AT14273U1 - System for temporary storage of containers - Google Patents

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AT14273U1
AT14273U1 ATGM1/2013U AT12013U AT14273U1 AT 14273 U1 AT14273 U1 AT 14273U1 AT 12013 U AT12013 U AT 12013U AT 14273 U1 AT14273 U1 AT 14273U1
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Hap Handhabungs Automatisierungs Und Präzisionstechnik Gmbh
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Abstract

Die Erfindung betrifft ein System zur Zwischenlagerung von Behältnissen für Gegenstände, die für eine Prozessierung in mehreren voneinander getrennt durchzuführenden Verfahrensschritten vorgesehen sind, wie insbesondere Wafer der Halbleitertechnik oder für die Herstellung von Solarzellen. Bei diesem System sind an einer Decke hängend mehrere Pufferstellplätze (3) für die Zwischenlagerung von Behältnissen vorhanden, die mittels eines in mindestens zwei Achsen manipulierbaren Greifersystems (1) mit jeweils mindestens einem Behältnis bestückt werden können. Mindestens ein Behältnis kann wieder aus einem Pufferstellplatz (3) entnommen werden. Am System ist ein Eingang (4) und/oder Ausgang (5) für die Zu- und Abfuhr von Behältnissen vorhanden, der/die an ein Behältnistransportsystem angeschlossen ist/sind. Zusätzlich ist neben oder innerhalb des Systems ein Aufzug (2) für einen vertikalen Transport von Behältnissen angeordnet, in den mittels des Greifersystems (1) Behältnisse von einem Pufferstellplatz (3) eingeführt beziehungsweise aus dem Aufzug (2) entnommen und zu einem Pufferstellplatz (3) oder zum Ausgang (5) transportiert werden können.The invention relates to a system for temporary storage of containers for articles which are provided for processing in a plurality of process steps to be carried out separately from one another, in particular wafers of semiconductor technology or for the production of solar cells. In this system, a plurality of buffer spaces (3) for the temporary storage of containers are suspended on a ceiling, which can be equipped with at least one container by means of a gripper system (1) which can be manipulated in at least two axes. At least one container can be removed again from a buffer space (3). The system has an inlet (4) and / or outlet (5) for the supply and removal of containers connected to a container transport system. In addition, an elevator (2) for vertical transport of containers is arranged next to or inside the system, into which containers are introduced from a buffer space (3) by means of the gripper system (1) or removed from the elevator (2) and taken to a buffer storage location (3 ) or to the exit (5) can be transported.

Description

Beschreibungdescription

SYSTEM ZUR ZWISCHENLAGERUNG VON BEHÄLTNISSENSYSTEM FOR THE INTERMEDIATE STORAGE OF CONTAINERS

[0001] Die Erfindung betrifft ein System zur Zwischenlagerung von Behältnissen. In den Behält¬nissen können bevorzugt Gegenstände aufgenommen sein, die für eine Prozessierung in meh¬reren voneinander getrennt durchzuführenden Verfahrensschritten vorgesehen sind. Dabeikann es sich insbesondere um Wafer handeln, die in der Halbleitertechnik oder für die Herstel¬lung von Solarzellen genutzt werden.The invention relates to a system for temporary storage of containers. The containers may preferably contain objects which are provided for processing in a plurality of process steps to be carried out separately from each other. These may in particular be wafers which are used in semiconductor technology or for the production of solar cells.

[0002] Insbesondere bei den genannten Herstellungsverfahren ist eine erhöhte Flexibilität, beigleichzeitig kurzer Taktzeit für die Bearbeitung und Bestückung von Anlagen erforderlich.In particular, in the aforementioned manufacturing process increased flexibility, also short cycle time for the processing and assembly of equipment is required.

[0003] Außerdem sind eine sehr gute Raumausnutzung, und bei den zu prozessierendenWafern der Reinraumaspekt sowie die Nähe zu Bearbeitungsstationen oder einzelnen Anlagen,bei gleichzeitiger Einhaltung von Freiräumen um eine Bearbeitungsstation oder Anlage, zuberücksichtigen.In addition, a very good space utilization, and in the wafern to be processed, the clean room aspect as well as the proximity to processing stations or individual facilities, while maintaining free space around a processing station or plant to take into account.

