AT505166A4 - Verfahren und vorrichtung zum erzeugen eines licht-wellenleiters in einem leiterplattenelement - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum erzeugen eines licht-wellenleiters in einem leiterplattenelement Download PDF

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Description


  ^r

[epsilon] 1
3 -H
N [Phi]
Di ss ss<>H
3 [Phi]
-P
X ss ü [phi]
-H Tf
C2
O :rö
> [epsilon] [Phi]
[Phi] [sigma]> ss
-H CO
[Phi]
[Phi]
[Phi] +J
-H -H .
5 [Phi] [Phi]
O X ss [upsilon]
[Phi] :3 ss [phi] [Alpha]
SH [phi] CO
X & ss
1 <; m 4-<)>
SH x ss
[Phi] [upsilon] [Phi]
> -H D> [iota]-3 -H ss Di
H co ss
[Phi] [phi] :

  rö ss X
4-> -H X m [Phi] 03
MH ss
H O 3
S-I ss -> [phi]
[Phi] 4-1 [Phi] ! O 3 Di
Dl -H ss ss ss [Phi]
3 [phi] H 3 3 -H ss [Phi]
-H ss E-t
4H [Phi] i ss
W 3 [Phi]
[Phi] TJ
[Phi] N ss
-H [Phi]
 <EMI ID=1.1> 
Q [omega] 4-> ss 4-1 1
-H 1 X -H rö S-I [upsilon]  4-1 ss rH 1 [Phi] -H 4-1 CO CU
[Phi] X H T3 X! O O O
Di [upsilon] 5 [upsilon] -H [phi] ss CO N CO N ss
3 [Phi] ss ss 4-1 O [Phi]
X5 Di 4-1 [Phi] S-I rH T3 ss X! w [Phi] [Phi] CU ss
-H o [upsilon] -H X, Cu [phi]
X! > -H [Phi] C [phi] X
X 3 [phi] o X [upsilon]
[Phi] ss [upsilon] [Psi]H -H M ü [Phi]
> [Phi] CO 3 [tau]s [phi] O SH rH M ss CD Di -H rO -H S-I -H X CO ss ss [Phi] X! [phi] X [alpha] x
Di Xi i[upsilon] [Phi] X! [upsilon] fO ss
-H [Omicron] T3 O CO SH [phi] o [phi] ss ss 3 -H D>
[Phi]<>H 4-> O SH .

   ss x CO > Cu X [Phi] ss
[Phi] [Phi] [upsilon] Di 4-1 o 4-1 ss [phi]
X ss O ss CO H -H D [upsilon] [Phi]<>H 3 -H ss H [Phi] rö
CO TS 4-> X [phi] O -i
-H [phi] CU [upsilon] 4-1 4-J 4-1 ss X
4-> -H O [Phi] X ss 0 [Phi] ü
CU X S-I [upsilon] [Phi] X X co
O [upsilon] S-I CQ -H g Cu [upsilon] [Phi] O [Phi] X [Phi] -H i ss ss ss ü rH CO [Phi] H
[Phi] [Phi]<>H [Phi] O [phi] 4-> SH O
4-> [phi] ss ss 3<>H [Phi] >
-H SH (0 [Phi] CQ
[Phi] co Öl [Phi] [phi] CQ SH 4-1
-H 4-> ss m [Phi] ss X
-H 3 [Phi] ss X O [upsilon]
Di [Phi] D -H [Phi] > -H
[Phi] S-I ss -[upsilon] [phi] X X .-
X [Phi]<>H S [upsilon] [upsilon] ss 1 ss X S-I >. CO 3 [Phi] >
-H X! ss [epsilon] -H fO 4-1 D ss ss [Phi] [phi] ss SH ss [Phi] < 4-1 ss O ss :rO X
O 3 X! [phi] SH [phi] X [upsilon]
> S-I [Phi] [upsilon] -[iota]-[iota] 4-1 TS CO SH
3 -rH -H M SH 3 3 [sigma]> 5 [tau]s

   X! ss [Phi] 3 < T5 ss [upsilon] O rH 5
3 ss r[theta] O > [phi] CO 4-1 rH [Phi] 3 rH 0 O X
H 4-> 4-> [Phi] ss 4-1 4-1 TS [upsilon] [phi] 4-> [Phi] 4-> [Phi] CU -H -H
4-) rö ss [tau]s O [Phi] SH X
CO rH [Phi] [Phi] CO [phi] [upsilon]
0*<>H 2 -H ss SH X cn
[Phi] SH 3 X [phi] [Phi] rö x [Phi] ss [upsilon] [tau]s SH ss
4-> . [Phi] CO [Phi] [Phi]
SH -H ss X! SH 4-> TS [Phi] X
3 [Phi] [Phi] [upsilon] [phi] -H ss -[sigma] [upsilon]
 <EMI ID=1.2> 
] ^ Cn CO > g *c 0 CO
1<>H
[Phi] SH 1 1 1
-H [phi] ss X > [phi]
SH [Phi]
4-> r-i, -H SH X
3 [omega]
4-<)>- H CQ
M o g O SH
3 0- -rH [phi] 3 rH
SH 0 X -P [sigma]>
4-1 -P -H ss M 00 [Lambda] o [Phi] [phi] 3
X X ss SH 0
[Phi] [alpha] o O 4-<)>rH
4-1<>[pound] -P CO ^r
-i4 ss 0
[Phi] [Phi] X ¯.

   E->
SH X TS Cu 4-1 <
-H [upsilon] [Phi] ss - 3 CO -H -H X -
-rH TS CO u 0 [Phi]
[Phi] -P SH M T5
rH Cu g 4-> 3 [tau]s 0 [Phi] [Phi] TS ss ss
-ö 4-1 0 -H
4-J g 4-1 SH<>H
CO [phi] ss [Phi] [Phi] +-> [Phi]
-H ss -H X 4-1 0, CO
-H [Phi] -H SH<>H
[Lambda]i [Phi] Di [Phi] o [Phi]
-rH r-t ss rH CO 3 ss ss -rH ss X CO
X -H -rH [phi] [Phi]<(>0 rH [upsilon] SH <-\ ss [phi]
[Phi] CO [Phi] [phi] rH [Phi] -H
E-[iota] SH -P 4-1 [Phi] ss C
[Phi] ss s O m
[Phi] 4-1 s [Phi] 1 4-1 -H
4-<)>-H g -P O [phi] H [Phi] ss [Phi] X X X fO [iota]-i [phi] [upsilon] C
X ss Di [phi] -H 4-> rH [Phi] -H 3 .-3 X CO
-rH rH g rO [phi] -H [phi] rH SH CQ [Phi] s
4-1 [Phi] :0 Di ;
SH IS m ss -rH SH<>H o 1 4-1 [Phi] rH 3 ss
> -P X X -H N X
X [upsilon] ü [phi] [upsilon]
CO [upsilon] -H o 3 CO [Phi]
SH -H X -H [Phi] [Phi] EH
[Phi] ^ [upsilon]

   ss<>[Gamma]-[Iota] 3 O o - H [Phi] ss CO SH SH [Phi] CO . o [phi] ss 4-> [Phi] X [Phi] ss
CO ss [Phi] M 3 0 -rH [Phi] [phi] rl SH [Phi] 3 Q X
X [Phi] r[theta] ss [Phi]
X [Phi] [Phi]*. . -rH
[Phi] Di 0 ss [Omicron] ss ss [Phi] 4-> rH ss SH X
-H 3 -H Cu [Phi] 3 -H [upsilon]
 <EMI ID=1.3> 
[omega] SH CO 0 N rH 3 CO ss 1 . [epsilon] X
[Phi] 1 rH ss ss SH 1 H co
X cu [phi] X -H [Phi] [Phi] [Phi] -rH
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   SH 0 rö i N X co r[theta] 3 -H ss P rH ss > H [Phi] S ss g >-\
T3 co X [phi] X g [Phi] 3 3 [Phi] :rö g X ss Cu xs o :rö SH rö [tau]s [Phi] rö o rö
. [Phi] 0 -H ss [Phi] SH X 0 X ss -H M SH ss 4-1 ss h3 SH rö SH X [upsilon] [phi] X [phi] 4-1 g [phi] X [tau]s [Phi] X O rH [Phi] CO co
Di<(>0 -H X ss [Phi] H [Phi] r-i X CO ss ss H [upsilon] [phi] O g M X s X [phi] rö [Phi] [phi] fÖ [alpha] [Phi] CO s -H [upsilon] SH 1 Du 3 2 N ss
Di SH -H -H X ss -H 0 co o H o o
[Phi] [phi] O 3 Di M 0 rH O ss [Phi] ss SH X
D -P N ss rö > X X o co co [Phi] Cu o
SH -rH X 3 [Phi] ss rö -H rö rö X co X
O [phi] ü [tau]j rH D, ss -H X Q r3 ü ss Cu
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4-1 g 0 3 SH X

   X g X o X X X X -H
SH [phi] 3 X [upsilon] Cu H -H CO ss Cu rö [Phi] fO ss 3 co CO SH [Phi] X ss X o CO
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[Phi] [Phi] ss [Phi] CQ g CO [tau]s X ss ss SH [epsilon] SH i
TS [Phi] cQ [Phi] X SH ü [Phi] [Phi] X -H [Phi] rH ss T3 [Phi] co X -H -H ss Di CO g rH
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-H [Phi] rH [phi] [phi] rH X . - . Di [Phi] rH ss [phi] 3 X X [phi] Di X Di o ss ss O SH
X X [upsilon] X ss -H SH X O -H CO CU [phi] ü ss 4-> o<>H -H X [Phi] ss CU -H [Phi] CO [tau]s
[Phi] [phi] SH ss g [Phi] -H -H [Phi] -rH X rö g o g [Phi] [Phi] > ss [phi] Cu [Phi] [tau]s [phi] [phi] -rH ss<>H N -H 0 3 -H ss o
SH r-i 4->  [phi] [Phi] X X X N O [tau]s o -H rH
[Phi] [phi] ss X X [upsilon] i o co co [Phi] X
CO 3 rö [phi] ss o -rH rö X

   X X M rö
[Phi] rö X xs [phi] 3 [phi] u o < :3 .
-H CQ ss SH g rH ss 3 1 4H X 3 X
T3 O [phi] [phi]*Di [Phi] -H rö ss ss N CO ss M 3 rH X ss [Phi] o [Phi] [phi]
-H [Phi] [phi] SH X o 3 ss X CO SH [tau]s [Phi]
[Phi] X 3 -P 3 [Phi] [upsilon] X N [Phi] o -H rö ss co
X ü ss [phi] rö -H SH o SH X [Phi] Cu 3 rö co 3 4-1 CQ 3 X [Phi] X 0-» 3 co iX [tau]s -H 4-> 3 [tau]s cu CO rö 1 ss ss
SH ss X [phi] ss X -H m o [Phi] rö o CO
-rH O X X [Phi] ; -, ,- , [Phi] SH 3 -{ SH -H [phi]
3 SH ü [phi] X 3 ss -H 3 [phi] rö X X [tau]s
X rö ü SH o [Phi] ><>¯' [epsilon] cu ss M SH ss co X -rH 3 [Phi] SH^-. SH X
[Phi] [Phi] X -H -H co X N rH co [Phi] o [epsilon] 0 Ü ss H [Phi] [Phi] ss rö rö [phi] [tau]s ss ss CO -H
<-i [Phi] Di O SH co -H [epsilon] co o o X [Phi]
[Phi] O ss ¯\

   SH [phi] -H [Phi] SH [phi] X X o < SH
N X rö rö X X SH D 0 -H X O oo [Phi] ss CU -H M -H [phi] [Phi] ss [tau]s [phi] -rH X!
-H O X SH [Phi] [phi] g 05 2 [omega] O [omega] rö [Phi] - <-{ *1 co [tau]s 1 rH CQ ss 3 [phi] SH X [Phi] ss rH SH CO SH < rö . -rH M g -H X rö O [phi] 0 [Phi] rö -rH cu -rH N [Phi] O
 <EMI ID=1.4> 
H T3 co 2 X rH Cu [tau]s [tau]s 3 SH -¯" M Cu 

CM
1 [Phi] SH 1 1 [epsilon] 1 X H 1 [phi] -H 1 :

  3 -H 1 o [phi] SH 1 co 1 co [upsilon] 1 [phi] [phi] 1 M ss SH i 1 1
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2 X CO -H rö [phi] -H xs co -H SH [phi] M ss xs ss [phi] [phi] co [phi] X co ss -H rö [phi] Q =3 <-{ X [upsilon] X rH X ss SH ss co SH SH P M SH X 3 -H -H Di ss rH ss o rö [phi] o [phi] CQ X [phi] [phi] X [phi] rö CO rö CU O Q [phi] o  [phi] [phi] 1 [phi] [phi] SH [phi] o [phi] [phi] ss o 4-> 3 SH [tau]i SH M . ss 4-1 o [upsilon]
X ss<>H -H o -H t rH 3 X ss N xs X X M co ss ss [phi] -H Cu Cvl o X Di ss ss X<>H
C o SH co -{ [epsilon] Di -H [phi] [phi] co [Lambda] xs -H [phi]

   rH X o > [sigma]> M -H [phi] [epsilon] ss [phi] [phi] [phi] xs [phi] cu rH<">co 3 rH [phi] co ss . [phi] xi ss [phi] Xi ss -H X 1 xs ss SH Xi rH Cu  [phi] [phi] 3 X [tau]s xs SH [epsilon] o
-H -H X [phi] [phi] ss !S ss 3 o ss<>H 3 u P ss xs 3 rö [phi] SH ss ss [phi] Es rH rö [upsilon] SH [phi] [phi]
X*. [Phi] rö [tau]s [epsilon] [phi] 1 [phi] X 3 [phi] o X 3 ss [tau]s -H ES o [phi] ss X [phi] ss o 4H [phi] 3 SH 3
C X X 2 -H ss X m ss X ss ss X -H -H X [phi] 1 co P rö ss H o [phi] -H 3 3 [phi] [phi] N o SH SH X [tau]i ss X 3 ss ü -H 1 ss ss SH ss co [upsilon] SH X X X SH M [phi] [phi] X Di ss rö Di 3 xs X
[Phi] o ss X -H :0 ü rö rö -H o rö SH X [phi] co [phi] X < [phi] [epsilon] [tau]i CU ss 0 ss ss rö co -H > [Phi] [upsilon] [phi] M -H rH M Ct, SH > xs [phi] [upsilon] Di X rö -H . [upsilon]

   1 -H ss [phi] o D SH ss [phi] 3 CQ ss 1 rö X X -H SH X SH 1 [phi] ss co ss [upsilon] SH X ss<>H ss X [phi] rH [tau]s X [phi] X X [phi] co [tau]s H ss [upsilon] X [tau]s ss [phi] ss N X 1 X -H ss 3 -H [phi] tX [phi] ss [tau]i [phi] ss ss ss M SH [upsilon] X ss X ss o -H CO ü [phi] SH > [phi] -H X X [epsilon] [phi] -H . . X rH co X SH ss 0 SH 3 3 [phi] [phi] [phi] [phi] -H [upsilon] [phi] u 0 co o [omega] -H cn o xs [phi] H X3 [phi] -H H C X SH SH co X g o [epsilon] [phi] rö ss ss rH -H rH -H X :rö -H co X! X O SH xs^¯. [phi] ss H ss ss 0 3 ü [phi] [phi] -H rö 3 X 3 CQ [phi] ss [phi] X D PC [upsilon] rH co rö rö . Cu SH rH [phi] [phi] -H 3 ss -H X Cu N ss -H xs xs <4H N o SH ss o :0 o ss [phi] 1 co Cu o [tau]s X) o [phi] [epsilon] 3 CQ ss<>H [phi] ü -H rH SH ss rH

   SH X o ; ss [phi] co M P o Di N -H -H > SH [tau]s [phi] co [phi] SH 1 rH ss o ss X [phi] [phi] 0 o -H [phi] X Cu > ss [phi] co [phi] Cu 2 co ss ss g
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X X 3 [phi] ss X [phi] xs [omega] > [phi] Di [phi] X 3 X X SH [phi] X co X N X [upsilon] [phi] H -H [epsilon] rö -H > [phi] ü -H [tau]s -H O X 1 ES ss 3 o rö co ü [phi] X H ss -H [phi] [phi] co [epsilon] [phi] [epsilon]<>H X<>H X
0 [Phi] X SH [phi] . - . 1 1 3 [sigma] co  -H rö o [phi] ss 2 [phi] -H -H [phi] > rö [phi] [phi] **. ss M X X
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X [Phi] ss X SH [phi] x ss X [phi] H 4-> SH ss co SH 4-1 SH [phi] X SH [tau]s X o o

   o ss xs rö<>H o [upsilon] -H [Phi] M X X X 3 SH o Xi [phi] cu [phi] rö co X X [phi] SH X ü [phi] ü SH 3 co  ss  -H ss [phi] rH<">co -H > SH ss -H o [phi] SH X [phi] -H ss Xi -H X ; [phi] [phi]<>H X [phi] =3 [phi] s ss co X rö X [phi] X co [phi] 0 SH
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  [phi] C ss [phi] [phi] SH X
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  [phi] X s X N<>H SH [phi] rö ES rc -H X
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X [epsilon] ü [tau]s rH [phi] X3 ss ES co i 3 -H SH ss 3 Di X SH ss rH SH CU X X ss [phi] SH rö rH rö co [Phi] co xs -H ss 1 SH Di N [epsilon] o [phi] co ss SH ss [phi] ü [phi] [phi] [phi] [phi] o -H ss [phi] X -P ss [phi]
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  [phi] co 3 rH 3 3 [phi] [phi] Di co [phi] ss D> 3
X [Phi] [epsilon] co co rö ss co SH X X :rö [phi] [epsilon] :0 0 [phi] X -H [tau]i -H rH rö o rH [epsilon] ss [phi] X ss 3 ss rö co [tau]s rö Di -H -H -H 3 X [upsilon] rö X o SH 4H ss X N ü SH SH g ss X [phi] CQ M [phi] ss [phi] 3 -H 3 o co 3 CQ
O X [tau]s ss SH ss [upsilon] -H -H o o [phi] 0 o co 3 [phi] -H o [phi] ES [upsilon] ss [phi] - X Xi co -H co ss [phi] ü 3 [phi] ss 3 tX [phi] [phi] Cu -H X X SH -H P 3 SH X ss [phi]<>H rH [phi] [phi] ss X [phi] X ss
-H -H  Di X [phi] rH X rö ss ss 3 [phi] ü Cu cu [epsilon] M co X X SH [phi] 3 [phi] rH 3 SH -. [phi] -H [epsilon] [upsilon] [phi] [tau]s [Phi] [phi] X [Phi] rö SH rö X SH ss -H IH ss SH o SH co [phi] 3 ss co M [upsilon] [phi] X r i [phi] rö [tau]s [phi] P co co [phi] X
3 P u SH 2

