dans le cadre des MEMS (microsystèmes électromécaniques; selon le nom anglais «Microelectromechanical Systems»). Plus particulièrement, la présente invention concerne un composant électromécanique utilisé dans le domaine des systèmes électrostatiques capables de générer un mouvement lorsqu’il est soumis à une tension électrique et, par utilisation inverse, également de générer de l’énergie électrique lorsqu’il est mécaniquement déformé. The present invention relates to an electromechanical component, in particular a component used in the context of MEMS (microelectromechanical systems; according to the English name "Microelectromechanical Systems"). More particularly, the present invention relates to an electromechanical component used in the field of electrostatic systems capable of generating movement when subjected to an electric voltage and, by reverse use, also of generating electric energy when it is mechanically. deformed.

[0002] Une application concrète de composants électromécaniques dans le sens de la présente invention sont les actuateurs (aussi appelés actionneurs) et/ou les générateurs électrostatiques. Des actuateurs sont de manière générale des organes capables de transformer l’énergie qui leur est fournie en un phénomène physique, p.ex. en un mouvement. En même temps, des générateurs sont des organes inverses aux actuateurs, donc des organes qui sont capables de générer de l’énergie en utilisant un phénomène physique. Par conséquent, les actuateurs électrostatiques utilisent l’énergie électrique et les forces électrostatiques afin de générer un déplacement. D’autre côté, un générateur électrostatique utilise un déplacement afin de générer de l’énergie électrique grâce aux forces électrostatiques. [0002] A concrete application of electromechanical components within the meaning of the present invention are actuators (also called actuators) and / or electrostatic generators. Actuators are generally organs capable of transforming the energy supplied to them into a physical phenomenon, eg into motion. At the same time, generators are organs inverse to actuators, therefore organs which are capable of generating energy using a physical phenomenon. Therefore, electrostatic actuators use electrical energy and electrostatic forces to generate displacement. On the other hand, an electrostatic generator uses displacement to generate electrical energy through electrostatic forces.

[0003] Une autre application concrète de composants électromécaniques dans le sens de la présente invention sont les oscillateurs dont la fréquence d’oscillation sert de base de temps pour le fonctionnement d’un microprocesseur ou d’une montre à quartz. En effet, il est possible de réaliser un tel oscillateur en faisant alterner l’état actuateur et l’état générateur d’un composant grâce à un quelconque composant électronique actif. [0003] Another concrete application of electromechanical components within the meaning of the present invention are oscillators whose oscillation frequency serves as the time base for the operation of a microprocessor or of a quartz watch. Indeed, it is possible to produce such an oscillator by alternating the actuator state and the generator state of a component using any active electronic component.

[0004] Cependant, d’autres applications concrètes de composants électromécaniques tout à fait viables sont aussi possibles. [0004] However, other concrete applications of quite viable electromechanical components are also possible.

Description de l’état de la techniqueDescription of the state of the art

[0005] Les actuateurs et les générateurs électrostatiques conventionnels peuvent en principe être conçus avec l’un des deux designs suivants: [0005] Actuators and conventional electrostatic generators can in principle be designed with one of the following two designs:

[0006] 1. Un premier design dit de «plans parallèles» (et illustré à la fig. 1 ) où deux électrodes planes sont situées en face de l’autre. L’une des deux électrodes est fixe, tandis que l’autre est amovible et, normalement, attachée à un ressort. En appliquant une tension différente à chacune des deux électrodes, la plaque amovible peut être rapprochée de manière linéaire de la plaque fixe. Lorsque le courant ne passe plus, l’électrode amovible est remise dans sa position initiale par le ressort. [0006] 1. A first design called "parallel planes" (and illustrated in FIG. 1) where two flat electrodes are located opposite each other. One of the two electrodes is fixed, while the other is removable and normally attached to a spring. By applying a different voltage to each of the two electrodes, the removable plate can be linearly moved closer to the fixed plate. When the current stops flowing, the removable electrode is returned to its initial position by the spring.

