AT12106U1 - METHOD AND DEVICE FOR STUDYING SURFACES - Google Patents

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AT12106U1
AT12106U1 AT0058410U AT5842010U AT12106U1 AT 12106 U1 AT12106 U1 AT 12106U1 AT 0058410 U AT0058410 U AT 0058410U AT 5842010 U AT5842010 U AT 5842010U AT 12106 U1 AT12106 U1 AT 12106U1
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AT
Austria
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light sources
camera
light
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khz
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AT0058410U
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Wolfgang Dipl Ing Heidl
Gerhard Kopf
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Profactor Gmbh
Ih Tech Sondermaschb U Instandhaltung Gmbh
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    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
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    • G—PHYSICS
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    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/8901—Optical details; Scanning details

Description

österreichisches Patentamt AT12 106U1 2011-10-15Austrian Patent Office AT12 106U1 2011-10-15

Beschreibung [0001] Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Untersuchung von Oberflächen, wobei ein Bereich der zur untersuchenden Oberfläche mit zumindest einer Lichtquelle beleuchtet wird, zumindest ein Bild des Bereichs der Oberfläche mit zumindest einer Kamera aufgenommen wird, eine Relativbewegung zwischen der zu untersuchenden Oberfläche und der zumindest einen Kamera vorgenommen wird, und die aufgenommenen Bilder entsprechend verarbeitet werden.Description: [0001] The invention relates to a method for examining surfaces, wherein an area of the surface to be examined is illuminated with at least one light source, at least one image of the area of the surface is recorded with at least one camera, a relative movement between the surface to be examined and the at least one camera is made, and the recorded images are processed accordingly.

[0002] Weiters betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur Untersuchung von Oberflächen mit zumindest einer Lichtquelle zur Beleuchtung eines Bereichs der zu untersuchenden Oberfläche, zumindest einer Kamera zur Aufnahme von Bildern des Bereichs der Oberfläche, einer Einrichtung zur Erzeugung einer Relativbewegung zwischen der zu untersuchenden Oberfläche und der zumindest einen Kamera, und einer Einrichtung zur Verarbeitung der aufgenommenen Bilder.Furthermore, the invention relates to a device for the examination of surfaces with at least one light source for illuminating a portion of the surface to be examined, at least one camera for recording images of the area of the surface, a device for generating a relative movement between the surface to be examined and the at least one camera, and means for processing the captured images.

[0003] Die Erfindung liegt auf dem Gebiet der Oberflächenuntersuchung bzw. Oberflächenprüfung wie sie zu Zwecken der Qualitätskontrolle, beispielsweise bei Gussteilen, eingesetzt wird. Durch die Oberflächenuntersuchung können Fehler an der Oberfläche erkannt und fehlerhafte Gegenstände ausgeschieden oder einer Nachbehandlung unterzogen werden. Bei der Untersuchung von Oberflächen beispielsweise von Gussteilen werden verschiedene Fehlerarten unterschieden. Einerseits existieren dunkle Stellen, welche durch Schmutz oder Lunker hervorgerufen werden können. Sogenannte helle Stellen werden als eine Veränderung in den Reflexionseigenschaften der Oberfläche definiert, die unter einer Dunkelfeldbeleuchtung heller als der Hintergrund erscheint und einen Kontrast von &lt;10 Grauwerten zum Hintergrund aufweisen. Kratzer sind helle Stellen, die schmal (üblicherweise &lt;1 mm) sind und relativ lang gezogen (Verhältnis Länge : Breite &gt;10). Schließlich werden Beschädigungen als helle Stellen, die keine Kratzer sind, definiert. Um sämtliche Fehlerarten mit möglichst hoher Sicherheit detektieren zu können, sind verschiedene Beleuchtungssysteme bekannt.The invention is in the field of surface examination or surface inspection as used for quality control purposes, for example in castings. Due to the surface inspection, defects on the surface can be detected and defective objects can be eliminated or subjected to an aftertreatment. When examining surfaces of castings, for example, different types of defects are distinguished. On the one hand there are dark spots, which can be caused by dirt or voids. So-called bright spots are defined as a change in the reflective properties of the surface that appears brighter than the background under a dark field illumination and has a contrast of <10 gray levels to the background. Scratches are light spots that are narrow (typically <1 mm) and relatively long (ratio length: width> 10). Finally, damage is defined as light spots that are not scratches. In order to detect all types of errors with the highest possible safety, various lighting systems are known.

