WO2007037070A1 - Optical information recording medium and optical information recording medium reproducing device - Google Patents

Optical information recording medium and optical information recording medium reproducing device Download PDF

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WO2007037070A1
WO2007037070A1 PCT/JP2006/315419 JP2006315419W WO2007037070A1 WO 2007037070 A1 WO2007037070 A1 WO 2007037070A1 JP 2006315419 W JP2006315419 W JP 2006315419W WO 2007037070 A1 WO2007037070 A1 WO 2007037070A1
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Masaki Yamamoto
Go Mori
Hideharu Tajima
Nobuyuki Takamori
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Sharp Kabushiki Kaisha
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Abstract

An optical information recording medium (60) comprises a transparent layer (10), a first information recording layer (20), an intermediate layer (30) mainly made of resin, a second information recording layer (40), and a substrate (50) formed in this order from the reproducing light beam input side. Reproducing films (21, 41) enabling reproduction of a signal of a mark length shorter than the optical resolution limit that a reproducing device for reproduction with a reproducing light beam of a blue laser has and essential at least for super-resolution reproduction are formed on both the first and second information recording layers (20, 40), respectively. With this, without needing any reflective film that has been required for conventional super-resolution media using a mask layer, while reducing the cost up to a lowest limit, a two-layer super-resolution medium having a high reproduction durability and a higher recording density is realized.

Description

明 細 書  Specification
光情報記録媒体、及び光情報記録媒体再生装置  Optical information recording medium and optical information recording medium reproducing apparatus
技術分野  Technical field
[0001] 本発明は、情報を光学的に再生する光情報記録媒体、及び該光情報記録媒体を 再生する光情報記録媒体再生装置に関するものである。  [0001] The present invention relates to an optical information recording medium for optically reproducing information, and an optical information recording medium reproducing apparatus for reproducing the optical information recording medium.
背景技術  Background art
[0002] 近年、光情報記録媒体においては、画像等の膨大な情報の処理のために、ますま す情報記録密度を増加させることが求められている。その解決法として、再生時にお ける情報処理向上技術の一つである超解像技術と、情報記録層を多層化し、それぞ れの情報記録層に対して記録 Z再生可能である多層光情報記録媒体とがある。超 解像技術とは、再生装置が有する光学解像限界以下のマーク長 (レーザ波長及び光 学系の開口数によって決まる)の信号を再生する技術である。これによつて、より小さ なマーク長を使用した記録が可能となるので、実質的な記録密度が増加する。このこ とは、高密度化する際に問題となるのが再生技術であり、記録技術ではないことに起 因する。  In recent years, in optical information recording media, it is required to increase the information recording density more and more in order to process enormous information such as images. As a solution to this problem, super-resolution technology, which is one of the information processing improvement technologies during reproduction, and multilayer optical information that can be recorded and reproduced on each information recording layer with multiple information recording layers. There is a recording medium. Super-resolution technology is a technology that reproduces a signal with a mark length (determined by the laser wavelength and the numerical aperture of the optical system) below the optical resolution limit of the playback device. As a result, recording using a smaller mark length becomes possible, so that the substantial recording density increases. This is due to the fact that the reproduction technology becomes a problem when the density is increased, not the recording technology.
[0003] これらの技術にっ 、て、まず、超解像技術より説明する。従来、再生装置の有する 光学解像限界より短いマーク長の信号を再生するための多くの光情報記録媒体 (以 降、超解像媒体と呼ぶ)が提案されてきた。  [0003] These technologies will be described first from the super-resolution technology. Conventionally, many optical information recording media (hereinafter referred to as super-resolution media) for reproducing signals having a mark length shorter than the optical resolution limit of a reproducing apparatus have been proposed.
[0004] このような技術としては、例えば特許文献 1に開示されているように、温度によって 光学特性 (透過率)が変化するサーモク口ミック色素層をマスク層として、反射膜の再 生光入射面上に設けるものが知られている。また、この技術は、書き換え可能な光記 録媒体のみならず、基板の凹凸により書き換え不能な情報が記録されている再生専 用の光記録媒体にも適用可能である。なお、マスク層とは、後述するレーザスポットを 擬似的に限縮するなどの超解像現象を引き起こす層のことである。  [0004] As such a technique, as disclosed in Patent Document 1, for example, a thermochromic dye layer whose optical characteristics (transmittance) change according to temperature is used as a mask layer, and incident light from a reflective film is incident. What is provided on the surface is known. Further, this technique is applicable not only to a rewritable optical recording medium but also to a reproduction-only optical recording medium in which information that cannot be rewritten due to unevenness of the substrate is recorded. Note that the mask layer is a layer that causes a super-resolution phenomenon such as artificially limiting a laser spot described later.
[0005] 特許文献 1に開示されているような光記録媒体では、反射層より再生光入射面に近 い再生層上の再生レーザスポット内に、温度又は光強度分布が生じ、それにより前 記レーザスポット内に光学特性の分布が生じる。例えば、温度が高くなる場合に透過 率が高くなる材料を再生層に用いて 、る場合、温度が高 、部分の透過率のみが高く なるので、反射層面上に生じるレーザスポットが擬似的に縮小される。これにより、結 果的に光学解像限界より短いマーク長の信号を再生することができる。 [0005] In an optical recording medium as disclosed in Patent Document 1, temperature or light intensity distribution is generated in a reproduction laser spot on a reproduction layer closer to the reproduction light incident surface than the reflection layer. A distribution of optical properties occurs in the laser spot. For example, transmission when the temperature is high When a material having a high rate is used for the reproducing layer, since the temperature is high and only the transmittance of the portion is high, the laser spot generated on the reflective layer surface is reduced in a pseudo manner. As a result, a signal having a mark length shorter than the optical resolution limit can be reproduced.
[0006] 次に、多層光情報記録媒体について説明する。多層光情報記録媒体は、例えば、 特許文献 2に開示されているように、再生光入射面より、第 1情報記録層、第 2情報 記録層と!/、う順に情報記録層を設け、主に樹脂からなる中間層により各情報記録層 を分離した構造となっている。このような構造では、再生光入射面より最も遠い情報 記録層以外は、再生光が透過するような半透明層になっているので、再生光入射面 力 入射した再生光力 各情報記録層にフォーカスされる。したがって、この多層光 情報記録媒体は、情報記録層の総数が増えるにしたがって情報記録密度を増加さ せることができる光情報記録媒体と言える。  [0006] Next, a multilayer optical information recording medium will be described. For example, as disclosed in Patent Document 2, a multilayer optical information recording medium is provided with an information recording layer in the order of the first information recording layer, the second information recording layer, and the like from the reproduction light incident surface. In addition, each information recording layer is separated by an intermediate layer made of resin. In such a structure, the information recording layer other than the information recording layer farthest from the reproducing light incident surface is a translucent layer through which the reproducing light is transmitted. Therefore, the reproducing light incident surface force is incident on the reproducing light force incident on each information recording layer. Focused. Therefore, this multilayer optical information recording medium can be said to be an optical information recording medium capable of increasing the information recording density as the total number of information recording layers increases.
[0007] このように、従来、光情報記録媒体の高密度化の手法としては上記の 2つの手法が 提案されてきた。  [0007] As described above, the above two methods have been conventionally proposed as a method for increasing the density of an optical information recording medium.
特許文献 1:日本国公開特許公報「特開 2001— 35012号公報(2001年 2月 9日公 開)」  Patent Document 1: Japanese Patent Gazette “JP 2001-35012 (published on February 9, 2001)”
特許文献 2 :日本国公開特許公報「特開 2000— 235733号公報(2000年 8月 29日 公開)」  Patent Document 2: Japanese Patent Publication “JP 2000-235733 A (published August 29, 2000)”
発明の開示  Disclosure of the invention
[0008] 近年、再生光のレーザスポットをより小さく出来ることから、再生用レーザが赤色レ 一ザ (約 635nm)から青色レーザ(約 405nm、本願においては 400nm以上 410nm 以下とする)へと、短波長化に移行しつつあり、情報再生時における更なる高密度情 報処理ィ匕が図られるようになってきている。ゆえに、本願では、青色レーザ光を再生 光として利用した。  [0008] In recent years, since the laser spot of the reproduction light can be made smaller, the reproduction laser has been shortened from a red laser (about 635 nm) to a blue laser (about 405 nm, which is 400 nm or more and 410 nm or less in the present application). With the shift to wavelength, further high-density information processing during information reproduction is becoming possible. Therefore, in the present application, blue laser light is used as reproduction light.
[0009] し力しながら、背景技術に挙げた特許文献 1, 2には、以下のような問題点があった  [0009] However, Patent Documents 1 and 2 listed as background art have the following problems.
[0010] まず、超解像再生技術にお!、ては、平面的な領域での記録密度向上技術であるた め、記録密度の向上には限界がある。例えば、図 21は、青色レーザ光の波長である 波長 404nm半導体レーザと、 N. A. (開口率) 0. 85の光学系とを有するディスク測 定器で、ピット基板上に Siを 50nm積層した単層超解像光情報記録媒体の OTFを 測定した結果である。なお、 OTFは、超解像性能を表す指標であり、 CZN (信号品 質を表す評価基準)の記録マーク長 (再生専用光情報記録媒体の場合はピット長と 同意)依存性を表す。図 21より、斜線で示す範囲に存在する再生光学系における理 論的な解像限界よりも、上記単層超解像光情報記録媒体の解像限界は小さくなつて いる力 限界があることがわかる。すなわち、超解像再生技術においては、記録密度 の向上には限界がある。 First, the super-resolution reproduction technique is a technique for improving the recording density in a planar area, so there is a limit to the improvement of the recording density. For example, FIG. 21 shows a disk measurement having a semiconductor laser having a wavelength of 404 nm, which is the wavelength of blue laser light, and an optical system having an NA (aperture ratio) of 0.85. This is the result of measuring the OTF of a single-layer super-resolution optical information recording medium with 50 nm of Si layered on a pit substrate using a measuring instrument. Note that OTF is an index that represents super-resolution performance, and represents the dependency of CZN (an evaluation standard that represents signal quality) on the recording mark length (in the case of a read-only optical information recording medium, agrees with the pit length). FIG. 21 shows that the resolution limit of the single-layer super-resolution optical information recording medium is smaller than the theoretical resolution limit in the reproducing optical system existing in the hatched area. In other words, there is a limit to the improvement in recording density in super-resolution reproduction technology.
[0011] 特許文献 1に代表されるようなマスク型超解像再生技術においては、レーザスポット を擬似的に縮小するため、再生光の利用効率が下がる (反射光が当然少なくなる)。 このため、レーザスポットの縮小に限界が生じることになり、図 21に示したものと同様 に、記録密度の向上はあまり望めない。また、通常、マスク層に使われる材料としては 色素や相変化材料などが多ぐこれらの材料が、光又は熱を吸収することにより組成 変化や相変化するため、再生耐久性に乏しいという問題もあった。さらに、通常、マス ク層に使われる材料としては色素や相変化材料などが多いため、通常光情報記録媒 体に使用される膜材料に比べて高価である。したがって、超解像媒体が、通常の光 情報記録媒体 (情報記録層は 1層)より高価になるという問題もあった。  [0011] In the mask-type super-resolution reproduction technique represented by Patent Document 1, the laser spot is reduced in a pseudo manner, so that the utilization efficiency of the reproduction light is reduced (the reflected light is naturally reduced). For this reason, there is a limit to the reduction of the laser spot, and as with the case shown in FIG. In addition, the materials used for the mask layer are usually dyes and phase change materials, and these materials change in composition and phase by absorbing light or heat, so that there is a problem of poor reproduction durability. there were. In addition, since the materials used for the mask layer are usually pigments and phase change materials, they are more expensive than the film materials normally used for optical information recording media. Therefore, the super-resolution medium is more expensive than a normal optical information recording medium (one information recording layer).
[0012] 一方、多層光情報記録媒体は、その生産が困難であるため、非常に高価な記録媒 体となるという問題があった。以下に、生産が困難な理由を、多層光情報記録媒体の 生産工程の一例を挙げて説明する。  On the other hand, since the multilayer optical information recording medium is difficult to produce, there is a problem that it becomes a very expensive recording medium. The reason why the production is difficult will be described below with an example of the production process of the multilayer optical information recording medium.
[0013] 多層光情報記録媒体の生産においては、まず、真空中で通常スパッタリング等によ り基板上に記録膜や反射膜等の第 1情報記録層を成膜し、その後、当該基板を大気 中に戻した後、上記第 1情報記録層上に紫外線硬化榭脂等をスピンコートする。次 に、プラスチックスタンパを貼り合わせた後、紫外線を照射して硬化させ、プラスチッ タスタンパを剥離することにより、中間層の表面に、トツラキング用の溝や、その配列 により情報を記録されているプリピット等の凹凸を転写(2P法と呼ばれる。(photo poly marization法の略称。)する。さらに、上記中間層上に第 2情報記録層を成膜し、 2P 法により凹凸を転写した中間層を積層する。このような工程を情報記録層の数に応じ た回数繰り返し、最後にカバー層(透光層)を設ける。 [0014] このように、多層光情報記録媒体は、真空中と大気中とを何度も繰り返し行き来す るといった非常に複雑な工程で生産される。また、多層光情報記録媒体の各層は、 各層の反射率を調整するため、異なる膜構造となっているので、通常の大量生産時 には、多層光情報記録媒体の各層が生産ラインを一方向に進みながら形成される。 このため、情報記録層の層数だけ真空成膜装置が必要となる。しかも、真空成膜装 置は非常に高価であり、ランニングコストも光情報記録媒体生産に使用する装置の 中では高価である。 [0013] In the production of a multilayer optical information recording medium, first, a first information recording layer such as a recording film or a reflective film is formed on a substrate by sputtering or the like in a vacuum, and then the substrate is placed in the atmosphere. After returning to the inside, an ultraviolet curable resin or the like is spin-coated on the first information recording layer. Next, after sticking the plastic stamper, it is cured by irradiating with ultraviolet rays, and the plastic stamper is peeled off, so that the groove for the tracking and the prepits in which information is recorded by the arrangement are formed on the surface of the intermediate layer. The second information recording layer is formed on the intermediate layer, and the intermediate layer is transferred with the unevenness transferred by the 2P method. Such a process is repeated a number of times according to the number of information recording layers, and finally a cover layer (translucent layer) is provided. [0014] As described above, the multilayer optical information recording medium is produced by a very complicated process of going back and forth between the vacuum and the atmosphere over and over again. In addition, each layer of the multilayer optical information recording medium has a different film structure in order to adjust the reflectance of each layer. Therefore, during normal mass production, each layer of the multilayer optical information recording medium is unidirectional along the production line. Formed while proceeding. For this reason, as many vacuum film forming apparatuses as the number of information recording layers are required. In addition, the vacuum film forming apparatus is very expensive, and the running cost is also expensive among apparatuses used for producing optical information recording media.
[0015] このような理由により、多層光情報記録媒体は、非常に高価な記録媒体となるので ある。このことは、実際に現在(2005.01.31)発売されている Blu-ray Discにおける片 面 2層 Disc (記録容量: 50GB)の価格が、単層 Disc (記録容量: 25GB)の 2倍以上で あることからも明らかである。なお、一般に、これらの生産工程の複雑ィ匕によるコストア ップは、情報記録層に使用する材料の変更によるコストアップよりはるかに大きいもの である。  [0015] For these reasons, the multilayer optical information recording medium becomes a very expensive recording medium. This means that the price of a single-sided dual-layer disc (recording capacity: 50 GB) in the Blu-ray Disc currently on sale (2005.01.31) is more than twice that of a single-layer disc (recording capacity: 25 GB). It is clear from some. In general, the cost increase due to the complexity of these production processes is much larger than the cost increase due to the change of the material used for the information recording layer.
[0016] 上記のように、従来の光情報記録媒体における情報記録密度の向上法には、多く の課題があった。  [0016] As described above, there are many problems in the method for improving the information recording density in the conventional optical information recording medium.
[0017] 本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、安価であり、かつ再生耐久性 に優れた青色レーザ光の再生光に対する超解像再生技術を用いた多層光情報記 録媒体を提供することを目的として ヽる。  [0017] The present invention has been made in view of the above problems, and is a multilayer optical information recording using super-resolution reproduction technology for reproduction light of blue laser light that is inexpensive and excellent in reproduction durability. Speak for the purpose of providing media.
[0018] 本発明に係る光情報記録媒体は、上記課題を解決するために、再生光の入射面 側から、少なくとも、透光層と、第 1情報記録層と、主に樹脂からなる中間層と、第 2情 報記録層と、基板とがこの順に積層されている光情報記録媒体であって、上記第 1及 び第 2情報記録層の両層に、青色レーザ光の再生光で再生を行う再生装置の有す る光学解像限界より短いマーク長の信号を再生可能とする無機物から成る再生膜が 含まれて 、ることを特徴として!/、る。  [0018] In order to solve the above-described problems, the optical information recording medium according to the present invention includes at least a translucent layer, a first information recording layer, and an intermediate layer mainly made of resin from the incident surface side of the reproduction light. And an information recording medium in which the second information recording layer and the substrate are laminated in this order, and are reproduced by the reproduction light of the blue laser light on both the first and second information recording layers. A playback film made of an inorganic material that enables playback of a signal with a mark length shorter than the optical resolution limit of the playback device that performs playback is included! /
[0019] 上記の構成では、第 1情報記録層に記録された情報を再生する時には、青色レー ザ光の再生光が透光層を通して照射されて第 1情報記録層にフォーカスされる。そし て、第 1情報記録層の解像限界以下のマーク長で記録された情報を読み出すことが できる。 [0020] また、第 2情報記録層に記録された情報を再生する時には、青色レーザ光の再生 光が、透光層と、第 1情報記録層と、中間層とを透過して照射され、第 2情報記録層 にフォーカスされる。そして、第 2情報記録層の解像限界以下のマーク長で記録され た情報を読み出すことができる。 In the above configuration, when reproducing the information recorded on the first information recording layer, the reproduction light of blue laser light is irradiated through the translucent layer and focused on the first information recording layer. Then, it is possible to read out information recorded with a mark length less than the resolution limit of the first information recording layer. [0020] Further, when reproducing the information recorded in the second information recording layer, the reproduction light of the blue laser light is irradiated through the translucent layer, the first information recording layer, and the intermediate layer, Focus on the second information recording layer. Then, information recorded with a mark length less than the resolution limit of the second information recording layer can be read.
[0021] これにより、第 1及び第 2情報記録層ともに、実質的な記録密度 (再生可能な記録 密度の意)を解像限界により制限された記録密度より高められる。それゆえ、特許文 献 1の超解像媒体よりも、情報記録層が多いだけ、記録容量を向上させることができ る。更に、同じ記録容量を有する記録媒体を作製する場合、各情報記録層が解像限 界により制限された記録密度である特許文献 2の多層光情報記録媒体よりも、記録 層数を減少させることが可能になる。  [0021] Thereby, in both the first and second information recording layers, the substantial recording density (meaning the reproducible recording density) can be made higher than the recording density limited by the resolution limit. Therefore, as compared with the super-resolution medium of Patent Document 1, the recording capacity can be improved by having more information recording layers. Furthermore, when producing recording media having the same recording capacity, the number of recording layers can be reduced as compared with the multilayer optical information recording medium of Patent Document 2 in which each information recording layer has a recording density limited by the resolution limit. Is possible.
[0022] このように、第 1及び第 2情報記録層は、超解像効果により情報読み取りが可能に なる。これにより、第 1及び第 2吸光膜の記録密度が解像限界以下となるため、製造 コストに対して光情報記録媒体の記録容量を向上させることが可能になり、コストパフ オーマンスの高い記録媒体を提供することができる。それゆえ、第 1及び第 2情報記 録層を備えることで、同じ記録容量を有する記録媒体を作製する場合、特許文献 2の 多層光情報記録媒体よりも記録層数を減少させることが可能になる。したがって、製 造ラインにおいて、記録層をスパッタリングで形成するための高価な真空装置の台数 を削減することができ、記録層を増加させるのに伴う記録媒体の製造コストを大幅に 低減させることができる。  As described above, the first and second information recording layers can read information by the super-resolution effect. As a result, the recording density of the first and second light-absorbing films is below the resolution limit, so that the recording capacity of the optical information recording medium can be improved with respect to the manufacturing cost, and a recording medium with high cost performance can be obtained. Can be provided. Therefore, by providing the first and second information recording layers, when producing a recording medium having the same recording capacity, the number of recording layers can be reduced as compared with the multilayer optical information recording medium of Patent Document 2. Become. Therefore, in the production line, the number of expensive vacuum devices for forming the recording layer by sputtering can be reduced, and the production cost of the recording medium accompanying the increase in the recording layer can be greatly reduced. .
[0023] また、特許文献 1のようなマスク層を用いた超解像技術では、マスク層の他にさらに 反射膜が必要である。これに対し、上記構成によれば、後に実施例において示すが 、青色レーザ光の再生光で再生を行う再生装置の有する光学解像限界より短!、マー ク長の信号を再生可能とするとともに、少なくとも超解像再生を行うためには、反射膜 は必要ではなぐ再生膜のみを用いれば良いので、コストの低減が可能となる。  [0023] Further, in the super-resolution technique using the mask layer as in Patent Document 1, a reflective film is further required in addition to the mask layer. On the other hand, according to the above configuration, as will be described later in the embodiment, it is possible to reproduce a signal having a mark length shorter than the optical resolution limit of a reproducing apparatus that reproduces with the reproducing light of blue laser light. In order to perform at least super-resolution reproduction, it is only necessary to use a reproduction film that is not necessary as a reflection film, so that the cost can be reduced.
