TW317553B - - Google Patents

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317553 A7 B7五、發明説明（1 )[發明所羼之技術領域]本發明為關於一種機械式介面裝置，此裝置為設在對 半導體晶圓（semiconductor wafer)施行所要處理之各種 曝 不 圓。 晶者 體内 導置 半裝 之理 内處 器述 容上 封進 密取 在’ 容下 收態 將狀 而之 , 氣 等空 置面 裝外 理在 處露 術 技 之 前 先 淨 沖 潔Μ 予 撞 氣 境 環 部 内 在 係 置 裝 體 導 半 來Κ 往Μ 室 淨 沖 之 ο Γ 導 半 送 搬 間 程 過 造 製 在 但 造 製 内 MR S 掷 塵 可量 於微 容 之 收在 再存 , 然 後仍 之内 匣室 卡淨 圓 沖 晶 免 於避 容 Μ 收送 圓搬 晶 來 體内 導器 半容 將封 , 密 時式 體運 密惰 述為 上成 在換 ， 置 時體 内氣 器境 容環 封 部 密内 於使 容體 收氣 圓 性 晶 惰 體等 導氣 〇 半 片將 晶當填 於 ，内 著又器 附 容 埃 封 Μ 撞 ΛΜ 氣 性 導 所 。 等染 體污 氣物 第 在 氮免之 顯 充避致 圖 他機 其有 及及 氣成 氧生 , 膜 分化 水氧 之然 中 自 體之 氣 面 境表 環圓 部晶 内體 器導 容半 剖 其 示 顯 圖 3 2 第 観 外 之 器 容 封 密 述 上 示 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 中 圖 3 2 第 及 圖 2 2 第 在 ο 圖 面 本 器 容 之 ο ο Τ1 器 容 封 密 為 器 〇 容 持封 把密 所持 等維 手以 人用 或 -手材 械封 機密 之之 等部 車緣 運周 搬10 在L 設 由 部 ， 口時 開器 , 容 體封 部 緣 凸 有 成 形 2 ο 密 送 搬 在 手 把 為 蓋 底 在 貼 粘 為 第 如 有 圓0:設 晶11部 體蓋内 等底其 半於 ， 個置體 數載心 複被空 納時為 容内10floosl 10器底 。 容 之 性封述 密密上 氣於 之 容 收 匣 卡 圓 。 晶 面 上 之

之 W 第 及 圖 (讀先閲讀脅面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 38 499 317553 A7 B7 .五、發明説明（2 )2 5圖所示之鎖定機構。第23圖只描繪密封容器之略中心部 起左半部之構造，但右半部之構造亦與左半部相同。在第24圖中，111為平板棒狀之鎖定臂，如第25圖所 向 方 度 長 向 I 撞 lax 本 1120器 件11容 元輪在 動凸成 轉於形 有裝於 具安合 端地嵌 1 如即 其自時 ，倒鎖 示 傾 上 臂 定 鎖

且在 如端 自一 退另 進之 TX 部 緣 凸 之 面 周 内 之 蓋 底 將 臂 定 鎖 承 3 支 10M 部用 凹 ， 之件 體 本 器 容 在 定 固 〇 近 VI附 L央 中 向 方 度 長 之 構鎖 承將 支為 4 為 1 臂 定 又 淨 撞 氣 之 體 氣 性 〇 惰 簧充 彈填 之再 用器 壓容 彈封 方密 下對 中在 圖設242 第 2 1* 向 各 之11 理蓋 處底 要與 所端 施先 t f. tN 實其 片有 晶設 體部 導內 半其 對 ， 及構 置機 裝閉 化開 軸 輪 凸 之 合 扣 1 如 構 自 機降 閉昇 開向 鎖方 動在 區 9 * 之構 轉機 回降 袖昇 輪之 凸示 使圖 及未 , 由 21係 而 昇 上 時 器 容 封 密 ΗΠ 開 輪 處—彳：底 凸機第 種 與 41 i '1. 