CH673530A5

CH673530A5 -

Info

Publication number: CH673530A5
Application number: CH245087A
Authority: CH
Inventors: Wolf-Dieter Ersel
Original assignee: Zeiss Jena Veb Carl
Priority date: 1986-07-01
Filing date: 1987-06-29
Publication date: 1990-03-15
Also published as: GB8712973D0; GB2192274A; DE3711590A1; GB2192274B; DD250765A1

Description

BESCHREIBUNG DESCRIPTION

Die Erfindung betrifft eine optische Anordnung für Simultanspektrometer, bei der die von Lichtquellen in spektralen Teilbereichen emittierte Strahlung an einem ersten gemeinsamen Schnittpunkt durch optische Umlenkeinheiten, die lichtdurchlässige und reflektierende Bereiche aufweisen, in einen Mess- und einen Referenzstrahl aufgespalten, an einem zweiten gemeinsamen Schnittpunkt wieder vereint und nach Wellenlängen zerlegt einem Empfänger zugeführt wird. The invention relates to an optical arrangement for simultaneous spectrometers, in which the radiation emitted by light sources in spectral sub-areas is split at a first common intersection by optical deflection units, which have translucent and reflecting areas, into a measuring beam and a reference beam, at a second common intersection united and broken down by wavelength is fed to a receiver.

Als Empfänger dienen Zeilenempfänger, wie Photodioden-arrays oder CCD-Zeilen, die Simultanuntersuchungen im gesamten vorgesehenen Spektralbereich ermöglichen. Line receivers such as photodiode arrays or CCD lines serve as receivers, which enable simultaneous investigations in the entire intended spectral range.

Für simultan arbeitende UV/VIS-Spektrometer auf der Basis von Zeilenempfängern ergeben sich im Vergleich zu UV/ VIS-Abtastspektrometern folgende technischen Probleme: The following technical problems arise for simultaneous UV / VIS spectrometers based on line receivers in comparison to UV / VIS scanning spectrometers:

1. Die einzelnen Empfängerelemente der Zeilenempfänger sind um Grössenordnungen kleiner als die üblicherweise verwendeten Photomultiplier der Abtastspektrometer, was zwei Konsequenzen zur Folge hat. 1. The individual receiver elements of the line receivers are orders of magnitude smaller than the commonly used photomultipliers of the scanning spectrometer, which has two consequences.

Die Systemkomponenten eines Simultanspektrometers müssen eine grosse geometrische Justiergenauigkeit und zeitliche Konstanz garantieren. The system components of a simultaneous spectrometer must guarantee a high degree of geometric adjustment accuracy and consistency over time.

Der um etwa eine Grössenordnung kleinere geometrische Lichtleitwert der Simultanspektrometer zwingt zu erhöhtem Aufwand, um ein gutes Signal-Rausch-Verhältnis zu realisieren. The geometric light conductance of the simultaneous spectrometer, which is about an order of magnitude smaller, requires increased effort in order to achieve a good signal-to-noise ratio.

2. Der UV/VIS-Spektralbereich stellt eine übliche anwen-dungsorientierte Einheit dar. Es gibt aber weder Lichtquellen noch Gitter, die hinreichend gute Eigenschaften für den gesamten Spektralbereich besitzen. Bei den Abtastspektrometern werden der apparative UV-Teilbereich und der apparative VIS-Teil-bereich nacheinander benutzt. Diese Möglichkeit scheidet bei einem Simultanspektrometer aus. Es besteht hier die Aufgabe, vor der Probe die beiden Teilbereiche zu vereinigen und hinter der Probe, d.h. gitter- bzw. empfängerseitig, wieder zu trennen. 2. The UV / VIS spectral range is a common application-oriented unit. However, there are neither light sources nor gratings that have sufficiently good properties for the entire spectral range. In the case of the scanning spectrometers, the equipment UV sub-range and the equipment VIS sub-range are used in succession. This possibility is not possible with a simultaneous spectrometer. The task here is to unite the two sections before the sample and behind the sample, i.e. grid or receiver side to separate again.