   3 ss [upsilon] ss [phi] rö [phi] 3 [phi] [Lambda]! -H X D X SH [phi] rö [phi] -H xs [upsilon] co ES CQ SH X X o 3 H [upsilon]
X N ss 3 ss X o -H Xi M co rö Di X [phi] ss [upsilon] X X [tau]s rH SH o [epsilon] 1 [phi] ss rö CU - co [upsilon] ss rö ss M -H ss [phi] -H SH Cu 2 3 1 m rH [phi] [phi] [phi] -H [phi] [phi] X ss > [phi] rH 1 u -H o rH ö [phi] 3 co xs X ss Di [epsilon] [phi] -H SH o rö .. o i X3 ss o X X [phi] [epsilon] Cu rH [phi] :3 ss [tau]s rö ss -H [Phi] X H ss SH ss ü [phi] [phi] ss SH ss rH SH [phi] tn [phi] X ss X co o 0 [phi] X u X [phi] [phi] SH -i ss SH o
[Phi] -H [Phi] [Phi] -H [upsilon] X [phi] [phi] o -H M X 3 :0 -H rH [phi] -H rö -H SH [phi] Cu 3 X SH -H -H -H [upsilon] -H rH [phi] o -H 3 SH
 <EMI ID=2.1> 
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[sigma]\ ss [phi] X X -H O [Phi] rH [Phi] M [tau]s co SH [upsilon] [omega] Cu rö ss [Phi] ss -H SH CO X
00 X ES co [Phi] SH -H ss X Di O [phi] ss [Phi] co X SH N [Phi] -H -H X [Phi] rH X
:rö 1 . 3 X CU XS [phi] ü -H ss tu" -H -H -H -H X [Phi] [Phi] ! SH ss co [tau]s rö [upsilon]
r 3 X ss X CO <-\ co 3 rö 3 SH ss [upsilon] -H X [upsilon] X -H CO<>H
rH SH X [phi] ss ü Di X rH -H rö [phi] 0 -H 3 O -H Xi -H ss =3 rö IM ss [phi] [tau

  ]s"X
^ [phi] o M -H rö ss [upsilon] [phi] ss ss SH -H co [Phi] X SH rH [Phi] o X 4H [Phi] [phi] Xi ss X
-H . -H [Phi] Z 3 3 ES O [Phi] [Phi] S X .* X D> X X > CO (H Xi Dl [Phi] ss CO
EH [Phi] X xs ss SH rö 1 SH X ss O 3 M :0 [upsilon] [Phi] ss D SH [phi] [Phi]
-H SH X X ss [phi] X X -H X [phi] 3 SH [Phi] in ss ss ss > ss 3 ss X g
3 co -H [upsilon] ü [Phi] -H X X [Lambda]; [Phi] [Phi] [upsilon] SH X rH [epsilon] SH 3 -H o [Phi] [Phi] XJ 3 :rö [phi] CO
Q [phi] 3 [Phi] CO ss X ss ü [Phi] -H rH 3 X in [phi] [Phi] X3 -H X ss X rH SH 3 rH CO
:rö ss xs EH -H [Phi] CO -H -H -H X3 ss rö rö ss O o ss X o -H ü H [Phi] [Phi] rö
[epsilon] [Phi] ss ss X 3 [Phi] X [phi] [Phi] M[pi] [Phi] [phi] X .. 3 [Phi] -W X [Phi] =3 X -H [tau]s 3 xs
[phi] Di Di [Phi] ss rö [Phi] l-D X O co rH -H H X CU ss C

  [pi] 3 SH SH SH SH rö
CJ ss ss g [Phi] X Di ü co X rö rH [phi] [Phi] rö SH O [Phi] ss i X Di Cu [Phi] 3 -H CQ O
3 3 g SH [upsilon] [Phi] ss CO [Phi] Cu 3 [phi] X > <-{ [phi] XS ss 3 O -H ss co X 4-<)>3 1 co   t . CO SH O [Phi] [Phi] Di [phi] SH [tau]s 0 ES O X -H [Phi] SH [Phi] XS SH [epsilon] 3 ss -H M rH
X CO [Phi] ss X [epsilon] > [Phi] [epsilon] 1 3 ss [upsilon] [epsilon] -H 3 X3 ss 0, Xi [Phi] 3 co [phi]
SH [phi]<>H [Phi] =3 -H Di SH [Phi] X -H co<>H XS 3 SH -H ss ss ss ES SH [phi] XS X [phi] 2 SH D SH [Phi] ss X SH ss [phi] rH X [Phi] 3 X [Phi] X [phi] [phi] -H ss P ss SH
-H 3 SH 4H X [Phi] M [Phi] 3 [tau]s <-\ U X N cu ss X 3 SH o P 4H [Phi] XJ co  [Phi] [Phi]
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-H -H - > ss [phi] H m -H [Phi] ss X

   m D 0 [Phi] ss > rö [phi] [omega] -H 3 [phi]  > rH Xi 3 [Phi] [epsilon] [Phi] 4H ss -H [Phi] SH -H ss > [phi] Di -H [Phi] 2 [epsilon] Di  -H [tau]s [Phi]<>H
1 rö SH ss XS [Phi] 3 [phi] [Phi] SH C[Lambda] O SH SH 3 X ss P 4-1 ss [Phi] ss ss ss X5 X X [phi] X X [phi] -\ ss 3 3 co > [Phi] X Xi ss M 3 ss rH [Phi] [Phi] rH -H :rö [Phi] [Phi] . [upsilon] M rr [iota] SH rö n X -H [Phi] X -H O X [phi] XS [phi] ss [Phi] rö J 0 rö X ss [phi] XS X [epsilon] X X) ss CO rö
SH rö [Phi] 3 co X [Lambda]. [epsilon] X -H X X ss [epsilon] X [upsilon] H ss X SH [phi] SH [Phi] -H
1 .-. o [Phi] Q X rö co S co 3 co Di D m [Phi] [Phi] -H [Phi] co [Phi] [Phi] X rö o Di -H g ss [phi] > -H CQ rö ss [phi] SH 3 -H ss [phi] SH D X SH i -H P X ss 4H [Phi] 3 g o [Phi]
X Xi ss [Phi] CU 3 Xi X < xs 3 X  [omega] [Phi] [Phi] ss o X xs X [phi] 3 CO D

   o SH XS ss co [Phi] -H ss [Phi] co in SH S ss 4-> Di ss > D U ss rö -H Di ss A! ss -P o [phi] co X ss [tau]s [Phi] D ss X ss =3 ss [phi] CO SH ss<>H 3 -H o 3 rH co ss ss rö -H [Phi] -y<>H [epsilon] rö [upsilon] [Phi] X ss [Phi] X ss [phi] 3 -H [epsilon] -H [phi] rö [Phi] ss N SH cu [Phi] 3 ss Di [Phi] Xi [phi] XJ rö co ss ü rö Di [upsilon] [phi] ss o X [phi] XJ -H X3 ss ss SH [phi] [tau]s H ss X SH rH SH rH ss co [Phi] co -H -H X [phi] Di ss rH ss co [Phi] CO [Phi] [Phi] [Phi] [Phi] X X [Phi] [upsilon] O [phi] [Phi] [phi]*. o [phi] xs -H SH XS ss U X ss [phi] [Phi] [phi] Di CO CO X -H X X P . rö ss :3 X [Phi] > o CO
3 ss 3 [epsilon] SH ss [Phi] ss -H [phi] 3 3 Di X ss -H SH -H ss SH [phi] -H rH D H m [upsilon] EH X rö rö [Phi] [phi] [phi] 0 X :rö rH -H SH SH rö -H rö rö [Phi] [Phi] [Phi] [phi]<>H [Phi] rH

   4H CO =3 f Cu X
CQ i . D 3 SH -H 3 X D SH [phi] [Phi] CQ P Di Di ES X SH ss -H SH X O 3 [phi] 3 SH ss > o ss ss X [Phi] <4H SH :rö X co XS X m ss -H [Phi] [Phi] SH X CO -H f=C [alpha] [Phi] -H [Phi] H rö [phi] SH [Phi] M rH 3 [Phi] SH ü co ss u 3 -H SH [Phi] X 4-J D [Phi] ss 3 co X3 X co ss [phi] D xs [Phi] Xi [phi] ss rö XS X co [Phi] N [phi]<>H sC [Phi] [phi] rH CO [Phi] Di [phi] ss SH [phi] ss ss M rö -H xs [Phi] SH xs o -i [Phi] X ss X [Phi] X ss X CO X ss [Phi] 0 X ss X [Phi] [Phi] Di X < [Phi] rö i [Phi] [phi] X [phi] - -H -H ü X SH [Phi] u M cQ [Phi] ss [phi] -H tu<">ss rö [upsilon] [tau]s co ss m Di [phi] CO 3 xs X o [Phi] [epsilon] rö [Phi] -H co ü :rö -H [phi] rH XS -H SH co H [Phi] 3 rö ss [Phi] Di [Phi]
X 3 ss [phi] X [phi] N [phi] ss [epsilon] > N -H =3 [epsilon] 3 

  -H rH [Phi] O<>H [Phi] -H X X [Phi] -H CO ss CO o rö X rö 2 CU ES D [Phi]<>H ss SH [Phi] N [phi] -H ss > ss 3 Xi X iH Di rH SH 3 -H
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-H ss X ss SH ss ss X [Phi] X 4H (H X [epsilon] ss 4H 1 P > SH SH X Di -H [phi] Di 0 X [Phi] 3
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CO > <4H co -H S SH -H [upsilon] [Phi] M 3 xs X [Phi] X [phi] [Phi] Di X M u 3 SH H :rö [Phi] SH rH ss rö [Phi] co [Phi] XS 3 rH M rö [epsilon] [Phi] [Phi] N X [upsilon] [epsilon] X ss -H [phi] -H co 0 0 X SH rH 3 [phi] o X5 i SH H ss [Phi] 4-1 -H ss<>H rH P [upsilon] -H 0 3 [phi] <-i H :0 > > X [Phi] ss X H
-H X [Phi] X3 ss rö -P ss ss Xi [Phi] 

  [Phi] co -H SH X H 3 H 3 [phi] D X rö Xi [phi] - CU
X Xi o X [phi] [Phi] X co [Phi] 0 D -H SH [Phi] [Phi] 4 o :0 [Phi]  rH 3 CO
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[Phi] -H 3 [Phi] -H [phi] ss [Phi] [Phi] [Phi] [Phi] rö ss Cu (H co O [upsilon] [Phi] rö ss -H [phi] tt SH 3 H O [Phi] [Phi] [phi] X [Phi]
 <EMI ID=3.1> 
X 3 S rH 2 xs 3 XS 3 EH X CQ 3 0 <H H > CO Xi CQ 3 3 X o [Phi] rs] [Phi] > XS CQ Es O X 
emittiert. Während der nun folgenden Strukturierung des LichtWellenleiters wird das am optoelektronischen Empfänger-Bauelement (also z.B. einer Photodiode) ankommende Licht detektiert, und der Strukturierungsweg des Wellenleiters wird derart aktiv gesteuert oder nachgeregelt, dass der Photodiodenstrom für den jeweiligen Zweck optimal wird, im Normalfall also ein Maximum erreicht.

   Damit können Lichtsender und Lichtdetektor optimal, mit minimalen optischen Verlusten, miteinander optisch gekoppelt werden. Demgemäss erlaubt es die vorliegende aktive Strukturierungstechnik, einen idealen Wellenleiter in einer optischen Verbindung zwischen den jeweiligen optoelektronischen Bauelementen zu realisieren und weiters Ungenauigkeiten bei der Bestückung der Bauelemente auszugleichen bzw. Störstellen im optischen Material zu umgehen. Dabei wird weiters der Vorteil erzielt, dass die genannte aktive Strukturierung leicht durchgeführt werden kann, da die optoelektronischen Bauelemente bereits im optischen Material integriert sind, leicht anzusteuern sind, und die Kopplung zwischen Licht-Wellenleiter und optoelektronischen Bauelementen über eine optische (und nicht über eine mechanische) Methode durchgeführt wird.

   Weiters kann eine starke Abweichung sofort erkannt werden, und auch eine Nachbearbeitung kann sofort durchgeführt werden. Eine nachträgliche Vermessung der optischen Verbindung über den Licht-Wellenleiter ist nicht mehr nötig, da die Vermessung bereits während der Strukturierung sozusagen "online" durchgeführt wurde.

   Diese Online-Messung führt auch dazu, dass etwaige defekte Teile, bei denen beispielsweise eine Nachbearbeitung nicht möglich ist oder nicht erfolgreich durchgeführt werden könnte, sofort bekannt sind und aus dem Produktionsprozess entfernt werden können.
Bei der vorliegenden Strukturierung des Licht-Wellenleiters kann, wenn beispielsweise die optoelektronischen Bauelemente einfach in der optischen Schicht eingebettet werden und eine direkte optische Verbindung zwischen den optoelektronischen Bauelementen hergestellt wird, derart vorgegangen werden, dass vorab die Bauelemente hinsichtlich Position, Verdrehung etc. vermessen werden, wonach das Sender-Bauelement angesteuert wird, damit es Licht emittiert, das am Empfänger-Bauelement detektiert wird. Das detektierte Signal wird allerdings in dieser Phase im 

LO
X SH
M 1 [tau]s [Phi] rH [phi] 1 ss .

   SH SH CQ ss 1 rH [phi] co X 3 ss [Phi] XJ -H [Phi] [Phi] 1 [phi] X r-i ss J
-H [upsilon] Cu [Phi] > SH 3 -H X X SH rö r-i Di [Phi] 3 rö g
[Phi] -H [tau]i X -H J CO ü Cu H rö ss XJ N 4H o
3 PC ss [phi] SH 3 SH X<>H CQ X SH SH 3 SH CU SH o [Phi] -H [Phi] [Phi] J ü SH X o 3 rö X [Phi] P SH P rH ss SH SH XJ SH X ss rö CQ ss ss N U X 3 ss [Phi] co [phi] -H [phi] X [Phi] :0 [phi] 4H Dl [phi] [phi] [upsilon] [Phi] X o
-H X [upsilon] XJ X X SH ss ss ss SH [Phi] -H X g -H X
CU SH -H CQ ss -H X<>H 3 X O [Phi] ss oc [Phi] [Phi] 0
CO [Phi] [phi] [phi] 3 [Phi] o :rö [Phi] SH [upsilon] X 3 [Phi] 1 ss rH H X
-H X rH Di SH rH co ES [Phi] SH o D<1>[Lambda] N [Phi] [Phi] ss cu
[Phi] -H ss ss Di ss [epsilon] g -H 3 X [omega] - - - r-i 3 [Phi]
X [Phi] [phi] -H m [Phi] 3  -H SH

   XJ cu o 1 [phi] rö rH ss rH rH [phi] 3 r-i X 3 co Di Di CQ rH [phi] ss ss r-i rö rH _ ss P SH r-i \ ss CQ 1 [phi] X ss [phi] [phi] Dl [phi] X [Phi] SH M [Phi] [phi] rö X 3 3 SH 3 co rö rH ES ss XS ES g [epsilon] [Phi] 3 X xs -- - X rö [Phi] X X
XS H 3 SH 1 g [Phi] X SH rö SH X Di X [upsilon]
[Phi] ss SH -H X o rH -H X rH Di [Phi] [upsilon] ,-, ss ü :0
XS ES [phi] [Phi] 3 X M [Phi] [Phi] o ss [Phi] ss XS -H O :rö -H X
SH 1 X -H [upsilon] 3 rH ss X 3 SH [phi] m X
-H X [phi] SH CQ -H X rö ss ss rö X X ss ss X Cu ss
3 X ss 3 X X ss CQ [Phi] [phi] M -H X -H [phi] M g SH [phi] ü X X M [Phi] 1 rH co g [upsilon] X ss [omega] [phi] xs
CQ -H ü M ss SH g r rH co CQ CO -H X :0 3 ss [omega] X [phi] 3 3 [Phi] [Phi] [Phi] [Phi] [phi] [Phi] D> C o DG C g 

  [phi] SH
SH CU XS r-i Di ES XS ss 1 o co rö -r-i [phi]
SH [Phi] X X [phi] ss 1 3 >[iota] Xi ss 3 xs ss [Phi] X CO SH SH 3 :rö X ss Di SH [phi] -H M co .
-H XS 1 rö [Phi] rö 4H X -H ss X ss -r-i 0 g CQ
[Phi] [epsilon] < X Di CQ CU o 3 :3 -H [Phi] Cu 0  ss
CO X 3 CU co ss 1 [epsilon] -H*. X <4H ^ -H SH N [phi] ss N EH SH :rö H Cd X SH X rH X X 3 CO X xs
Di [phi] [Phi] r-i [Phi] [Phi] [upsilon] X [upsilon] o [Phi] co ss SH ss [epsilon] 1 [Phi] X D [epsilon] SH P -H rö 3 Di CQ XS O ss [phi]
-H X -H [phi] ss rö [Phi] -H PC SH rö ss X rö 3
SH rH X ss [phi] 1-D :rö xi [Phi] 1 X 3^-, D o M
[Phi] [phi] ss ss r-i MH g r-i X O XS P X ss X X
Di 3 [phi] rö ss  C O ; ss ss X ss 3 u [Phi] SH rö [epsilon] ss [phi] X [epsilon] SH X [Phi] SH SH [Phi] ü [Phi] SH CQ