[0024] また、第 1及び第 2再生膜の材料は、後に実施例で示すが、無機物であり、一般的 に有機物より安定である。また、後に実施例で示すが、第 1及び第 2再生膜は青色レ 一ザで良!ゝ超解像特性及び再生耐久性を示す。  [0024] The materials of the first and second regenerative films are inorganic materials, which are generally more stable than organic materials, as will be described later in Examples. Further, as will be shown later in Examples, the first and second reproduction films are blue lasers and exhibit good super-resolution characteristics and reproduction durability.
[0025] また、後に実施例で示すが、特許文献 1に示されるようなレーザ光のパワーによつ てピット部の平均反射率が変わるマスク型超解像媒体と異なり、第 1及び第 2再生膜 は再生光であるレーザ光のパワーによって再生光であるレーザ光の波長に対するピ ット部の平均反射率がほとんど変化しない。 [0025] Further, as will be described later in an embodiment, the power of laser light as shown in Patent Document 1 is used. Unlike the mask-type super-resolution medium, in which the average reflectance of the pit part changes, the first and second reproduction films have an average of the pit part with respect to the wavelength of the laser beam as the reproduction light, depending on the power of the laser beam as the reproduction light Reflectance hardly changes.
[0026] マスク型超解像媒体では、レーザ光のパワーが大きくなると単位面積あたりの光量 が多くなり、それに伴う温度上昇も大きくなるため、擬似的なレーザスポットが変化す ることにより、レーザ光のパワーによる反射率変化が生じる。情報記録層にフォーカス サーボを引き込む際にも同様の現象が起こり、ピックアップの焦点位置に対する情報 記録層のデフォーカス量が大きいときは、情報記録層の単位面積あたりの光量が少 ないため、それに伴う温度上昇も小さい。一方、デフォーカス量が小さくなると、情報 記録層の単位面積あたりの光量が多くなるため、それに伴う温度上昇も大きくなるの で、擬似的なレーザスポットが変化して、反射率変化が生じる。このため、マスク型超 解像媒体では、情報記録層にフォーカスサーボを引き込む際に、ピックアップと情報 記録層との相対位置により情報記録層の反射率が変化することから、フォーカスエラ 一信号 (Sカーブ)にひずみが生じるので、フォーカスエラー信号をトータル光量で除 算して規格ィ匕するための回路が必要となる。これに対し、本願の光情報記録媒体で は、レーザ光の波長に対するピット部の平均反射率が温度によりほとんど変化しない ために、上記の回路が必要ではなくなる。このため、再生装置が安価になるという効 果がある。 [0026] In the mask type super-resolution medium, the amount of light per unit area increases as the power of the laser beam increases, and the temperature rise associated therewith increases. The reflectance changes due to the power of. A similar phenomenon occurs when the focus servo is pulled into the information recording layer. When the amount of defocus of the information recording layer relative to the focal point of the pickup is large, the amount of light per unit area of the information recording layer is small, which is accompanied by this. Temperature rise is small. On the other hand, as the defocus amount decreases, the amount of light per unit area of the information recording layer increases, and the accompanying temperature increase also increases, so that the pseudo laser spot changes and the reflectance changes. For this reason, in the mask-type super-resolution medium, when the focus servo is pulled into the information recording layer, the reflectivity of the information recording layer changes depending on the relative position between the pickup and the information recording layer. Since a curve is distorted, a circuit is required to divide the focus error signal by the total light quantity and to standardize it. On the other hand, in the optical information recording medium of the present application, since the average reflectance of the pit portion with respect to the wavelength of the laser beam hardly changes depending on the temperature, the above circuit is not necessary. This has the effect of reducing the cost of the playback device.
[0027] また、マスク型超解像媒体では、再生光であるレーザ光のパワーにより擬似的にビ 一ムスポットサイズが変化するためにピット部の平均反射率が変化するのだ力 マー ク長によって最適なビームスポットが異なるため、最適なレーザパワーもマーク長によ つて異なる。例えばマスク型超解像媒体では、解像限界以下のマークが再生可能と なるレーザパワーでは解像限界よりも長いマーク長の信号品質が落ちる。これに対し 、本願の光情報記録媒体では、解像限界以下のマークが再生可能となるレーザパヮ 一でも解像限界よりも長いマーク長の信号品質が落ちることはない。これにより、マス ク型超解像媒体と比較して、ジッタの良好な光情報記録媒体が可能になるという効果 もある。それゆえ、特許文献 1に開示されている超解像技術と比較して、再生耐久性 の向上した超解像技術が可能になる。 [0028] また、本発明に係る光情報記録媒体は、再生光入射面側から、少なくとも、透光層 と、第 1情報記録層と、主に樹脂からなる中間層と、第 2情報記録層と、基板とがこの 順に積層されている光情報記録媒体であって、上記第 1情報記録層に、青色レーザ 光の再生光で再生を行う再生装置の有する光学解像限界より短いマーク長の信号を 再生可能とする無機物から成る再生膜が含まれていることを特徴とすることが出来る [0027] In the mask type super-resolution medium, the average reflectance of the pit portion changes because the beam spot size changes in a pseudo manner depending on the power of the laser beam that is the reproduction light. Since the optimum beam spot varies depending on the laser beam, the optimum laser power varies depending on the mark length. For example, in a mask-type super-resolution medium, the signal quality with a mark length longer than the resolution limit deteriorates at the laser power at which marks below the resolution limit can be reproduced. On the other hand, in the optical information recording medium of the present application, the signal quality of the mark length longer than the resolution limit does not deteriorate even in the laser par where the mark below the resolution limit can be reproduced. This also has the effect that an optical information recording medium with better jitter can be obtained compared to a mask type super-resolution medium. Therefore, compared with the super-resolution technique disclosed in Patent Document 1, a super-resolution technique with improved reproduction durability becomes possible. [0028] Further, the optical information recording medium according to the present invention includes at least a translucent layer, a first information recording layer, an intermediate layer mainly made of resin, and a second information recording layer from the reproduction light incident surface side. And an optical information recording medium in which a substrate is laminated in this order, and the first information recording layer has a mark length shorter than the optical resolution limit of a reproducing apparatus that reproduces with blue laser beam reproducing light. It can be characterized in that it contains a regenerative film made of an inorganic material that can regenerate the signal.
[0029] 上記の構成では、第 1情報記録層のみ超解像効果による情報読み取りが可能とな るため、特許文献 1の超解像媒体よりも、記録容量を向上させることができるし、特許 文献 2の多層光情報記録媒体よりも、記録層数を減少させることが可能になるが、第 1情報記録層及び第 2情報記録層の両層に再生膜を有する前記の構成よりも記録容 量は少なくなる。し力しながら、第 1及び第 2情報記録層両層が再生膜を含む構成で は、第 2情報記録層において超解像特性や再生耐久性を保つような条件で、第 1情 報記録層の条件を決定しなければいけないのに対し、上記の構成では、第 1情報記 録層の条件の制限が緩くなるため、第 1情報記録層の再生膜の材料や膜厚の自由 度が向上する。 [0029] With the above configuration, only the first information recording layer can read information by the super-resolution effect, so that the recording capacity can be improved compared to the super-resolution medium of Patent Document 1, and the patent Although the number of recording layers can be reduced as compared with the multilayer optical information recording medium of Document 2, the recording capacity can be improved as compared with the above-described configuration in which both the first information recording layer and the second information recording layer have reproducing films. The amount is reduced. However, when both the first and second information recording layers include a reproducing film, the first information recording layer is recorded under conditions that maintain the super-resolution characteristics and the reproduction durability in the second information recording layer. Whereas the conditions of the layer must be determined, in the above configuration, the restrictions on the conditions of the first information recording layer are relaxed, so the degree of freedom of the material and film thickness of the reproduction film of the first information recording layer is reduced. improves.
[0030] また、本発明に係る光情報記録媒体は、再生光入射面側から、少なくとも、透光層 と、第 1情報記録層と、主に樹脂からなる中間層と、第 2情報記録層と、基板とがこの 順に積層されている光情報記録媒体であって、上記第 2情報記録層に、青色レーザ 光の再生光で再生を行う再生装置の有する光学解像限界より短いマーク長の信号を 再生可能とする無機物から成る再生膜が含まれていることを特徴とすることが出来る  [0030] Further, the optical information recording medium according to the present invention includes at least a translucent layer, a first information recording layer, an intermediate layer mainly made of resin, and a second information recording layer from the reproduction light incident surface side. And an optical information recording medium in which the substrate is laminated in this order, and the second information recording layer has a mark length shorter than the optical resolution limit of a reproducing apparatus that reproduces with the reproducing light of blue laser light. It can be characterized in that it contains a regenerative film made of an inorganic material that can regenerate the signal.
[0031] 上記の構成では、第 1情報記録層のみ再生膜を含む構成と同様、第 1情報記録層 及び第 2情報記録層の両層に再生膜を有する前記の構成よりも記録容量は少なくな るが、第 2情報記録層の再生膜の材料や膜厚の自由度が向上する。 [0031] In the above configuration, the recording capacity is smaller than in the above configuration in which the first information recording layer and the second information recording layer are both provided with the reproducing film, as in the configuration in which only the first information recording layer includes the reproducing film. However, the degree of freedom of the material and film thickness of the reproducing film of the second information recording layer is improved.
[0032] 本発明のさらに他の目的、特徴、および優れた点は、以下に示す記載によって十 分わ力るであろう。また、本発明の利益は、添付図面を参照した次の説明で明白にな るであろう。  [0032] Still other objects, features, and advantages of the present invention will be sufficiently enhanced by the following description. The benefits of the present invention will become apparent from the following description with reference to the accompanying drawings.
図面の簡単な説明 [図 1]本発明の実施の形態 1の 2層超解像光情報記録媒体の構造を示す断面図であ る。 Brief Description of Drawings FIG. 1 is a cross-sectional view showing the structure of a double-layer super-resolution optical information recording medium according to Embodiment 1 of the present invention.
[図 2(a)]上記光情報記録媒体における中間層に設けられるプリピットの構造を示す斜 視図である。  FIG. 2 (a) is a perspective view showing a structure of prepits provided in an intermediate layer in the optical information recording medium.
[図 2(b)]上記光情報記録媒体における基板に設けられるプリピットの構造を示す斜視 図である。  FIG. 2 (b) is a perspective view showing the structure of prepits provided on the substrate in the optical information recording medium.
[図 3]本発明の実施の形態 1の実施例 1の光情報記録媒体に対する比較例 1の光情 報記録媒体の構造を示す断面図である。  FIG. 3 is a cross-sectional view showing the structure of an optical information recording medium of Comparative Example 1 relative to the optical information recording medium of Example 1 of Embodiment 1 of the present invention.
[図 4(a)]実施例 1及び比較例 1の光情報記録媒体における第 1情報記録層において の、それぞれのマーク長に対する CZNの依存性 (OTF)を示す特性図である。  FIG. 4 (a) is a characteristic diagram showing CZN dependence (OTF) for each mark length in the first information recording layer in the optical information recording media of Example 1 and Comparative Example 1.
[図 4(b)]実施例 1及び比較例 1の光情報記録媒体における第 2情報記録層において 、それぞれのマーク長に対する CZNの依存性 (OTF)を示す特性図である。 FIG. 4 (b) is a characteristic diagram showing the dependence (OTF) of CZN on each mark length in the second information recording layer in the optical information recording medium of Example 1 and Comparative Example 1.
[図 5]実施例 1の光情報記録媒体における、再生回数に対する 0.: mマーク長の C ZNの依存性を示す特性図である。 FIG. 5 is a characteristic diagram showing the dependency of the 0 .: m mark length on C ZN with respect to the number of reproductions in the optical information recording medium of Example 1.
[図 6]本発明の実施の形態 1における実施例 2の光情報記録媒体の構造を示す断面 図である。  FIG. 6 is a cross-sectional view showing a structure of an optical information recording medium of Example 2 according to Embodiment 1 of the present invention.
[図 7]実施例 1、実施例 3— 1、実施例 3— 2及び比較例 2の光情報記録媒体における 第 1情報記録層においての、それぞれのマーク長に対する CZNの依存性 (OTF)を 示す特性図である。  [FIG. 7] The dependence (OTF) of CZN on the respective mark lengths in the first information recording layer in the optical information recording media of Example 1, Example 3-1, Example 3-2 and Comparative Example 2. FIG.
[図 8]実施例 4及び実施例 7の光情報記録媒体における、第 1情報記録層の透過率 に対する第 1情報記録層の 0. 1 μ mマーク長の CZNの依存性を示す特性図である  FIG. 8 is a characteristic diagram showing the dependence of CZN of the 0.1 μm mark length of the first information recording layer on the transmittance of the first information recording layer in the optical information recording media of Example 4 and Example 7. is there
[図 9]実施例 4及び実施例 7の光情報記録媒体における 3種の第 1情報記録層の透 過率においての、再生回数に対する第 1情報記録層の 0. 1 mマーク長の CZNの 依存性を示す特性図である。 [FIG. 9] In the optical information recording media of Example 4 and Example 7, the transmission rate of the three types of first information recording layer is 0.1M mark length CZN of the first information recording layer with respect to the number of reproductions. It is a characteristic view which shows dependence.
[図 10]実施例 3及び実施例 4の光情報記録媒体における、第 1情報記録層の透過率 に対する第 2情報記録層の 0. 1 μ mマーク長の CZNの依存性を示す特性図である [図 11]実施例 4及び実施例 7の光情報記録媒体における、第 1再生膜厚に対する第 1情報記録層の透過率の依存性を示す特性図である。 FIG. 10 is a characteristic diagram showing the CZN dependence of the 0.1 μm mark length of the second information recording layer on the transmittance of the first information recording layer in the optical information recording media of Example 3 and Example 4. is there FIG. 11 is a characteristic diagram showing the dependency of the transmittance of the first information recording layer on the first reproduction film thickness in the optical information recording media of Example 4 and Example 7.
[図 12]実施例 5の光情報記録媒体における、第 2再生膜厚に対する第 2情報記録層 の 0. 1 μ mマーク長の CZNの依存性を示す特性図である。  FIG. 12 is a characteristic diagram showing the CZN dependence of the 0.1 μm mark length of the second information recording layer on the second reproduction film thickness in the optical information recording medium of Example 5.
[図 13]実施例 5の光情報記録媒体における 3種の第 2再生膜の膜厚においての、再 生回数に対する第 2情報記録層の 0. 1 μ mマーク長の CZNの依存性を示す特性 図である。  FIG. 13 shows the dependence of CZN of the 0.1 μm mark length of the second information recording layer on the number of reproductions in the film thicknesses of the three second reproducing films in the optical information recording medium of Example 5. FIG.
[図 14]本発明の実施の形態 1における実施例 6の光情報記録媒体の構造を示す断 面図である。  FIG. 14 is a cross-sectional view showing a structure of an optical information recording medium of Example 6 according to Embodiment 1 of the present invention.
[図 15]実施例 6及び実施例 1の光情報記録媒体における、再生回数に対する第 1情 報記録層の 0. 1 μ mマーク長の CZNの依存性を示す特性図である。  FIG. 15 is a characteristic diagram showing the CZN dependence of the 0.1 μm mark length of the first information recording layer on the number of reproductions in the optical information recording media of Example 6 and Example 1.
[図 16]実施例 6及び実施例 1の光情報記録媒体における、再生回数に対する第 2情 報記録層の 0. 1 μ mマーク長の CZNの依存性を示す特性図である。  FIG. 16 is a characteristic diagram showing the CZN dependence of the 0.1 μm mark length of the second information recording layer on the number of reproductions in the optical information recording media of Example 6 and Example 1.
[図 17]本発明の実施の形態 2の光情報記録媒体の構造を示す断面図である。  FIG. 17 is a cross-sectional view showing a structure of an optical information recording medium according to the second embodiment of the present invention.
[図 18]本発明の実施の形態 3の光情報記録媒体の構造を示す断面図である。  FIG. 18 is a cross-sectional view showing a structure of an optical information recording medium according to Embodiment 3 of the present invention.
[図 19]本発明の実施の形態 4の光情報記録媒体再生装置の概略構成を示す図であ る。  FIG. 19 is a diagram showing a schematic configuration of an optical information recording medium reproducing device in a fourth embodiment of the invention.
[図 20]上記光情報記録媒体再生装置における光ピックアップ装置の概略構成を示 す図である。  FIG. 20 is a diagram showing a schematic configuration of an optical pickup device in the optical information recording medium reproducing device.
[図 21]単層の超解像技術には記録容量の向上に限界があることを示す図である。 符号の説明  FIG. 21 is a diagram showing that there is a limit to the improvement in recording capacity in single-layer super-resolution technology. Explanation of symbols
10 透光層  10 Translucent layer
11 ポリカーボネートフィルム  11 Polycarbonate film
12 透明粘着材  12 Transparent adhesive
13 透明基板  13 Transparent substrate
20, 80 第 1情報記録層  20, 80 First information recording layer
21 第 1再生膜  21 First regeneration membrane
22 第 1保護膜 30 中間層 22 First protective film 30 middle tier
31 プリピット  31 Prepit
40, 90 第 2情報記録層  40, 90 Second information recording layer
41 第 2再生膜  41 Second regeneration membrane
42 第 2保護膜  42 Second protective film
50 基板  50 substrates
51 プリピット  51 Prepit
60, 61, 62 光情報記録媒体  60, 61, 62 Optical information recording media
81, 91 反射膜  81, 91 Reflective film
100 光情報記録媒体再生装置  100 Optical information recording medium playback device
102 光ピックアップ装置 (光学読取手段)  102 Optical pickup device (optical reading means)
発明を実施するための最良の形態  BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
[0035] 〔実施の形態 1〕  [Embodiment 1]
本発明の一実施形態について図 1ないし図 16に基づいて説明すると、以下の通り である。  One embodiment of the present invention is described below with reference to FIGS.
[0036] 図 1は、本実施の形態に係る 2層超解像の光情報記録媒体 60の断面構造を示して いる。  FIG. 1 shows a cross-sectional structure of a two-layer super-resolution optical information recording medium 60 according to the present embodiment.
[0037] 図 1に示すように、光情報記録媒体 60は、透光層 10と、第 1情報記録層 20と、中 間層 30と、第 2情報記録層 40と、基板 50とを備え、光入射面からこの順に積層され ている。  As shown in FIG. 1, the optical information recording medium 60 includes a translucent layer 10, a first information recording layer 20, an intermediate layer 30, a second information recording layer 40, and a substrate 50. They are stacked in this order from the light incident surface.
[0038] 透光層 10は、ポリカーボネートフィルム 11及び透明粘着榭脂層 12を含んでいる。  The light transmitting layer 10 includes a polycarbonate film 11 and a transparent adhesive resin layer 12.
中間層 30は、透明紫外線硬化榭脂等の榭脂によって形成されている。基板 50は、 ポリオレフイン系榭脂等の榭脂によって形成されて 、る。  The intermediate layer 30 is formed of a resin such as a transparent ultraviolet curable resin. The substrate 50 is made of a resin such as polyolefin resin.
[0039] また、中間層 30には、図 2 (a)の拡大斜視図に示すように、情報が記録されている プリピット 31が形成されている。また、基板 50には、図 2 (b)の拡大斜視図に示すよう に、プリピット 51が形成されている。 Further, as shown in the enlarged perspective view of FIG. 2A, prepits 31 in which information is recorded are formed in the intermediate layer 30. Further, as shown in the enlarged perspective view of FIG. 2B, pre-pits 51 are formed on the substrate 50.
[0040] 第 1及び第 2情報記録層 20, 40は、このプリピット 31, 51上に成膜されることにより[0040] The first and second information recording layers 20 and 40 are formed on the prepits 31 and 51, respectively.
、プリピット 31, 51による凹凸が反映された状態となり、情報を記録した状態となる。こ のような構造により、いわゆる再生専用の光情報記録媒体が構成される。 Then, the unevenness due to the pre-pits 31, 51 is reflected, and information is recorded. This With such a structure, a so-called read-only optical information recording medium is configured.
[0041] 第 1情報記録層 20は、 Si又は Geの単体、又はこれらを主成分とした合金又は混合 物等力 なる第 1再生膜 21を含んでいる。第 1再生膜 21は、青色レーザ光の再生光 で再生を行う再生装置の有する光学解像限界より短いマーク長の信号を再生可能と する。また、少なくとも超解像再生のためには、特許文献 1の超解像技術で必要であ つた反射膜を必要とせず、第 1再生膜 21のみであれば良い。  [0041] The first information recording layer 20 includes a first reproducing film 21 made of Si or Ge, or an alloy or mixture of these as a main component. The first reproducing film 21 can reproduce a signal having a mark length shorter than the optical resolution limit of a reproducing apparatus that reproduces with the reproducing light of blue laser light. Further, at least for super-resolution reproduction, the reflection film that is necessary for the super-resolution technique of Patent Document 1 is not required, and only the first reproduction film 21 may be used.
