BE1025386B1 - Coating - Google Patents

Coating Download PDF

Info

Publication number
BE1025386B1
BE1025386B1 BE2017/5447A BE201705447A BE1025386B1 BE 1025386 B1 BE1025386 B1 BE 1025386B1 BE 2017/5447 A BE2017/5447 A BE 2017/5447A BE 201705447 A BE201705447 A BE 201705447A BE 1025386 B1 BE1025386 B1 BE 1025386B1
Authority
BE
Belgium
Prior art keywords
coating
component
plasma
monomer
electronic
Prior art date
Application number
BE2017/5447A
Other languages
Dutch (nl)
Other versions
BE1025386A1 (en
Inventor
Stephen Coulson
Delwyn Evans
Angeliki Siokou
Clive Telford
Original Assignee
P2I Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by P2I Ltd filed Critical P2I Ltd
Priority to BE2017/5447A priority Critical patent/BE1025386B1/en
Publication of BE1025386A1 publication Critical patent/BE1025386A1/en
Application granted granted Critical
Publication of BE1025386B1 publication Critical patent/BE1025386B1/en

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/28Applying non-metallic protective coatings
    • H05K3/282Applying non-metallic protective coatings for inhibiting the corrosion of the circuit, e.g. for preserving the solderability
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/62Plasma-deposition of organic layers
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/28Applying non-metallic protective coatings
    • H05K3/285Permanent coating compositions
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/09Shape and layout
    • H05K2201/09818Shape or layout details not covered by a single group of H05K2201/09009 - H05K2201/09809
    • H05K2201/09872Insulating conformal coating
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/09Treatments involving charged particles
    • H05K2203/095Plasma, e.g. for treating a substrate to improve adhesion with a conductor or for cleaning holes

Abstract

Een elektronische of elektrische inrichting of component daarvan omvattende een beschermende polymere coating op een oppervlak van de elektronische of elektrische inrichting of component daarvan, waarbij de polymere coating verkrijgbaar is door het blootstellen van de elektronische of elektrische inrichting of component daarvan aan een plasma die één of meer verzadigde monomeerverbindingen omvat gedurende een voldoende tijdsduur om de beschermende polymere coating op een oppervlak daarvan te laten vormen; waarbij de één of meer verzadigde monomeerverbindingen elk een smeltpunt bij standaard druk lager dan 45 °C en een kookpunt bij standaard druk lager dan 500 °C hebben.An electronic or electrical device or component thereof comprising a protective polymeric coating on a surface of the electronic or electrical device or component thereof, wherein the polymeric coating is obtainable by exposing the electronic or electrical device or component thereof to a plasma containing one or more saturated monomer compounds for a sufficient period of time to cause the protective polymer coating to form on a surface thereof; wherein the one or more saturated monomer compounds each have a melting point at standard pressure below 45 ° C and a boiling point at standard pressure below 500 ° C.

Description

CoatingCoating

Gebied van de uitvindingFIELD OF THE INVENTION

Deze uitvinding heeft betrekking op beschermende coatings. Met name, alhoewel niet uitsluitend, heeft de uitvinding betrekking op substraten met beschermende coatings daarop gevormd, alsmede op werkwijzen voor het vormen van beschermende coatings op substraten.This invention relates to protective coatings. In particular, although not exclusively, the invention relates to substrates with protective coatings formed thereon, as well as to methods for forming protective coatings on substrates.

Achtergrond van de uitvindingBACKGROUND OF THE INVENTION

Het is bekend dat elektronische en elektrische inrichtingen zeer gevoelig zijn voor schade veroorzaakt door verontreiniging met vloeistoffen zoals milieuvloeistoffen, in het bijzonder water. Contact met vloeistoffen, hetzij in de loop van normaal gebruik of als gevolg van een toevallige blootstelling, kan leiden tot kortsluiting tussen elektronische componenten, en onherstelbare schade aan printplaten, elektronische chips enz.It is known that electronic and electrical devices are very sensitive to damage caused by contamination with liquids such as environmental fluids, in particular water. Contact with liquids, whether in the course of normal use or as a result of accidental exposure, can lead to a short circuit between electronic components, and irreparable damage to printed circuit boards, electronic chips, etc.

Het probleem is vooral acuut in relatie tot kleine draagbare elektronische apparatuur, zoals mobiele telefoons, smartphones, pagers, radio's, gehoorapparaten, laptops, notebooks, tablet computers, phablets en persoonlijke digitale assistenten (PDA's), die kunnen worden blootgesteld aan significante verontreiniging met vloeistof wanneer ze binnen of buiten gebruikt worden in de nabijheid van vloeistoffen. Dergelijke inrichtingen zijn ook gevoelig voor toevallige blootstelling aan vloeistoffen, bijvoorbeeld bij vallen in vloeistof of door spetters.The problem is particularly acute in relation to small portable electronic devices, such as mobile phones, smartphones, pagers, radios, hearing aids, laptops, notebooks, tablet computers, phablets and personal digital assistants (PDAs) that can be exposed to significant liquid contamination when used indoors or outdoors in the presence of liquids. Such devices are also susceptible to accidental exposure to liquids, for example when falling into liquid or splashing.

Andere types van elektronische of elektrische inrichtingen kunnen gevoelig zijn voor schade voornamelijk door hun locatie, bijvoorbeeld buitenverlichting, radio-antennes en andere vormen van communicatieapparatuur.Other types of electronic or electrical devices can be susceptible to damage primarily due to their location, for example outdoor lighting, radio antennas and other forms of communication equipment.

Het is bekend dat het aanbrengen van een beschermende coating op elektronische substraten bijzondere moeilijkheden presenteert. Een elektronisch substraat kan in principe elke elektronische of elektrische inrichtingen of component zijn die ten minste één blootliggend elektrisch of elektronisch contactpunt omvat. Dergelijke substraten zijn bijzonder kwetsbaar, bijv, wegens elektrochemische migratie, en vereisen zeer effectieve bescherming als barrière en waterafstotend middel tegen vloeistoffen, vaak op complexe oppervlakken, bijv, printplaattopografieën.It is known that the application of a protective coating on electronic substrates presents particular difficulties. An electronic substrate can in principle be any electronic or electrical device or component that includes at least one exposed electrical or electronic contact point. Such substrates are particularly delicate, e.g., due to electrochemical migration, and require highly effective protection as a barrier and water-repellent against liquids, often on complex surfaces, e.g., print topographies.

Het is bekend om conforme coatings op elektronische of elektrische inrichtingen aan te brengen door natchemische technieken, zoals kwasten, spuiten en dompelen, om te beschermen tegen vocht, stof, chemicaliën en extreme temperaturen. Conforme coatings nemen de 3D-vorm van het substraat waarop zij worden gevormd aan en bedekken het geheleIt is known to apply conformal coatings to electronic or electrical devices by wet chemical techniques, such as brushing, spraying and dipping, to protect against moisture, dust, chemicals and extreme temperatures. Compliant coatings adopt the 3D shape of the substrate on which they are formed and cover the entire

2017/54472017/5447

BE2017/5447 oppervlak van het substraat. Zo is het bekend om relatief dikke beschermende coatings op elektronische substraten aan te brengen op basis van Parylene-technologie. Een aldus gevormde conforme coating heeft typisch een dikte van 30-130 μm voor een acrylhars, epoxyhars of urethaanhars en 50-210 μm voor een siliconenhars.BE2017 / 5447 surface of the substrate. For example, it is known to apply relatively thick protective coatings on electronic substrates based on Parylene technology. A conformal coating thus formed typically has a thickness of 30-130 μm for an acrylic resin, epoxy resin or urethane resin and 50-210 μm for a silicone resin.

Het gebruik van natchemische technieken om deze coatings te vormen heeft het nadeel van het vereiste gebruik van oplosmiddelen en bijbehorende milieubelasting. Bovendien laten natchemische technieken alleen toe dat blootliggende gebieden van de inrichting of component bekleed worden, dus verborgen gebieden, bijvoorbeeld uitsparingen achter componenten, kunnen onbeschermd gelaten worden. Voorbeelden van dergelijke verborgen gebieden op een mobiele telefoon omvatten het gebied onder de RF-schilden, de scherm FOG (flex op glas)-connector, de binnenste delen van ZIF (Zero Insertion Force)-connectoren.The use of wet chemical techniques to form these coatings has the disadvantage of the required use of solvents and associated environmental impact. In addition, wet chemical techniques only allow exposed areas of the device or component to be coated, so hidden areas, e.g. recesses behind components, can be left unprotected. Examples of such hidden areas on a mobile phone include the area under the RF shields, the screen FOG (flex on glass) connector, the inner parts of ZIF (Zero Insertion Force) connectors.

Bovendien kunnen elektrische of elektronische contactpunten van dergelijke substraten hun functie verliezen indien bedekt met een te dikke beschermende laag, vanwege verhoogde elektrische weerstand.In addition, electrical or electronic contact points of such substrates may lose their function if covered with a too thick protective layer due to increased electrical resistance.

Aangezien conforme coatings gevormd door natchemische technieken relatief dik zijn, worden contactpunten meestal gemaskeerd om afzetting van coating daarop te voorkomen. Dit leidt echter tot complexe bewerking die niet praktisch is op industriële schaal. Bovendien kan de relatief dikke coating verstopping op gebieden zoals roterende assen veroorzaken. Een alternatieve werkwijze voor het beschermen van elektronische en elektrische inrichtingen is de Splash-proof (TM)-spatwaterdicht-technologie van P2i, waarbij een ultradunne waterafstotende beschermende coating wordt aangebracht op zowel de buitenkant als de binnenkant van een samengestelde elektronische of elektrische inrichting. Dit beperkt binnendringen van vloeistoffen, terwijl bovendien voorkomen wordt dat binnengedrongen vloeistof zich binnen de inrichting verspreidt. Aldus wordt in de eerste plaats voorkomen dat het grootste deel van een verontreiniging met vloeistof de inrichting binnendringt, terwijl er wat extra bescherming binnen in de inrichting is die niet interfereert met de functionaliteit van contactpunten. Aangezien deze technologie echter betrekking heeft op een vloeistofafstotende coating in plaats van een fysische barrière, biedt deze in het algemeen slechts bescherming tegen spatvloeistof en niet tegen onderdompeling van het apparaat in vloeistof.Since conformal coatings formed by wet chemical techniques are relatively thick, contact points are usually masked to prevent coating from depositing thereon. However, this leads to complex processing that is not practical on an industrial scale. Moreover, the relatively thick coating can cause clogging in areas such as rotating shafts. An alternative method for protecting electronic and electrical devices is the Splash-proof (TM) splash proof technology from P2i, where an ultra-thin water-repellent protective coating is applied to both the outside and the inside of a composite electronic or electrical device. This limits the penetration of liquids, while moreover preventing penetrated liquid from spreading inside the device. Thus, in the first place, it is prevented that the majority of a contamination with liquid penetrates into the device, while there is some extra protection inside the device that does not interfere with the functionality of contact points. However, since this technology relates to a liquid-repellent coating rather than a physical barrier, it generally only provides protection against splash liquid and not against immersion of the device in liquid.

W02007/083122 beschrijft elektronische en elektrische inrichtingen met daarop een vloeistofafstotende polymere coating gevormd door blootstelling aan gepulst plasma omvattende een bepaalde monomeerverbinding, gedurende een voldoende tijdsperiode om een polymere coating op het oppervlak van de elektrische of elektronische inrichtingen te laten vormen. In het algemeen wordt een te behandelen artikel geplaatst in een plasmakamer samen met in de gasvormige toestand af te zetten materiaal, wordt een glimontlading in deWO2007 / 083122 discloses electronic and electrical devices having a liquid-repellent polymeric coating formed by exposure to pulsed plasma comprising a particular monomer compound, for a sufficient period of time to cause a polymeric coating to form on the surface of the electrical or electronic devices. In general, an article to be treated is placed in a plasma chamber together with material to be deposited in the gaseous state, a glow discharge in the

2017/54472017/5447

BE2017/5447 kamer ontstoken en wordt een geschikte spanning aangelegd, die kan worden gepulseerd. Deze octrooiaanvrage heeft betrekking op een vloeistofafstotende coating in plaats van een fysische barrière.BE2017 / 5447 chamber is ignited and a suitable voltage is applied which can be pulsed. This patent application relates to a liquid-repellent coating instead of a physical barrier.

Er blijft een behoefte in de techniek aan zeer effectieve beschermende coatings zonder de nadelen van coatings die door bekende werkwijzen toegepast worden. Dergelijke coatings kunnen verder de weerstand van substraten tegen vloeistoffen verbeteren en/of efficiëntere vervaardiging van beschermde substraten mogelijk maken, met name in de elektronicaindustrie. Het is een doel van de uitvinding om een oplossing voor dit probleem en/of ten minste één ander probleem van de stand van de techniek te verschaffen.There remains a need in the art for highly effective protective coatings without the disadvantages of coatings used by known methods. Such coatings can further improve the resistance of substrates to liquids and / or enable more efficient manufacture of protected substrates, in particular in the electronics industry. It is an object of the invention to provide a solution to this problem and / or at least one other problem of the prior art.

Verklaringen van de uitvindingExplanations of the invention

Volgens een aspect van de onderhavige uitvinding wordt een elektronische of elektrische inrichting of component daarvan verschaft, omvattende een beschermende polymere coating op een oppervlak van de elektronische of elektrische inrichting of component daarvan, waarbij de polymere coating verkrijgbaar is door het blootstellen van de elektronische of elektrische inrichting of component daarvan aan een plasma omvattende één of meer verzadigde monomeerverbindingen gedurende een voldoende tijdsduur om de beschermende polymere coating op een oppervlak daarvan te laten vormen; waarbij de één of meer verzadigde monomeerverbindingen elk een smeltpunt bij standaard druk lager dan 45 °C en een kookpunt bij standaard druk lager dan 500 °C hebben.According to an aspect of the present invention, an electronic or electrical device or component thereof is provided, comprising a protective polymeric coating on a surface of the electronic or electrical device or component thereof, wherein the polymeric coating is obtainable by exposing the electronic or electrical device or component thereof on a plasma comprising one or more saturated monomer compounds for a sufficient period of time to cause the protective polymer coating to form on a surface thereof; wherein the one or more saturated monomer compounds each have a melting point at standard pressure below 45 ° C and a boiling point at standard pressure below 500 ° C.

Bij voorkeur is elke verzadigde monomeerverbinding een verbinding met formule (I):Preferably, each saturated monomer compound is a compound of formula (I):

waarin elk van FL tot R4 onafhankelijk gekozen wordt uit waterstof, halogeen en een eventueel gesubstitueerde Ci-C6 cyclische, vertakte of rechte alkylgroep en n van 1 tot 24 is.wherein each of FL to R 4 is independently selected from hydrogen, halogen and an optionally substituted C 1 -C 6 cyclic, branched or straight chain alkyl group and n is from 1 to 24.

De onderhavige uitvinding verschaft een beschermende polymere coating op een oppervlak van de elektronische of elektrische inrichting of component daarvan door het polymeriseren van verzadigde monomeerverbindingen. De voordelen van gebruik van een verzadigd monomeer als uitgangsmateriaal voor de beschermende polymere coating komt voort uit het feit dat ze stabieler zijn dan onverzadigde monomeren (en niet zoals de onverzadigde monomeren polymeriseren), zodat ze gemakkelijk kunnen worden opgeslagen enThe present invention provides a protective polymeric coating on a surface of the electronic or electrical device or component thereof by polymerizing saturated monomer compounds. The advantages of using a saturated monomer as a starting material for the protective polymeric coating stems from the fact that they are more stable than unsaturated monomers (and not like the unsaturated monomers polymerize), so that they can easily be stored and

2017/54472017/5447

BE2017/5447 getransporteerd. Om dezelfde reden is er geen noodzaak om remmers van vrije radicalen (stabilisatoren) toe te voegen en is er geen noodzaak om hun effecten op opslag en op het polymerisatieproces te overwegen. Bovendien, aangezien de verzadigde monomeren vaak minder gefunctionaliseerd zijn dan onverzadigde monomeren, kunnen ze ook goedkoper zijn dan onverzadigde monomeren.BE2017 / 5447 transported. For the same reason, there is no need to add free radical inhibitors (stabilizers) and there is no need to consider their effects on storage and on the polymerization process. In addition, since the saturated monomers are often less functionalized than unsaturated monomers, they can also be cheaper than unsaturated monomers.

