ATA477377A - Vorrichtung zur erzeugung eines korpuskularstrahls - Google Patents

Vorrichtung zur erzeugung eines korpuskularstrahls

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Wolfgang Dr Steiger
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Leopold Prager
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    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/08—Ion sources; Ion guns
    • H—ELECTRICITY
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    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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