[0004] Die US 5 984 493 A beschreibt beispielsweise ein Beleuchtungssystem und ein Beleuchtungsverfahren für derartige Oberflächenuntersuchungssysteme, wobei das Licht über entsprechende Spiegel auf die zu untersuchende Oberfläche gerichtet wird und die Spiegel in geeigneter Weise bewegt werden, so dass das Licht aus verschiedenen Richtungen auf die Oberfläche trifft und Oberflächenveränderungen mit höherer Sicherheit erkannt werden können. Dieses System ist relativ komplex und erfordert relativ lange Aufnahmezeiten.US 5,984,493 A describes, for example, an illumination system and a lighting method for such surface inspection systems, wherein the light is directed via corresponding mirrors on the surface to be examined and the mirrors are moved appropriately, so that the light from different directions the surface meets and surface changes can be detected with higher security. This system is relatively complex and requires relatively long recording times.

[0005] Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht in der Schaffung eines oben genannten Verfahrens und einer oben genannten Vorrichtung, durch welche verschiedenste Fehlerarten an der zu untersuchenden Oberfläche in möglichst kurzer Zeit sicher erkannt und unterschieden werden können. Nachteile bekannter Verfahren und Vorrichtungen sollen vermieden oder zumindest reduziert werden.The object of the present invention is to provide a method mentioned above and a device above, by which a variety of types of error on the surface to be examined in the shortest possible time can be reliably detected and distinguished. Disadvantages of known methods and devices should be avoided or at least reduced.

[0006] In verfahrensmäßiger Hinsicht wird die Aufgabe dadurch gelöst, dass der Bereich der zu untersuchenden Oberfläche von zumindest drei Lichtquellen aus verschiedenen Richtungen sequentiell hintereinander beleuchtet wird, und während der Relativbewegung zwischen der Oberfläche und der zumindest einen Kamera Bilder der Oberfläche aufgenommen werden. Durch die Beleuchtung des Bereichs der Oberfläche aus zumindest drei verschiedenen Richtungen können sämtliche Fehlerarten mit ausreichender Sicherheit detektiert werden. Da die Lichtquellen sequentiell hintereinander angesteuert werden, während die Oberfläche relativ zur Kamera bewegt wird, und die Kamera die Bilder aufnimmt, können die Bilder in einem einzigen raschen Scanvorgang aufgenommen werden. Zum Hervorrufen einer Relativbewegung zwischen der zu untersuchenden Oberfläche und der zumindest einen Kamera kann die Oberfläche, die Kamera oder sowohl die Oberfläche als auch die Kamera mit entsprechenden Einrichtungen bewegt werden. Zur Verarbeitung der aufgenommenen Bilder können verschiedene Bildverarbeitungsverfahren angewandt werden. Beispielsweise können die Bilder mit einem gespeicherten Bild verglichen und allfällige Abweichungen angezeigt werden oder Bildpunkte, deren Helligkeitswerte vorgegebene Schwellwerte unter- oder überschreiten, erkannt werden. 1 /7 österreichisches Patentamt AT12 106U1 2011-10-15In terms of the method, the object is achieved in that the area of the surface to be examined is illuminated sequentially from at least three light sources from different directions, and images of the surface are recorded during the relative movement between the surface and the at least one camera. By illuminating the area of the surface from at least three different directions, all types of errors can be detected with sufficient certainty. Since the light sources are sequentially driven one at a time while the surface is moved relative to the camera and the camera takes the pictures, the pictures can be taken in a single quick scan. To cause a relative movement between the surface to be examined and the at least one camera, the surface, the camera or both the surface and the camera can be moved with corresponding devices. Various image processing methods can be used to process the captured images. For example, the images can be compared with a stored image and possible deviations displayed or pixels whose brightness values fall below or exceed predetermined threshold values can be detected. 1/7 Austrian Patent Office AT12 106U1 2011-10-15

Auch komplexere mathematische Bildverarbeitungsmethoden sind selbstverständlich anwendbar.Even more complex mathematical image processing methods are of course applicable.

