•上;.... •上;.... 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（1 ) 本發明背景資1 本發明是有關於在半導體晶圓切割成較小晶片時用以 將半導體晶圓固著於晶圓座上的感壓性黏合劑。 爲了將半導體晶圓切割及分隔成較小的晶片，一種已 知的方法包括形成中空楔形溝槽以配合所要形成之晶片的 輪廓，以及施加外力來使晶圓沿著溝槽分隔開來。然而， 該方法在分隔精確度上較差，以及還另外需要人工來將晶 圓切割後的較小晶片轉移到下個步驟，於是降低了可操作 性。 另外一種已知的方法包括以感壓性黏合劑來將半導體 晶圓結合及固定在經設計爲供半導體晶圓固著用的黏著性 晶圓座上，以旋轉圓形葉片沿著晶片輪廓來切割晶圓，並 由黏著性晶圓座將切下而分離的小切割片取拾起來。使用 該方法在切割半導體晶圚時，有在水壓下以水來沖洗半導 體晶圓以便將磨擦熱帶走及廢料切割掉。於是黏合劑將需 要有足夠的膠黏性以便在切割晶圓當中能將半導體晶圓固 定住，同時還要足以能耐得住沖洗水的水壓。然而，如果 黏合劑的黏合性過大，則將無法輕易由黏著性晶圓座來將 經切割及分隔的晶片取拾起來，在此同時黏合劑會殘留在 經取拾起來的晶片本身，於是會汙染到晶片。所以膠黏劑 所需要的性質是在切割當中要足以將晶圓固定住，以及耐 得住水壓，而該性質不會在降低可操作性之下使黏合劑變 成固定在經切割及分隔的晶片上。尤其是如果有將半導體 晶圓切割及分隔成0 . 3至1 . Omm平方的微小尺寸晶 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（ 210X297公釐）-4 - I----------装-- (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 •上;.... •上;.... 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（1 ) 本發明背景資1 本發明是有關於在半導體晶圓切割成較小晶片時用以 將半導體晶圓固著於晶圓座上的感壓性黏合劑。 爲了將半導體晶圓切割及分隔成較小的晶片，一種已 知的方法包括形成中空楔形溝槽以配合所要形成之晶片的 輪廓，以及施加外力來使晶圓沿著溝槽分隔開來。然而， 該方法在分隔精確度上較差，以及還另外需要人工來將晶 圓切割後的較小晶片轉移到下個步驟，於是降低了可操作 性。 另外一種已知的方法包括以感壓性黏合劑來將半導體 晶圓結合及固定在經設計爲供半導體晶圓固著用的黏著性 晶圓座上，以旋轉圓形葉片沿著晶片輪廓來切割晶圓，並 由黏著性晶圓座將切下而分離的小切割片取拾起來。使用 該方法在切割半導體晶圚時，有在水壓下以水來沖洗半導 體晶圓以便將磨擦熱帶走及廢料切割掉。於是黏合劑將需 要有足夠的膠黏性以便在切割晶圓當中能將半導體晶圓固 定住，同時還要足以能耐得住沖洗水的水壓。然而，如果 黏合劑的黏合性過大，則將無法輕易由黏著性晶圓座來將 經切割及分隔的晶片取拾起來，在此同時黏合劑會殘留在 經取拾起來的晶片本身，於是會汙染到晶片。所以膠黏劑 所需要的性質是在切割當中要足以將晶圓固定住，以及耐 得住水壓，而該性質不會在降低可操作性之下使黏合劑變 成固定在經切割及分隔的晶片上。尤其是如果有將半導體 晶圓切割及分隔成0 . 3至1 . Omm平方的微小尺寸晶 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（ 210X297公釐）-4 - I----------装-- (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 A7 . .-. t ___ B7 L......... -- .· - —-. -一 五、發明説明（2 ) 片時，則黏合劑需要能在接觸面積小的情況下呈現出上述 的性質。 已知乳液型丙烯酸黏合劑是一種用於這類特殊目的的 黏合劑。然而，彼很容易就溶解在水中，並且是直徑爲 〇 . 3 μ m的球形，所以水很容易侵入黏合劑表面及矽晶 園表面二者之間的界面。是以，在切割當中供應的冷卻水 很容易爲該界面所吸進，於是就會使膠黏性降低。因此， 在將半導體晶圓切割及分隔成晶片時，晶片會有過度散布 的傾向。此外，加到乳液型丙烯酸黏合劑的表面活性劑會 固著到晶片上，於是就汙染並降低了晶片的電氣性質。 曰本特許專利申請案號碼6 0 — 1 9 6 9 5 6說明一 種用以使半導體晶圓固著的晶圓座，彼具有一個光可穿透 載體和一個提供在載體上之光可固化感壓性黏合劑層。爲 了要切割及分隔半導體晶圓，要使晶圓牢牢地固定在感壓 性黏合劑片上。在切割後，藉著照射光線來使黏合劑層硬 化，於是黏合劑的膠黏性就失去了。因此，經切割及分隔 的小尺寸晶片將可輕易由晶圓座中取拾起來。然而，上述 使用晶圓座的方法需要昂貴的光線照射裝置，於是就會使 生產成本增加。 太發明概要 因此本發明的一個目檫是要提供一種用以將半導體晶 固固定在晶圓座上的感壓性黏合劑，於是在對半導體晶圓 進行切割及分隔當中，晶圓會牢牢地固定在晶圓座上，同 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2丨0X297公釐）-5 - —r.