3. Das dritte technische Problem betrifft die Reduzierung von Streulicht bzw. die Unterdrückung von Strahlung höherer Ordnung. Bei Abtastspektrometern kann das hinreichend gut gelöst werden durch die Verwendung von Streulicht- und Ordnungsfiltern, die in den einzelnen spektralen Teilbereichen s nacheinander in den Strahlengang eingebracht werden. Diese Lösung kann für Simultanspektrometer nicht übernommen werden. 3. The third technical problem concerns the reduction of stray light or the suppression of higher-order radiation. In the case of scanning spectrometers, this can be solved adequately by using scattered light and order filters which are successively introduced into the beam path in the individual spectral subregions s. This solution cannot be adopted for simultaneous spectrometers.

Das Problem ist besonders relevant, wenn die UV- und die VIS-Strahlung gleichzeitig in einen gemeinsamen Polychroma-lo tor gelangen. The problem is particularly relevant if the UV and VIS radiation reach a common polychromator at the same time.

Von den bekanntgewordenen technischen Lösungen arbeiten einige nach dem Einstrahlprinzip. Der Verzicht auf bewegliche Spiegelelemente und der ohnehin kompaktere optisch-geometrische Aufbau eines Einstrahlspektrometers garantiert eine grosse 15 geometrische Justiergenauigkeit und zeitliche Konstanz. Der Verzicht auf ein Referenzsignal (bessere Messzeitausnutzung) und die relativ geringe Anzahl reflektierender Flächen sichern ausserdem ein günstiges Signal-Rausch-Verhältnis. Some of the technical solutions that have become known work according to the single-jet principle. The absence of movable mirror elements and the already more compact optical-geometric structure of a single-beam spectrometer guarantees great geometrical adjustment accuracy and constancy over time. The absence of a reference signal (better measurement time utilization) and the relatively small number of reflecting surfaces also ensure a favorable signal-to-noise ratio.

Die Nachteile gegenüber einem Zweistrahlspektrometer be-20 stehen in der grösseren Drift und in der Unmöglichkeit einer simultanen Messung einer Probe gegen eine Referenzprobe. The disadvantages compared to a be-20 double-beam spectrometer are the greater drift and the impossibility of simultaneous measurement of a sample against a reference sample.

Bei einer anderen technischen Lösung, US-PS 4 227 079 wird ein Spektrometer mit Referenzstrahlengang realisiert. Bei Bedarf können sogar mehrere Proben gleichzeitig gegen eine 25 Referenzprobe gemessen werden. Diese Möglichkeit bietet ein computergesteuerter «Beam Director» mit einem Rückkopplungssystem zur optischen Strahlpositionierung. Eine derartige «Simultanmessung» mehrerer Proben gegen eine Referenzprobe erfordert aber entweder eine grössere Messzeit bei konstantem 30 Signal-Rausch-Verhältnis, oder es ergibt sich bei konstanter Messzeit ein schlechteres Signal-Rausch-Verhältnis. In another technical solution, US Pat. No. 4,227,079, a spectrometer with a reference beam path is implemented. If necessary, several samples can even be measured simultaneously against a reference sample. This possibility is offered by a computer-controlled beam director with a feedback system for optical beam positioning. Such a «simultaneous measurement» of several samples against a reference sample either requires a longer measurement time with a constant signal-to-noise ratio, or a worse signal-to-noise ratio results with a constant measurement time.

Für die Mehrzahl der Anwendungsfälle, bei denen nur eine Probe gegen eine Referenzprobe gemessen wird, stellt diese technische Lösung eine aufwendige und überdies langsame An-35 Ordnung dar. For the majority of applications in which only one sample is measured against a reference sample, this technical solution represents a complex and, in addition, slow process.

Lampenseitig wird die Vereinigung des UV- und des VIS-Teilbereiches dadurch gelöst, dass in eine Deuteriumlampe von der einen Seite die VIS-Strahlung einer Halogenlampe eingestrahlt wird, so dass nach der entgegengesetzten Seite die Strah-40 lungsanteile beider Lampen abgestrahlt werden. On the lamp side, the union of the UV and the VIS subarea is achieved by irradiating the VIS radiation of a halogen lamp from one side into a deuterium lamp, so that the radiation components of both lamps are emitted on the opposite side.