  [phi]
SH CQ [Phi] [Phi] r-i g [omega] X CO rH [phi] [Phi] 4H<>H [epsilon] [phi] co -H -H
X 1 r-i D r-i g CQ X rH XS XS 3 PC [Phi] Di [phi] [Phi] co
[Phi] SH [phi] SH [phi] -H [epsilon] O [upsilon] [phi] rö 1 iH rö Xi ES -H O [Phi] 3 o ES P [Phi] X :rö ES [Phi] D rH SH [phi] rH r-i [tau]s rö > CQ XJ o 3 SH ss [Phi] ss SH g [Phi] [Gamma]Ö
X ss CQ co [Phi] X SH [Phi] 3 rH X [phi] [Phi] 3 co [phi] [upsilon] [phi] 1 [Phi] [Phi] X SH cu [Phi] XJ SH X -H X > g [phi] SH o o -H Xi [phi] Di XS ss [Phi] rö [Phi] X -H -H ss [phi] J ss [phi] ss rö O 3 SH H rö X X XJ XI [epsilon] Di ss [phi] SH ss 3 SH CO [Phi] X ss r-i ü rö ss ss rö ss X o X [Phi] [phi] SH [Phi] [Phi] X co [Phi] Cu SH 2 4H 3
[Phi] :rö ü -H rö X CQ [Phi] D X co SH H SH 3 3 ss [tau]i *P SH X XS :rö CO -H co ss [Phi] H [Phi] XS

   CQ < 4-1
-H ss Cu 3 -H co ss [Phi] SH ss ss < co [Phi] X rö -i
[Phi] [Phi] [epsilon] XS CO Di g 3 -H -H rö ES -H . XS . [Phi] P [epsilon] ss [omega] 0 ss [Phi] [Phi] X [Phi] [Phi] X 1 [Phi] 3 ss X SH
[Phi] ss 1 CU 3 -[iota]- 1 D M XS X X N O [Phi] P [phi]
Di H Di CO 3 rH Di ss . X CO S -H UH
H i ss ss [phi] CO XS SH SH r-i ss [Phi] 3 [upsilon] g XS ss g [Phi] r-i [Phi] 3 -H -H [phi] ss [Phi] 4-> rö 3 X N -H 3 ss g -H SH -H
 <EMI ID=5.1> 
X X X [alpha] [epsilon] 3 XJ O Cu X ü X X N 3 3 4H [Phi] H
1 CO 1 [phi] 1
[Phi] 1 [Phi] 1 1 X [Phi] co [phi] 1 1 SH [tau]s o Xi<>H 1 1 [phi] CO 3 H X Di -H [Phi]
[Phi] Cu [Phi] m^-^ss -[iota]-[iota] [phi] X [phi] M :

  0 CQ co
-H g X CQ 3 [Phi] [Phi] 4H ss ss 3 ss 2 O [Phi]
X<>H [Phi] X rö CO ss X [Phi] [phi] CQ [Phi] M CU -H [upsilon] [Phi] -H [upsilon]  X o CO 4-> rH rH rH [Phi] -H XI
CO X XS -H [tau]s X u P -H ss rH ss [phi] CO SH X [phi]
SH X SH ü 0 [Phi] rö [phi] -H 3 [Phi] Cu rH X
[Phi] ,- , H [upsilon] -H CQ 1 X 3 [epsilon] Di C < X O rH -H
> D> [Phi] CO 3<>H N cu N [Phi] ss ss CQ -H [phi] [epsilon] ss X EH rö r- -H 3 -H [Phi] [Phi] [Phi] ss m 3 O SH P XJ ss X! [Phi] rH [Phi] ss 3 -H X
3 X 3 3 SH g ss -H ss ss rH X -H S U ss rö X N [phi] [Phi] 3 [Phi] > [Phi] O [phi] [Phi] [Phi] CO [Phi] [upsilon] ^ [tau]s ss [epsilon] -H X -H X ss r-i ss SH SH r- -H ss > ss -H 1 [Phi] X X X CQ [phi] [Lambda]S -H [Phi] SH X
X C<">[Phi] -H :rö [Phi] Di rö rö<>H SH ss [omega] X! X =3 rö 1 XS P SH rH ss rH CO 

  [Phi] ss SH =3 [phi] 4H
SH N H rö [Phi] 4H rH SH Cu O > :0 =3  o 3
X [Phi] H > 3 1 rö [Phi] SH CU M 4H ss r-i N co [tau]s 3 [Phi] rö X X [Phi] [Phi] [Phi] X XJ X
SH ss co - -  SH -H 4-1 [Phi] CO X 1 XJ rö ss [upsilon]
[Phi] 3 X rH P [phi] -H SH [phi] -H SH SH 3 SH co ! CO rö ss ss J [Phi] X -H [Phi] X [Phi] X 3 rö 1 ss rH -H [Phi] [phi] o  X -H XJ X [upsilon] 3 co [phi] [tau]s
X [Phi] X SH [epsilon] co X ss 3 H ss r-i rö [Phi] X X co [epsilon] X SH -H rö X [Phi] -H X
. [phi] SH X r- [upsilon] -H -H [Phi] -H :3 [Phi] N co [phi] M
3 1 Di X rö [phi] < [Phi] [tau]s [Phi] Cu SH SH X rö rH ss
N X X) O 2 ss X X X [Phi] [Phi] [Phi] X X 3
X - rö SH [phi]<>H ss X X ss . CO X CQ Cu
[Phi] ss X [Phi] -H ü -H -H ss rö rö [Phi] ss SH co
1 ss CO CQ [Phi] X in [Phi] rö [epsilon] [Phi] 

  [Phi] X Dl [Phi] X 3 ss [phi] SH rö SH rö XJ SH SH rH O ss XJ [phi] M
[Phi] Di [Phi] X rö rH [Phi] X X X CQ SH ss -H co O ss ss 4-1 X CU ss CO [Phi] o rö rö [Phi] [Phi] [Phi] -. u o 3 -H o SH H [Phi] rö D co SH rH XJ SH ss [phi]
X X [phi] [phi] [Phi] [Phi] XJ X ss -H X O ss -H SH [tau]i o X r-i [tau]s -H X rö X CO 3 SH X [Phi] SH [Phi] ss
X ü ss CQ -H XJ [Phi] ss SH N [Phi] o SH rö XJ [Phi]
CU -H [phi] CQ -H [Phi] ss -H SH [Phi] [phi] X [epsilon] O Xi ss m rx<">rH [Phi] SH X [Phi] S :rö X) CQ ss rö SH X 0 m
SH rH -P [Phi] X ss O rö SH rö rö X co [Phi]
[Phi] -H [phi] ! g co [upsilon] ss O SH X [Phi] SH [Phi] 3 u [Phi] SH [tau]s [Phi] ES ss rö [Phi] [phi] -H C XS [Phi] ss X 3 X X
SH 3 r-i [tau]s SH Di X [Phi] ss XJ -H M rö co [Phi] ss [tau]s CO cu

   o cu [Phi] rö ss -H :rö O X rö ss X ss [phi] CO CU ss CQ Di X [Phi] XJ O X -H rö ss Xi 3 0 ss -P O co [tau]s ss CQ N X ss
M [Phi] X P rö ss 3 XS [Phi] [Phi] ss [Phi] [Phi] [epsilon] [phi]
XJ ss o o M [Phi] X . ss Di X [Phi] -H X 3 Di ss [phi] Cu X -H SH 3 ss ü SH CU co ss
[Phi] ss SH Cu [phi] SH XS [Phi] [Gamma]Ö 3 CQ o [phi] . 3 ss -H [Phi] CO CQ [Phi] SH X X ss X -H X 1 X ss SH rH -H [phi] ss -H XJ -H ss [Lambda]; [Phi] X EH o [Phi] [Phi] [phi] ss SH xs [phi] [phi] 3 -H ss ss u [epsilon] ss X M X
N [Phi] 3 X 3 [Phi] [phi] [tau]s -H CO X [phi]<>H ss ss ss X X ss [upsilon] co ss X r-i XJ SH C [Phi] X Di [Phi] [Phi] :rö
-H SH ;

   0 CQ rH [phi] Di X 0 XS -H ss M rH CQ [omega] < 3<>H -H [phi] Di [Phi] rö X 3 -H SH 3 X 3 ss
SH -P P -H [Phi] 3 o N [Phi] SH X Di u N 0 g [Phi] X -H CU Cu -H [Phi] X 0 ss SH [Phi] [upsilon] [Phi] -H X! -H
 <EMI ID=5.2> 
H ss co CO o CQ H X CO [tau]s rö xs XJ O 3 rH rö P 

<X>
SH 1 XS
[Phi] 1 O 1 ss 1
CO XJ rö 1 SH O 3 M [phi] O SH SH CU cu -H
XJ CU [phi] 1 X ss X [epsilon] co [phi] X C [phi] [Phi] SH -H<>H [phi] rH o
-H SH [phi] [Phi] XJ rö [Phi]
SH o S X XS M SH [phi]
X X ss ss -H [Phi] -H [phi] rö ss [epsilon] 3 [phi] X rH X! g rH H 3 X SH rH
O 3 N . - . -H [Phi] [phi] SH [phi] XJ  Di [Phi] ss [Phi] o O ss > ss SH X i
2 [phi] -H 3 X [phi] ü :3 [phi] SH X X ss -H co
-H [phi] O rö X < Q ss
XS X X rH ü*. [Phi] ü rö [phi] -H X . [Phi] ss
X co 3 SH oc ü X ss ss ü -H X 1 H r- -H :

  0
3 X M CO SH 3 r-i [Phi] M rö Cu rö rH [Phi] Xi [phi] rH o O X X 4-J M CQ .
(H o N rö -H  CO rH ss
[Phi] X [Phi] SH [Phi] CQ [Phi] [phi] X [Phi]
X CQ -H X rH . Di -H rö XS rö 3 cu CO ss N ss 3 SH SH
M SH [phi] -H 0 X [Phi] ss rö SH [Phi] rH Di [Phi] co CO 3 ss [Phi] CO -H ss ss rö SH XS rö [Phi] 3 4-1 Di [Phi] X
M [Phi] O X ES X -H ss ss SH
X X [Phi] 3 0 [phi]
M =3 1 co [upsilon] X X X -H
-H O [phi] Di -H ss X O co
X rö > xs ss PC -H [upsilon] X -H
Cu 3 rH 3 1 [Phi] -H Cu rH o P rö ss X SH oc rö [phi] CJ [phi] X [Phi] 1 co [phi]
SH Di [upsilon] ss co N [Phi] SH
[Phi]*. co ss -H -H rö XS
XJ ss rH 3 PC X ss X [phi] [Phi] D> 1 -H ss -H [phi] Xi X [Phi] X 3 SH [phi] [phi]
4H SH X 3 N [Phi] o Di X r-i [Phi] -H [Phi] ss rö XJ CQ ss

   ss
-H 3 g CQ -H XS r-i 3<>H
DG SH rö Di [phi]
X [Phi] [Phi] X r-i [Phi] [Phi] SH
X H g -H ss [Phi] J 3 [Phi]
-H [Phi] [Phi] S [Phi] M O Di [Phi] -H g XS X [epsilon] ss ss X CO ss co ss [Phi] -H CO 3 M co
Di :rö [Phi] rH ES [Phi] H ss 3 ss [phi] CO XS [phi] X [Phi] [Phi] M
3 Di rH SH ss ss [upsilon] -H rH O
M [phi] [Phi] [phi] [Phi] CO ss CQ Cu ss CO Di 3 X X -H o 3
[Phi] 3 [phi] P X 4-1 -H < . rH M -H CQ rö [upsilon] ss X 3 a O Cu -H rH [Phi] [Phi] -H 1 N
 <EMI ID=6.1> 
Cu CO X ex SH X CQ X
D SH ss^- . [Phi] Di
3 Di J 1 ss g
X ss ss 3<>H
X 3 [phi] g
O X X rH g Di
-H X Di CO :3 ss
SH [upsilon] -H 3 SH 3
SH -H P < -u<">X
[Phi] PC X -H
3 1 [upsilon] [Phi] [Phi] [Phi] [sigma] N -H -H Di rH
- - - CO XS -H X ss , CQ X
[Phi] D [upsilon] .

   CQ [upsilon] ss ss =3 X :rö -H
[Phi] 3 SH . rH X i X [Phi] xs 3
[Phi] X X N [Phi] rH ü CG
[Phi] -H co X rH :rö
Di SH 3 rH rö g ss -H -H g [Phi]
[Phi] [Phi] S Di -H Di ss X rö X CQ
[Phi] :0 SH CO rö Di
X DG CO SH g ss [omega] Di [Phi] 3
1 SH ss X [Phi] ss [iota] [Phi] 3<>H -H XJ
\ J g [Phi] XJ SH ss
X g rH O [phi] ss =3 ss CO rH
SH -H SH [Phi] rH [Phi] rH
3 -[omega]<">rH rö -H [phi]
N [Phi] rH xs X
SH [phi] [phi] ss co
SH [Phi] rH ES -H g 3
[Phi] xs rö 1 [phi] 3 N i ss [epsilon] 4-1 CQ SH
O -H X . [phi] ss CO ss [upsilon] SH co X
-H [phi] -H -H [Phi] SH [upsilon]
X [epsilon] X M [Phi] -H ss co SH P co [phi] ss SH CQ :rö -H
Di -H [Phi] [Phi] X [Phi] SH ss S XS CO r-i [phi]
3 XS ss X
X ss Di <4H X [phi] -H
O 3 -H 3 X rH [phi]
-H c2 rö [upsilon] rH r-
[Phi] ,-  :rö rH -H [Phi] ss
3 Di 

  [epsilon] ss ES [phi]
X ss M [Phi] 1 rH
3 U > MH X H
X [Phi] SH X [Phi] ss X 3 ss rö [upsilon] ES
[Phi] [upsilon] N [Phi] S -H 1 J -H [tau]i X X
PC J D X
-H 1 SH SH ss co ü
[Phi] [iota] -H =3 3 [phi] -H
 <EMI ID=6.2> 
CQ - ' 3 4H [Lambda], xs X
1 1 [phi] ss 1 1 -P 1 [phi] rH [Phi] rH 1 1 [phi] -P ss CQ -H 1 [phi] ss =3 CO SH SH -H [Phi] Di CO [Phi]
3 [Phi] Di rH [Phi] Cu ss SH ss SH co -H rö XS S [phi] 3 o 1 X [Phi] rö [Phi] 3 rH
CQ ss -H P SH J XJ Di P M SH
1 ss [Phi] u [Phi] ss ss [Phi] co ss SH -H O [Phi]
SH o CO N [Phi] [phi] X X rö O [Phi] Cu X
[Phi] > ss -H SH X -H < > r-i :3
XJ [Phi] [Phi] 3 [Phi] [Phi] 1 [epsilon] ss [Phi] ss ss XS X M -H co rH SH 3 [Phi] [phi] ss [Phi]
[Phi] ss SH rH ss [Phi] N CQ r- -H Di O [phi] SH ss [Phi] X rö [phi] X [Phi] r-i [Phi] [Phi]
XS :

  3 ss SH u ss rH -H CO -H [phi] D g SH *H rö [Phi] co D r-i [Phi] -H Q ES X o [Phi] - SH [phi]<>H [Phi] rH X 1 [upsilon] co
> 3 X X Di O ES ss  X H rö
X -H [Phi] ss [phi] SH ss X 3 XJ rö X -H [Phi] g -H ss [Phi] H [Phi] [Phi] [upsilon] [tau]s
3 D ss X [Phi] [Phi] X r-i X X -H m
X 3 X rö X X [Phi] [phi] -H [Phi] X ss 3
[Phi] [Phi] ü Q rö [Phi] u ss ES [Phi] -H (H rö
N co SH i co Di rH SH [Phi] [Phi] XJ
SH X . O [upsilon] -H<>H [epsilon] ss X XJ X 4-1 SH
P [Phi] < XJ > [Phi] SH [Phi] [Phi] [phi] ü rö [phi] X -H
M 1 SH SH X [Phi] CQ rH CQ SH [epsilon] [upsilon] 3 ss [Phi] SH -H (0 X M Di [Phi] rH [Phi] [Phi] -H -H
3 X [phi] 3 co co [Phi] -H [Phi] Di Di rH X X
Cu P X rö r-i ss XJ ES X H rH
X -H -H P XS [phi] [Phi] [Phi] ü SH<>H CQ X
SH ss [phi] [phi] N X ss [phi] SH =3 2

   rö rö rö X rH xs **. SH ss CO 0 X 3 X XJ SH
P U ss ss ss 3 [Phi] [phi] > u Xi ss X o co [Phi] [phi] [Phi] M ss X<>H [Phi] [Phi] CQ CQ
X H 3 XS [Phi] XJ rH X SH X X [Phi] [epsilon] r-i SH SH [phi] O [epsilon] ss 4-1 ss [Phi] co X Di o 1 [phi] [Phi] [Phi] ss CO rö 3 CO [Phi] [tau]s SH J
> SH ES > 3 -H [phi] [Phi] [epsilon] ss [Phi] -H X [phi] [Phi] [epsilon] SH*. SH [Phi] o X ss xs 4-> [Phi] SH ss [phi] [Phi] X! rH co ss [Phi] ss -H r-i [Phi] [Phi] [Phi] Di XJ SH SH [Phi] [phi] [Phi] ss [phi] [epsilon]
[Phi] rö 4-> Di X -H [Phi] 3 X XJ [phi] [Phi]
X rH g -H ss X CO 3 XJ rö co 4-1 rH [phi] ss -H [phi] rö -H [Phi] [epsilon] CQ ss X rH [phi]
Di [phi] 4-1 rH i ss XS o P ss -H [upsilon] [phi] 3
CO rH Cu ss [Phi] X SH -H ss ss rö u rö
3 r-i O [Phi] D [upsilon] XS X [Phi] rö [Phi] X ss CU CQ rö [Phi] rH SH CO ss co -P

   XS X [upsilon] o 1
ES SH rH O X rö o 4-1 V -H ss M SH
X [Phi] [phi] > < X X -H i CQ CO o [Phi] [Phi] [upsilon] [Phi] XJ ES 1 ss 0 [epsilon] SH -H X Di Di
3 SH 1 X SH rö X SH -H ss P [upsilon] ss ss rö [Phi] X X SH [phi] cu [phi] 3 O [phi] CO -H :rö
SH ü X rö X -H SH ss [Phi] UH ss X -H ü SH -H [Phi] [epsilon] X XJ X D> ss Cu
[Phi] [Phi] r-i -H [Phi] [phi] X [Phi] 4-> ss M -H [Phi] CQ g ss g cQ X J rH O xs -H [Phi] [Phi] [Phi] ss [Phi] [omega] ss [Phi] ss 3 ss X rH [Phi] XJ
:0 -H ss [Phi] [Phi] xs X [Phi] [phi] [Phi] Xi [phi]
M X rH [phi] CO rH ss [upsilon] Di 0 CO Di s ss X D -H rH ss [phi] CO CO X -H -H ss ss
CO [phi] ü -H [Phi] [Phi] [Phi] X X 3 C [Phi] [Phi] 3 [phi]
 <EMI ID=6.3> 
d g CQ 4-1 3 ES S u < rö 0 3 X SH Di 4H XJ
1 3 ss
:

  rö ss -H rH o
SH >
O 4-J
> [phi] ss
X [Phi]
CO X g [phi] -H [Phi] ss ss rH
-H X [Phi]
[Phi] [upsilon] 3
CO rö
Di X CQ ss < 1
3 1
SH SH [phi]
[Phi] [Phi] xs
-H P ss
SH -H [phi]
3 [phi] co
X rH
M ss g
3 [phi] [phi]
SH rH xs
X rH o [phi] [phi]
ES co
X -H [upsilon] [phi] [phi] rö SH 3 ss [phi] co
X r-i
X -H [phi] ü [phi] -H
3 3 Cu rö co co H
SH SH [Phi]
[Phi] [phi] X
X X rö -H*. [phi] X ss rH ss
[Phi] ss [phi] ss [Phi] g ss rH [phi]
:0 rH rH
M [phi] [phi]
ES 3
CQ 1 rö
X X CQ
-H X
[Phi] [upsilon] ss
CQ<>H [Phi]
SH X ss
[Phi] -H
SH ss [phi]
[Phi] [Phi]
XJ Di g
 <EMI ID=6.4> 
ss -H [phi] 
Richtung zum anderen Bauelement, insbesondere zum Empfänger-Bauelement, strukturiert werden, und zwar derart, dass sie in den vorläufigen Licht-Wellenleiter einmünden.