[0042] 第 2情報記録層 40は、 Si又は Geの単体、又はこれらを主成分とした合金又は混合 物等力 なる第 2再生膜 41を含んでいる。第 2再生膜 41は、青色レーザ光の再生光 で再生を行う再生装置の有する光学解像限界より短いマーク長の信号を再生可能と する。また、少なくとも超解像再生のためには、特許文献 1の超解像技術で必要であ つた反射膜を必要とせず、第 2再生膜 41のみであれば良い。  [0042] The second information recording layer 40 includes a second reproducing film 41 made of Si or Ge alone, or an alloy or mixture of these as a main component. The second reproduction film 41 can reproduce a signal having a mark length shorter than the optical resolution limit of a reproduction apparatus that reproduces with the reproduction light of blue laser light. Further, at least for super-resolution reproduction, the reflection film that is necessary for the super-resolution technique of Patent Document 1 is not required, and only the second reproduction film 41 may be used.
[0043] 上記第 1及び第 2再生膜 21, 41は、例えば、スパッタリング装置においてスパッタリ ング法によって形成される。  [0043] The first and second reproduction films 21 and 41 are formed by, for example, a sputtering method in a sputtering apparatus.
[0044] 上記第 1及び第 2再生膜 21, 41は、 Si又は Geの単体、又はこれらを主成分とした 合金又は混合物に限るものではなぐある程度薄い膜層の Ni, Mo, W, Mn, Pt, C , Zr, In, Al, Cu, Fe, Co等の単体元素膜やその化合物であっても良いが、 Si又は Geの単体、又はこれらを主成分とした合金又は混合物であることが好ましい。これに より、他の材料の再生膜に比較して、より良好な超解像特性を得ることが出来る。そ れゆえ、光情報記録媒体の記録容量を向上させることが可能になる。  [0044] The first and second regenerative films 21, 41 are not limited to Si or Ge alone, or alloys or mixtures containing these as main components. Ni, Mo, W, Mn, Pt, C, Zr, In, Al, Cu, Fe, Co, etc. may be a single element film or a compound thereof, but it may be a simple substance of Si or Ge, or an alloy or mixture containing these as a main component. preferable. As a result, it is possible to obtain better super-resolution characteristics as compared with the reproduction film of other materials. Therefore, the recording capacity of the optical information recording medium can be improved.
[0045] また、ここでいう青色レーザ光とは、波長 400nmから 410nmの光のことである。  [0045] The blue laser light here is light having a wavelength of 400 nm to 410 nm.
[0046] 以上のように、光情報記録媒体 60は、第 1及び第 2情報記録層 20, 40において、 青色レーザ光の再生光で再生を行う再生装置の有する光学解像限界より短いマーク 長の信号を再生可能とする第 1及び第 2再生膜 21, 41を備えている。また、第 1及び 第 2情報記録層 20, 40において、少なくとも超解像再生のためには、特許文献 1の 超解像技術で必要であった反射膜を必要とせず、第 1再生膜 21のみであれば良い  As described above, the optical information recording medium 60 has a mark length shorter than the optical resolution limit of the reproducing apparatus that reproduces with the reproducing light of the blue laser beam in the first and second information recording layers 20 and 40. The first and second reproduction films 21 and 41 that can reproduce the above signal are provided. In addition, in the first and second information recording layers 20 and 40, at least for super-resolution reproduction, the reflective film that was necessary in the super-resolution technique of Patent Document 1 is not required, and the first reproduction film 21 If only
[0047] これにより、第 1及び第 2情報記録層 20, 40ともに、実質的な記録密度 (再生可能 な記録密度の意)を、青色レーザ光の再生光で再生を行う再生装置の有する解像限 界により制限された記録密度よりも高められる。それゆえ、特許文献 1及び 2の超解像 媒体よりも、情報記録層が多いだけ、記録容量を向上させることができる。更に、同じ 記録容量を有する記録媒体を作製する場合、各情報記録層が解像限界により制限 された記録密度である特許文献 3の多層光情報記録媒体よりも、記録層数を減少さ せることが可能になる。したがって、製造ラインにおいて、記録層をスパッタリングで形 成するための高価な真空装置の台数を削減することができ、記録層を増カロさせるの に伴う記録媒体の製造コストを大幅に低減させることができる。 [0047] Thereby, the first and second information recording layers 20 and 40 both have a substantial recording density (meaning a reproducible recording density) of a reproducing apparatus that reproduces with blue laser light. Image limit It is higher than the recording density limited by the field. Therefore, as compared with the super-resolution media of Patent Documents 1 and 2, the recording capacity can be improved by the number of information recording layers. Furthermore, when producing recording media having the same recording capacity, the number of recording layers can be reduced as compared with the multilayer optical information recording medium of Patent Document 3 in which each information recording layer has a recording density limited by the resolution limit. Is possible. Therefore, the number of expensive vacuum devices for forming the recording layer by sputtering in the production line can be reduced, and the production cost of the recording medium associated with increasing the number of recording layers can be greatly reduced. it can.
[0048] また、特許文献 1のようなマスク層を用いた超解像技術では、マスク層の他にさらに 反射膜が必要であるが、上記構成によれば、再生膜自身で反射膜の機能も果たす ため、コストの低減が可能となる。  [0048] In addition, in the super-resolution technique using the mask layer as in Patent Document 1, a reflective film is required in addition to the mask layer. According to the above configuration, the function of the reflective film is achieved by the reproduction film itself. Therefore, the cost can be reduced.
[0049] また、第 1及び第 2再生膜の材料は、上述したとおり無機物であり、一般的に有機 物より安定である。また、後に実施例で示すが、特許文献 2には示されていない青色 レーザで良い超解像特性及び再生耐久性を示す。それゆえ、特許文献 1や特許文 献 2に開示されている超解像技術と比較して、再生耐久性の向上した超解像技術が 可會 になる。  [0049] Further, as described above, the material of the first and second reproduction films is an inorganic substance, and is generally more stable than an organic substance. In addition, as will be shown later in Examples, the super-resolution characteristics and reproduction durability that are good with a blue laser not shown in Patent Document 2 are shown. Therefore, compared with the super-resolution technique disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2, a super-resolution technique with improved reproduction durability becomes possible.
[0050] (実施例 1)  [0050] (Example 1)
図 1に示す本実施例に係る光情報記録媒体 60は、透光層 10としてポリカーボネー トフイルム 11 (膜厚: 80 m)及び透明粘着榭脂層 12 (膜厚: 20 m)と、第 1情報記 録層 20としての第 1再生膜 21 (Si,膜厚:7nm)と、中間層 30としての透明紫外線硬 化榭脂 (膜厚 : 25 m)と、第 2情報記録層 40としての第 2再生膜 41 (Si,膜厚 : 50η m)と、基板 50としてのポリオレフイン系榭脂基板とを備え、光入射面よりこの順に積 層された構造となっている。  An optical information recording medium 60 according to the present embodiment shown in FIG. 1 includes a polycarbonate film 11 (film thickness: 80 m) and a transparent adhesive resin layer 12 (film thickness: 20 m) as a light-transmitting layer 10 and a first layer. The first reproduction film 21 (Si, film thickness: 7 nm) as the information recording layer 20, the transparent ultraviolet curable resin (film thickness: 25 m) as the intermediate layer 30, and the second information recording layer 40 The second reproduction film 41 (Si, film thickness: 50 ηm) and a polyolefin-based resin substrate as the substrate 50 are provided, and the layers are stacked in this order from the light incident surface.
[0051] これに対し、図 3に、本実施例の光情報記録媒体 60に対する比較例 1として、従来 の 2層の光情報記録媒体 70の断面構造を示す。なお、比較例 1において、本実施例 の光情報記録媒体 60における構成要素と同等の機能を有する構成要素については 、同一の符号を付記する。  In contrast, FIG. 3 shows a cross-sectional structure of a conventional two-layer optical information recording medium 70 as Comparative Example 1 for the optical information recording medium 60 of the present example. In Comparative Example 1, components having functions equivalent to those of the components of the optical information recording medium 60 of the present embodiment are denoted by the same reference numerals.
[0052] 図 3に示すように、比較例 1の 2層の光情報記録媒体 70は、透光層 10としてのポリ カーボネートフィルム 11 (膜厚 80 μ m)及び透明粘着榭脂層 12 (膜厚 20 m)と、第 1情報記録層 80としての半透明の反射膜 81 (Au,膜厚 20nm)と、中間層 30として の透明紫外線硬化榭脂層 (膜厚 25 μ m)と、第 2情報記録層 90としての反射膜 91 ( Ni,膜厚 30nm)と、基板 50としてのポリオレフイン系榭脂基板とを備え、光入射面よ り、この順に積層された構造となっている。 As shown in FIG. 3, the two-layer optical information recording medium 70 of Comparative Example 1 includes a polycarbonate film 11 (film thickness of 80 μm) as a light-transmitting layer 10 and a transparent adhesive resin layer 12 (film). Thickness 20 m) (1) Translucent reflective film 81 (Au, film thickness 20 nm) as information recording layer 80, transparent UV-cured resin layer (film thickness 25 μm) as intermediate layer 30, and second information recording layer 90 A reflection film 91 (Ni, film thickness: 30 nm) and a polyolefin-based resin substrate as the substrate 50 are provided, and the structure is laminated in this order from the light incident surface.
[0053] また、本実施例の 2層の光情報記録媒体 60の中間層 30及び基板 50には、図 2 (a )及び (b)に示すように、情報が記録されているプリピット 31, 51が設けられている。こ れにより、この 2層の光情報記録媒体 60は、各情報記録層 20, 40がこのプリピット 31 , 51上に成膜されることにより、各情報記録層 20, 40に対応するプリピット 31, 51に より凹凸が転写された状態となる。また、 2層の光情報記録媒体 70も同様である。し たがって、 2層の光情報記録媒体 60及び 2層の光情報記録媒体 70は、各情報記録 層 20, 40が情報を記録された状態となる、いわゆる再生専用の光情報記録媒体とし て形成される。 Further, as shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b), prepits 31 on which information is recorded are formed on the intermediate layer 30 and the substrate 50 of the two-layer optical information recording medium 60 of the present embodiment. 51 is provided. As a result, the two-layer optical information recording medium 60 has the information recording layers 20 and 40 formed on the prepits 31 and 51, so that the prepits 31 and 40 corresponding to the information recording layers 20 and 40 are formed. As a result of 51, the unevenness is transferred. The same applies to the two-layer optical information recording medium 70. Therefore, the two-layer optical information recording medium 60 and the two-layer optical information recording medium 70 are so-called read-only optical information recording media in which the information recording layers 20 and 40 are in a recorded state. It is formed.
[0054] 続いて、本実施例の光情報記録媒体 60 (以降、本実施例において「実施例 1媒体 」と称する)と比較例 1の 2層の光情報記録媒体 70 (以降、本実施例において「比較 例 1媒体」と称する)との各種特性の比較結果について説明する。  Subsequently, the optical information recording medium 60 of the present example (hereinafter referred to as “Example 1 medium” in the present example) and the two-layer optical information recording medium 70 of Comparative Example 1 (hereinafter referred to as the present example) Will be referred to as “Comparative Example 1 medium”).
[0055] 図 4 (a)及び (b)は、青色レーザ光の波長である波長 404nm半導体レーザと、 N.  [0055] FIGS. 4 (a) and 4 (b) show a wavelength of 404 nm semiconductor laser, which is the wavelength of blue laser light, and N.
A. (開口率) 0. 85の光学系を有するディスク測定器で、上記実施例 1媒体及び比 較例 1媒体のそれぞれにおける、第 1及び第 2情報記録層 20, 40の OTFを測定した 結果である。なお、 OTFは、超解像性能を表す指標であり、 CZN (信号品質を表す 評価基準)の記録マーク長 (再生専用の光情報記録媒体の場合はピット長と同意)依 存性を表す。  A. (Aperture ratio) With a disk measuring instrument having an optical system of 0.85, the OTFs of the first and second information recording layers 20 and 40 were measured in the above Example 1 medium and Comparative Example 1 medium, respectively. It is a result. Note that OTF is an index that represents super-resolution performance, and represents the dependency of the recording mark length of CZN (an evaluation standard that indicates signal quality) (in the case of a read-only optical information recording medium, it agrees with the pit length).
[0056] 図 4 (a)及び (b)より明らかなように、実施例 1媒体では、比較例 1媒体で第 1及び第 2情報記録層 80, 90ともに信号がほとんど確認されない (CZNが 10dB以下)再生 光学系の解像限界以下のマーク長である 0. 10 /z mにおいても、第 1及び第 2情報 記録層 20, 40ともに、 C/Nが 30dBを超えている。これは、解像限界以下のマーク 長の信号が再生可能であることを示して 、る。  [0056] As is apparent from FIGS. 4 (a) and (b), in the medium of Example 1, almost no signal is confirmed in both the first and second information recording layers 80 and 90 in the medium of Comparative Example 1 (CZN is 10 dB). Below) The C / N exceeds 30 dB for both the first and second information recording layers 20, 40 even at a mark length of 0.10 / zm, which is below the resolution limit of the reproduction optical system. This indicates that a signal with a mark length less than the resolution limit can be reproduced.
[0057] また、図 4 (a)及び (b)にお 、て斜線で示すように、再生装置の理論的な光学解像 限界は 0. 10 /z mより大きく 0. 12 /z mより小さな領域内に存在している。比較例 1媒 体の CZNは、このピット長の領域で信号がほとんど確認されない 10dB以下となって おり、比較例 1媒体の光学解像限界が再生装置の理論的な光学解像限界である 0. 10 mより大きく 0. 12 /z mより小さな領域に一致している。これに対して、実施例 1 媒体の光学解像限界は、 0. 06 /ζ πι〜0. 10 mとなっており、比較例 1媒体より光 学解像限界が短くなつている。すなわち、実施例 1媒体では、比較例 1媒体に比較し て、長さのより短いマーク長の信号を利用した情報記録が可能となる。したがって、同 じ長さの領域に長さの短いマーク長の信号を記録した場合、当然ながら、より大容量 の信号を記録することができる。このように、実施例 1媒体は比較例 1媒体より大きな 情報記録密度 (線密度)を有する。 [0057] In addition, as shown by oblique lines in FIGS. 4 (a) and 4 (b), the theoretical optical resolution limit of the reproducing apparatus is a region larger than 0.10 / zm and smaller than 0.12 / zm. Exists within. Comparative Example 1 medium The CZN of the body is less than 10 dB where almost no signal is observed in this pit length region, and the optical resolution limit of Comparative Example 1 medium is the theoretical optical resolution limit of the playback device from 0.10 m It corresponds to the region that is larger than 0.12 / zm. On the other hand, the optical resolution limit of the medium of Example 1 is 0.06 / ζ πι to 0.10 m, which is shorter than that of the medium of Comparative Example 1. That is, the information recording using the signal of the shorter mark length is possible in the medium of Example 1 compared to the medium of Comparative Example 1. Therefore, when a signal with a short mark length is recorded in the same length region, naturally, a larger capacity signal can be recorded. Thus, the Example 1 medium has an information recording density (linear density) greater than that of the Comparative Example 1 medium.
[0058] また、実施例 1媒体の第 1情報記録層 20において、再生光学系の解像限界以下の マーク長である 0. 10 μ mにおいて CZNが 30dBを超える再生光のレーザ光のパヮ 一で、青色レーザ光の波長での 0. 10 mピット列の平均反射率(凹部と凸部の反射 率の平均)は 12%であるが、上記レーザ光のパワーの半分以下であり、 0. 10 /z mに おいて CZNが 15dBを下回る再生光のレーザ光のパワーで、 0. 10 /z mピット列の 平均反射率は 11 %であり、レーザ光のパワーによって反射率がほとんど変わらな 、 ことがわ力ゝる。 In addition, in the first information recording layer 20 of the medium of Example 1, the laser beam intensity of the reproduction light having a CZN exceeding 30 dB at a mark length of 0.10 μm that is not more than the resolution limit of the reproduction optical system. Thus, the average reflectance of the 0.10 m pit row at the wavelength of the blue laser light (average reflectance of the concave and convex portions) is 12%, but it is less than half of the power of the laser light. At 10 / zm, CZN is less than 15dB of laser beam power, and the average reflectivity of 0.10 / zm pit row is 11%, and the reflectivity changes almost according to the laser beam power. I ’m going to scream.
[0059] また、図 5は、実施例 1媒体の第 1及び第 2情報記録層 20, 40のそれぞれにおいて 2万回の連続再生を行い、再生装置の光学解像限界以下のマーク長である 0. 10 mでの初期 CZNと 2万回後の CZNの比較を行った結果である。  FIG. 5 shows a mark length that is 20,000 times of continuous reproduction in each of the first and second information recording layers 20 and 40 of the medium of Example 1 and that is less than or equal to the optical resolution limit of the reproducing apparatus. This is the result of comparing the initial CZN at 10 m and the CZN after 20,000 times.
[0060] 図 5より、実施例 1媒体では、第 1及び第 2情報記録層 20, 40ともに、 2万回の連続 再生後も、マーク長 0. 1 μ mの CZNは 30dBを下回ることなくほぼ劣化せず、優れ た再生耐久性があることがわかる。  [0060] From FIG. 5, in Example 1 medium, the CZN with a mark length of 0.1 μm does not fall below 30 dB in both the first and second information recording layers 20 and 40 even after continuous playback of 20,000 times. It can be seen that there is almost no deterioration and excellent reproduction durability.
[0061] このように、実施例 1媒体は、青色レーザ光の再生光に対して、通常の超解像光情 報媒体では得られな!/、再生耐久性を有し、到達しえな!/、通常光情報記録媒体 (単層) より大きな情報記録密度を、同じ情報記録密度を有する多層光情報記録媒体より安 価な生産コストで生産可能であることが示された。  [0061] Thus, the medium of Example 1 cannot be obtained with a normal super-resolution optical information medium with respect to the reproduction light of blue laser light! /, Has reproduction durability and cannot be reached! /, It was shown that an information recording density larger than that of a normal optical information recording medium (single layer) can be produced at a lower production cost than a multilayer optical information recording medium having the same information recording density.
[0062] なお、第 1再生膜 21及び第 2再生膜 41は、それぞれ青色レーザ光の再生光で再 生を行う再生装置の有する光学解像限界より短いマーク長の信号を再生可能にする と考えられる力 現時点ではその超解像再生原理については明確ではない。 Note that the first reproduction film 21 and the second reproduction film 41 each enable reproduction of a signal having a mark length shorter than the optical resolution limit of a reproduction apparatus that reproduces with the reproduction light of blue laser light. At present, the super-resolution reproduction principle is not clear.
[0063] (実施例 2)  [0063] (Example 2)
また、本実施の形態の光情報記録媒体 60は、上記実施例 1媒体の構造に限るもの ではない。  Further, the optical information recording medium 60 of the present embodiment is not limited to the structure of the above Example 1 medium.
[0064] 例えば、本実施例の光情報記録媒体 60 (以降、本実施例にお!、て「実施例 2媒体 」と称する)において、透光層 10は、再生光を十分に透過すればよぐ再生面にハー ドコートが設けられて ヽても良 ヽし、紫外線硬化榭脂などの他の材料で形成されて ヽ ても良い。さらに、図 6に示すように、透光層 10は、透明基板 13であっても良ぐある いは透明基板 13を含む構造であっても良い。この構造では、実施例 1媒体では中間 層 30に設けていたプリピット 31を透明基板 13上に設けることが可能となる。この構成 では、透明基板 13上に設けられるプリピット(図示せず)は、プリピット 31と向きが逆に 形成される。また、このような構成では、単に 2層構造を貼り合わせるだけで良いので 、実施例 1媒体の製造に用いる、複雑な工程を要する 2P転写を用いる必要がなぐ より安価に光情報記録媒体を製造することができる。この構造は、 DVDの規格に適 合して ヽるので、安価に高密度の DVD (HD - DVD)を提供することができる。  [0064] For example, in the optical information recording medium 60 of the present embodiment (hereinafter referred to as "embodiment 2 medium" in this embodiment), the light-transmitting layer 10 can sufficiently transmit the reproduction light. A hard coat may be provided on the reclaimed surface, or it may be formed of other materials such as ultraviolet curable resin. Further, as shown in FIG. 6, the translucent layer 10 may be a transparent substrate 13 or a structure including the transparent substrate 13. In this structure, the prepits 31 provided in the intermediate layer 30 in the medium of Example 1 can be provided on the transparent substrate 13. In this configuration, prepits (not shown) provided on the transparent substrate 13 are formed in the opposite direction to the prepits 31. Further, in such a configuration, it is only necessary to bond the two-layer structure, so that it is not necessary to use 2P transfer which requires complicated processes, which is used in the manufacture of Example 1. The optical information recording medium is manufactured at a lower cost. can do. Since this structure conforms to the DVD standard, a high-density DVD (HD-DVD) can be provided at low cost.
[0065] 基板 50も、ポリカーボネート榭脂や、圧縮成型可能な他の樹脂であってよ!、し、ガ ラスや、金属等でも良い。  [0065] The substrate 50 may also be polycarbonate resin or other resin that can be compression-molded !, glass, metal, or the like.