[0007] 2. Un deuxième design avec les électrodes fabriquées en forme de peigne (les actuateurs ou générateurs qui sont conçus avec ce deuxième design sont normalement appelés «comb drive» selon le nom anglais de cette technologie). Ce design optimise la capacité entre les électrodes et offre une flexibilité plus importante. En effet, le principe de fonctionnement est identique au principe des actuateurs avec les électrodes planes. Un peigne est fixe et l’autre est amovible et ces deux peignes s’emboîtent l’un dans l’autre. Si les deux peignes restent parallèles l’un par rapport l’autre, les forces d’attraction latérales s’annulent mutuellement et les électrodes effectuent un déplacement linéaire. 2. A second design with the electrodes manufactured in the shape of a comb (the actuators or generators which are designed with this second design are normally called "comb drive" according to the English name of this technology). This design optimizes the capacitance between the electrodes and offers greater flexibility. Indeed, the operating principle is identical to the principle of actuators with flat electrodes. One comb is fixed and the other is removable and these two combs fit into each other. If the two combs remain parallel to each other, the lateral attraction forces cancel each other out and the electrodes move linearly.

[0008] Il existe également des actuateurs/générateurs électrostatiques capables de générer ou utiliser un déplacement rotatif. [0008] There are also electrostatic actuators / generators capable of generating or using a rotary displacement.

[0009] Cependant, dans tous les designs des actuateurs/générateurs électrostatiques conventionnels, les électrodes sont séparées par de l’air (donc elles ne sont généralement pas mécaniquement liées l’une à l’autre), ce qui implique qu’il est absolument nécessaire de prévoir un ressort (ou un autre mécanisme) pour les maintenir l’une en face de l’autre. Ce mécanisme supplémentaire rend la structure plus compliquée et plus chère. En plus, les designs conventionnels proposent les composants capables d’effectuer uniquement un déplacement linéaire ou rotatif. [0009] However, in all designs of conventional electrostatic actuators / generators, the electrodes are separated by air (so they are generally not mechanically bonded to each other), which implies that it is absolutely necessary to provide a spring (or some other mechanism) to keep them facing each other. This additional mechanism makes the structure more complicated and more expensive. In addition, conventional designs offer components capable of performing only linear or rotary motion.

Exposé sommaire de l’inventionSummary description of the invention

[0010] La présente invention a donc pour objet de proposer un composant électromécanique qui ne présente pas ces désavantages. De manière spécifique, l’objet de la présente invention est de proposer un composant électromécanique utilisable en tant qu’actuateur ou générateur électrostatique qui permet d’obtenir une trajectoire de déplacement bien plus élaborée qu’un déplacement linéaire ou rotatif et dont les déplacements et les forces sont essentiellement insensibles à la température. [0010] The object of the present invention is therefore to provide an electromechanical component which does not have these disadvantages. Specifically, the object of the present invention is to provide an electromechanical component that can be used as an actuator or an electrostatic generator which makes it possible to obtain a movement path that is much more elaborate than a linear or rotary movement and whose movements and the forces are essentially insensitive to temperature.

[0011] A cet effet, l’invention a pour objet selon un premier aspect un composant électromécanique, notamment utilisable comme un actuateur ou générateur électrostatique, comprenant au moins une première électrode et une deuxième électrode, dans lequel la première électrode est fabriquée en un premier matériau, et dans lequel la première électrode et la deuxième électrode sont reliées entre elles par une couche intermédiaire en un deuxième matériau de manière que le composant électromécanique soit une structure monobloc. [0011] To this end, the invention relates according to a first aspect to an electromechanical component, in particular usable as an actuator or electrostatic generator, comprising at least a first electrode and a second electrode, in which the first electrode is made in a first material, and in which the first electrode and the second electrode are interconnected by an intermediate layer made of a second material so that the electromechanical component is a single-piece structure.

[0012] A cet endroit, nous aimerions mentionner que la présente invention concerne également un procédé de fabrication d’un composant électromécanique, ce procédé comprenant les étapes suivantes: gravure de tranchées fines dans une plaque en un premier matériau; remplissage de ses tranchées par un deuxième matériau; et libération du composant électromécanique de la plaque en le premier matériau.[0012] At this point, we would like to mention that the present invention also relates to a method of manufacturing an electromechanical component, this method comprising the following steps: etching fine trenches in a plate of a first material; filling its trenches with a second material; and release of the electromechanical component from the plate in the first material.

[0013] L’avantage de la présente invention réside particulièrement dans le fait qu’un composant électromécanique selon la présente invention permet de réaliser les actuateurs, les générateurs et les oscillateurs électrostatiques plus flexibles, moins complexes et moins chers que les composants conventionnels. [0013] The advantage of the present invention lies particularly in the fact that an electromechanical component according to the present invention allows the actuators, generators and electrostatic oscillators to be made more flexible, less complex and less expensive than conventional components.