[0004] Für eine verbesserte Raumausnutzung wurde in DE 10 2008 015 472 vorgeschlagen,Tragelemente zur deckenhängenden Lagerung von Behältnissen oder Gegenständen einzuset¬zen. Darin wird außerdem erwähnt, dass Behältnisse oder Gegenstände mittels einer Hänge¬bahn zu Tragelementen transportiert und von diesen wieder abgeholt werden können. Dabeikann dies mit an der Hängebahn vorhandenen Manipulatoren unterstützt werden. Mit den Ma¬nipulatoren sollen Behältnisse für eine Zwischenlagerung in einem Tragelement abgesetzt undaus diesem wieder horizontal heraus bewegt werden. Es wird darin außerdem angesprochen,dass Behältnisse auch mit einem Manipulator vertikal bewegt und dabei in mehreren Ebenen inTragelementen zwischen gelagert werden können.For an improved use of space has been proposed in DE 10 2008 015 472, einzuset¬zen support elements for ceiling-mounted storage of containers or objects. It is also mentioned that containers or objects can be transported by a Hängebahn to support elements and picked up by them again. This can be supported with manipulators available on the monorail. With the manipulators, containers are to be deposited for intermediate storage in a support element and moved out of it again horizontally. It is also addressed in that containers can also be moved vertically with a manipulator and thereby stored in several levels in Tragelemente between.

[0005] Diese bekannte technische Lösung erreicht aber noch nicht die geforderte Flexibilität,bei einer Zwischenlagerung erforderlichen kurzen Zelt für eine Bestückung und Wiederentnah¬me von Behältnissen.However, this known technical solution does not yet reach the required flexibility, with a temporary storage required short tent for equipping and Wiederentnah¬me of containers.

[0006] Es ist daher Aufgabe der Erfindung, Möglichkeiten anzugeben, mit denen die Flexibilitäterhöht und die erforderliche Manipulationszeit bei der Zwischenlagerung von Behältnissenverkürzt werden kann.It is therefore an object of the invention to provide ways to increase the flexibility and the required manipulation time can be shortened in the intermediate storage of containers.

[0007] Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einem System, das die Merkmale des An¬spruchs 1 aufweist, gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindungkönnen mit in untergeordneten Ansprüchen bezeichneten Merkmalen erreicht werden.According to the invention this object is achieved with a system having the features of claim 1. Advantageous embodiments and further developments of the invention can be achieved with features designated in subordinate claims.

[0008] Bei dem erfindungsgemäßen System zur Zwischenlagerung von Behältnissen sind aneiner Decke hängend mehrere Pufferstellplätze für die Zwischenlagerung von Behältnissenvorhanden. Die Pufferstellplätze werden mittels eines in mindestens zwei Achsen manipulierba¬ren Greifersystems mit jeweils mindestens einem Behältnis bestückt und mindestens ein Be¬hältnis kann mit dem Greifersystem wieder aus einem Pufferstellplatz entnommen werden.In the system for the temporary storage of containers according to the invention, a plurality of buffer spaces for the temporary storage of containers are present on a ceiling suspended. The buffer locations are equipped by means of a at least two axes manipulierba¬ren gripper system with at least one container and at least one Be ratio can be removed with the gripper system again from a buffer space.

[0009] Außerdem ist am System ein Eingang und/oder Ausgang für die Zu- und Abfuhr vonBehältnissen vorhanden. Die Zu- und Abfuhr wird mittels eines Behältnistransportsystemsrealisiert, das an den Ein- und/oder Ausgang angeschlossen ist.In addition, the system has an entrance and / or exit for the supply and removal of containers. The supply and removal is realized by means of a container transport system which is connected to the input and / or output.

[0010] Zusätzlich ist neben oder innerhalb des Systems ein Aufzug für einen vertikalen Trans¬port von Behältnissen angeordnet, in den mittels des Greifersystems Behältnisse von einemPufferstellplatz eingeführt und Behältnisse aus dem Aufzug Behältnisse mittels des Greifersys¬tems entnommen und zu einem Pufferstellplatz oder zum Ausgang transportiert werden kön¬nen.In addition, an elevator for vertical transport of containers is arranged next to or within the system, in which containers are introduced from a buffer storage space by means of the gripper system and containers are removed from the elevator containers by means of the gripper system and to a buffer storage location or to the exit can be transported.