Hoogenergetische omstandigheden zijn nodig om verzadigde monomeren te polymeriseren, dat wil zeggen monomeren zonder polymeriseerbare structuur zoals een dubbele of drievoudige binding. Dit betekent dat tijdens het polymerisatieproces aanzienlijke fragmentatie van het koolwaterstof plaatsvindt, hetgeen leidt tot vernetting van de monomeren. Plasmapolymerisatie met gebruik van verzadigde moleculen zoals hierin beschreven is niet plaatsspecifiek door het ontbreken van de onverzadigde bindingen. Dit leidt tot vernette structuren. De aanwezigheid van een groter deel van vernetting in het polymeer betekent dat de polymere coating dichter is en een fysische barrière voor massa- en elektronentransport verschaft (d.w.z. diffusie van water, zuurstof en ionen beperkt).High-energy conditions are needed to polymerize saturated monomers, i.e., monomers without a polymerizable structure such as a double or triple bond. This means that considerable fragmentation of the hydrocarbon takes place during the polymerization process, which leads to cross-linking of the monomers. Plasma polymerization using saturated molecules as described herein is not site-specific due to the absence of unsaturated bonds. This leads to cross-linked structures. The presence of a larger proportion of crosslinking in the polymer means that the polymeric coating is denser and provides a physical barrier for mass and electron transport (i.e., limits diffusion of water, oxygen, and ions).

Bij voorkeur heeft de verzadigde monomeerverbinding een smeltpunt bij standaard druk lager dan 40 °C, eventueel lager dan 35 °C, liefst minder dan 30 Ό. Bij voorkeur heeft de verzadigde monomeerverbinding een kookpunt bij standaard druk lager dan 450 °C, eventueel lager dan 400 °C, eventueel lager dan 350 °C, liefst lager dan 300 Ό.Preferably the saturated monomer compound has a melting point at standard pressure lower than 40 ° C, optionally lower than 35 ° C, most preferably less than 30 Ό. Preferably, the saturated monomer compound has a boiling point at standard pressure below 450 ° C, optionally below 400 ° C, optionally below 350 ° C, most preferably below 300 ° C.

De waarde van n kan van 1 tot 22, 1 tot 18, 1 tot 16 zijn, of in een voorkeursuitvoeringsvorm is n van 8 tot 14, eventueel is n 12.The value of n can be from 1 to 22, 1 to 18, 1 to 16, or in a preferred embodiment, n is from 8 to 14, optionally n is 12.

Het halogeen kan chloor of broom zijn, maar is bij voorkeur fluor overeenkomstig RoHSregelgeving (Restriction of Hazardous Substances). Het monomeer kan een perfluoralkaan zijn. Het monomeer kan 1,2,3, 4, 5 of 6 fluorgroepen bevatten.The halogen can be chlorine or bromine, but is preferably fluorine in accordance with RoHS regulations (Restriction of Hazardous Substances). The monomer can be a perfluoroalkane. The monomer can contain 1,2,3, 4, 5 or 6 fluorine groups.

In één uitvoeringsvorm wordt elk van Rt tot R4 onafhankelijk gekozen uit waterstof en een eventueel gesubstitueerde Ci-C6 vertakte of rechte alkylgroep. De vakman zou zich bewust zijn van mogelijke Substituenten voor de Ch-Ce cyclische, vertakte of rechte alkylgroep. De vakman zal beseffen dat elke C^-Ce cyclische, vertakte of rechte alkylgroep gesubstitueerd kan zijn met één of meer verzadigde functionele groepen. Indien de alkylgroep gesubstitueerd is, is een geprefereerde substituent halogeen, d.w.z. elk van Rt tot R4 kan halogeenalkyl zijn, bij voorkeur fluoralkyl. Een alkylgroep kan gesubstitueerd zijn met één of meer fluorgroepen. Elk van Rt tot R4 kan gesubstitueerd zijn met 1,2, 3, 4, 5 of 6 fluorgroepen. Elk van Rt tot R4 kan een perfluoralkylgroep zijn. Elk van de alkylgroepen kan ook gesubstitueerd zijn met één of meer hydroxylgroepen.In one embodiment, each of R 1 to R 4 is independently selected from hydrogen and an optionally substituted C 1 -C 6 branched or straight chain alkyl group. The skilled person would be aware of possible substituents for the C 6 -C 6 cyclic, branched or straight chain alkyl group. Those skilled in the art will realize that any C 1 -C 6 cyclic, branched or straight-chain alkyl group may be substituted with one or more saturated functional groups. If the alkyl group is substituted, a preferred substituent is halogen, ie any of R 1 to R 4 can be haloalkyl, preferably fluoroalkyl. An alkyl group can be substituted with one or more fluorine groups. Each of R 1 to R 4 can be substituted with 1,2, 3, 4, 5 or 6 fluorine groups. Each of R 1 to R 4 can be a perfluoroalkyl group. Each of the alkyl groups can also be substituted with one or more hydroxyl groups.

2017/54472017/5447

BE2017/5447BE2017 / 5447

Eventueel kan elke CrCe-alkyl groep onafhankelijk gekozen worden uit methyl, ethyl, n-propyl, isopropyl, n-butyl, isobutyl, tert-butyl, sec-butyl, n-pentyl, neopentyl, n-hexyl, isohexyl, en 3methylpentyl.Optionally, any C 1 -C 6 alkyl group can be independently selected from methyl, ethyl, n-propyl, isopropyl, n-butyl, isobutyl, tert-butyl, sec-butyl, n-pentyl, neopentyl, n-hexyl, isohexyl, and 3-methyl pentyl.

In een voorkeursuitvoeringsvorm zijn Rt en R4 beide methyl.In a preferred embodiment, R 1 and R 4 are both methyl.

In een voorkeursuitvoeringsvorm worden R2 en R3 elk onafhankelijk gekozen uit waterstof en methyl. In een voorkeursuitvoeringsvorm is elke R2 en R3 waterstof.In a preferred embodiment, R 2 and R 3 are each independently selected from hydrogen and methyl. In a preferred embodiment, each R 2 and R 3 is hydrogen.

In één voorkeursuitvoeringsvorm zijn Rt en R4 beide methyl en is elke R2 en R3 waterstof,In one preferred embodiment, R 1 and R 4 are both methyl and each R 2 and R 3 is hydrogen,

d.w.z. het monomeer is een rechtketenige alkaan. In een bijzonder geprefereerde uitvoeringsvorm zijn Rt en R4 beide methyl, is elke R2 en R3 waterstof en is n van 8 tot 14, liefst 12.ie the monomer is a straight-chain alkane. In a particularly preferred embodiment, R 1 and R 4 are both methyl, each R 2 and R 3 is hydrogen and n is from 8 to 14, most preferably 12.

Het monomeer kan een Ci-C2i rechtketenige alkaan, een Ci-C8 rechtketenige alkaan, een C9C18 rechtketenige alkaan of een C13-C16 rechtketenige alkaan zijn. Het monomeer kan een C4C24 vertakte alkaan, een C4-C8 vertakte alkaan, een C9-C22 vertakte alkaan of een C13-C16 vertakte alkaan zijn. Het zal duidelijk zijn dat het maximum aantal koolstofatomen voor een vertakte alkaanmonomeer hoger zal zijn dan het maximum aantal koolstofatomen voor een rechtketenige monomeer om aan de eis te voldoen dat het smeltpunt van het monomeer bij standaard druk lager dan 45 Ό is en het kookpunt bij standaard druk lager dan 500 Ό is.The monomer can be a C 1 -C 2 straight-chain alkane, a C 1 -C 8 straight-chain alkane, a C 9 C 18 straight-chain alkane or a C 13 -C 16 straight-chain alkane. The monomer can be a C 4 -C 24 branched alkane, a C 4 -C 8 branched alkane, a C 9 -C 22 branched alkane or a C 13 -C 16 branched alkane. It will be appreciated that the maximum number of carbon atoms for a branched alkane monomer will be higher than the maximum number of carbon atoms for a straight-chain monomer to satisfy the requirement that the melting point of the monomer at standard pressure is less than 45 en and the boiling point at standard pressure is less than 500 Ό.

Bij voorkeur wordt het monomeer gekozen uit methaan, ethaan, propaan, n-butaan, isobutaan, n-pentaan, isopentaan, neo-pentaan, n-hexaan, 2-methylpentaan, 3-methylpentaan, 2,225 dimethylbutaan, 2,3-dimethylbutaan, n-heptaan, 2-methylhexaan, 3-methylhexaan, 2,2dimethylpentaan, 2,3-dimethylpentaan, 2,4-dimethylpentaan, 3,3-dimethylpentaan, 3ethylpentaan, 2 , 2,3-trimethylpentaan, n-octaan, 2-methylheptaan, 3-methylheptaan, 4methylheptaan, 2,2-dimethylhexaan, 2,3-dimethylhexaan, 2,4-dimethylhexaan, 2,5dimethylhexaan, 3,3 dimethylhexaan, 3,4-dimethylhexaan, 3-ethylhexaan, 2,2,330 trimethylpentaan, 2,2,4-trimethylpentaan, 2,3,3-trimethylpentaan, 2,3,4-trimethylpentaan, 3ethyl-2-methylpentaan, 3-ethyl-3-methylpentaan, 2,2,3,3-tetramethylbutaan, n-nonaan en isomeren daarvan, n-decaan en isomeren daarvan, n-undecaan en isomeren daarvan, ndodecaan en isomeren daarvan, n-tridecaan en isomeren daarvan, n-tetradecaan en isomeren daarvan, n-pentadecaan en isomeren daarvan, en n-hexadecaan en isomeren daarvan. Een bijzonder geprefereerde monomeerverbinding is n-tetradecaan. Ook geschikt is 2,2,4,4,6,8,8heptamethylnonaan.Preferably, the monomer is selected from methane, ethane, propane, n-butane, isobutane, n-pentane, isopentane, neopentane, n-hexane, 2-methylpentane, 3-methylpentane, 2,225 dimethylbutane, 2,3-dimethylbutane, n-heptane, 2-methylhexane, 3-methylhexane, 2,2-dimethylpentane, 2,3-dimethylpentane, 2,4-dimethylpentane, 3,3-dimethylpentane, 3ethylpentane, 2, 2,3-trimethylpentane, n-octane, 2- methylheptane, 3-methylheptane, 4-methylheptane, 2,2-dimethylhexane, 2,3-dimethylhexane, 2,4-dimethylhexane, 2,5-dimethylhexane, 3,3 dimethylhexane, 3,4-dimethylhexane, 3-ethylhexane, 2,2,330 trimethylpentane, 2,2,4-trimethylpentane, 2,3,3-trimethylpentane, 2,3,4-trimethylpentane, 3ethyl-2-methylpentane, 3-ethyl-3-methylpentane, 2,2,3,3-tetramethylbutane, n- nonane and isomers thereof, n-decane and isomers thereof, n-undecane and isomers thereof, ndodecane and isomers thereof, n-tridecane and isomers thereof, n-tetradecane and isomers thereof, n-pentadecane and isomers thereof, and n-hexadecane and isomeric one of them. A particularly preferred monomer compound is n-tetradecane. 2,2,4,4,6,8,8 heptamethyl nonane is also suitable.

Tabel 1 geeft een lijst van geschikte rechtketenige alkaanmonomeren en hun overeenkomstige smelt- en kookpunten bij standaard (atmosferische) druk.Table 1 gives a list of suitable straight chain alkane monomers and their corresponding melting and boiling points at standard (atmospheric) pressure.

2017/54472017/5447

BE2017/5447BE2017 / 5447

n n n-Alkaan n-Alkane smeltpunt /°C melting point / ° C kookpunt /°C b.p. / ° C 1 1 methaan methane -183 -183 -161 -161 2 2 ethaan ethane -172 -172 -88 -88 3 3 propaan propane -188 -188 -42,1 -42.1 4 4 butaan butane -138 -138 -0,5 -0.5 5 5 pentaan pentane -130 -130 35-36 35-36 6 6 hexaan hexane -95 -95 69 69 7 7 heptaan heptane -91 -91 98 98 8 8 octaan octane -57 -57 125-127 125-127 9 9 nonaan nonane -53 -53 151 151 10 10 decaan dean -30 -30 174 174 11 11 undecaan undecane -26 -26 196 196 12 12 dodecaan dodecan -9,6 -9.6 215-217 215-217 13 13 tridecaan tridecan -6- -4 -6- -4 110-112 110-112 14 14 tetradecaan tetradecan 5,5 5.5 252-254 252-254 15 15 pentadecaan pentadecane 8-10 8-10 270 270 16 16 hexadecaan hexadecane 18 18 287 287 17 17 heptadecaan hepttadean 20-22 20-22 302 302 18 18 octadecaan octadecane 26-29 26-29 317 317 19 19 nonadecaan nonadecan 30-34 30-34 330 330 21 21 heneicosaan heneicosane 39-42 39-42 356 356

Tabel 1Table 1

Chemische structuren voor sommige vertakte alkaanmonomeren die de voorkeur, hebben, worden hieronder weergegeven:Preferred chemical structures for some branched alkane monomers are shown below:

2017/54472017/5447

BE2017/5447 'SBE2017 / 5447

Z6 >.·< jr' ' W MsZ6>. · <Yr '' W Ms

,. Λ r,. Λ r

V /11 ✓*V / 11 ✓ *

S., '--·y..-r i V /(( >s.S., '- · y ..- r i V / ((> s.

mp S Ό bp 295 -!C xj z <mp S Ό bp 295 - ! C xj z <

K'f bp 220 VC > : ic f K'f bp 220 V C>: ic f

i. /8 'x mp >· j l /9 mp’ -Μ ’’C bp 298 'Ό .-•L,*· ,..· \ /14i. / 8 'x mp> · j l / 9 mp "-Μ" "C bp 298" Ό .- • L, * ·, .. · \ / 14

367 C •mpTS:i'C bp 37Û 0 „,J.367 C • mpTS : i 'C bp 37Û 0 „, J.

\Z’ 'S'\ Z "" S "

T r 'TT r 'T

-'s...-'s ...

-23 °G bp 274 “Ci:-23 ° G bp 274 "Ci:

mp mp = smeltpunt; bp = kookpuntmp mp = melting point; bp = boiling point

Het plasma kan een enkele monomeerverbinding omvatten. In dit geval wordt de coating 5 gevormd door polymerisatie van de enkele monomeerverbinding.The plasma can comprise a single monomer compound. In this case, the coating 5 is formed by polymerization of the single monomer compound.

2017/54472017/5447

BE2017/5447BE2017 / 5447

Alternatief kan het plasma twee verschillende monomeerverbindingen omvatten. In dit geval wordt de coating gevormd door polymerisatie van de twee verschillende monomeerverbindingen om een co-polymeer te vormen. Bijvoorbeeld kan het plasma een monomeerverbinding en een co-monomeerverbinding omvatten, waarbij de monomeer- en comonomeerverbindingen verschillende chemische structuren volgens formule (I) hebben. Meer dan twee verschillende monomeerverbindingen kunnen ook worden overwogen.Alternatively, the plasma may comprise two different monomer compounds. In this case, the coating is formed by polymerizing the two different monomer compounds to form a copolymer. For example, the plasma may comprise a monomer compound and a co-monomer compound, wherein the monomer and comonomer compounds have different chemical structures according to formula (I). More than two different monomer compounds can also be considered.

Het gebruik van twee of meer verschillende monomeerverbindingen maakt het mogelijk dat de coatingseigenschappen worden aangepast (bijvoorbeeld hardheid, oppervlakuitvoering en etsen en polymeergroei aan het substraat-/coatingsgrensvlak). Bijvoorbeeld voor coatings in gebieden die onderhevig zijn aan slijtage, kan de co-monomeer geselecteerd worden om een sterker raakvlak te creëren met het substraatoppervlak en/of een deklaag bovenop om de coating te beschermen.The use of two or more different monomer compounds allows the coating properties to be adjusted (e.g., hardness, surface finish and etching, and polymer growth at the substrate / coating interface). For example, for coatings in areas subject to wear, the co-monomer can be selected to create a stronger interface with the substrate surface and / or a top layer to protect the coating.

In een voorkeursuitvoeringsvorm is de beschermende polymere coating een fysische barrière.In a preferred embodiment, the protective polymeric coating is a physical barrier.

De term fysische barrière wordt gebruikt in de betekenis dat de coating de elektronische of elektrische inrichting of component daarvan beschermt door een fysische barrière voor massaen elektronentransport te verschaffen, hetgeen de diffusie van water, zuurstof en ionen met tijd/spanning beperkt.The term physical barrier is used in the sense that the coating protects the electronic or electrical device or component thereof by providing a physical barrier for masses of electron transport, which limits the diffusion of water, oxygen and ions with time / voltage.

De coating kan een oppervlak gedefinieerd door een statische watercontacthoek (WCA) van ten minste 70° vormen. Coatings met een WCA van ten minste 90° kunnen worden beschreven als vloeistofafstotend (typisch waterafstotend). In dit geval bereikt de coating het vloeistofafstotend zijn in aanvulling op het verschaffen van een fysische barrière. Voor gefluoreerde polymeren kan de coating een statische watercontacthoek van ten minste 100° hebben. De contacthoek van een vloeistof op een vast substraat geeft een indicatie van de oppervlakte-energie, hetgeen weer de vloeistofafstotende eigenschappen van het substraat illustreert. Contacthoeken kunnen worden gemeten op een VCA Optimacontacthoekanalysator, met gebruik van druppels van 3 μΙ gedeïoniseerd water bij kamertemperatuur.The coating can form a surface defined by a static water contact angle (WCA) of at least 70 °. Coatings with a WCA of at least 90 ° can be described as liquid-repellent (typically water-repellent). In this case, the coating achieves liquid repellency in addition to providing a physical barrier. For fluorinated polymers, the coating can have a static water contact angle of at least 100 °. The contact angle of a liquid on a solid substrate gives an indication of the surface energy, which in turn illustrates the liquid-repellent properties of the substrate. Contact angles can be measured on a VCA Optima contact angle analyzer, using drops of 3 μΙ deionized water at room temperature.

