AT283775B - Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Meßwandlers und nach diesem Verfahren hergestellter Wandler - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Meßwandlers und nach diesem Verfahren hergestellter Wandler

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AT283775B
AT283775B AT500367A AT500367A AT283775B AT 283775 B AT283775 B AT 283775B AT 500367 A AT500367 A AT 500367A AT 500367 A AT500367 A AT 500367A AT 283775 B AT283775 B AT 283775B
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transducers
piezoelectric
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Rudolf Ing Zeiringer
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H C Hans Dipl Ing Dr Dr List
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    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/008Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using piezoelectric devices
    • GPHYSICS
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    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L23/00Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid
    • G01L23/08Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid operated electrically
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AT369900B (de) * 1981-05-20 1983-02-10 List Hans Messwertaufnehmer mit piezoelektrischem sensorelement
DE102006049079A1 (de) * 2006-10-13 2008-04-17 Robert Bosch Gmbh Druckmesseinrichtung

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