[0011] Ein Ein- und ein Ausgang können dabei eine Einheit bilden, über die Behältnisse demSystem zu- und auch abgeführt werden können. Vorteilhaft ist es aber, mindestens einen Ein¬gang und einen wiederum davon getrennten Ausgang vorzusehen. Dadurch kann ein unabhän¬gig voneinander durchführbarer Transport von Behältnissen von einem Behältnistransportsys¬ tem zu einem erfindungsgemäßen System und von einem erfindungsgemäßen System zueinem Behältnistransportsystem erreicht werden, was die Flexibilität erhöht und eine unabhän¬gig voneinander und störungsfreie Zu- und Abfuhr von Behältnissen ermöglicht.In this case, an input and an output can form a unit, via which containers the system can be supplied and also removed. It is advantageous, however, to provide at least one entrance and one in turn separate exit. As a result, transport of containers, which can be carried out independently of one another, from a container transport system to a system according to the invention and from a system according to the invention to a container transport system can be achieved, which increases flexibility and enables containers to be transported in and out independently of one another and trouble-free.

[0012] Das Greifersystem sollte in mindestens zwei senkrecht zueinander ausgerichteten Ach¬sen oder entlang einer bogenförmig ausgerichteten Achse und einer zur Bogenform radialausgerichteten Achse translatorisch und um eine vertikal ausgerichtete Achse rotatorisch be¬wegbar sein. Eine Bogenform kann ggf. wegen baulicher Voraussetzungen und dann ausPlatzgründen gewählt werden. Pufferstellplätze können dann entlang der gekrümmten Bogen¬form angeordnet und dabei die Bogenform (Bogenradius) berücksichtigend ausgerichtet sein.Das Greifersystem kann so an der jeweiligen Position eines Pufferstellplatzes ein Behältnis mitder gewünschten Ausrichtung in den Pufferstellplatz einführen oder es wieder daraus entneh¬men, wenn eine entsprechende translatorische Bewegung an dieser Position mit dem Greifer¬system durchgeführt wird.The gripper system should be translationally rotatable in at least two axes aligned perpendicular to each other or along an arcuately aligned axis and an axis aligned radially to the sheet shape and rotatory about a vertically oriented axis. An arch form may possibly be chosen due to structural requirements and then for reasons of space. Buffer locations can then be arranged along the curved Bogen¬ form while the sheet shape (radius of curvature) be taken into account. The gripper system can thus insert a container with the desired orientation in the buffer space at the respective position of a buffer space or remove it from it, if a corresponding translational movement is carried out at this position with the Greifer¬system.

[0013] Das Greifersystem sollte vorteilhaft um jeweils drei senkrecht zueinander ausgerichteteAchsen translatorisch und um eine vertikal ausgerichtete Achse rotatorisch bewegt werdenkönnen.Advantageously, the gripper system should be capable of translational movement about three axes aligned perpendicular to each other and of rotation about a vertically oriented axis.

[0014] Dabei kann das Greifersystem entlang einer geradlinig ausgerichteten Achse oder ent¬lang einer bogenförmig ausgerichteten Bahn/Führung und um eine vertikal ausgerichtete Achserotatorisch bewegbar sein. Dabei sollte ein Greifer des Greifersystems für Behältnisse zusätz¬lich entlang einer Achse senkrecht dazu mittels eines Linearantriebs translatorisch bewegtwerden können. In diesem Fall sollte das Greifersystem zusätzlich in einer senkrecht zur gerad¬linigen oder bogenförmigen Achse ausgerichteten Achse translatorisch bewegbar sein.In this case, the gripper system can be moved along a rectilinear axis or along an arcuately oriented path / guide and a vertically aligned Achserotatorisch. In this case, a gripper of the gripper system for containers should additionally be able to be moved translationally along an axis perpendicular thereto by means of a linear drive. In this case, the gripper system should additionally be translationally movable in an axis aligned perpendicular to the straight or arcuate axis.

[0015] Pufferstellplätze sollten in mindestens zwei Reihen und mindestens einer Ebene ange¬ordnet sein. Eine bessere Raumausnutzung bei gleichzeitig erhöhter Flexibilität kann aber mitmindestens zwei Reihen von Pufferstellplätzen erreicht werden, die an zwei Seiten neben einerAchse oder eines Bogens angeordnet sind und dabei das Greifersystem entlang der Achseoder des Bogens bewegt werden kann.Buffer locations should be arranged in at least two rows and at least one level. However, better space utilization coupled with increased flexibility can be achieved with at least two rows of buffer locations located on two sides adjacent to an axis or arc, thereby allowing the gripper system to be moved along the axis or arc.