[0007] Vorteilhafterweise wird der Bereich der zu untersuchenden Oberfläche von zumindest drei Lichtquellen aus verschiedenen Richtungen quer zur Richtung der Relativbewegung zwischen der Oberfläche und der zumindest einen Kamera beleuchtet. Durch eine derartige Anordnung der zumindest drei Lichtquellen quer zur Bewegungsrichtung wird eine kompakte Bauweise erzielt.Advantageously, the area of the surface to be examined is illuminated by at least three light sources from different directions transversely to the direction of the relative movement between the surface and the at least one camera. By such an arrangement of the at least three light sources transversely to the direction of movement, a compact design is achieved.

[0008] Um eine möglichst rasche Untersuchung der Oberflächen gewährleisten zu können, werden die Lichtquellen vorzugsweise mit einer Wiederholfrequenz von 1 kHz bis 4 kHz sequentiell hintereinander aktiviert. Dieser Frequenzbereich hat sich als besonders geeignet herausgestellt.In order to ensure the quickest possible examination of the surfaces, the light sources are preferably activated sequentially with a repetition frequency of 1 kHz to 4 kHz. This frequency range has been found to be particularly suitable.

[0009] Vorteilhafterweise wird die zumindest eine Kamera synchron zu den Lichtquellen mit einer Zeilenfrequenz, welcher dem der Anzahl an Lichtquellen entsprechenden Vielfachen der Wiederholfrequenz der Lichtquellen entspricht, betrieben. Bei einer Wiederholfrequenz von 1 kHz und vier Lichtquellen ergibt sich beispielsweise eine Zeilenfrequenz für die Kamera von 4 kHz.Advantageously, the at least one camera synchronously with the light sources with a line frequency which corresponds to the number of light sources corresponding to the multiple repetition frequency of the light sources operated. At a repetition frequency of 1 kHz and four light sources, for example, results in a line frequency for the camera of 4 kHz.

[0010] Vorteilhafterweise wird der Bereich der zu untersuchenden Oberfläche von zumindest einer im Wesentlichen senkrecht zur Oberfläche und zwei in einem Winkel zwischen 40° und 50°, vorzugsweise 45°, und einem Winkel zwischen 130° und 140°, vorzugsweise 135°, zur Oberfläche angeordneten Lichtquellen beleuchtet. Bei einer derartigen Beleuchtung aus diesen drei Richtungen werden optimale Ergebnisse erzielt.Advantageously, the area of the surface to be examined of at least one substantially perpendicular to the surface and two at an angle between 40 ° and 50 °, preferably 45 °, and an angle between 130 ° and 140 °, preferably 135 °, to Surface arranged light sources illuminated. With such illumination from these three directions, optimum results are achieved.

[0011] Wenn die einzelnen Lichtquellen mit unterschiedlichen Belichtungszeiten aktiviert werden, können allenfalls bessere Ergebnisse erzielt werden und Intensitätsabschwächungen von Lichtquellen, welche von der Oberfläche weiter entfernt sind, kompensiert werden.If the individual light sources are activated with different exposure times, at best better results can be achieved and intensity attenuations of light sources, which are farther away from the surface, can be compensated.

[0012] Wenn das Licht von zumindest einer Lichtquelle über zumindest einen Spiegel auf den zu beleuchtenden Bereich der zu untersuchenden Oberfläche umgelenkt wird, kann eine kompaktere Anordnung der Lichtquellen erzielt werden.If the light is deflected by at least one light source via at least one mirror on the area to be illuminated of the surface to be examined, a more compact arrangement of the light sources can be achieved.

[0013] Als Lichtquellen werden vorzugsweise Linien-Leuchtdioden und als Kamera Zeilenkameras verwendet. Beispielsweise stellt die Linien-Leuchtdiode mit der Produktbezeichnung 5525 der Illumination Technologies, Inc., die auch in der US 5 550 946 A beschrieben wird, eine geeignete Lichtquelle dar.As light sources preferably line LEDs and camera cameras are used. For example, Illuminations Technologies, Inc.'s 5525 line light emitting diode, also described in US 5,550,946 A, is a suitable light source.

[0014] Wenn das Licht der Lichtquellen über Linsen gebündelt wird, können die Ergebnisse weiter verbessert werden. Dabei haben sich Zylinderlinsen, wie sie auch bei der oben beschriebenen Linien-Leuchtdiode eingesetzt werden, besonders bewährt.When the light of the light sources is focused by lenses, the results can be further improved. In this case, cylindrical lenses, as they are also used in the line light-emitting diode described above, have proven particularly useful.

