CH315895A - Process for obtaining a metal coating and apparatus for carrying out this process - Google Patents

Process for obtaining a metal coating and apparatus for carrying out this process

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CH315895A
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O Fink Albert
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    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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Description

  

  Procédé pour l'obtention d'un revêtement de métal  et appareil pour la mise en     aeuvre    de ce procédé    La présente invention se rapporte à un  procédé pour l'obtention d'un revêtement de  métal dense et fermement adhérent sur un ob  jet, ledit métal étant mis en contact avec cet  objet sous forme d'un composé gazeux décom  posable par la chaleur.  



  L'invention se rapporte également à un  appareil pour la mise en     oeuvre    dudit procédé.  Le     procédé    selon l'invention est caractérisé  en ce que l'on fait parcourir à un gaz     compre-          nant    un composé     métallique    gazeux     décompo-          sable    par la     chaleur    un circuit fermé en un  point duquel est disposé l'objet à revêtir,  chauffé à la température de décomposition     du-          dit    composé métallique gazeux,

   des moyens de  réfrigération étant placés sur le chemin du cou  rant gazeux avant qu'il ne     vienne    en contact  avec l'objet à revêtir, dans le but d'empêcher  la     décomposition    prématurée du composé mé  tallique décomposable.  



  L'appareil     pour    la mise en     oeuvre    de ce  procédé se compose d'une chambre compor  tant des moyens pour     supporter    et     chauffer     l'objet à revêtir, un ventilateur disposé     au-          dessus    de ces moyens et chassant le     flux    gazeux  contre l'objet à revêtir, ainsi qu'un réfrigéra  teur, également disposé au-dessus desdits  moyens.  



  Le présent procédé s'applique particulière-    ment bien au dépôt de très minces couches de  métal protecteur tel que du nickel, du cobalt,  du tungstène, du molybdène, leurs     alliages    et  autres métaux analogues. On a procédé jus  qu'ici en enfermant l'objet à plaquer dans une  chambre remplie de composé métallique ga  zeux décomposable, et en chauffant ledit objet  à la température de décomposition dudit com  posé.  



  Dans le placage ainsi effectué, la produc  tion de dépôts métalliques denses est rendue       difficile    par deux phénomènes, soit la décom  position     intergazeuse    et la résistance d'un     film     de gaz empêchant l'adhérence totale à la sur  face de fond.  



  La décomposition     intergazeuse    provient de  ce que le gaz de placage est chauffé à une tem  pérature trop haute avant d'être en contact  avec l'objet à plaquer. Ce phénomène entraîne  la formation de particules de métal qui tombent  sur la surface à plaquer et constituent une cou  che extrêmement rugueuse.  



  Le second phénomène, celui de la résis  tance du film gazeux, se manifeste toujours  dans le cas des corps solides chauffés en pré  sence d'un gaz. Le film sert de séparation entre  le corps solide et le gaz.     Il    empêche le com  posé métallique     gazeux    de se décomposer direc  tement à     1a    surface libre du métal.      Le présent procédé permet de     supprimer     ces désavantages.  



  L'atmosphère gazeuse décomposable peut  être constituée d'un mélange de gaz inerte avec  les vapeurs d'un composé métallique volatil.  



  Le bioxyde de carbone, l'hélium, l'azote,  l'hydrogène, le produit gazeux de la combus  tion sous contrôle de gaz d'hydrocarbures, ou  autres gaz analogues, peuvent être utilisés  comme véhicules du composé     métallique    dé  composable.  



  Dans certains cas, l'usage de l'hydrogène  est préféré, notamment lorsque ses propriétés  réductrices peuvent être mises avantageusement  à profit pour éliminer une couche d'oxyde ou  la rouille du fer.  



  Les métaux de placage peuvent être intro  duits dans le véhicule gazeux sous, forme de       métaux-carbonyles    gazeux ou de solutions de  métaux-carbonyles dans des solvants facile  ment     vaporisables    (par exemple l'éther de pé  trole), de même que sous forme de composés  de nitrosyle, de carbonyle et de nitrosyle, d'hy  drures, de composés d'alcoyle,     d'halogénures     et autres.  



