CH383775A - Kopiermaterial, insbesondere für die Herstellung von Druckformen - Google Patents

Kopiermaterial, insbesondere für die Herstellung von Druckformen

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CH383775A
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Gerhard Dr Fritz
Fritz Dr Uhlig
Wilhelm Dr Neugebauer
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    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/022—Quinonediazides

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