Bij een bijzonder geprefereerde uitvoeringsvorm is de beschermende polymere coating een conforme polymere coating over een oppervlak van de inrichting of component daarvan.In a particularly preferred embodiment, the protective polymeric coating is a conformal polymeric coating over a surface of the device or component thereof.

Wanneer de coating conform is, betekent dit dat deze de 3D-vorm van de elektronische of elektrische inrichting of component daarvan aanneemt en in hoofdzaak een geheel oppervlak van de inrichting bedekt. Dit heeft het voordeel te verzekeren dat de coating voldoende dikte heeft om optimale functionaliteit te geven over een geheel oppervlak van de inrichting of component. De betekenis van de term bedekt in hoofdzaak een geheel oppervlak zalWhen the coating conforms, it means that it takes on the 3D shape of the electronic or electrical device or component thereof and substantially covers an entire surface of the device. This has the advantage of ensuring that the coating has sufficient thickness to provide optimum functionality over an entire surface of the device or component. The meaning of the term essentially covers an entire surface

2017/54472017/5447

BE2017/5447 enigszins afhangen van het type te bedekken oppervlak. Bijvoorbeeld kan het voor sommige componenten nodig zijn om volledige bedekking van het oppervlak te hebben, zodat de component zal functioneren na onderdompeling in water. Echter, voor andere componenten of behuizingen kunnen kleine gaten in de bedekking worden getolereerd.BE2017 / 5447 depend somewhat on the type of surface to be covered. For example, for some components it may be necessary to have complete coverage of the surface so that the component will function after immersion in water. However, for other components or housings, small holes in the cover can be tolerated.

De aanvragers hebben ontdekt dat een conforme coating die een fysische barrière vormt, kan worden gevormd bij veel lagere dikte dan in de stand der techniek bereikt. Deze nieuwe dunnere coating biedt de bescherming van een fysische barrière met gebruik van minder monomeer en met een kortere verwerkingstijd, hetgeen dus zowel ecologische als 10 economische voordelen heeft.Applicants have discovered that a conformal coating that forms a physical barrier can be formed at much lower thickness than achieved in the prior art. This new thinner coating offers the protection of a physical barrier with the use of less monomer and with a shorter processing time, which therefore has both ecological and economic advantages.

De coating van de onderhavige uitvinding is voldoende dun om verstopping in kritieke gebieden zoals roterende assen te voorkomen.The coating of the present invention is sufficiently thin to prevent clogging in critical areas such as rotating shafts.

De coating van de onderhavige uitvinding is dun genoeg om elektrische verbinding met elektrische contactpunten mogelijk te maken zonder voorafgaande verwijdering van de coating, dus zonder de noodzaak dat elektrische contactpunten worden gemaskeerd tijdens het coatingsproces. Dit is bijzonder voordelig voor componenten zoals ZIF (Zero Insertion Forcej-connectoren, hoofdtelefoonaansluitingen en simkaart-slots.The coating of the present invention is thin enough to allow electrical connection to electrical contacts without prior removal of the coating, i.e. without the need for electrical contacts to be masked during the coating process. This is particularly advantageous for components such as ZIF (Zero Insertion Forcej connectors, headphone connections and SIM card slots.

Verschillende connectoren brengen verschillende krachten aan op het contactpunt (en dus coating) en kunnen verschillende oppervlakprofielen in contact met het contactpunt (bijvoorbeeld platte, ronde of puntige) hebben. Voorbeelden van geschikte connectoren omvatten ZIF-connectoren, RF-connectoren, veegcontacten, contacten met hoge 25 overblijvende contactkracht (evenwichtskracht na het inbrengen), veerconnectoren, hoofdtelefoonconnectoren en simkaart-slots. Ten behoeve van de onderhavige uitvinding wordt het feit of een elektrische verbinding door een coating kan worden gemaakt, bepaald met gebruik van een ZIF- of RF-connector.Different connectors apply different forces to the contact point (and therefore coating) and may have different surface profiles in contact with the contact point (e.g. flat, round or pointed). Examples of suitable connectors include ZIF connectors, RF connectors, wipe contacts, contacts with high residual contact force (equilibrium force after insertion), spring connectors, headphone connectors and SIM card slots. For the purposes of the present invention, the fact whether an electrical connection can be made through a coating is determined using a ZIF or RF connector.

De beschermende polymere coating kan een dikte hebben van 50 tot 10.000 nm, eventueel 50 tot 8000 nm, 100 tot 5000 nm, bij voorkeur 250 nm - 5000 nm, met de meeste voorkeur 250 nm - 2000 nm. Coatings onder 2000 nm tonen goede resultaten voor verbindingen met hoofdtelefoons door de coating. Coatings onder 1000 nm tonen bijzonder goede resultaten met verbindingen naar veerconnectoren en simkaart-slots door de coatings.The protective polymeric coating may have a thickness of 50 to 10,000 nm, optionally 50 to 8000 nm, 100 to 5000 nm, preferably 250 nm - 5000 nm, most preferably 250 nm - 2000 nm. Coatings below 2000 nm show good results for connections to headphones through the coating. Coatings below 1000 nm show particularly good results with connections to spring connectors and SIM card slots through the coatings.

De beschermende polymere coating kan een conforme fysische barrière vormen over in hoofdzaak een buiten- en/of binnenoppervlak van de inrichting. Zo kan de beschermende polymere coating een conforme fysische barrière vormen over in hoofdzaak een geheel buitenoppervlak van de elektronische of elektrische inrichting of component daarvan.The protective polymeric coating can form a conformal physical barrier over substantially an outer and / or inner surface of the device. Thus, the protective polymeric coating can form a conforming physical barrier over substantially an entire outer surface of the electronic or electrical device or component thereof.

2017/54472017/5447

BE2017/5447BE2017 / 5447

In één uitvoeringsvorm omvat de elektronische of elektrische inrichting of component daarvan een behuizing en vormt de beschermende coating een conforme fysische barrière over in hoofdzaak een geheel buiten- en/of binnenoppervlak van de behuizing en/of op oppervlakken van componenten binnen de behuizing.In one embodiment, the electronic or electrical device or component thereof comprises a housing and the protective coating forms a conformal physical barrier over substantially an entire outer and / or inner surface of the housing and / or on surfaces of components within the housing.

In één uitvoeringsvorm omvat de elektronische of elektrische inrichting of component daarvan een behuizing en vormt de beschermende polymere coating een conforme fysische barrière over in hoofdzaak een geheel binnenoppervlak van de behuizing en/of oppervlakken van componenten binnen de behuizing. In deze uitvoeringsvorm wordt passende bescherming geboden door de coating op de binnenoppervlakken; het buitenoppervlak van de behuizing hoeft niet voorzien te zijn van een coating, hetgeen voordelig kan zijn voor cosmetische gebieden alsmede het verminderen van verwerkingsstappen.In one embodiment, the electronic or electrical device or component thereof comprises a housing and the protective polymeric coating forms a conformal physical barrier over substantially an entire inner surface of the housing and / or surfaces of components within the housing. In this embodiment, suitable protection is provided by the coating on the inner surfaces; the outer surface of the housing does not have to be coated, which can be advantageous for cosmetic areas as well as reducing processing steps.

Het gebruik van plasmapolymerisatie verschaft een coating met goede dikte en homogeniteit van kwaliteit en laat niet-blootgestelde gebieden op de elektronische of elektrische inrichting of component daarvan bekleed worden, bijvoorbeeld uitsparingen achter componenten die niet toegankelijk zouden zijn met gebruik van natchemische technieken. Bovendien heeft het gebruik van plasmapolymerisatie het voordeel dat het een schone techniek is die niet het gebruik van oplosmiddelen vereist.The use of plasma polymerization provides a coating of good thickness and quality of homogeneity and allows non-exposed areas on the electronic or electrical device or component thereof to be coated, for example, recesses behind components that would not be accessible using wet chemical techniques. In addition, the use of plasma polymerization has the advantage that it is a clean technique that does not require the use of solvents.

De coating kan één of meer beschermende polymere coatingslagen omvatten.The coating can comprise one or more protective polymeric coating layers.

Bij voorkeur is de beschermende polymere coating elektrisch isolerend.Preferably, the protective polymeric coating is electrically insulating.

In één uitvoeringsvorm kan de elektronische of elektrische inrichting of component onderdompeling in maximaal 1 meter water gedurende meer dan 30 minuten zonder falen of corrosie weerstaan terwijl vermogen wordt aangebracht op de elektronische of elektrische inrichting of component.In one embodiment, the electronic or electrical device or component can withstand immersion in up to 1 meter of water for more than 30 minutes without failure or corrosion while power is applied to the electronic or electrical device or component.

Eventueel, wanneer de beschermende polymere coating wordt aangebracht op een test printplaat (PCB), heeft deze een weerstand van 8 MOhm of hoger wanneer ondergedompeld in water en een spanning van minimaal 16 V/mm (bijvoorbeeld 8 V over een 0,5 mm spleet tussen elektroden) wordt aangelegd gedurende minimaal 13 minuten.Optionally, when the protective polymeric coating is applied to a test circuit board (PCB), it has a resistance of 8 MOhm or higher when immersed in water and a voltage of at least 16 V / mm (e.g. 8 V over a 0.5 mm gap between electrodes) is applied for a minimum of 13 minutes.

In één uitvoeringsvorm is de coating elektrisch isolerend en is de coating voldoende flexibel dat elektrische connectoren met de elektronische of elektrische inrichting of component daarvan verbonden kunnen worden en een elektrische verbinding tussen de elektrischeIn one embodiment, the coating is electrically insulating and the coating is sufficiently flexible that electrical connectors can be connected to the electronic or electrical device or component thereof and an electrical connection between the electrical

2017/54472017/5447

BE2017/5447 connectoren en elektronische of elektrische inrichting of component daarvan gemaakt kan worden zonder de noodzaak om eerst de coating te verwijderen.BE2017 / 5447 connectors and electronic or electrical device or component thereof can be made without the need to first remove the coating.

Eventueel is de coating elektrisch isolerend en maakt een kracht kleiner dan 100 g aangebracht op de coating met gebruik van een ronde sonde met een diameter van 1 mm het mogelijk om een elektrische verbinding met de elektronische of elektrische inrichting of component daarvan te maken in de lokale omgeving is waar de kracht is aangebracht.Optionally, the coating is electrically insulating and a force of less than 100 g applied to the coating using a round probe with a diameter of 1 mm makes it possible to make an electrical connection to the electronic or electrical device or component thereof in the local environment is where the force is applied.

Eventueel is de coating elektrisch isolerend en heeft een dikte van 150 nm tot 1.000 nm en maakt een kracht van minder dan 65 g aangebracht op de coating met gebruik van een ronde sonde met een diameter van 1 mm het mogelijk om een elektrische verbinding te maken in de lokale omgeving van de coating waar de kracht is aangebracht.Optionally, the coating is electrically insulating and has a thickness of 150 nm to 1,000 nm and a force of less than 65 g applied to the coating using a round probe with a diameter of 1 mm makes it possible to make an electrical connection in the local environment of the coating where the force has been applied.

Eventueel omvat de elektronische of elektrische inrichting of component daarvan ten minste één elektrisch contact en waarbij het ten minste ene contact door de coating bedekt is.Optionally, the electronic or electrical device or component thereof comprises at least one electrical contact and wherein the at least one contact is covered by the coating.

De elektronische of elektrische inrichting of component daarvan wordt bij voorkeur gekozen uit mobiele telefoons, smartphones, pagers, radio's, geluids- en audiosystemen zoals luidsprekers, microfoons, ringers en/of zoemers, gehoorapparaten, persoonlijke audio20 apparatuur zoals persoonlijke cd-, cassetteband- of MP3-spelers, televisies, dvd-spelers met inbegrip van draagbare dvd-spelers, videorecorders, digi- en andere set-top-boxen, computers en aanverwante componenten, zoals laptop, notebook, tablet, phablet, palmtop computers, persoonlijke digitale assistenten (PDA's), toetsenborden, of instrumentatie, gameconsoles, gegevensopslaginrichtingen, buitenverlichtingssystemen, radio-antennes en andere communicatieapparatuur en printplaten.The electronic or electrical device or component thereof is preferably selected from mobile telephones, smartphones, pagers, radios, sound and audio systems such as speakers, microphones, ringers and / or buzzers, hearing aids, personal audio equipment such as personal CD, cassette tape or MP3 players, televisions, DVD players including portable DVD players, VCRs, digital and other set-top boxes, computers and related components such as laptop, notebook, tablet, phablet, palmtop computers, personal digital assistants ( PDAs), keyboards, or instrumentation, game consoles, data storage devices, outdoor lighting systems, radio antennas and other communication equipment and printed circuit boards.

In voorkeursuitvoeringsvormen van de uitvinding kan het substraat een elektronische component, bijv, een printplaat (PCB), een printplaat-array (PCBA), een transistor-, weerstandof halfgeleider-chip, omvatten of daaruit bestaan. De elektronische component kan dus een interne component zijn van een elektronisch apparaat, bijv, een mobiele telefoon. De coatings van de uitvinding zijn bijzonder waardevol bij het voorkomen van elektrochemische migratie in dergelijke componenten.In preferred embodiments of the invention, the substrate may comprise or consist of an electronic component, e.g., a printed circuit board (PCB), a printed circuit board array (PCBA), a transistor, resistor or semiconductor chip. The electronic component can thus be an internal component of an electronic device, for example, a mobile telephone. The coatings of the invention are particularly valuable in preventing electrochemical migration in such components.

In een verder aspect verschaft de onderhavige uitvinding een werkwijze voor het behandelen van een elektronische of elektrische inrichting of component volgens één van de voorgaande conclusies, omvattende:In a further aspect, the present invention provides a method for handling an electronic or electrical device or component according to any of the preceding claims, comprising:

het blootstellen van de elektronische of elektrische inrichting of component daarvan aan een plasma dat één of meer verzadigde monomeerverbindingen omvat gedurende een voldoendeexposing the electronic or electrical device or component thereof to a plasma comprising one or more saturated monomer compounds for a sufficient time

2017/54472017/5447

BE2017/5447 tijdsperiode om een beschermende polymere coating op een oppervlak daarvan te laten vormen; waarbij de één of meer verzadigde monomeerverbindingen elk een smeltpunt bij standaard druk lager dan 45 °C en een kookpunt bij standaard druk lager dan 500 °C hebben.BE2017 / 5447 time period to cause a protective polymer coating to form on a surface thereof; wherein the one or more saturated monomer compounds each have a melting point at standard pressure below 45 ° C and a boiling point at standard pressure below 500 ° C.

Bij voorkeur is elk monomeer een verbinding met formule (I):Preferably, each monomer is a compound of formula (I):

j Yj Y

L ' J n waarin elk van R; tot R4 onafhankelijk gekozen wordt uit waterstof, halogeen en een eventueel gesubstitueerde C^-Ce vertakte of rechte alkylgroep en n van 1 tot 24 is.L 'J n wherein each of R; until R 4 is independently selected from hydrogen, halogen and an optionally substituted C 1 -C 6 branched or straight chain alkyl group and n is from 1 to 24.

De monomeerverbinding is zoals in detail hierboven gedefinieerd.The monomer compound is as defined in detail above.

Eventueel wordt de coating opgebouwd in opeenvolgende lagen.Optionally, the coating is built up in successive layers.

Het plasma kan één monomeerverbinding omvatten. In dit geval wordt de coating gevormd door polymerisatie van de enkele monomeerverbinding.The plasma can comprise one monomer compound. In this case, the coating is formed by polymerization of the single monomer compound.

Alternatief kan het plasma twee verschillende monomeerverbindingen omvatten. In dit geval wordt de coating gevormd door polymerisatie van de twee verschillende monomeerverbindingen om een co-polymeer te vormen. Bijvoorbeeld kan het plasma een monomeerverbinding en een co-monomeerverbinding omvatten, waarbij de monomeer- en comonomeerverbindingen verschillende chemische structuren volgens formule (I) hebben. Meer dan twee verschillende monomeerverbindingen kunnen ook worden overwogen.Alternatively, the plasma may comprise two different monomer compounds. In this case, the coating is formed by polymerizing the two different monomer compounds to form a copolymer. For example, the plasma may comprise a monomer compound and a co-monomer compound, wherein the monomer and comonomer compounds have different chemical structures according to formula (I). More than two different monomer compounds can also be considered.