[0015] Wenn das Licht der Lichtquellen in einem reflektierenden Metallgehäuse geführt wird, können Abschwächungen der Intensität verringert werden und eine hinreichend homogene Ausleuchtung des Bereichs der Oberfläche erzielt werden.If the light of the light sources is guided in a reflective metal housing, attenuation of the intensity can be reduced and a sufficiently homogeneous illumination of the area of the surface can be achieved.

[0016] Gelöst wird die erfindungsgemäße Aufgabe auch durch eine oben genannte Vorrichtung zur Untersuchung von Oberflächen, bei der zumindest drei Lichtquellen zur Beleuchtung des Bereichs der Oberfläche aus verschiedenen Richtungen vorgesehen sind, welche Lichtquellen mit einer Einrichtung zur Steuerung der Lichtquellen verbunden sind. Die dadurch erzielbaren Vorteile können der obigen Beschreibung des Verfahrens zur Untersuchung von Oberflächen und der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen entnommen werden.The object of the invention is also achieved by an above-mentioned device for the examination of surfaces, in which at least three light sources are provided for illuminating the area of the surface from different directions, which light sources are connected to a device for controlling the light sources. The advantages obtainable thereby can be taken from the above description of the method for the examination of surfaces and the following description of exemplary embodiments.

[0017] Wie bereits oben erwähnt, ist es von Vorteil, wenn die zumindest drei Lichtquellen quer zur Richtung der Relativbewegung zwischen Oberfläche und der zumindest einen Kamera angeordnet sind.As already mentioned above, it is advantageous if the at least three light sources are arranged transversely to the direction of the relative movement between the surface and the at least one camera.

[0018] Die Steuerungseinrichtung ist vorzugsweise zur sequentiell wiederholten Ansteuerung der Lichtquellen mit einer Wiederholfrequenz von 1 kHz bis 4 kHz ausgebildet.The control device is preferably designed for sequentially repeated control of the light sources with a repetition frequency of 1 kHz to 4 kHz.

[0019] Zur entsprechenden Steuerung der Kamera ist die Steuerungseinrichtung vorzugsweise 2/7 österreichisches Patentamt AT12 106U1 2011-10-15 mit der zur mindestens einen Kamera verbunden.For appropriate control of the camera, the control device is preferably connected to the at least one camera AT12 106U1 2011-10-15.

[0020] Eine besonders bevorzugte Ausführungsform sieht zumindest eine Lichtquelle, vorzugsweise zwei Lichtquellen, im Wesentlichen senkrecht zur Oberfläche und zwei Lichtquellen in einem Winkel zwischen 40° und 50°, vorzugsweise 45°, und einem Winkel zwischen 130° und 140°, vorzugsweise 135°, zur Oberfläche vor.A particularly preferred embodiment provides at least one light source, preferably two light sources, substantially perpendicular to the surface and two light sources at an angle between 40 ° and 50 °, preferably 45 °, and an angle between 130 ° and 140 °, preferably 135 °, to the surface.

[0021] Wenn vor zumindest einer Lichtquelle zumindest ein Spiegel zur Umlenkung des Lichts der Lichtquelle auf den zu beleuchtenden Bereich der Oberfläche vorgesehen ist, kann eine im Wesentlichen parallele Anordnung der Lichtquellen nebeneinander und somit eine kompakte Bauweise der Vorrichtung erzielt werden.If at least one mirror for deflecting the light of the light source is provided on the area of the surface to be illuminated in front of at least one light source, a substantially parallel arrangement of the light sources can be achieved side by side and thus a compact construction of the device.

[0022] Als Lichtquellen sind vorzugsweise Linien-Leuchtdioden und als Kamera Zeilenkameras vorgesehen.As light sources preferably line LEDs and camera are provided as line scan cameras.

[0023] Vor den Lichtquellen können Linsen, beispielsweise Zylinderlinsen, angeordnet sein. Die Lichtquellen und allenfalls auch die zumindest eine Kamera können in einem reflektierenden Metallgehäuse angeordnet sein.Lenses, for example cylindrical lenses, can be arranged in front of the light sources. The light sources and possibly also the at least one camera can be arranged in a reflective metal housing.

[0024] Die vorliegende Erfindung wird anhand der beigefügten Abbildungen näher erläutert.The present invention will be explained in more detail with reference to the accompanying drawings.