[0066] (実施例 3)  [0066] (Example 3)
また、本実施の形態の光情報記録媒体 60は、上記実施例 1媒体及び実施例 2媒 体の構造に限るものではな 、。  Further, the optical information recording medium 60 of the present embodiment is not limited to the structure of the above Example 1 medium and Example 2 medium.
[0067] 例えば、本実施例の光情報記録媒体 60 (以降、本実施例にお!、て「実施例 3媒体 」と称する)において、第 1及び第 2再生膜 21, 41の材料としては、青色レーザ光の 再生光で再生を行う再生装置の有する光学解像限界より短いマーク長の信号を再 生可能とするとともに、少なくとも超解像再生のために第 1及び第 2再生膜 21, 41を 必須とする材料等であればよぐ Si又は Geの単体、又はこれらを主成分とした合金 又は混合物に限るものではない。  For example, in the optical information recording medium 60 of the present embodiment (hereinafter referred to as “embodiment 3 medium” in this embodiment), the materials of the first and second reproduction films 21 and 41 are as follows: In addition, it is possible to reproduce a signal having a mark length shorter than the optical resolution limit of a reproducing apparatus that reproduces with the reproducing light of blue laser light, and at least the first and second reproducing films 21, 21 for super-resolution reproduction. Any material that requires 41 is acceptable. It is not limited to Si or Ge alone, or an alloy or mixture containing these as a main component.
[0068] 第 1再生膜 21の材料が Si (膜厚:7nm)である実施例 1媒体と、第 1再生膜の材料 が Ni (膜厚: 7nm)である実施例 3— 1媒体と、第 1再生膜の材料が Ni (膜厚: 15nm) である実施例 3— 2媒体と、第 1再生膜の材料が Ni (膜厚: 30nm)である比較例 2媒 体とを、第 1情報記録層 20の OTFにつ 、て比較した結果を図 7に示す。 [0068] Example 1 medium in which the material of the first reproduction film 21 is Si (film thickness: 7 nm), and Example 3-1 medium in which the material of the first reproduction film is Ni (film thickness: 7 nm); The material of the first regeneration film is Ni (film thickness: 15nm) Example 3-2 and Comparative Example 2 medium in which the material of the first reproduction film is Ni (film thickness: 30 nm) are compared for the OTF of the first information recording layer 20. Figure 7 shows.
[0069] 図 7からも明らかにわ力るように、第 1再生膜 21の材料として膜厚 7nmの Niを使用 した実施例 3— 1媒体においても、膜厚 7nmの Siを用いた媒体とほぼ同様の OTFを 示しており、再生光学系の解像限界以下のマーク長である 0. 10 /z mにおいても、 C ZNが 30dBを超えており、青色レーザ光の再生光で再生を行う再生装置の有する 光学解像限界より短いマーク長の信号を十分再生可能とすることが出来る。また、第 1再生膜 21の材料として膜厚 15nmの Niを使用した実施例 3— 2媒体においても、 膜厚 7nmの Siを用いた実施例 1媒体や膜厚 7nmの Niを用いた実施例 3—1媒体と 比較してやや劣った OTFを示している力 再生光学系の解像限界以下のマーク長 である 0. 10 /z mにおいても、 C/Nが 25dBを超えており、青色レーザ光の再生光で 再生を行う再生装置の有する光学解像限界より短いマーク長の信号を再生可能とす ることが出来る。 [0069] As clearly shown in FIG. 7, Example 3-1 using 7 nm thick Ni as the material of the first reproduction film 21 also includes a medium using 7 nm thick Si. Represents almost the same OTF, and C ZN exceeds 30 dB even at a mark length below the resolution limit of the reproduction optical system, and Z Z exceeds 30 dB. A signal having a mark length shorter than the optical resolution limit of the apparatus can be sufficiently reproduced. In addition, Example 3 using Ni with a thickness of 15 nm as the material of the first reproduction film 21 Example 2 using Si with a thickness of 7 nm in Example 3-2 medium Example of using Ni with a thickness of 7 nm 3-1 Power that shows slightly inferior OTF compared to media 3-1 C / N exceeds 25 dB even at a mark length below the resolution limit of the reproduction optical system, 0.10 / zm. It is possible to reproduce a signal having a mark length shorter than the optical resolution limit of a reproducing apparatus that reproduces with the reproducing light.
[0070] 但し、第 1再生膜 21の材料として膜厚 30nmの Niを使用した比較例 2媒体におい ては、図 7に示すように、再生光学系の解像限界以下のマーク長である 0. 10 /z mに おいて、 CZNが 10dBを下回っており、超解像特性は見られなかった。更に、 Mo, W, Mn, Pt, C, Zr, In, Al, Cu, Fe, Co等の単体元素膜や Niを含めたその化合 物にお 、ても、薄 ヽ膜厚でほぼ同様の超解像特性が得られることを確認したので、 膜厚が 15nm以下の Mo, W, Mn, Pt, C, Zr, In, Al, Cu, Fe, Co等の単体元素 膜や Niを含めたその化合物であっても、各実施例と同様の構造で超解像特性を示 すことが十分予想される。  [0070] However, in the comparative example 2 medium using Ni with a film thickness of 30 nm as the material of the first reproduction film 21, the mark length is not more than the resolution limit of the reproduction optical system as shown in FIG. At 10 / zm, CZN was less than 10 dB, and no super-resolution characteristics were observed. Furthermore, even in the case of a simple element film such as Mo, W, Mn, Pt, C, Zr, In, Al, Cu, Fe, Co, or a compound containing Ni, the film thickness is almost the same. Since we confirmed that super-resolution characteristics can be obtained, we included simple element films such as Mo, W, Mn, Pt, C, Zr, In, Al, Cu, Fe, Co and Ni with a film thickness of 15 nm or less Even the compound is sufficiently expected to exhibit super-resolution characteristics with the same structure as each example.
[0071] また、実施例 4の図 10を用いて後に述べるが、例えば、実施例 3媒体の第 2情報記 録層 40が、現在得られている中で最も超解像特性の良い実施例 1媒体の第 2情報 記録層 40と同じ膜構造 (Si、膜厚 50nm)であった場合において、実施例 3媒体の第 2情報記録層 40における再生装置の光学解像限界以下のマーク長である 0. 1 μ m での CZNを、特性が十分に確認できる 30dBに保っために、第 1情報記録層 20の 青色レーザ光である再生光波長における透過率は 20%より大きいことが好ましい。 第 1再生膜 21の材料が Niの場合は、膜厚 15nmの場合で青色レーザ光である再生 光波長における透過率が 20. 4%であり、膜厚が 15nmより薄くなると透過率が 20. 4 %より大きくなることは確認しているため、 15nm以下の膜厚が好ましい。また、第 1再 生膜 21の材料として、膜厚が 15nm以下の Mo, W, Mn, Pt, C, Zr, In, Al, Cu, Fe, Co等の単体元素膜や Niを含めたその化合物を利用した場合においても、透過 率が 20%より大きいことが好ましい。 [0071] Further, as will be described later with reference to Fig. 10 of the fourth embodiment, for example, the second information recording layer 40 of the medium of the third embodiment has the best super-resolution characteristics currently obtained. 1 When the film structure (Si, film thickness 50 nm) is the same as that of the second information recording layer 40 of the medium, the mark length is less than the optical resolution limit of the reproducing device in the second information recording layer 40 of the medium of Example 3. In order to maintain CZN at a certain 0.1 μm at 30 dB where the characteristics can be sufficiently confirmed, it is preferable that the transmittance of the first information recording layer 20 at the reproduction light wavelength that is the blue laser light is greater than 20%. If the material of the first playback film 21 is Ni, the playback is blue laser light when the film thickness is 15 nm. The transmittance at the optical wavelength is 20.4%, and it has been confirmed that when the film thickness is thinner than 15 nm, the transmittance is larger than 20.4%. Therefore, a film thickness of 15 nm or less is preferable. In addition, as a material for the first reproduction film 21, a single element film such as Mo, W, Mn, Pt, C, Zr, In, Al, Cu, Fe, Co or the like having a film thickness of 15 nm or less, or a film including Ni is included. Even when a compound is used, the transmittance is preferably greater than 20%.
[0072] 但し、第 1再生膜 21の材料としては、以下に示すような理由力も Si又は Geの単体、 又はこれらを主成分とした合金又は混合物が好ましい。まず、図 7からもわ力るように 、第 1再生膜 21の材料として Siを使用した場合、膜厚 7nmの Niを使用した場合に比 ベて超解像特性がわずかに良く(0. 06 mマーク長や 0. 12 mマーク長等)、光 情報記録媒体 60の記録容量を向上させることが可能になる。また、図 4 (b)に示した 実施例 1媒体における第 2情報記録層 40の OTF力もわ力るように、 Siを使用した場 合は少なくとも膜厚を 50nmまで厚くしても超解像特性が現れて ヽる力 図 7からわか るように、 Niを使用した場合は 30nmまで厚くすると超解像特性が著しく低下するた め、青色レーザ光の再生光に対する超解像特性の観点から、本実施形態の構成に おいても、 Siを第 1再生膜 21の材料として使用することにより第 1再生膜の膜厚制限 が拡大できることは十分予想できる。また、図 7に示している OTFを測定した再生パ ヮーであるが、膜厚 7nmの Siを使用した実施例 1媒体の再生パワーは、膜厚 7nm及 び 15nmの Niを使用した実施例 3—1媒体及び実施例 3 - 2媒体の再生パヮ一の約 半分と小さぐ超解像再生感度が良い。これにより、再生レーザの低消費電力化が可 能となる。なお、 Geを用いた場合も Siと同様なことが言える。  [0072] However, the material of the first reproduction film 21 is preferably Si or Ge alone, or an alloy or mixture containing these as a main component, for the following reasons. First, as can be seen from FIG. 7, when Si is used as the material for the first regenerative film 21, the super-resolution characteristics are slightly better than when 7nm-thick Ni is used (0. 06 m mark length, 0.12 m mark length, etc.) and the recording capacity of the optical information recording medium 60 can be improved. In addition, when using Si so that the OTF force of the second information recording layer 40 in the Example 1 medium shown in FIG. As shown in Fig. 7, when Ni is used, increasing the thickness to 30 nm significantly lowers the super-resolution characteristics. Therefore, from the viewpoint of the super-resolution characteristics of the blue laser beam with respect to the reproduced light. Even in the configuration of the present embodiment, it can be sufficiently predicted that the thickness limit of the first reproduction film can be expanded by using Si as the material of the first reproduction film 21. In addition, the reproduction power obtained by measuring OTF shown in Fig. 7 is Example 1 using Si with a film thickness of 7 nm. The reproduction power of the medium is Example 3 using Ni with a film thickness of 7 nm and 15 nm. —One medium and Example 3-2 The super-resolution reproduction sensitivity is small, about half of the reproduction capacity of the two media. This makes it possible to reduce the power consumption of the reproduction laser. The same can be said for Si when using Ge.
[0073] なお、第 2再生膜 41の材料においても、第 1再生膜 21と同様のことが言える。  Note that the same applies to the material of the second reproduction film 41 as in the first reproduction film 21.
[0074] (実施例 4)  [Example 4]
また、本実施の形態の光情報記録媒体 60は、上記実施例 1媒体、実施例 2媒体及 び実施例 3媒体の構造に限るものではな 、。  Further, the optical information recording medium 60 of the present embodiment is not limited to the structure of the above-described Example 1 medium, Example 2 medium, and Example 3 medium.
[0075] 例えば、本実施例の光情報記録媒体 60 (以降、本実施例にお!、て「実施例 4媒体 」と称する)において、第 1再生膜 21の膜厚については、どのような材料であっても、 第 1情報記録層 20を再生した場合に、第 1情報記録層 20の超解像特性が生じ、か つ十分な再生耐久性を有し、第 2情報記録層 40に再生光をフォーカスした際、十分 に第 2情報記録層 40の超解像特性が生じる膜厚であればよい。 For example, in the optical information recording medium 60 of this example (hereinafter referred to as “Example 4 medium” in this example), what is the thickness of the first reproducing film 21? Even if it is a material, when the first information recording layer 20 is reproduced, the super-resolution characteristics of the first information recording layer 20 are produced, and sufficient reproduction durability is provided. Enough when focused on playback light In addition, any film thickness may be used as long as the second information recording layer 40 has super-resolution characteristics.
[0076] 例えば、実施例 4媒体における第 1情報記録層 20が、現在得られている中で最も 超解像特性の良い実施例 1媒体における第 1情報記録層 20と同じ材料 (Si)であつ た場合において、青色レーザ光である再生光の波長における第 1情報記録層 20の 透過率と、第 1情報記録層 20における再生装置の光学解像限界以下のマーク長で ある 0.: L mでの CZNの関係を測定した結果を図 8に示す。図 8からわ力るように、 第 1情報記録層 20の透過率が 5. 7%から 53. 5%の透過率範囲で、第 1情報記録 層 20の超解像特性が十分に確認できる 30dB以上の CZNを有する。 [0076] For example, the first information recording layer 20 in the medium of Example 4 is made of the same material (Si) as the first information recording layer 20 in the medium of Example 1 having the best super-resolution characteristics currently available. In that case, the transmittance of the first information recording layer 20 at the wavelength of the reproduction light, which is blue laser light, and the mark length below the optical resolution limit of the reproduction device in the first information recording layer 20 are 0 .: L Figure 8 shows the results of measuring the CZN relationship at m. As shown in FIG. 8, the super-resolution characteristics of the first information recording layer 20 can be sufficiently confirmed when the transmittance of the first information recording layer 20 is in the transmittance range of 5.7% to 53.5%. Has a CZN of 30 dB or more.
[0077] また、この場合、 3種の透過率(5. 7%, 39. 8%, 53. 5%)の第 1情報記録層 20を それぞれ有する 2層超解像光情報記録媒体を作製し、第 1情報記録層 20における 再生装置の光学解像限界以下のマーク長である 0. 1 μ mでの再生耐久性を確認し た結果を図 9に示す。この図 9よりわ力るように、第 1情報記録層 20の透過率が 5. 7 %及び 39. 8%の場合は、 2万回の連続再生中においても、再生装置の光学解像限 界以下のマーク長である 0. 1 mでの CZNが 30dBを下回ることはなぐ良好な再 生耐久性を示している。これに対し、第 1情報記録層 20の透過率が 53. 5%の場合 は、再生回数が 1万回を超えた時点でトラックサーボが外れたため、再生回数 2万回 のデータ測定が不可能であり、再生耐久性は悪力つた。したがって、第 1情報記録層 20の上記必要な条件を満たすためには、上記透過率は 53. 5%より小さいことが好 ましい。 [0077] Also, in this case, a double-layer super-resolution optical information recording medium having the first information recording layer 20 having three kinds of transmittances (5.7%, 39.8%, and 53.5%) is manufactured. Figure 9 shows the results of confirmation of reproduction durability at 0.1 μm, which is the mark length below the optical resolution limit of the reproduction device in the first information recording layer 20. As can be seen from FIG. 9, when the transmittance of the first information recording layer 20 is 5.7% and 39.8%, the optical resolution limit of the playback device is maintained even during continuous playback of 20,000 times. The CZN at 0.1 m, which is the mark length below the boundary, is less than 30 dB, which indicates a good regeneration durability. On the other hand, when the transmittance of the first information recording layer 20 is 53.5%, the track servo is disconnected when the number of playbacks exceeds 10,000, so data measurement cannot be performed for 20,000 playbacks. The reproduction durability was bad. Therefore, in order to satisfy the above-mentioned necessary condition of the first information recording layer 20, it is preferable that the transmittance is smaller than 53.5%.
[0078] また、例えば、実施例 4媒体の第 2情報記録層 40が、現在得られて 、る中で最も超 解像特性のよい実施例 1媒体の第 2情報記録層 40と同じ膜構造であった場合にお いて、第 1情報記録層 20の透過率と、第 2情報記録層 40における再生装置の光学 解像限界以下のマーク長である 0. 1 μ mでの CZNの関係を示す測定結果を図 10 に示す。図 10よりわ力るように、第 1情報記録層 20の再生光波長での透過率が 20% になると、第 2情報記録層 40における再生装置の光学解像限界以下のマーク長であ る 0. 1 111でのじ7?^が、特性が十分に確認できる 30dB以下に低下する。したがつ て、第 1情報記録層 20の上記必要な条件を満たすためには、上記透過率は 20%よ り大きいことが好ましい。 [0079] このように、第 1再生膜 21の膜厚は、上記透過率によって制限される。図 11に、第 1再生膜 21である Siの膜厚と、青色レーザ光である再生光波長における第 1情報記 録層 20の透過率との関係を示す。第 1再生膜 21に Siを用いた場合、図 11よりわかる ように、 5nmより厚く、 17nmより薄いことが好ましい。なお、 Geを用いた場合も同様な ことが言える。これにより、上記透過率を満たすことができ、第 1情報記録層 20及び第 2情報記録層 40における超解像特性及び再生耐久性を得ることができる。 Further, for example, the second information recording layer 40 of the medium of Example 4 is the same film structure as that of the second information recording layer 40 of Example 1 medium that is currently obtained and has the best super-resolution characteristics. In this case, the relationship between the transmittance of the first information recording layer 20 and the CZN at 0.1 μm, which is the mark length below the optical resolution limit of the reproducing device in the second information recording layer 40, is shown. Figure 10 shows the measurement results. As shown in FIG. 10, when the transmittance of the first information recording layer 20 at the reproducing light wavelength is 20%, the mark length is equal to or less than the optical resolution limit of the reproducing device in the second information recording layer 40. 0.1 7 at 111 is reduced to 30 dB or less where the characteristics can be fully confirmed. Therefore, in order to satisfy the necessary condition of the first information recording layer 20, the transmittance is preferably larger than 20%. Thus, the thickness of the first reproduction film 21 is limited by the transmittance. FIG. 11 shows the relationship between the film thickness of Si that is the first reproduction film 21 and the transmittance of the first information recording layer 20 at the reproduction light wavelength that is blue laser light. When Si is used for the first reproducing film 21, it is preferable that it is thicker than 5 nm and thinner than 17 nm, as can be seen from FIG. The same can be said when Ge is used. Thereby, the transmittance can be satisfied, and the super-resolution characteristics and the reproduction durability in the first information recording layer 20 and the second information recording layer 40 can be obtained.
[0080] (実施例 5)  [0080] (Example 5)
また、本実施の形態の光情報記録媒体 60は、上記各実施例媒体の構造に限るも のではない。  Further, the optical information recording medium 60 of the present embodiment is not limited to the structure of each example medium described above.
[0081] 例えば、本実施例の光情報記録媒体 60 (以降、本実施例にお!、て「実施例 5媒体 」と称する)において、第 2再生膜 41の膜厚については、どのような材料であっても、 第 2情報記録層 20を再生した場合に、第 2情報記録層の超解像特性が生じ、かつ十 分な再生耐久性を有する膜厚であればょ ヽ。  For example, in the optical information recording medium 60 of this example (hereinafter referred to as “Example 5 medium” in this example), the film thickness of the second reproducing film 41 is not limited. Even if it is a material, when the second information recording layer 20 is reproduced, it should be a film thickness that provides the super-resolution characteristics of the second information recording layer and has sufficient reproduction durability.
[0082] 例えば、実施例 5媒体における第 2情報記録層 40が、現在得られている中で最も 超解像特性のょ 、実施例 1媒体における第 2情報記録層 40と同じ材料 (Si)であった 場合の、第 2再生膜 41である Siの膜厚と、第 2情報記録層 40における再生装置の光 学解像限界以下のマーク長である 0. 1 μ mでの CZNの関係を測定した結果を図 1 2に示す。このときの第 1再生膜 21の青色レーザ光である再生光波長に対する透過 率は、 20%以上である。図 12からわ力るように、第 2再生膜に Siを用いた場合、 Si膜 厚 5nm以上で、第 2情報記録層 40の超解像特性が十分に確認できる 30dB以上の CZNを有する。  [0082] For example, the second information recording layer 40 in the medium of Example 5 is the same material (Si) as the second information recording layer 40 in the medium of Example 1 because of the highest super-resolution characteristics currently obtained. The relationship between the film thickness of Si as the second playback film 41 and the CZN at 0.1 μm, which is the mark length below the optical resolution limit of the playback device in the second information recording layer 40 Figure 12 shows the measurement results. At this time, the transmittance of the first reproduction film 21 with respect to the reproduction light wavelength, which is blue laser light, is 20% or more. As shown in FIG. 12, when Si is used for the second reproducing film, it has a CZN of 30 dB or more at which the super-resolution characteristics of the second information recording layer 40 can be sufficiently confirmed when the thickness of the Si film is 5 nm or more.