   In diesem Fall werden Wellenleiter-Abschnitte mit nicht so günstigen Startkoordinaten keine oder nur eine geringe Erhöhung des Photostroms bewirken, jene Wellenleiter-Abschnitte mit optimalen Startkoordinaten, also etwa direkt an der Lichtaustrittsstelle des Sender-Bauelements, werden eine Erhöhung des Photostroms bewirken.
Bei einer ähnlichen Vorgangsweise wird der Licht-Wellenleiter ausgehend von einem der optoelektronischen Bauelemente, etwa dem Sender-Bauelement, bis zum zugehörigen anderen Bauelement, z.B.

   zum Empfänger-Bauelement strukturiert, wonach der Verlauf des Wellenleiters in einer Rückwärts-Strukturierung zum einen Bauelement, also beispielsweise zum Sender-Bauelement, hin auf der Basis der Erfassung des Photostroms wie erwähnt optimiert wird.
Es ist auch von Vorteil, wenn vorab zumindest ein SondierungsWellenleiter von einem der Bauelemente zum anderen auf der Basis des erfassten Photostroms strukturiert wird, wonach der endgültige Wellenleiter unter Überschreiben des Sondierungs-Wellenleiters strukturiert wird. Dabei kann der endgültige Wellenleiter mit einem grösseren Querschnitt als der Sondierungs-Wellenleiter strukturiert werden.

   Auch ist es günstig, wenn der SondierungsWellenleiter mit einer geringeren Photonenstrahl-Leistung als der endgültige Wellenleiter strukturiert wird.
Mit besonderem Vorteil kann die vorliegende aktive Strukturierung bei Vorliegen von optoelektronischen Sender- und EmpfängerArrays als Bauelemente eingesetzt werden, wobei ein diesen Arrays zugehöriges Wellenleiter-Array mit einzelnen WellenleiterKanälen strukturiert wird;

   bei der Erzeugung dieser Wellenleiter-Kanäle wird der jeweilige Kanal-Verlauf entsprechend einem maximalen Photostrom am zugehörigen Empfänger und einem minimalen Strom, d.h. entsprechend einem minimalen Übersprechen, an anderen Empfängern festgelegt. 
Mit der vorliegenden Technik können nicht nur einfache LichtWellenleiter, mit geradem oder gekrümmten Verlauf etc., sondern auch sich verzweigende Wellenleiter strukturiert werden, wobei es in vorteilhafter Weise möglich ist, die Wellenleiter-Arme gemäss einem vorgegebenen Photostromverhältnis, z.B.

   mit gleich grossen Photostromanteilen, zu strukturieren.
Im Rahmen der Erfindung mit der aktiven Wellenleiter-Strukturierung ist es auch mit Vorteil möglich, die optoelektronischen Bauelemente nicht direkt, sondern über andere Komponenten zu verbinden, nämlich insbesondere über passive Komponenten, wie Umlenkspiegel, und es ist demgemäss auch vorteilhaft, wenn zumindest zwei gesonderte Wellenleiter zur Herstellung einer optischen Verbindung über zumindest eine passive Komponente, z.B. einen Umlenkspiegel, strukturiert werden. Auch in diesem Fall kann die vorstehend erläuterte aktive Strukturierung zu einer optimalen Wellenleiter-Verbindung führen, und dies trifft weiters auch zu, wenn gemäss einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform gesonderte Wellenleiter (35') zu einer Licht- Einbzw.

   Auskopplungsposition (36) an der Oberfläche des optischen schichtförmigen Materials führt, wobei eines der optoelektronischen Bauelemente (4 bzw. 3) ausserhalb des optischen schichtförmigen Materials angeordnet ist. Bei dieser Ausführungsform ist somit zumindest eines der optoelektronischen Bauelemente ausserhalb der Schicht des optischen Photopolymerisierbaren Materials angeordnet, denkbar ist es aber auch, beide Bauelemente ausserhalb vorzusehen, wenn dies aus bestimmten Gründen zweckmässig oder notwendig ist. Nichtsdestoweniger kann auch in diesen Fällen mit einem Ein- bzw. Auskopplungs-Wellenleiter und dem im optischen Material eingebetteten Umlenkspiegel der Vorteil der vorliegenden Strukturierung genützt werden.
Im weiteren kann dann beispielsweise auch mit Hilfe der vorliegenden aktiven Strukturierung an der Ein- bzw.

   Auskopplungs-Position oder etwas im Inneren der optischen Schicht eine Linse, insbesondere zu Fokussierungszwecken, mit Hilfe der vorliegenden Mehrphotonenabsorption (aktiv) strukturiert werden, wobei der gesonderte Wellenleiter mit dieser Linse gekoppelt wird. An sich [sigma].
1 -H SH [Phi]
1 [Phi] [Phi] 1 [Phi] ss [epsilon] 3 - [epsilon]
Cu H 1 o 3 X Di 1 X! o 1 [Phi] 1 -H 1 -H ss ss
AJ N ss ss 1 rö ss X -H SH cG X 3 SH [Phi] [Phi] Di CO xs 3
CO SH ss [Phi] ss rö SH 3 X X ss rö ss u -H ss CO [Phi] O rö O i [Phi] X X -H [Phi] ss 1 X SH
3 [Phi] [phi] X -H 3 [phi] Di ü [Phi] ss ss o [Phi] [Phi] P XS SH CQ ss X XS r-i ü cG XJ 3 o [Phi]
X X ü X Xi ss SH [Phi] ss -H rö X X X ss D 4-J 3 -H ss :rö co :rö 4-> [Phi] xs [phi] r-i ss [phi] ss -H 3 P ss [Phi] AJ o :0 [upsilon] rö CO 4-J Di [Phi] 3 X -H [epsilon] ss X o >
SH CO<>H o [Phi] rö SH XJ rö :

  0 r-i r-i DG -H ss [Phi] ss -H [phi] X

   X X AJ [phi] ss X ss [phi] CO SH co X ss XS ss AJ O D rö H X -H ss [phi] [Phi] 3 Di ss Cu [upsilon] co [phi] cu P o
XS [Phi] X ss Di -H X SH H CQ ss [Phi] ss Cd H ss X [phi] [epsilon] ss [Phi] o [phi] co [epsilon] -H > o N [upsilon] g [phi] ss [phi] 0 [Phi] XJ 3 co X [Phi] SH [Phi] o ss X 3 3 rö [phi] ss [Phi] o co [phi] g 3 XS [Phi] [tau]s ss SH X [Phi] . P -H > XJ X rH N < H rH [phi] X [epsilon] ss [Phi] ss [phi] SH . 3 ss o X ss S rö o ü XS XS ss o [Phi] -H X [phi] 3 [phi] X ss o r-i Cu X H rH [Phi] 3 Q rö o -H 3 > -H SH [Phi] X SH X X! ü X N XJ Cd 3 Di -H >
[Phi] rH [Phi] [phi] -H N ss [Iota]C [Phi] o rH Di -H X Cu [Phi] rö ss -H X rö 3 [Phi]
Cu [phi] CQ r-i SH X -H 1 r-i ss ss < ss X! ss 3 ü -H rH 3 SH -H > -H [epsilon] CQ [Phi] CO Di
Cu & ss [phi] 3 [phi] 

  [Phi] N ss [Phi] <3 1 -H [Phi] 3 -H [Phi] O [phi] CO N CO -H o g UO -H Di X [phi] ss [phi] Di SH Cd -H co ss rH ss O PC CO Di [epsilon] -H 3 3 1 co P N [phi] D>
AJ [phi] 00 [Phi] AJ xs -H [Phi] [phi] r-i [Phi] [Phi] [Phi] X co [Phi] Di -H 3 rH ss D rö [Phi] [Phi] 2 ss ss P UO X -H 3  ss [phi] -H X -H -H D i  o 3 XS :0 [Phi] AJ X 3 ss rH ss xs :rö
-H co [upsilon] Cu ss [phi] XS rH [phi] rH -H ss ss CQ rH [Phi] [epsilon] 0 [phi] rö 3 [phi] SH [Phi] ss X ss X
Cd 00 3 CO X [Phi] N X [phi] ES SH X :rö [Phi] SH 4H -H SH [Phi] Cu ss [Phi] SH [Phi] ss [phi] ss [Phi] X ss o rö co XS 3 -H co O SH <P XS [Phi] ss [epsilon] [Phi] -H -H X -H X 3 -H o [Phi] ss rö g [phi] UO ss 1 [phi] g ss [phi] [Phi] > rö Cu SH X -H SH XJ X [phi] co :3 CO [Phi] [phi] [epsilon] [phi]
3 ss co O SH [Phi] SH [Phi] -H -H

   g [phi] ss [Phi] [Phi] -H ss 3 X rH X ss [Phi] X [Phi]
N -H [Phi] > [phi] 3 AJ X S XJ ss [Phi] Cd 3 3 [Phi] > [phi] [epsilon] Di [Phi] X rH X CO X [phi] r-i [Phi] -H
[Phi] < -H X ü [Phi] [Phi] XJ CQ X Di ss ss AJ X rö -H X [Phi] CQ XS
[Phi] Xi ss -H X SH 3 -H -H X S ss ss SH -H ss 3 0 3 rö 3 [epsilon] [upsilon] 3 [Phi]
CO X ss [Phi] [Phi] [Phi] [phi] rö >H [Phi] ss :0 [Phi] ss [Phi] -H [Phi] [Phi] [Phi] 3 X SH X SH X N co rö Di ss [upsilon] -H [Phi] X rH XJ xs 3 X [Phi] DG ss 3 X D X rH X H X o X X co P -H CQ SH X
-H SH X -H ss ss ss X X rö Di -H [Phi] ss -H -H ss X [Phi] =3 X CO o ss CO -H ss 1 o CQ
X 3 [Phi] =3 [Phi] [phi] [phi] rö ü AJ XJ [Phi] ss Cd 1 co SH X [Phi] [phi] o X m cu [Phi] X [Phi] o > -H xs CQ SH rH 3 ss -H 3 -H [Phi] SH [phi] [Phi] -H rH rH 

  -H ss -H SH ss ss X [Phi] [Phi] [phi] H ss X rH -H rH SH ss r-i X  [Phi] C X [Phi] ss rH -H [phi] o [Phi] [Phi] O [phi] ss X Di X 3 ss [Phi] ss u [Phi] [Phi] [phi] g X [Phi] ü ss XS SH -H CO [phi] [Phi] SH [Phi] X [phi] XJ [tau]s X  AJ ss ss MH
-H [phi] 3 rö co ES > :rö co ss [Phi] -H [Phi] ss o [Phi] ss rH Es O XJ o [epsilon] H
[Phi] [Phi] [phi] :rö [phi] 3
[Phi] XJ co AJ ss ss ss X rH [phi] > r-i [phi] rH > [Phi] [Phi] ss ss X rH SH rH <4H [epsilon] rö o rH -H ss X :0 :0 XJ X co ss Di [phi] [Phi] co DG ss -H Cu [phi] [Phi] [phi] SO, [phi] [phi] D Cd [Phi] [Phi] [upsilon] 3 AJ DG [phi] :3 [Phi] [phi] [Phi] ES XJ ss rö o [phi] ss 3 o ss > XS -H SH N -H SH ss X rH Di ss [Phi] X H X 3 co [phi] [phi] X C [epsilon] r-i rH
SH ss -H d [phi] [phi] rö o CU 3 ss -H o rH [Phi] SH ss X [Phi] o ss rH ss [phi] cG 3 X

   CO [phi] [phi] X X CU 3 X
43 -H O SH [Phi] X -H D X ss [Phi] [Phi] [upsilon] X > [phi] [phi] [Phi] [Phi] Xi :rö [Phi] N -H [phi] X [tau]s X CO O ss rö X
AJ P -H [Phi] r-i AJ XS :0 -H SH X X CO [epsilon] ES ss S -H [epsilon] CO XS co rö [Phi] CQ -H ss rö [Phi] -H rö rö o g [Phi] [Phi] -H r-i SH P rH [Phi] -H ss [Phi] [Phi] [Phi] rH O ss ss ss rH [Phi]
43 SH g X rH X [Phi] [Phi] [phi] X r-i r-i ss [Phi] [phi] ss Di XS [Phi] Cu -H [epsilon] X 1
[Phi] rH o Cu -H [phi] o SH X [epsilon]
XJ X 3 -H o X ss -H rH CO X [upsilon] rö [Phi] [Phi] N X co ss 4-> CQ [epsilon] -H SH Xi S CO [Phi] rö CQ X P [Phi] X ü [phi] [Phi] ss SH ss -H Cu 3 XS CO 3 [upsilon] Di O X 3 3 [epsilon] X [Phi] -H Di [Phi]
X [phi] AJ Cu XJ cu 3 rH rH [Phi] [Phi] 3 ss rö ss co [Phi] CO ss co<>H AJ N 3 -H X CQ ss ss ss 3 u 

  [Phi] H 3 0 rö rH ss r-i XJ g CQ [phi] rö  3 [phi] [epsilon] O N CO -H CQ [Phi] o :rö co
3 co XJ X ss [phi] [Phi] r-i ss [Phi] -H N XS AJ SH X XS X CQ Cu P o [Phi] rö X m 3 rö rö X g -H [phi] ES rH [Phi] 4H -H CO [Phi] 3 [Phi] -H ss co D ss X cu X XJ ü X cu <
X [Phi] o [phi] g ss [Phi] rH ES 3 -H [Phi] X [Phi] - ss xs [Phi] -H ss ss SH [Phi] -H co co AJ
H ss SH ss [phi] [phi] X [Phi] SH [upsilon] ss [phi] O X MH -H 3 [Phi] [epsilon] [epsilon] [Phi] 3 co -H [Phi] d XS
[Phi] X 3 [phi] -H Di [phi] XJ ES ss U 3 [Phi] CQ AJ -H XS -H SH J [Phi] X AJ [phi] ss 3 rH ss
X ü > [Phi] ss X [Phi] ss [Phi] . 3 o XS -H SH [phi] [Phi] [Phi] .. X rH ss o XS [Phi] N [Phi] [epsilon] 3 rö -H 3 X m [phi] -H XS X rö rH ss ss SH rö ss xs X =3 ss [phi] -H Cu X 0 rö
3 ss X 3 XS [phi] X! [Phi] ss  

  [Phi] 0 o [Phi] Xi -H ss 4H SH -H m [phi] ss [Phi] X [phi] X 4-1 X co S [Phi] AJ N ss X H 3 [Phi] J X -H co SH XS [phi] ss [Phi] [Phi] rH X [phi] SH [Phi] X CQ [Phi] Cu co co
[Phi] rH rö -H SH co [Phi] N D [upsilon] CU [phi] X ss P [Phi] N Di XJ X X o X [Phi] H o [Phi] -H o [epsilon] -H ss r-i r-i X [phi] -H ss ss o CQ X AJ rö D rH 3 -H ss rö co X 3 XJ<>H Di 0
X rH [phi] X [Phi] r-i SH ss X ss -H ss J H CO [phi] ss [Phi] rö [Phi] CO -H -H -H rö [Phi] X X co [Phi] 4-1 CO -H rö [Phi] -H co ü o [phi] [Phi] [Phi] ss rH -H -H ss [phi] [Phi] [Phi] 4-J 3 r- [epsilon] ss i X o [upsilon] o [Phi] [Phi] X [Phi]
 <EMI ID=9.1> 
-H Cu CO -H Q Cu > [phi] Cd CO > XS X -»-[iota] X -H [Phi] [Phi] rH Di AJ Q CQ rH O N Cu co CO O > CQ X! co XJ 

