BE598734A - Procédé de préparation de fluorures d'azote - Google Patents

Procédé de préparation de fluorures d'azote

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Frank Dennis Marsh
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    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
    • C01B21/082—Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals
    • C01B21/083—Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals containing one or more halogen atoms
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US3428540A (en) * 1962-03-09 1969-02-18 Allied Chem Process for making trifluoroamine oxide
US3185543A (en) * 1963-01-30 1965-05-25 Allied Chem Manufacture of metal fluorides
US4832931A (en) * 1988-09-07 1989-05-23 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Synthesis of tetrafluorohydrazine
US4996035A (en) * 1989-02-27 1991-02-26 Mallinckrodt, Inc. Preparation of nitrosyl fluoride
US4908270A (en) * 1989-02-27 1990-03-13 Mallinckrodt, Inc. Continuous preparation of nitrosyl fluoride
US20080236483A1 (en) * 2007-03-27 2008-10-02 Jun Sonobe Method for low temperature thermal cleaning
US20080236482A1 (en) * 2007-03-27 2008-10-02 Jun Sonobe Method for low temperature thermal cleaning
US8308871B2 (en) * 2008-11-26 2012-11-13 L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Thermal cleaning gas production and supply system
CA2781295C (fr) * 2009-11-20 2018-02-13 Geno Llc Systeme de distribution d'oxyde nitrique
JP5715717B2 (ja) * 2014-02-03 2015-05-13 株式会社日立国際電気 半導体装置の製造方法、クリーニング方法および基板処理装置

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