1 二 之 鎖槽 之鍵 置作 裝12 li I: 理 又 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 袈· 訂 圖 蓋 下觸 上接 中10 構 機 定 鎖 之 構 機 屋 用 使 11即 蓋 ， 底時 在鎖 設開 定欲 鎖 - 或即 鎖 開 作 2 IX 1L 輪 凸 與 將 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 度 角 定1 轉 回 向 方 ， 針端 時 一 反另 向 之 1 1 2 1 11 11 輪臂 凸定 之鎖 合 出 扣拔 I» 3 槽 3 建 ο 1 又 部 凹 從 軸 輪 凸 將 即 時 定 鎖 欲 另 之 1 1* ΤΛ 臂 定 鎖 使 度 角 定1 轉 回 向 方 針 時 向 部 凹 内 a 材 封 密 住 夾 ο 11 11 蓋 底 時 定 鎖 後 然 入密 插而 端05

面 表 ο , 性淨 密洗 氣 ， 之 部 内 器 容 持 保 M 如 例 /1\ 理 處 種 各 行 施 ο 1 圓 體 晶 本體 器導 容半等 於對膜 定 -成 固又 ， , 理 接 處 準 標 有 備 具 置 裝 理 處 之 圓 晶 摸 導 半 種 各 之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 4 3849 9 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 3 ) 1 化 機 械 介 面 (s t a n d a r d i z e d in e chanical inter fa c e ， 以下 I 1 I 簡 稱 為 SH IF )系統， 以便將收容在如上述密封容器内之半 1 1 導 體 晶 體 不 受外 面 空氣粒 子等 污染之狀態下取 進 裝 置 內。 1 1 茲 參 考 第 26 圖乃 至 第29圖 ,說 明用S Μ I F糸統將 密 封 容 器内 1 閲 I 1 I 之 半 導 體 晶 圓取 進 裝置内 時之 動作如下。 背 面 Y I 之 1 在 說 明 動作 之 前，首 先就 第26圖乃至第29 圖 中 鹿 理裝 注 意 古 [ I 置 2 00所具備之S Μ I F系統之構成說明如下。第26圖乃至第 爭 項 再 1 填 29 圖 所 示 之 密封 容 器為如 同第 22圖乃至第25圖 所 說 明 者， 寫 本 袈 頁 1 因 此 省 略 其 說明 0 第2圖6 中， 2 0 0係對半導體晶圓實行所 '—^ 1 定 處 理 之 處 理裝 置 ,裝置 内部 之環境氣體為已 被 沖 淨 過。 1 1 20 1為鎖閂機構， 當載置密封容器100時，向圖 中 箭 號 Α之 1 1 方 向 移 動 而 扣合 於 凸緣部 103, 固定容器本體1 0 1 於 處 理裝 訂 1 置 20 0 〇 1 I 202為裝置内昇降機構，安裝有鎖開閉機構220 > 又， 1 I 可 沿 著 軌 條 2 0 3上下移動。 該鎖開機構220為如 同 前 述 之第 1 1 24 ΓΒΤ _ 所 示 鎖 開閉 機 構 120 , 具備有凸輪軸221及 驅 動 機 構（ ’丨 省 略 圖 示 )， 實行底蓋1 1 0 之鎖 定或開鎖，但鎖 開 閉 機 構 1 220本體之周緣部設有凸緣部223。當裝置内昇 降 機 構 202 1 1 位 於 最 大 上 昇位 置 (第26圖及第27圖中之裝置内昇降機構 1 I 220之位置） 時， 凸 緣部22 3之上面與處理裝置200 之 開 口部 1 I · 204周緣部之内面205密接 來使 裝置内部氣密化 9 >λ 維 持淨 1 1 化 的 環 境 Μ 體。 1 1 I 其 次 » 就上 述 之處理 裝置 2 00之動作說明如下。 1 1 首 先 t 在第 26 圖中， 由機 械手將密封容器 1 0 0載置於 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 5 3 849 9 317553 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7五、發明説明（4 ) 處理裝置200時，密封容器之底蓋U0内部之凸輪（省略圖 示）與凸輪軸221作鍵槽扣合。又，未圖示之感測器測出該 扣合時，鎖閂機構201為向圖中箭號A之方向移動而與凸緣 部103扣合，固定容器本體101於處理裝置200。 