[0025] Darin zeigen [0026] Fig. 1 eine schematische Prinzipsskizze einer Vorrichtung zur Untersuchung von Oberflächen; [0027] Fig. 2a und 2b zwei Ansichten auf eine Ausführungsform einer Vorrichtung zur Untersu chung von Oberflächen mit vier Lichtquellen; und [0028] Fig. 3 schematische Zeitverläufe der Steuersignale von vier Lichtquellen und einer Kamera einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Untersuchung von Oberflächen.FIG. 1 shows a schematic schematic diagram of a device for the examination of surfaces; FIG. 2a and 2b show two views of an embodiment of a device for examining surfaces with four light sources; and [0028] FIG. 3 shows schematic time profiles of the control signals of four light sources and a camera of a device according to the invention for the examination of surfaces.

[0029] Fig. 1 zeigt schematisch eine Vorrichtung 1 zur Untersuchung von Oberflächen 2 beispielsweise von Gussteilen. Die Vorrichtung 1 beinhaltet zumindest eine Lichtquelle 4 zur Beleuchtung eines Bereichs 3 der zu untersuchenden Oberfläche 2 und zumindest eine Kamera 5 zur Aufnahme von Bildern des Bereichs 3 der Oberfläche 2. Über eine Einrichtung 9 wird eine Relativbewegung zwischen der zu untersuchenden Oberfläche 2 und der zumindest einen Kamera 5 hervorgerufen. Dabei kann die Oberfläche 2 bzw. der entsprechende Gegenstand oder die Kamera 5 mit dem Beleuchtungssystem bzw. sowohl der Gegenstand als auch die Vorrichtung 1 bewegt werden. Die Lichtquellen 4 werden über eine entsprechende Einrichtung 11 angesteuert. Dabei ist die Steuerungseinrichtung 11 vorzugsweise auch mit der zumindest einen Kamera 5 verbunden. Die mit der zumindest einen Kamera 5 aufgenommenen Bilder werden in einer entsprechenden Einrichtung 10, insbesondere einem Rechner, verarbeitet, wobei gängige Bildverarbeitungsverfahren zur Anwendung kommen können.Fig. 1 shows schematically a device 1 for the examination of surfaces 2, for example of castings. The device 1 includes at least one light source 4 for illuminating a region 3 of the surface 2 to be examined and at least one camera 5 for taking images of the region 3 of the surface 2. Via a device 9, a relative movement between the surface 2 to be examined and the at least one a camera 5 caused. In this case, the surface 2 or the corresponding object or the camera 5 with the illumination system or both the object and the device 1 are moved. The light sources 4 are controlled via a corresponding device 11. In this case, the control device 11 is preferably also connected to the at least one camera 5. The images taken with the at least one camera 5 are processed in a corresponding device 10, in particular a computer, whereby common image processing methods can be used.

[0030] Aus den Fig. 2a und 2b ist eine bevorzugte Ausführungsform eine Vorrichtung 1 zur Untersuchung von Oberflächen 2 dargestellt. Die Ausführungsform sieht vier Lichtquellen 4 vor, welche die zu untersuchende Oberfläche 2 aus verschiedenen Richtungen beleuchten. Dabei kommen vorzugsweise Linien-Leuchtdioden zum Einsatz, die mit Linsen 7, beispielsweise Zylinderlinsen, versehen sein können. Bei der dargestellten Ausführungsform befinden sich zwei Lichtquellen 4 parallel zur Oberfläche 2, so dass das Licht im Wesentlichen senkrecht auf die Oberfläche 2 auftritt. Zwei weitere Lichtquellen 4 sind in einem Winkel α zwischen 40° und 50°, vorzugsweise 45°, und einem Winkel ß zwischen 130° und 140°, vorzugsweise 135°, zur Oberfläche angeordnet. Um eine kompakte Bauweise zu erzielen, wird das Licht der im Wesentlichen senkrecht zur Oberfläche 2 stehenden Lichtquellen 4 über Spiegel 6 auf die Oberfläche 2 gerichtet. Eine Montage ohne Spiegel 6 ist ebenfalls möglich, wenn die entsprechenden Lichtquellen 4 entsprechend nach außen geschwenkt werden. Zur Erzielung einer homogenen Beleuchtung sind die Abstände der Lichtquellen 4 zur Oberfläche 2 unterschiedlich gewählt. Falls erforderlich, können bei der Verarbeitung der Bilder in der Einrichtung 10 auch entsprechende Helligkeitskorrekturen vorgenommen werden. Zur Verbesserung der Richtungsselektivi- 3/7From FIGS. 2a and 2b, a preferred embodiment of a device 1 for the examination of surfaces 2 is shown. The embodiment provides four light sources 4, which illuminate the surface 2 to be examined from different directions. In this case, preferably line light-emitting diodes are used, which can be provided with lenses 7, for example, cylindrical lenses. In the illustrated embodiment, two light sources 4 are parallel to the surface 2, so that the light occurs substantially perpendicular to the surface 2. Two further light sources 4 are arranged at an angle α between 40 ° and 50 °, preferably 45 °, and an angle β between 130 ° and 140 °, preferably 135 °, to the surface. In order to achieve a compact design, the light of the light sources 4 standing substantially perpendicular to the surface 2 is directed onto the surface 2 via mirrors 6. An assembly without mirror 6 is also possible if the corresponding light sources 4 are pivoted outward accordingly. To achieve a homogeneous illumination, the distances of the light sources 4 to the surface 2 are chosen differently. If necessary, during the processing of the images in the device 10, corresponding brightness corrections can also be made. To improve the directional selectivity