<
1 1 1 1 1 ss ss 1 1 1 1 co
CQ 3 :

  3 1 [Phi] 1 SH ss 1 rö 1 ss [phi] i rH [phi] 1 ss SH 1 4-J X
[Phi] N 4H [Phi] rH X [Phi] -H co SH rö [phi] X [phi] [phi] -H ss -H O SH 3 X ss
XS SH X rH [phi] Di [epsilon] [epsilon] 3 [phi] [epsilon] [phi] X [upsilon] SH J r- XS ss < [Phi] > [Phi] X ü [phi] S [phi] CO [phi] g ss [Phi] o rö Di Di [Phi] co [phi] ss r-i -H rH XJ AJ -H [epsilon] ss ss > X [Phi] X :rö co SH X -H -H -H s o rö ss [phi] X ss 3 X [phi] o 3 1 U J CO g 4H [Phi] X ss [epsilon] ss CQ SH 3 co SH -H ss xs rö [Phi] Di rH
-H SH ss -H 3 Cu -H co o 3 [Phi] X X N ss rö [Phi] ss SH X XS ss X O [Phi]
X ss 3 [Phi] CO ss ss [epsilon] XS o -H [phi] N [epsilon] [upsilon] rH H -. Cu ss Di [phi] X AJ 3 O [Phi] ss
-H rH N X o [Phi] Cd P P -H [Phi] rö [Phi] D ss [Phi] ss X CO ss 4H SH XS [Phi]
CO [phi] rö ss -H X ss ss o -H

   XJ [epsilon] rH 1 XS ss X [phi] [Phi] Di 3 ü ss 3 3 [Phi] SH X
O X rH ss rö X X [Phi] ss H X co rö [phi] . -H ss 3 ss SH ss ss AJ [phi] [Phi] U rö Xi [Phi] Di X
Cu X [Phi] -H -H ü X [Phi] cu o co SH s [Phi] H Di [phi] X [Phi] 3 ss SH ss ss ss XS ss rö co -H P X! ss CQ CO rö X XJ Cu CQ [epsilon] [Phi] SH 3 CU [phi] [epsilon] =3 X AJ [Phi] Cu o ss S O 3 rH
3 [epsilon] X SH -H O ss X [upsilon] ss [phi] co rö o Di -H N CO 3 [phi] m Cd ss rH co X [Phi] ss SH CU
AJ SH H O C :3 CO -H X 3 xs H ss 3 [phi] rH 3 [Phi] CO X o SH [Phi] [Phi] 1 [Phi] SH
O [phi] [epsilon] O rH CO 3 [Phi] -H CO ü AJ X :rö ss [Phi] X X [phi] N SH rH 3 ss X CQ  SH > X -H [Phi]
Cu co i [phi] 3 [Phi] Di ss rH o co m [phi] r- ss -H > ss -H [phi] CO < [phi] Cu ss [Phi] -H -H SH X rH Cn

   X AJ D ss O rH o Cu ss o u SH rö H [epsilon] -H [phi] [Phi] Xi 3 ss [Phi] H X [Phi] 3 -H
[Phi] rö ss r-i X O :rö SH [phi] co ss X [epsilon] [phi] g [Phi] X X X < X X SH [phi] XS co AJ SH X [Phi] rH -H 3 [Phi] -H Cu H Di X X ss rö o Cd XJ -H [Phi] rö X SH ss V ü [Phi] XJ ss rö rö X AJ X rö SH SH X g [Phi] ss AJ P [phi] [phi] AJ X ss ss X CQ rH rö [Phi] -H X SH SH XJ -H X ü 3 [epsilon] [phi] X X AJ [Phi] S H [phi] -H SH rH cu ss rö -H ss H [phi] r-i X ü 3 3 SH 4H [Phi] co SH CQ
H X :3 -H ss -H Cd r-i [epsilon] [phi] rö ss [Phi] [epsilon] X [Phi] PC Cu XJ XS AJ :3 3 X ss ss X [Phi]
P rö 4H [epsilon] [Phi] XS ss [phi] P SH [epsilon] [phi] SH Di ss :rö 3 -. 3 3 -H m N -H -H H co XS
Cu 2 rH X rH rö [Phi] o SH X -H X! [phi] -H [Phi] co 3 co [Phi] 

  [phi] Di N XJ X . X CO [epsilon] [Phi] Cd
O X SH 1 CO SH X [Phi] [phi] X SH XJ SH XS SH rH -H X ss rö ü CQ Cu ss 3 o [phi] X ss rö [Phi] O rH [Phi] u 3 Cu [phi] :0 rö [Phi] [phi] XJ -H 3 S o 3  o O rö
SH 3 SH rö rö SH O co [epsilon] CQ [Phi] CQ > X
[Phi] [Phi] o 3 co X ss SH -H [Phi] X CQ rö N -H SH xi [Phi] -H o
-H X X co [Phi] XJ -H X 3 co [Phi] rö SH [Phi] Cu SH X X SH  X [Phi] xs o XJ X -H
XS ü o 3 XS SH [Phi] CO < X SH ss rö Di H co 3 [upsilon] [Phi] co 3 AJ X co O [epsilon] -H X SH X
[Phi] g [phi] [phi] [phi] [phi] XJ g 1 3 -H ss [epsilon] H 3 3 SH Di N CO -H X XS rö [upsilon] [epsilon] H [Phi] ss X ss [Phi] X xs Di SH 0 SH [Phi] [Phi] PC D<1>[Phi] ss X O co 3 [phi] ss CO
O X -H [Phi] 1 H rö X -H -H X ss [Phi] SH [phi] ss X X xs 1 X 3

   CU X [epsilon] [Phi] [Phi]
SH CU XS -H co [Phi] 2 [upsilon] [Phi] XS o Di rö XJ X X Di [Phi] X X Di [Phi] -H X X X Di CQ SH ss ss
X O X! i 3 3 -H ss D SH -H co ss ss ü s ss ss [Phi] X -H [phi] rö ss Di X -H [Phi] co ss [Phi] ss rö xs SH 3 [phi] -H [Phi] o :rö ss ss -H ss 3 [Phi] 3 u [Phi] 4-> SH 3 ss :rö [Phi] X
O [epsilon] =3 ss 3 X [Phi] r-i ss [phi] rH Di 3 rH X 4H :0 [Phi] ss 3 [Phi]<>Di X -H X co X J 3 3 u
4-1 3 m SH SH co X -H r-i 3 i X SH ss O Cu AJ CO XS [Phi] Cd [Phi] PC ss Di co ss SH X co
O N [Phi] X 3 ü [Phi] rö ss X 0 X [phi] X [epsilon] co O X 3 1 -H 1 -H -H ss -H [Phi] co -H -H
X [Phi] m =3 N co X Cu -H -H > rH r-i cu Cd rH rö CO -H . [Phi] X 3 N [Phi] X [Phi] MH -H [phi] [epsilon] X
Cu > rH [phi] m ss 

  -H rö ss [phi] [epsilon] [phi] r-i [Phi] 4H [Phi] Di CQ ss o SH CO ss SH SH X rö Cu
-H rö H rH rö X XJ
X ss rH X Cu - [epsilon] [Phi] SH X Di [phi] SH co X SH [Phi] ss O Cd 3 AJ XJ o ss H ss 3 Cd SH [Phi] Es [Phi] [phi] X [epsilon] [epsilon] X ss [phi] o
3 3 ss 3 [Phi]
N rö SH [epsilon] [Phi] -H =3 X X ss
[Phi] rö Di rö X o ss ss XS xs H H X X [Phi] 1 XS CO Di O ss AJ 3 XJ SH
X rH -H -H SH SH ss [Phi] :0 rö SH SH [phi] ss [epsilon] Di [Phi] X ü rH CQ X [Phi] 3 Cu ss [Phi] co [phi] CO [phi] X rö g rö [epsilon] AJ XJ [phi] [phi] Di [phi] ss ss CQ ss ss rH [upsilon] CO [Phi] . 3 CO Cu S SH co 3 XJ co SH SH X o SH -H AJ :0 xs xs ss [Phi] [phi] Di 3 [Phi] X -H<>H ss Di AJ rH ss X 3 rö X rö [Phi] SH 3 rH O [Phi] Di X ss X SH rö SH ss [phi] Di ss O -H co [Phi] o AJ co

   ss
4H co =3 Q [Phi] XJ CO X P N -H -H H CO X [Phi] ss 3 X O SH CO rö X ss 3 Cu [Phi] [Phi] Di 1 0 Di -H
SH rH 4H -H rH H CO [phi] [phi] [phi] [Phi] Di [phi] SH ü X X Di X X 3 X 3 XJ [Phi] Cu ss
[Phi] X X  XJ [Phi] X [Phi] ss ss X X X ss -H O [epsilon] X -H O co ss [upsilon] rö X X SH [Phi] H cu rö O rö ü ss CQ rö X [Phi] [Phi] SH o O SH 3 [phi] :3 SH [epsilon] ss 3 [phi] rH X ü [Phi] -[iota]-[iota] -¯ rH EH co Di SH
X SH rö [Phi] g -H SH ss ss CO o ss 3 -H X rH MH ss X [Phi] SH
-H X [epsilon] CU [upsilon] -H XS X SH [phi] [Phi]
-H X 2 r-i 3 [Phi] X -H o CO > [phi] X u [phi] rH ss [Phi] SH -H SH [phi] AJ o SH X! O X
[Phi] co r-i ES o [Phi] P [phi] ss -H co X SH X [phi] -H 0 -H [phi] [Phi] SH ss Di -H ss > [Phi] > -H
X ss [Phi] [phi] ss X CO 0 [epsilon] X o

   ss CO [phi] o [phi] rö co SH X SH ss X SH [Phi] ss XS 3 XJ ss CO [phi] ss [phi] Di X [Phi] SH [Phi] D CQ X -H -H [phi] 0 D<i>-H D SH X X o 3 -H -H [Phi] X 3 Cu SH O Di rH
-H ss -H co rH [Phi] ss [Phi] [Phi] cu co [epsilon] X X Cu ss ss X [phi] [upsilon] X X [phi] [Phi] 3 :0 SH 1 CQ [Phi] ss -H ss ss
[Phi] o SH rö X 0 -H 2 rö SH co -H r-i :rö o -H co cu AJ X O DG [Phi] 3 XS [Phi] X 3 [phi]
CO X :0 i ss ss X r-i [phi] rö rH [epsilon] [phi] 3 [Phi] rö 4H SH 3 X 3 X AJ rH -H SH rH
CO O X ss Di ss O SH [Phi] SH SH r-i SH 3 AJ g Cu [Phi] X X! SH SH o SH SH SH [Phi] -H 0 X -H CO [Phi] rH [phi] X [Phi] 3 -H rö X O -H [Phi] SH rö o 3 O [Phi] -H [epsilon] -H ss ss [Phi] X 3 3 [Phi] [Phi] X [Phi] Cu -H [phi] O -H [Phi]
 <EMI ID=10.1> 
2 CU Di Di o AJ CU > Q H Cu 4H N Cu XS X Cd Q < 3 XJ o rö N co XS CQ X - - 2 X Cu SH ES 
realisiert.

   Es wird demgemäss ein "sich den optimalen Weg selbst suchender Licht-Wellenleiter" generiert. Dadurch wird eine schnelle, effektive und auch auf die Gegebenheiten (Position der optoelektronischen Bauelemente, Position der aktiven Zonen der Bauelemente) optimierte Anbindung von Wellenleitern an integrierte optoelektronische Bauelemente ermöglicht.
Die vorliegende Technik kann daher mit besonderem Vorteil in optoelektronischen Leiterplatten mit Multimode- oder SinglemodeWellenleitern für hohe Datentransferraten und grosse Designfreiheiten eingesetzt werden, und zwar für Rigid-Leiterplatten ebenso wie für Flex-Leiterplatten und für Rigid-Flex-Leiterplatten, wobei eine Produktion mit hohen Stückzahlen möglich ist.

   Es wird somit die Realisierung hochkomplexer Produktapplikationen, eine weitere Miniaturisierung der Leiterplatten, eine Erhöhung der Integrationsdichte von Produktfeatures und eine verbesserte Funktionalität der Leiterplatten auf einfache, kostengünstige Weise ermöglicht. Derartige Leiterplatten, mit gemäss der Erfindung strukturierten Licht-Wellenleitern, können dort mit besonderem Vorteil eingesetzt werden, wo Applikationen höchste Datenströme zwischen Bauelementen, Modulen oder Funktionseinheiten (Backplanes oder Multiprozessor-Boards) oder ein platzsparendes Design der Verbindungsstrecken (mobile Anwendungen) benötigen.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von bevorzugten Ausführungsbeispielen, auf die sie jedoch nicht beschränkt sein soll, und unter Bezugnahme auf die Zeichnung noch weiter erläutert.

   Dabei zeigen in der Zeichnung im Einzelnen:
Fig. 1 in einem schematischen Querschnitt ein Leiterplattenelement mit zwei optoelektronischen Bauelementen und einem sich dazwischen erstreckenden Licht-Wellenleiter;
Fig. 2 in einem vergleichbaren schematischen Schnitt ein Leiterplattenelement mit zwei optoelektronischen Bauelementen bei deren Vermessung vor Strukturierung des Licht-Wellenleiters;

   Fig. 3 in einem vergleichbaren Schnitt das der erfindungsgemässen aktiven Strukturierung des Licht-Wellenleiters zu Grunde liegende Prinzip;
Fig. 4 in einem vergleichbaren Schnitt eine Zwischenstufe bei der aktiven Strukturierung des Licht-Wellenleiters gemäss der Erfindung;
Fig. 5 in einer Schnittdarstellung ähnlich Fig. 4 die aktive Strukturierung des Licht-Wellenleiters zwischen zwei optoelektronischen Bauelementen, wobei zusätzlich schematisch in einer Art Blockschaltbild ein Beispiel für Herbeiführung einer Relativbewegung zwischen Leiterplattenelement und Photonenstrahl, nämlich für die Ansteuerung der Photonenstrahleinheit und die Regelung der Fokusposition im optischen Material des Leiterplattenelements, veranschaulicht ist;

  
Fig. 6 in einem vergleichbaren Schnitt eine Vorgangsweise mit einer Anbringung von kurzen Wellenleiter-Abschnitten zwecks Wellenleiter-Optimierung;
Die Fig. 7, 8 und 9 drei weitere mögliche Vorgangsweisen bei der Optimierung der Licht-Wellenleiter im Zuge der Strukturierung aufgrund der Online-Messung des Photostroms;
Fig. 10 eine Vorgangsweise bei Vorliegen von Laserdioden- und Photodioden-Arrays als optoelektronische Bauelemente, beispielsweise in einem horizontalen Querschnitt, gemäss einer Ebene parallel zur Ebene des Leiterplattenelements, wobei in Entsprechung zu Fig. 5 elektronische Einheiten, zusätzlich veranschaulicht sind;
Fig. 11 in einer der Fig. 10 vergleichbaren Schnittdarstellung die aktive Strukturierung eines sich verzweigenden Licht-Wellen leiters als Beispiel für erfindungsgemäss herstellbare komplexe Wellenleiterdesigns;

  
Fig. 12 in einer der Fig. 10 und 11 vergleichbaren Schnittdarstellung die aktive Strukturierung von zwei Wellenleitern zur Herstellung einer optischen Verbindung zwischen zwei optoelektronischen Bauelementen über eine passive Komponente in Form eines Umlenkspiegels;
die Fig. 13 und 14 in schematischen Querschnittsdarstellungen ähnlich Fig. 1 bis 9 Ausführungsformen für die Herstellung einer optischen Verbindung zwischen einem eingebetteten ersten optoelektronischen Bauelement und einem ausserhalb der optischen Schicht aus photopolymerisierbarem Material angeordneten zweiten optoelektronischen Bauelement über einen in der optischen Schicht eingebetteten Umlenkspiegel, wobei gemäss Fig. 13 das Empfänger-Bauelement ausserhalb der optischen Schicht angeordnet ist und gemäss Fig.

   14, das Sender-Bauelement von ausserhalb der optischen Schicht Licht, insbesondere Laserlicht, in die optische Schicht hineinstrahlt, um über einen Umlenkspiegel der eingebetteten Photodiode als Empfänger-Bauelement optische Signale zuzuführen;
die Figuren 15A und 15B Teil-Querschnitte durch Anordnungen im Bereich des Auskoppeins des optischen Signalstrahls über einen Umlenkspiegel und einem gesonderten zweiten Wellenleiter, wobei an der Auskoppelstelle zur Fokussierung Linsen durch Mehrphotonenabsorption (Fig. 15A) und/oder z.B. durch Laserablation oder durch einen Stempelprozess (Fig. 15B) hergestellt sind.
Fig. 16 in einem schematischen Schnitt ähnlich Fig. 10 einer Anordnung mit einander kreuzenden Wellenleitern.
In Fig.