Brève description des dessinsBrief description of the drawings

[0014] L’invention sera bien comprise à la lecture de la description ci-après faite à titre d’exemple non limitatif, en regardant les dessins ci-annexés qui représentent schématiquement: fig. 1 une vue schématique en perspective d’un actuateur/générateur électrostatique conventionnel; fig. 2a une vue schématique en coupe d’un composant électromécanique selon un mode de réalisation de la présente invention; fig. 2b une vue schématique en coupe du composant de la fig. 2b montrant sa déformation (volontairement exagérée pour des fins d’illustration) lorsqu’il est soumis à une tension; Fig. 3a et 3b des vues schématiques en coupe d’un composant électronique selon deux variantes du mode de réalisation de la présente invention de la fig. 2a ; fig. 4 une vue schématique en coupe d’un composant électromécanique selon un deuxième mode de réalisation de la présente invention, présentant trois électrodes et deux couches intermédiaires; et fig. 5 une vue schématique en coupe d’un composant électromécanique selon un troisième mode de réalisation de la présente invention, avec une couche intermédiaire à structure variée le long du composant afin d’obtenir des déformations préprogrammées; et fig. 6 une vue schématique en coupe d’un composant électromécanique selon un quatrième mode de réalisation de la présente invention, avec une forme non parallèle et non droite.The invention will be clearly understood on reading the following description given by way of nonlimiting example, looking at the accompanying drawings which represent schematically: FIG. 1 a schematic perspective view of a conventional electrostatic actuator / generator; fig. 2a is a schematic sectional view of an electromechanical component according to an embodiment of the present invention; fig. 2b a schematic sectional view of the component of FIG. 2b showing its distortion (intentionally exaggerated for illustration purposes) when subjected to tension; Fig. 3a and 3b are schematic sectional views of an electronic component according to two variants of the embodiment of the present invention of FIG. 2a; fig. 4 a schematic sectional view of an electromechanical component according to a second embodiment of the present invention, having three electrodes and two intermediate layers; and fig. 5 a schematic sectional view of an electromechanical component according to a third embodiment of the present invention, with an intermediate layer of varied structure along the component in order to obtain preprogrammed deformations; and fig. 6 is a schematic sectional view of an electromechanical component according to a fourth embodiment of the present invention, with a non-parallel and non-straight shape.

Description détaillée de l’inventionDetailed description of the invention

[0015] Comme déjà mentionné, un actuateur/générateur électrostatique est représenté à la fig. 1 . As already mentioned, an actuator / electrostatic generator is shown in FIG. 1.

[0016] Fig. 2a montre un composant électrostatique selon un premier mode de réalisation de la présente invention. Ce composant peut notamment être utilisé comme un actuateur, un générateur ou un oscillateur, obtenu en alternant les états actuateur et générateur. [0016] FIG. 2a shows an electrostatic component according to a first embodiment of the present invention. This component can in particular be used as an actuator, a generator or an oscillator, obtained by alternating the actuator and generator states.

[0017] Dans ce premier mode de réalisation de la présente invention, le plus simple, le composant électromécanique CE est composé d’une première électrode E1 et une deuxième électrode E2 (en forme de lames) fabriquées en un premier matériau, reliées entre elles par un couche intermédiaire Cl en un deuxième matériau. Dans la fig. 2a , on remarque que cette couche intermédiaire Cl en le deuxième matériau forme un créneau excentré par rapport au centre du composant CE. In this first embodiment of the present invention, the simplest, the electromechanical component CE is composed of a first electrode E1 and a second electrode E2 (in the form of blades) made of a first material, interconnected by an intermediate layer C1 of a second material. In fig. 2a, it can be seen that this intermediate layer C1 made of the second material forms an eccentric notch relative to the center of the component CE.

[0018] Les électrodes E1, E2 ont des propriétés électrostatiques et le matériau de la couche intermédiaire Cl qui les lie entre elles des propriétés d’un diélectrique. L’exécution préférentielle des deux matériaux est le silicium pour le premier matériau des électrodes E1, E2 et l’oxyde de silicium pour le deuxième matériau de la couche intermédiaire Cl. Bien entendu, d’autres matériaux avec les propriétés similaires peuvent aussi être utilisés. Aussi, les matériaux des électrodes E1, E2 peuvent être différents, par exemple le silicium pour la première électrode E1 et le polysilicium pour la deuxième électrode E2. [0018] The electrodes E1, E2 have electrostatic properties and the material of the intermediate layer C1 which binds them together have properties of a dielectric. The preferred execution of the two materials is silicon for the first material of the electrodes E1, E2 and silicon oxide for the second material of the intermediate layer C1. Of course, other materials with similar properties can also be used. . Also, the materials of the electrodes E1, E2 can be different, for example silicon for the first electrode E1 and polysilicon for the second electrode E2.

