CH346296A - Verfahren zum Betrieb einer Glimmentladung und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents

Verfahren zum Betrieb einer Glimmentladung und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens

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CH346296A
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    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32018—Glow discharge

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CH346296D 1956-03-26 1957-03-13 Verfahren zum Betrieb einer Glimmentladung und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens CH346296A (de)

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CH346296A true CH346296A (de) 1960-05-15

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FR2518354A1 (fr) * 1981-12-16 1983-06-17 Atelier Electro Thermie Const Procede pour generer un plasma et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede

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