  Le nickel, le fer, le chrome,     le    molybdène  et le cobalt sont ordinairement employés sous  forme de composés de carbonyle.  



  Par exemple, le     nickel-carbonyle    se décom  pose totalement à une température     allant    de       190o    C à     205o    C mais i1 commence déjà à se  décomposer à<B>800</B> C environ, processus qui  continue entre 950 C et 195  C.  



  Un grand nombre de métaux-carbonyles et  d'hydrures peuvent être effectivement et effica  cement décomposés à une température variant  de     175o    à     230o    C. La plupart des carbonyles  seront traités de préférence à des températures  allant de     190o    à     220o    C.  



  Le     chauffage    des objets aux températures  indiquées ci-dessus peut être réalisé par de  nombreuses méthodes qui dépendent de la na  ture de l'objet à plaquer. Si ce dernier est im  mobile, on peut le placer sur un chauffage à  résistance ou plaque de chauffe. S'il est en mou  vement, on le fera passer sur un corps de       chauffe    ou on l'exposera aux rayons infra-    rouges. Il pourra aussi être traversé par un  courant électrique, soit de fréquence normale,  soit à haute fréquence, ou être chauffé par     des     moyens similaires.  



  Avant le revêtement, l'objet sera nettoyé  par les méthodes usuelles.  



  Le dessin annexé montre une forme     d7exé-          cution    de l'appareil pour la mise en     oeuvre    du  présent procédé.  



  La     fig.    1 en est une représentation schéma  tique en coupe.  



  La     fig.    2 est une coupe selon la ligne 2-2  de la     fig.    1.  



  Le dessin montre une chambre 10 pourvue  d'une tubulure d'entrée de gaz 11 et de sortie  12.  



  Cette chambre est divisée par un panneau       vertical    13 s'étendant de la paroi avant 14 à  la paroi arrière 15, mais laissant subsister un  passage dans le haut, respectivement dans le  fond de la chambre. Un     corps    de chauffe 16  est placé au-dessus     dudit    fond dans la partie  de la chambre dans laquelle ne pénètrent pas  les tubulures 11 et 12. Sa plaque supérieure 17  porte les objets métalliques qu'elle peut chauf  fer à des températures variant de     175o    à  2600 C, de préférence de     175o    à     235o    C. Le  corps de chauffe 16 est alimenté en courant  électrique par les câbles<I>LI</I> et<I>L2.</I>  



  Un ventilateur 18, actionné par un moteur  encastré 19, est suspendu au-dessus de la pla  que chauffée 17. Ce ventilateur a pour mission  d'assurer le déplacement des gaz de haut en  bas à une vitesse de 12 à 27 m à la seconde.  



  Au-dessus du ventilateur se trouve un re  froidisseur de gaz 20 alimenté en     fluide    réfri  gérant par un dispositif extérieur qui ne figure  pas ici.  



  Quoique l'appareil ne comprenne qu'une  seule chambre, on se rendra compte de suite  que le refroidissement du gaz s'effectue en  dehors de la zone de placage, que, d'autre part,  le gaz est remis en circulation par le     ventilateur     aspirant les gaz de la chambre de placage en  les y renvoyant de force par une conduite exté  rieure.      L'exemple suivant montre comment le pro  cédé selon l'invention peut être exécuté, à  l'aide de l'appareil ci-dessus     décrit.     



  La     partie    A de cet exemple se réfère à un  essai comparatif.    <I>EXEMPLE</I>    A) On s'est servi de disques de cuivre  dont la surface a été nettoyée au moyen de  brosses métalliques. Ces disques ont été placés  sur la plaque chauffée et portés à une tempéra  ture d'environ     205o    C. Un mélange de     nickel-          carbonyle    gazeux et de bioxyde de carbone fut  introduit dans le carter à raison de 140 g de  carbonyle par 0,03     m3    de bioxyde de carbone.  



  Les disques de cuivre furent plaqués sui  vant le processus normal qui consiste à faire  passer approximativement 0,09     m3    de mélange  gazeux par heure à travers la chambre 10,     ceci     pendant deux minutes, un placage de 3 mi  crons de nickel s'étant formé à la fin de cette  période.  