De coating kan één of meer coatingslagen omvatten, waarbij de totale dikte van de één of meer coatingslagen binnen het bereik volgens het eerste aspect is. Als alternatief kan de coating één of meer coatingslagen omvatten, waarbij de dikte van elke coatingslaag binnen het bereik volgens het eerste aspect is.The coating can comprise one or more coating layers, the total thickness of the one or more coating layers being within the range according to the first aspect. Alternatively, the coating may comprise one or more coating layers, the thickness of each coating layer being within the range of the first aspect.

Idealiter is het het monomeer gasvormig of vloeibaar bij kamertemperatuur, zodat het kan worden afgeleverd aan de plasmakamer.Ideally, the monomer is gaseous or liquid at room temperature so that it can be delivered to the plasma chamber.

Het plasma wordt typisch gevormd door het aanbrengen van een radiofrequentiesignaal op de één of meer monomeerverbindingen. Geschikte plasma's voor gebruik in de werkwijzen van de uitvinding omvatten niet-evenwichtsplasma's zoals die gegenereerd door radiofrequenties (Rf),The plasma is typically formed by applying a radio frequency signal to the one or more monomer compounds. Suitable plasmas for use in the methods of the invention include non-equilibrium plasmas such as those generated by radio frequencies (Rf),

2017/54472017/5447

BE2017/5447 microgolven of gelijkstroom (DC). Zij kunnen werken bij atmosferische of sub-atmosferische drukken zoals in de techniek bekend. Met name echter kunnen ze worden gegenereerd door radiofrequenties (Rf).BE2017 / 5447 microwaves or direct current (DC). They can operate at atmospheric or sub-atmospheric pressures as known in the art. In particular, however, they can be generated by radio frequencies (Rf).

Het plasma kan een gepulseerde golf (PW) plasma en/of een continue golf (CW) plasma zijn.The plasma can be a pulsed wave (PW) plasma and / or a continuous wave (CW) plasma.

De coating is bij voorkeur in hoofdzaak vrij van gaatjes om een fysische barrière te kunnen verschaffen. Bij voorkeur is ΔΖ/d <0,15, waarbij ΔΖ de gemiddelde hoogtevariatie is, dat wil zeggen het oppervlakprofiel gemeten op een AFM-lijnscan, en d coatingsdikte is. De waarde van ΔΖ/d vertelt in hoeverre defecten aan het oppervlak van de coating zich tot in de coating uitstrekken, d.w.z. de percentagewaarde van de diepte van defect over de totale coatingsdikte. Bijvoorbeeld betekent ΔΖ/d = 0,15 dat de holtes op het oppervlak zich slechts tot 15% van de coatingsdikte naar beneden uitstrekken. Een coating met een ΔΖ/d <0,15 wordt hierin gedefinieerd als in hoofdzaak zonder gaatjes.The coating is preferably substantially free of holes to provide a physical barrier. Preferably ΔΖ / d is <0.15, where ΔΖ is the average height variation, i.e. the surface profile measured on an AFM line scan, and d is coating thickness. The value of ΔΖ / d tells the extent to which defects on the surface of the coating extend into the coating, i.e. the percentage value of the depth of defect over the total coating thickness. For example, ΔΖ / d = 0.15 means that the cavities on the surface extend only down to 15% of the coating thickness. A coating with a ΔΖ / d <0.15 is defined herein as substantially without holes.

De coating kan een hogere dichtheid hebben dan die van de overeenkomstige monomeren waaruit deze gevormd is. Bijvoorbeeld kan de toename in dichtheid ongeveer 0,1 g/cm3 zijn. De toename in dichtheid wordt verklaard door een zeer vernette coating. De hoge dichtheid van de coating verbetert de barrière-eigenschappen van de coating.The coating can have a higher density than that of the corresponding monomers from which it is formed. For example, the increase in density may be approximately 0.1 g / cm 3 . The increase in density is explained by a highly cross-linked coating. The high density of the coating improves the barrier properties of the coating.

De procesparameters kunnen bijvoorbeeld vermogen, stroomsnelheid van monomeer en verhouding van monomeerstroming tot vermogen omvatten.The process parameters may include, for example, power, monomer flow rate, and monomer flow to power ratio.

Bij voorkeur is de stroomsnelheid van het manameer bij standaard temperatuur en druk vanPreferably, the flow rate of the manamer is at standard temperature and pressure of

0,2 tot 50, bij voorkeur 0,2 tot 10 sccm, liefst 0,25 tot 1,0 sccm.0.2 to 50, preferably 0.2 to 10 sccm, most preferably 0.25 to 1.0 sccm.

In een bijzonder geprefereerde uitvoeringsvorm is de verhouding van vermogen tot monomeerstroomsnelheid van 5 tot 70 watt/sccm, eventueel 40 tot 70 watt/sccm, eventueel 30 tot 50 watt/sccm.In a particularly preferred embodiment, the ratio of power to monomer flow rate is from 5 to 70 watts / sccm, optionally 40 to 70 watts / sccm, optionally 30 to 50 watts / sccm.

De stap van het blootstellen van de elektronische of elektrische inrichting of component daarvan aan een plasma kan plaatsvinden in een reactiekamer.The step of exposing the electronic or electrical device or component thereof to a plasma can take place in a reaction chamber.

De stap van het blootstellen van de elektronische of elektrische inrichting of component daarvan aan een plasma kan een tweestapsproces omvatten, waarbij de eerste en tweede stappen verschillende plasmacondities omvatten, bijvoorbeeld een eerste continue golf (CW) stap en een tweede gepulseerde (PW ) stap.The step of exposing the electronic or electrical device or component thereof to a plasma can include a two-step process, the first and second steps comprising different plasma conditions, for example, a first continuous wave (CW) step and a second pulsed (PW) step.

2017/54472017/5447

BE2017/5447BE2017 / 5447

De continue golf (CW) afzettingsstap is gevonden om als substraatprimingstap te werken hetgeen de prestaties van de coating optimaliseert. De aanvragers hebben ontdekt dat opname van een CW-stap het grensvlak tussen het substraatoppervlak en groeiende coating optimaliseert, hetgeen zowel enige etsing van het substraatoppervlak en groei van de polymeercoating veroorzaakt. Opname van de CW-afzettingsstap leidt tot homogene groei van de coating en minimaliseert de kans op de vorming van defecten in de coating.The continuous wave (CW) deposition step has been found to act as a substrate priming step which optimizes the performance of the coating. Applicants have discovered that incorporation of a CW step optimizes the interface between the substrate surface and growing coating, causing both some etching of the substrate surface and growth of the polymer coating. Inclusion of the CW deposition step leads to homogeneous growth of the coating and minimizes the chance of defects forming in the coating.

De gepulseerde (PW) afzettingsstap is gevonden belangrijk te zijn bij het bereiken van een goed binnendringen van de coating in moeilijk bereikbare gebieden. De aanvragers hebben verrassenderwijs ontdekt dat de kwaliteit en dikte van de coating op binnenoppervlakken kan worden geoptimaliseerd door het aanpassen van de stromings- en vermogensparameters. Toegenomen vermogen verschaft coatings met goede kwaliteit met de gewenste functionaliteit op binnenoppervlakken. Toegenomen stroming verschaft coatings met goede kwaliteit met de gewenste functionaliteit op buitenoppervlakken.The pulsed (PW) deposition step has been found to be important in achieving good penetration of the coating in hard-to-reach areas. The applicants have surprisingly discovered that the quality and thickness of the coating on inner surfaces can be optimized by adjusting the flow and power parameters. Increased power provides good quality coatings with the desired functionality on inner surfaces. Increased flow provides good quality coatings with the desired functionality on outer surfaces.

De stroomsnelheid van de monomeerverbinding de kamer in kan lager (op een per volumebasis van de kamer) zijn dan in het geval van onverzadigde monomeren. Verrassenderwijs is gebleken dat hoge verhoudingen van vermogen tot monomeerstroming de vorming van polymere coatings met gewenste barrière-eigenschappen vergemakkelijken, zelfs bij diktes die een lage elektrische weerstand bieden.The flow rate of the monomer compound into the chamber can be lower (on a per volume basis of the chamber) than in the case of unsaturated monomers. Surprisingly, it has been found that high ratios of monomer flow capability facilitate the formation of polymeric coatings with desired barrier properties, even at thicknesses that offer low electrical resistance.

De exacte stroomsnelheid van de monomeerverbinding de kamer in kan in zekere mate afhangen van de aard van de specifieke monomeerverbinding die wordt gebruikt, de aard van het substraat en de gewenste eigenschappen van de beschermende coating. In sommige uitvoeringsvormen van de uitvinding wordt de monomeerverbinding ingebracht in de kamer bij een gasstroomsnelheid in het bereik van 0,2 tot 50 sccm, bij voorkeur 0,2 tot 10 sccm en liefst in het bereik van 0,25 tot 0,5 sccm, hoewel dit zal afhangen van kamervolume. Voor een 2,5Lkamer kan de gasstroomsnelheid in het bereik zijn van 0,3 tot 0,5 sccm. De monomeergasstroom wordt berekend uit de vloeibare monomeerstroom aangezien het monomeer in de kamer als een ideaal gas werkt.The exact flow rate of the monomer compound into the chamber may depend to some extent on the nature of the specific monomer compound used, the nature of the substrate, and the desired properties of the protective coating. In some embodiments of the invention, the monomer compound is introduced into the chamber at a gas flow rate in the range of 0.2 to 50 sccm, preferably 0.2 to 10 sccm, and most preferably in the range of 0.25 to 0.5 sccm, although this will depend on room volume. For a 2.5L chamber, the gas flow rate can be in the range of 0.3 to 0.5 sccm. The monomer gas stream is calculated from the liquid monomer stream since the monomer in the chamber acts as an ideal gas.

Voor gepulseerde plasma’s kunnen hogere gemiddelde vermogens bereikt worden door het gebruiken van hogere piekvermogens en het variëren van het pulserende regime (dat wil zeggen aan/uit-tijden).For pulsed plasmas, higher average powers can be achieved by using higher peak powers and varying the pulsed regime (ie on / off times).

Vanuit een verder aspect berust de uitvinding op een werkwijze voor het vormen van een coating op een elektronische of elektrische inrichting of component daarvan, welke werkwijze het volgende omvat: het blootstellen van het substraat in een kamer aan een plasma omvattende een monomeerverbinding, bij voorkeur een gepulseerd plasma, gedurende eenFrom a further aspect, the invention relies on a method of forming a coating on an electronic or electrical device or component thereof, which method comprises: exposing the substrate in a chamber to a plasma comprising a monomer compound, preferably a pulsed plasma, during one

2017/54472017/5447

BE2017/5447 voldoende tijdsperiode om een beschermende polymere coating op het substraat te laten vormen, waarbij tijdens de blootstelling van het substraat het gepulseerde plasma een piekvermogen (bijv, aan-fase) van ten minste 8 W/liter heeft.BE2017 / 5447 sufficient time period for a protective polymer coating to form on the substrate, wherein during the exposure of the substrate the pulsed plasma has a peak power (e.g., on-phase) of at least 8 W / liter.

Bij een dergelijke werkwijze is de piekvermogensdichtheid van het plasma zeer veel hoger dan die in W02007/083122 beschreven is. Gebleken is dat deze hoge vermogensdichtheid van het plasma verrassenderwijs de vorming van polymere coatings met gewenste vloeistofafstotende en/of barrière-eigenschappen vergemakkelijkt, zelfs bij diktes die een lage elektrische weerstand bieden. Dit komt door de verhoogde vernetting en/of fragmentatie die bij hogere vermogens optreedt.In such a method, the peak power density of the plasma is very much higher than that described in WO2007 / 083122. It has been found that this high power density of the plasma surprisingly facilitates the formation of polymeric coatings with desired liquid-repellent and / or barrier properties, even at thicknesses that offer a low electrical resistance. This is due to the increased cross-linking and / or fragmentation that occurs at higher powers.

De exacte piekvermogensdichtheid van het plasma hangt in zekere mate af van de aard van de specifieke monomeerverbinding die wordt gebruikt, de aard van het substraat en de gewenste eigenschappen van de beschermende coating. In sommige uitvoeringsvormen van de uitvinding kan het plasma een piek aan-fase vermogensdichtheid hebben in het bereik van 3 tot 30 W/liter, bijvoorbeeld in het bereik van 8 tot 22 W/liter.The exact peak power density of the plasma depends to a certain extent on the nature of the specific monomer compound used, the nature of the substrate and the desired properties of the protective coating. In some embodiments of the invention, the plasma may have a peak on-phase power density in the range of 3 to 30 W / liter, for example in the range of 8 to 22 W / liter.

In één uitvoeringsvorm is het plasma een gepulseerd plasma waarin pulsen worden toegepast in een sequentie die een verhouding oplevert van tijd-aan : tijd-uit in het bereik van 0,5-0,001. Bijvoorbeeld is de tijd-aan = 35-45 ps en tijd-uit = 0,1 ms tot 10 ms, bijvoorbeeld 0,5 ms. Dit pulseerregime geeft een veel hoger gemiddeld vermogen dan bij bekende technieken, bijvoorbeeld zoals beschreven in W02007/083122, hetgeen bijdraagt aan de toegenomen vernetting en/of fragmentatie van de verkregen polymeercoating.In one embodiment, the plasma is a pulsed plasma in which pulses are applied in a sequence that yields a time-on: time-out ratio in the range of 0.5-0.001. For example, the time-on = 35-45 ps and time-off = 0.1 ms to 10 ms, for example 0.5 ms. This pulsing regime gives a much higher average power than with known techniques, for example as described in WO2007 / 083122, which contributes to the increased crosslinking and / or fragmentation of the obtained polymer coating.

Vanuit een verder aspect berust de uitvinding op een werkwijze voor het vormen van een coating op een elektronische of elektrische inrichting of component daarvan, welke werkwijze het volgende omvat: het blootstellen van het substraat in een kamer aan een plasma omvattende een monomeerverbinding, bij voorkeur een continu plasma, gedurende een voldoende tijdsperiode om een beschermende polymere coating op het substraat te laten vormen, waarbij tijdens de blootstelling van het substraat het continue plasma een vermogensdichtheid van ten minste 8 W/liter heeft.From a further aspect, the invention relies on a method of forming a coating on an electronic or electrical device or component thereof, which method comprises: exposing the substrate in a chamber to a plasma comprising a monomer compound, preferably a continuous plasma for a sufficient period of time to form a protective polymeric coating on the substrate, wherein during continuous exposure of the substrate the continuous plasma has a power density of at least 8 W / liter.

Vanuit een verder aspect heeft de uitvinding betrekking op een werkwijze voor het vormen van een coating op een elektronische of elektrische inrichting of component daarvan, welke werkwijze het volgende omvat: het blootstellen van de elektronische of elektrische inrichting of component daarvan in een kamer aan een plasma omvattende een monomeerverbinding, bij voorkeur een gepulseerd plasma, gedurende een voldoende tijdsperiode om een beschermende polymere coating op het substraat te laten vormen, waarbij tijdens deFrom a further aspect, the invention relates to a method for forming a coating on an electronic or electrical device or component thereof, which method comprises the following: exposing the electronic or electrical device or component thereof in a chamber to a plasma comprising a monomer compound, preferably a pulsed plasma, for a sufficient period of time to form a protective polymeric coating on the substrate, wherein during the

2017/54472017/5447

BE2017/5447 blootstelling van het substraat het gepulseerde plasma een verhouding piekvermogen tot stroming tussen 5 tot 200 W/sccm, liever 40-70 W/sccm, liefst 60 Watt/sccm heeft.BE2017 / 5447 exposure of the substrate, the pulsed plasma has a peak power to flow ratio between 5 to 200 W / sccm, more preferably 40-70 W / sccm, most preferably 60 Watt / sccm.

Gevonden is dat dit bereik van verhouding van vermogen tot stroming verrassenderwijs de vorming van polymere coatings met gewenste vloeistofafstotende en/of barrièreeigenschappen vergemakkelijkt, zelfs bij lage diktes.It has been found that this range of power-to-flow ratio surprisingly facilitates the formation of polymeric coatings with desired liquid-repellent and / or barrier properties, even at low thicknesses.

Vanuit een verder aspect berust de uitvinding op een werkwijze voor het vormen van een coating op een elektronische of elektrische inrichting of component daarvan, welke werkwijze het volgende omvat: het blootstellen van de elektronische of elektrische inrichting of component daarvan in een kamer aan een plasma omvattende een monomeerverbinding, bij voorkeur een continu plasma, gedurende een voldoende tijdsperiode om een beschermende polymere coating op het substraat te laten vormen, waarbij tijdens de blootstelling van het substraat het continue plasma een verhouding van vermogen tot stroming tussen 5 tot 200From a further aspect, the invention relies on a method for forming a coating on an electronic or electrical device or component thereof, the method comprising the following: exposing the electronic or electrical device or component thereof in a chamber to a plasma comprising a monomer compound, preferably a continuous plasma, for a sufficient period of time to form a protective polymeric coating on the substrate, wherein during the exposure of the substrate the continuous plasma has a ratio of power to flow between 5 to 200

W/sccm, liever 40-70 W/sccm, liefst 60 Watt/sccm heeft.W / sccm, preferably 40-70 W / sccm, preferably 60 Watt / sccm.