[0083] また、このとき、 3種の Siの膜厚(5nm, lOnm, 50nm)をそれぞれ第 2再生膜 41の 膜厚として有する 2層超解像光情報記録媒体を作製し、第 2情報記録層 40の再生装 置の光学解像限界以下のマーク長である 0. 1 μ mでの再生耐久性を確認した結果 を図 13に示す。この図 13よりわ力るように、第 2再生膜である Siの膜厚が lOnm及び 50nmの場合は、 2万回の連続再生中においても、 CZNが 30dBを下回ることはなく 、良好な再生耐久性を示している。これに対し、第 2再生膜 41である Siの膜厚が 5n mの場合は、再生回数が 1万回を超えた時点でトラックサーボが外れたため、再生回 数 2万回のデータ測定が不可能であり、再生耐久性は悪力つた。したがって、第 2情 報記録層 40の上記必要な条件を満たすためには、上記第 2再生膜 41の膜厚は 5n mより大きい必要がある。 [0083] In addition, at this time, a two-layer super-resolution optical information recording medium having the thickness of each of the three types of Si (5 nm, lOnm, 50 nm) as the thickness of the second reproducing film 41 was fabricated, and the second information recording layer Figure 13 shows the results of confirmation of reproduction durability at a mark length of 0.1 µm, which is below the optical resolution limit of 40 playback devices. As can be seen from FIG. 13, when the film thickness of the second playback film, Si, is lOnm and 50 nm, CZN does not fall below 30 dB even during continuous playback of 20,000 times. Shows durability. On the other hand, when the film thickness of Si, which is the second playback film 41, is 5 nm, the track servo was released when the playback count exceeded 10,000, so the playback speed Data measurement of several 20,000 times was impossible, and reproduction durability was bad. Therefore, in order to satisfy the necessary condition of the second information recording layer 40, the thickness of the second reproducing film 41 needs to be larger than 5 nm.
[0084] なお、 Geを用いた場合も同様なことが言える。 Note that the same can be said when Ge is used.
[0085] これにより、第 2情報記録層 40におけるより良好な超解像特性及び再生耐久性を 得ることができる。  Thereby, better super-resolution characteristics and reproduction durability in the second information recording layer 40 can be obtained.
[0086] (実施例 6) [0086] (Example 6)
また、本実施の形態の光情報記録媒体 60は、上記各実施例媒体の構造に限るも のではない。  Further, the optical information recording medium 60 of the present embodiment is not limited to the structure of each example medium described above.
[0087] 例えば、本実施例の光情報記録媒体 60 (以降、本実施例にお!、て「実施例 6媒体 」と称する)において、図 14に示すように、第 1情報記録層 20として、第 1再生膜 21と 、第 1再生膜 21に対して再生光の入射光側に第 1再生膜 21の再生劣化を防ぐため の第 1保護膜 22を有し、かつ、第 2情報記録層 40として、第 2再生膜 41と、第 2再生 膜 41に対して再生光の入射光側に第 2再生膜 41の再生劣化を防ぐための第 2保護 膜 42を有する構造としても良い。図 14に示す本実施例に係る光情報記録媒体 60は 、第 1保護膜 22として窒化シリコン (膜厚 :40nm)、第 2保護膜 42として窒化シリコン ( 膜厚:155nm)を有し、第 1保護膜 22及び第 2保護膜 42以外は、実施例 1で示した 光情報記録媒体 60と同じ符号を有する部材は、同じ材料及び膜厚である。  For example, in the optical information recording medium 60 of this example (hereinafter referred to as “Example 6 medium” in this example), as shown in FIG. The first reproduction film 21 has a first protective film 22 for preventing reproduction degradation of the first reproduction film 21 on the incident light side of the reproduction light with respect to the first reproduction film 21, and the second information recording The layer 40 may include a second reproducing film 41 and a second protective film 42 for preventing reproduction degradation of the second reproducing film 41 on the incident light side of the reproducing light with respect to the second reproducing film 41. An optical information recording medium 60 according to this example shown in FIG. 14 has silicon nitride (film thickness: 40 nm) as the first protective film 22, and silicon nitride (film thickness: 155 nm) as the second protective film 42. Except for the first protective film 22 and the second protective film 42, members having the same reference numerals as those of the optical information recording medium 60 shown in Example 1 have the same material and film thickness.
[0088] 図 15に、実施例 1媒体の第 1情報記録層 20と、実施例 6媒体の第 1情報記録層 20 のそれぞれにおいて再生装置の光学解像限界以下のマーク長である 0. 1 μ mでの 2万回の連続再生を行 、、初期 CZNと 2万回後の CZNとの比較を行った結果を示 す。また、図 16に、実施例 1媒体の第 2情報記録層 40と、実施例 6媒体の第 2情報記 録層 40のそれぞれにおいて再生装置の光学解像限界以下のマーク長である 0. 1 μ mでの 2万回の連続再生を行い、初期 CZNと 2万回後の CZNとの比較を行った結 果を示す。  FIG. 15 shows the mark lengths below the optical resolution limit of the reproducing apparatus in each of the first information recording layer 20 of the medium of Example 1 and the first information recording layer 20 of the medium of Example 6. The following shows the results of comparison between the initial CZN and the CZN after 20,000 times after continuous playback of 20,000 times at μm. FIG. 16 shows the mark lengths below the optical resolution limit of the reproducing apparatus in each of the second information recording layer 40 of the medium of Example 1 and the second information recording layer 40 of the medium of Example 6. The following shows the results of comparison between the initial CZN and the CZN after 20,000 times after continuous playback of 20,000 times at μm.
[0089] 図 15及び図 16よりわかるように、第 1情報記録層 20及び第 2情報記録層 40ともに 、第 1再生膜 21を保護するための第 1保護膜 22と、第 2再生膜 41を保護するための 第 2保護膜 42とをそれぞれ有する実施例 6媒体が、第 1及び第 2保護膜 22, 42を有 さない実施例 1媒体より、再生耐久性が向上していることがわかる。 As can be seen from FIGS. 15 and 16, both the first information recording layer 20 and the second information recording layer 40 have a first protective film 22 for protecting the first reproducing film 21 and a second reproducing film 41. Example 6 media each having a second protective film 42 for protecting the first and second protective films 22, 42 Example 1 It can be seen that the reproduction durability is improved from the medium.
[0090] 第 1及び第 2保護膜 22, 42の材料及び膜厚は、本実施例中では第 1保護膜 22とし て、 40nmの膜厚の窒化シリコン膜を採用し、第 2保護膜 42として、 155nmの膜厚の 窒化シリコン膜を採用したが、これに限るものではなぐ再生膜を保護する機能を有 するものであればよい。但し、第 1及び第 2保護膜 22, 42の材料は青色レーザ光の 再生光を透過する材料であることが好ましい。また、同材料は、温度により青色レー ザ波長での光学定数が変化しない材料であることが好ましい。例えば、同材料は、窒 化アルミニウムや ZnS— SiO等でもよい。また、第 1及び第 2保護膜 22, 42の膜厚 The material and film thickness of the first and second protective films 22 and 42 are 40 nm thick silicon nitride films as the first protective film 22 in this embodiment, and the second protective film 42 Although a silicon nitride film with a film thickness of 155 nm is employed, the present invention is not limited to this, and any film having a function of protecting the reproduction film may be used. However, the material of the first and second protective films 22 and 42 is preferably a material that transmits the reproduction light of the blue laser light. The material is preferably a material whose optical constant at the blue laser wavelength does not change with temperature. For example, the material may be aluminum nitride or ZnS—SiO. The film thickness of the first and second protective films 22, 42
2  2
は、薄すぎると保護膜としての機能が悪ィ匕し、保護膜の材料が青色レーザ光である 再生光波長に対して吸収係数がゼロでなければ、膜厚は厚ければ厚いほど再生光 の利用効率が悪化し、また厚すぎると成膜に時間が力かるため生産性が悪ィ匕する。 よって、例えば、第 1及び第 2保護膜 22, 42の膜厚としては、 5nm以上 500nm未満 が好ましい。  If the film is too thin, the protective film functions poorly, and the material of the protective film is blue laser light. However, if the thickness is too thick, it takes a long time to form a film, resulting in poor productivity. Therefore, for example, the thickness of the first and second protective films 22 and 42 is preferably 5 nm or more and less than 500 nm.
[0091] また、本実施例中では、第 1情報記録層 20及び第 2情報記録層 40ともに第 1及び 第 2保護膜 22, 42を有する構造であるが、これに限るものではなぐ第 1情報記録層 20にのみ第 1保護膜 22を有する構成でも良いし、第 2情報記録層 40にのみ第 2保 護膜 42を有する構成でも良い。例えば、片方の情報記録層の再生耐久性が保護膜 を有してなくても十分良いと判断し、もう片方の情報記録層が保護膜を有してないと 再生耐久性が悪!、と判断すれば、再生耐久性が悪!、情報記録層にのみ保護膜を有 する構成とすることが出来る。このような構成では、両方の情報記録層に保護膜を有 する構成に比べて、保護膜を成膜する工程が一つ省けるため生産性が向上する。  In the present embodiment, both the first information recording layer 20 and the second information recording layer 40 have the first and second protective films 22 and 42. However, the present invention is not limited to this. A configuration having the first protective film 22 only in the information recording layer 20 may be employed, or a structure having the second protective film 42 only in the second information recording layer 40 may be employed. For example, it is judged that the reproduction durability of one information recording layer is sufficiently good even if it does not have a protective film, and the reproduction durability is poor unless the other information recording layer has a protective film! If judged, the reproduction durability is poor, and a structure having a protective film only on the information recording layer can be obtained. In such a configuration, productivity can be improved because one step of forming a protective film can be omitted, compared to a configuration in which both information recording layers have protective films.
[0092] これにより、第 1情報記録層 20及び第 2情報記録層 40において、それぞれ良好な 再生耐久性を得ることができる。  Thereby, good reproduction durability can be obtained in each of the first information recording layer 20 and the second information recording layer 40.
[0093] また、第 1ないし第 6実施例媒体の構造で、各情報記録層 20, 40に他の膜等を追 カロした場合でも、上記に示したような特性が大きく失われることはな 、。  [0093] In addition, in the structure of the media in the first to sixth embodiments, the characteristics as described above are not greatly lost even when another film or the like is added to each information recording layer 20, 40. ,.
[0094] 〔実施の形態 2〕  [Embodiment 2]
本発明の一実施形態について図 17に基づいて説明すると、以下の通りである。な お、説明の便宜上、実施の形態 1で用いたと同じ機能を有する部材には同じ符号を 付して説明を省略する。 An embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. For convenience of explanation, members having the same functions as those used in Embodiment 1 are denoted by the same reference numerals. A description thereof will be omitted.
[0095] 図 17は、本実施の形態に係る 2層超解像の光情報記録媒体 61の断面構造を示し ている。  FIG. 17 shows a cross-sectional structure of a two-layer super-resolution optical information recording medium 61 according to the present embodiment.
[0096] 図 17に示すように、光情報記録媒体 61は、透光層 10と、第 1情報記録層 20と、中 間層 30と、第 2情報記録層 90と、基板 50とを備え、光入射面からこの順に積層され ている。  As shown in FIG. 17, the optical information recording medium 61 includes a translucent layer 10, a first information recording layer 20, an intermediate layer 30, a second information recording layer 90, and a substrate 50. They are stacked in this order from the light incident surface.
[0097] 第 1情報記録層 20は、青色レーザ光で再生を行う再生装置の有する光学解像限 界より短いマーク長の信号を再生可能とするとともに、少なくとも超解像再生のために 必須となる第 1再生膜 21を含んでいる。第 1再生膜 21の材料は、ある程度薄い膜厚 の Ni, Mo, W, Mn, Pt, C, Zr, In, Al, Cu, Fe, Co等の単体元素膜やその化合 物であっても良いが、 Si又は Geの単体、又はこれらを主成分とした合金又は混合物 等からなるものであることが好まし 、。  [0097] The first information recording layer 20 is capable of reproducing a signal having a mark length shorter than the optical resolution limit of a reproducing apparatus that reproduces with blue laser light, and is essential for at least super-resolution reproduction. The first reproduction film 21 is included. The material of the first reclaimed film 21 may be a simple element film such as Ni, Mo, W, Mn, Pt, C, Zr, In, Al, Cu, Fe, Co or a compound of a relatively thin film thickness. Although it is good, it is preferable that it is composed of a simple substance of Si or Ge, or an alloy or a mixture based on these.
[0098] 第 2情報記録層 90は、青色レーザ光である再生光を反射する機能を有する反射膜 91を含んでいる。反射膜 91は、青色レーザ光の再生光で再生を行う再生装置の有 する光学解像限界より短いマーク長の信号を再生可能とする超解像特性を有する必 要はない。  The second information recording layer 90 includes a reflective film 91 having a function of reflecting reproduction light that is blue laser light. The reflective film 91 does not need to have super-resolution characteristics that enable reproduction of a signal having a mark length shorter than the optical resolution limit of a reproducing apparatus that reproduces with the reproducing light of blue laser light.
[0099] 上記反射膜 91は、例えば、スパッタリング装置においてスパッタリング法によって形 成される。  [0099] The reflective film 91 is formed by, for example, a sputtering method in a sputtering apparatus.
[0100] 以上のように、光情報記録媒体 61は、第 1情報記録層 20において、青色レーザ光 の再生光で再生を行う再生装置の有する光学解像限界より短いマーク長の信号を再 生可能とするとともに、少なくとも超解像再生のために必須となる第 1再生膜 21を備 えている。  [0100] As described above, the optical information recording medium 61 reproduces, in the first information recording layer 20, a signal having a mark length shorter than the optical resolution limit of the reproducing apparatus that reproduces with the reproducing light of the blue laser light. The first reproducing film 21 which is possible and at least essential for super-resolution reproduction is provided.
[0101] これにより、第 1情報記録層 20の実質的な記録密度 (再生可能な記録密度の意)を 、青色レーザ光の再生光で再生を行う再生装置の有する解像限界により制限された 記録密度よりも高められる。それゆえ、特許文献 1及び 2の超解像媒体よりも、情報記 録層が多いだけ、記録容量を向上させることができる。更に、同じ記録容量を有する 記録媒体を作製する場合、各情報記録層が解像限界により制限された記録密度で ある特許文献 3の多層光情報記録媒体よりも、記録層数を減少させることが可能にな る。したがって、製造ラインにおいて、記録層をスパッタリングで形成するための高価 な真空装置の台数を削減することができ、記録層を増加させるのに伴う記録媒体の 製造コストを大幅に低減させることができる。 [0101] Thereby, the substantial recording density (meaning the reproducible recording density) of the first information recording layer 20 is limited by the resolution limit of the reproducing apparatus that reproduces with the reproducing light of the blue laser beam. It is higher than the recording density. Therefore, as compared with the super-resolution media of Patent Documents 1 and 2, the recording capacity can be improved because there are more information recording layers. Furthermore, when producing recording media having the same recording capacity, the number of recording layers can be reduced as compared with the multilayer optical information recording medium of Patent Document 3 in which each information recording layer has a recording density limited by the resolution limit. Possible The Therefore, the number of expensive vacuum apparatuses for forming the recording layer by sputtering in the production line can be reduced, and the production cost of the recording medium accompanying the increase of the recording layer can be greatly reduced.
[0102] また、特許文献 1のようなマスク層を用いた超解像技術では、マスク層の他にさらに 反射膜が必要であるが、上記構成によれば、再生膜自身で反射膜の機能も果たす ため、コストの低減が可能となる。  [0102] In addition, in the super-resolution technique using the mask layer as in Patent Document 1, a reflective film is required in addition to the mask layer, but according to the above configuration, the function of the reflective film is achieved by the reproducing film itself. Therefore, the cost can be reduced.
[0103] また、第 1再生膜 21の材料は、上述したとおり無機物であり、一般的に有機物より 安定している。また、後に実施例で示すが、特許文献 2には示されていない青色レー ザで良い超解像特性及び再生耐久性を示す。それゆえ、特許文献 1や特許文献 2 に開示されている超解像技術と比較して、再生耐久性の向上した超解像技術が可能 になる。  [0103] The material of the first reproduction film 21 is an inorganic material as described above, and is generally more stable than an organic material. Further, as will be described later in Examples, a blue laser not shown in Patent Document 2 shows good super-resolution characteristics and reproduction durability. Therefore, compared with the super-resolution technique disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2, a super-resolution technique with improved reproduction durability becomes possible.
[0104] また、第 1及び第 2情報記録層 20, 40両層に超解像特性を有する第 1及び第 2再 生膜 21 , 41をそれぞれ含んで 、る実施の形態 1に記した光情報記録媒体 60と比較 して、本実施の形態の光情報記録媒体 61は、第 1情報記録層 20が超解像特性を有 する第 1再生膜 21を含む一方、第 2情報記録層 90が超解像特性を有する再生膜を 含んで 、な 、ため、記録容量は実施の形態 1に記した光情報記録媒体 60より劣る。 しかし、実施の形態 1における光情報記録媒体 60では、第 2情報記録層 40において 超解像特性や再生耐久性を保つような条件で、第 1情報記録層 20の条件を決定し なければいけないのに対し、上記の構成では、第 1情報記録層 20の条件の制限が 緩くなるため、第 1情報記録層 20の第 1再生膜 21の材料や膜厚の自由度が向上す る。  Further, the first and second information recording layers 20 and 40 both include the first and second reproduction films 21 and 41 having super-resolution characteristics, respectively, and the light described in the first embodiment Compared to the information recording medium 60, the optical information recording medium 61 of the present embodiment includes the first information recording layer 20 including the first reproducing film 21 having super-resolution characteristics, while the second information recording layer 90 Therefore, the recording capacity is inferior to that of the optical information recording medium 60 described in the first embodiment. However, in the optical information recording medium 60 in Embodiment 1, the conditions of the first information recording layer 20 must be determined under conditions that maintain the super-resolution characteristics and reproduction durability in the second information recording layer 40. On the other hand, in the above configuration, since the restriction on the conditions of the first information recording layer 20 is relaxed, the degree of freedom of the material and film thickness of the first reproducing film 21 of the first information recording layer 20 is improved.
[0105] (実施例 7)  [0105] (Example 7)
図 17に示す本実施例に係る光情報記録媒体 61は、透光層 10としてポリカーボネ 一トフイルム 11 (膜厚: 80 m)及び透明粘着榭脂層 12 (膜厚: 20 m)と、第 1情報 記録層 20としての第 1再生膜 21 (Si,膜厚:7nm)と、中間層 30としての透明紫外線 硬化榭脂 (膜厚:25 m)と、第 2情報記録層 90としての反射膜 91 (Ni,膜厚:30nm )と、基板 50としてのポリオレフイン系榭脂基板とを備え、光入射面よりこの順に積層 された構造となっている。 [0106] 第 1情報記録層 20の超解像特性を示す OTFは、図 4 (a)で示した実施例 1の光情 報記録媒体 60の第 1情報記録層 20の OTFとほぼ同様であった。 The optical information recording medium 61 according to the present embodiment shown in FIG. 17 includes a first transparent film 10 having a polycarbonate film 11 (film thickness: 80 m) and a transparent adhesive resin layer 12 (film thickness: 20 m). The first reproducing film 21 (Si, film thickness: 7 nm) as the information recording layer 20, the transparent ultraviolet curable resin (film thickness: 25 m) as the intermediate layer 30, and the reflective film as the second information recording layer 90 It has a structure in which 91 (Ni, film thickness: 30 nm) and a polyolefin-based resin substrate as the substrate 50 are laminated in this order from the light incident surface. [0106] The OTF indicating the super-resolution characteristics of the first information recording layer 20 is substantially the same as the OTF of the first information recording layer 20 of the optical information recording medium 60 of Example 1 shown in Fig. 4 (a). there were.
[0107] 本実施例の光情報記録媒体 61 (以降、本実施例において「実施例 7媒体」と称する )において、第 1再生膜 21の膜厚については、次のように決定できる。当該膜厚は、 どのような材料であっても、第 1情報記録層 20における情報を再生した場合に、第 1 情報記録層 20の超解像特性が生じ、かつ十分な再生耐久性を有し、かつ、第 2情報 記録層 90における情報を再生した場合に、第 2情報記録層 90における情報を再生 可能とする膜厚であればょ 、。  In the optical information recording medium 61 of this example (hereinafter referred to as “Example 7 medium” in this example), the thickness of the first reproduction film 21 can be determined as follows. The film thickness is such that when information in the first information recording layer 20 is reproduced, the super-resolution characteristics of the first information recording layer 20 occur and sufficient reproduction durability is obtained regardless of the material. In addition, when the information in the second information recording layer 90 is reproduced, the film thickness is such that the information in the second information recording layer 90 can be reproduced.
[0108] 例えば、実施例 7媒体における第 1情報記録層 20が、現在得られている中で最も 超解像特性のよい実施例 1媒体における第 1情報記録層 20と同じ材料 (Si)であった 場合において、青色レーザ光である再生光波長における第 1情報記録層 20の透過 率と、第 1情報記録層 20における再生装置の光学解像限界以下のマーク長である 0 . 1 mでの CZNの関係を測定した結果は、実施例 4で示した図 8と同様であった。 図 8からわ力るように、第 1情報記録層 20の透過率が 5. 7%から 53. 5%の透過率範 囲で、第 1情報記録層 20の超解像特性が十分に確認できる 30dB以上の C/Nを有 する。  [0108] For example, the first information recording layer 20 in the Example 7 medium is made of the same material (Si) as the first information recording layer 20 in the Example 1 medium having the best super-resolution characteristics currently available. In this case, the transmittance of the first information recording layer 20 at the reproduction light wavelength, which is blue laser light, and a mark length of 0.1 m that is less than the optical resolution limit of the reproduction device in the first information recording layer 20 The result of measuring the relationship of CZN was the same as that shown in FIG. As can be seen from FIG. 8, the super-resolution characteristics of the first information recording layer 20 are sufficiently confirmed in the transmittance range of the first information recording layer 20 from 5.7% to 53.5%. It has a C / N of 30 dB or higher.
