CH554753A - Schablone fuer eine maschine zur herstellung von kennzeichnungsschildern und verfahren zu deren herstellung. - Google Patents

Schablone fuer eine maschine zur herstellung von kennzeichnungsschildern und verfahren zu deren herstellung.

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CH554753A
CH554753A CH178173A CH178173A CH554753A CH 554753 A CH554753 A CH 554753A CH 178173 A CH178173 A CH 178173A CH 178173 A CH178173 A CH 178173A CH 554753 A CH554753 A CH 554753A
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    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/20—Masks or mask blanks for imaging by charged particle beam [CPB] radiation, e.g. by electron beam; Preparation thereof
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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