在第27圖中，鎖開閉機構220内之驅動機構（省略圖示 )動作，使凸輪軸221向反時針方向回轉一定角度，從凹部 103a拉出鎖定臂111之另一端。因此而解除底蓋110之鎖定 時，在第28圖中裝置内昇降機構202為，將載置有晶圓卡 匣106之底蓋110,載置於鎖開閉機構220上面之狀態T下 降至一定位置，在第29圖中，用設在裝置内之卡匣取進機 構（省略圖示）等取進晶圓卡匣106於處理裝置200内。 如上述，在具備有SM IF糸統之處理裝置中，未曝露在 r 外面空氣之狀態下可從密封容器内取出半導體晶圓，因此 ,可避免外面空氣中存在之塵埃等污染半導體晶圓。 [發明所欲解決之問題] 上述之SMIF系統為，例如在第30圖所示，移動密封容 器100之際，底蓋110之下面A,及底蓋1〗0之外周面與凸緣 部1 0 3内周面之間隙B為曝露於外面空氣，因此，有沖淨室 内之塵埃等附著之可能性。又，在處理裝置200側為，未 載置密封容器100之期間内，有塵埃附著在鎖開閉機構220 上面C,及鎖開閉機構220外周面220a與處理裝置200之開 口部內周面2 0 4 a之間隙間I)之可能性。 又，如前述，底蓋no係空心構造，因此，有塵埃從 鎖定臂U1,及自底蓋110内部插通鎖定臂111之另一端用 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） β 3 8 499 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 袈· 、?τ • J7 · A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 5 ) 1 之 孔 之 間 形 成 為 僅 小 間 隙 進 入 底 蓋 1 1 0内部之可能性。 1 1 | 妖 後 9 若 有 塵 埃 附 著 於 上 述 間 隙B及間隙D時 或 者 » 1 1 有 塵 埃 進 入 底 蓋 1 1 0内部時， 取進半導體晶圓於處理裝置 1 1 請 1 内 之 際 i 有 該 塵 埃 亦 進 入 處 理 裝 置 内，或附著 於 半 導 體 晶 先 閲 1 I 1 I 圓 之 可 能 性 0 又 » 密 封 容 器 1 0 0載置於鎖開閉機構2 2 0之際 背 \ | 之 1 9 底 蓋 1 1 0之下面A與 鎖 開 閉 機 構 2 2 0上面C應會 密 接 f 然 而 注 1 拳 1 » 由 於 雙 方 之 表 面 加 工 精 度 不 良 時 可能會產生 間 隙 附 著 項 再 1 填 於 該 處 之 塵 埃 可 能 會 進 入 處 理 裝 置2 0 0内。 Μ 本 袈 I 再 者 » 在 搬 送 密 封 容 器 100 時， 有外面空氣進入搬送 頁 '—✓ 1 1 中 之 底 蓋 1 1 0內部， 又， 當載置密封容器100於 處 理 裝 置 1 1 20 0之際， 由間隙B > D形成之空間均充滿著外面空氣， 例 1 1 如 在 密 封 容 器 100内有填充氮氣等惰性氣體時， 為了要 訂 1 取 進 半 導 體 晶 圓 於 處 理 裝置200内而開放鎖定機構之際， 1 I 存 在 該 等 空 間 之 外 面 空 氣 接 觸 於 半 導體晶圓， 成 為 使 晶 圓 1 I 表 面 受 到 不 良 影 響 的 原 因 〇 1 1 本 發 明 係 鑑 於 上 情 所 成 t 其 目 的在於提供 一 種 不 會 使 Ί 半 導 體 晶 圓 表 面 受 到 外 面 空 氣 及 塵 埃等之不良 影 響 之 形 態 1 / 下 9 可 將 收 容 於 密 封 容 器 内 之 半 導 體晶圓取進 裝 置 内 之 機 1 1 械 式 介 面 裝 置 者 0 1 | [解決問題之手段] 1. Φ 請 專 利 範 圍 第 1 項 之 發 明 為 ，對由容器 本 體 » 可 氣 1 1 密 地 封 閉 該 容 器 本 體 開 □ 部 之 蓋 體 ，及設在該 蓋 體 內 部 f 1 1 I 依 從 外 部 之 操 縱 可 鎖 定 或 開 放 前 述 