[0109] また、この場合、 3種の透過率(5. 7%, 39. 8%, 53. 5%)の第 1情報記録層 20を それぞれ有する 2層超解像光情報記録媒体を作製し、再生装置の光学解像限界以 下のマーク長である 0. 1 μ mでの再生耐久性を確認した結果は、実施例 4で示した 図 9と同様であった。この図 9からわ力るように、第 1情報記録層の透過率が 5. 7%及 び 39. 8%の場合は、 2万回の連続再生中においても、再生装置の光学解像限界以 下のマーク長である 0. 1 mでの CZNが 30dBを下回ることはなぐ良好な再生耐 久性を示している。これに対し、第 1情報記録層の透過率が 53. 5%の場合は、再生 回数が 1万回を超えた時点でトラックサーボが外れたため、再生回数 2万回のデータ 測定が不可能であり、再生耐久性は悪力つた。したがって、第 1情報記録層 20の上 記必要な条件を満たすためには、上記透過率は 53. 5%より小さい必要がある。  [0109] Also, in this case, a two-layer super-resolution optical information recording medium having the first information recording layer 20 having three kinds of transmittances (5.7%, 39.8%, and 53.5%) is manufactured. The result of confirming the reproduction durability at a mark length of 0.1 μm, which is below the optical resolution limit of the reproduction apparatus, was the same as that shown in FIG. As can be seen from FIG. 9, when the transmittance of the first information recording layer is 5.7% and 39.8%, the optical resolution limit of the playback device is maintained even during continuous playback of 20,000 times. The following mark length of 0.1 m, CZN is less than 30 dB, which indicates a good reproduction durability. On the other hand, when the transmittance of the first information recording layer is 53.5%, the track servo is disconnected when the number of playbacks exceeds 10,000, so data measurement of 20,000 playbacks is impossible. Yes, reproduction durability was bad. Therefore, in order to satisfy the above-mentioned necessary conditions for the first information recording layer 20, the transmittance needs to be smaller than 53.5%.
[0110] また、第 2情報記録層を再生する場合に、第 1情報記録層を光が透過するため、第 1情報記録層 20の透過率が 5%より小さい場合は、第 2情報記録層からの戻り光量 が非常に小さくなり第 2情報記録層の信号が再生不可能となる。したがって、第 1情 報記録層 20の透過率は 5%より大きい必要がある。 [0110] In addition, when reproducing the second information recording layer, since light is transmitted through the first information recording layer, if the transmittance of the first information recording layer 20 is less than 5%, the second information recording layer Return light from Becomes so small that the signal of the second information recording layer cannot be reproduced. Therefore, the transmittance of the first information recording layer 20 needs to be greater than 5%.
[0111] このように、第 1再生膜 21の膜厚は、上記透過率によって制限される。第 1再生膜 2[0111] Thus, the film thickness of the first reproduction film 21 is limited by the transmittance. First regeneration membrane 2
1である Siの膜厚と、青色レーザ光である再生光波長における第 1情報記録層 20の 透過率との関係は、実施例 4で示した図 11と同様であった。したがって、第 1再生膜The relationship between the film thickness of Si, which is 1, and the transmittance of the first information recording layer 20 at the reproduction light wavelength, which is blue laser light, was the same as that shown in FIG. Therefore, the first regeneration membrane
21に Siを用いた場合、図 11よりわ力るように、第 1再生膜の膜厚は 5nmより厚ぐ 65 nmより薄い必要がある。なお、 Geを用いた場合も同様なことが言える。これにより、 上記透過率を満たすことができ、第 1情報記録層 20における超解像特性及び再生 耐久性を得ることができる。 When Si is used for 21, as shown in Fig. 11, the thickness of the first regenerative film must be thicker than 5 nm and thinner than 65 nm. The same is true when Ge is used. Thereby, the transmittance can be satisfied, and the super-resolution characteristics and the reproduction durability in the first information recording layer 20 can be obtained.
[0112] なお、本実施例の光情報記録媒体 61においては、透光層 10が、前述の実施例 2 の光情報記録媒体 60の透光層 10に用いた透明基板 13であっても良ぐあるいは透 明基板 13を含む構造であっても良い。 [0112] In the optical information recording medium 61 of the present example, the transparent layer 10 may be the transparent substrate 13 used for the transparent layer 10 of the optical information recording medium 60 of Example 2 described above. Alternatively, a structure including the transparent substrate 13 may be used.
[0113] 〔実施の形態 3〕 [Embodiment 3]
本発明の一実施形態について図 18に基づいて説明すると、以下の通りである。な お、説明の便宜上、実施の形態 1で用いた部材と同じ機能を有する部材には同じ符 号を付して説明を省略する。  An embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. For convenience of explanation, members having the same functions as those used in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
[0114] 図 18は、本実施の形態に係る 2層超解像の光情報記録媒体 62の断面構造を示し ている。 FIG. 18 shows a cross-sectional structure of a two-layer super-resolution optical information recording medium 62 according to the present embodiment.
[0115] 図 18に示すように、光情報記録媒体 61は、透光層 10と、第 1情報記録層 80と、中 間層 30と、第 2情報記録層 40と、基板 50とを備え、光入射面からこの順に積層され ている。  As shown in FIG. 18, the optical information recording medium 61 includes a light-transmitting layer 10, a first information recording layer 80, an intermediate layer 30, a second information recording layer 40, and a substrate 50. They are stacked in this order from the light incident surface.
[0116] 第 2情報記録層 40は、青色レーザ光で再生を行う再生装置の有する光学解像限 界より短いマーク長の信号を再生可能とするとともに、少なくとも超解像再生のために 必須となる第 2再生膜 41を含んでいる。第 2再生膜 41の材料は、ある程度薄い膜厚 の Ni, Mo, W, Mn, Pt, C, Zr, In, Al, Cu, Fe, Co等の単体元素膜やその化合 物であっても良いが、 Si又は Geの単体、又はこれらを主成分とした合金又は混合物 等からなるものであることが好まし 、。  [0116] The second information recording layer 40 is capable of reproducing a signal having a mark length shorter than the optical resolution limit of a reproducing apparatus that reproduces with blue laser light, and is essential for at least super-resolution reproduction. The second regeneration film 41 is included. The material of the second regenerative film 41 may be a simple element film such as Ni, Mo, W, Mn, Pt, C, Zr, In, Al, Cu, Fe, Co or a compound of a relatively thin film thickness. Although it is good, it is preferable that it is composed of a simple substance of Si or Ge, or an alloy or a mixture based on these.
[0117] 第 1情報記録層 80は、青色レーザ光である再生光を反射する機能を有する反射膜 81を含んでいる。反射膜 81は、青色レーザ光の再生光で再生を行う再生装置の有 する光学解像限界より短いマーク長の信号を再生可能とする超解像特性を有する必 要はない。 [0117] The first information recording layer 80 is a reflective film having a function of reflecting reproduction light that is blue laser light. Includes 81. The reflective film 81 does not need to have super-resolution characteristics that enable reproduction of a signal having a mark length shorter than the optical resolution limit of a reproducing apparatus that reproduces with the reproducing light of blue laser light.
[0118] 上記反射膜 81は、例えば、スパッタリング装置においてスパッタリング法によって形 成される。  [0118] The reflective film 81 is formed by, for example, a sputtering method in a sputtering apparatus.
[0119] 以上のように、光情報記録媒体 62は、第 2情報記録層 40において、青色レーザ光 の再生光で再生を行う再生装置の有する光学解像限界より短いマーク長の信号を再 生可能とするとともに、少なくとも超解像再生のために必須となる第 2再生膜 41を備 えている。  As described above, the optical information recording medium 62 reproduces, in the second information recording layer 40, a signal having a mark length shorter than the optical resolution limit of the reproducing apparatus that reproduces with the reproducing light of the blue laser light. A second reproducing film 41 that is possible and at least essential for super-resolution reproduction is provided.
[0120] これにより、第 2情報記録層 40の実質的な記録密度 (再生可能な記録密度の意)を 、青色レーザ光の再生光で再生を行う再生装置の有する解像限界により制限された 記録密度よりも高められる。それゆえ、特許文献 1及び 2の超解像媒体よりも、情報記 録層が多いだけ、記録容量を向上させることができる。更に、同じ記録容量を有する 記録媒体を作製する場合、各情報記録層が解像限界により制限された記録密度で ある特許文献 3の多層光情報記録媒体よりも、記録層数を減少させることが可能にな る。したがって、製造ラインにおいて、記録層をスパッタリングで形成するための高価 な真空装置の台数を削減することができ、記録層の増加に伴う記録媒体の製造コス トを大幅に低減させることができる。  Thus, the substantial recording density (meaning the reproducible recording density) of the second information recording layer 40 is limited by the resolution limit of the reproducing apparatus that reproduces with the reproducing light of the blue laser light. It is higher than the recording density. Therefore, as compared with the super-resolution media of Patent Documents 1 and 2, the recording capacity can be improved because there are more information recording layers. Furthermore, when producing recording media having the same recording capacity, the number of recording layers can be reduced as compared with the multilayer optical information recording medium of Patent Document 3 in which each information recording layer has a recording density limited by the resolution limit. It becomes possible. Therefore, the number of expensive vacuum apparatuses for forming the recording layer by sputtering in the production line can be reduced, and the production cost of the recording medium accompanying the increase in the recording layer can be greatly reduced.
[0121] また、特許文献 1のようなマスク層を用いた超解像技術では、マスク層の他にさらに 反射膜が必要であるが、上記構成によれば、再生膜自身で反射膜の機能も果たす ため、コストの低減が可能となる。  [0121] In addition, in the super-resolution technique using the mask layer as in Patent Document 1, a reflective film is required in addition to the mask layer, but according to the above configuration, the function of the reflective film is achieved by the reproducing film itself. Therefore, the cost can be reduced.
[0122] また、第 1再生膜の材料は、上述したとおり無機物であり、一般的に有機物より安定 である。また、後に実施例で示すが、特許文献 2には開示されていない青色レーザで 良い超解像特性及び再生耐久性を示す。それゆえ、特許文献 1や特許文献 2に開 示されている超解像技術と比較して、再生耐久性の向上した超解像技術が可能にな る。  [0122] Further, as described above, the material of the first reproduction film is an inorganic substance, and is generally more stable than an organic substance. Further, as will be described later in Examples, the super-resolution characteristics and reproduction durability that are not disclosed in Patent Document 2 but are good with a blue laser are shown. Therefore, compared with the super-resolution technique disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2, a super-resolution technique with improved reproduction durability becomes possible.
[0123] また、第 1及び第 2情報記録層両層に超解像特性を有する再生膜をそれぞれ含ん で 、る実施の形態 1に記した光情報記録媒体 60と比較して、本実施の形態の光情 報記録媒体 62は、第 2情報記録層 40が超解像特性を有する第 2再生膜 41を含む 一方、第 1情報記録層 80が超解像特性を有する再生膜を含んでいないため、記録 容量は実施の形態 1に記した光情報記録媒体 60より劣る。しかし、実施の形態 1に 記した光情報記録媒体では、第 1情報記録層 20において超解像特性や再生耐久性 を保つような条件で、第 2情報記録層 20の条件を決定しなければいけないのに対し 、上記の構成では、第 2情報記録層 40の条件の制限が緩くなるため、第 2情報記録 層 40の第 2再生膜 41の材料や膜厚の自由度が向上する。 [0123] In addition, compared with the optical information recording medium 60 described in the first embodiment, each of the first and second information recording layers includes a reproducing film having super-resolution characteristics. Light of form In the information recording medium 62, the second information recording layer 40 includes a second reproducing film 41 having super-resolution characteristics, while the first information recording layer 80 does not include a reproducing film having super-resolution characteristics. The capacity is inferior to that of the optical information recording medium 60 described in the first embodiment. However, in the optical information recording medium described in the first embodiment, the conditions of the second information recording layer 20 must be determined under conditions that maintain the super-resolution characteristics and the reproduction durability in the first information recording layer 20. On the other hand, in the above configuration, since the restriction on the conditions of the second information recording layer 40 is relaxed, the degree of freedom of the material and film thickness of the second reproducing film 41 of the second information recording layer 40 is improved.
[0124] (実施例 8)  [0124] (Example 8)
図 18に示す本実施例に係る光情報記録媒体 62は、透光層 10としてポリカーボネ 一トフイルム 11 (膜厚: 80 m)及び透明粘着榭脂層 12 (膜厚: 20 m)と、第 1情報 記録層 80における反射膜 81 (Au,膜厚: 20nm)と、中間層 30としての透明紫外線 硬化榭脂 (膜厚 : 25 μ ηι)と、第 2情報記録層 40における反射膜としての第 2再生膜 41 (Si,膜厚:50nm)と、基板 50としてのポリオレフイン系榭脂基板とを備え、光入射 面よりこの順に積層された構造となっている。  The optical information recording medium 62 according to the present embodiment shown in FIG. 18 includes a first transparent film 10 having a polycarbonate film 11 (film thickness: 80 m) and a transparent adhesive resin layer 12 (film thickness: 20 m). The reflective film 81 (Au, film thickness: 20 nm) in the information recording layer 80, the transparent ultraviolet-cured resin (film thickness: 25 μηι) as the intermediate layer 30, and the reflective film in the second information recording layer 40 as the reflective film. (2) A reproduction film 41 (Si, film thickness: 50 nm) and a polyolefin-based resin substrate as the substrate 50 are provided, and the layers are laminated in this order from the light incident surface.
[0125] 第 1情報記録層 40の超解像特性を示す OTFは、図 4 (b)で示した実施例 1の光情 報記録媒体 60の第 2情報記録層 40の OTFとほぼ同様であった。  [0125] The OTF indicating the super-resolution characteristics of the first information recording layer 40 is substantially the same as the OTF of the second information recording layer 40 of the optical information recording medium 60 of Example 1 shown in Fig. 4 (b). there were.
[0126] 本実施の形態は、この実施例に何ら限定されるものではない。  The present embodiment is not limited to this example.
[0127] なお、実施の形態 1ないし実施の形態 3及び第 1ないし第 8実施例の各媒体では再 生専用光情報記録媒体であつたが、本発明の光情報記録媒体は、これに限られるも のではなぐ記録 Z再生型光情報記録媒体や、追記型光情報記録媒体も含まれる。 これらの場合は、各情報記録層に少なくとも記録膜が追加される。  [0127] Although each of the media of Embodiments 1 to 3 and Examples 1 to 8 is a reproduction-only optical information recording medium, the optical information recording medium of the present invention is not limited to this. This includes recording Z playback type optical information recording media and write-once type optical information recording media. In these cases, at least a recording film is added to each information recording layer.
[0128] さらに、コストと記録容量のバランスがとれるならば、本発明を 3層以上の多層光情 報記録媒体に適用することも可能である。  [0128] Furthermore, the present invention can be applied to a multilayer optical information recording medium having three or more layers as long as the cost and recording capacity can be balanced.
[0129] なお、光情報記録媒体としては、 CD-ROM(Compact Disk Read Only Memory), CD— R(Compact Disk Recordable), CD— RW(Compact Disk Rewritable), DVD— ROM(Digital Versatile Disk Read Only Memory), DVD— RW(Digital Versatile Dis k Rewritable), BD (Blu- ray Disc) , BD (Blu- ray Disc)—ROM等の光学読取式のデ イスクゃ、光磁気ディスク、相変化型ディスク等、種々の光ディスクを適応する光情報 記録媒体の形式として挙げることができる。なお、本発明は、記録の方式や大きさを 問うものではない。 [0129] As optical information recording media, CD-ROM (Compact Disk Read Only Memory), CD-R (Compact Disk Recordable), CD-RW (Compact Disk Rewritable), DVD-ROM (Digital Versatile Disk Read Only) Memory), DVD—RW (Digital Versatile Disc Rewritable), BD (Blu-ray Disc), BD (Blu-ray Disc) —ROM and other optically readable discs, magneto-optical discs, phase change discs, etc. Optical information for various optical discs It can be listed as a recording medium format. The present invention does not ask the recording method or size.
[0130] また、以上に述べたことから明らかなように、本光情報記録媒体 60, 61, 62を用い て、情報の再生を行うことにより、より高密度に記録された光情報記録媒体からの安 定した情報再生が可能となることがわかる。  [0130] Further, as is clear from the above description, the optical information recording medium 60, 61, 62 is used to reproduce information from the optical information recording medium recorded at a higher density. It can be seen that stable information reproduction is possible.
[0131] なお、本実施例の光情報記録媒体 62においては、透光層 10が、前述の実施例 2 の光情報記録媒体 60の透光層 10に用いた透明基板 13であっても良ぐあるいは透 明基板 13を含む構造であっても良い。 [0131] In the optical information recording medium 62 of the present embodiment, the light transmissive layer 10 may be the transparent substrate 13 used for the light transmissive layer 10 of the optical information recording medium 60 of the above-described second embodiment. Alternatively, a structure including the transparent substrate 13 may be used.
[0132] 〔実施の形態 4〕 [Embodiment 4]
本発明の一実施形態について図 19及び図 20に基づいて説明すると、以下の通り である。  One embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 19 and 20.
[0133] 本実施形態では、実施の形態 1な!ヽし実施の形態 3で説明した光情報記録媒体 60 , 61, 62を再生するための光情報記録媒体再生装置について説明する。図 19は、 その光情報記録媒体再生装置 100の概略構成を示す図である。  In the present embodiment, an optical information recording medium playback device for playing back the optical information recording media 60, 61, 62 described in the first embodiment will be described. FIG. 19 is a diagram showing a schematic configuration of the optical information recording medium reproducing apparatus 100. As shown in FIG.
[0134] 図 19に示すように、本光情報記録媒体再生装置 100は、前述の光情報記録媒体 6 0, 61, 62に対して光ビームを照射し、その反射光を検出することによって光情報記 録媒体 60, 61, 62に記録された情報を再生するための装置である。なお、本実施の 形態では、光情報記録媒体 60, 61, 62が円盤状の光ディスクである場合について 説明するが、光情報記録媒体 60, 61, 62は必ずしも円盤状の光ディスクでなくても よい。  As shown in FIG. 19, the present optical information recording medium reproducing device 100 irradiates the optical information recording medium 60, 61, 62 with a light beam and detects the reflected light. This is a device for reproducing information recorded on the information recording medium 60, 61, 62. In the present embodiment, the case where the optical information recording media 60, 61, 62 are disc-shaped optical discs will be described. However, the optical information recording media 60, 61, 62 are not necessarily disc-shaped optical discs. .
[0135] 図 19に示すように、光情報記録媒体再生装置 100は、光情報記録媒体 60, 61, 6 2をスピンドルモータ 101により回転駆動し、光ピックアップ装置 102により、光情報記 録媒体 60, 61, 62からの情報の読み出しを行う。また、光ピックアップ装置 102及び スピンドルモータ 101の制御は制御部 103で行われる。  As shown in FIG. 19, the optical information recording medium reproducing device 100 rotates the optical information recording media 60, 61, 62 by the spindle motor 101, and the optical information recording medium 60 by the optical pickup device 102. , 61 and 62 are read out. The control of the optical pickup device 102 and the spindle motor 101 is performed by the control unit 103.
[0136] スピンドルモータ 101は、光情報記録媒体 60, 61, 62を回転することにより、光ス ポットを光情報記録媒体 60, 61, 62上で走査させる。  The spindle motor 101 scans the optical spot on the optical information recording medium 60, 61, 62 by rotating the optical information recording medium 60, 61, 62.
[0137] 制御部 103は、信号処理部 103a、駆動制御部 103b等を含む。  [0137] The control unit 103 includes a signal processing unit 103a, a drive control unit 103b, and the like.
[0138] 信号処理部 103aは、光情報記録媒体 60, 61, 62上の記録マークからの反射光よ り得られた光ピックアップ装置 102からの電気信号に基づいて記録情報を検出するこ とにより、光情報記録媒体 60, 61, 62上に記録マークによって記録された情報を読 み取る。また、信号処理部 103aは、光情報記録媒体 60, 61, 62上の記録マークか らの反射光より得られた光ピックアップ装置 102からの電気信号に基づいて、後述の フォーカスエラー信号及びトラッキングエラー信号を生成する。 [0138] The signal processing unit 103a receives reflected light from the recording marks on the optical information recording medium 60, 61, 62. By detecting the record information based on the electrical signal from the optical pickup device 102 obtained as described above, the information recorded by the record mark on the optical information recording medium 60, 61, 62 is read. Further, the signal processing unit 103a is based on an electrical signal from the optical pickup device 102 obtained from the reflected light from the recording marks on the optical information recording medium 60, 61, 62, and a focus error signal and a tracking error described later. Generate a signal.
[0139] 駆動制御部 103bは、光ピックアップ装置 102から読み出されて信号処理部 103a で生成された電気信号や外部力 の指示に基づ 、て、スピンドルモータ 101及び光 ピックアップ装置 102の駆動を制御するめにサーボ回路を有している。特に、駆動制 御部 103bは、信号処理部 103aからのフォーカスエラー信号及びトラッキングエラー 信号に基づ 、て対物レンズ 102eの位置を補正し、レーザ光のオートフォーカスおよ びトラッキングを行うためのサーボ回路を上記のサーボ回路として含んでいる。  The drive control unit 103b drives the spindle motor 101 and the optical pickup device 102 based on an electrical signal read from the optical pickup device 102 and generated by the signal processing unit 103a or an external force instruction. A servo circuit is provided for control. In particular, the drive control unit 103b corrects the position of the objective lens 102e based on the focus error signal and tracking error signal from the signal processing unit 103a, and performs servo focusing for tracking and autofocusing the laser beam. A circuit is included as the servo circuit described above.
