CH435395A - Procédé de préparation d'une copie originale à partir d'un diagramme de circuit original et appareil pour sa mise en oeuvre - Google Patents

Procédé de préparation d'une copie originale à partir d'un diagramme de circuit original et appareil pour sa mise en oeuvre

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CH435395A
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    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70375—Multiphoton lithography or multiphoton photopolymerization; Imaging systems comprising means for converting one type of radiation into another type of radiation
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    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
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