   1 ist schematisch und nicht massstäblich in einem Querschnitt ein Leiterplattenelement 1 gezeigt, bei dem auf einem Leiterplattensubstrat 2 optische Bauelemente 3, 4, u. zw. einer 

>
1 ss 1 1 H X 1 CM 1
<[pound]> 1 ss [Phi] X 3 r- CQ 1 ss X 00 1 1 [upsilon] CO rH [Phi]
1 X rö CG P [phi] ss X o XS [Phi] rö -H ex CO [phi] O -H
1 . -H o 0 ,-, rö X [Phi] 00 AJ X rH co ss > P P [Phi] X o H [Phi] [epsilon] CO CQ [tau]s
P 3 [Phi] rö X [Phi] ss rH ss X [Phi] XJ . 3 X OO 3 -H X [phi] X X Cu X ss 3 r-i rH [phi] N X ss ü o [Phi] X -H P Di -H P X P ü 00 00 X co X! CO ss O ss rö<>H N X rö 4H
Di X -H -H X [Phi] [Phi] ss [Phi] [phi] P X -H*. AJ X X [phi] -H g [Phi] CO rö 3 ss . ss X [Phi] [Phi] CO CO -H -H X X [phi] co X 00 [phi] X rö ü AJ 3 g P [Phi] [Phi] [Phi] 3 P
:rö UO ss XJ 3 O rH co [Phi] -H -H 1 o rH xs X -H 

  -H CQ [phi] [phi] X X [Phi] rö X
4H [Phi] ss co [phi] rö ss -H ss [phi] P co o NT o [upsilon] ss r-i ss ss rH xs ss [upsilon] ü -H co  ex ss . 3 :rö r-i Di [Phi] P [phi] rH 3 ss -H -H [Phi] Di X [Phi] [phi] ss rö co 3 P 00 ss [epsilon] [phi] 00 [Phi] X [phi] P P X [Phi] X X! ss X o [phi] EH XJ rH CO :0 [upsilon] X 3 ss rö P O [phi] [Phi]
Cd X X CQ -H o X rH ss [phi] AJ -H X < P 3 [Phi] g [Phi] X rö -H AJ cu N co CQ [phi] XJ ü [phi] [Phi] P Cu > [Phi] rö ss ss H 3 X ü [phi] rö -H EH rö CQ co ss 00 rö X P ss :rö X P [phi] co g X rH rö [Phi] rH P ex CO [Phi] co X XJ P rH Di AJ X rö ss X ss [phi]
-H r-i ss [Phi] AJ > -H P P O ss X [phi] X P -H -H rö [upsilon] [Phi] [phi] ex ss ss ü ü D> [phi] [phi] [phi] 3
[Phi] H-i [phi] xs ss X [Phi] o rH ss Cu [Phi] ü ES co

   o X XJ X CO ss ss XJ P [Phi] 3 [phi] rö X X CQ [epsilon]
X [epsilon] o o co X 4-J [Phi] o Di co 1 CQ ex ss [phi] -H ss [phi] X X 3 Cu [Phi] rö ss [phi] [phi] ss
CQ AJ [Phi] -H AJ X o X X -H P [phi] X o 4H P rö X [Phi] [Phi] X X X l -H ss [phi] ss rH [Phi]
X rö rH XJ rH ss -H ss o r- 3 X xs 3 [Phi] P [upsilon] Di  -H o [Phi] P 3 -H [epsilon] -H [phi] CQ
-H X [phi] o [Phi] [Phi] ss CQ [Phi] X X N ü o 1 [Phi] rö XS [Phi] CO ss [Phi] ss [phi] rö X g [Phi] XS [Phi] [Phi] 3 CQ
[Phi] ss 3 X Di CO rö ss g Di cu X -H X ss -H > -H H -H ss X P ss [phi] XJ P r-i rö [Phi]
CO o rö O -H AJ rö [Phi] -H X X X P [phi] XJ [Phi] OO 3 rH rö X -H co ss O [phi] [Phi] CQ [epsilon]
P AJ CQ X X co P r-i [Phi] ü CO [phi] ss co N NT P AJ g [Phi] Cd [phi] ss [Phi] O

   3 4H [phi]
[Phi] P cu P [phi] CO X [phi] N ss -H H ss g 0 P -H [phi] o [phi] CP -H -H J  rö r-i P Di
P [Phi] ss rö -H [Phi] o ss [Phi] [phi] X -H co P :3 [Phi] X [Phi] X > ss X! ss [Phi] XS P 1 CQ -H [Phi]
[Phi] 4H [Phi] [phi] P XS P [phi] D Di [upsilon] r- [Phi] ss o 4H 3 [upsilon] xs [upsilon] OO [Phi] rö XS [Phi] DG XS
XJ ex X ss [Phi] XJ o X -H o o X co :ro 0 -H [phi] XJ 4H ss 3 g 3 P ss 3 ü -H XJ X ss X X rH g X -H CX ss rH rH -H CO [phi] -H P 3 [iota] > [phi] N [Phi] XJ [Phi] X [phi] rö tu<">co [Phi] CQ 3 CU rö P [Phi] X P P [Phi] [phi] Cu s X xs [Phi] rö Cn X X ss XS -H X
-H 4H -H rH . :0 X ü . CX X -H -H o X ss 3 rH CO [Phi] 3 [epsilon] :0 00
XJ P ss J 3*. ss U Di 4H [upsilon] -H 00 P [Phi] rH ex [Phi] X AJ [phi] X [Phi] LD O ss [tau]s Di DG ss 

  [Phi] O ss rö . ss -H P -H X CO X o 2 rö CO > o [upsilon] g [upsilon] X -H 4H [phi] CO ss 1 ss [Phi] [Phi]
3 X P 3 XJ [Phi] [Phi] [phi] Cu X -H [upsilon] ss co -H -H -H X [Phi] [phi] P rH X! ss co co [Phi] X 3 CO [Phi] X
=3 X P P X X [upsilon] X o [phi] X P P [Phi] 4-> cu P r-i 3 [phi] [Phi] Di co co 3 ex -H -H ss
00 AJ 00 [Phi] -H [Phi] X -H ss<>H ex X < [phi] [Phi] X AJ X [phi] XJ -H [Phi] X ss [phi] [phi] P [phi] CX [Phi] XS [Phi]
[Phi] [Phi] X 3 -P [upsilon] [Phi] -H X O ss ss 1 xs -P rö P co 3 N o [upsilon] 3 g 2 [Phi] -H -H 3 g
X CO r-i [Phi] rH o 3 X ü [Phi] [phi] ss o rö P [phi] P rö [Phi] P -H :rö Di P > [tau]s AJ co [Phi] [Phi] ss -H [phi] X! rö ss P rö [Phi] CQ N X g [phi] 2 [phi] [Phi] Xi [phi] CQ H [Phi] [Phi] rH ss [phi]  P rH [tau]s rH
[Phi] [Phi] o O X [Phi] [phi] g -H

   P ü [phi] ss 1 X -H CO 3 4H -H > 3 . [epsilon] [Phi] [phi] 0 [phi] [epsilon] 3 X -H g > -H 3 3 co rH o -H P rH XJ o 00 ss Di o X P N P 3 > -H X 3
[Phi] co ex XJ P g ss AJ . -H [phi] X [Phi] [Phi] rö rH [Phi] [Phi] ss r-i AJ X X X ss CX X rö rH rH o P -H o 3 [Phi] ss *- [Phi] X 3 o 3 X! X CO P XJ -H 3 [phi] rö ss ü ss XS co [phi] CQ [phi] [phi] [Phi] [Phi] ss N XJ [Phi] X XJ CX rö X C 1 P [phi] [Phi] -H 3 P -H X CQ 1 rö X ss -H
3 -H [Phi] O X [Phi] 0 [epsilon] ss [upsilon] ss o CQ u [Phi] X [Phi] X X [Phi] [Phi] CU ss -H CO ss O 3 [phi] CQ P rö ex -H rö X Di XS<>H ss*. CO [Phi] P P -H -H P ü -H X -H co O [phi] X Di [Phi] -H X ss [Phi]
CQ co Q X ü ss S :0 00 -H X P ss X [phi] 3 [Phi] -H :rö [Phi] Di P -H AJ P C ss Di Di o

   XJ
1 -H rö D [Phi] o AJ X [phi] [Phi] [Phi] [phi] co o X . [Phi] rH rH P ss 3 [Phi] P X o 3 4-J ss ss -H
P [Phi] . [Phi] 4H 3 AJ X [phi] CX X co X 2 [phi] co X ss 3 Cu ss [phi] 3 X X [Phi] -H X rH Di 3 ss X [Phi] [phi] X XJ ss ss N ss 0 X X o CO [phi] [upsilon] -H U [phi] [phi] Xi XJ AJ 4H r- X rH -H X rö AJ X
XJ ss -H -H [Phi] :rö X U ss X -H co P XS [phi] rö s XS [Phi] r-i ss 3 ss cu 4H J [Phi] [Phi] AJ [Phi] rö ss .. -H [Phi] Cd CQ P CU 3 [phi] g [upsilon] XS<>H [phi] XS X P ss > rH o -H P [phi] 3 3 P rö g N P rH ss [phi] CQ X rö g [Phi] rö ss ss X 0 ss [phi] -H -H [phi] rH X X xs X, rö X X [Phi] [Phi] XS co 4H -H co [Phi] P [Phi] ü P [phi] ss ss ss o -H [upsilon] X -H 3 CQ X ES ss CO P [upsilon] o X Cn P P [Phi] XJ
P X O [Phi]

   X CO [phi] H -H -H P [phi] -H P Cd AJ 1 < [phi] [Phi] P -H [Phi] CO [phi] [Phi] C P ss ss X -H XS ss ss ss  [Phi] [Phi] X rH [phi] ss r-i rö X OO f 3 -H [Phi] X CQ CM > X o
-H [phi] [upsilon] [Phi] [Phi] -H -H 3 3 r-i [tau]s AJ Xi X g P [phi] X ss ss xs XS [upsilon] O -H P o
[Phi] [epsilon] rö 3 XJ g [Phi] [phi] co rö ss rö ss [phi] ss X D> [Phi] co . [Phi] ü ss [Phi] [phi] P O CO 1  [phi] [phi] [Phi] i
[Phi] P co ss [Phi] 3 CQ -H -H 3 rH 3 [upsilon] ss [tau]s [phi] Di -H -H [Phi] Di > :3 P X [Phi] ss Di Di 3 [tau]s 1
CO H X rH [Phi] rH P 4-1 P [Phi] P -H 3 -H -H XJ X X -H -H 4H [phi] CJ ss X o -H -H N
X [phi] [phi] [Phi] X [Phi] X X ss -H XS [Phi] O i O P ss 3 Cu [upsilon] X X P 43 rö [Phi] ü -H Cu rö  . X
-H 3 Di -H [phi] 3 U rö -H [Phi] ss X X P 4H ss [Phi]

   ss P [Phi] P :rö X AJ [Phi] =3 ss X co CQ 3 ss [upsilon] [Phi]
[Phi] rö ss U X rö -H 4-1 [Phi] 3 -H rö [Phi] CX 3 -H -H rö [Phi] ss -H [phi] rH -H rö -H [upsilon] -H -H ss X [phi] rö<>H
 <EMI ID=14.1> 
CO CQ rö co co CQ ss CQ CO N CO 2 X o rö DG P AJ H 3 xs Cu g DG CN CO X > -H [Phi] CQ ss XJ 
se Weise können die Position und die Tiefe der aktiven Flächen 9, 10 ermittelt werden, vgl. auch die Höhendifferenzen Zi und Z2betreffend die aktiven Flächen 9, 10 der Laserdiode 3 bzw. der Photodiode 4 zur Oberfläche 13 des Leiterplattenelements 1 in Fig. 2.
Alternativ dazu können auch zur Ermittlung der z-Koordinaten 9, 10 die z-Koordinaten der Kupferkontaktflächen 5 bzw. 6 nach oben, zur Oberfläche 13 der optischen Schicht 7 hin, vermessen werden.
Aufgrund der gemessenen Daten (x-, y- und z-Koordinaten) betreffend die Bauelemente 3, 4 bzw.

   deren aktive Flächen 9, 10 werden Positionen 9' bzw. 10' als Startposition bzw. Endposition des Licht-Wellenleiters (8 in Fig. 1) berechnet. Wie dabei aus Fig. 2 ersichtlich ist, sind die so berechnete Startposition 9' an der aktiven Fläche 9 der Laserdiode 3 und der Endposition 10' des Wellenleiters 8 an der aktiven Fläche 10 der Photodiode 4 nicht unbedingt exakt in der optimalen Mittenposition bezüglich der aktiven Flächen 9, 10 vorgesehen, was aber bei der vorliegenden aktiven Wellenleiter-Strukturierung durch die während der Strukturierung erfolgende Online-Vermessung und Überprüfung ausgeglichen werden kann.
Wie aus Fig. 3 ersichtlich ist, wird zwecks Strukturierung des Licht-Wellenleiters 8 (Fig. 1) die Laserdiode 3 oder allgemein das optoelektronische Sender-Bauelement elektrisch angesteuert, so dass Licht 14 emittiert wird, wie in Fig.

   3 mit mehreren Strahlen schematisch angedeutet ist. Auf der Licht-Empfängerseite wird über einen Anschluss, z.B. die Kupferkontaktfläche 6 der Photodiode 4, ständig der Photostrom der Photodiode 4 detektiert, der aufgrund der Lichtemission der Laserdiode 3 erzeugt wird. Aufgrund des anfänglichen Fehlens eines Licht-Wellenleiters wird jedoch im Normalfall zu Beginn nur ein sehr geringer Photostrom, wenn überhaupt, messbar sein, u. zw. vor allem wegen der Divergenz des Lichtstrahls der Laserdiode 3 und wegen der nicht idealen Ausrichtung der Bauelemente 3, 4 relativ zueinander.

   Gemäss Fig. 4 wird auf Basis der aufgrund der Vermessung berechneten Koordinaten des Startpunkts 9' des Licht-Wellenleiters 8 von dort weg der Licht-Wellenleiter 8 mit Hilfe eines Laserstrahls oder allgemein Photonenstrahls 15 gemäss der bekannten TPA-Strukturierungsmethode allgemein in Richtung x, in Richtung zum berechneten Endpunkt 10' des Wellenleiters hin, eingeschrieben. Um das Maximum des Photostroms an der Photodiode 4 zu erfassen, wird der Wellenleiter 8 beim Einschreiben ständig geringfügig in y-Richtung (also quer zur Zeichenebene in Fig. 4) und in z-Richtung (d.h. in Höhenrichtung, senkrecht zur Ebene des Leiterplattenelements 1) abgelenkt. Diese Ablenkung allgemein quer zur x-Richtung erfolgt jedoch unter Berücksichtigung des minimalen Wellenleiter-Bending-Radius, um nicht unnötig Licht im fertiggestellten Wellenleiter 8 zu verlieren.

   Auf diese Weise wird die jeweils optimale Fokusposition 16 für die Strukturierung des Licht-Wellenleiters 8 gefunden, nämlich jeweils jene Position, die beim gezeigten Beispiel, mit einem im Wesentlichen geradlinigen Wellenleiter 8 zwischen den Bauelementen 3, 4, den maximalen Photostrom an der Photodiode 4 ergibt.
Die berechneten Koordinaten für den Wellenleiter-Startpunkt 9' an der Laserdiode 3 - und den Endpunkt 10' - an der Photodiode 4 sind wie bereits vorstehend angedeutet in der Realität nicht unbedingt die optimalen Positionen für die Realisierung der besten Lichtleiterverbindung. Abweichungen von den optimalen Punkten sind beispielsweise auf Ungenauigkeiten bedingt durch die Vermessungsmethode, aber auch auf die Strukturierungsmethode, ferner auf nicht immer genau bestimmte Parameter des optischen Materials (z.B.

   Brechungsindex) der optischen Schicht 7, die in die Berechnung der Koordinaten mit einfliessen, sowie auf durch die Aufbringung des Materials bedingte Unregelmässigkeiten der optischen Schicht 7 zurückzuführen. Die theoretisch "optimalen" Positionen für den Startpunkt und den Endpunkt des Licht-Wellenleiters, an die sich der konkrete Wellenleiter 8 annähern sollte, um eine optimale optische Verbindung zwischen den Bauelementen 3, 4 zu erzielen, sind in Fig. 4 bei 17 (Startposition des Wellenleiters an der Laserdiode 3) bzw. 18 (Endposition des Wellenleiters an der Photodiode 4) angegeben.

   Bevor nun anhand der Fig. 6 bis 11 verschiedene Möglichkeiten zur Erzielung der optimalen Start- und Endpunkte und des optimalen Verlaufs des Licht-Wellenleiters 8 erläutert werden, soll noch das Prinzip der Nachführung der Fokusposition 16 für den optimalen Verlauf des Licht-Wellenleiters 8 anhand des Schemas gemäss Fig. 5 näher erläutert werden.
Wie bereits erwähnt wird bei der vorliegenden aktiven Strukturierung die Laserdiode 3 aktiviert, so dass sie Licht emittiert, wie anhand der Fig. 1 und 2 erläutert wurde. Dieses Licht wird zumindest zum Teil über die aktive Fläche 10 der Photodiode 4 empfangen, und das dem Photostrom entsprechende elektrische Signal wird mittels einer Messeinheit 20 erfasst, die beispielsweise mit der Kontaktfläche 6 der Photodiode 4 verbunden ist.

   An die Messeinheit 20 ist sodann eine Steuereinheit 21 angeschlossen, die Auswertmittel 22 zur Ermittlung von Koordinaten x, y und z für die optimale Fokusposition 16 des Laserstrahls 15 enthält. Der Laserstrahl wird von einer Lasereinheit 23 mit einer Optik- bzw. Fokussiereinheit 24 emittiert, wobei in der Steuereinheit 21 über den Ausgang 25 ein Optik-Steuersignal F an die Optikeinheit 24 abgegeben wird, um so die optimale z-Position des Fokuspunktes 16 zu erhalten. Über einen Steuerausgang 26 steuert die Steuereinheit 21 mit zwei Signalen, den x- und y-Signalen, eine Antriebseinheit 27 für die Lasereinheit 23 oder allgemein Photonenstrahleinheit 23 an, wobei die Antriebseinheit 27 im gezeigten Beispiel die Lasereinheit 23 auf an sich bekannte Weise, beispielsweise über Linearmotoren bzw. Schrittmotoren und Spindelmuttern bzw.

   Spindeln (in Fig. 5 nicht näher dargestellt) einerseits in Längsrichtung, d.h. x- Richtung, gemäss einer Führung 28, sowie andererseits quer dazu, jedoch in einer Ebene parallel zur Ebene des Leiterplattenelements 1, also in yRichtung, bewegt. Dadurch wird über diese x/y-Steuerung im gezeigten Beispiel auch die optimale Position des Fokuspunktes 16 in der x/y-Ebene erhalten. Denkbar ist es aber auch, anstatt der Lasereinheit 23 das - auf einem nicht näher gezeigten Probentisch positionierte - Leiterplattenelement 1 in x-Richtung und in y-Richtung verstellbar vorzusehen, wogegen die Lasereinheit 23 stationär angebracht wird.