[0016] Es können aber auch Pufferstellplätze in mehreren vertikal übereinander angeordnetenEbenen bei einem erfindungsgemäßen System vorhanden sein. In diesem Fall kann die Bestü¬ckung oder Entnahme mit oder von Behältnissen mittels eines Greifersystems, das auch ent¬sprechend vertikal bewegt werden kann, erreicht werden. Es besteht aber auch die Möglichkeitdies mit Hilfe eines weiteren in dieser Ebene angeordneten Greifersystems zu realisieren. DerTransport von einer Ebene zu der anderen Ebene oder zu einer anderen Ebene, in der bei¬spielsweise Pufferstellplätze, Bearbeitungsstationen oder Anlagen für die Bearbeitung angeord¬net sind, kann dabei mittels eines gemeinsam genutzten oder einem gesonderten Aufzug erfol¬gen.But there may also be buffer locations in several vertically stacked levels in a system according to the invention. In this case, the loading or removal with or from containers by means of a gripper system, which can also be moved accordingly vertical, be achieved. However, there is also the possibility of implementing this with the aid of a further gripper system arranged in this plane. The transport from one level to the other level or to another level, in which, for example, buffer locations, processing stations or facilities are arranged for processing, can take place by means of a shared or a separate elevator.

[0017] Der Aufzug sollte vorteilhaft für die Aufnahme von mindestens zwei Behältnissen ausge¬bildet sein. Dies erschließt Möglichkeiten für eine gleichzeitige Bestückung und Entnahme vonBehältnissen in bzw. aus dem Aufzug heraus. Auch die zeitliche Reihenfolge einer Bestückungund Entnahme Ist so flexibler wählbar. So kann ein Greifersystem, das bereits ein Behältnisaufgenommen und zum Aufzug transportiert hat, dieses Behältnis in den Aufzug einsetzen undein daneben angeordnetes Behältnis unmittelbar nachfolgend dazu aus dem Aufzug entneh¬men, was bei einem Aufzug mit nur einer Möglichkeit für die Aufnahme eines Behältnisses nichtmöglich ist. Ein Greifersystem müsste in diesem Fall, erst ein Behältnis aus dem Aufzug entfer¬nen und abtransportieren, bevor eine Bestückung des Aufzugs mit einem anderen Behältnismöglich ist.The elevator should be advantageous ausge¬ formed for the reception of at least two containers. This opens up possibilities for simultaneous loading and unloading of containers in and out of the elevator. The chronological order of placement and removal is also more flexible. Thus, a gripper system, which has already picked up a container and transported it to the elevator, can insert this container into the elevator and remove a container immediately next to it from the elevator, which is not possible with an elevator with only one possibility for receiving a container , In this case, a gripper system would have to first remove a container from the elevator and transport it away before fitting the elevator with another container.

[0018] Bel einem erfindungsgemäßen System kann in einer unterhalb der Ebene angeordnetenEbene, in der das System mit den Pufferstellplätzen und dem Greifersystem angeordnet ist,mindestens ein Be- und Entladeroboter für das Einsetzen und die Entnahme von Behältnissenin und aus dem Aufzug angeordnet sein. Ein solcher Roboter kann dann auch gleichzeitig fürden Transport und weitere Manipulationen von Behältnissen in dieser Ebene genutzt werden.In a system according to the invention, at least one loading and unloading robot for loading and unloading containers can be arranged in and out of the elevator in a sub level plane in which the system is located with the buffer locations and the gripper system. Such a robot can then also be used simultaneously for the transport and further manipulation of containers in this plane.

[0019] Insbesondere bei erforderlichen größeren Systemen mit einer erhöhten Anzahl von Puf¬ferstellplätzen oder, wenn es aus technologischen oder Gründen einer optimierten Raumaus¬nutzung erforderlich ist, mehrere erfindungsgemäße Systeme einzusetzen, ist es günstig, Be¬hältnisse mittels eines Greifersystems zu einem weiteren System und/oder einem weiterenGreifersystem transportieren oder bewegen zu können.In particular, in larger systems required with an increased number of Puf¬ferstellplätzen or, if it is necessary for technological reasons or reasons of optimized Raumaus¬ use several systems according to the invention, it is convenient, conditions by means of a gripper system to another System and / or another gripper system to transport or move.