  B) D'autres disques de cuivre traités de  la même façon que dans l'opération précédente  furent placés sur la plaque chaude et un mé  lange identique de gaz fut également introduit  dans la chambre à l'intérieur de laquelle le gaz  fut maintenu par un réfrigérant à une tempé  rature approximative de     50,)    C. Toutefois, le  gaz était mis en circulation dans la chambre 10  à une vitesse d'environ 18 m à la seconde, ceci  grâce au ventilateur 18. Le placage dura deux  minutes, comme dans l'essai A, et l'épaisseur  du dépôt de nickel fut de 8 microns.  



  En comparant les disques, on pouvait voir  que les dépôts obtenus par grande circulation  de gaz étaient plus lisses. En plus, une compa  raison basée sur le poids de métal déposé a  révélé que la densité du dépôt sur les échantil  lons plaqués sans agitation mécanique était de  47 g par 16     cm3,    tandis que la densité des  dépôts constitués sur les échantillons plaqués  à l'aide du ventilateur provoquant une rapide  circulation de gaz était de 128 g par 16     cm3.     



  Soumis à l'épreuve du sel, les disques re  vêtus selon le processus B n'indiquèrent aucun  signe de corrosion après deux jours, tandis que    les disques revêtus selon le processus A étaient  déjà attaqués après quatre heures d'épreuve.



  The present invention relates to a method for obtaining a dense and firmly adhering metal coating on an object, said metal being brought into contact with this object in the form of a gaseous compound decomposable by heat.



  The invention also relates to an apparatus for carrying out said method. The process according to the invention is characterized in that a gas comprising a gaseous metallic compound which can be decomposed by heat is passed through a closed circuit at a point at which the object to be coated, heated at the temperature, is placed. decomposition temperature of said gaseous metal compound,

   refrigeration means being placed in the path of the gas stream before it comes into contact with the object to be coated, for the purpose of preventing the premature decomposition of the decomposable metallic compound.



  The apparatus for the implementation of this method consists of a chamber comprising means for supporting and heating the object to be coated, a fan disposed above these means and expelling the gas flow against the object to be coated. cover, as well as a refrigerator, also disposed above said means.



  The present process is particularly applicable to the deposition of very thin layers of protective metal such as nickel, cobalt, tungsten, molybdenum, their alloys and other similar metals. Hitherto, the procedure has been carried out by enclosing the object to be plated in a chamber filled with decomposable gaseous metal compound, and by heating said object to the decomposition temperature of said compound.



  In the plating thus carried out, the production of dense metal deposits is made difficult by two phenomena, namely the inter-gas decomposition and the resistance of a gas film preventing total adhesion to the bottom surface.



  Intergaseous decomposition results from the plating gas being heated to too high a temperature before it comes into contact with the object to be plated. This phenomenon results in the formation of metal particles which fall on the surface to be plated and constitute an extremely rough layer.



  The second phenomenon, that of the resistance of the gas film, always manifests itself in the case of solid bodies heated in the presence of a gas. The film serves as a separation between the solid body and the gas. It prevents the gaseous metallic compound from decomposing directly on the free surface of the metal. The present method makes it possible to eliminate these disadvantages.



  The decomposable gaseous atmosphere can consist of a mixture of inert gas with the vapors of a volatile metal compound.



  Carbon dioxide, helium, nitrogen, hydrogen, the gaseous product of the combustion under the control of hydrocarbon gases, or the like, can be used as vehicles for the decomposable metal compound.



  In certain cases, the use of hydrogen is preferred, in particular when its reducing properties can be advantageously used to remove an oxide layer or rust from the iron.



  The plating metals can be introduced into the gaseous vehicle as gaseous metal carbonyls or solutions of metal carbonyls in readily vaporizable solvents (e.g. petroleum ether), as well as as oil. nitrosyl, carbonyl and nitrosyl compounds, hydrides, alkyl compounds, halides and others.



  Nickel, iron, chromium, molybdenum and cobalt are commonly used as carbonyl compounds.



  For example, nickel-carbonyl decomposes completely at a temperature of 190o C to 205o C, but it already begins to decompose at approximately <B> 800 </B> C, a process which continues between 950 C and 195 C.