Die gitter- bzw. empfängerseitige Trennung der beiden spektralen Teilbereiche erfolgt durch Verwendung eines Spezialgitters und zweier separater Zeilenempfänger im hinter der Probe angeordneten Polychromator. Das Spezialgitter besteht aus je 45 einem Teilgitter für den UV- und den VIS-Teilbereich, die beide auf dem gleichen Gitterträger mit einer Schrägstellung der Gitterfurchen der beiden Teilgitter zueinander angeordnet sind. Auf diese Weise werden in der Fokalebene des Polychromators zwei gegeneinander geneigte Teilspektren erzeugt, die auf die so Empfänger gelangen. The grating or receiver-side separation of the two spectral sub-regions is carried out by using a special grating and two separate line receivers in the polychromator arranged behind the sample. The special grille consists of 45 partial grids for the UV and the VIS partial area, both of which are arranged on the same lattice girder with an inclined position of the lattice grooves of the two partial grids to one another. In this way, two sub-spectra inclined towards each other are generated in the focal plane of the polychromator, which reach the receivers in this way.

Nachteilig ist es, dass mit diesem Gitter für jeden spektralen Teilbereich nur die halbe Apertur und der halbe Lichtleitwert genutzt werden können. Die Herstellung eines Spezialgitters erfordert eine spezielle Technologie und damit verbundenen Auf-55 wand. It is disadvantageous that with this grating only half the aperture and half the light conductance can be used for each spectral sub-range. The production of a special grid requires special technology and the associated effort.

Es ist das Ziel der Erfindung, den. für simultane Messungen im gesamten UV/VIS-Bereich bei den bekannten technischen Lösungen auftretenden Aufwand zu mindern, einen hohen Lichtleitwert zu gewährleisten und die Streulichtbedingungen zu 60 verbessern. It is the aim of the invention that. for simultaneous measurements in the entire UV / VIS range to reduce the effort involved in the known technical solutions, to ensure a high light guide value and to improve the scattered light conditions.

Aufgabe der Erfindung ist es, bei einer nach dem Zweistrahlprinzip arbeitenden Anordnung zur Simultanmessung im UV/VIS-Bereich bei funktioneller Trennung der spektralen Teilbereiche und alternierender Nutzung der Lichtquellen, die 65 Strahlungsleistung jeder Lichtquelle über die gesamte Messzeit und die zur Verfügung stehende Apertur für beide Teilbereiche wirksam werden zu lassen und eine Überlagerung der UV-Spek-tren höherer Ordnung mit den VIS-Spektren zu verhindern. The object of the invention is, in a double-beam arrangement for simultaneous measurement in the UV / VIS range with functional separation of the spectral sections and alternating use of the light sources, the radiation power of each light source over the entire measurement time and the available aperture for both Allowing partial areas to take effect and preventing the higher-order UV spectra from being overlaid with the VIS spectra.

3 3rd

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Erfindungsgemäss wird die Aufgabe dadurch gelöst, dass zwei in je einem spektralen Teilbereich Strahlung emittierende Lichtquellen je ein Polychromator zugeordnet ist, dass die Lichtquellen und die Polychromatoren symmetrisch zur Verbindungsgeraden der Schnittpunkte angeordnet und die lichtreflektierenden Bereiche der Umlenkeinheiten als beidseitig reflektierende Bereiche umgebildet sind, und dass die Umlenkeinheiten phasensynchron zueinander arbeiten. According to the invention, the object is achieved in that a polychromator is assigned to two light sources each emitting radiation in a spectral sub-region, that the light sources and the polychromators are arranged symmetrically to the connecting straight line of the intersection points and the light-reflecting regions of the deflection units are redesigned as reflecting regions on both sides, and that the deflection units work in phase synchronization with each other.

Vorteilhafterweise ist zur Reduzierung der Dickeneinflüsse der Umlenkelemente einer Reflexionsstellung der einen Umlenkeinheit immer eine Durchlassstellung der anderen Umlenkeinheit zugeordnet (beide Umlenkeinheiten arbeiten mit 180° Phasenverschiebung zueinander). Advantageously, in order to reduce the thickness influences of the deflection elements of a reflection position of the one deflection unit, a passage position of the other deflection unit is always assigned (both deflection units work with a 180 ° phase shift with respect to one another).