--Ί------參------1T------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 A7 . .-. t ___ B7 L......... -- .· - —-. -一 五、發明説明（2 ) 片時，則黏合劑需要能在接觸面積小的情況下呈現出上述 的性質。 已知乳液型丙烯酸黏合劑是一種用於這類特殊目的的 黏合劑。然而，彼很容易就溶解在水中，並且是直徑爲 〇 . 3 μ m的球形，所以水很容易侵入黏合劑表面及矽晶 園表面二者之間的界面。是以，在切割當中供應的冷卻水 很容易爲該界面所吸進，於是就會使膠黏性降低。因此， 在將半導體晶圓切割及分隔成晶片時，晶片會有過度散布 的傾向。此外，加到乳液型丙烯酸黏合劑的表面活性劑會 固著到晶片上，於是就汙染並降低了晶片的電氣性質。 曰本特許專利申請案號碼6 0 — 1 9 6 9 5 6說明一 種用以使半導體晶圓固著的晶圓座，彼具有一個光可穿透 載體和一個提供在載體上之光可固化感壓性黏合劑層。爲 了要切割及分隔半導體晶圓，要使晶圓牢牢地固定在感壓 性黏合劑片上。在切割後，藉著照射光線來使黏合劑層硬 化，於是黏合劑的膠黏性就失去了。因此，經切割及分隔 的小尺寸晶片將可輕易由晶圓座中取拾起來。然而，上述 使用晶圓座的方法需要昂貴的光線照射裝置，於是就會使 生產成本增加。 太發明概要 因此本發明的一個目檫是要提供一種用以將半導體晶 固固定在晶圓座上的感壓性黏合劑，於是在對半導體晶圓 進行切割及分隔當中，晶圓會牢牢地固定在晶圓座上，同 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2丨0X297公釐）-5 - —r.--Ί------參------1T------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 sg. t Λ 修正 補充 五、發明説明（3 ) 時如此經切割及分隔的小尺寸晶片可在黏合劑不會固定到 晶片上之下輕易由晶圓座中取拾起來。 本發明的另一個目檫是要提供一種用以將半導體晶圓 固著在晶圖座上的感壓性黏合劑，彼允許在無需使用特殊 裝置下來將晶片製造出來。 本發明的上述及其他目標將可由下面敘述而變得明顯 〇 本發明提供一種用以將半導體晶圓固著在晶圓座上的 感壓性黏合劑，彼是由1 0 0重量分率的彈性體、5至 2 0 0重量分率的增稠劑和0 . 0 5至3 0重量分率的硬 化劑所構成。 本發明較佳體系 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明感壓性黏合劑所含的彈性體包括天然橡膠、合 成異戊二烯橡膠、苯乙烯丁二烯橡膠（SBR)、苯乙烯 /丁二烯塊狀共聚物、丁基橡膠、聚異丁烯、矽橡膠、聚 乙烯基異丁醚、氯丁二烯、腈類橡膠、接枝橡膠、苯乙烯 /乙烯/丁烯塊狀共聚物、苯乙烯/丙烯丁烯塊狀共聚物 、苯乙烯/異戊二烯塊狀共聚物、丙烯腈/丁二烯共聚物 、甲基丙烯酸甲酯/丁二烯共聚物、聚異丁烯/乙烯/丙 烯共聚物、乙烯醋酸乙醋共聚物、聚丁二烯、丙烯睛/丙 烯酸酯共聚物、及聚乙烯醚。這些彈性可單獨或聯合使用 。彈性髖可以是再生橡膠。如果彈性體是以作爲感壓性膠 黏劑中的一個成份來使用時，黏合劑會因彈性體的柔軟分 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS)A4規格（2丨0X297公釐）-6 - A7 B7 sg. t Λ 修正 補充 五、發明説明（3 ) 時如此經切割及分隔的小尺寸晶片可在黏合劑不會固定到 晶片上之下輕易由晶圓座中取拾起來。 本發明的另一個目檫是要提供一種用以將半導體晶圓 固著在晶圖座上的感壓性黏合劑，彼允許在無需使用特殊 裝置下來將晶片製造出來。 本發明的上述及其他目標將可由下面敘述而變得明顯 〇 本發明提供一種用以將半導體晶圓固著在晶圓座上的 感壓性黏合劑，彼是由1 0 0重量分率的彈性體、5至 2 0 0重量分率的增稠劑和0 . 0 5至3 0重量分率的硬 化劑所構成。 本發明較佳體系 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明感壓性黏合劑所含的彈性體包括天然橡膠、合 成異戊二烯橡膠、苯乙烯丁二烯橡膠（SBR)、苯乙烯 /丁二烯塊狀共聚物、丁基橡膠、聚異丁烯、矽橡膠、聚 乙烯基異丁醚、氯丁二烯、腈類橡膠、接枝橡膠、苯乙烯 /乙烯/丁烯塊狀共聚物、苯乙烯/丙烯丁烯塊狀共聚物 、苯乙烯/異戊二烯塊狀共聚物、丙烯腈/丁二烯共聚物 、甲基丙烯酸甲酯/丁二烯共聚物、聚異丁烯/乙烯/丙 烯共聚物、乙烯醋酸乙醋共聚物、聚丁二烯、丙烯睛/丙 烯酸酯共聚物、及聚乙烯醚。這些彈性可單獨或聯合使用 。彈性髖可以是再生橡膠。如果彈性體是以作爲感壓性膠 黏劑中的一個成份來使用時，黏合劑會因彈性體的柔軟分 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS)A4規格（2丨0X297公釐）-6 - 粒蠲溫申諳案