[0020] Da es wünschenswert ist, Behältnisse möglichst flexibel in Pufferstellplätzen zu „par¬ken", können diese so bestückt werden, dass durch eine Optimierungssoftware einer Prozess¬steuerungselektronik festgelegt wird, welches Behältnis In welchen Pufferstellplatz abgesetztwird, um eine möglichst kleine Zeit für die Entnahme oder Bestückung dieses oder auch ande¬rer Pufferstellplätze mit Behältnissen zu erreichen. So kann beispielsweise ein Behältnis, daserst später als andere Behältnisse einer weiteren Prozesssierung zugeführt werden soll, ineinem Pufferstellplatz zwischen gelagert werden, der möglichst weit entfernt vom Aufzug oderdem Ein- oder Ausgang angeordnet ist.Since it is desirable to "containers" as flexibly as possible "buffered" in buffer locations, they can be equipped so that is determined by an optimization software of a process control electronics, which container is sold in which buffer space to the smallest possible time for the removal or placement of this or even other buffer parking spaces with containers to achieve. Thus, for example, a container which is to be fed later than other containers for further processing may be stored in a buffer space located as far as possible from the elevator or the input or output.

[0021] Gegenüber den aus dem Stand der Technik bekannten Manipulatoren, weist das erfin-dungsgemäße System, mit seinen für spezielle Aufgaben konzipierten und ausgebildeten Ele¬menten, ehebliche Vorteile auf.Compared with the known from the prior art manipulators, the inventive system, with its designed and trained for special tasks Ele¬menten, significant advantages.

[0022] Nachfolgend soll die Erfindung beispielhaft näher erläutert werden.The invention will be explained in more detail by way of example below.

[0023] Dabei zeigen: [0024] Figur 1 in schematischer Darstellung von oben ein Beispiel eines erfindungsgemäßenFIG. 1 is a schematic representation from above of an example of a device according to the invention. [0024] FIG

Systems und [0025] Figur 2 in schematischer Form ein Beispiel in einer Seitenansicht.And FIG. 2 shows in schematic form an example in a side view.

[0026] In Figur 1 ist ein Beispiel eines erfindungsgemäßen Systems gezeigt, bei dem Puffer¬stellplätze 3 in zwei parallel zueinander ausgerichteten Reihen angeordnet sind und zwischendiesen beiden Reihen eine Linearführung 1.3 für ein entlang dieser Linearführung 1.3 in der x-Achsrichtung translatorisch bewegbares Greifersystem 1 vorhanden ist. Das Greifersystem 1kann entlang dieser Linearführung 1.3 hin und her bewegt werden und dabei sämtliche Puffer¬stellplätze 3 sowie den Eingang 4, den Ausgang 5 und den Aufzug 2 erreichen.In Figure 1, an example of a system according to the invention is shown, are arranged in the Puffer¬stellplätze 3 in two parallel rows and between these two rows a linear guide 1.3 for a along this linear guide 1.3 in the x-axis translationally movable gripper system. 1 is available. The gripper system 1 can be moved back and forth along this linear guide 1.3 and thereby reach all Puffer¬stellplätze 3 and the input 4, the output 5 and the elevator 2.

[0027] Eingang 4 und Ausgang 5 sind dabei an ein nicht dargestelltes Behältnistransportsys¬tem, das ebenfalls hängend an einer Gebäudedecke befestigt sein kann, angeschlossen.Input 4 and output 5 are connected to an unillustrated Behältnistransportys¬tem, which may also be attached hanging on a building ceiling, connected.

[0028] Behältnisse für eine Zwischenlagerung können über den Eingang 4 zugeführt und mitdem Greifersystem 1 zu einem Pufferstellplatz 3, der von einer elektronischen Steuerung vor¬gegeben worden ist, transportiert und dort abgesetzt werden. Dabei fährt das Greifersystem 1vom Eingang 4 zum vorgegebenen Pufferstellplatz 3. Mittels eines am Greiferstsystem 1 vor¬handenen Greifers 1.1 kann das Behältnis gehalten und mit dem Linearantrieb 1.2 dann senk¬recht zur Achse der Linearführung 1.3 in den Pufferstellplatz 3 In Richtung der Y-Achse einge¬führt und dort abgesetzt werden. Das Absetzen kann durch einen weiteren Antrieb des Greifer¬systems 1 erreicht bzw. unterstützt werden, mit dem eine Bewegung in der vertikalen Z-Achsrichtung möglich ist.Containers for temporary storage can be supplied via the input 4 and transported with the gripper system 1 to a buffer space 3, which has been vor¬gegeben by an electronic control, and discontinued there. By means of a gripper 1.1 present on the gripper system 1, the container can be held and with the linear drive 1.2 then perpendicular to the axis of the linear guide 1.3 in the buffer space 3 in the direction of the Y-axis be introduced and sold there. The settling can be achieved or supported by a further drive of the gripper system 1, with which a movement in the vertical Z-axis direction is possible.

