CH414928A - Verfahren zur Erzeugung eines Ultrahochvakuums - Google Patents

Verfahren zur Erzeugung eines Ultrahochvakuums

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CH414928A
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CH
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generating
high vacuum
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CH1639764A
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Inventor
Gaydou Francois
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Balzers Patent Beteilig Ag
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F9/00—Diffusion pumps
    • F04F9/04—Diffusion pumps in combination with fore pumps, e.g. use of isolating valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
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