[0019] Si l’on soumet cette structure à une tension électrique (donc si on utilise le composant électromécanique CE en mode «actuateur»), la première électrode E1 et la deuxième électrode E2 auront tendance à se rapprocher. En effet, la force qui pousse les électrodes E1, E2 l’une vers l’autre répond à la formule: [0019] If this structure is subjected to an electrical voltage (so if the electromechanical component CE is used in "actuator" mode), the first electrode E1 and the second electrode E2 will tend to approach each other. Indeed, the force which pushes the electrodes E1, E2 towards each other corresponds to the formula:

[0020] La couche intermédiaire Cl dans la fig. 2a comprend les parties parallèles aux faces externes des électrodes E1, E2 et les parties perpendiculaires à ces faces externes. Si l’on observe le détail de cette couche intermédiaire Cl lors de l’application d’une tension sur les électrodes E1, E2, on peut s’apercevoir que chaque partie horizontale de la couche intermédiaire Cl provoquera une pression (donc une force appliquée sur une certaine surface) sur cette couche. Comme chaque partie horizontale est concernée et que la couche intermédiaire Cl est positionnée de manière décentrée par rapport aux faces externes des électrodes E1, E2 (et donc les faces externes du composant CE), il en résultera une déformation du composant CE telle que représentée à la fig. 2b . The intermediate layer C1 in FIG. 2a comprises the parts parallel to the external faces of the electrodes E1, E2 and the parts perpendicular to these external faces. If we observe the detail of this intermediate layer Cl during the application of a voltage on the electrodes E1, E2, we can see that each horizontal part of the intermediate layer C1 will cause a pressure (therefore an applied force on a certain surface) on this layer. As each horizontal part is concerned and that the intermediate layer C1 is positioned off-center with respect to the external faces of the electrodes E1, E2 (and therefore the external faces of the component CE), this will result in a deformation of the component CE as shown in fig. 2b.

[0021] Par analogie si cette structure n’est pas soumise à une tension électrique mais est soumise à une force qui la déformera dans le sens représenté à la fig. 2b , cette force provoquera une contraction du diélectrique dans la couche intermédiaire Cl et donc une variation de la capacité du composant CE. Cette variation de la capacité donnera à la structure la propriété de générer une énergie électrique. By analogy if this structure is not subjected to an electric voltage but is subjected to a force which will deform it in the direction shown in FIG. 2b, this force will cause a contraction of the dielectric in the intermediate layer C1 and therefore a variation in the capacitance of the component CE. This variation in capacitance will give the structure the property of generating electrical energy.

[0022] Plusieurs variantes non exhaustives peuvent être proposées par rapport à cette première exécution de la présente invention, p.ex.: Several non-exhaustive variants can be proposed with respect to this first embodiment of the present invention, for example:

[0023] La couche intermédiaire Cl séparant la première électrode E1 de la deuxième électrode E2 peut être réalisée en formes diverses, p.ex. en forme de triangles, vagues, etc., tel que représenté aux Figures 3a et 3b . De même, cette couche intermédiaire Cl peut également être de section variable pour optimiser la déformation du composant CE ou le remplissage du deuxième matériau. The intermediate layer C1 separating the first electrode E1 from the second electrode E2 can be made in various shapes, eg in the form of triangles, waves, etc., as shown in Figures 3a and 3b. Likewise, this intermediate layer C1 can also be of variable section to optimize the deformation of the component CE or the filling of the second material.

[0024] Aussi, plusieurs électrodes E1, E2, E3,... peuvent figurer sur le composant électrique CE selon la présente invention. Fig. 4 illustre une variante ayant trois électrodes E1, E2, E3 et deux couches intermédiaires CI1, CI2 avec le diélectrique. Lorsque cette structure se tord, les diélectriques se déformeront dans le sens opposé. Si les diélectriques supérieurs se compriment, les diélectriques inférieurs s’écartent. Also, several electrodes E1, E2, E3, ... may appear on the electrical component CE according to the present invention. Fig. 4 illustrates a variant having three electrodes E1, E2, E3 and two intermediate layers CI1, CI2 with the dielectric. When this structure twists, the dielectrics will deform in the opposite direction. If the upper dielectrics compress, the lower dielectrics pull apart.