[0029] An Stelle der Linearführung 1.3 kann auch eine bogenförmige Führung gewählt werden.Auch in diesem Fall können Pufferstellplätze neben der bogenförmigen Führung an den zweigegenüberliegenden Seiten angeordnet sein.In place of the linear guide 1.3, an arcuate guide can be selected. Also in this case buffer shelves can be arranged next to the arcuate guide on the two opposite sides.

[0030] Das Entnehmen eines Behältnisses aus einem Pufferstellplatz 3 kann ebenfalls mit demGreifersystem 1 in umgekehrter Reihenfolge und Richtung erfolgen. Dabei kann ein Behältniszum Ausgang 5 des Systems gebracht und von dort mit dem Behältnistransportsystem abtrans¬portiert werden. Es kann aber auch zum Aufzug 2 bewegt und in diesen eingeführt werden. DasEinführen kann wieder mit dem Linearantrieb 1.2 erreicht und ggf. vom Antrieb des Greifersys¬tems 1, mit dem eine vertikale Bewegung möglich ist, unterstützt werden.The removal of a container from a buffer space 3 can also be done with the gripper system 1 in reverse order and direction. In this case, a container can be brought to the output 5 of the system and be transported away from there with the container transport system. But it can also be moved to the elevator 2 and introduced into this. The introduction can again be achieved with the linear drive 1.2 and possibly supported by the drive of the gripper system 1, with which a vertical movement is possible.

[0031] Der Aufzug 2 hat zwei Stellplätze 2.1 und 2.2 für Behältnisse. Dabei besteht die Mög¬lichkeit einen dieser Stellplätze 2.1 ausschließlich für einen Abtransport aus und den anderenThe elevator 2 has two parking spaces 2.1 and 2.2 for containers. There is the possibility of one of these pitches 2.1 exclusively for a removal and the other

Stellplatz 2.2 ausschließlich für einen Transport zum System zu nutzen.Parking space 2.2 exclusively for transport to the system.

[0032] Mit der Figur 2 wird deutlich, dass Behältnisse mit dem Aufzug 2 aus der Ebene desSystems, in der die Pufferstellplätze 3 und/oder die Stellplätze 2.1 und 2.2 des Aufzugs in an¬gehobener Position angeordnet sind, in Richtung einer vertikal weiter unten angeordnetenEbene und von dort wieder vertikal nach oben transportiert werden können.With the figure 2 it is clear that containers with the elevator 2 from the level of the system in which the buffer spaces 3 and / or the pitches 2.1 and 2.2 of the elevator are arranged in an elevated position, in the direction of a vertical further down arranged level and can be transported from there again vertically upwards.

[0033] Die Bewegung des Aufzugs 2 kann dabei so erfolgen, dass die Stellplätze 2.1 und 2.2 inden Einflussbereich eines Be- und Entladeroboters 6 gelangen und mit dessen Hilfe eine Be¬stückung und Entnahme von Behältnissen aus dem Aufzug 2 möglich ist. Mit Hilfe des Be- undEntladeroboters 6 ist allein die Bestückung und Entnahme möglich, wobei dann ein zusätzlicherManipulator oder ein Transportsystem erforderlich ist, um die Behältnisse zu bzw. von Bearbei¬tungsstationen oder Anlagen für unterschiedliche Prozessierungen zu bewegen. Ein entspre¬chend ausgebildeter Be- und Entladeroboter 6 kann dies aber auch mit erledigen.The movement of the elevator 2 can be carried out so that the parking spaces 2.1 and 2.2 get into the sphere of influence of a loading and Entladeroboters 6 and with the help of a Be¬stückung and removal of containers from the elevator 2 is possible. With the help of the loading and unloading robot 6 only the assembly and removal is possible, in which case an additional manipulator or a transport system is required to move the containers to or from processing stations or systems for different processing. However, a correspondingly trained loading and unloading robot 6 can do this as well.