[0140] 図 20は、光情報記録媒体再生装置 100に搭載される光ピックアップ装置 102の構 成を示す図である。  FIG. 20 is a diagram showing a configuration of the optical pickup device 102 mounted on the optical information recording medium reproducing device 100. As shown in FIG.
[0141] 図 20に示すように、光ピックアップ装置 102は、半導体レーザ 102a、コリメートレン ズ 102b、ビーム整形プリズム(ビームを円形にするプリズム) 102c,ビームスプリッタ 1 02d、対物レンズ 102e、レンズァクチユエータ 102f、及び検出光学系 102gを備えて いる。  [0141] As shown in FIG. 20, the optical pickup device 102 includes a semiconductor laser 102a, a collimator lens 102b, a beam shaping prism (prism that makes the beam circular) 102c, a beam splitter 102d, an objective lens 102e, and a lens action. A ueator 102f and a detection optical system 102g are provided.
[0142] また、光ピックアップ装置 102は、光源である半導体レーザ 102aから照射されたレ 一ザ光をビーム状に整形して光情報記録媒体 60, 61, 62上に集光する装置である 。この光ピックアップ装置 102では、レーザ光源として半導体レーザ 102aを用いてい る。ただし、これに限らず、他の光源を用いてもよい。また、半導体レーザ 102aのレ 一ザパワーは、超解像特性を発現させるために従来のレーザパワーより高く設定可 能であり、従来のレーザパワーとの切り替えも可能である。これにより、 2層超解像媒 体での再生が可能となるため、同じ記録容量で 4層通常媒体より低コストの 2層超解 像媒体を用いた再生が可能になる。また、同じ記録容量である 4層通常媒体を再生 する場合に比較して、層数が半分であることから、各層へのフォーカス回数が減少す る。それゆえ、フォーカスに要する時間が短縮されるので、再生命令に対する反応が 向上する。 [0143] 半導体レーザ 102aからのレーザ光は、コリメートレンズ 102bによってほぼ平行な光 に変換され、ビーム整形プリズム 102cによって光強度の分布がほぼ円形となるように 整形される。このほぼ円形の平行光は、ビームスプリッタ 102dを透過した後、対物レ ンズ 102eによって光ビーム (入射光)として光情報記録媒体 60, 61, 62に集光され る。なお、対物レンズ 102eの開口数(NA)は 0. 65又は 0. 85に設定されている。 The optical pickup device 102 is a device that shapes the laser light emitted from the semiconductor laser 102a, which is a light source, into a beam shape and focuses it on the optical information recording medium 60, 61, 62. In this optical pickup device 102, a semiconductor laser 102a is used as a laser light source. However, the present invention is not limited to this, and other light sources may be used. Further, the laser power of the semiconductor laser 102a can be set higher than the conventional laser power in order to develop the super-resolution characteristics, and can be switched to the conventional laser power. As a result, reproduction with a double-layer super-resolution medium becomes possible, so reproduction using a double-layer super-resolution medium with the same recording capacity and lower cost than a four-layer normal medium becomes possible. In addition, since the number of layers is halved compared to the case of reproducing a four-layer normal medium having the same recording capacity, the number of times of focusing on each layer is reduced. Therefore, since the time required for focusing is shortened, the response to the playback command is improved. [0143] Laser light from the semiconductor laser 102a is converted into substantially parallel light by the collimator lens 102b, and is shaped by the beam shaping prism 102c so that the light intensity distribution becomes substantially circular. The substantially circular parallel light passes through the beam splitter 102d, and is then focused on the optical information recording medium 60, 61, 62 as a light beam (incident light) by the objective lens 102e. The numerical aperture (NA) of the objective lens 102e is set to 0.65 or 0.85.
[0144] また、光情報記録媒体 60, 61, 62からの反射光は、ビームスプリッタ 102dで分岐 され、検出光学系 102gに導かれる。検出光学系 102gでは、光情報記録媒体 60, 6 1, 62からの反射光の偏光方向の変化や反射光強度の変化 (反射光レベルの高低) 等から記録情報、焦点ずれ情報及びトラック位置ずれ情報が識別され、これらの情 報が電気信号に変換される。なお、変換された電気信号は、信号処理部 103aに送 られる。  [0144] Reflected light from the optical information recording media 60, 61, 62 is branched by the beam splitter 102d and guided to the detection optical system 102g. In the detection optical system 102g, the recorded information, defocus information, and track position deviation are determined from changes in the polarization direction of reflected light from the optical information recording media 60, 61, 62, and changes in reflected light intensity (level of reflected light level). Information is identified, and this information is converted into electrical signals. The converted electric signal is sent to the signal processing unit 103a.
[0145] 上記の反射光には、光情報記録媒体 60, 61, 62上に設けられたプリピット 31, 51 の一部によって構成されるアドレス情報マークからの反射光も含まれている。検出光 学系 102gは、その反射光から得られた電気信号、すなわちアドレス情報マークを再 生することにより得られた電気信号から、光情報記録媒体 60, 61, 62における光ビ ーム照射面に形成される光スポット(光ビームの集光部)の光情報記録媒体 60, 61, 62に対するフォーカスエラー信号とトラッキングエラー信号とを検出する。  [0145] The reflected light includes reflected light from an address information mark constituted by a part of the prepits 31, 51 provided on the optical information recording medium 60, 61, 62. The detection optical system 102g uses the electrical signal obtained from the reflected light, that is, the electrical signal obtained by reproducing the address information mark, to irradiate the optical beam on the optical information recording medium 60, 61, 62. A focus error signal and a tracking error signal for the optical information recording medium 60, 61, 62 of the light spot (light beam condensing portion) formed on the optical disc are detected.
[0146] レンズァクチユエータ 102fは、上記のフォーカスエラー信号がフィードバックされる ことにより、光スポットの光軸方向の位置ずれを補正する。これにより、光ピックアップ 装置 102は、光情報記録媒体 60, 61, 62における所望の第 1情報記録層 20又は 第 2情報記録層 40に光スポットを形成できる。また、レンズァクチユエータ 102fは、ト ラッキングエラー信号がフィードバックされることにより、光スポットのトラック幅方向の 位置ずれを補正する。これにより、光ピックアップ装置 102は、光情報記録媒体 60, 61 , 62における目標のトラックに光スポットを追従させることができる。  [0146] The lens actuator 102f corrects the positional deviation of the light spot in the optical axis direction by feeding back the focus error signal. Thus, the optical pickup device 102 can form a light spot on the desired first information recording layer 20 or the second information recording layer 40 in the optical information recording medium 60, 61, 62. Further, the lens actuator 102f corrects the positional deviation of the light spot in the track width direction by feeding back the tracking error signal. As a result, the optical pickup device 102 can cause the optical spot to follow the target track in the optical information recording medium 60, 61, 62.
[0147] 従来の多層光情報記録媒体再生装置では、多くの記録層に再生光をフォーカスし て情報を再生するために、コストアップの伴うピックアップの性能を向上させる必要が ある。これに対し、本光情報記録媒体再生装置 100においては、実施の形態 1の光 情報記録媒体 60, 61, 62を用いて再生を行うので、フォーカスさせる情報記録層数 が従来装置に比べて減少することから、でピックアップ装置 102のコストアップを抑制 することができる。すなわち、より低コストの再生装置が実現できる。また、本光情報記 録媒体再生装置 100は、高密度に記録された光情報記録媒体 60, 61, 62を用いる ことにより、安定した情報再生を行うことができる。 [0147] In the conventional multilayer optical information recording medium reproducing device, it is necessary to improve the performance of the pickup accompanied by an increase in cost in order to reproduce information by focusing the reproducing light on many recording layers. On the other hand, in the present optical information recording medium reproducing apparatus 100, reproduction is performed using the optical information recording medium 60, 61, 62 of the first embodiment. Therefore, the cost increase of the pickup device 102 can be suppressed. That is, a lower cost reproducing apparatus can be realized. In addition, the optical information recording medium reproducing apparatus 100 can perform stable information reproduction by using the optical information recording media 60, 61, 62 recorded at high density.
[0148] 以上のように、本発明に係る光情報記録媒体は、再生光入射面側から、少なくとも 、透光層と、第 1情報記録層と、主に樹脂からなる中間層と、第 2情報記録層と、基板 とがこの順に積層されている光情報記録媒体であって、上記第 1及び第 2情報記録 層の両層に、青色レーザ光の再生光で再生を行う再生装置の有する光学解像限界 より短いマーク長の信号を再生可能とする無機物力 成る再生膜が含まれていること を特徴としている。 [0148] As described above, the optical information recording medium according to the present invention has at least a translucent layer, a first information recording layer, an intermediate layer mainly made of a resin, and a second layer from the reproduction light incident surface side. An optical information recording medium in which an information recording layer and a substrate are laminated in this order, and has a reproducing apparatus that reproduces with the reproducing light of the blue laser light in both the first and second information recording layers. It is characterized by the inclusion of a regenerative film made of inorganic material that can regenerate signals with a mark length shorter than the optical resolution limit.
[0149] 上記の構成では、第 1情報記録層に記録された情報を再生する時には、青色レー ザ光の再生光が透光層を通して照射されて第 1情報記録層にフォーカスされる。そし て、第 1情報記録層の解像限界以下のマーク長で記録された情報を読み出すことが できる。  In the above configuration, when reproducing the information recorded on the first information recording layer, the reproduction light of blue laser light is irradiated through the translucent layer and focused on the first information recording layer. Then, it is possible to read out information recorded with a mark length less than the resolution limit of the first information recording layer.
[0150] また、第 2情報記録層に記録された情報を再生する時には、青色レーザ光の再生 光が、透光層と、第 1情報記録層と、中間層とを透過して照射され、第 2情報記録層 にフォーカスされる。そして、第 2情報記録層の解像限界以下のマーク長で記録され た情報を読み出すことができる。  [0150] Further, when reproducing the information recorded in the second information recording layer, the reproduction light of the blue laser light is irradiated through the light transmitting layer, the first information recording layer, and the intermediate layer, Focus on the second information recording layer. Then, information recorded with a mark length less than the resolution limit of the second information recording layer can be read.
[0151] これにより、第 1及び第 2情報記録層ともに、実質的な記録密度 (再生可能な記録 密度の意)を解像限界により制限された記録密度より高められる。それゆえ、特許文 献 1の超解像媒体よりも、情報記録層が多いだけ、記録容量を向上させることができ る。更に、同じ記録容量を有する記録媒体を作製する場合、各情報記録層が解像限 界により制限された記録密度である特許文献 2の多層光情報記録媒体よりも、記録 層数を減少させることが可能になる。  [0151] Thereby, in both the first and second information recording layers, the substantial recording density (meaning the reproducible recording density) is made higher than the recording density limited by the resolution limit. Therefore, as compared with the super-resolution medium of Patent Document 1, the recording capacity can be improved by having more information recording layers. Furthermore, when producing recording media having the same recording capacity, the number of recording layers can be reduced as compared with the multilayer optical information recording medium of Patent Document 2 in which each information recording layer has a recording density limited by the resolution limit. Is possible.
[0152] このように、第 1及び第 2情報記録層は、超解像効果により情報読み取りが可能に なる。これにより、第 1及び第 2吸光膜の記録密度が解像限界以下となるため、製造 コストに対して光情報記録媒体の記録容量を向上させることが可能になり、コストパフ オーマンスの高い記録媒体を提供することができる。それゆえ、第 1及び第 2情報記 録層を備えることで、同じ記録容量を有する記録媒体を作製する場合、特許文献 2の 多層光情報記録媒体よりも記録層数を減少させることが可能になる。したがって、製 造ラインにおいて、記録層をスパッタリングで形成するための高価な真空装置の台数 を削減することができ、記録層を増加させるのに伴う記録媒体の製造コストを大幅に 低減させることができる。また、特許文献 1のようなマスク層を用いた超解像技術では 、マスク層の他にさらに反射膜が必要である。これに対し、上記構成によれば、後に 実施例において示すが、青色レーザ光の再生光で再生を行う再生装置の有する光 学解像限界より短いマーク庁の信号を再生可能とするとともに、少なくとも超解像再 生を行うためには、反射膜は必要でなぐ再生膜のみを用いれば良いので、コストの 低減が可能となる。 [0152] As described above, the first and second information recording layers can read information by the super-resolution effect. As a result, the recording density of the first and second light-absorbing films is below the resolution limit, so that the recording capacity of the optical information recording medium can be improved with respect to the manufacturing cost, and a recording medium with high cost performance can be obtained. Can be provided. Therefore, the first and second information records By providing the recording layer, when producing a recording medium having the same recording capacity, the number of recording layers can be reduced as compared with the multilayer optical information recording medium of Patent Document 2. Therefore, in the production line, the number of expensive vacuum devices for forming the recording layer by sputtering can be reduced, and the production cost of the recording medium accompanying the increase in the recording layer can be greatly reduced. . In addition, in the super-resolution technique using a mask layer as in Patent Document 1, a reflective film is required in addition to the mask layer. On the other hand, according to the above configuration, as will be described later in the embodiment, it is possible to reproduce a Mark Agency signal that is shorter than the optical resolution limit of a reproduction apparatus that reproduces with the reproduction light of blue laser light, and at least In order to perform super-resolution reproduction, it is only necessary to use a regenerative film that is not necessary for the reflective film, so that the cost can be reduced.
[0153] また、第 1及び第 2再生膜の材料は、後に実施例で示すが、無機物であり、一般的 に有機物より安定である。また、後に実施例で示すが、第 1及び第 2再生膜は青色レ 一ザで良!ゝ超解像特性及び再生耐久性を示す。  [0153] Further, as will be described later in Examples, the materials of the first and second reproduction films are inorganic materials, and are generally more stable than organic materials. Further, as will be shown later in Examples, the first and second reproduction films are blue lasers and exhibit good super-resolution characteristics and reproduction durability.
[0154] また、後に実施例で示すが、特許文献 1に示されるようなレーザ光のパワーによつ てピット部の平均反射率が変わるマスク型超解像媒体と異なり、第 1及び第 2再生膜 は再生光であるレーザ光のパワーによって再生光であるレーザ光の波長に対するピ ット部の平均反射率がほとんど変化しない。  [0154] Further, as will be described later in the examples, unlike the mask type super-resolution medium in which the average reflectance of the pit portion is changed by the power of the laser beam as shown in Patent Document 1, the first and second In the reproduction film, the average reflectance of the pit portion with respect to the wavelength of the laser beam as the reproduction light hardly changes depending on the power of the laser beam as the reproduction light.
[0155] マスク型超解像媒体では、レーザ光のパワーが大きくなると単位面積あたりの光量 が多くなり、それに伴う温度上昇も大きくなるため、擬似的なレーザスポットが変化す ることにより、レーザ光のパワーによる反射率変化が生じる。情報記録層にフォーカス サーボを引き込む際にも同様の現象が起こり、ピックアップの焦点位置に対する情報 記録層のデフォーカス量が大きいときは、情報記録層の単位面積あたりの光量が少 ないため、それに伴う温度上昇も小さい。一方、デフォーカス量が小さくなると、情報 記録層の単位面積あたりの光量が多くなるため、それに伴う温度上昇も大きくなるの で、擬似的なレーザスポットが変化して、反射率変化が生じる。このため、マスク型超 解像媒体では、情報記録層にフォーカスサーボを引き込む際に、ピックアップと情報 記録層との相対位置により情報記録層の反射率が変化することから、フォーカスエラ 一信号 (Sカーブ)にひずみが生じるので、フォーカスエラー信号をトータル光量で除 算して規格ィ匕するための回路が必要となる。これに対し、本願の光情報記録媒体で は、レーザ光の波長に対するピット部の平均反射率が温度によりほとんど変化しない ために、上記の回路が必要ではなくなるため、再生装置が安価になるという効果があ る。 [0155] In the mask-type super-resolution medium, the amount of light per unit area increases as the laser beam power increases, and the associated temperature rise increases. The reflectance changes due to the power of. A similar phenomenon occurs when the focus servo is pulled into the information recording layer. When the amount of defocus of the information recording layer relative to the focal point of the pickup is large, the amount of light per unit area of the information recording layer is small, which is accompanied by this. Temperature rise is small. On the other hand, as the defocus amount decreases, the amount of light per unit area of the information recording layer increases, and the accompanying temperature increase also increases, so that the pseudo laser spot changes and the reflectance changes. For this reason, in the mask-type super-resolution medium, when the focus servo is pulled into the information recording layer, the reflectivity of the information recording layer changes depending on the relative position between the pickup and the information recording layer. Curve), the focus error signal is divided by the total amount of light. A circuit for calculating and standardizing is required. On the other hand, in the optical information recording medium of the present application, since the average reflectance of the pit portion with respect to the wavelength of the laser beam hardly changes depending on the temperature, the above-described circuit is not necessary, so that the reproduction apparatus is inexpensive. There is.
[0156] また、マスク型超解像媒体では、再生光であるレーザ光のパワーにより擬似的にビ 一ムスポットサイズが変化するためにピット部の平均反射率が変化するのだ力 マー ク長によって最適なビームスポットが異なるため、最適なレーザパワーもマーク長によ つて異なる。例えばマスク型超解像媒体では、解像限界以下のマークが再生可能と なるレーザパワーでは解像限界よりも長いマーク長の信号品質が落ちる。これに対し 、本願の光情報記録媒体では、解像限界以下のマークが再生可能となるレーザパヮ 一でも解像限界よりも長いマーク長の信号品質が落ちることはない。これにより、マス ク型超解像媒体と比較して、ジッタの良好な光情報記録媒体が可能になるという効果 もある。それゆえ、特許文献 1に開示されている超解像技術と比較して、再生耐久性 の向上した超解像技術が可能になる。  [0156] Also, in the mask-type super-resolution medium, the average reflectance of the pits changes because the beam spot size changes in a pseudo manner due to the power of the laser beam that is the reproduction light. Since the optimum beam spot varies depending on the laser beam, the optimum laser power varies depending on the mark length. For example, in a mask-type super-resolution medium, the signal quality with a mark length longer than the resolution limit deteriorates at the laser power at which marks below the resolution limit can be reproduced. On the other hand, in the optical information recording medium of the present application, the signal quality of the mark length longer than the resolution limit does not deteriorate even in the laser par where the mark below the resolution limit can be reproduced. This also has the effect that an optical information recording medium with better jitter can be obtained compared to a mask type super-resolution medium. Therefore, compared with the super-resolution technique disclosed in Patent Document 1, a super-resolution technique with improved reproduction durability becomes possible.
[0157] また、本発明に係る光情報記録媒体は、再生光入射面側から、少なくとも、透光層 と、第 1情報記録層と、主に樹脂からなる中間層と、第 2情報記録層と、基板とがこの 順に積層されている光情報記録媒体であって、上記第 1情報記録層に、青色レーザ 光の再生光で再生を行う再生装置の有する光学解像限界より短いマーク長の信号を 再生可能とする無機物から成る再生膜が含まれていることを特徴とすることが出来る  [0157] Further, the optical information recording medium according to the present invention includes, from the reproduction light incident surface side, at least a translucent layer, a first information recording layer, an intermediate layer mainly made of a resin, and a second information recording layer. And an optical information recording medium in which a substrate is laminated in this order, and the first information recording layer has a mark length shorter than the optical resolution limit of a reproducing apparatus that reproduces with blue laser beam reproducing light. It can be characterized in that it contains a regenerative film made of an inorganic material that can regenerate the signal.
[0158] 上記の構成では、第 1情報記録層のみ超解像効果による情報読み取りが可能とな るため、特許文献 1の超解像媒体よりも、記録容量を向上させることができるし、特許 文献 2の多層光情報記録媒体よりも、記録層数を減少させることが可能になるが、第 1情報記録層及び第 2情報記録層の両層に再生膜を有する前記の構成よりも記録容 量は少なくなる。し力しながら、第 1及び第 2情報記録層両層が再生膜を含む構成で は、第 2情報記録層において超解像特性や再生耐久性を保つような条件で、第 1情 報記録層の条件を決定しなければいけないのに対し、上記の構成では、第 1情報記 録層の条件の制限が緩くなるため、第 1情報記録層の再生膜の材料や膜厚の自由 度が向上する。 [0158] With the above configuration, only the first information recording layer can read information by the super-resolution effect, so that the recording capacity can be improved compared to the super-resolution medium of Patent Document 1, and the patent Although the number of recording layers can be reduced as compared with the multilayer optical information recording medium of Document 2, the recording capacity can be improved as compared with the above-described configuration in which both the first information recording layer and the second information recording layer have reproducing films. The amount is reduced. However, when both the first and second information recording layers include a reproducing film, the first information recording layer is recorded under conditions that maintain the super-resolution characteristics and the reproduction durability in the second information recording layer. Whereas the conditions of the layer must be determined, the above configuration relaxes the restrictions on the conditions of the first information recording layer, so the material and thickness of the reproduction film of the first information recording layer are free. The degree is improved.
