AT349242B - Verfahren zur klassifikation von oberflaechenfehlern eines prueflings sowie vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens - Google Patents

Verfahren zur klassifikation von oberflaechenfehlern eines prueflings sowie vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens

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AT349242B
AT349242B AT491075A AT491075A AT349242B AT 349242 B AT349242 B AT 349242B AT 491075 A AT491075 A AT 491075A AT 491075 A AT491075 A AT 491075A AT 349242 B AT349242 B AT 349242B
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    • G02B27/42—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
    • G02B27/46—Systems using spatial filters
    • G—PHYSICS
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    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999064845A1 (en) * 1998-06-05 1999-12-16 Glaverbel Defect detecting unit

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WO1999064845A1 (en) * 1998-06-05 1999-12-16 Glaverbel Defect detecting unit

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SE7408448L ( ) 1974-12-27
SE383204B (sv) 1976-03-01
CA1011582A (en) 1977-06-07

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