[0034] Aus Figur 2 wird außerdem ersichtlich, dass ein bei der Erfindung einsetzbares Greifer¬system 1, die Möglichkeit aufweist, Behältnisse in drei senkrecht zueinander ausgerichtetenAchsen zu bewegen und in Verbindung mit der Darstellung von Figur 1 auch eine Rotation umeine vertikal ausgerichtete Rotationsachse möglich ist. Dies garantiert eine sehr große Flexibili¬tät, was die Bewegungsmöglichkeit für Behältnisse betrifft.It can also be seen from FIG. 2 that a gripper system 1 which can be used in accordance with the invention has the possibility of moving containers in three axes oriented perpendicular to one another and, in conjunction with the illustration of FIG. 1, also permits rotation about a vertically oriented axis of rotation is. This guarantees a very high flexibility in terms of the possibility of movement for containers.

[0035] Im, in den beiden Figuren 1 und 2 nicht dargestellter Form, kann sich an ein hier darge¬stelltes System mindestens ein weiteres System anschließen. Eine Übergabe von Behältnissenvon einem System zum anderen System kann dabei erfolgen. Dies kann beispielsweise durchÜbergabe von einem Greifersystem 1 an das Greifersystem 1 des anderen Systems erreichtwerden. Dabei können die Systeme fluchtend aber auch in einer anderen Richtung zueinanderausgerichtet sein. Es Ist dadurch auch die gemeinsame Nutzung von Eingang 4, Ausgang 5und Aufzug 2 der nebeneinander angeordneten Systeme möglich.In the form not shown in the two FIGS. 1 and 2, at least one further system may connect to a system shown here. A transfer of containers from one system to another system can take place. This can be achieved, for example, by transfer from one gripper system 1 to the gripper system 1 of the other system. In this case, the systems can be aligned but also aligned in another direction. It is thereby also the common use of input 4, output 5 and elevator 2 of juxtaposed systems possible.

[0036] An einem erfindungsgemäßen System kann auch mehr als ein Greifersystem 1 vorhan¬den sein, wodurch die Geschwindigkeit mit der Behältnisse manipuliert und transportiert werdenkönnen erhöht und demzufolge die dafür erforderliche Zeit weiter verkürzt werden kann.On a system according to the invention more than one gripper system 1 can be present, whereby the speed with which containers can be manipulated and transported can be increased and consequently the time required for this can be further shortened.

[0037] Dies trifft sinngemäß natürlich auch auf die Anzahl von Ein- und Ausgängen 4 und 5sowie die Anzahl der Aufzüge 2 zu.Naturally, this also applies to the number of inputs and outputs 4 and 5, as well as the number of elevators 2.

[0038] In den Figuren sind die Bewegungsmöglichkelten der einzelnen Elemente des Systemsmit Pfeilen oder Doppelpfeilen angegeben.In the figures, the Bewegungsmöglichkelten the individual elements of the system with arrows or double arrows are indicated.

Claims (11)