De stap van het blootstellen van de elektronische of elektrische inrichting of component daarvan aan een plasma kan een gepulseerde (PW) afzettingsstap omvatten. Alternatief of daarnaast kan de stap van het blootstellen van de elektronische of elektrische inrichting of component daarvan aan een plasma een continue golf (CW) afzettingsstap omvatten.The step of exposing the electronic or electrical device or component thereof to a plasma can include a pulsed (PW) deposition step. Alternatively or additionally, the step of exposing the electronic or electrical device or component thereof to a plasma may include a continuous wave (CW) deposition step.

De aspecten van de uitvinding verschaffen elk werkwijzen die de vorming van zeer effectieve beschermende coatings vergemakkelijken, die kunnen worden toegepast op elektronische substraten zonder nadelig te interfereren met contactpunten. Een voordeel is dat de resulterende coating voldoende flexibel is zodat elektrische connectoren verbonden kunnen worden na het bekleden van de inrichting tijdens of na fabricage en assemblage. In één uitvoeringsvorm omvat de werkwijze de stap van het verbinden van elektrische connectoren met de elektronische of elektrische inrichting of component daarvan nadat de coating is aangebracht. Dit heeft het voordeel dat de elektrische connectoren gemakkelijk verbonden kunnen worden met de elektronische of elektrische inrichtingen of component daarvan na het bekleden van de inrichting of component tijdens fabricage of assemblage. In een alternatieve uitvoeringsvorm kunnen de elektrische connectoren verbonden worden met de elektronische of elektrische inrichting of component daarvan voordat de coating is aangebracht.The aspects of the invention each provide methods that facilitate the formation of highly effective protective coatings that can be applied to electronic substrates without adversely interfering with contact points. An advantage is that the resulting coating is sufficiently flexible that electrical connectors can be connected after coating the device during or after fabrication and assembly. In one embodiment, the method comprises the step of connecting electrical connectors to the electronic or electrical device or component thereof after the coating has been applied. This has the advantage that the electrical connectors can be easily connected to the electronic or electrical devices or component thereof after coating the device or component during manufacture or assembly. In an alternative embodiment, the electrical connectors can be connected to the electronic or electrical device or component thereof before the coating is applied.

Met name werken de kenmerken van de aspecten van de uitvinding in synergie en leiden tot voorkeursuitvoeringsvormen van de uitvinding wanneer gecombineerd. Al dergelijke combinaties, met of zonder de voorkeurs- en optionele functies die hier opgesomd zijn, worden expliciet volgens de uitvinding beschouwd.In particular, the features of the aspects of the invention operate in synergy and lead to preferred embodiments of the invention when combined. All such combinations, with or without the preferred and optional functions listed herein, are explicitly considered in accordance with the invention.

2017/54472017/5447

BE2017/5447BE2017 / 5447

In alle aspecten van de uitvinding zullen de exacte omstandigheden waaronder de beschermende polymere coating op effectieve wijze wordt gevormd, variëren, afhankelijk van factoren zoals, maar niet beperkt tot, de aard van de monomeerverbinding, het substraat en de gewenste eigenschappen van de coating. Deze omstandigheden kunnen worden bepaald met gebruik van routinewerkwijzen of bij voorkeur met gebruik van de technieken en voorkeurskenmerken van de hierin beschreven uitvinding, die in bijzondere synergie met de uitvinding werken.In all aspects of the invention, the exact conditions under which the protective polymeric coating is effectively formed will vary depending on factors such as, but not limited to, the nature of the monomer compound, the substrate, and the desired properties of the coating. These conditions can be determined using routine methods or preferably using the techniques and preferred features of the invention described herein, which operate in particular synergy with the invention.

Geschikte plasma's voor gebruik in de werkwijzen van de uitvinding omvatten nietevenwichtsplasma's zoals die gegenereerd door radiofrequenties (Rf), microgolven of gelijkstroom (DC). Zij kunnen werken bij atmosferische of sub-atmosferische drukken zoals in de techniek bekend. Met name echter kunnen ze worden gegenereerd door radiofrequenties (Rf).Suitable plasmas for use in the methods of the invention include non-equilibrium plasmas such as those generated by radio frequencies (Rf), microwaves or direct current (DC). They can operate at atmospheric or sub-atmospheric pressures as known in the art. In particular, however, they can be generated by radio frequencies (Rf).

Verschillende vormen van apparatuur kunnen worden gebruikt om gasvormige plasma's te genereren. In het algemeen omvatten deze houders of plasmakamers waarin plasma's kunnen worden gegenereerd. Specifieke voorbeelden van dergelijke apparatuur worden bijvoorbeeld beschreven in W02005/089961 en WO02/28548, waarvan de inhoud hierin door verwijzing is opgenomen, maar veel andere conventionele plasma genererende apparatuur is beschikbaar.Different forms of equipment can be used to generate gaseous plasmas. In general, these include containers or plasma chambers in which plasmas can be generated. Specific examples of such equipment are described, for example, in WO2005 / 089961 and WO02 / 28548, the contents of which are incorporated herein by reference, but many other conventional plasma-generating equipment are available.

In het algemeen wordt het te behandelen substraat samen met de monomeerverbinding in de plasmakamer geplaatst, een glimontlading wordt ontstoken in de kamer, en een geschikte spanning wordt aangelegd. De spanning kan continu of gepulseerd zijn. Monomeer kan worden ingebracht vanaf het begin of na een periode van voorafgaand continuvermogen plasma.In general, the substrate to be treated is placed in the plasma chamber together with the monomer compound, a glow discharge is ignited in the chamber, and a suitable voltage is applied. The voltage can be continuous or pulsed. Monomer can be introduced from the start or after a period of prior plasma continuous power.

De monomeerverbinding zal geschikt in een gasvormige toestand zijn in het plasma. Het plasma kan eenvoudigweg een damp van de monomeerverbinding indien aanwezig omvatten. Dergelijke damp kan in situ worden gevormd, waarbij de verbindingen worden ingebracht in de kamer in vloeibare vorm. Het monomeer kan ook worden gecombineerd met een dragergas, in het bijzonder een inert gas zoals helium of argon.The monomer compound will suitably be in a gaseous state in the plasma. The plasma may simply comprise a vapor of the monomer compound if present. Such vapor can be formed in situ, the compounds being introduced into the chamber in liquid form. The monomer can also be combined with a carrier gas, in particular an inert gas such as helium or argon.

In voorkeursuitvoeringsvormen kan het monomeer worden afgeleverd in de kamer door middel van een aerosolinrichting zoals een vernevelaar of dergelijke, zoals bijvoorbeeld beschreven in W02003/097245 en W003/101621, waarvan de inhoud hierin door verwijzing is opgenomen.In preferred embodiments, the monomer can be delivered to the chamber by means of an aerosol device such as a nebulizer or the like, as described, for example, in WO2003 / 097245 and WO003 / 101621, the contents of which are incorporated herein by reference.

In een dergelijke opstelling hoeft een dragergas niet nodig te zijn, hetgeen met voordeel helpt bij het bereiken van hoge stroomsnelheden.In such an arrangement, a carrier gas need not be necessary, which advantageously helps to achieve high flow rates.

2017/54472017/5447

BE2017/5447BE2017 / 5447

In sommige gevallen kan een voorafgaand continuvermogen plasma worden aangemaakt gedurende bijvoorbeeld van 10 seconden tot 10 minuten, bijvoorbeeld gedurende ongeveer 10 tot 60 seconden, in de kamer. Dit kan werken als een oppervlaktevoorbehandelingsstap, zodat de monomeerverbinding zich gemakkelijk hecht aan het oppervlak, zodat wanneer polymerisatie plaatsvindt, de coating op het oppervlak groeit. De voorbehandelingsstap kan worden uitgevoerd voordat monomeer wordt ingebracht in de kamer, bijvoorbeeld in de aanwezigheid van inert gas, of simpelweg in een resterende atmosfeer. Monomeer kan dan worden ingebracht in de kamer om polymerisatie te laten plaatsvinden, waarbij het plasma hetzij naar een gepulseerd plasma gewisseld wordt, doorgegaan wordt met een continu plasma of een sequentie van zowel continu als gepulseerd plasma gebruikt wordt.In some cases, a prior plasma continuous power may be created in the chamber for, for example, from 10 seconds to 10 minutes, e.g. This can act as a surface pre-treatment step, so that the monomer compound easily adheres to the surface, so that when polymerization takes place, the coating grows on the surface. The pre-treatment step can be performed before monomer is introduced into the chamber, for example in the presence of inert gas, or simply in a residual atmosphere. Monomer can then be introduced into the chamber to allow polymerization to take place, whereby the plasma is either switched to a pulsed plasma, continued with a continuous plasma or a sequence of both continuous and pulsed plasma is used.

In alle gevallen wordt een glimontlading geschikt ontstoken door het aanbrengen van een spanning met hoge frequentie, bijvoorbeeld bij 13,56 MHz. Deze wordt geschikt aangebracht met elektroden die binnen of buiten de kamer zijn.In all cases, a glow discharge is suitably ignited by applying a high-frequency voltage, for example at 13.56 MHz. This is suitably applied with electrodes that are inside or outside the chamber.

Gassen, dampen of aerosolen kunnen in de plasmakamer of het plasmagebied worden getrokken of gepompt. Met name wanneer een plasmakamer wordt gebruikt, kunnen gassen of dampen in de kamer worden getrokken als gevolg van een verlaging van de druk in de kamer, veroorzaakt door het gebruik van een evacueerpomp, of ze kunnen in de kamer worden gepompt of geïnjecteerd zoals gebruikelijk is bij het werken met vloeistof.Gases, vapors, or aerosols can be drawn or pumped into the plasma chamber or plasma region. Particularly when a plasma chamber is used, gases or vapors may be drawn into the chamber due to a reduction in the pressure in the chamber caused by the use of an evacuation pump, or they may be pumped or injected into the chamber as is customary when working with liquid.

Op geschikte wijze kan het gas, de damp of het gasmengsel worden toegevoerd met een snelheid van tenminste 0,04 sccm, bij voorkeur 0,2 tot 50 sccm, bij voorkeur 0,2 tot 10 sccm en liefst in het bereik van 0,25 tot 0,5 sccm, hoewel dit zal afhangen van het kamervolume. Deze bedragen kunnen worden opgeschaald naar grotere systemen op een kamervolumebasis overeenkomstig de hierin beschreven leer.Suitably the gas, vapor or gas mixture can be supplied at a rate of at least 0.04 sccm, preferably 0.2 to 50 sccm, preferably 0.2 to 10 sccm and most preferably in the range of 0.25 up to 0.5 sccm, although this will depend on the room volume. These amounts can be scaled up to larger systems on a chamber volume basis in accordance with the teachings described herein.

Polymerisatie wordt geschikt uitgevoerd met gebruik van dampen van de monomeerverbinding, welke bij drukken van 0,1 tot 200 mTorr worden gehouden, geschikt bij ongeveer 15-150 mTorr, bij voorkeur 30 tot 60 mTorr, liefst ongeveer 40 mTorr.Polymerization is suitably carried out using vapors of the monomer compound, which are maintained at pressures of 0.1 to 200 m Torr, suitably at about 15-150 m Torr, preferably 30 to 60 m Torr, most preferably about 40 m Torr.

De aangebrachte velden kunnen bij voorkeur een relatief hoge piekvermogensdichtheid verschaffen, bijv, zoals hierboven gedefinieerd in de werkwijze volgens de uitvinding. De pulsen kunnen ook worden aangebracht in een sequentie die een lager gemiddeld vermogen oplevert, bijvoorbeeld in een sequentie waarin de verhouding van de tijd-aan : tijd-uit in het bereik ligt van 20:100 tot 20:20.000. Sequenties met kortere tijd-uit-perioden kunnen de voorkeur hebben om goede vermogensdichtheid te behouden. Eén voorbeeld van een sequentie is een sequentie waarin vermogen aan is gedurende 20 tot 50 microseconden, bijvoorbeeld 30 tot 40 microseconden, zoals ongeveer 36 microseconden, en uit is gedurendeThe applied fields may preferably provide a relatively high peak power density, e.g., as defined above in the method of the invention. The pulses can also be applied in a sequence that produces a lower average power, for example in a sequence in which the time-on: time-out ratio is in the range of 20: 100 to 20: 20,000. Sequences with shorter time-out periods may be preferred to maintain good power density. One example of a sequence is a sequence in which power is on for 20 to 50 microseconds, for example 30 to 40 microseconds, such as about 36 microseconds, and off for

2017/54472017/5447

BE2017/5447 tot 30 milliseconden, bijvoorbeeld 5 tot 15 milliseconden, zoals 6 milliseconden. Het is gebleken dat dit vooral voordelig kan zijn wanneer het monomeer een verbinding met formule (I) is.BE2017 / 5447 to 30 milliseconds, for example 5 to 15 milliseconds, such as 6 milliseconds. It has been found that this can be especially advantageous when the monomer is a compound of formula (I).

Geprefereerde gemiddelde vermogens die op deze wijze in een kamer van drie liter verkregen werden, waren in het bereik van 0,05 tot 25 W. In sommige uitvoeringsvormen hebben relatief lage gemiddelde vermogens de voorkeur, bijv, in het bereik van 0,1 tot 5 W, zoals 0,15 tot 0,5 W in een kamer van drie liter. Van hogere gemiddelde vermogens, bijvoorbeeld meer dan 5 W, is gebleken dat deze het voordeel hebben te helpen bij fragmentatie van het monomeer. Deze bereiken kunnen worden vergroot of verkleind op een volumebasis voor grotere of kleinere kamers en zullen afhankelijk zijn van het geselecteerde piekvermogen en de geselecteerde pulssequentie.Preferred average powers obtained in this way in a three-liter chamber were in the range of 0.05 to 25 W. In some embodiments, relatively low average powers are preferred, e.g., in the range of 0.1 to 5. W, such as 0.15 to 0.5 W in a three-liter chamber. Higher average powers, for example more than 5 W, have been shown to have the advantage of assisting with monomer fragmentation. These ranges can be increased or decreased on a volume basis for larger or smaller chambers and will depend on the selected peak power and the selected pulse sequence.

De procestemperaturen, bijv, gemeten binnen de kamer, kunnen omgevingstemperatuur zijn of bij voorkeur iets boven de omgevingstemperatuur liggen, zoals in het bereik van 25 tot 60 °C, bijv. 35 tot 55 Ό. In sommige uitvoeringsvormen wordt de procestemperatuur onder 40 °C gehouden. Het verdient de voorkeur de temperatuur in het coatingsafzettingsproces binnen een bereik te houden dat niet de elektronische of elektrische inrichting of component daarvan zal beschadigen. Zo wordt de temperatuur beneden 50 Ό gehouden voor mobiele telefoons.The process temperatures, e.g., measured within the chamber, can be ambient temperature or preferably slightly above ambient temperature, such as in the range of 25 to 60 ° C, e.g. 35 to 55 Ό. In some embodiments, the process temperature is kept below 40 ° C. It is preferable to keep the temperature in the coating deposition process within a range that will not damage the electronic or electrical device or component thereof. This keeps the temperature below 50 voor for mobile phones.

Op geschikte wijze kan een gebruikte plasmakamer van voldoende volume zijn om meerdere substraten onder te brengen, in het bijzonder wanneer deze klein in afmeting zijn, bijvoorbeeld kan tot 20.000 PCB met gemak tegelijkertijd worden verwerkt met apparatuur met de juiste grootte. Een bijzonder geschikte inrichting en werkwijze voor het vervaardigen van beklede substraten volgens de uitvinding worden beschreven in W02005/089961, waarvan de inhoud hierin door verwijzing is opgenomen.Suitably, a used plasma chamber can be of sufficient volume to accommodate multiple substrates, especially when they are small in size, for example, up to 20,000 PCB can be easily processed simultaneously with equipment of the correct size. A particularly suitable apparatus and method for manufacturing coated substrates according to the invention are described in WO2005 / 089961, the contents of which are incorporated herein by reference.

