CH206031A - Einrichtung mit einander gegenüberstehenden, metallischen, unter Spannung gesetzten Körpern. - Google Patents

Einrichtung mit einander gegenüberstehenden, metallischen, unter Spannung gesetzten Körpern.

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CH206031A
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    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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    • H—ELECTRICITY
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