AT173281B - Verfahren zur Erhöhung der Haltbarkeit und Lichtempfindlichkeit der mit lichtempfindlichen aromatischen Diazosulfonaten hergestellten, positiv arbeitenden Diazotypieschichten - Google Patents

Verfahren zur Erhöhung der Haltbarkeit und Lichtempfindlichkeit der mit lichtempfindlichen aromatischen Diazosulfonaten hergestellten, positiv arbeitenden Diazotypieschichten

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AT173281B
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    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/016—Diazonium salts or compounds

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