BE711537A - - Google Patents

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BE711537A
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
    • G01L9/0052—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements
    • G01L9/0054—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements integral with a semiconducting diaphragm

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)
BE711537D 1968-03-01 1968-03-01 BE711537A (nl)

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BE711537D BE711537A (nl) 1968-03-01 1968-03-01

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1959527A1 (de) * 1968-11-29 1970-06-11 Philips Nv Halbleitervorrichtung und Verfahren zur Herstellung derselben
FR2433176A1 (fr) * 1978-08-10 1980-03-07 Nissan Motor Detecteurs de pression a membrane semiconductrice

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1959527A1 (de) * 1968-11-29 1970-06-11 Philips Nv Halbleitervorrichtung und Verfahren zur Herstellung derselben
FR2433176A1 (fr) * 1978-08-10 1980-03-07 Nissan Motor Detecteurs de pression a membrane semiconductrice

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