ATE30478T1 - Methode zur herstellung einer duennen optischen membran. - Google Patents

Methode zur herstellung einer duennen optischen membran.

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ATE30478T1
ATE30478T1 AT82306422T AT82306422T ATE30478T1 AT E30478 T1 ATE30478 T1 AT E30478T1 AT 82306422 T AT82306422 T AT 82306422T AT 82306422 T AT82306422 T AT 82306422T AT E30478 T1 ATE30478 T1 AT E30478T1
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thin optical
optical membrane
membrane
thin
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AT82306422T
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Ray Winn
Ronald S Hershel
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Advanced Semiconductor Prod
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US06/326,489 US4378953A (en) 1981-12-02 1981-12-02 Thin, optical membranes and methods and apparatus for making them
US06/326,488 US4453828A (en) 1981-12-02 1981-12-02 Apparatus and methods for measuring the optical thickness and index of refraction of thin, optical membranes
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ATE30478T1 true ATE30478T1 (de) 1987-11-15

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