Claims (19)

österreichisches Patentamt AT12106U1 2011-10-15 tat werden vor den Lichtquellen 4 Linsen 7 angeordnet. Auch die Kameras 5 empfangen das Licht über eine knapp ober der zu untersuchenden Oberfläche 2 angeordnete Linse 7. [0031] Fig. 3 zeigt schematische Zeitverläufe der Steuersignale der Lichtquellen 4 und der Kamera 5 anhand eines Beispiels. Die Lichtquellen werden mit einer Wiederholfrequenz fL, vorzugsweise zwischen 1 kHz und 4 kHz, angesteuert. Die zumindest eine Kamera 5 wird synchron zu den Lichtquellen 4 mit einer Zeilenfrequenz fK betrieben, welche dem der Anzahl n an Lichtquellen 4 entsprechenden Vielfachen der Wiederholfrequenz fL der Lichtquellen 4 entspricht. Bei vier Lichtquellen 4 entsprechend dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 2a und 2b und der Verwendung einer Wiederholfrequenz fL von 1 kHz ergibt sich eine Zeilenfrequenz fK = n*fL = 4*1 kHz = 4 kHz. [0032] Mit Hilfe des gegenständlichen Verfahrens und der gegenständlichen Vorrichtung wird eine optimale Homogenität und Richtungsselektivität erzielt und in der Folge eine optimale Erkennung von Fehlstellen an der Oberfläche der zu untersuchenden Bauteile erreicht. Darü-berhinaus ist die Vorrichtung besonders kompakt und das Verfahren in besonders kurzer Zeit mit nur einem Scanvorgang durchführbar. Ansprüche 1. Verfahren zur Untersuchung von Oberflächen (2), wobei ein Bereich (3) der zu untersuchenden Oberfläche (2) mit zumindest einer Lichtquelle (4) beleuchtet wird, zumindest ein Bild des Bereichs (3) der Oberfläche (2) mit zumindest einer Kamera (5) aufgenommen wird, eine Relativbewegung zwischen der zu untersuchenden Oberfläche (2) und der zumindest einen Kamera (5) vorgenommen wird, und die aufgenommenen Bilder entsprechend verarbeitet werden, dadurch gekennzeichnet, dass der Bereich (3) der zu untersuchenden Oberfläche (2) von zumindest drei Lichtquellen (4) aus verschiedenen Richtungen sequentiell hintereinander beleuchtet wird, und während der Relativbewegung zwischen der Oberfläche (2) und der zumindest einen Kamera (5) Bilder der Oberfläche (2) aufgenommen werden.Austrian Patent Office AT12106U1 2011-10-15 4 lenses 7 are arranged in front of the light sources. The cameras 5 also receive the light via a lens 7 arranged just above the surface 2 to be examined. FIG. 3 shows diagrammatic time profiles of the control signals of the light sources 4 and the camera 5 by way of example. The light sources are driven at a repetition frequency fL, preferably between 1 kHz and 4 kHz. The at least one camera 5 is operated synchronously with the light sources 4 at a line frequency fK which corresponds to the number n of multiples of the repetition frequency f L of the light sources 4 corresponding to the number of light sources 4. With four light sources 4 according to the embodiment according to FIGS. 2a and 2b and the use of a repetition frequency fL of 1 kHz, a line frequency fK = n * fL = 4 * 1 kHz = 4 kHz results. With the help of the subject method and the subject device optimum homogeneity and directional selectivity is achieved and achieved in the episode optimal detection of defects on the surface of the components to be examined. Moreover, the device is particularly compact and the method can be carried out in a particularly short time with only one scan. Claims 1. A method of inspecting surfaces (2), wherein an area (3) of the surface (2) to be inspected is illuminated with at least one light source (4), at least one image of the area (3) of the surface (2) with at least a camera (5) is taken, a relative movement between the surface to be examined (2) and the at least one camera (5) is made, and the recorded images are processed accordingly, characterized in that the region (3) of the surface to be examined (2) is illuminated sequentially in succession by at least three light sources (4) from different directions, and images of the surface (2) are taken during the relative movement between the surface (2) and the at least one camera (5). 