經滴部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（4 ) 子架構（skeleton )而牢固地鍵結到矽晶圓上，所以在切 割操作當中可穩定地進行切割而不會發生晶片散布現象。 此外，還可避免因散布之晶片所造成的葉片損壞，於是可 獏得經改良的葉片耐用性及改良的生產率。 感壓性黏合劑所含的增稠劑可列舉的例子有脂族石油 樹脂、芳族石油樹脂、及經氫化的石油樹脂，以及尤其包 括以松脂爲主的樹脂、以萜烯爲主的樹脂、香豆酮/芘樹 脂、以苯乙烯爲主的樹脂、烷基苯酚樹脂、和二甲苯樹脂 ^可列舉之以松脂爲主的樹脂有松脂、經聚合化的松脂、 經氫化的松脂、松脂酯類、經氫化的松脂酯類和松脂苯酚 樹脂。可列舉之以萜類爲主的樹脂有萜烯、萜烯苯酚樹脂 及經改性的芳族萜烯樹脂。可列舉之經氫化的石油樹脂有 芳族或脂族樹脂或以二環戊二烯爲主的樹脂。增稠劑可單 獨或聯合使用。增稠劑所需要含有的量爲5至2 0 0重量 分率和較宜爲1 0至1 0 0重量分率的彈性體。如果增稠 劑用量低於5重量分率，則半導體晶圓無法固定在晶圓座 上以供對晶圓進切割及分隔，這造成晶片散布。反之，其 增稠劑含量超過2 0 0重量分率的黏合劑也不適用，因爲 經切割的小尺寸晶片在將晶片取拾起來時會被固定在晶片 上的感壓性黏合劑所汙染。 、 本發明感壓性黏合劑所含之硬化劑可列舉的例子有異 氰酸鹽一比如苯二異氰酸酯、甲苯二異氰酸酯、二苯基間 二異氰酸酯、六伸甲基二異氰酸酯或環己烷二異氰酸酯； 硫與硫化促進劑-比如瞎唑型硫化促進劑、胺硫（su 1 fe- (請先閱讀背而之注意事項再填寫本頁) *va 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -7 - 粒蠲溫申諳案
經滴部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（4 ) 子架構（skeleton )而牢固地鍵結到矽晶圓上，所以在切 割操作當中可穩定地進行切割而不會發生晶片散布現象。 此外，還可避免因散布之晶片所造成的葉片損壞，於是可 獏得經改良的葉片耐用性及改良的生產率。 感壓性黏合劑所含的增稠劑可列舉的例子有脂族石油 樹脂、芳族石油樹脂、及經氫化的石油樹脂，以及尤其包 括以松脂爲主的樹脂、以萜烯爲主的樹脂、香豆酮/芘樹 脂、以苯乙烯爲主的樹脂、烷基苯酚樹脂、和二甲苯樹脂 ^可列舉之以松脂爲主的樹脂有松脂、經聚合化的松脂、 經氫化的松脂、松脂酯類、經氫化的松脂酯類和松脂苯酚 樹脂。可列舉之以萜類爲主的樹脂有萜烯、萜烯苯酚樹脂 及經改性的芳族萜烯樹脂。可列舉之經氫化的石油樹脂有 芳族或脂族樹脂或以二環戊二烯爲主的樹脂。增稠劑可單 獨或聯合使用。增稠劑所需要含有的量爲5至2 0 0重量 分率和較宜爲1 0至1 0 0重量分率的彈性體。如果增稠 劑用量低於5重量分率，則半導體晶圓無法固定在晶圓座 上以供對晶圓進切割及分隔，這造成晶片散布。反之，其 增稠劑含量超過2 0 0重量分率的黏合劑也不適用，因爲 經切割的小尺寸晶片在將晶片取拾起來時會被固定在晶片 上的感壓性黏合劑所汙染。 、 本發明感壓性黏合劑所含之硬化劑可列舉的例子有異 氰酸鹽一比如苯二異氰酸酯、甲苯二異氰酸酯、二苯基間 二異氰酸酯、六伸甲基二異氰酸酯或環己烷二異氰酸酯； 硫與硫化促進劑-比如瞎唑型硫化促進劑、胺硫（su 1 fe- (請先閱讀背而之注意事項再填寫本頁) *va 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -7 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A 7 vi · • -... . · . _ B7 .:. 五、發明説明（5 ) nam i d e )型硫促進劑、胺硫代甲醯型硫化促進劑或二代酸 鹽型硫化促進劑-的混合物：聚烷基苯酚-比如丁基苯酚 、辛基苯酚或壬基苯酚；有機過氧化物一比如過氧化苯甲 醯、過氧化二鉻醯、過氧化酮、過氧縮醛（peroxyketal )、氫過氧化物、二烷基過氧化物、過氧酯類、過氧二羧 酸酯：以及其混合物。硬化劑所需要的含量爲0 . 05至 3 0重置分率，和較宜爲1 . 〇至5 . 0重量分率至 1 0 0重量分率的上述彈性體。如果硬化劑含量低於 0 . 0 5重量分率，則黏合劑會固定到晶片上和使彼汙染 ，然而如果硬化劑含量超過3 0重量分率，則膠黏性會不 夠以致半導體晶圓無法固定到晶圚座上，因此小尺寸的晶 片在切割操作當中會脫離。本發明感壓性黏合劑可選擇性 地含有已知的塡料、抗氧化劑、軟化劑、安定劑或顏料。 根據本發明的較佳特點，吾人特別希望對具有前面提 及含量之上述成份作調整及混合所獲得的感壓性黏合劑具 有3 . 0X1 05至5 . 9X1 0 6達因/ cm2的彈性反 應値（response) (G>)。彈性反應値（G>)是以黏 彈性量測裝置所測量到的値。即令個別成份含量是在上面 的指定數置以內，但當彈性反應値（G > )超過5 . 9X 1 0 6達因/mm平方時，表面張力能量會不足以致感壓 性膠黏劑會有硬化的傾向。