ATA115992A - Vorrichtung zum ausrichten, zusammenführen und festhalten von scheibenförmigen bauteilen - Google Patents

Vorrichtung zum ausrichten, zusammenführen und festhalten von scheibenförmigen bauteilen

Info

Publication number
ATA115992A
ATA115992A AT115992A AT115992A ATA115992A AT A115992 A ATA115992 A AT A115992A AT 115992 A AT115992 A AT 115992A AT 115992 A AT115992 A AT 115992A AT A115992 A ATA115992 A AT A115992A
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
merging
aligning
shaped components
holding disc
disc
Prior art date
Application number
AT115992A
Other languages
English (en)
Other versions
AT405224B (de
Original Assignee
Thallner Erich
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Thallner Erich filed Critical Thallner Erich
Priority to AT115992A priority Critical patent/AT405224B/de
Publication of ATA115992A publication Critical patent/ATA115992A/de
Application granted granted Critical
Publication of AT405224B publication Critical patent/AT405224B/de

Links

AT115992A 1992-06-05 1992-06-05 Vorrichtung zum ausrichten, zusammenführen und festhalten von scheibenförmigen bauteilen AT405224B (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AT115992A AT405224B (de) 1992-06-05 1992-06-05 Vorrichtung zum ausrichten, zusammenführen und festhalten von scheibenförmigen bauteilen

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AT115992A AT405224B (de) 1992-06-05 1992-06-05 Vorrichtung zum ausrichten, zusammenführen und festhalten von scheibenförmigen bauteilen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
ATA115992A true ATA115992A (de) 1998-10-15
AT405224B AT405224B (de) 1999-06-25

Family

ID=3507879

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT115992A AT405224B (de) 1992-06-05 1992-06-05 Vorrichtung zum ausrichten, zusammenführen und festhalten von scheibenförmigen bauteilen

Country Status (1)

Country Link
AT (1) AT405224B (de)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT409681B (de) * 2000-02-11 2002-10-25 Thallner Erich Vorrichtung zur fixierung von halbleitersubstraten in einer zueinander ausgerichteten sollage
DE10230373B3 (de) * 2002-07-05 2004-03-04 Süss Microtec Lithography Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Bonden eines Stapels aus drei oder mehr scheibenförmigen Substraten, insbesondere eines 3-Wafer-Stacks
DE102009009548A1 (de) * 2009-02-19 2010-09-09 Jonas & Redmann Automationstechnik Gmbh Verfahren zum Bilden einer paketartigen Back-To-Back-Wafercharge

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3920233A (en) * 1974-06-11 1975-11-18 Ibm Spherical support and translation device for wafers
US4054383A (en) * 1976-02-02 1977-10-18 International Business Machines Corporation Jig and process for contact printing
US4093378A (en) * 1976-11-01 1978-06-06 International Business Machines Corporation Alignment apparatus
US4282924A (en) * 1979-03-16 1981-08-11 Varian Associates, Inc. Apparatus for mechanically clamping semiconductor wafer against pliable thermally conductive surface

Also Published As

Publication number Publication date
AT405224B (de) 1999-06-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE68915245D1 (de) Vorrichtung zum Reinigen und zum Halten von Flaschen.
DE69300354D1 (de) Einrichtung zum automatischen Positionieren und Ausrichten von Behältern.
DE58901438D1 (de) Vorrichtung zur halterung von werkstuecken.
DE69231109D1 (de) Vorrichtung zum Zufuhren und Orientieren von Kuvetten
DE69408345D1 (de) Vorrichtung zum Ausrichten von Behältern
DE69209275D1 (de) Vorrichtung zum annehmen und ausgeben von münzen
DE69200190D1 (de) Einrichtung zum Klemmen und Greifen.
DE69331698D1 (de) Vorrichtung zum sammeln von scheidenausfluss und zum verabreichen von medikamenten
DE59700865D1 (de) Vorrichtung zum Greifen und Halten von Substraten
DE69013203D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Überbringen von Plättchen.
DE59302828D1 (de) Vorrichtung zum schleifen von werkstücken
DE69323677D1 (de) Gerät zum Ausrichten von Produkten
EP0569689A3 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Sortieren von Flaschen.
DE59203435D1 (de) Vorrichtung und Anlage zum Beschichten von kalottenförmigen Substraten.
DE69313227D1 (de) Vorrichtung zum Halten von Werkzeugen
DE59404187D1 (de) Spannvorrichtung zum Spannen von Werkstücken
DE68907508D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum sterilisieren von deckeln.
DE69628628D1 (de) Einrichtung zum Ausrichten und Zuführen von Teilen
DE69004881D1 (de) Vorrichtung zum Zentrieren und Festhalten von Brillengläsern.
DE69300950D1 (de) Vorrichtung zum Spannen und Lösen von Werkzeugen.
DE59009298D1 (de) Spanneinrichtung zum gezielten Spannen von Werkstücken.
DE68903452D1 (de) Vorrichtung zum granulieren und ueberziehen.
DE59105995D1 (de) Handhabungsvorrichtung und Verfahren zum Handhaben von Werkstücken.
DE69325139D1 (de) Vorrichtung zum Förderen von Nadeln
ATA211494A (de) Vorrichtung zum drehen von flachliegend voranbewegten werkstücken

Legal Events

Date Code Title Description
REN Ceased due to non-payment of the annual fee
RZN Patent revoked
MK07 Expiry

Effective date: 20120605