BR9811682A - Sistema de manÈmetro de tubo de bourdon compureza ultra-elevada - Google Patents

Sistema de manÈmetro de tubo de bourdon compureza ultra-elevada

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BR9811682A
BR9811682A BR9811682-7A BR9811682A BR9811682A BR 9811682 A BR9811682 A BR 9811682A BR 9811682 A BR9811682 A BR 9811682A BR 9811682 A BR9811682 A BR 9811682A
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BR
Brazil
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tube
outlet
seat
ultra
purity
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BR9811682-7A
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English (en)
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David C Defrancesco
Brian T Donahue
Louis A Rosen
John A Turbeville
Louis F Bregy
Original Assignee
Dresser Ind
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Abstract

Patente de Invenção: "SISTEMA DE MANÈMETRO DE TUBOBOURDON COM PUREZA ULTRA-ELEVADA". Um corpo debocal de volume reduzido e um tubo de volume reduzido sãousados num sistema de medição de pressão num equipamento deprocesso de fabricação semi-condutor. O corpo de bocal incluiuma saída e um tubo tendo uma extremidade conectada à saída.A saída é um preparado de solda moldado que é formado no corpode bocal tendo uma superfície interna. Um assento contínuo éformado na saída e inclui uma espessura de assento. O tubo temuma superfície interna e uma superfície externa, definindo umaespessura de parede que é substancialmente a mesma que aespessura do assento, A extremidade do tubo é encaixada noassento de modo que a parede interna do tubo e a superfícieinterna da saída estão substancialmente alinhadas para formaruma conexão de bocal a tubo sem fendas.
BR9811682-7A 1997-07-11 1998-07-10 Sistema de manÈmetro de tubo de bourdon compureza ultra-elevada BR9811682A (pt)

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US5227197P 1997-07-11 1997-07-11
US22773198A 1998-02-12 1998-02-12
PCT/US1998/014405 WO1999002955A1 (en) 1997-07-11 1998-07-10 Ultra-high purity bourdon tube pressure gauge system

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