在這種情形下，藉著將半導體 切割及分隔而製造出來的小尺寸晶片很容易散布開來，因 爲彼並沒有牢牢地固定在晶圓座上。反之，當彈性反應値 (G —)低於3 . 0 X 1 05達因/ cm2時，表面張力能 ---------1衣------ΐτ------ii (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-8 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A 7 vi · • -... . · . _ B7 .:. 五、發明説明（5 ) nam i d e )型硫促進劑、胺硫代甲醯型硫化促進劑或二代酸 鹽型硫化促進劑-的混合物：聚烷基苯酚-比如丁基苯酚 、辛基苯酚或壬基苯酚；有機過氧化物一比如過氧化苯甲 醯、過氧化二鉻醯、過氧化酮、過氧縮醛（peroxyketal )、氫過氧化物、二烷基過氧化物、過氧酯類、過氧二羧 酸酯：以及其混合物。硬化劑所需要的含量爲0 . 05至 3 0重置分率，和較宜爲1 . 〇至5 . 0重量分率至 1 0 0重量分率的上述彈性體。如果硬化劑含量低於 0 . 0 5重量分率，則黏合劑會固定到晶片上和使彼汙染 ，然而如果硬化劑含量超過3 0重量分率，則膠黏性會不 夠以致半導體晶圓無法固定到晶圚座上，因此小尺寸的晶 片在切割操作當中會脫離。本發明感壓性黏合劑可選擇性 地含有已知的塡料、抗氧化劑、軟化劑、安定劑或顏料。 根據本發明的較佳特點，吾人特別希望對具有前面提 及含量之上述成份作調整及混合所獲得的感壓性黏合劑具 有3 . 0X1 05至5 . 9X1 0 6達因/ cm2的彈性反 應値（response) (G>)。彈性反應値（G>)是以黏 彈性量測裝置所測量到的値。即令個別成份含量是在上面 的指定數置以內，但當彈性反應値（G > )超過5 . 9X 1 0 6達因/mm平方時，表面張力能量會不足以致感壓 性膠黏劑會有硬化的傾向。在這種情形下，藉著將半導體 切割及分隔而製造出來的小尺寸晶片很容易散布開來，因 爲彼並沒有牢牢地固定在晶圓座上。反之，當彈性反應値 (G —)低於3 . 0 X 1 05達因/ cm2時，表面張力能 ---------1衣------ΐτ------ii (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-8 - B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明 (6 ) 量 會 增 加 以 及 感 壓 性 黏 合 劑 會 有 軟 化 的 傾 向 〇 所 以 9 在 將 晶 片 由 晶 圓 座 中 取 拾 起 來 之 m 9 感 壓 性 黏 合 劑 會 有 固 定 到 晶 片 的 傾 向 0 依 據 本 發 明 另 外 一 個 較佳特 點 9 吾 人 特 別 希 望 對在 上 面 指 定含 量 以 內 之 上 述 成 份 作 調 整 及 混 合 > 以 便 所 獲 得 的 感 壓 性 黏 合 劑 在 3 0 0 m m / 分 鐘 的 剝 落 速 度 下 具 有 2 0 至 3 0 0 8 f / 2 0 m m 較 宜 爲 6 0 至 1 0 0 g f / 2 0 m m ， 的 1 8 0 〇 的 剝 落 强 度 ( 依 照 J I S Z 0 2 3 7 置 測 ) 〇 即 令 上 述 成 份 是 在 上 述 含 量 以 內 0 當 1 8 0 〇 剝 落 强 度 小 於 2 0 g f / 2 0 TT1 ΤΠ 時 9 膠 黏性 會 有 不 足 的 傾 向 以 致 經 切 割 及 分 隔 的 小 尺 寸 晶 片 很 容 易 就 散 布 開 來 0 反 之 9 如 果 1 8 0 〇 剝 落 强 度 超 m 3 0 0 8 f / 2 0 ΓΤ1 m 時 9 則 膠 黏 性 會 過 大 以 致 在 將 小 尺 寸 晶 片 取 拾 起 來 之 際 > 晶 片 會 有 爲 固 定 在 其 上 的 黏 合 劑 所 汙 染 的 傾 向 0 其 彈 性 反 應 値 ( G ) 及 1 8 0 〇 剝 落 强 度 都 在 上 述 範 圍 內 的 感 壓 性 黏 合 劑 具 有 最 佳 的 表 面 張 力 値 和 膠 黏 性 9 所 以 小 尺 寸 晶 片 尤 其 是 各 個 大 小 爲 0 3 至 1 0 τη 平 方 的 晶 片 ， 在 取 拾起 來 時 會 爲 感 壓 性 黏 合 劑 汙 染 9 儘 管 在 對 半 導 體 晶 圓 進 行 切 割 及 分 隔 時 半 導 體 晶 圓 仍 會 牢 牢 地 固 定 在 晶 圓 座 上 0 爲 了 要 製 備 本 發 明 感 壓 性 黏 合 劑 9 吾 人 希 望 在 撹 拌 下 使 彈 性 體 、 增 稠 劑 和 如 有 需 要 還 有 其 他 另 外 的 成份 起 混 合 及 溶 解 進 已 知 的 有 俄 溶 劑 中 以 製 備 混 合 物 並 且 希 望 將 硬 化 劑 與 混 合 物 混 合 在 — 起 0 如 此 獏 得 的 本 發 明 感 壓 性 膠 