De afmetingen van de kamer zullen gekozen worden om het geheel van het specifieke te behandelen substraat onder te brengen. Bijvoorbeeld kunnen algemeen kubusvormige kamers geschikt zijn voor uiteenlopende toepassingen, maar indien nodig kunnen langwerpige of rechthoekige kamers worden geconstrueerd of zelfs cilindrische of van elke andere geschikte vorm. Het volume van de kamer kan bijvoorbeeld ten minste 1 liter, bij voorkeur ten minste 8 liter zijn. In sommige toepassingen hebben relatief kleine kamers met een volume van maximaal 13 liter of maximaal 25 liter de voorkeur. Voor grootschalige productie kan het volume van de kamer, op geschikte wijze tot 400 liter of hoger zijn. De kamer kan een afsluitbare houder zijn, om batchprocessen mogelijk te maken, of kan inlaten en uitlaten voor substraten omvatten, zodat deze kan worden gebruikt in een continu proces. Met name in het laatste geval worden de drukomstandigheden die nodig zijn voor het creëren van een plasmaontlading binnen de kamer, onderhouden met gebruik van hoogvolume pompen, zoalsThe dimensions of the chamber will be chosen to accommodate the whole of the specific substrate to be treated. For example, generally cubic chambers may be suitable for a variety of applications, but if required, elongated or rectangular chambers may be constructed or even cylindrical or of any other suitable shape. The volume of the chamber can for example be at least 1 liter, preferably at least 8 liters. In some applications, relatively small chambers with a volume of up to 13 liters or up to 25 liters are preferred. For large-scale production, the volume of the chamber may suitably be up to 400 liters or higher. The chamber may be a closable container to allow batch processes, or may include inlets and outlets for substrates so that it can be used in a continuous process. Particularly in the latter case, the pressure conditions required to create a plasma discharge within the chamber are maintained using high volume pumps, such as

2017/54472017/5447

BE2017/5447 gebruikelijk is in bijvoorbeeld een inrichting met een fluitlek. Het kan echter ook mogelijk zijn om bepaalde substraten bij atmosferische druk of dicht daarbij te verwerken, waardoor fluitlekken niet nodig zijn.BE2017 / 5447 is common in, for example, a device with a whistle leak. However, it may also be possible to process certain substrates at atmospheric pressure or close thereto, whereby flute leaks are not necessary.

Met voordeel hoeven elektronische of elektrische contactpunten van het substraat niet gemaskeerd te worden tijdens de behandeling, met name voor het bekleden met een dikte onder 5 μm, met meer voorkeur onder 2 μm. Inderdaad worden in één uitvoeringsvorm van de uitvinding deze contacten niet gemaskeerd tijdens de vorming van de coating door elk van de werkwijzen zoals hierin beschreven, hetgeen leidt tot een op voordelige wijze vereenvoudigd proces.Advantageously, electronic or electrical contact points of the substrate need not be masked during the treatment, in particular for coating with a thickness below 5 μm, more preferably below 2 μm. Indeed, in one embodiment of the invention, these contacts are not masked during the formation of the coating by any of the methods described herein, leading to an advantageously simplified process.

Meer in het algemeen, vanuit een verder aspect, heeft de uitvinding betrekking op een substraat met een polymere coating gevormd door elk van de hierin beschreven werkwijzen. De uitvinding omvat eveneens beklede substraten verkrijgbaar door elk van de hierin beschreven werkwijzen.More generally, from a further aspect, the invention relates to a substrate with a polymeric coating formed by any of the methods described herein. The invention also includes coated substrates obtainable by any of the methods described herein.

Eén bijzonder voordeel van de uitvinding is dat elektronische of elektrische inrichtingen als geheel bestand tegen vloeistoffen kunnen worden gemaakt, zelfs tijdens volledige onderdompeling, door het bekleden van alleen interne componenten zoals PCB's, waarbij een externe coating niet langer noodzakelijk is. Dus, vanuit een verder aspect, heeft de uitvinding betrekking op een elektronische of elektrische inrichting, bijvoorbeeld een mobiele telefoon, omvattende een behuizing en één of meer interne elektronische of elektrische componenten met daarop een coating gevormd door elk van de hierin beschreven werkwijzen. Met voordeel hoeft de behuizing geen coating te omvatten. De inrichting kan op voordelige wijze voldoen aan norm IEC 60529 14.2.7 (IPX7).One particular advantage of the invention is that electronic or electrical devices as a whole can be made resistant to liquids, even during complete immersion, by coating only internal components such as PCBs, whereby an external coating is no longer necessary. Thus, from a further aspect, the invention relates to an electronic or electrical device, for example a mobile telephone, comprising a housing and one or more internal electronic or electrical components having a coating thereon formed by any of the methods described herein. Advantageously, the housing does not have to include a coating. The device can advantageously meet standard IEC 60529 14.2.7 (IPX7).

Meer in het algemeen kan elk van de hierin beschreven beklede elektronische substraten bij voorkeur blijven functioneren ook na volledige onderdompeling in water gedurende ten minste 2 minuten, bij voorkeur ten minste 5 minuten. Het elektronische substraat zal bij voorkeur blijven functioneren gedurende minstens 30 minuten of meer bij voorkeur ten minste twee dagen.More generally, any of the coated electronic substrates described herein can preferably continue to function even after complete immersion in water for at least 2 minutes, preferably at least 5 minutes. The electronic substrate will preferably continue to function for at least 30 minutes or more, preferably at least two days.

Aspecten van de uitvinding die betrekking hebben op werkwijzen voor het vormen van een coating op een elektronische of elektrische inrichting of component daarvan kunnen worden uitgevoerd met gebruik van de voor het eerste aspect van de uitvinding genoemde monomeren.Aspects of the invention relating to methods of forming a coating on an electronic or electrical device or component thereof can be carried out using the monomers mentioned for the first aspect of the invention.

Zoals hier gebruikt verwijst de uitdrukking in gasvormige toestand naar gassen of dampen, alleen of in mengsel, en eventueel naar aerosolen.As used herein, the term gaseous refers to gases or vapors, alone or in admixture, and optionally to aerosols.

2017/54472017/5447

BE2017/5447BE2017 / 5447

Zoals hierin gebruikt verwijst de uitdrukking beschermende polymere coating naar polymere lagen die enige bescherming tegen vloeistofschade verschaffen, bijvoorbeeld door het vormen van een barrière en eventueel door vloeistofafstotend te zijn (zoals olie- en/of waterafstotend). Bronnen van vloeistoffen waartegen het substraat beschermd is, omvatten omgevingsvloeistoffen zoals water, in het bijzonder regen, en vloeistoffen die per ongeluk gemorst worden.As used herein, the term protective polymeric coating refers to polymeric layers that provide some protection against fluid damage, for example, by forming a barrier and optionally by being fluid-repellent (such as oil and / or water-repellent). Sources of liquids against which the substrate is protected include environmental liquids such as water, in particular rain, and liquids that are accidentally spilled.

Zoals hier gebruikt verwijst de uitdrukking gedurende de blootstelling van het substraat naar een periode waarin het substraat binnen de kamer samen met het plasma is. In sommige uitvoeringsvormen van de uitvinding kan de uitdrukking verwijzen naar de gehele periode waarin het substraat binnen de kamer samen met het plasma is.As used herein, the expression during exposure of the substrate refers to a period in which the substrate is within the chamber together with the plasma. In some embodiments of the invention, the term may refer to the entire period in which the substrate is within the chamber together with the plasma.

Door de beschrijving en conclusies van deze specificatie hebben de woorden omvatten en bevatten en variaties van het woord, bijvoorbeeld omvattende en omvat, de betekenis omvattende maar niet beperkt tot, en sluiten andere groepen, additieven, componenten, gehele getallen of stappen niet uit. Bovendien omvat het enkelvoud het meervoud tenzij de context anders vereist: met name wanneer het onbepaalde lidwoord wordt gebruikt, dient de specificatie te worden opgevat als zowel meervoud als enkelvoud te overwegen, tenzij de context anders vereist.Through the description and claims of this specification, the words include and include and variations of the word, for example including and including, have the meaning including but not limited to, and do not exclude other groups, additives, components, integers or steps. Moreover, the singular includes the plural unless the context requires otherwise: in particular when the indefinite article is used, the specification is to be considered as both plural and singular, unless the context requires otherwise.

Voorkeurskenmerken van elk aspect van de uitvinding kunnen zijn zoals beschreven in verband met elk van de andere aspecten. Andere kenmerken van de uitvinding zullen duidelijk worden uit de volgende voorbeelden. In het algemeen strekt de uitvinding zich uit naar elk nieuw kenmerk, of naar elke nieuwe combinatie van de kenmerken, beschreven in deze specificatie (inclusief alle bijgevoegde conclusies en tekeningen). Aldus moet duidelijk zijn dat kenmerken, getallen, karakteristieken, verbindingen, chemische eenheden of groepen beschreven in samenhang met een specifiek(e) aspect, uitvoeringsvorm of voorbeeld van de uitvinding toepasbaar zijn op elk(e) ander hierin beschreven aspect, uitvoeringsvorm of voorbeeld, tenzij dit daarmee onverenigbaar is. Bovendien, tenzij anders aangegeven, kan elk hierin beschreven kenmerk worden vervangen door een alternatief kenmerk dat hetzelfde of een soortgelijk doel dient.Preferred features of each aspect of the invention may be as described in connection with any of the other aspects. Other features of the invention will become apparent from the following examples. In general, the invention extends to any new feature, or to any new combination of features described in this specification (including all appended claims and drawings). Thus, it is to be understood that features, numbers, characteristics, compounds, chemical units or groups described in connection with a specific aspect, embodiment or example of the invention are applicable to any other aspect, embodiment or example described herein. unless this is incompatible with it. In addition, unless otherwise specified, any feature described herein may be replaced by an alternative feature that serves the same or similar purpose.

Wanneer boven- en ondergrenzen voor een eigenschap worden genoemd, bijvoorbeeld de concentratie van een monomeer, dan kan een bereik van waardes gedefinieerd door een combinatie van elk van de bovengrenzen met elk van de ondergrenzen eveneens worden geïmpliceerd.When upper and lower limits are mentioned for a property, for example the concentration of a monomer, then a range of values defined by a combination of each of the upper limits with each of the lower limits can also be implied.

2017/54472017/5447

BE2017/5447BE2017 / 5447

De onderhavige uitvinding zal nu verder worden beschreven onder verwijzing naar de volgende niet-beperkende voorbeelden en de bijgaande illustratieve tekeningen, waarin: Figuur 1 de elektrische testinrichting voor het bepalen van de weerstand van de coating illustreert;The present invention will now be further described with reference to the following non-limiting examples and the accompanying illustrative drawings, in which: Figure 1 illustrates the electrical testing device for determining the resistance of the coating;

Figuur 2 een tapping modus beeld toont van een 1700 nm dikke coating, bereid zoals beschreven in voorbeeld 1 over 1x1 μm2 gezichtsveld (linksboven), een 5x5 μm2 gezichtsveld (rechtsboven), een representatieve contourlijn die hoogtevariatie (z-as) van de coating aangeeft (linksonder) en een fasebeeld dat volledige substraatbedekking aangeeft (rechtsonder); RMS-ruwheid van de coating is 0,4 nm en Δζ/d = 0,0006.Figure 2 shows a tapping mode image of a 1700 nm thick coating prepared as described in Example 1 over 1x1 μm 2 field of view (top left), a 5x5 μm 2 field of view (top right), a representative contour line that changes the height (z axis) of the indicates coating (bottom left) and a phase image indicating complete substrate coverage (bottom right); RMS roughness of the coating is 0.4 nm and Δζ / d = 0.0006.

Voorbeeld 1Example 1

Procesopzet en -parametersProcess design and parameters

Plasmapolymerisatie-experimenten werden uitgevoerd in een cilindrisch glazen reactorvat met een inhoud van 2,5 liter. Het vat was in twee delen, gekoppeld met een Viton O-ring om de twee delen samen onder vacuüm af te dichten. Eén uiteinde van de reactor werd verbonden met een vloeistofstroomregelaar, die bij 70 °C werd verwarmd, en dit werd gebruikt voor het afleveren van monomeer bij een gecontroleerde stroomsnelheid.Plasma polymerization experiments were performed in a cylindrical glass reactor vessel with a capacity of 2.5 liters. The vessel was in two parts coupled with a Viton O ring to seal the two parts together under vacuum. One end of the reactor was connected to a liquid flow controller, which was heated at 70 ° C, and this was used to deliver monomer at a controlled flow rate.

Het andere uiteinde van de reactor werd verbonden met een metalen pompleiding voorzien van manometers, drukregelklep, vloeibaarstikstofval en een vacuümpomp. Een koperspoelelektrode werd gewikkeld rond de buitenkant van de reactor (11 windingen van leiding met 5 mm diameter) en deze werd verbonden met een RF-voedingseenheid via een L25 C passend netwerk. Voor gepulseerde plasma-afzetting werd de RF-voedingseenheid bestuurd door een pulsgenerator.The other end of the reactor was connected to a metal pump pipeline equipped with pressure gauges, pressure control valve, liquid nitrogen trap and a vacuum pump. A copper coil electrode was wound around the outside of the reactor (11 turns of 5 mm diameter pipe) and connected to an RF power supply via an L25 C matching network. For pulsed plasma deposition, the RF power supply unit was controlled by a pulse generator.

Het gebruikte monomeer was n-tetradecaan (CAS nr. 16646-44-9), een verzadigd monomeer volgens de onderhavige uitvindingThe monomer used was n-tetradecane (CAS No. 16646-44-9), a saturated monomer according to the present invention

De reactor werd geëvacueerd tot de basisdruk (typisch <10 mTorr). Het monomeer werd afgeleverd in de kamer met gebruik van de stroomregelaar, met een monomeer-gasstroom van 0,4 sccm. De kamer werd verwarmd tot 45 °C. De druk in de reactor werd op 30 mTorr gehouden. Het plasma werd geproduceerd met gebruik van RF bij 13,56 MHz en het proces bestond gewoonlijk uit twee stappen; het continue golf (CW) plasma en het gepulseerde golf (PW) plasma. Het CW-plasma was gedurende 2 minuten en de duur van het PW-plasma varieerde in verschillende experimenten. De piekvermogeninstelling was 30 W, en de pulscondities waren tijd-aan (Taan) = 37 ps en tijd-uit (Tuit) = 0,5 ms. Aan het eind van de afzetting werd het RF-vermogen uitgeschakeld, de stroomregelaar gestopt en de kamerThe reactor was evacuated to the basic pressure (typically <10 mTorr). The monomer was delivered to the chamber using the flow controller, with a monomer gas flow of 0.4 sccm. The chamber was heated to 45 ° C. The pressure in the reactor was kept at 30 mTorr. The plasma was produced using RF at 13.56 MHz and the process usually consisted of two steps; the continuous wave (CW) plasma and the pulsed wave (PW) plasma. The CW plasma was for 2 minutes and the duration of the PW plasma varied in different experiments. The peak power setting was 30 W, and the pulse conditions were time on (T on ) = 37 ps and time off (T off ) = 0.5 ms. At the end of the deposition, the RF power was turned off, the flow controller stopped and the room

2017/54472017/5447

BE2017/5447 leeggepompt tot basisdruk. De kamer werd ontlucht tot atmosferische druk en de beklede monsters verwijderd.BE2017 / 5447 pumped empty to basic pressure. The chamber was vented to atmospheric pressure and the coated samples removed.

Voor elk experiment werden twee test-PCB's en twee Si-wafels gebruikt. De Si-wafels maken mogelijk dat fysische eigenschappen van de gevormde coating gemeten worden, bijvoorbeeld AFM voor oppervlaktemorfologie. De metalen sporen van de test-PCB's waren goudbekleed koper. De Si-wafels werden geplaatst op de topvoorkant van de PCB's.Two test PCBs and two Si waffles were used for each experiment. The Si wafers allow physical properties of the coating formed to be measured, e.g. AFM for surface morphology. The metal traces of the test PCBs were gold clad copper. The Si waffles were placed on the top front of the PCBs.

De procesparameters voor de experimenten worden in Tabel 2 getoond.The process parameters for the experiments are shown in Table 2.

Voorbeeld 2Example 2

Weerstand bij vaste spanning in de tijdResistance at fixed voltage in time

Deze testmethode is ontwikkeld om het vermogen te evalueren van verschillende coatings om een elektrische barrière op printplaten te verschaffen en de mogelijkheid te voorspellen van een smartphone om aan de IEC 60529 14.2.7 (IPX7)-test te voldoen. De methode is ontwikkeld om gebruikt te worden met leidingwater. Deze test omvat het meten van de stroomspannings- (IV-) kenmerken van een gestandaardiseerde printplaat (PCB) in water. De PCB is ontworpen met een onderlinge afstand van 0,5 mm tussen de elektroden om te kunnen beoordelen wanneer elektrochemische migratie plaatsvindt over de sporen in water. De mate van elektrochemische activiteit wordt gekwantificeerd door het meten van stroom; lage stroom is indicatief voor een coating met goede kwaliteit. De methode blijkt zeer effectief te zijn bij het onderscheiden tussen verschillende coatings. De prestaties van de coatings kunnen worden gekwantificeerd, bijv, als een weerstand bij 4, 8 V en 21 V. De gemeten weerstand op de onbehandelde testinrichting is ongeveer 100 ohm wanneer een spanning van 8V wordt aangelegd.This test method has been developed to evaluate the ability of different coatings to provide an electrical barrier on printed circuit boards and to predict the ability of a smartphone to pass the IEC 60529 14.2.7 (IPX7) test. The method has been developed to be used with tap water. This test includes the measurement of the current (IV) characteristics of a standardized PCB (water) in water. The PCB is designed with a distance of 0.5 mm between the electrodes to be able to judge when electrochemical migration occurs over the traces in water. The degree of electrochemical activity is quantified by measuring current; low current is indicative of a coating with good quality. The method appears to be very effective at differentiating between different coatings. The performance of the coatings can be quantified, for example, as a resistance at 4, 8 V and 21 V. The measured resistance on the untreated test device is approximately 100 ohms when a voltage of 8 V is applied.