蓋體之鎖定 ♦ 開 鎖 機 構 1 1 所 成 之 密 封 式 容 器 内 所 收 容 之 收 容 物，實行一 定 處 理 之 處 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 7 38 499 317553 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 6 ) 1 理 裝 置 所 設 置 而 將 前 述 收 容 物 不 接 觸 外 面 空 氣 之 狀 態 下 取 1 1 | 進 JUJU 刖 述 處 理 裝 置 内 部 之 機 械 式 介 面 裝 置 1 其 特 徵 為 t 包 含 1 1 1 有 ： /·—V 1 I 請 1 I 昇 降 裝 置 > 在 前 述 處 理 裝 置 内 昇 降 « 先 閱 1 I 讀 1 | 密 封 裝 置 » 設 在 該 昇 降 裝 置 $ 當 該 昇 降 裝 置 上 昇 到 最 ώ I 之 1 高 時 » 與 月(] 述 蓋 體 一 起 取 進 刖 述 收 容 物 而 設 在 前 述 處 理 裝 意 1 事 1 置 之 開 □ 部 9 從 前 述 處 理 裝 置 内 部 予 VX 密 封 * 且 内 藏 有 實 項 再 1 導 行 ·> » 月ίΐ 述 鎖 定 • 開 鎖 慨 構 之 開 閉 操 作 之 蓋 體 開 閉 機 構 ； 寫 袈 頁 1 氣 體 供 給 裝 置 » 當 在 月U 述 開 P 部 周 部 載 置 前 述 密 封 容 '—^ 1 器 時 對 由 前 述 密 封 容 器 参 密 封 裝 置 9 及 處 理 裝 置 所 形 成 1 1 之 空 間 供 給 惰 性 氣 體 1 1 排 氣 裝 置 t 將 由 前 述 密 封 容 器 9 密 封 裝 置 f 及 處 理 裝 訂 1 置 所 形 成 之 空 間 所 排 出 之 氣 體 排 出 於 外 部 » 而 成 $ 1 I 當 前 述 密 封 容 器 載 置 於 前 述 處 理 裝 置 之 開 口 部 周 部 時 1 I > 在 前 述 蓋 體 開 閉 機 構 未 實 行 前 述 鎖 定 ♦ 開 鎖 機 構 之 開 鎖 1 1 操 縱 之 前 9 藉 由 前 述 氣 體 供 給 裝 置 供 給 惰 性 氣 體 * 將 C. 月ϋ 述 Ί 密 封 容 器 > 密 封 裝 置 * 及 處 理 裝 置 間 所 形 成 之 空 間 内 之 氣 1 1 體 從 前 述 排 氣 裝 置 予 以 排 出 % 並 Μ Ι.Α. 刖 述 惰 性 氣 體 置 換 該 空 I I 間 内 者 0 I I 請 專 利 範 圍 第 2 項 之 發 明 為 > 對 由 容 器 本 體 » 可 氣 I 密 地 封 閉 該 容 器 本 體 開 口 部 之 蓋 體 » 及 設 在 該 蓋 體 内 部 I 依 從 外 部 之 操 縱 可 鎖 定 或 開 放 月ti 述 蓋 體 之 鎖 定 ♦ 開 鎖 機 構 I I I 所 成 之 密 封 式 容 器 内 所 收 容 之 收 容 物 » 實 行 一 定 處 理 之 處 1 1 理 裝 置 所 設 置 之 » 將 前 述 收 容 物 不 接 觸 外 面 空 氣 之 吠 態 下 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 8 3 8 499 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 7 ) 1 取 進 前 述 處 理 裝 置 内 部 之 機 械 式 介 面 裝 置 中 9 其 特 徵 為 » 1 1 I 包 含 有 : 1 1 I 第 1昇降裝置， 在ff Ϊ述處理裝置P ]昇降； /-—V 1 1 氣 密 性 維 持 裝 置 9 其 内 部 為 空 心 9 具 有 開 P 之 箱 形 狀 先 閲 I 讀 1 I 之 氣 密 維 持 裝 置 » 設 在 前 述 第 1昇降裝置， 該第1 昇 降 裝 置 W - | 之 1 上 昇 到 最 高 時 » 該 氣 密 維 持 裝 置 之 