Sind die Dickeneinflüsse vernachlässigbar, d.h. werden die Eintrittsspalte der Polychromatoren trotz Strahlenversatzes vollständig ausgeleuchtet, ist auch eine Arbeitsweise der Umlenkeinheiten möglich, bei der die Reflexionsstellungen bzw. die Durchlassstellungen einander zugeordnet sind (beide Umlenkeinheiten arbeiten ohne Phasenverschiebung parallel zueinander). Are the thickness influences negligible, i.e. If the entrance gaps of the polychromators are completely illuminated despite the offset of the beams, the deflection units can also work in a way in which the reflection positions or the passage positions are assigned to one another (both deflection units work parallel to one another without a phase shift).

Vorteilhafterweise sind die optischen Umlenkeinheiten als rotierende Sektorspiegel oder Schwenkspiegel ausgebildet, deren Phasensynchronität über Schrittantriebe realisiert ist. Advantageously, the optical deflection units are designed as rotating sector mirrors or swivel mirrors, the phase synchronism of which is realized via stepper drives.

Die als Empfänger vorgesehenen Zeilenempfänger sind in Reihe geschaltet, so dass die gesamte nachfolgende Elektrik (Steuerschaltung, Verstärker, AD-Wandler) nur einmal benötigt wird. The line receivers provided as receivers are connected in series, so that the entire subsequent electrical system (control circuit, amplifier, AD converter) is only required once.

Mit der erfindungsgemässen Lösung erfolgt eine Vereinigung zweier Teilspektrometer zu einem Spektrometer für den gesamten Spektralbereich durch Einhaltung einer optisch-geo-metrischen Symmetrie und Verwendung gemeinsamer Funktionselemente, wobei die funktionelle Trennung der Spektralbereiche UV und VIS im gesamten Gerät gewahrt bleibt. With the solution according to the invention, two sub-spectrometers are combined to form a spectrometer for the entire spectral range by maintaining an optical-geometric symmetry and using common functional elements, the functional separation of the spectral ranges UV and VIS being maintained throughout the device.

Die sich aus einer konsequenten apparativen Trennung der beiden Spektralbereiche ergebenden Nachteile (wie grösserer apparativer Aufwand, zwei getrennte Messpositionen für die Probe usw.) werden durch die vorgeschlagene Lösung vermieden. The disadvantages resulting from a consequent separation of the two spectral ranges in terms of equipment (such as greater equipment expenditure, two separate measurement positions for the sample, etc.) are avoided by the proposed solution.

Durch die bilaterale und phasensynchrone antiparallele bzw. parallele Arbeitsweise der Umlenkeinheiten wird die von den Lichtquellen ausgehende Strahlung ineinander verschachtelt, abwechselnd durch die Mess- und die Referenzprobe und immer jeweils auf den zur Lichtquelle zugeordneten Polychromator, bestehend aus Eintrittsspalt, abbildendem Gitter und Zeilenempfänger, gelenkt. Dabei gelangt im UV-Teilspektrometer die Strahlung zur gleichen Zeit über den Messstrahlengang zum Polychromator wie im VIS-Teilspektrometer über den Referenzstrahlengang und umgekehrt. Due to the bilateral and phase-synchronous antiparallel or parallel mode of operation of the deflection units, the radiation emanating from the light sources is interleaved, alternately by the measurement and the reference sample and always directed to the polychromator assigned to the light source, consisting of an entrance slit, imaging grating and line receiver . In the UV partial spectrometer, the radiation reaches the polychromator at the same time via the measuring beam path as in the VIS partial spectrometer via the reference beam path and vice versa.

Die Verwendung zweier Polychromatoren für die beiden Teilbereiche UV und VIS gewährleistet die Ausnutzung der vollen Apertur für jeden der Polychromatoren. The use of two polychromators for the two sub-areas UV and VIS ensures the utilization of the full aperture for each of the polychromators.

Die UV-Spektren höherer Ordnung können nicht auf den Zeilenempfänger für die VIS-Strahlung gelangen, und es ergeben sich günstige Voraussetzungen bezüglich des Streulichtes. The higher-order UV spectra cannot reach the line receiver for the VIS radiation, and there are favorable conditions with regard to the scattered light.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung soll nachstehend anhand der schematischen Zeichnung näher erläutert werden. Es zeigen: An embodiment of the invention will be explained below with reference to the schematic drawing. Show it:

Fig. 1 die Strahlenführung gemäss der Erfindung, 1 shows the beam guidance according to the invention,

Fig. 2 Drehspiegel als Umlenkeinheiten, 2 rotating mirror as deflection units,

Fig. 3 Schwenkspiegel als Umlenkeinheiten. Fig. 3 swivel mirror as deflection units.