De te testen beklede PCB wordt in een beker met water geplaatst en verbonden met de elektrische testinrichting zoals getoond in Figuur 1. De plaat 10 is horizontaal en verticaal gecentreerd in de beker 12 met water 14 om effecten van lokale ionenconcentratie te minimaliseren (verticale locatie van de plaat met water is erg belangrijk; waterniveau moet tot de blauwe lijn zijn). Wanneer de printplaat aangesloten is, wordt de stroombron ingesteld op de gewenste spanning en de stroom wordt direct bewaakt. De aangelegde spanning is bijvoorbeeld 8 V en de PCB wordt op de ingestelde spanning gehouden gedurende 13 minuten, waarbij de stroom continu gecontroleerd wordt tijdens deze periode.The coated PCB to be tested is placed in a beaker with water and connected to the electrical test device as shown in Figure 1. The plate 10 is horizontally and vertically centered in the beaker 12 with water 14 to minimize effects of local ion concentration (vertical location of the plate with water is very important; the water level must be up to the blue line). When the circuit board is connected, the power source is set to the desired voltage and the current is monitored immediately. The applied voltage is, for example, 8 V and the PCB is kept at the set voltage for 13 minutes, the current being continuously monitored during this period.

De coating gevormd door de procesparameters getoond in Tabel 2 wordt getest en de resultaten worden getoond in Tabel 3. Gebleken is dat wanneer coatings weerstandswaardenThe coating formed by the process parameters shown in Table 2 is tested and the results are shown in Table 3. It has been found that when coatings have resistance values

2017/54472017/5447

BE2017/5447 hoger dan 8 MOhm hebben, de beklede inrichting met succes aan een IPX7-test voldoet. De aard van de inrichting die bekleed wordt (bijvoorbeeld het type smartphone), zal de test beïnvloeden, bijvoorbeeld door variaties in materialen, binnendringpunten, stroomverbruik etc.BE2017 / 5447 higher than 8 MOhm, the coated device successfully passes an IPX7 test. The nature of the device that is covered (for example the type of smartphone) will influence the test, for example by variations in materials, intrusion points, power consumption, etc.

Kritische kracht (Fc)Critical power (Fc)

De elektrische geleidbaarheid van een coating kan aanzienlijk veranderen wanneer een samendrukkende spanning op de coating wordt aangebracht. De verandering in de elektrische geleidbaarheid is afhankelijk van de amplitude van de door de coating ervaren spanning, hoeveelheid defecten en type polymeermatrix van de coating. Dit gedrag wordt verklaard op basis van de vorming of vernietiging van een geleidend netwerk, dat verder afhangt van de viscositeit (stijfheid) van de polymeermatrix. Om het vermogen van de coating te evalueren om elektrisch contact onder relatief lage kracht te verschaffen, wordt een contactkrachttest uitgevoerd.The electrical conductivity of a coating can change considerably when a compressive voltage is applied to the coating. The change in the electrical conductivity depends on the amplitude of the stress experienced by the coating, the amount of defects and the type of polymer matrix of the coating. This behavior is explained on the basis of the formation or destruction of a conductive network, which further depends on the viscosity (stiffness) of the polymer matrix. To evaluate the ability of the coating to provide electrical contact under a relatively low force, a contact force test is performed.

De contactkrachttest is een elektrische testprocedure die het meten omvat van de kritische kracht (Fc) of druk (Pc) die op de isolerende coating aangebracht moet worden via een platte sonde, om elektrische doorbraak door de coating te laten plaatsvinden. De test kan gebruikt worden ofwel op PCB's van slimme telefoons of op stripplaten (Test-PCB's) die tijdens processen als getuigenismonsters worden geplaatst.The contact force test is an electrical test procedure that includes measuring the critical force (Fc) or pressure (Pc) to be applied to the insulating coating through a flat probe to cause electrical breakthrough through the coating. The test can be used either on smart phone PCBs or on strip plates (Test PCBs) that are placed as testimony samples during processes.

De test gebruikt een platte sonde van 1 mm in diameter (of een bolvormige sonde met een diameter van 2 mm), die contact maakt met het vlakke oppervlak van de film. De sonde is gemonteerd op een steunpoot en de opstelling is zodanig dat variaties in de door de sonde op het oppervlak van het monster aangebrachte kracht onmiddellijk worden geregistreerd door een weegschaal (of belastingscel) waarop het monster is geplaatst. Met deze opstelling is de resolutie in aangebrachte druk ongeveer 15 kPA (kracht 5 g).The test uses a flat probe of 1 mm in diameter (or a spherical probe with a diameter of 2 mm) that makes contact with the flat surface of the film. The probe is mounted on a support leg and the arrangement is such that variations in the force applied by the probe to the surface of the sample are immediately recorded by a scale (or load cell) on which the sample is placed. With this arrangement, the resolution in applied pressure is approximately 15 kPA (force 5 g).

De normale procedure is om de door de sonde op het vlakke oppervlak van het monster aangebrachte kracht handmatig te laten oplopen met inachtneming van de weerstand tussen de sonde en het geleidende substraat. De kracht wordt handmatig of automatisch verhoogd tot het punt (Fc) wanneer stroomdoorbraak door de film optreedt.The normal procedure is to manually increase the force applied by the probe to the flat surface of the sample, taking into account the resistance between the probe and the conductive substrate. The force is manually or automatically increased to the point (Fc) when a film breakthrough occurs.

Deze test maakt het mogelijk dat de elektrische isolatie-eigenschappen van het monster op een aantal verschillende punten over het oppervlak geanalyseerd worden, waardoor een idee van de gelijkmatigheid van de oppervlaktelaag verschaft wordt.This test allows the electrical insulation properties of the sample to be analyzed at a number of different points across the surface, thereby providing an idea of the uniformity of the surface layer.

De Fc-waarde voor de beklede PCB-coating gevormd in Voorbeeld 1 is getoond in Tabel 3.The Fc value for the coated PCB coating formed in Example 1 is shown in Table 3.

2017/54472017/5447

BE2017/5447BE2017 / 5447

CoatingsdikteCoating thickness

De dikte van de coatings gevormd in Voorbeeld 1 werd gemeten met een spectroscopische reflectometrie-inrichting (Filmetrics F20-UV) met gebruik van optische constanten geverifieerd door spectroscopische elipsometrie.The thickness of the coatings formed in Example 1 was measured with a spectroscopic reflectometry device (Filmetrics F20-UV) using optical constants verified by spectroscopic elipsometry.

Spectroscopische reflectrometrieSpectroscopic reflectrometry

Dikte van de ccating wcrdt gemeten met een Filmetrics F20-UV spectrcsccpischereflectrometrie-inrichting. Dit instrument (F20-UV) meet eigenschappen van de ccating deer het reflecteren van licht vanaf de ccating en het analyseren van het daaruit vccrtvlceiende reflectieccëfficiëntspectrum ever een bereik van golflengtes. Licht gereflecteerd vanaf verschillende grensvlakken van de coating kan in of uit fase zijn zodat deze reflecties optellen of aftrekken, afhankelijk van de golflengte van het invallende licht en de dikte en index van de coating. Het resultaat is intensiteitoscillaties in het reflectiecoëfficiëntspectrum die kenmerkend voor de coating zijn.Thickness of the coating is measured with a Filmetrics F20-UV spectrometer reflectorometry. This instrument (F20-UV) measures the characteristics of the coating, the reflection of light from the coating and the analysis of the resulting reflection coefficient spectrum and a range of wavelengths. Light reflected from different interfaces of the coating can be in or out of phase so that these reflections add or subtract, depending on the wavelength of the incident light and the thickness and index of the coating. The result is intensity oscillations in the reflection coefficient spectrum that are characteristic of the coating.

Om de dikte van de coating te bepalen berekent de Filmetrics-software een theoretisch reflectiecoëfficiëntspectrum dat zoveel mogelijk overeenkomt met het gemeten spectrum. Het begint met een initiële schatting hoe het reflectiecoëfficiëntspectrum eruit moet zien, op basis van de nominale coatingsstapel (gelaagde structuur). Dit omvat informatie over de dikte (nauwkeurigheid 0,2 nm) en de brekingsindex van de verschillende lagen en het substraat waaruit het monster is opgebouwd (brekingsindexwaardes kunnen worden ontleend aan spectroscopische ellipsometrie). Het theoretische reflectiecoëfficiëntspectrum wordt dan aangepast door het aanpassen van eigenschappen van de coating tot een beste fit met het gemeten spectrum wordt gevonden. Gemeten coatings dienen optisch glad te zijn en binnen het diktebereik van 1 nm tot 40 μm te vallen.To determine the thickness of the coating, the Filmetrics software calculates a theoretical reflection coefficient spectrum that corresponds as much as possible to the measured spectrum. It starts with an initial estimate of what the reflection coefficient spectrum should look like, based on the nominal coating stack (layered structure). This includes information about the thickness (accuracy 0.2 nm) and the refractive index of the different layers and the substrate from which the sample is composed (refractive index values can be derived from spectroscopic ellipsometry). The theoretical reflection coefficient spectrum is then adjusted by adjusting properties of the coating until a best fit with the measured spectrum is found. Measured coatings must be optically smooth and fall within the thickness range of 1 nm to 40 μm.

OoDervlaktemorfologieSurface morphology

De oppervlaktemorfologie van de coatings wordt gemeten met gebruik van atoomkrachtmicroscopie (AFM). Analyses worden uitgevoerd met een Veeco Park Autoprobe AFM-instrument, gebruikt in de tapping beeldvormende modus, met gebruik van Ultrasharp NSC12, duikplankhefboompjes met veerconstantes in het bereik van 4-14 N/m, en met resonantiefrequenties in het bereik van 150-310 kHz. Een hoge aspectverhoudingsprobe met een kromtestraal op de tipapex van <10 nm en openingshoek <20° werd gebruikt. Gezichtsvelden van 5x5 en 1x1 μm2 werden afgebeeld, waarbij het grotere gezichtsveld informatiever is. Oppervlakteruwheid, RMS (root mean square), werd berekend door standaard software, voor elk gezichtsveld. De verkregen beelden waren in alle gevallen 256 x 256 pixels.The surface morphology of the coatings is measured using atomic force microscopy (AFM). Analyzes are performed with a Veeco Park Autoprobe AFM instrument used in tapping imaging mode, using Ultrasharp NSC12, diving board levers with spring constants in the range of 4-14 N / m, and with resonance frequencies in the range of 150-310 kHz . A high aspect ratio probe with a radius of curvature on the tipapex of <10 nm and aperture angle <20 ° was used. Fields of view of 5x5 and 1x1 μm 2 were shown, with the larger field of view being more informative. Surface roughness, RMS (root mean square), was calculated by standard software, for each field of view. The images obtained were 256 x 256 pixels in all cases.

2017/54472017/5447

BE2017/5447BE2017 / 5447

Uit de AFM-morfologische analyse van de coatings kunnen twee parameters worden geëxtraheerd; (a) de RMS-ruwheid (r) van de coating en b) de verhouding ΔΖ/d waarbij d de dikte van de coating is en ΔΖ hieronder uitgelegd wordt.Two parameters can be extracted from the AFM morphological analysis of the coatings; (a) the RMS roughness (r) of the coating and b) the ratio ΔΖ / d where d is the thickness of the coating and ΔΖ is explained below.

Figuur 2 toont een tapping modus beeld via 1x1 μm2 gezichtsveld van een specimen voorbeeld (dikte d = 1700 nm), bereid volgens Voorbeeld 1 (links) en een contourlijnplot die de gegevens voor de berekening van RMS-ruwheid toont (rechts). De ΔΖ-waarde aangegeven op de plot is genomen over een gebied van de grafiek dat het grootste deel van de coating vertegenwoordigt. Pieken die boven het ΔΖ-bereik liggen, geven grote deeltjes aan en dalen die onder het ΔΖ-bereik vallen, tonen holtes of gaatjes in de coating. De breedte van de pieken geeft ook een indicatie van de deeltjesgrootte.Figure 2 shows a tapping mode image via 1x1 μm 2 field of view of a specimen example (thickness d = 1700 nm) prepared according to Example 1 (left) and a contour line plot showing the data for the calculation of RMS roughness (right). The ΔΖ value indicated on the plot is taken over an area of the graph that represents most of the coating. Peaks that are above the ΔΖ range indicate large particles and troughs that fall below the ΔΖ range show cavities or holes in the coating. The width of the peaks also gives an indication of the particle size.

Voor het monster in Tabel 3 was RMS-ruwheid (r) 0,4 nm en ΔΖ = 1 ± 0,2 nm hetgeen ΔΖ/d = 0,0006 geeft.For the sample in Table 3, RMS roughness (r) was 0.4 nm and ΔΖ = 1 ± 0.2 nm giving ΔΖ / d = 0.0006.

Het is aangetoond dat ΔΖ/d <0,15 wijst op een gaatjesvrije coating. Morfologische parameters zijn goede indicatoren voor gaatjesvrije coatings. Deze eigenschap alleen houdt echter geen rekening met de hoge prestatie van de coating.It has been shown that ΔΖ / d <0.15 indicates a hole-free coating. Morphological parameters are good indicators for hole-free coatings. However, this property alone does not take into account the high performance of the coating.

Na onderzoek bleken de coatings conform te zijn en het feit dat alle coatings ofwel de IPX7test overschrijden of daar dichtbij komen, is een indicatie dat zij fysische barrières vormen. Het gebruik van plasmapolymerisatie om de coating af te zetten heeft het voordeel dat de coating voldoende dik gemaakt kan worden om een fysische barrière te verschaffen terwijl deze beduidend dunner is dan bekende conforme coatings uit de stand der techniek. Dit diktebereik heeft het voordeel dat de coating voldoende dik is om een fysische barrière te vormen en toch dun genoeg is om elektrische verbindingen te laten maken zonder de coating eerst te verwijderen.After examination, the coatings were found to be compliant and the fact that all coatings either exceed the IPX7 test or get close to it is an indication that they form physical barriers. The use of plasma polymerization to deposit the coating has the advantage that the coating can be made thick enough to provide a physical barrier while being significantly thinner than prior art conformal coatings. This thickness range has the advantage that the coating is sufficiently thick to form a physical barrier and yet is thin enough to allow electrical connections to be made without first removing the coating.

Het gebruik van plasmapolymerisatie heeft ook het voordeel dat een goede binnendringing van het monomeer tijdens de plasmapolymerisatietechniek ervoor zorgt dat de coating alle gewenste gebieden bedekt, bijvoorbeeld het gehele buitenoppervlak. Wanneer de elektronische of elektrische inrichting een behuizing omvat, kan het gehele binnenoppervlak van de behuizing bekleed worden (door het blootstellen van de open behuizing aan het plasma) om de elektronische componenten in de behuizing te beschermen wanneer de inrichting geassembleerd is.The use of plasma polymerization also has the advantage that good intrusion of the monomer during the plasma polymerization technique ensures that the coating covers all desired areas, for example the entire outer surface. When the electronic or electrical device comprises a housing, the entire inner surface of the housing can be coated (by exposing the open housing to the plasma) to protect the electronic components in the housing when the device is assembled.

