AT266276B - Dünnschicht-Kondensator und Verfahren zu dessen Herstellung - Google Patents
Dünnschicht-Kondensator und Verfahren zu dessen HerstellungInfo
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DE2300813A1 (de) * | 1972-01-14 | 1973-07-26 | Western Electric Co | Verfahren zum niederschlagen von stickstoffdotiertem beta-tantal sowie eine beta-tantal-duennschicht aufweisender artikel |
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---|---|---|---|---|
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