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公釐〉-9 - B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明 (6 ) 量 會 增 加 以 及 感 壓 性 黏 合 劑 會 有 軟 化 的 傾 向 〇 所 以 9 在 將 晶 片 由 晶 圓 座 中 取 拾 起 來 之 m 9 感 壓 性 黏 合 劑 會 有 固 定 到 晶 片 的 傾 向 0 依 據 本 發 明 另 外 一 個 較佳特 點 9 吾 人 特 別 希 望 對在 上 面 指 定含 量 以 內 之 上 述 成 份 作 調 整 及 混 合 > 以 便 所 獲 得 的 感 壓 性 黏 合 劑 在 3 0 0 m m / 分 鐘 的 剝 落 速 度 下 具 有 2 0 至 3 0 0 8 f / 2 0 m m 較 宜 爲 6 0 至 1 0 0 g f / 2 0 m m ， 的 1 8 0 〇 的 剝 落 强 度 ( 依 照 J I S Z 0 2 3 7 置 測 ) 〇 即 令 上 述 成 份 是 在 上 述 含 量 以 內 0 當 1 8 0 〇 剝 落 强 度 小 於 2 0 g f / 2 0 TT1 ΤΠ 時 9 膠 黏性 會 有 不 足 的 傾 向 以 致 經 切 割 及 分 隔 的 小 尺 寸 晶 片 很 容 易 就 散 布 開 來 0 反 之 9 如 果 1 8 0 〇 剝 落 强 度 超 m 3 0 0 8 f / 2 0 ΓΤ1 m 時 9 則 膠 黏 性 會 過 大 以 致 在 將 小 尺 寸 晶 片 取 拾 起 來 之 際 > 晶 片 會 有 爲 固 定 在 其 上 的 黏 合 劑 所 汙 染 的 傾 向 0 其 彈 性 反 應 値 ( G ) 及 1 8 0 〇 剝 落 强 度 都 在 上 述 範 圍 內 的 感 壓 性 黏 合 劑 具 有 最 佳 的 表 面 張 力 値 和 膠 黏 性 9 所 以 小 尺 寸 晶 片 尤 其 是 各 個 大 小 爲 0 3 至 1 0 τη 平 方 的 晶 片 ， 在 取 拾起 來 時 會 爲 感 壓 性 黏 合 劑 汙 染 9 儘 管 在 對 半 導 體 晶 圓 進 行 切 割 及 分 隔 時 半 導 體 晶 圓 仍 會 牢 牢 地 固 定 在 晶 圓 座 上 0 爲 了 要 製 備 本 發 明 感 壓 性 黏 合 劑 9 吾 人 希 望 在 撹 拌 下 使 彈 性 體 、 增 稠 劑 和 如 有 需 要 還 有 其 他 另 外 的 成份 起 混 合 及 溶 解 進 已 知 的 有 俄 溶 劑 中 以 製 備 混 合 物 並 且 希 望 將 硬 化 劑 與 混 合 物 混 合 在 — 起 0 如 此 獏 得 的 本 發 明 感 壓 性 膠 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公釐〉-9 - -Λ5- 五、發明説明（7) 修正補充 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 黏劑較宜塗覆到塑膠片上-比如聚對苯二甲酸乙烯酯、聚 乙烯或聚丙烯的晶圓座，並加熱來使乾燥。塑膠片的厚度 通常是在1 0至5 0 〇 的厚度範圍內來選擇^ 本^明實施例 本發明將參考實施例及對照實施例來作解釋。然而， 本發明並不局限於這些僅作說明用的實施例。 實施例1至8和對照實施例1至4 以馬來西亞製造且具有符合J I S K 6300爲 3 0之彈性數的天然橡膠來作爲彈性體，以及將 A R A K AWA工業有限公司行銷的C 5Ηβ經氫化的石油 樹脂來作爲增稠劑、ARKON Ρ - 9 0 "，使二者依 照表1列出的比例來混合。吾人注意到在對照實施例3及 4中，分別以YASUHAR化學公司行銷之萜烯樹脂， Y S樹脂1 2 5 0〃及同一公司行銷之萜烯苯酚樹脂， YS樹脂POLY STAR 100’來作爲增稠劑。 使2重量分率由KAWAGUTI化學有限公司行銷之用 作抗氧化劑的、ANTAGE W - 5 0 0 ，與570 重量分率的甲苯混合以製造混合物。將由、曰本聚烏拉坦（ NIPPON POLYURETHANE)工業有限公 司行銷之硬化劑¾C0R0NATE 2067〃以如表 1顯示的用量加到該混合物中來製備各個感壓性黏合劑。 各個感壓性黏合劑的彈性反應值（G /)是在3 0 〇c 本紙張尺度適用中國國家標嗥（CNS ) A4規格（210X297公釐） 裝 訂------』 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -10 - -Λ5- 五、發明説明（7) 修正補充 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 黏劑較宜塗覆到塑膠片上-比如聚對苯二甲酸乙烯酯、聚 乙烯或聚丙烯的晶圓座，並加熱來使乾燥。塑膠片的厚度 通常是在1 0至5 0 〇 的厚度範圍內來選擇^ 本^明實施例 本發明將參考實施例及對照實施例來作解釋。然而， 本發明並不局限於這些僅作說明用的實施例。 