CH317283A - Korpuskularstrahlapparat zur Erzeugung von räumlich lokalisierten hohen Energieumsetzungen in einem eng begrenzten Raumteil - Google Patents

Korpuskularstrahlapparat zur Erzeugung von räumlich lokalisierten hohen Energieumsetzungen in einem eng begrenzten Raumteil

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CH317283A
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Albert Dr Lorenz
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Heraeus Gmbh W C
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    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/301—Arrangements enabling beams to pass between regions of different pressure
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J33/00—Discharge tubes with provision for emergence of electrons or ions from the vessel; Lenard tubes

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CH317283D 1953-01-09 1953-12-28 Korpuskularstrahlapparat zur Erzeugung von räumlich lokalisierten hohen Energieumsetzungen in einem eng begrenzten Raumteil CH317283A (de)

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GB749567A (en) 1956-05-30
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