開 D 周 緣 部 擋 接 於 為 取 注 意 事 ί 1 進 前 述 收 容 物 而 設 在 刖 述 處 理 裝 置 之 裝 置 開 Ρ 部 周 圍 之 裝 項 再 I 4 置 内 面 > 維 持 前 述 處 理 裝 置 内 之 氣 密 性 寫 本 袈 頁 1 第 2昇降装置， 係設在該氣密性維持裝置之内部； '—✓ 1 密 封 裝 置 参 係 設 在 該 第 2昇降裝置， 當該第2昇 降 裝 置 1 1 上 昇 到 最 高 時 從 刖 逑 處 理 裝 置 內 部 密 封 前 述 裝 置 開 P 部 » 1 1 且 内 藏 實 行 前 述 鎖 定 • 開 鎖 機 構 之 開 閉 操 縱 之 蓋 開 閉 機 構 訂 1 1 * 氣 體 供 給 裝 置 多 當 在 刖 述 開 □ 部 周 部 載 置 刖 述 密 封 容 1 1 I 器 時 t 對 由 月U 述 密 封 容 器 « 氣 密 性 維 持 裝 置 f 及 處 理 裝 置 所 形 成 之 空 間 供 給 惰 性 氣 體 Μ 及 Ί 排 氣 裝 置 9 將 由 刖 述 密 封 容 器 氣 密 性 維 持 裝 置 9 及 1 處 理 裝 置 形 成 之 空 間 所 排 出 之 氣 體 排 出 於 外 部 者 〇 I I 甲 請 專 利 範 圍 第 3 項 之 發 明 為 在 申 請 專 利 範 圍 第 2 I I 項 記 載 之 機 械 式 介 面 裝 置 中 9 -* 刖 述 密 封 裝 置 具 有 9 在 前 述 I 裝 置 開 □ 部 周 部 載 置 前 述 密 封 容 器 之 際 9 決 定 其 載 置 位 置 病 I 用 之 複 數 導 銷 ， 其 中 至 少 有 兩 枝 導 銷 之 內 部 為 空 心 » 且 其 1 1 I 一 端 為 開 P 在 前 逑 處 理 裝 置 内 部 側 另 一 端 為 載 置 密 封 容 1 1 1 器 時 成 為 開 放 狀 態 之 開 閉 閥 構 造 > 在 該 導 銷 當 中 i 至 少 有 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 9 3 849 9 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 8 ) 1 «I 一 枝 為 » 在 開 □ 於 » -Τ- 刖 述 處 理 裝 置 内 部 側 之 — 端 有 連 接 可 撓 1 1 I 性 管 子 » 且 連 通 於 前 述 處 理 裝 置 外 部 為 其 特 徵 者 0 1 1 申 請 專 利 範 圍 第 4 項 之 發 明 為 9 對 由 容 器 本 體 9 可 氣 /--Ν 1 I 請 密 地 封 閉 該 容 器 本 體 開 P 部 之 蓋 體 9 及 設 在 該 蓋 體 内 部 » 先 閱 1 | 讀 1 1 依 從 外 部 之 操 縱 可 鎖 定 或 開 放 Λ.Λ. 刖 述 蓋 體 之 鎖 定 ♦ 開 鎖 機 構 fir \ I 之 1 所 成 之 密 封 式 容 器 内 所 收 容 之 收 容 物 9 實 行 一 定 處 理 之 處 注 意 古 1 I 理 裝 置 所 設 置 而 將 月U 述 收 容 物 不 接 觸 外 面 空 氣 之 狀 態 下 取 ψ 項 再 填 1 進 前 述 處 理 裝 置 內 部 之 機 械 式 介 面 裝 置 其 特 徵 為 » 包 含 寫 本 袈 頁 1 有 —^ 1 第 1昇降裝置， 在前述處理裝置内昇降： 1 1 氣 密 性 維 持 裝 置 其 内 部 為 空 心 9 具 有 開 □ 之 箱 形 狀 1 1 之 氣 密 性 維 持 裝 置 i 設 在 前 述 第 1昇降裝置， 該第1 昇 降 裝 訂 1 置 上 昇 到 最 高 時 該 氣 密 性 維 持 裝 置 之 開 □ 周 緣 部 擋 接 於 1 I 為 取 進 前 述 收 容 物 而 設 在 前 述 處 理 裝 置 之 裝 置 開 Ρ 部 周 圍 1 I 之 裝 置 内 面 9 Μ 維 持 前 述 處 理 内 之 氣 密 性 • 1 1 第 2昇降裝置， 