   Möglich ist es dabei auch, den Tisch mit dem Laserplattenelement 1 überdies in der z-Richtung zu verstellen, um so die Höhe, d.h. z-Koordinate, des Fokuspunktes 16 innerhalb der optischen Schicht 7 einstellen zu können.
Mittels der Optikeinheit 24 kann ferner auch eine Verstellung der Position des Fokuspunktes 16 in y-Richtung - zusätzlich zu jenem in z-Richtung - vorgesehen werden, um so schnelle, kurze Auslenkungen in der y-Richtung zusammen mit den kurzen, schnellen Auslenkungen in der z-Richtung im Zuge der beschriebenen aktiven Wellenleiter-Strukturierung vornehmen zu können.

   Die groben Einstellbewegungen, vor allem in x-Richtung und y-Richtung, können jedoch mit Hilfe der mechanischen Antriebseinheit für die Lasereinheit 23 oder aber für den Tisch samt Leiterplattenelement 1 vorgenommen werden.
Die Optikeinheit 24 und die Antriebseinheit 27 bilden gemeinsam (Strahl-) Führungs bzw. Leitmittel 29, um den Photonen- bzw. Laserstrahl 15 entsprechend in x-, y- und z-Richtung zu steuern.
In Fig. 6 ist gezeigt, wie ein Wellenleiter 8 in die optische Schicht eingeschrieben wird, wobei anfangs jeweils nur kurze Abschnitte, z.B. 8', 8'', ausgehend von Startpunkten 9', 9'', eingeschrieben werden.

   Anhand des an der Photodiode 4 abgenommenen Photostrom-Signals (siehe Fig. 5) kann bei Detektion des maximalen Photostrom-Signals der optimale WellenleiterStartabschnitt (mit dem Startpunkt 17) ermittelt werden, und nur dieser wird dann zum kompletten Licht-Wellenleiter 8 bis zum richtigen Endpunkt 18 an der Photodiode 4 durchgeschrieben.
Diese Technik eignet sich speziell für geradlinige Licht-Wellenleiter 8, bei denen sich schon nach den ersten Millimetern der Wellenleiter-Strukturierung durch eine Fokussierung des in diese Wellenleiter-Abschnitte eingekoppelten Lichts ein Richten des Lichts, das an der Laserdiode 3 emittiert wird, auf das gegenüberliegende Detektor-Bauelement 4 (Photodiode) ergibt.

   Wie in Fig. 6 dabei zu ersehen ist, wurde der Wellenleiterabschnitt mit dem optimalen Startpunkt 17 (vgl. auch oben Fig. 4) bis zur Photodiode 4 strukturiert, die von den weniger gut geeigneten Startpunkten 9' bzw. 9'' ausgehenden Abschnitte 8' bzw. 8'' wurden jedoch nicht weitergeführt.
Ersichtlich ist weiters aus Fig. 6, dass der Licht-Wellenleiter 8 nicht unbedingt einen exakt geraden Verlauf haben muss, sondern - beispielsweise um Störstellen im optischen Material der Schicht 7 auszuweichen - auch gegebenenfalls Biegungen folgen kann, wie dies von Fig. 6 etwa bei 30 veranschaulicht ist.
Auch bei der Vorgangsweise gemäss Fig. 7 sind benachbart der Laserdiode 3 verschiedene Wellenleiter-Abschnitte, z.B. 8a, 8b, ersichtlich, um mit deren Hilfe den optimalen Wellenleiter 8 herauszufinden.

   Konkret werden bei dieser Ausführungsform diese - weiteren - Wellenleiter-Abschnitte 8a, 8b erst nach der - vorläufigen - Strukturierung eines Licht-Wellenleiters 8 von der Laserdiode 3 ausgehend in Richtung zur Photodiode 4 strukturiert, wobei sie einen derartigen Verlauf erhalten, dass sie in den vorläufig strukturierten Wellenleiter 8 einmünden. Jene Wellenleiter-Abschnitte 8a, 8b, die relativ schlechte Startpunkte 9', 9'' haben, die somit zu einem niedrigen Photostrom an der Photodiode 4 führen, werden keine Erhöhung des Photostroms bewirken, optimale Startpunkte, wie der Startpunkt 17 (vgl. auch Fig. 4), bewirken hingegen eine Erhöhung des Photostroms an der Photodiode 4.

   In diesem Ausführungsbeispiel können die zusätzlichen Wellenleiter-Abschnitte 8a, 8b belassen werden und in die endgültige optische Verbindung mit eingebunden werden, auch wenn sie keinen wesentlichen Beitrag zur Lichtübertragung liefern.
Eine andere Variante zur Herausfindung des optimalen Verlaufs der optischen Verbindung ist in Fig. 8 veranschaulicht. Bei der hier beschrittenen Vorgangsweise wird zunächst, wie vorstehend anhand von Fig. 4 und 5 erläutert, ein Licht-Wellenleiter 8 von der berechneten Startposition 9' auf der Seite der Laserdiode 3 gestartet und bis zum optimalen Endpunkt 18 an der Photodiode 4 strukturiert. Dieser Wellenleiter 8 ist jedoch nur für das Pho todioden-Interface optimiert.

   Um auch das Laserdioden-Interface zu optimieren, wird nun ein weiterer Wellenleiterzweig 31 beispielsweise ungefähr von der Mitte des Wellenleiters 8 weg zurück zur Laserdiode 3, zum optimalen Startpunkt 17 hin, strukturiert. Der Wellenleiter-Abschnitt 31 für die Optimierung der optischen Verbindung kann auch an einer Stelle näher zur Laserdiode 3 gestartet werden, nämlich an einer Stelle, ab der keine grossen Änderungen im Photostrom mehr zu erwarten sind, wenn in Richtung zur Photodiode 4 hin fortgeschritten wird.

   Insgesamt ergibt sich dann eine endgültige optimale Licht-Wellenleiter-Struktur 8 vom Startpunkt 17, mit einem parallelen Abschnitt vom Startpunkt 9', und der Vereinigung der Anfangs-Abschnitte des Wellenleiters bis hin zum optimalen Endpunkt 18 an der Photodiode 4 bzw. an dessen aktiver Fläche 10.
Diese Vorgangsweise eignet sich mit besonderem Vorteil für gekrümmte Wellenleiter 8, also bei Wellenleiterausbildungen, die dann vorgesehen werden, wenn die beiden optoelektronischen Bauelemente 3, 4 nicht unmittelbar einander gegenüber vorgesehen sind, sondern in Querrichtung (y-Richtung und/oder z-Richtung) relativ zueinander versetzt, verdreht oder verkippt sind.
In Fig. 9 ist eine Technik gezeigt, bei der als erstes ein Sondierungs-Wellenleiter 31, 32 zwischen der Laserdiode 3 und der Photodiode 4, zwischen den Startpunkten 17 bzw.

   9' und dem Endpunkt 18, eingeschrieben wird, wonach auf Basis dieses Sondierungs-Wellenleiters der endgültige Licht-Wellenleiter 8 strukturiert wird, wobei der Sondierungs-Wellenleiter 31, 32 teilweise überschrieben wird.
Wie aus einem Vergleich der Fig. 9 mit Fig. 8 ersichtlich ist, kann der Sondierungs-Wellenleiter gemäss Fig. 9 beispielsweise entsprechend dem vorstehend anhand der Fig. 8 erläuterten Prinzip strukturiert werden; demgemäss ist von den beiden Abschnitten 31, 32, der Abschnitt 32 als ursprünglicher Teil des Sondierungs-Wellenleiters beim Einschreiben in x-Richtung, d.h. zur Photodiode 4 hin, strukturiert worden, und der Abschnitt 31 ist im Zuge einer Rückwärts-Strukturierung zur Laserdiode 3 hin, zum optimalen Startpunkt 17, eingeschrieben worden.

   Für diesen Rückwärts-Abschnitt war daher zweckmässig die selbe Bezugszahl wie in Fig. 8, also 31, zu verwenden.
Der Sondierungs-Wellenleiter 31, 32 kann mit einem gegenüber dem endgültigen Licht-Wellenleiter 8 verringerten Durchmesser, z.B. mit einem Durchmesser von 20[mu]m bis 40[mu]m, eingeschrieben werden, wogegen der endgültige Wellenleiter 8 einen endgültigen Durchmesser von beispielsweise 30[mu]m bis 60[mu]m aufweisen kann.
Eine weitere vorteilhafte Möglichkeit besteht weiters darin, den Sondierungs-Wellenleiter 31, 32 mit einer vergleichsweise geringen Laserleistung zu strukturieren, wobei dann kein maximaler Brechungsindex-Hub generiert wird.

   Der optimale, endgültige Licht-Wellenleiter 8 wird schliesslich mit der maximalen Laserstrahlleistung eingeschrieben, um so den maximalen Unterschied zwischen den Brechnungsindizes des Wellenleiters 8 einerseits und des optischen Materials der Schicht 7 andererseits, für eine optimale Totalreflexion an der Grenzfläche Wellenleiter 8/ umgebendes optisches Material der Schicht 7 zu erhalten.

   Auch in diesem Fall kann der Sondierungs-Wellenleiter 31, 32 einen geringeren Wellenleiter-Querschnitt als der endgültige Wellenleiter 8 aufweisen, es ist dies jedoch nicht notwendig.
In Fig. 10 ist schematisch, beispielsweise in einem Schnitt parallel zur Ebene des Leiterplattenelements, also zur x/y-Ebene, durch die optische Schicht 7, eine Anordnung mit in einem Array 40 angeordneten Wellenleitern 8.1, 8.2, 8.3, 8.4 zwischen optischen Bauelementen 3, 4 vorgesehen, wobei letztere durch ein Laserdioden-Array 41 bzw. ein Photodioden-Array 42, jeweils mit mehreren aktiven Flächen 9.1, 9.2. 9.3, 9.4 bzw. 10.1, 10.2, 10.3, 10.4, gebildet sind.

   Zwischen diesen Arrays 41, 42 erstreckt sich das Wellenleiter-Array 40, wobei beispielsweise wie aus Fig. 10 ersichtlich ein teilweise bogenförmiger Verlauf der einzelnen Kanäle 8.1 bis 8.4 vorgesehen ist, etwa, weil die Diodenarrays 41, 42 relativ zueinander in y-Richtung versetzt sind. In Analogie zum Schaltungsschema gemäss Fig. 5 ist auch in Fig. 10 die Messeinheit 20 gezeigt, die nun jedoch entsprechend der Anzahl der Empfangselemente (aktive Flächen 10.1 bis 10.4 des Photodioden-Arrays) entsprechend viele Messeingänge 20. i (mit i = beispielsweise 1, 2, 3, 4) aufweist. Die Steuereinheit 21 ist wiederum mit dem Ausgang der Messeinheit 20 verbunden, u. zw. entweder über ein Mehrfachleitungssystem oder aber über einen Bus, um die entsprechenden Photostrom-Signale der Messeinheit 20 für alle Elemente des Photodiodenarrays 42 zugeführt zu erhalten.

   Hierbei kann auf an sich herkömmliche Techniken, wie Zeitmultiplex oder auch Frequenzmultiplex, abgesehen von den bereits erwähnten Raummultiplex, zufolge der mehreren Leitungsadern, zurückgegriffen werden.
Im Auswertmittel 22 der Steuereinheit 21 werden die empfangenen Signale wieder ausgewertet, um an Ausgängen 25 bzw. 26 beispielsweise Ansteuerungssignale F bzw. x, y für die Optikeinheit (24 in Fig. 5) bzw. Antriebseinheit (27 in Fig. 5) der Lasereinheit (23 in Fig. 5) zur Verfügung zu stellen, um beispielsweise wiederum in dieser Form die Relativbewegung zwischen Laserstrahl und Probe (Leiterplattenelement 1) zu erzielen.

   (Selbstverständlich kann auch eine andere der vorsthend angesprochenen Formen der Relativbewegung herbeigeführt werden.) Die Auswertung der Photostrom-Signale kann dabei zur Optimierung des komplexen Wellenleiter-Designs, mit dem Wellenleiter-Array 40, gemäss Fig. 10 derart erfolgen, dass einerseits der Photostrom einer bestimmten optischen Verbindung, beispielsweise von der aktiven Fläche 9.1 zur zugehörigen aktiven Fläche 10.1, maximiert wird, andererseits Störungen oder Übersprechen auf andere Kanäle minimiert werden, d.h. wenn beispielsweise das Laserdiodenelement 9.1 aktiv ist, soll der Photostrom an den Diodenelementen 10.2, 10.3 und 10.4 des Photodioden-Arrays 42 minimal sein.
Ein anderes Beispiel für ein komplexes Wellenleiter-Design ist in Fig. 11 in einer Schnittdarstellung ähnlich jener von Fig. 10 gezeigt.

   Im Einzelnen ist hier veranschaulicht, wie sich ein Wellenleiter 8 in zwei Arme 8A, 8B verzweigt (ein so genannter "Splitter" oder Y-Wellenleiter) , wobei die beiden Arme 8A, 8B zu gesonderten Photodioden 4A, 4B hin eingeschrieben sind. Den beiden Photodioden 4A, 4B steht eine einzelne Laserdiode 3 gegenüber. Bei herkömmlichen Techniken ist es praktisch nie möglich, ein genaues Photostrom-Verhältnis, etwa 1:1, über die Wellenleiter-Arme 8A, 8B an den Photodioden 4A, 4B zu erhalten.

   Mit der vorliegenden aktiven Strukturierung oder Online-Vermessung können die beiden gesplitteten Wellenleiter-Arme 8A, 8B jedoch so optimiert werden, dass an den beiden Empfänger-Bauelementen 4A, 4B der gleiche Photostrom erhalten wird.
In Fig. 12 ist ein Ausführungsbeispiel veranschaulicht, bei dem eine optische Verbindung zwischen einem Sender-Bauelement (Laserdiode 3) und einem Empfänger-Bauelement (Empfangsdiode bzw. Photodiode 4) über eine passive Komponente in Form eines Umlenkspiegels 33 mit einer reflektierenden Fläche 34 hergestellt wird. Es werden also die Laserdiode 3 und die Photodiode 4 nicht direkt miteinander verbunden, wie bei den vorhergehenden Beispielen, sondern über einen Umweg, unter Zwischenschaltung des Umlenkspiegels 34.

   Auch in diesem Fall kann der Wellenleiter-Weg von der Laserdiode 3 zur Photodiode 4 auf die beschriebene Weise optimiert werden, wobei ein erster gesonderter Wellenleiter 8 von der Laserdiode 3 zum Umlenkspiegel 33 und ein zweiter gesonderter Wellenleiter 35 vom Umlenkspiegel 33 zur Photodiode 4 aktiv strukturiert wird.
Die vorliegende aktive Strukturierung, d.h. Umwandlung des optischen photopolymerisierbaren Materials der Schicht 7 durch Mehrphotonenabsorption, kann auch zur Herstellung der Spiegelfläche 34 verwendet werden.
Gemäss Fig. 13 kann eines der optoelektronischen Bauelemente, z.B. die Photodiode 4, auch ausserhalb der optischen Schicht 7 vorgesehen sein, wobei dann ein zumindest in seiner Ausrichtung modifizierter Umlenkspiegel 33' den Lichtstrahl zur Oberseite der optischen Schicht 7 hin reflektiert.

   Demgemäss ist der zweite gesonderte Wellenleiter 35' in diesem Fall vertikal nach oben zur Oberfläche der optischen Schicht 7 zu richten, wo der Licht strahl ausgekoppelt wird und schliesslich auf die in Abstand davon vorgesehenen Photodiode 4 auftrifft, an die im Übrigen ähnlich wie auch in Anordnung Fig. 12 wiederum eine Messeinheit 20 angeschlossen ist.
Anstatt den Wellenleiter 35' zu einer vordefinierten Auskopplungsposition zu lenken, ist es auch möglich, über diesen gesonderten Wellenleiter einen von einer ausserhalb angeordneten Laserdiode 3 emittierten Laserstrahl einzukoppeln und über einen Umlenkspiegel 33' zur Photodiode 4 zu richten, wobei wiederum zwecks aktiver Strukturierung nach dem vorstehend ausführlich beschriebenen Prinzip Messmittel 20 mit der Photodiode 4 verbunden sind.

   Es sei hier noch erwähnt, dass es sich bei dem SenderBauelement 3 nicht nur um eine Laserdiode, sondern ganz allgemein um eine Lichtquelle - eine externe Lichtquelle - handeln kann, wobei beispielsweise auch eine einfache Messung der Intensität des Lichts im Betrieb des Leiterplattenelements 1 die Aufgabe sein kann.
Gemäss Fig. 15A und 15B können an der Auskoppelstelle 36, wo der zweite gesonderte Wellenleiter 35' an der Oberfläche der optischen Schicht 7 endet, auch Linsen 37 bzw. 38 zwecks Fokussierung eingebaut werden. Die Fokussierungs-Linse 37 gemäss Fig. 15A wird dabei beispielsweise ebenfalls durch Mehrphotonenabsorption, durch Photopolymerisation des Materials der optischen Schicht 7, hergestellt; die Linse 38 gemäss Fig. 15B kann andererseits durch Laserablation oder durch einen Stempelprozess hergestellt sein, wie dies an sich bekannt ist, vgl.

   AT 503 585 B.
In Fig. 16 ist weiters in einer Darstellung ähnlich jener von Fig. 10 eine Anordnung mit einem Sender-Array 41 und einem Empfänger-Array 42 sowie vier dazwischen strukturierten Wellenleitern 8.1 bis 8.4 gezeigt, wobei in Abwandlung der Ausführung gemäss Fig. 10 nunmehr eine Überkreuzungsstelle 39 schematisch veranschaulicht ist, an der der Wellenleiter 8.2 den Wellenleiter 8.1 über- (oder unter-) kreuzt; demgemäss führt der Wellenleiter 8.1 vom Senderelement bzw. Startpunkt 9.1 zum Endpunkt 10.2, wogegen der Wellenleiter 8.2 vom Startpunkt 9.2 zum Endpunkt 10.1 führt. Mit Hilfe von derartigen Wellenleiter-Kreuzungen, die ebenfalls mit Hilfe der vorliegenden aktiven Strukturierung erzeugt werden können, können die verschiedensten Verbindungen zwischen den optoelektronischen Bauelementen erzeugt werden, so dass eine grosse Designfreiheit erzielt wird.

