AT185149B - Verfahren und Vorrichtung zum Betrieb von Diffusionspumpen - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Betrieb von Diffusionspumpen

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1122211B (de) * 1960-10-01 1962-01-18 Leybolds Nachfolger E Verfahren zum Betrieb von Hochvakuumpumpen und Nachfuellvorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens
DE1172008B (de) * 1960-02-22 1964-06-11 Tesla Np Diffusionspumpe

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1172008B (de) * 1960-02-22 1964-06-11 Tesla Np Diffusionspumpe
DE1122211B (de) * 1960-10-01 1962-01-18 Leybolds Nachfolger E Verfahren zum Betrieb von Hochvakuumpumpen und Nachfuellvorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens

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