[0159] また、本発明に係る光情報記録媒体は、再生光入射面側から、少なくとも、透光層 と、第 1情報記録層と、主に樹脂からなる中間層と、第 2情報記録層と、基板とがこの 順に積層されている光情報記録媒体であって、上記第 2情報記録層に、青色レーザ 光の再生光で再生を行う再生装置の有する光学解像限界より短いマーク長の信号を 再生可能とする無機物から成る再生膜が含まれていることを特徴とすることが出来る  [0159] Also, the optical information recording medium according to the present invention includes at least a translucent layer, a first information recording layer, an intermediate layer mainly made of resin, and a second information recording layer from the reproduction light incident surface side. And an optical information recording medium in which the substrate is laminated in this order, and the second information recording layer has a mark length shorter than the optical resolution limit of a reproducing apparatus that reproduces with the reproducing light of blue laser light. It can be characterized in that it contains a regenerative film made of an inorganic material that can regenerate the signal.
[0160] 上記の構成では、第 1情報記録層のみ再生膜を含む構成と同様、第 1情報記録層 及び第 2情報記録層の両層に再生膜を有する前記の構成よりも記録容量は少なくな るが、第 2情報記録層の再生膜の材料や膜厚の自由度が向上する。 [0160] In the above configuration, the recording capacity is smaller than in the above configuration in which the first information recording layer and the second information recording layer are both provided with the reproducing film, as in the configuration in which only the first information recording layer includes the reproducing film. However, the degree of freedom of the material and film thickness of the reproducing film of the second information recording layer is improved.
[0161] 上記第 1及び第 2情報記録層両層に再生膜を有する光情報記録媒体において、 上記第 1情報記録層が、青色レーザ光の再生光波長において、 20%より大きぐ 53 . 5%より小さい透過率を有することが好ましい。これにより、第 2情報記録層の超解 像特性をほとんど悪化させることなぐ第 1情報記録再生層の超解像特性及び良好 な再生耐久性を得ることができる。それゆえ、光情報記録媒体の記録容量を向上さ せることが可能になる。  [0161] In the optical information recording medium having the reproducing film in both the first and second information recording layers, the first information recording layer is larger than 20% in the reproduction light wavelength of the blue laser light. It is preferable to have a transmittance of less than%. As a result, it is possible to obtain the super-resolution characteristics and good reproduction durability of the first information recording / reproducing layer without substantially degrading the super-resolution characteristics of the second information recording layer. Therefore, it is possible to improve the recording capacity of the optical information recording medium.
[0162] 上記第 1情報記録層にのみ再生膜を有する光情報記録媒体において、上記第 1情 報記録層が、青色レーザ光の再生光波長において、 5%より大きぐ 53. 5%より小さ い透過率を有することが好ましい。これにより、第 2情報記録層の信号を再生可能とし ながら、第 1情報記録再生層の超解像特性及び良好な再生耐久性を得ることができ る。それゆえ、光情報記録媒体の記録容量を向上させることが可能になる。  [0162] In the optical information recording medium having the reproducing film only on the first information recording layer, the first information recording layer is larger than 5% and smaller than 53.5% at the reproducing light wavelength of the blue laser light. It is preferable to have a high transmittance. This makes it possible to obtain the super-resolution characteristics and good reproduction durability of the first information recording / reproducing layer while making it possible to reproduce the signal of the second information recording layer. Therefore, the recording capacity of the optical information recording medium can be improved.
[0163] 上記光情報記録媒体において、上記再生膜が、 Si又は Geの単体、又はこれらを 主成分とした合金又は混合物力もなることが好ましい。これにより、他の材料の再生 膜に比較して、より良好な超解像特性を得ることが出来る。それゆえ、光情報記録媒 体の記録容量をより向上させることが可能になる。  [0163] In the optical information recording medium, it is preferable that the reproducing film also has a simple substance of Si or Ge, or an alloy or a mixture of these as a main component. As a result, it is possible to obtain better super-resolution characteristics as compared with the reproduction film of other materials. Therefore, the recording capacity of the optical information recording medium can be further improved.
[0164] 上記第 1及び第 2情報記録層両層に再生膜を有する光情報記録媒体であり、少な くとも上記第 1情報記録層の再生膜が、 Si又は Geの単体、又はこれらを主成分とした 合金又は混合物からなる光情報記録媒体において、上記第 1情報記録層の再生膜 の膜厚が、 5nmより厚ぐかつ 17nmより薄いことが好ましい。これにより、第 1情報記 録層の再生膜が再生耐久性を保っために最低必要な膜厚を有しているため、第 1情 報記録層の再生耐久性を保ち、さらに第 2情報層の超解像特性をほとんど悪化させ ることなぐ第 1情報層の超解像特性を得ることができ、光情報記録媒体の記録容量 を向上させることが可能になる。 [0164] An optical information recording medium having a reproducing film in both the first and second information recording layers, and at least the reproducing film of the first information recording layer is a simple substance of Si or Ge, or a main component thereof. In an optical information recording medium comprising an alloy or mixture as a component, the reproducing film of the first information recording layer Preferably, the film thickness is greater than 5 nm and less than 17 nm. As a result, since the reproduction film of the first information recording layer has the minimum film thickness necessary for maintaining the reproduction durability, the reproduction durability of the first information recording layer is maintained, and the second information layer The super-resolution characteristics of the first information layer can be obtained without substantially degrading the super-resolution characteristics of the optical information recording medium, and the recording capacity of the optical information recording medium can be improved.
[0165] 上記第 1及び第 2情報記録層両層に再生膜を有する光情報記録媒体であり、少な くとも上記第 2情報記録層の再生膜が、 Si又は Geの単体、又はこれらを主成分とした 合金又は混合物からなる光情報記録媒体にお!、て、上記第 2情報記録層の再生膜 の膜厚が、 5nmより厚いことが好ましい。これにより、第 2情報記録層の超解像特性 及び良好な再生耐久性を得ることができ、光情報記録媒体の記録容量を向上させる ことが可能になる。 [0165] An optical information recording medium having a reproducing film in both the first and second information recording layers, and at least the reproducing film of the second information recording layer is a simple substance of Si or Ge, or a main component thereof. In an optical information recording medium made of an alloy or mixture as a component, it is preferable that the thickness of the reproducing film of the second information recording layer is greater than 5 nm. This makes it possible to obtain the super-resolution characteristics and good reproduction durability of the second information recording layer, and to improve the recording capacity of the optical information recording medium.
[0166] 上記第 1情報記録層にのみ再生膜を有する光情報記録媒体であり、上記第 1情報 記録層の再生膜が、 Si又は Geの単体、又はこれらを主成分とした合金又は混合物 からなる光情報記録媒体において、上記第 1情報記録層の再生膜の膜厚が、 5nmよ り厚ぐかつ 65nmより薄いことが好ましい。これにより、第 1情報記録層の再生膜が再 生耐久性を保っために最低必要な膜厚を有しているため、第 1情報記録層の再生耐 久性を保ち、さらに、第 2情報記録層の信号を再生可能としながら、良好な第 1情報 記録層の超解像特性を得ることができ、光情報記録媒体の記録容量を向上させるこ とが可能になる。  [0166] An optical information recording medium having a reproduction film only on the first information recording layer, wherein the reproduction film of the first information recording layer is composed of a simple substance of Si or Ge, or an alloy or mixture containing these as a main component. In the optical information recording medium, it is preferable that the reproducing film of the first information recording layer is thicker than 5 nm and thinner than 65 nm. As a result, the reproduction film of the first information recording layer has the minimum film thickness necessary for maintaining the reproduction durability. Therefore, the reproduction durability of the first information recording layer is maintained, and the second information It is possible to obtain a good super-resolution characteristic of the first information recording layer while making it possible to reproduce the signal of the recording layer, and to improve the recording capacity of the optical information recording medium.
[0167] 上記光情報記録媒体は、上記再生膜の再生劣化を防ぐための保護膜を上記情報 記録層に含むことが好ましい。この構成では、再生膜の再生劣化を防ぐための保護 膜を有することにより、より良い超解像特性及びより良い再生耐久性を得ることが可能 になる。保護膜の膜厚は、薄すぎると保護膜としての機能が悪ィ匕し、保護膜の材料が 青色レーザ光である再生光波長に対して吸収係数がゼロでなければ、膜厚は厚け れば厚いほど再生光の利用効率が悪化し、また厚すぎると成膜時間が力かるため生 産性が悪化する。よって、例えば、保護膜の膜厚としては、 5nm以上 500nm未満が 好ましい。  [0167] The optical information recording medium preferably includes a protective film for preventing reproduction degradation of the reproduction film in the information recording layer. In this configuration, it is possible to obtain better super-resolution characteristics and better reproduction durability by having a protective film for preventing reproduction deterioration of the reproduction film. If the protective film is too thin, the protective film functions poorly. If the material of the protective film is not zero with respect to the reproduction light wavelength, which is blue laser light, the film thickness is increased. The thicker the film, the worse the utilization efficiency of the reconstructed light. Therefore, for example, the thickness of the protective film is preferably 5 nm or more and less than 500 nm.
[0168] 上記光情報記録媒体は、上記透光層が透明基板であることが好ましい。この構成 では、単に 2層構造を貼り合わせるだけで良いので、多層構造を形成するための 2P 転写のような複雑な工程を用いる必要がなぐより安価に光情報記録媒体を製造する ことができる。また、この構造は、 DVDの規格に適合しているので、安価に高密度の DVD (HD DVD)を提供することができる。 [0168] In the optical information recording medium, the light transmitting layer is preferably a transparent substrate. This configuration Then, since it is only necessary to bond the two-layer structure, the optical information recording medium can be manufactured at a lower cost without using a complicated process such as 2P transfer for forming a multilayer structure. Further, since this structure conforms to the DVD standard, a high-density DVD (HD DVD) can be provided at low cost.
[0169] また、本発明に係る光情報記録媒体再生装置は、上記の 、ずれかの光情報記録 媒体を再生可能であるレーザパワーをもつレーザ光の再生光を上記第 1又は第 2情 報記録層に照射し、上記光情報記録媒体からの反射光を読み取る光学読取手段を 備えて 、ることを特徴として 、る。  [0169] Further, the optical information recording medium reproducing apparatus according to the present invention provides the above-mentioned first or second information as the reproduction light of the laser beam having a laser power capable of reproducing any of the above-mentioned optical information recording media. It comprises an optical reading means for irradiating the recording layer and reading the reflected light from the optical information recording medium.
[0170] この光情報記録媒体再生装置は、光学読取手段によって、光情報記録媒体を再 生可能なレーザパワーをもつレーザ光の再生光を照射することで光情報記録媒体か らの反射光を読み取るので、より高密度に記録された光情報記録媒体からの安定し た情報再生が可能となる。このような光情報記録媒体を再生可能とするには、レーザ ノ ヮ一が従来のレーザパワーより高い必要があり、また、あまり過度に高いレーザパ ヮーでは再生膜が破壊されてしまうため、最適なレーザパワーの値に設定される。こ のようにして、光情報記録媒体の再生が可能となれば、 2層超解像媒体での再生が 可能となる。例えば、超解像効果により本願の光情報記録媒体の単層での記録要領 が通常媒体の 2倍になったとしたら、同じ記録容量で 4層通常媒体より低コストの 2層 超解像媒体を用いた再生が可能になる。それゆえ、超解像技術を用いずに情報記 録密度を高めた多層光情報記録媒体を再生するよりも、フォーカスしなければならな い情報記録層の数が減少するので、各層へのフォーカス回数が減少する。例えば、 同じ記録容量である 4層通常媒体を再生する場合に比較して、層数が半分となり、フ オーカス回数も半分となる。この結果、光学読取装置 (光ピックアップ)のフォーカス制 御が簡素になるので、光学読取装置のコスト上昇が抑制されると共に、フォーカスに 要する時間が短縮されるので、再生命令に対する反応が向上する。したがって、より 低コストで高性能な再生装置を提供することができる。  [0170] This optical information recording medium reproducing device irradiates the reflected light from the optical information recording medium by irradiating the reproducing light of the laser beam having a laser power capable of reproducing the optical information recording medium by the optical reading means. Since reading is performed, stable information reproduction from an optical information recording medium recorded with higher density becomes possible. In order to make such an optical information recording medium reproducible, the laser power must be higher than the conventional laser power, and if the laser power is too high, the playback film will be destroyed. Set to the value of the laser power. If the optical information recording medium can be reproduced in this way, it can be reproduced on a double-layer super-resolution medium. For example, if the recording procedure in a single layer of the optical information recording medium of the present application is double that of a normal medium due to the super-resolution effect, a two-layer super-resolution medium with the same recording capacity and lower cost than a four-layer normal medium will The reproduction using it becomes possible. Therefore, the number of information recording layers that must be focused is reduced compared to the reproduction of a multilayer optical information recording medium with an increased information recording density without using super-resolution technology. The number of times decreases. For example, the number of layers is halved and the number of times of focus is halved compared to the case of playing a four-layer normal medium with the same recording capacity. As a result, the focus control of the optical reading device (optical pickup) is simplified, so that an increase in cost of the optical reading device is suppressed and the time required for focusing is shortened, and the response to the reproduction command is improved. Therefore, a high-performance playback device can be provided at a lower cost.
[0171] 本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなぐ請求項に示した範囲で 種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適 宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。 産業上の利用の可能性 [0171] The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible within the scope shown in the claims, and can be obtained by appropriately combining technical means disclosed in different embodiments. Such embodiments are also included in the technical scope of the present invention. Industrial applicability
本発明の光情報記録媒体は、情報記録層において、再生光を収集して熱に変換 する吸光膜と、その熱で加熱された部分の光透過率を変化させる再生膜とを設ける ことによって、製造コストの低減、情報記録密度の向上及び情報記録層の再生耐久 性の向上を図ることができるので、高密度記録へ好適に利用できる。  In the optical information recording medium of the present invention, in the information recording layer, by providing a light absorption film that collects the reproduction light and converts it into heat, and a reproduction film that changes the light transmittance of the portion heated by the heat, Since the production cost can be reduced, the information recording density can be improved, and the reproduction durability of the information recording layer can be improved, it can be suitably used for high density recording.

Claims

請求の範囲 The scope of the claims
[1] 再生光入射面側から、少なくとも、透光層と、第 1情報記録層と、主に樹脂からなる 中間層と、第 2情報記録層と、基板とがこの順に積層されている光情報記録媒体であ つて、  [1] Light in which at least a translucent layer, a first information recording layer, an intermediate layer mainly made of resin, a second information recording layer, and a substrate are laminated in this order from the reproduction light incident surface side. An information recording medium,
上記第 1及び第 2情報記録層の両層に、青色レーザ光の再生光で再生を行う再生 装置の有する光学解像限界より短いマーク長の信号を再生可能とする無機物から成 る再生膜が含まれていることを特徴とする光情報記録媒体。  A reproduction film made of an inorganic material that can reproduce a signal having a mark length shorter than the optical resolution limit of a reproduction apparatus that reproduces with the reproduction light of blue laser light is formed on both the first and second information recording layers. An optical information recording medium comprising the optical information recording medium.
[2] 再生光入射面側から、少なくとも、透光層と、第 1情報記録層と、主に樹脂からなる 中間層と、第 2情報記録層と、基板とがこの順に積層されている光情報記録媒体であ つて、 [2] Light in which at least a light transmitting layer, a first information recording layer, an intermediate layer mainly made of resin, a second information recording layer, and a substrate are laminated in this order from the reproduction light incident surface side. An information recording medium,
上記第 1情報記録層に、青色レーザ光の再生光で再生を行う再生装置の有する光 学解像限界より短いマーク長の信号を再生可能とする無機物力 成る再生膜が含ま れて!ヽることを特徴とする光情報記録媒体。  The first information recording layer includes a reproducing film made of an inorganic material capable of reproducing a signal having a mark length shorter than the optical resolution limit of a reproducing apparatus that reproduces with the reproducing light of blue laser light! An optical information recording medium.
[3] 再生光入射面側から、少なくとも、透光層と、第 1情報記録層と、主に樹脂からなる 中間層と、第 2情報記録層と、基板とがこの順に積層されている光情報記録媒体であ つて、 [3] Light in which at least a translucent layer, a first information recording layer, an intermediate layer mainly made of resin, a second information recording layer, and a substrate are laminated in this order from the reproduction light incident surface side. An information recording medium,
上記第 2情報記録層に、青色レーザ光の再生光で再生を行う再生装置の有する光 学解像限界より短いマーク長の信号を再生可能とする無機物力 成る再生膜が含ま れて!ヽることを特徴とする光情報記録媒体。  The second information recording layer includes a reproducing film made of an inorganic material capable of reproducing a signal having a mark length shorter than the optical resolution limit of a reproducing apparatus that reproduces with the reproducing light of blue laser light! An optical information recording medium.
[4] 上記第 1情報記録層が、再生光波長において、 20%より大きぐ 53. 5%より小さい 透過率を有することを特徴とする請求項 1に記載の光情報記録媒体。 4. The optical information recording medium according to claim 1, wherein the first information recording layer has a transmittance of greater than 20% and less than 53.5% at a reproduction light wavelength.
[5] 上記第 1情報記録層が、再生光波長において、 5%より大きぐ 53. 5%より小さい 透過率を有することを特徴とする請求項 2に記載の光情報記録媒体。 5. The optical information recording medium according to claim 2, wherein the first information recording layer has a transmittance of greater than 5% and less than 53.5% at a reproduction light wavelength.
[6] 上記第 1情報記録層及び Z又は上記第 2情報記録層の再生膜が、 Siもしくは Geの 単体、又はこれらを主成分とした合金又は混合物からなることを特徴とする請求項 1 乃至 5の 、ずれか 1項に記載の光情報記録媒体。 6. The reproduction film of the first information recording layer and Z or the second information recording layer is made of a simple substance of Si or Ge, or an alloy or mixture containing these as a main component. 5. The optical information recording medium according to item 1 above.
[7] 上記再生膜の内、少なくとも上記第 1情報記録層の再生膜が、 Siもしくは Geの単体[7] Of the reproducing film, at least the reproducing film of the first information recording layer is a simple substance of Si or Ge.
、又はこれらを主成分とした合金又は混合物カゝらなり、上記第 1情報記録層の再生膜 の膜厚が、 5nmより厚ぐかつ 17nmより薄いことを特徴とする請求項 1又は 4に記載 の光情報記録媒体。 Or an alloy or mixture containing these as a main component, and the reproducing film of the first information recording layer 5. The optical information recording medium according to claim 1, wherein the film thickness is greater than 5 nm and less than 17 nm.
[8] 上記再生膜の内、少なくとも上記第 2情報記録層の再生膜が、 Siもしくは Geの単体 、又はこれらを主成分とした合金又は混合物カゝらなり、上記第 2情報記録層の再生膜 の膜厚が、 5nmより厚いことを特徴とする請求項 1又は 4に記載の光情報記録媒体。  [8] Of the reproducing film, at least the reproducing film of the second information recording layer is made of Si or Ge alone, or an alloy or mixture containing these as a main component, and the reproducing of the second information recording layer is performed. 5. The optical information recording medium according to claim 1, wherein the film thickness is greater than 5 nm.
[9] 上記第 1情報記録層の再生膜が、 Siもしくは Geの単体、又はこれらを主成分とした 合金又は混合物力 なり、上記第 1情報記録層の再生膜の膜厚が、 5nmより厚ぐ 6 5nmより薄いことを特徴とする請求項 2又は 5に記載の光情報記録媒体。  [9] The reproducing film of the first information recording layer is a simple substance of Si or Ge, or an alloy or a mixture of these as a main component, and the thickness of the reproducing film of the first information recording layer is thicker than 5 nm. 6. The optical information recording medium according to claim 2, wherein the optical information recording medium is thinner than 5 nm.
[10] 上記情報記録層が、上記再生膜の再生劣化を防ぐための保護膜を含むことを特徴 とする請求項 1乃至 9のいずれか 1項に記載の光情報記録媒体。  10. The optical information recording medium according to any one of claims 1 to 9, wherein the information recording layer includes a protective film for preventing reproduction degradation of the reproduction film.
[11] 上記保護膜の膜厚が、 5nm以上 500nm未満であることを特徴とする請求項 10に 記載の光情報記録媒体。  11. The optical information recording medium according to claim 10, wherein the protective film has a thickness of 5 nm or more and less than 500 nm.
[12] 上記透光層が、透明基板であることを特徴とする請求項 1乃至 11のいずれか 1項 に記載の光情報記録媒体。  12. The optical information recording medium according to claim 1, wherein the light transmissive layer is a transparent substrate.
[13] 請求項 1乃至 12のいずれか 1項に記載の光情報記録媒体を再生可能であるレー ザパワーをもつレーザ光の再生光を上記第 1又は第 2情報記録層に照射し、上記光 情報記録媒体力 の反射光を読み取る光学読取手段を備えていることを特徴とする 光情報記録媒体再生装置。  [13] The first or second information recording layer is irradiated with reproduction light of a laser beam having a laser power capable of reproducing the optical information recording medium according to any one of claims 1 to 12, and the light is recorded. An optical information recording medium reproducing device comprising optical reading means for reading reflected light of an information recording medium force.
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