ATE5203T1 - Verfahren zur reinigung von elementen der gruppe iii und zum epitaxialen wachstum von halbleiterverbindungen. - Google Patents

Verfahren zur reinigung von elementen der gruppe iii und zum epitaxialen wachstum von halbleiterverbindungen.

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ATE5203T1
ATE5203T1 AT80303079T AT80303079T ATE5203T1 AT E5203 T1 ATE5203 T1 AT E5203T1 AT 80303079 T AT80303079 T AT 80303079T AT 80303079 T AT80303079 T AT 80303079T AT E5203 T1 ATE5203 T1 AT E5203T1
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purification
methods
group iii
epitaxial growth
iii elements
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AT80303079T
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Marc Marian Faktor
John Haigh
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