2017/54472017/5447

BE2017/5447BE2017 / 5447

CW tijd CW time 2 min 2 min Taan Taan 37 ps 37 ps Tuit Spout 0,5 ms 0.5 ms monomeerdruk monomer pressure 30 mTorr 30 mTorr PW /CW vermogen PW / CW power 30 Watt 30 watts monomeerstroomsnelheid monomer flow rate 0,40 sccm 0.40 sccm (STP) (STP) Kamer T Room T 45 °C 45 ° C PW tijd PW time 45 min 45 mins vermogen/volume power / volume 12 Watt/liter 12 watts / liter vermogen/stroming power / flow 75 Watt/sccm 75 watts / sccm monomeervolume/min monomer volume / min 0,005 ml/min 0.005 ml / min

Tabel 2: Procesparameters voor een coating gevormd uit n-tetradecaanTable 2: Process parameters for a coating formed from n-tetradecane

dikte (d) Si thickness (d) Si 968 nm 968 nm dikte (d) SB thickness (d) SB 1135 nm 1135 nm R bij 8 V 13 min R at 8 V for 13 min 4.78E+07 Ω 4.78E + 07 Ω R/d (13min) R / d (13 min) 4,21 E+04 Ω/nm 4.21 E + 04 Ω / nm Kritische kracht Critical power 60 g 60 g RMS ruwheid (AFM) RMS roughness (AFM) 0,4 nm 0.4 nm ΔΖ (AFM) ΔΖ (AFM) 1 ±0,2 nm 1 ± 0.2 nm

Tabel 3: Coatingseigenschappen van een coating gevormd uit n-tetradecaanTable 3: Coating properties of a coating formed from n-tetradecane

Claims (26)

1. Een elektronische of elektrische inrichting of een elektronische of elektrische component daarvan, omvattende een conforme, beschermende, vloeistofafstotendeAn electronic or electrical device or an electronic or electrical component thereof, comprising a conforming, protective, liquid-repellent 5 polymere coating op een oppervlak van deze inrichting of component, waarbij de polymere coating verkrijgbaar is door het blootstellen van deze inrichting of component aan een plasma omvattende één of meer verzadigde monomeerverbindingen gedurende een voldoende tijdsduur om deze coating op een oppervlak daarvan te laten vormen; waarbij de één of meer verzadigde monomeerverbindingen elk een smeltpunt bijA polymeric coating on a surface of this device or component, wherein the polymeric coating is obtainable by exposing this device or component to a plasma comprising one or more saturated monomer compounds for a sufficient period of time to cause this coating to form on a surface thereof; wherein the one or more saturated monomer compounds each have a melting point at 10 standaard druk lager dan 45 °C en een kookpunt bij standaard druk lager dan 500 °C hebben en waarin deze coating een fysische barrière voor massa- en/of elektronentransport is, zodat deze inrichting of component onderdompeling in maximaal10 have a standard pressure of less than 45 ° C and a boiling point at a standard pressure of less than 500 ° C and in which this coating is a physical barrier for mass and / or electron transport, so that this device or component is immersed in maximum 1 meter water gedurende meer dan 30 minuten kan weerstaan zonder falen of corrosie terwijl vermogen wordt aangebracht op deze inrichting of component.1 meter of water can withstand for more than 30 minutes without failure or corrosion while power is applied to this device or component. 2. De inrichting of component volgens conclusie 1, waarbij de beschermende polymere coating gedefinieerd wordt door een statische watercontacthoek (WCA) van ten minste 90°.The device or component of claim 1, wherein the protective polymeric coating is defined by a static water contact angle (WCA) of at least 90 °. 2020 3. De inrichting of component volgens conclusie 1 of 2 waarbij deze inrichting of component een behuizing omvat en waarbij de coating een conforme polymere coating over in hoofdzaak een geheel buiten- en/of binnenoppervlak van de behuizing vormt.The device or component of claim 1 or 2 wherein said device or component comprises a housing and wherein the coating forms a conformal polymeric coating over substantially an entire outer and / or inner surface of the housing. 4. De inrichting of component volgens één van de voorgaande conclusies, waarbij dezeThe device or component of any one of the preceding claims, wherein it 25 inrichting of component een behuizing omvat en waarbij de beschermende polymere coating een conforme fysische barrière over in hoofdzaak een geheel buitenoppervlak van componenten binnen de behuizing vormt.Device or component comprises a housing and wherein the protective polymeric coating forms a conforming physical barrier over substantially an entire outer surface of components within the housing. 5. De inrichting of component volgens één van de voorgaande conclusies waarbij deThe device or component of any one of the preceding claims wherein the 30 coating twee of meer beschermende polymere coatingslagen omvat.Coating comprises two or more protective polymeric coating layers. 6. De inrichting of component volgens één van de voorgaande conclusies, waarbij de beschermende polymere coating een dikte van 50 nm-10000 nm heeft.The device or component of any one of the preceding claims, wherein the protective polymeric coating has a thickness of 50 nm-10000 nm. 3535 7. De inrichting of component volgens conclusie 6, waarbij de coating een dikte in het bereik van 100 nm tot 5000 nm heeft.The device or component of claim 6, wherein the coating has a thickness in the range of 100 nm to 5000 nm. 8. De inrichting of component volgens conclusie 7, waarbij de coating een dikte in het bereik van 250 nm tot 2000 nm heeft.The device or component of claim 7, wherein the coating has a thickness in the range of 250 nm to 2000 nm. 2017/54472017/5447 BE2017/5447BE2017 / 5447 9. De inrichting of component volgens één van de voorgaande conclusies, waarbij de coating elektrisch isolerend is.The device or component of any one of the preceding claims, wherein the coating is electrically insulating. 10. De inrichting of component volgens één van de voorgaande conclusies, waarbij de coating een weerstand van 8 MOhm of hoger heeft wanneer ondergedompeld in water en een spanning van minimaal 16 V/mm wordt aangelegd gedurende minimaal 13 minuten.The device or component of any preceding claim, wherein the coating has a resistance of 8 MOhm or higher when immersed in water and a voltage of at least 16 V / mm is applied for at least 13 minutes. 11. De inrichting of component volgens één van de voorgaande conclusies, waarbij de coating elektrisch isolerend is en waarbij de coating voldoende flexibel is dat elektrische connectoren met deze inrichting of component verbonden kunnen worden en een elektrische verbinding tussen de elektrische connectoren en de inrichting of component gemaakt kan worden zonder de noodzaak om eerst de coating te verwijderen.The device or component according to any of the preceding claims, wherein the coating is electrically insulating and wherein the coating is sufficiently flexible that electrical connectors can be connected to this device or component and an electrical connection between the electrical connectors and the device or component can be made without the need to first remove the coating. 12. De inrichting of component volgens één van de voorgaande conclusies, waarbij de coating elektrisch isolerend is en waarbij een kracht kleiner dan 100 g aangebracht op de coating met gebruik van een ronde sonde met een diameter van 1 mm het mogelijk maakt om een elektrische verbinding met de inrichting of component te maken in de lokale omgeving waar de kracht is aangebracht.The device or component according to any of the preceding claims, wherein the coating is electrically insulating and wherein a force of less than 100 g applied to the coating using a round probe with a diameter of 1 mm makes it possible to make an electrical connection with the device or component in the local environment where the force has been applied. 13. De inrichting of component volgens één van de voorgaande conclusies, waarbij de coating elektrisch isolerend is en een dikte heeft van 150 nm tot 1000 nm en waarbij een kracht van minder dan 65 g aangebracht op de coating met gebruik van een ronde sonde met een diameter van 1 mm het mogelijk maakt om een elektrische verbinding te maken in de lokale omgeving waar de kracht is aangebracht.The device or component of any one of the preceding claims, wherein the coating is electrically insulating and has a thickness of 150 nm to 1000 nm and wherein a force of less than 65 g applied to the coating using a round probe with a 1 mm diameter makes it possible to make an electrical connection in the local environment where the force is applied. 14. De inrichting of component volgens één van de voorgaande conclusies, waarbij deze inrichting of component ten minste één elektrisch contact omvat en waarbij het ten minste ene contact door de coating bedekt is.The device or component of any one of the preceding claims, wherein said device or component comprises at least one electrical contact and wherein the at least one contact is covered by the coating. 15. De inrichting of component volgens één van de voorgaande conclusies, waarbij de inrichting of component gekozen wordt uit mobiele telefoons, smartphones, pagers, radio’s, geluids- en audiosystemen zoals luidsprekers, microfoons, ringers en/of zoemers, gehoorapparaten, persoonlijke audio-apparatuur zoals persoonlijke cd-, cassetteband- of MP3-spelers, televisies, dvd-spelers met inbegrip van draagbare dvdspelers, videorecorders, digi- en andere set-top-boxen, computers en aanverwante componenten, zoals laptop, notebook, tablet, phablet, palmtop computers, persoonlijke digitale assistenten (PDA's), toetsenborden, of instrumentatie, gameconsoles,The device or component according to any of the preceding claims, wherein the device or component is selected from mobile phones, smartphones, pagers, radios, sound and audio systems such as speakers, microphones, ringers and / or buzzers, hearing aids, personal audio equipment such as personal CD, cassette tape or MP3 players, televisions, DVD players including portable DVD players, VCRs, digital and other set-top boxes, computers and related components such as laptop, notebook, tablet, phablet, palmtop computers, personal digital assistants (PDAs), keyboards, or instrumentation, game consoles, 2017/54472017/5447 30 BE2017/5447 gegevensopslaginrichtingen, buitenverlichtingssystemen, radio-antennes en andere communicatieapparatuur en printplaten.30 BE2017 / 5447 data storage devices, outdoor lighting systems, radio antennas and other communication equipment and printed circuit boards. 16. De inrichting of component volgens één van de voorgaande conclusies, waarbij de verzadigde monomeerverbinding of elke verzadigde monomeerverbinding een verbinding met formule (I):The device or component of any one of the preceding claims, wherein the saturated monomer compound or each saturated monomer compound is a compound of formula (I): is, waarin elk van FL tot R4 onafhankelijk gekozen wordt uit waterstof, halogeen en een eventueel gesubstitueerde C^-Ce cyclische, vertakte of rechte alkylgroep en n van 1 tot 24 is.wherein each of FL to R 4 is independently selected from hydrogen, halogen and an optionally substituted C 1 -C 6 cyclic, branched or straight chain alkyl group and n is from 1 to 24. 17. De inrichting of component volgens conclusie 16, waarbij n van 1 tot 16 is.The device or component of claim 16, wherein n is from 1 to 16. 18. De inrichting of component volgens conclusie 16, waarbij n van 8 tot 14 is.The device or component of claim 16, wherein n is from 8 to 14. 19. De inrichting of component volgens één van de voorgaande conclusies, waarbij het monomeer gekozen wordt uit methaan, ethaan, propaan, n-butaan, isobutaan, npentaan, isopentaan, neo-pentaan, n-hexaan, 2-methylpentaan, 3-methylpentaan, 2,2dimethylbutaan, 2,3-dimethyl- butaan, n-heptaan, 2-methylhexaan, 3-methylhexaan, 2,2dimethylpentaan, 2,3-dimethylpentaan, 2,4-dimethylpentaan, 3,3-dimethylpentaan, 3ethylpentaan, 2,2,3-trimethylpentaan, n-octaan, 2-methylheptaan, 3-methylheptaan, 4methylheptaan, 2,2-dimethylhexaan, 2,3-dimethylhexaan, 2,4-dimethylhexaan, 2,5dimethylhexaan, 3,3-dimethylhexaan, 3,4-dimethylhexaan, 3-ethylhexaan, 2,2,3trimethylpentaan, 2,2,4-trimethylpentaan, 2,3,3-trimethylpentaan, 2,3,4-trimethylpentaan, 3-ethyl-2-methylpentaan, 3-ethyl-3-methylpentaan, 2,2,3,3-tetramethylbutaan, n-nonaan en isomeren daarvan, n-decaan en isomeren daarvan, n-undecaan en isomeren daarvan, n-dodecaan en isomeren daarvan, n-tridecaan en isomeren daarvan, ntetradecaan en isomeren daarvan, n-pentadecaan en isomeren daarvan, en nhexadecaan en isomeren daarvan.The device or component of any preceding claim, wherein the monomer is selected from methane, ethane, propane, n-butane, isobutane, npentane, isopentane, neopentane, n-hexane, 2-methylpentane, 3-methylpentane , 2,2-dimethylbutane, 2,3-dimethylbutane, n-heptane, 2-methylhexane, 3-methylhexane, 2,2dimethylpentane, 2,3-dimethylpentane, 2,4-dimethylpentane, 3,3-dimethylpentane, 3ethylpentane, 2 , 2,3-trimethylpentane, n-octane, 2-methylheptane, 3-methylheptane, 4-methylheptane, 2,2-dimethylhexane, 2,3-dimethylhexane, 2,4-dimethylhexane, 2,5-dimethylhexane, 3,3-dimethylhexane, 3 , 4-dimethylhexane, 3-ethylhexane, 2,2,3-trimethylpentane, 2,2,4-trimethylpentane, 2,3,3-trimethylpentane, 2,3,4-trimethylpentane, 3-ethyl-2-methylpentane, 3-ethyl -3-methylpentane, 2,2,3,3-tetramethylbutane, n-nonane and isomers thereof, n-decane and isomers thereof, n-undecane and isomers thereof, n-dodecane and isomers thereof, n-tridecane and isomers thereof, ntradecane and isomers thereof n, n-pentadecane and isomers thereof, and nhexadecane and isomers thereof. 20. Werkwijze voor het behandelen van een inrichting of component volgens één van de voorgaande conclusies, omvattende:A method of treating a device or component according to any of the preceding claims, comprising: 2017/54472017/5447 BE2017/5447 het blootstellen van deze inrichting of component aan een plasma dat deze één of meer verzadigde monomeerverbindingen omvat gedurende een voldoende tijdsperiode om een beschermende polymere coating op een oppervlak daarvan te laten vormen;BE2017 / 5447 exposing this device or component to a plasma comprising one or more saturated monomer compounds for a sufficient period of time to cause a protective polymer coating to form on a surface thereof; 21. De werkwijze volgens conclusie 20, waarbij de stroomsnelheid van het monomeer bij standaard temperatuur en druk 0,2-50 sccm is.The method of claim 20, wherein the flow rate of the monomer at standard temperature and pressure is 0.2-50 sccm. 22. De werkwijze volgens conclusie 20 of 21, waarbij de verhouding van vermogen tot stroomsnelheid van het monomeer van 5 tot 70 watt/sccm is.The method of claim 20 or 21, wherein the ratio of power to flow rate of the monomer is from 5 to 70 watts / sccm. 23. De werkwijze volgens één van de conclusies 20 tot 22, waarbij de coating wordt opgebouwd in opeenvolgende lagen.The method of any one of claims 20 to 22, wherein the coating is built up in successive layers. 24. De werkwijze volgens één van de conclusies 20 tot 23, waarbij het plasma gevormd wordt door het aanbrengen van een radiofrequentiesignaal op de één of meer monomeerverbindingen, waarbij de één of meer monomeerverbindingen in de gasvormige toestand zijn.The method of any one of claims 20 to 23, wherein the plasma is formed by applying a radio frequency signal to the one or more monomer compounds, the one or more monomer compounds being in the gaseous state. 25. De werkwijze volgens één van de conclusies 20 tot 24, waarbij het plasma een gepulseerdegolfplasma is.The method of any one of claims 20 to 24, wherein the plasma is a pulsed wave plasma. 26. De werkwijze volgens één van de conclusies 20 tot 24, waarbij het plasma een continuegolfplasma is.The method of any one of claims 20 to 24, wherein the plasma is a continuous wave plasma.
BE2017/5447A 2017-06-23 2017-06-23 Coating BE1025386B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
BE2017/5447A BE1025386B1 (en) 2017-06-23 2017-06-23 Coating

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
BE2017/5447A BE1025386B1 (en) 2017-06-23 2017-06-23 Coating

Publications (2)

Publication Number Publication Date
BE1025386A1 BE1025386A1 (en) 2019-02-05
BE1025386B1 true BE1025386B1 (en) 2019-02-12

Family

ID=59152598

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
BE2017/5447A BE1025386B1 (en) 2017-06-23 2017-06-23 Coating

Country Status (1)

Country Link
BE (1) BE1025386B1 (en)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH049470A (en) * 1990-04-27 1992-01-14 Furukawa Electric Co Ltd:The Production of plasma-polymerized insulating film
US20040046165A1 (en) * 2000-09-11 2004-03-11 Arvid Hunze Plasma encapsulation for electronic and microelectronic components such as oleds
DE102008007588A1 (en) * 2007-02-14 2008-08-21 Sentech Instruments Gmbh Barrier layer creating process for microstructured component involves preparing component in plasma reactor, plasma treatment, and supplying precursor and carrier gas
US20090048652A1 (en) * 2007-08-13 2009-02-19 Cardiac Pacemakers, Inc Medical device having plasma polymerized coating and method therefor
US20120051018A1 (en) * 2010-08-27 2012-03-01 Oticon A/S Method of coating a surface with a water and oil repellant polymer layer
WO2015128627A1 (en) * 2014-02-28 2015-09-03 P2I Ltd Coating

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH049470A (en) * 1990-04-27 1992-01-14 Furukawa Electric Co Ltd:The Production of plasma-polymerized insulating film
US20040046165A1 (en) * 2000-09-11 2004-03-11 Arvid Hunze Plasma encapsulation for electronic and microelectronic components such as oleds
DE102008007588A1 (en) * 2007-02-14 2008-08-21 Sentech Instruments Gmbh Barrier layer creating process for microstructured component involves preparing component in plasma reactor, plasma treatment, and supplying precursor and carrier gas
US20090048652A1 (en) * 2007-08-13 2009-02-19 Cardiac Pacemakers, Inc Medical device having plasma polymerized coating and method therefor
US20120051018A1 (en) * 2010-08-27 2012-03-01 Oticon A/S Method of coating a surface with a water and oil repellant polymer layer
WO2015128627A1 (en) * 2014-02-28 2015-09-03 P2I Ltd Coating

Also Published As

Publication number Publication date
BE1025386A1 (en) 2019-02-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
BE1023839B1 (en) Coating
BE1023776B1 (en) COATINGS IMPROVEMENTS
EP3307835B1 (en) Coatings
US20140141674A1 (en) Apparatus and methods for plasma enhanced chemical vapor deposition of dielectric/polymer coatings
EP3699353A1 (en) Coatings
BE1025386B1 (en) Coating
CN106255555B (en) Coating layer

Legal Events

Date Code Title Description
FG Patent granted

Effective date: 20190212

MM Lapsed because of non-payment of the annual fee

Effective date: 20190630