Bei der in Figur 1 dargestellten optischen Anordnung, die aus einer Lampensektion 1, einer Probensektion 2 und einer In the optical arrangement shown in Figure 1, which consists of a lamp section 1, a sample section 2 and one

Polychromatorsektion 3 besteht, sind symmetrisch zu einer Verbindungsgeraden G durch Schnittpunkte 4, 5 eine UV- und eine VIS-Lichtquelle 6, 7, sowie elliptische Abbildungsspiegel 8, 9 angeordnet. Als UV-Lichtquelle 6 dient eine Deuteriumlampe, s als VIS-Lichtquelle 7 eine Halogenlampe. Polychromatorsection 3 consists, are arranged symmetrically to a connecting line G through intersections 4, 5, a UV and a VIS light source 6, 7, and elliptical imaging mirror 8, 9. A deuterium lamp serves as the UV light source 6, and a halogen lamp serves as the VIS light source 7.

In gleicher Symmetrie sind elliptische Abbildungsspiegel 10, 11 und Polychromatoren 12, 13, bestehend aus Eintrittsspalten 14, 15, abbildenden Gittern 16, 17 und Zeilenempfängern 18, In the same symmetry are elliptical imaging mirrors 10, 11 and polychromators 12, 13, consisting of entrance columns 14, 15, imaging gratings 16, 17 and line receivers 18,

19 bezüglich der Verbindungsgeraden G vorgesehen. Die Gitter io 16, 17 sind für den jeweiligen spektralen Teilbereich (UV oder 19 provided with respect to the connecting line G. The gratings 16, 17 are for the respective spectral sub-range (UV or

VIS) optimiert. VIS) optimized.

Durch die Probensektion 2 verlaufen ein Messstrahlengang A measuring beam path runs through the sample section 2

20 und ein Referenzstrahlengang 21. 20 and a reference beam path 21.

In den Schnittpunkten 4, 5 sind Umlenkeinheiten 22, 23 an-i5 geordnet, die als Dreh- oder Schwenkspiegel ausgebildet sind (Fig. 2 und Fig. 3) und mittels Schrittmotoren 24, 25 phasensynchron angetrieben werden. At intersection points 4, 5, deflection units 22, 23 an-i5 are arranged, which are designed as rotating or pivoting mirrors (FIGS. 2 and 3) and are driven in phase synchronization by means of stepper motors 24, 25.

Die Umlenkeinheiten 22, 23 besitzen beidseitig reflektierende Bereiche 26 und lichtdurchlässige Bereiche 27 und arbeiten 20 antiparallel, d.h., wenn die Umlenkeinheit 22 sich in Reflexionsstellung befindet, ist die andere Umlenkeinheit 23 in Durchlassstellung. The deflection units 22, 23 have regions 26 which reflect on both sides and translucent regions 27 and work 20 in anti-parallel, i.e. when the deflection unit 22 is in the reflection position, the other deflection unit 23 is in the open position.

Die Lichtquellen 6, 7 werden im Verhältnis 1:1 auf die Eintrittsspalte 14, 15 der Polychromatoren 12, 13 abgebildet. Da-25 bei finden Zwischenabbildungen, das sind Orte engster Bündeleinschnürung, an den beiden Schnittpunkten 4, 5 sowie in den beiden Strahlengängen 20, 21 statt. An den Orten engster Bündeleinschnürung in den Strahlengängen 20, 21 werden die Proben angeordnet (nicht dargestellt). The light sources 6, 7 are mapped 1: 1 onto the entry gaps 14, 15 of the polychromators 12, 13. Here, intermediate images, that is, places of the narrowest bundle constriction, take place at the two intersection points 4, 5 and in the two beam paths 20, 21. The samples are arranged at the locations of the narrowest bundle constriction in the beam paths 20, 21 (not shown).