  A large number of metal carbonyls and hydrides can be effectively and efficiently decomposed at a temperature ranging from 175o to 230o C. Most carbonyls will preferably be processed at temperatures ranging from 190o to 220o C.



  Heating of the objects to the temperatures indicated above can be achieved by many methods which depend on the nature of the object to be plated. If the latter is im mobile, it can be placed on a resistance heater or heating plate. If it is in motion, it will be passed over a heating body or it will be exposed to infrared rays. It may also be traversed by an electric current, either of normal frequency or of high frequency, or be heated by similar means.



  Before coating, the object will be cleaned by the usual methods.



  The accompanying drawing shows one embodiment of the apparatus for carrying out the present process.



  Fig. 1 is a cross-sectional tick diagram representation.



  Fig. 2 is a section taken along line 2-2 of FIG. 1.



  The drawing shows a chamber 10 provided with a gas inlet 11 and outlet 12 pipe.



  This chamber is divided by a vertical panel 13 extending from the front wall 14 to the rear wall 15, but leaving a passage at the top, respectively in the bottom of the chamber. A heating body 16 is placed above said bottom in the part of the chamber into which the pipes 11 and 12 do not enter. Its upper plate 17 carries the metal objects which it can heat iron at temperatures varying from 175o to 2600 C, preferably 175o to 235o C. The heating body 16 is supplied with electric current by the cables <I> LI </I> and <I> L2. </I>



  A fan 18, actuated by a built-in motor 19, is suspended above the heated plate 17. The mission of this fan is to ensure the movement of the gases from top to bottom at a speed of 12 to 27 m per second. .



  Above the fan is a gas cooler 20 supplied with cooling fluid by an external device which is not shown here.



  Although the device has only one chamber, we will immediately realize that the cooling of the gas takes place outside the plating area, that, on the other hand, the gas is recirculated by the fan. sucking the gases from the plating chamber by forcibly returning them through an external pipe. The following example shows how the process according to the invention can be carried out, using the apparatus described above.



  Part A of this example refers to a comparative test. <I> EXAMPLE </I> A) Copper discs were used, the surface of which was cleaned with wire brushes. These discs were placed on the heated plate and brought to a temperature of about 205o C. A mixture of gaseous nickel-carbonyl and carbon dioxide was introduced into the crankcase at the rate of 140 g of carbonyl per 0.03 m3. of carbon dioxide.



  The copper disks were plated by the normal process of passing approximately 0.09 m3 of gas mixture per hour through chamber 10 for two minutes, a plating of 3 microns of nickel having formed at. the end of this period.



  B) Other copper discs treated in the same way as in the previous operation were placed on the hot plate and an identical mixture of gas was also introduced into the chamber within which the gas was held by a refrigerant at an approximate temperature of 50,) C. However, the gas was circulated in chamber 10 at a speed of about 18 m per second, thanks to the fan 18. The plating lasted two minutes, as in test A, and the thickness of the nickel deposit was 8 microns.



  By comparing the discs, it could be seen that the deposits obtained by large gas circulation were smoother. In addition, a comparison based on the weight of metal deposited revealed that the density of the deposit on the plated samples without mechanical agitation was 47 g per 16 cm3, while the density of the deposits formed on the plated samples. fan aid causing rapid gas flow was 128 g per 16 cm3.



  The salt proof discs coated with Process B showed no signs of corrosion after two days, while the discs coated with Process A were already etched after four hours of testing.

 

Claims (1)