實施例1至8和對照實施例1至4 以馬來西亞製造且具有符合J I S K 6300爲 3 0之彈性數的天然橡膠來作爲彈性體，以及將 A R A K AWA工業有限公司行銷的C 5Ηβ經氫化的石油 樹脂來作爲增稠劑、ARKON Ρ - 9 0 "，使二者依 照表1列出的比例來混合。吾人注意到在對照實施例3及 4中，分別以YASUHAR化學公司行銷之萜烯樹脂， Y S樹脂1 2 5 0〃及同一公司行銷之萜烯苯酚樹脂， YS樹脂POLY STAR 100’來作爲增稠劑。 使2重量分率由KAWAGUTI化學有限公司行銷之用 作抗氧化劑的、ANTAGE W - 5 0 0 ，與570 重量分率的甲苯混合以製造混合物。將由、曰本聚烏拉坦（ NIPPON POLYURETHANE)工業有限公 司行銷之硬化劑¾C0R0NATE 2067〃以如表 1顯示的用量加到該混合物中來製備各個感壓性黏合劑。 各個感壓性黏合劑的彈性反應值（G /)是在3 0 〇c 本紙張尺度適用中國國家標嗥（CNS ) A4規格（210X297公釐） 裝 訂------』 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -10 - • . - · · 1 A7 O^· . /1 ί-; ! ir、 〇, * : 乂,· i B7 V、' 五、發明説明（8 ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印袋 的溫度下以由RHEOMETRIc遠東有限公司製造之 黏彈性量測裝置|動態分析儀RDA_ 1 1"來量測。量 測結果列在表1中。 各個感壓性黏合劑的1 8 0°剝落强度是依據J I S Z 〇 2 3 7在3 0 Omm/分鐘的剝離速度下進量測 。結果也列在表1中。 將各個感壓性黏合劑塗覆到聚氯乙烯晶圓座上以得到 1 0#ιώ的厚度，並使其在1 0 〇。(：加熱1分鐘下乾燥以 便製備各個感壓性膠黏晶圓座。將厚度爲4 0 0 ym的矽 晶圓塗敷到各個感壓性晶圓座上。2 0分鐘後，將矽晶圓 完全切割分隔成大小爲0 . 5 m m平方的晶片。將在切割 當中沒有晶片發生散布的矽晶圓檩記爲，而那些有 少於10%晶片發生散布者則標記爲、4"，那些有10 %至不到20%的晶片發生散布者則標記爲，那些 有2 0%至不到5 0%的晶片發生散布者則標記爲'2' 和那些有超過5 0 %的晶片發生散布者則標記爲'1'。 結果爲表1中表示爲^晶片保持情形'者。吾人還檢査當 矽晶圓由感壓性黏合劑剝離下來時各個感壓性黏合劑固定 到矽晶圃的程度。說得明白些，即是指貯存在6 5 °C下達 7天後以顯微鏡觀察未在其上發現任何感壓性黏合劑之表 面上的各個晶圓，因爲被結合到個感壓性膠黏片的矽晶圓 是標記爲者。各個其上有最大直徑爲2 0至1 0 0 pm之黏合劑團塊的矽晶圓被標記爲"3"，而各個其上 有最大直徑超過1 mm之黏合劑團塊的矽晶圓被標記爲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐）_】^ _ 一 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝 • . - · · 1 A7 O^· . /1 ί-; ! ir、 〇, * : 乂,· i B7 V、' 五、發明説明（8 ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印袋 的溫度下以由RHEOMETRIc遠東有限公司製造之 黏彈性量測裝置|動態分析儀RDA_ 1 1"來量測。量 測結果列在表1中。 各個感壓性黏合劑的1 8 0°剝落强度是依據J I S Z 〇 2 3 7在3 0 Omm/分鐘的剝離速度下進量測 。結果也列在表1中。 將各個感壓性黏合劑塗覆到聚氯乙烯晶圓座上以得到 1 0#ιώ的厚度，並使其在1 0 〇。(：加熱1分鐘下乾燥以 便製備各個感壓性膠黏晶圓座。將厚度爲4 0 0 ym的矽 晶圓塗敷到各個感壓性晶圓座上。2 0分鐘後，將矽晶圓 完全切割分隔成大小爲0 . 5 m m平方的晶片。將在切割 當中沒有晶片發生散布的矽晶圓檩記爲，而那些有 少於10%晶片發生散布者則標記爲、4"，那些有10 %至不到20%的晶片發生散布者則標記爲，那些 有2 0%至不到5 0%的晶片發生散布者則標記爲'2' 和那些有超過5 0 %的晶片發生散布者則標記爲'1'。 結果爲表1中表示爲^晶片保持情形'者。吾人還檢査當 矽晶圓由感壓性黏合劑剝離下來時各個感壓性黏合劑固定 到矽晶圃的程度。說得明白些，即是指貯存在6 5 °C下達 7天後以顯微鏡觀察未在其上發現任何感壓性黏合劑之表 面上的各個晶圓，因爲被結合到個感壓性膠黏片的矽晶圓 是標記爲者。各個其上有最大直徑爲2 0至1 0 0 pm之黏合劑團塊的矽晶圓被標記爲"3"，而各個其上 有最大直徑超過1 mm之黏合劑團塊的矽晶圓被標記爲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐）_】^ _ 一 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝 A7 B7 五、發明説明（9 )' 2 "。