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Bereich (3) der zu untersuchenden Oberfläche (2) von zumindest drei Lichtquellen (4) aus verschiedenen Richtungen quer zur Richtung der Relativbewegung zwischen der Oberfläche (2) und der zumindest einen Kamera (5) beleuchtet wird.2. The method according to claim 1, characterized in that the region (3) of the surface to be examined (2) of at least three light sources (4) from different directions transverse to the direction of relative movement between the surface (2) and the at least one camera ( 5) is illuminated. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquellen (4) mit einer Wiederholfrequenz (fL) von 1 bis 4 kHz sequentiell hintereinander aktiviert werden.3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the light sources (4) with a repetition frequency (fL) of 1 to 4 kHz sequentially activated one behind the other. 4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest eine Kamera (5) synchron zu den Lichtquellen (4) mit einer Zeilenfrequenz (fK), welche dem der Anzahl (n) an Lichtquellen (4) entsprechenden Vielfachen der Wiederholfrequenz (fL) der Lichtquellen (4) entspricht, betrieben wird.4. The method according to claim 3, characterized in that the at least one camera (5) synchronous to the light sources (4) with a line frequency (fK), which corresponds to the number (n) of light sources (4) corresponding multiples of the repetition frequency (fL ) of the light sources (4), is operated. 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Bereich (3) der zu untersuchenden Oberfläche (2) von zumindest einer im Wesentlichen senkrecht zur Oberfläche (2) und zwei in einem Winkel (a) zwischen 40° und 50° und einem Winkel (ß) zwischen 130° und 140° zur Oberfläche (2) angeordnete Lichtquellen (4) beleuchtet wird.5. The method according to any one of claims 1 to 4, characterized in that the region (3) of the surface to be examined (2) of at least one substantially perpendicular to the surface (2) and two at an angle (a) between 40 ° and 50 ° and an angle (ß) between 130 ° and 140 ° to the surface (2) arranged light sources (4) is illuminated. 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Lichtquellen (4) mit unterschiedlichen Belichtungszeiten aktiviert werden.6. The method according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the individual light sources (4) are activated with different exposure times. 7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Licht von zumindest einer Lichtquelle (4) über zumindest einen Spiegel (6) auf den zu beleuchtenden Bereich (3) der zu untersuchenden Oberfläche (2) umgelenkt wird.7. The method according to any one of claims 1 to 6, characterized in that the light from at least one light source (4) via at least one mirror (6) on the area to be illuminated (3) of the surface to be examined (2) is deflected. 8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass als Lichtquellen (4) Linien-Leuchtdioden und als Kamera (5) Zeilenkameras verwendet werden. 4/7 österreichisches Patentamt AT12 106U1 2011-10-158. The method according to any one of claims 1 to 7, characterized in that are used as light sources (4) line light-emitting diodes and as a camera (5) line scan cameras. 4/7 Austrian Patent Office AT12 106U1 2011-10-15 9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Licht der Lichtquellen (4) über Linsen (7) gebündelt wird.9. The method according to any one of claims 1 to 8, characterized in that the light of the light sources (4) via lenses (7) is bundled. 10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Licht der Lichtquellen (4) in einem reflektierenden Metallgehäuse (8) geführt wird.10. The method according to any one of claims 1 to 9, characterized in that the light of the light sources (4) in a reflective metal housing (8) is guided. 