30 Die in den Schnittpunkten 4, 5 vorgesehenen Umlenkeinheiten 22, 23 erzeugen durch ihre wechselseitige Reflexions- und Durchlassstellung eine Verschachtelung der Strahlungsanteile, die die Lichtquellen 6, 7 abstrahlen. Befindet sich die Umlenkeinheit 22 in Reflexionsstellung, wird sowohl die UV- als auch 35 die VIS-Strahlung reflektiert. Die UV-Strahlung gelangt in den Mess- und die VIS-Strahlung in den Referenzstrahlengang 20 bzw. 21. 30 The deflection units 22, 23 provided at the intersection points 4, 5 generate a nesting of the radiation components which emit the light sources 6, 7 due to their mutual reflection and transmission position. If the deflection unit 22 is in the reflection position, both the UV and the VIS radiation are reflected. The UV radiation arrives in the measurement radiation and the VIS radiation in the reference beam path 20 or 21.

Über die dann zugeordnete Durchlassstellung des anderen Umlenkelementes 23 erreicht die UV-Strahlung den dafür opti-40 mierten Polychromator 12 und die VIS-Strahlung den optimierten Polychromator 13. Via the then assigned passage position of the other deflecting element 23, the UV radiation reaches the polychromator 12 optimized for this and the VIS radiation reaches the optimized polychromator 13.

Sind die Umlenkeinheiten 22, 23 umgekehrt einander zugeordnet, d.h. befindet sich die Umlenkeinheit 22 in Durchlassstellung und die Umlenkeinheit 23 in Reflexionsstellung, so 45 durchläuft die UV-Strahlung den Referenz- 21 und die VIS-Strahlung den Messstrahlengang 22 bevor beide Strahlungen wieder in die ihnen zugeordneten, optimierten Polychromatoren 12, 13 gelangen. Are the deflection units 22, 23 reversely assigned to one another, i.e. If the deflection unit 22 is in the open position and the deflection unit 23 is in the reflection position, 45 the UV radiation passes through the reference beam 21 and the VIS radiation passes through the measurement beam path 22 before both beams again enter the optimized polychromators 12, 13 assigned to them.

Die optische Modulation des Strahlenganges kann wahlweise se durch einen separaten oder einen mit den optischen Umlenkeinheiten 22, 23 kombinierten Unterbrecher erfolgen. The optical modulation of the beam path can optionally be carried out by a separate interrupter or an interrupter combined with the optical deflection units 22, 23.

Die Zeilenempfänger 18, 19 sind vorteilhafterweise, was nicht dargestellt ist, elektrisch in Reihe geschaltet, so dass die gesamte nachfolgende Elektrik nur einmal benötigt wird. The line receivers 18, 19 are advantageously, which is not shown, electrically connected in series, so that the entire subsequent electrical system is only required once.

55 Es ist auch möglich die Umlenkeinheiten 22, 23 parallel arbeiten zu lassen, d.h., dass beide sich in Reflexions- bzw. in Durchlassstellung befinden. 55 It is also possible to have the deflection units 22, 23 work in parallel, i.e. that both are in the reflection or open position.

Das erfordert eine hinreichend geringe Dicke der Umlenk-60 elemente 22, 23, so dass trotz Strahlenversatzes eine vollständige Ausleuchtung der Eintrittsspalte 14, 15 gewährleistet bleibt. This requires a sufficiently small thickness of the deflecting 60 elements 22, 23, so that a complete illumination of the entry gaps 14, 15 is ensured despite the radiation offset.

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2 Blätter Zeichnungen 2 sheets of drawings

Claims

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1.Optical arrangement for simultaneous spectrometers, in which the radiation emitted by light sources in spectral sub-areas is split at a first common intersection by optical deflection units which have translucent and reflective areas into a measuring beam and a reference beam, combined again at a second common intersection point and is broken down into wavelengths and fed to a receiver, characterized in that two light sources each emitting radiation in a spectral sub-area are assigned, that the light sources and the polychromators are arranged symmetrically to the connecting straight line of the intersection points and the light-reflecting areas of the deflection units are designed as reflective areas on both sides and that the deflection units work in phase synchronization with each other.

2. Optical arrangement according to claim 1, characterized in that a reflection position of the one deflection unit is always assigned a pass position of the other deflection unit.

2nd

PATENT CLAIMS

3. Optical arrangement according to claim 1, characterized in that with negligible thickness influences of the deflection units each reflection and each passage position of the one deflection unit is assigned a reflection and a passage position of the other deflection unit.

4. Optical arrangement according to claim 2 or 3, characterized in that the optical deflection units are designed as rotating sector mirrors or pivoting mirrors, the phase synchronism of which is realized via stepper drives.