各個其上整個表面都留有黏合劑的矽晶圓被標記 爲'^1"。結果爲表1中的 '非一汙染#列數據。 — ^-17 装—I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -3 線 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐）-12 - A7 B7 五、發明説明（9 )' 2 "。各個其上整個表面都留有黏合劑的矽晶圓被標記 爲'^1"。結果爲表1中的 '非一汙染#列數據。 — ^-17 装—I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -3 線 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐）-12 - Α7五、發明説明（in ) 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 Β7 非-汙染 晶片保持 情形 180° 剝離強度 (gf/20 mm) 彈性反應 値（σ) (達因/cm2) 硬化劑 (重量分率) 增稠劑 (重量分率) 彈性體 (重量分率) 主要 組成物 5.0 xlO5 i 00 ο 〇 實施例 1 LA 8.0 xlO5 oo 含 〇 實施例 2 U\ 250 3.0xl05 U) ο 〇 實施例 3 o 5.5x10s u> t—» 〇 實施例 4 OJ 320 2.5x10s 00 〇 實施例 5 L/> 310 2.5x10* 〇 實施例 6 U> 00 6.0x106 〇 實施例 7 310 2.5x10s — ο 〇 實施例 8 to 6.5xl06 00 1 »—· 〇 對照 實施例1 S) 350 2.0x10s 00 300 〇 對照 實施例2 to C； 6.0x10* ο 〇 對照 實施例3 κ> LA 350 2.0xl03 1 200 〇 對照 實施例4 本紙張尺度適用中國國家標現格（21uxzy⑷度_ ---------批衣------ΪΤ------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) Α7五、發明説明（in ) 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 Β7 非-汙染 晶片保持 情形 180° 剝離強度 (gf/20 mm) 彈性反應 値（σ) (達因/cm2) 硬化劑 (重量分率) 增稠劑 (重量分率) 彈性體 (重量分率) 主要 組成物 5.0 xlO5 i 00 ο 〇 實施例 1 LA 8.0 xlO5 oo 含 〇 實施例 2 U\ 250 3.0xl05 U) ο 〇 實施例 3 o 5.5x10s u> t—» 〇 實施例 4 OJ 320 2.5x10s 00 〇 實施例 5 L/> 310 2.5x10* 〇 實施例 6 U> 00 6.0x106 〇 實施例 7 310 2.5x10s — ο 〇 實施例 8 to 6.5xl06 00 1 »—· 〇 對照 實施例1 S) 350 2.0x10s 00 300 〇 對照 實施例2 to C； 6.0x10* ο 〇 對照 實施例3 κ> LA 350 2.0xl03 1 200 〇 對照 實施例4 本紙張尺度適用中國國家標現格（21uxzy⑷度_ ---------批衣------ΪΤ------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印袋 Α7 ⑼.、.4a 補充 B7 ''»ιι_ _ ·™五、發明説明（η ) 實施例1至4的組成物一其彈性反應値（G / )在 3 . Ο X 1 0 5和5 . 5 X 1 0 6達因/ c m 2之間及 1 8 0° 剝離强度在 1 〇 〇gf/2 Omm 和 2 50gf /2 0mm之間一在晶片保持情形和非一汙染上表現優異 。實施例5至8的組合成物一其彈性反應値（G >)在 3 . 0X1 05和5 . 9X1 06達因/ cm2的範圍外及 1 8 0°剝離强度爲是在2 0g f/2 0mm和3 0 0 g f /2 0mm的範圍外一在晶片保持情形或非一汙染上 會略微降低。反之，對照實施例1至4的組成物-其主要 組成物的性質在本發明範圍之外，以及其彈性反應値（ G >)和1 8 0 °剝離强度二者也在上述範圍之外一組成 物不含增稠劑（對照實施例1 )下會在晶片保持情形上表 現不佳，以及如果組成物含有過量增稠劑（對照實施例2 )時則會在非-汙染上表面現不佳。另一方面，含有過量 硬化劑的組成物會在晶片保持情形上表現不佳（對照實施 例3 )，而不含硬化劑的組成物則會在非一汙染上表現不 佳（對照實施例4 )。 窗施例9至1 2 以和實施例1至8類似的方式，使用如表2所示數量 之各個主要成份的組成物來製備感壓性黏合劑。具有彈性 數爲2 0之在馬來西亞生產的天然橡膠及彈性數爲4 5之 同樣也在馬來西亞生產的天然橡膠分別使用在實施例9及 實施例1 0至1 2中。