ATE291260T1 - Verfahren und gerät zum datenumsetzen, insbesondere geignet für eine datenbank nach objektprüfungssystem - Google Patents

Verfahren und gerät zum datenumsetzen, insbesondere geignet für eine datenbank nach objektprüfungssystem

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ATE291260T1
ATE291260T1 AT97928415T AT97928415T ATE291260T1 AT E291260 T1 ATE291260 T1 AT E291260T1 AT 97928415 T AT97928415 T AT 97928415T AT 97928415 T AT97928415 T AT 97928415T AT E291260 T1 ATE291260 T1 AT E291260T1
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AT97928415T
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Yonatan Lehman
Mula Friedman
Meir Aloni
Nissim Elmaliach
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Orbot Instr Ltd
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    • G06T7/0004Industrial image inspection
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    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
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    • G06T2207/30Subject of image; Context of image processing
    • G06T2207/30108Industrial image inspection
    • G06T2207/30148Semiconductor; IC; Wafer

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Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7106895B1 (en) 1999-05-05 2006-09-12 Kla-Tencor Method and apparatus for inspecting reticles implementing parallel processing
EP1768066A1 (de) * 1999-05-05 2007-03-28 KLA-Tencor Corporation Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von Retikeln mit paralleler Verarbeitung
US7048458B2 (en) * 2000-03-24 2006-05-23 The Clorox Company Fluid valve and actuator for inverted fluid reservoir
DE10031222A1 (de) * 2000-06-27 2002-01-10 Philips Corp Intellectual Pty Digitale mikroelektronische Schaltung mit einer getakteten Datenverarbeitungseinheit und einer Umwandlungseinheit
US7257247B2 (en) * 2002-02-21 2007-08-14 International Business Machines Corporation Mask defect analysis system
KR100490564B1 (ko) * 2002-07-23 2005-05-19 주식회사 메디슨 초음파 영상 신호로부터 장기를 인식하는 장치 및 방법
US7215808B2 (en) 2004-05-04 2007-05-08 Kla-Tencor Technologies Corporation High throughout image for processing inspection images
US9325456B2 (en) * 2005-03-22 2016-04-26 Intel Corporation Method and apparatus for delayed recovery for block acknowledgement bursting in a wireless network
US7570796B2 (en) 2005-11-18 2009-08-04 Kla-Tencor Technologies Corp. Methods and systems for utilizing design data in combination with inspection data
KR101623747B1 (ko) 2008-07-28 2016-05-26 케이엘에이-텐코어 코오포레이션 웨이퍼 상의 메모리 디바이스 영역에서 검출된 결함들을 분류하기 위한 컴퓨터-구현 방법들, 컴퓨터-판독 가능 매체, 및 시스템들
TWI427448B (zh) * 2010-11-02 2014-02-21 Ind Tech Res Inst 多軸同動機械之程式轉換模組及程式轉換方法
US9170211B2 (en) 2011-03-25 2015-10-27 Kla-Tencor Corp. Design-based inspection using repeating structures
US9087367B2 (en) 2011-09-13 2015-07-21 Kla-Tencor Corp. Determining design coordinates for wafer defects
US9189844B2 (en) 2012-10-15 2015-11-17 Kla-Tencor Corp. Detecting defects on a wafer using defect-specific information
US9053527B2 (en) 2013-01-02 2015-06-09 Kla-Tencor Corp. Detecting defects on a wafer
US9134254B2 (en) 2013-01-07 2015-09-15 Kla-Tencor Corp. Determining a position of inspection system output in design data space
US9311698B2 (en) * 2013-01-09 2016-04-12 Kla-Tencor Corp. Detecting defects on a wafer using template image matching
WO2014149197A1 (en) 2013-02-01 2014-09-25 Kla-Tencor Corporation Detecting defects on a wafer using defect-specific and multi-channel information
US9865512B2 (en) 2013-04-08 2018-01-09 Kla-Tencor Corp. Dynamic design attributes for wafer inspection
US9310320B2 (en) 2013-04-15 2016-04-12 Kla-Tencor Corp. Based sampling and binning for yield critical defects

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4984282A (en) * 1988-03-25 1991-01-08 Texas Instruments Incorporated Parallel processing of reference and guardband data
DE68928162T2 (de) * 1988-11-23 1998-01-29 Schlumberger Technologies Inc Verfahren und Gerät zum Verdichten von Bildern hoher Auflösung
US5253182A (en) * 1990-02-20 1993-10-12 Hitachi, Ltd. Method of and apparatus for converting design pattern data to exposure data
JP2856846B2 (ja) * 1990-05-31 1999-02-10 株式会社東芝 パターン欠陥検査方法とその装置

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US6366687B1 (en) 2002-04-02
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DE69732759T2 (de) 2006-04-13
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KR19990044394A (ko) 1999-06-25
EP0850460A1 (de) 1998-07-01
WO1998001827A1 (en) 1998-01-15

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