Ansprüche 1. System zur Zwischenlagerung von Behältnissen, bei dem an einer Decke hängend mehre¬re Pufferstellplätze (3) für die Zwischenlagerung von Behältnissen vorhanden sind, die mit¬tels eines in mindestens zwei Achsen manipulierbaren Greifersystems (1) mit jeweils min¬destens einem Behältnis bestückt und mindestens ein Behältnis wieder aus einem Puffer¬stellplatz (3) entnommen werden kann; außerdem am System ein Eingang (4) und/oderAusgang (5) für die Zu- und Abfuhr von Behältnissen vorhanden ist/sind, der/die an ein Be¬hältnistransportsystem angeschlossen ist/sind und zusätzlich neben oder innerhalb desSystems ein Aufzug (2) für einen vertikalen Transport von Behältnissen angeordnet ist, inden mittels des Greifersystems (1) Behältnisse von einem Pufferstellplatz (3) eingeführtund Behältnisse aus dem Aufzug (2) mittels des Greifersystems (1) entnommen und zu ei¬nem Pufferstellplatz (3) oder zum Ausgang (5) transportierbar sind.Claims 1. A system for temporary storage of containers, in which a plurality of buffer shelves (3) are provided for temporarily storing containers suspended on a ceiling, each having at least one gripper system (1) which can be manipulated in at least two axes Container equipped and at least one container can be removed again from a Pufferstellstellplatz (3); in addition to the system there is / are an inlet (4) and / or outlet (5) for the supply and removal of containers which is / are connected to a content transport system and in addition to or inside the system an elevator (2) is arranged for a vertical transport of containers, inden by means of the gripper system (1) containers from a buffer space (3) and taken out of the elevator (2) by means of the gripper system (1) and to ei¬nem buffer space (3) or to the output (5) are transportable. 2. System nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Greifersystem (1) in min¬destens zwei senkrecht zueinander ausgerichteten Achsen oder entlang einer bogenförmigausgerichteten Bahn und einer zur Bogenform radial ausgerichteten Achse translatorischund um eine vertikal ausgerichtete Achse rotatorisch bewegbar ist.2. System according to claim 1, characterized in that the gripper system (1) in at least two axes aligned perpendicular to each other or along an arcuate web and an arcuate radially oriented axis is translationally and rotatably about a vertically oriented axis. 3. System nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass Pufferstellplätze (3) inmindestens zwei Reihen und mindestens einer Ebene angeordnet sind.3. System according to claim 1 or 2, characterized in that buffer parking spaces (3) are arranged in at least two rows and at least one level. 4. System nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Greifer¬system (1) um jeweils drei senkrecht zueinander ausgerichtete Achsen translatorisch undum eine vertikal ausgerichtete Achse rotatorisch bewegbar ist.4. System according to one of claims 1 to 3, characterized in that the gripper system (1) about three axes aligned perpendicular to each other in translation and about a vertically oriented axis is rotatably movable. 5. System nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Greifer¬system (1) entlang einer geradlinig ausgerichteten Achse oder entlang einer bogenförmigausgerichteten Bahn und um eine vertikal ausgerichtete Achse rotatorisch bewegbar istund dabei ein Greifer (1.1) für Behältnisse zusätzlich entlang einer Achse mittels eines Li¬nearantriebs (1.2) translatorisch bewegbar ist.5. System according to one of claims 1 to 4, characterized in that the gripper system (1) is rotatably movable along a rectilinearly aligned axis or along an arcuate web and about a vertically oriented axis, while a gripper (1.1) for containers in addition along an axis by means of a Li¬nearantriebs (1.2) is translationally movable. 6. System nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Greifersystem (1) zusätz¬lich in einer senkrecht zur geradlinigen Achse oder bogenförmigen Bahn ausgerichtetenAchse translatorisch bewegbar ist.6. System according to claim 5, characterized in that the gripper system (1) is additionally translationally movable in a direction perpendicular to the rectilinear axis or arcuate path aligned axis. 7. System nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Aufzug (2)für die Aufnahme von mindestens zwei Behältnissen mit Stellplätzen (2.1, 2.2) ausgebildetist.7. System according to one of claims 1 to 6, characterized in that the elevator (2) for receiving at least two containers with parking spaces (2.1, 2.2) is formed. 8. System nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass in einer unter¬halb der Ebene angeordneten Ebene, in der das System mit den Pufferstellplätzen (3) unddem Greifersystem (1) angeordnet ist, mindestens ein Be- und Entladeroboter (6) für dasEinsetzen und die Entnahme von Behältnissen in und aus dem Aufzug (2) angeordnet ist.8. System according to any one of claims 1 to 7, characterized in that arranged in a plane below the plane in which the system is arranged with the Pufferstellplätzen (3) and the gripper system (1), at least one loading and unloading robot ( 6) for insertion and removal of containers in and out of the elevator (2). 9. System nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Greifer¬system (1) zwischen zwei Reihen von Pufferstellplätzen (3) translatorisch bewegbar ist.9. System according to one of claims 1 to 8, characterized in that the gripper system (1) between two rows of Pufferstellplätzen (3) is translationally movable. 10. System nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass ein gesonder¬ter Eingang (4) für die Zufuhr und ein gesonderter Ausgang (5) für die Abfuhr von Behält¬nissen zu oder von einem Behältnistransportsystem vorhanden sind.10. System according to any one of claims 1 to 9, characterized in that a gesonder¬ter input (4) for the supply and a separate outlet (5) for the removal of containers to or from a Behältnistransportystem are present. 11. System nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass Behältnissemittels eines Greifersystems (1) zu einem weiteren System und/oder einem weiteren Grei¬fersystem (1) transportierbar oder bewegbar sind. Hierzu 2 Blatt Zeichnungen11. System according to one of claims 1 to 10, characterized in that container means of a gripper system (1) to another system and / or another Grei¬fersystem (1) are transportable or movable. For this 2 sheets of drawings
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