REVENDICATIONS I. Procédé pour l'obtention d'un revêtement de métal sur un objet, caractérisé en ce que l'on fait parcourir à un gaz comprenant un composé métallique gazeux décomposable par la chaleur un circuit fermé en un point duquel est disposé l'objet à revêtir, chauffé à la tem pérature de décomposition dudit composé mé tallique gazeux, des moyens de réfrigération étant placés sur le chemin du courant gazeux avant qu'il ne vienne en contact avec l'objet à revêtir, dans le but d'empêcher la décomposi tion prématurée du composé métallique dé composable. II. CLAIMS I. Process for obtaining a metal coating on an object, characterized in that a gas comprising a gaseous metal compound which can be decomposed by heat is passed through a closed circuit at a point at which the gas is placed. object to be coated, heated to the decomposition temperature of said gaseous metal compound, refrigeration means being placed in the path of the gaseous stream before it comes into contact with the object to be coated, in order to prevent the premature decomposition of the decomposable metal compound. II. Appareil pour la mise en oeuvre du pro cédé selon la revendication I, caractérisé en ce qu'il se compose d'une chambre comportant des moyens pour supporter et chauffer l'objet à revêtir, un ventilateur disposé au-dessus de ces moyens et chassant le flux gazeux contre l'objet à revêtir, ainsi qu'un réfrigérateur, éga lement disposé au-dessus desdits moyens. SOUS-REVENDICATIONS 1. Procédé suivant la revendication I, ca ractérisé en ce que l'on dirige ledit gaz à l'aide d'un ventilateur en un flux rapide contre l'ob jet à revêtir. 2. Procédé selon la revendication I et la sous-revendication 1, caractérisé en ce que le dit circuit fermé comprend une chambre close dans laquelle sont disposés l'objet à revêtir et le ventilateur. 3. Apparatus for carrying out the process according to claim I, characterized in that it consists of a chamber comprising means for supporting and heating the object to be coated, a fan arranged above these means and driving the gas flow against the object to be coated, as well as a refrigerator, also disposed above said means. SUB-CLAIMS 1. A method according to claim I, characterized in that said gas is directed with the aid of a fan in a rapid flow against the object to be coated. 2. Method according to claim I and sub-claim 1, characterized in that said closed circuit comprises a closed chamber in which are arranged the object to be coated and the fan. 3. Procédé selon la revendication I et les sous-revendications 1 et 2, caractérisé en ce que ladite chambre est munie d'une conduite d'introduction et d'une conduite die sortie de gaz, reliées extérieurement, la circulation du gaz s'effectuant en circuit fermé à travers la chambre et ces conduites. 4. Procédé selon la revendication I, carac térisé en ce que l'on maintient la vitesse du gaz venant en contact avec l'objet à revêtir à une valeur de 12 à 27 m à la seconde. 5. Procédé selon la revendication I, ca ractérisé en ce que le composé métallique ga zeux décomposable est un métal-carbonyle et en ce que l'on chauffe l'objet à revêtir à une température d'environ<B>2050</B> C. 6. Method according to claim I and sub-claims 1 and 2, characterized in that said chamber is provided with an introduction pipe and a gas outlet pipe, connected externally, the gas circulation taking place in closed circuit through the chamber and these conduits. 4. Method according to claim I, charac terized in that the speed of the gas coming into contact with the object to be coated is maintained at a value of 12 to 27 m per second. 5. Method according to claim I, characterized in that the decomposable gaseous metal compound is a metal-carbonyl and in that the object to be coated is heated to a temperature of approximately <B> 2050 </ B > C. 6. Procédé selon la revendication I, carac térisé en ce que l'on refroidit le gaz par un réfrigérant à une température d'environ 501, C. 7. Appareil selon la revendication II, carac térisé en ce que la chambre est divisée en deux compartiments inégaux par une cloison interne ouverte à deux extrémités, pour favoriser la circulation du gaz dans ladite chambre. 8. Appareil selon la revendication II, carac térisé en ce que la chambre est munie d'une conduite d'entrée et d'une conduite de sortie de gaz, reliées extérieurement, de façon à cons tituer un circuit fermé pour la circulation du gaz. Process according to claim I, characterized in that the gas is cooled by a refrigerant to a temperature of about 501, C. 7. Apparatus according to claim II, characterized in that the chamber is divided into two compartments unequal by an internal partition open at two ends, to promote gas circulation in said chamber. 8. Apparatus according to claim II, charac terized in that the chamber is provided with an inlet pipe and a gas outlet pipe, connected externally, so as to constitute a closed circuit for the circulation of gas. .
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115011949A (en) * 2021-03-04 2022-09-06 汉民科技股份有限公司 Precursor circulation type atomic layer deposition equipment and method

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