[0025] Le décentrage de la couche intermédiaire Cl peut varier pour avoir des déformations en formes prédéfinies. Fig. 5 montre une structure permettant d’obtenir une déformation en forme de la lettre «S». The decentering of the intermediate layer C1 can vary to have deformations in predefined shapes. Fig. 5 shows a structure for obtaining a deformation in the shape of the letter "S".

[0026] L’extérieur du composant électromécanique CE selon la présente invention peut prendre des formes diverses visant à faciliter ou contrôler sa déformation. Il peut également avoir une forme originale non droite, p.ex. telle que représentée à la fig. 6 . The exterior of the electromechanical component CE according to the present invention can take various forms aimed at facilitating or controlling its deformation. It may also have an original non-straight shape, eg as shown in fig. 6.

[0027] Des masses peuvent lester le composant électromécanique CE selon la présente invention afin de varier facilement ses fréquences propres. Masses can ballast the electromechanical component CE according to the present invention in order to easily vary its natural frequencies.

[0028] Dans le cas où le premier matériau (électrostatique) et le deuxième matériau (diélectrique) sont choisis pour avoir des coefficients thermoélastiques opposés, il est également possible d’ajuster les proportions des deux matériaux pour obtenir un ensemble (donc le composant électromécanique CE) à résultante thermoélastique faible ou nulle. Ainsi on aura des forces et des déplacements insensibles à la température. Les oscillateurs seront également insensibles. In the case where the first material (electrostatic) and the second material (dielectric) are chosen to have opposite thermoelastic coefficients, it is also possible to adjust the proportions of the two materials to obtain a whole (therefore the electromechanical component CE) with little or no thermoelastic resultant. Thus we will have forces and displacements insensitive to temperature. The oscillators will also be unresponsive.

[0029] Pour fabriquer un composant électromécanique CE selon la présente invention, on peut utiliser par exemple le procédé suivant: To manufacture an electromechanical component CE according to the present invention, one can use for example the following method:

[0030] – Ouverture dans le premier matériau des espaces (des tranchées) destinés à recevoir le deuxième matériau: On grave donc dans une plaque en le premier matériau au moyen de la technologie DRIE (Deep Reactive Ion etching) les espaces destinés à recevoir le deuxième matériau. Une solution préférentielle consiste à utiliser un wafer SOI (assemblage silicium-oxyde de silicium) et graver la partie supérieure en silicium (ce qu’on appelle un «device layer»). De cette manière, l’épaisseur du composant correspondra à l’épaisseur de ce «device layer». - Opening in the first material of spaces (trenches) intended to receive the second material: We therefore engrave in a plate in the first material by means of DRIE technology (Deep Reactive Ion etching) the spaces intended to receive the second material. A preferred solution consists of using an SOI (silicon-silicon oxide assembly) wafer and etching the upper part in silicon (what is called a "device layer"). In this way, the thickness of the component will correspond to the thickness of this "device layer".

[0031] – Remplissage avec le deuxième matériau: De manière préférentielle, on remplira les espaces gravés avec de l’oxyde thermique. Cet oxyde est formé automatiquement à partir du silicium dans un four à atmosphère humide. Après un certain temps dans le four l’oxyde remplira totalement les cavités. Des techniques de dépôt par vapeur peuvent également permettre le remplissage. [0031] - Filling with the second material: Preferably, the etched spaces will be filled with thermal oxide. This oxide is formed automatically from silicon in a humid atmosphere furnace. After a while in the oven the oxide will completely fill the cavities. Vapor deposition techniques can also allow filling.

[0032] – Détourage du pourtour du composant: Une nouvelle gravure DRIE, après les étapes de photolithographie, permettra de détourer complètement le composant dans le plan. De manière préférentielle, le composant sera totalement détouré à l’exception éventuelle d’une attache qui le rend solidaire au wafer et qui sera brisée en fin de procédé. Cette étape peut se faire pour certaines exécutions en même temps que l’étape 1. - Trimming of the periphery of the component: A new DRIE etching, after the photolithography steps, will make it possible to completely crop the component in the plane. Preferably, the component will be completely cut out with the possible exception of a fastener which makes it integral with the wafer and which will be broken at the end of the process. This step can be done for some executions at the same time as step 1.

[0033] – Libération du composant: Dans cette étape on retirera la face arrière du wafer SOI. Ce retrait peut se faire soit uniquement sous les composants ou sous tout le wafer. - Release of the component: In this step we will remove the rear face of the SOI wafer. This removal can be done either only under the components or under the whole wafer.