   Denkbar ist es dabei weiters, dass die Wellenleiter, z.B. 8.1, 8.2, nicht nur einander in einem Abstand kreuzen, sondern dass diese Wellenleiter auch einander durchdringen können, also beispielsweise in der gleichen Höhe (auf der selben z-Koordinate) liegen können.
In der vorliegenden Zeichnung wurden die verschiedenen Wellenleiter der Einfachheit halber immer durch Linien dargestellt, auch wenn sie einen gewissen Querschnitt aufweisen und so eher als "röhrenartig" anzusehen und darzustellen wären. Der besseren Übersichtlichkeit wurde jedoch die schematische Darstellung mit bloss einer einfachen Linie gewählt.
Wenn die Erfindung vorstehend anhand von besonderen, vorteilhaften Ausführungsbeispielen erläutert wurde, so sind doch selbstverständlich weitere Abwandlungen und Modifikationen im Rahmen der Erfindung möglich.

   So ist es in Abwandlung der Ausführungsform von Fig. 11 auch möglich, mehr als zwei gesonderte Photodioden 4A, 4B über gesplittete Wellenleiter-Arme 8A, 8B usw. mit einer gemeinsamen Laserdiode oder allgemein mit einem gemeinsamen Sender-Bauelement 3 optisch zu koppeln. Selbstverständlich ist es dabei auch möglich, die Wellenleiter-Arme je nach Anordnung und Ausbildung der Photodioden bzw. der Empfänger-Bauelemente 4A, 4B usw., auch in unterschiedlichen z-Höhen (siehe Fig. 4) verlaufen zu lassen, und dies gilt selbstverständlich auch für die Ausführungsform gemäss Fig. 10. Weiters sollte klar sein, dass die Ausbildungen in der Zeichnung nur sehr einfach und schematisch dargestellt sind, und dass z.B. auch andere Bauelemente in den Leiterplattenelementen untergebracht sein können.

   Insbesondere können in einem Leiterplattenelement auch mehrere Sender- und Empfänger-Bauelemente, mit unterschiedlichen optischen Wellenleiter-Verbindungen, vorgesehen sein, und die Lei terplattenelemente können ferner selbstverständlich auch mit zusätzlichen elektronischen Bauelementen, abgesehen von den optoelektronischen Bauelementen, bestückt sein. Ferner können die Leiterplattenelemente in Form von so genannten Multilayer-Leiterplatten mit optischen und/oder elektronischen Verbindungen in mehreren Ebenen übereinander vorliegen, wie dies an sich ebenfalls bekannt ist. Weiters ist es auch denkbar, die Wellenleiter 8 nicht nur bis direkt an die optoelektronischen Bauelemente heranzuführen, sondern auch, sie in Abständen vor deren aktiven Flächen 9, 10 enden zu lassen, z.B, nachdem ein bestimmter Sollwert der Stärke des empfangenen Photostroms erreicht wurde.

Claims (20)

r- CM
1. Verfahren zum Erzeugen wenigstens eines Licht-Wellenleiters(8)in einem optischen, photopolymerisierbaren, schichtförmigen
Material eines Leiterplattenelements (1), zur Herstellung einer optischen Verbindung zwischen wenigstens einem optoelektronischen Sender-Bauelement (3) und wenigstens einem optoelektronischen Empfänger-Bauelement (4), wobei ein Photonenstrahl (15), vorzugsweise Laserstrahl, auf die Stelle des zu erzeugenden Wellenleiters (8) gerichtet und fokussiert wird und der Wellenleiter durch Mehrphotonenabsorption im optischen Material strukturiert wird, dadurch gekennzeichnet, dass während der Strukturierung des Wellenleiters (8) ein Photostrom zwischen den optoelektronischen Bauelementen (3, 4) erzeugt wird, der am Empfänger-Bauelement (4) erfasst wird, und dass die Fokusposition (16) des Photonenstrahls (15) abhängig von der Amplitude des Photostroms gesteuert wird.
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2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Fokusposition (16) des Photonenstrahls (15) laufend mit kleinenAbweichungen quer zur Strukturierungsrichtung (x) geführt wird, um die vom Photostrom abhängige optimale Fokusposition (16) festzustellen.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Wellenleiter-Abschnitte (8', 8''; 8a, 8b) ausgehend von einem der optoelektronischen Bauelemente, insbesondere vom Sender-Bauelement (3), erzeugt werden.
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mehreren Wellenleiter-Abschnitte (8a, 8b) nach Strukturierung eines durchgehenden Wellenleiters (8) ausgehend vom Sender-Bauelement (3) strukturiert werden, um den Wellenleiter (8) in seinem Startabschnitt zu optimieren.
3 ss ex N ss [phi] rö X o [Phi] rö ex CQ P Cu -H AJ Cu [Phi] ss P X ex
[Phi] [Phi] P [phi] r- P X co N cn XS co [phi] P X co [Phi] [Phi] co rH [phi] rö :rö co
N X [phi] Cn g [Phi] X [upsilon] X ss CO - P ,_, ss XJ 3 co ss rH rH cn ss ss s X 3 ss
P [upsilon] X ss [phi] 3 CO -H rö ss ¯-'-H LD N ss < ss [Phi] - < [phi] co [Phi] <
Cd Q -H 3 rH rö P P ss [Phi] ss 3 rH ,-, [phi] [phi] o rH P Cn
-H [phi] XJ [phi] CQ [Phi] [Phi] [Phi] AJ CO [Phi] X D P ss X -H X P X rH [Phi] CQ X
.. g X X ss 3 1 CQ cn ss [Phi] P P X [upsilon] rH [phi] o ü rH ex ss ü [phi] [tau]s rH"- o [phi] 3 ex -H rö P rö o Cn [phi] ss co CO . rö - 3 X rö [phi] o [phi] rö ES rö 00 rö
X N o co X CQ [phi] X^- X X [phi] co rH XJ ss [sigma]<1>o . ss ES g ss ss ü [phi] P 1 Cn 00 o X H g rö X P ss X ss P [phi] P X
3 o [phi] X*- , rö ss O [Phi] cu [Phi] D X AJ X < -H [phi] 1 X ü -H
X X ü cn X 3 -H ss xs ss X o 3 rö X 1 ss N X P CQ CO 3 X ss CX X co - ss X X ss . - . ss :rö J X P ü P o P [upsilon] [phi] [Phi] X O
[Phi] rö -H [phi] r- X CX [upsilon] -H NT 3 X 3 Cu X g 3 [phi] P [phi] 3 X X rö X 3
D> rH 3 X g X [phi] P -H [phi] X P O O P X X P -H X rH P
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass nach Erzeugung derWellenleiter-Abschnitte (8', 8'') jener Wellenleiter-Abschnitt, der einen minimalen oder maximalen Photostrom ergibt, als Startabschnitt für den endgültigen Wellenleiter (8<)>gewählt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die
NACHGEREICHT
,[kappa] ^hnltte(8a, 8b) nach Strukturierung mehreren Wellenleiter-Abschnxtte <8a Sender-Baueines durchgehenden<->*""*"" '<[beta]>^^ufdes Wellenlei- -% i-rukturiert werden, um<d>en ve<du>element<(>3<) StrUk>^ .abschnitt imHinblick auf den ters(8)in sexnem Startaoscn[pi]<x>gewünschten Photostrom zu optimieren.vho-,bis5, dadurch gekenn-
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6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Wellenleiter (8) ausgehend von einem der optoelektronischen Bauelemente, insbesondere vom SenderBauelement (3) , bis zum zugehörigen anderen optoelektronischen Bauelement, insbesondere zum Empfänger-Bauelement (4), strukturiert wird, wonach der Verlauf (31) des Wellenleiters (8) in einer Rückwärts-Strukturierung, zum einen optoelektronischen Bauelement (3) hin, auf Basis der Erfassung des Photostroms optimiert wird.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass vorab zumindest ein Sondierungs-Wellenleiter (31, 32) von einem der optoelektronischen Bauelemente (3) zum anderen (4) auf der Basis des erfassten Photostroms strukturiert wird, wonach der endgültige Wellenleiter (8) unter Überschreiben des Sondierungs-Wellenleiters (31, 32) strukturiert wird.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der endgültige Wellenleiter (8) mit einem grösseren Querschnitt als der Sondierüngs-Wellenleiter (31, 32) strukturiert wird.
9. Verfahren nach AnWch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Sondierungs-Wellenleiter dass Photonenstrahl-Leistung als der en strukturiert wird.(31, 32)mit einer geringeren dgültige Wellenleiter<(>8<)>
i [iota]-,-i? 9dadurch gekenn-10. verfahren nach einem der Anspr<ü>che 1 ^<->Bauelementen zeichnet, dassbei Vorliegen von optoe e on ^^ ^in Formvon Sender- undEmpngerarray<(>41.Wellenleirays zugehöriges wellenleiterarray<(>40<)>
NACHGEREICHT - 3 ter-Kanälen(8.1-8.4) strukturiert wird, bei deren Erzeugung der jeweilige Verlauf entsprechend einem maximalen Photostrom am zugehörigen Empfänger und einem minimalen Strom entsprechend einem minimalen Obersprechen zwischen dem Wellenleiter an den anderen Empfängern gesteuert wird.
9. Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Sondierungs-Wellenleiter (31, 32) mit einer geringeren Photonenstrahl-Leistung als der endgültige Wellenleiter (8) strukturiert wird.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass bei Vorliegen von optoelektronischen Bauelementen in Form von Sender- und Empfängerarrays (41, 42) ein diesen Arrays zugehöriges Wellenleiterarray (40) mit einzelnen Wellenleiter-Kanälen (8.1-8.4) strukturiert wird, bei deren Erzeugung der jeweilige Verlauf entsprechend einem maximalen Photostrom am zugehörigen Empfänger und einem minimalen Strom, somit entsprechend einem minimalen Übersprechen, an den anderen Empfängern gesteuert wird.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass eine Verzweigungs-Wellenleiteranordnung, mit einem sich in mehrere Arme (8A, 8B) aufteilenden Wellenleiter<(>8<)>, strukturiert wird, wobei die Wellenleiter-Arme (8A, 8B<)>gemäss einem vorgegebenen Photostrom-Verhältnis, z.B. mit gleich grossen Photostrom-Anteilen, strukturiert werden.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass eine Verzweigungs-Wellenleiteranordnung, mit einem sich in mehrere Arme (8A, 8B) aufteilenden Wellenleiter (8), strukturiert wird, wobei die Wellenleiter-Arme (8A, 8B) gemäss einem vorgegebenen Photostrom-Verhältnis, z.B. mit gleich grossen Photostrom-Anteilen, strukturiert werden.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest zwei gesonderte Wellenleiter<(>8, 35<;>35')zur Herstellung einer optischen Verbindung über zumindest eine passive Komponente, vorzugsweise einen Umlenkspiegel<(>33<;>33'), strukturiert werden.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest zwei gesonderte Wellenleiter (8, 35; 35') zur Herstellung einer optischen Verbindung über zumindest eine passive Komponente, vorzugsweise einen Umlenkspiegel (33; 33' ), strukturiert werden.
13.Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest einer der gesonderten Wellenleiter (35') zu einer LichtEin- bzw. Auskopplungsposition (36) an der Oberfläche des optischen schichtförmigen Materials führt, wobei eines der optoelektronischen Bauelemente (4 bzw. 3) ausserhalb des optischen schichtförmigen Materials (7) angeordnet ist.
13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest einer der gesonderten Wellenleiter (35') zu einer LichtEin- bzw. Auskopplungsposition (36) an der Oberfläche des optischen schichtförmigen Materials führt, wobei eines der optoelektronischen Bauelemente (4 bzw. 3) ausserhalb des optischen schichtförmigen Materials angeordnet ist.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der eine gesonderte Wellenleiter (35') mit einer Linse<(>37, 38<)>gekoppelt wird, die vorzugsweise ebenfalls durch Mehrphotonenabsorption strukturiert wird.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der eine gesonderte Wellenleiter (35') mit einer Linse (37, 38) gekoppelt wird, die vorzugsweise ebenfalls durch Mehrphotonenabsorption strukturiert wird.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass der Umlenkspiegel (35; 35') durch Mehrphotonenabsorption strukturiert wird.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass der Umlenkspiegel (35; 35') durch Mehrphotonenabsorption strukturiert wird.
16 Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis JL5, dae_<gg>h g<tt>lrenn-
NACHGEREICHT - 4 zeichnet, dass zumindest zwei einander schneidende Wellenleiter durch Mehrphotonenabsorption strukturiert werden.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest zwei einander schneidende Wellenleiter durch Mehrphotonenabsorption strukturiert werden.
17. Vorrichtung zum Erzeugen wenigstens eines Licht-Wellenleiters (8) in einem optischen, photopolymerisierbaren, schichtförmigen Material eines Leiterplattenelements (1) zur Herstellung einer optischen Verbindung zwischen wenigstens einem optoelektronischen Sender-Bauelement (3) und wenigstens einem optoelektronischen Empfänger-Bauelement (4), mit einer Photonenstrahleinheit (23) , enthaltend eine Fokussier - bzw.
Optikeinheit (24), zum Abgeben und Fokussieren eines Photonenstrahls (15) im optischen Material, mit Führungsmitteln (29) zur Herbeiführung einer Relativbewegung zwischen der Fokusposition (16) des Photonenstrahls (15) und dem Leiterplattenelement (1), und mit einer Steuereinheit (21) zum Ansteuern der Führungsmittel (29) zwecks Führung der Fokusposition (16) des Photonenstrahls (15) relativ zur optischen Schicht (7), dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinheit (21) mit einer zum Erfassen des im Betrieb zwischen dem optoelektronischen Sender-Bauelement (3) und dem optoelektronischen Empfänger-Bauelement (4) erzeugten Photostroms am Empfänger-Bauelement (4) vorgesehenen Messeinheit (20) verbunden ist und Auswertmittel (22) aufweist, die abhängig vom von der Messeinheit (20) erfassten Photostrom die optimale Fokusposition (16) des Photonenstrahls (15)
relativ zum optischen Material (7) ermitteln und zugehörige Nachführsignale für die Strahlführungsmittel (29) zur Verfügung stellen.
17. Vorrichtung zum Erzeugen wenigstens eines Licht-Wellenleiters (8) in einem optischen, photopolymerisierbaren, schichtförmigen Material eines Leiterplattenelements (1) ; zur Herstellung einer optischen Verbindung zwischen wenigstens einem optoelektronischen Sender-Bauelement (3) und wenigstens einem optoelektronischen Empfänger-Bauelement (4), mit einer Photonenstrahleinheit (23) , enthaltend eine Fokussier - bzw.
Optikeinheit (24), zum Abgeben und Fokussieren eines Photonenstrahls (15) im optischen Material, mit Führungsmitteln (29) zur Herbeiführung einer Relativbewegung zwischen der Fokusposition des Photonenstrahls und dem Leiterplattenelement (1), und mit einer Steuereinheit (21) zum Ansteuern der Führungsmittel (29), zwecks Führung der Fokusposition (16) des Photonenstrahls (15) relativ zur optischen Schicht (7), dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinheit (21) mit einer zum Erfassen des im Betrieb zwischen dem optoelektronischen Sender-Bauelement (3) und dem optoelektronischen Empfänger-Bauelement (4) erzeugten Photostroms am Empfänger-Bauelement (4) vorgesehenen Messeinheit (20) verbunden ist und Auswertmittel (22) aufweist, die abhängig vom von der Messeinheit (20) erfassten Photostrom die optimale Fokusposition des Photonenstrahls (15)
relativ zum optischen Material ermitteln und zugehörige Nachführsignale für die Strahlführungsmittel (29) zur Verfügung stellen.
18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Photonenstrahleinheit (23) durch eine Lasereinheit gebildet ist .
18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Photonenstrahleinheit (23) durch eine Lasereinheit gebildet ist.
19. Vorrichtung nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Messeinheit (20) mehrere Eingänge (20.i.), zum Messen mehrerer Photoströme an einem optoelektronischen Empfänger-Array (42), aufweist und die Auswertmittel (22) zum Auswerten mehrerer Photostrom-Informationen bei der Ermittlung der optimalen Fokusposition eingerichtet sind.
^GEREICHT - 5 -
19. Vorrichtung nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Messeinheit (20) mehrere Eingänge (20.i.), zum Messen mehrerer Photoströme an einem optoelektronischen Empfänger-Array (42), aufweist und die Auswertmittel (22) zum Auswerten mehrerer Photostrom-Informationen bei der Ermittlung der optimalen Fokusposition eingerichtet sind.
20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Führungsmittel (29) eine Antriebseinrichtung (27) zum Herbeiführen einer Relativbewegung zwischen der Photonenstrahleinheit (23) und dem Leiterplattenelement (1) in zwei zueinander rechtwinkeligen Richtungen (x, y) in einer zum Leiterplattenelement (1) parallelen Ebene (x/y) sowie die Fokussier- bzw. Optikeinheit (24) umfassen, die zum Verstellen der Fokusposition zumindest in einer zum Leiterplattenelement (1) senkrechten Richtung eingerichtet ist.
(AW/sf)
R 51183 - 1 - A 63/2008
Patentansprüche:
20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Führungsmittel (29) eine Antriebseinrichtung(27)zum Herbeiführen einer Relativbewegung zwischen der Photonenstrahleinheit (23) und dem Leiterplattenelement<(>1<)>in zwei zueinander rechtwinkeligen Richtungen (x, y) in einer zum Leiterplattenelement (1) parallelen Ebene (x/y) sowie die Fokussier- bzw. Optikeinheit (24) umfassen, die zum Verstellen der Fokusposition zumindest in einer zum Leiterplattenelement<(>1<)>senkrechten Richtung eingerichtet ist.
(AW/sf/dp)
NACHGEREICHT
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