以實施例1至8所用之上述'" ----------^------1T------Φ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）-14 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印袋 Α7 ⑼.、.4a 補充 B7 ''»ιι_ _ ·™五、發明説明（η ) 實施例1至4的組成物一其彈性反應値（G / )在 3 . Ο X 1 0 5和5 . 5 X 1 0 6達因/ c m 2之間及 1 8 0° 剝離强度在 1 〇 〇gf/2 Omm 和 2 50gf /2 0mm之間一在晶片保持情形和非一汙染上表現優異 。實施例5至8的組合成物一其彈性反應値（G >)在 3 . 0X1 05和5 . 9X1 06達因/ cm2的範圍外及 1 8 0°剝離强度爲是在2 0g f/2 0mm和3 0 0 g f /2 0mm的範圍外一在晶片保持情形或非一汙染上 會略微降低。反之，對照實施例1至4的組成物-其主要 組成物的性質在本發明範圍之外，以及其彈性反應値（ G >)和1 8 0 °剝離强度二者也在上述範圍之外一組成 物不含增稠劑（對照實施例1 )下會在晶片保持情形上表 現不佳，以及如果組成物含有過量增稠劑（對照實施例2 )時則會在非-汙染上表面現不佳。另一方面，含有過量 硬化劑的組成物會在晶片保持情形上表現不佳（對照實施 例3 )，而不含硬化劑的組成物則會在非一汙染上表現不 佳（對照實施例4 )。 窗施例9至1 2 以和實施例1至8類似的方式，使用如表2所示數量 之各個主要成份的組成物來製備感壓性黏合劑。具有彈性 數爲2 0之在馬來西亞生產的天然橡膠及彈性數爲4 5之 同樣也在馬來西亞生產的天然橡膠分別使用在實施例9及 實施例1 0至1 2中。以實施例1至8所用之上述'" ----------^------1T------Φ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）-14 -
〇8〇3〇2 at _ —_ B7 五、發明説明（12 ) A R Κ Ο N P — 9 0#來用作增稠劑，以及在對照實施 例3及4使用之'YS樹脂POLYSTAR 10 0" 則分別使用在實施例1 1及1 2中。 彈性反應値（G >)和1 8 0 °剝離强度均以類似於 實施例1至8的方式來童測，並作晶片保持情形及抗汙染 的評估。結果列在表2中。 表2 主要組成物 實施例9 實施例10 實施例11 實施例12 彈性體(重量分率) 100 100 100 100 增稠劑(重量分率) 40 40 40 40 硬化劑(重量分率) 8 8 8 8 彈性顾値（σ) (達因/cm2) 7.5x10s 8.5xlOJ 7_8xl05 8.2xl05 -Μ 80。剝離強度 (g^20 mm) 90 60 70 80 ,晶片保持情形 5 5 5 5 非-汙染 4 4· 4- 4. 請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝. 、·ιτ 線 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 由表2可看出，即令使用不同塑性的彈性體及不同的 增稠劑也可製造出具有優良晶片保持情形及非一汙染性質 的感壓性黏合劑。 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS)A4規格（2丨0Χ297公釐）-15 -
〇8〇3〇2 at _ —_ B7 五、發明説明（12 ) A R Κ Ο N P — 9 0#來用作增稠劑，以及在對照實施 例3及4使用之'YS樹脂POLYSTAR 10 0" 則分別使用在實施例1 1及1 2中。 彈性反應値（G >)和1 8 0 °剝離强度均以類似於 實施例1至8的方式來童測，並作晶片保持情形及抗汙染 的評估。結果列在表2中。 表2 主要組成物 實施例9 實施例10 實施例11 實施例12 彈性體(重量分率) 100 100 100 100 增稠劑(重量分率) 40 40 40 40 硬化劑(重量分率) 8 8 8 8 彈性顾値（σ) (達因/cm2) 7.5x10s 8.5xlOJ 7_8xl05 8.2xl05 -Μ 80。剝離強度 (g^20 mm) 90 60 70 80 ,晶片保持情形 5 5 5 5 非-汙染 4 4· 4- 4. 請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝. 、·ιτ 線 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 由表2可看出，即令使用不同塑性的彈性體及不同的 增稠劑也可製造出具有優良晶片保持情形及非一汙染性質 的感壓性黏合劑。 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS)A4規格（2丨0Χ297公釐）-15 -