[0034] – Post-traitements: Des post-traitements (p.ex. des dépôts supplémentaires ou des traitements de la surface) peuvent alors être réalisés afin d’augmenter la résistance du composant aux chocs, d’augmenter la conductivité électrique, d’ajuster ou changer le module d’élasticité du composant, etc. - Post-treatments: Post-treatments (eg additional deposits or surface treatments) can then be carried out in order to increase the resistance of the component to impacts, to increase the electrical conductivity, d '' adjust or change the modulus of elasticity of the component, etc.

[0035] Dans ce qui précède, l’invention a été décrite d’abord en termes généraux et ensuite sous forme d’une explication de réalisations pratiques. Bien entendu, l’invention n’est pas limitée à la description de ces modes de mise en œuvre; il va de soi que de nombreuses variations et modifications peuvent être apportées sans que l’étendue de l’invention qui est définie par le contenu des revendications ne soit quittée. [0035] In the above, the invention has been described first in general terms and then in the form of an explanation of practical embodiments. Of course, the invention is not limited to the description of these embodiments; it goes without saying that many variations and modifications can be made without leaving the scope of the invention which is defined by the contents of the claims.

Claims

1. Electromechanical component (CE), in particular usable as an actuator or electrostatic generator, comprising at least a first electrode (E1) and a second electrode (E2), characterized in that the first electrode (E1) is made of a first material and in that the first electrode (E1) and the second electrode (E2) are interconnected by an intermediate layer (Cl) of a second material so the electromechanical component (CE) has a one-piece structure.

2. Electromechanical component (CE) according to claim 1, characterized in that the second electrode (E2) is made of the first material.

3. Electromechanical component (CE) according to claim 1 or 2, characterized in that the first material is an electrostatic material and that the second material is a dielectric material.

4. Electromechanical component (CE) according to claim 1 or 3, characterized in that the material of the first electrode (E1) is different from the material of the second electrode (E2).

5. Electromechanical component (CE) according to claim 4, characterized in that the first electrode (E1) is made of silicon, the second electrode (E2) being made of polysilicon.

6. Electromechanical component (CE) according to one of the preceding claims, characterized in that the intermediate layer (Cl) is eccentric relative to the center of the electromechanical component (CE).

7. Electromechanical component (CE) according to one of the preceding claims, characterized in that the intermediate layer (Cl) comprises parts whose respective orientations relative to the outer faces of the electromechanical component (CE) are different.

8. Electromechanical component (CE) according to one of the preceding claims, characterized in that the intermediate layer (Cl) has a shape such that, when a potential difference is applied between the first electrode (E1) and the second electrode (E2), the intermediate layer (Cl) is compressed so that this results in a deformation of the electromechanical component (CE).

9. Electromechanical component (CE) according to one of the preceding claims, characterized in that the intermediate layer (Cl) has a shape such that, when a deformation is imparted to the electromechanical component (CE), the thickness of the layer intermediate (Cl) is modified so that this results in a variation in the capacity of the electromechanical component (CE).

10. Electromechanical component (CE) according to one of the preceding claims, characterized in that the first material and the second material have thermoelastic coefficients opposite to each other, and in that the proportion of the latter is chosen so that the electromechanical component (CE) has an overall thermoelastic coefficient such that the forces and displacements are insensitive to temperature.

11. Electromechanical component (CE) according to one of the preceding claims, characterized in that the thickness of the intermediate layer (Cl) is less than 10 µm.

12. Electromechanical component (CE) according to one of claims 1 to 4 and 6 to 11, characterized in that the first material is silicon or polysilicon.

13. Electromechanical component (CE) according to one of the preceding claims, characterized in that the second material is silicon oxide.

14. Electromechanical component (CE) according to one of the preceding claims, characterized in that it is coated on its periphery with a layer of a third material.

15. Electromechanical component (CE) according to one of the preceding claims, characterized in that the intermediate layer (Cl) comprises several particular parts each having an orientation and a position such that, when the electromechanical component (CE) is bent, the 'thickness of the intermediate layer (Cl) is changed at least at these particular parts so that the capacitance between the first electrode (E1) and the second electrode (E2) is changed.

16. Electromechanical component (CE) according to one of the preceding claims, characterized in that the intermediate layer (Cl) extends along a surface which is grooved.

17. Method for manufacturing an electronic component (CE) according to one of claims 1 to 3 and 6 to 16, comprising the following manufacturing steps: - engraving of fine trenches in a plate of a first material; - filling of its trenches with a second material; and - release of the electromechanical component from the plate in the first material.