11. Vorrichtung (1) zur Untersuchung von Oberflächen (2), mit zumindest einer Lichtquelle (4) zur Beleuchtung eines Bereichs (3) der zu untersuchenden Oberfläche (2), zumindest einer Kamera (5) zur Aufnahme von Bildern des Bereichs (3) der Oberfläche (2), einer Einrichtung (9) zur Erzeugung einer Relativbewegung zwischen der zu untersuchenden Oberfläche (2) und der zumindest einen Kamera (5), und einer Einrichtung (10) zur Verarbeitung der aufgenommenen Bilder, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest drei Lichtquellen (4) zur Beleuchtung des Bereichs (3) der Oberfläche (2) aus verschiedenen Richtungen vorgesehen sind, welche Lichtquellen (4) mit einer Einrichtung (11) zur Steuerung der Lichtquellen (4) verbunden sind.11. Device (1) for examining surfaces (2), with at least one light source (4) for illuminating a region (3) of the surface (2) to be examined, at least one camera (5) for taking images of the region (3 ) of the surface (2), a device (9) for generating a relative movement between the surface (2) to be examined and the at least one camera (5), and a device (10) for processing the recorded images, characterized in that at least three light sources (4) are provided for illuminating the area (3) of the surface (2) from different directions, which light sources (4) are connected to a device (11) for controlling the light sources (4). 12. Vorrichtung (1) nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest drei Lichtquellen (4) quer zur Richtung der Relativbewegung zwischen Oberfläche (2) und der zumindest einen Kamera (5) angeordnet sind.12. Device (1) according to claim 11, characterized in that the at least three light sources (4) are arranged transversely to the direction of the relative movement between the surface (2) and the at least one camera (5). 13. Vorrichtung (1) nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerungseinrichtung (11) zur sequentiell wiederholten Ansteuerung der Lichtquellen (4) mit einer Wiederholfrequenz (fL) von 1 bis 4 kHz ausgebildet ist.13. Device (1) according to claim 11 or 12, characterized in that the control device (11) for sequentially repeated control of the light sources (4) is formed with a repetition frequency (fL) of 1 to 4 kHz. 14. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerungseinrichtung (11) mit der zumindest einen Kamera (5) verbunden ist.14. Device (1) according to one of claims 11 to 13, characterized in that the control device (11) is connected to the at least one camera (5). 15. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine Lichtquelle (4) im Wesentlichen senkrecht zur Oberfläche (2) und zwei Lichtquellen (4) in einem Winkel (a) zwischen 40° und 50° und einem Winkel (ß) zwischen 130° und 140° zur Oberfläche (2) angeordnete sind.15. Device (1) according to one of claims 11 to 14, characterized in that at least one light source (4) substantially perpendicular to the surface (2) and two light sources (4) at an angle (a) between 40 ° and 50 ° and an angle (ß) between 130 ° and 140 ° to the surface (2) are arranged. 16. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 11 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass vor zumindest einer Lichtquelle (4) zumindest ein Spiegel (6) zur Umlenkung des Lichts der Lichtquelle (4) auf den zu beleuchtenden Bereich (3) der Oberfläche (2) vorgesehen ist.16. Device (1) according to one of claims 11 to 15, characterized in that in front of at least one light source (4) at least one mirror (6) for deflecting the light of the light source (4) on the area to be illuminated (3) of the surface (2) is provided. 17. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 11 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass als Lichtquellen (4) Linien-Leuchtdioden und als Kamera (5) Zeilenkameras vorgesehen sind.17. Device (1) according to any one of claims 11 to 16, characterized in that as light sources (4) line light-emitting diodes and as a camera (5) line scan cameras are provided. 18. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 11 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass vor den Lichtquellen (4) Linsen (7) angeordnet sind.18. Device (1) according to any one of claims 11 to 17, characterized in that in front of the light sources (4) lenses (7) are arranged. 19. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 11 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquellen (4) in einem reflektierenden Metallgehäuse (8) angeordnet sind. Hierzu 2 Blatt Zeichnungen 5/719. Device (1) according to any one of claims 11 to 18, characterized in that the light sources (4) in a reflective metal housing (8) are arranged. For this 2 sheets drawings 5/7
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