係設在該氣密性維持裝置之内部； Ί 密 封 裝 置 9 係 設 在 該 第 2昇降裝置， 當該第2昇 降 裝 置 1 1 上 昇 到 最 高 時 從 前 述 處 理 裝 置 内 部 密 封 前 述 裝 置 開 □ 部 > I I 且 内 藏 實 行 前 述 鎖 定 ♦ 開 鎖 機 構 之 開 閉 操 縱 之 蓋 開 閉 機 構 I I I » 氣 體 供 給 裝 置 當 在 · ·-刖 述 開 Ρ 部 周 部 載 置 刖 述 密 封 容 I 器 時 9 對 由 前 述 密 封 容 器 密 封 裝 置 及 處 理 装 置 所 形 成 之 I I I 空 間 9 Μ 及 由 密 封 裝 置 » 氣 密 性 維 持 裝 置 及 處 理 裝 置 形 成 1 1 為 空 間 分 別 供 給 惰 性 氣 體 Μ 及 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） i 〇 38 499 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 38 49 9 317553 A7 B7 五、發明説明（9 ) 排氣裝置，將由前述密封容器，密封裝置及處理裝置 所形成之空間，及由密封裝置，氣密性維持裝罝及處理裝 置形成之空間分別排出之氣體排出於外部者。 [實施發明之形態] 玆參照圖式，將本發明之實施形態說明如下。 [第1實施形態] 玆參照第1圖乃至第4圖，就第1實施形態之機械式介 面裝置說明如下。 首先，參考第1圖，將實施形態中機械式介面裝置1之 構成說明如下。 第1圖中，對應於第26圖及第30圖中各部分之部分即 使用同樣的元件編號，並省略其說明。第1圖所示機械介 面裝置1與第26圖所示者相異之點為如T述。 2為設在處理裝置200之上壁200a内之供氣管，一端開 口在處理裝置之開口部內周面204a,另一端為藉由閥3而 連接於高壓惰性氣體容器（省略圖示）。4為排氣管，如同 供氣管2,設在處理裝置200之上壁200a內，其一端開口於 處理裝置200之開口内周面204a’，另一端為藉由閥5而開 口在處理裝置2 0 0外部。 其次，參照第1圖及至第4圖，就依本實豳形態之機械 式介面裝置來將密封容器内之晶片卡匣106取進處理裝置 200内時之動作說明如下。 首先在第1圖中，用機械手等將密封容器]00載置於處 理裝置200之鎖開閉機構220上時，密封容器之底蓋U0内 1 1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 袈.

*1T A7 B7五、發明説明（10) 之凸輪（省略圖示）與凸輪袖221作鍵槽扣合，同時，由未 圖示之感測器測出該扣合時，鎖閂機構201在圖中向箭號

摄 本 器 容 定 固 合 扣 3 ο IX 部 緣 凸 與 而 動 移 向 方 示 所 A 換 充 體 氣 行 實 來 5 閥 及 3 閥 放 開 中 圖 〇 2 面第 上在 之 ， oa次 20其 壁 上 5,如 閥例 /|\ 及 3 體 閥氣 放性 開惰 , 之 即給 。 供 e)所 r 器 容 體 氣

U 性 2 惰 管 壓氣 高 供 之過 示通 圖 ， 未丨 從 使 氣 氮 1 G 小 隙僅 間 之 之成 間構 空所 之 間 一 之 為面 成上 ^ ο 合 2 D 2 隙構 間機 與 閉 Β β 隙 鎖 間 2 與 之 ‘ 二 圖 ο 之 3 ο 第11 入蓋 流底 而 ， 蓋 底管 及氣 ΙΛ tt , 過 2 I G 通 隙體 間氣 之 隙 間 各 述 上 於 在 存 來 本 將 部 內 環 之 隙 間 各 將 時 同 之 部 外 出 bh 而 5 閥 及 4 器 容 封 ！ 内 密 ο 送11 搬蓋 在底 , 入 又流 〇 或 撞 氣埃 性塵 惰之 之 面 度T 濃10 高L 為 成 換 置 擅 ΛΜ. 氣 境 蓋 底 於 著 附 時 外 之 部 S 圖 外 氣 出第空 排在面 起 ，外 一 後斷 體之遮 氣換及 之充以 隙體體 間氣氣 各之性 述間惰 上時給 於定供 在一止 存行停 與實 Μ 3 為 ， 等後 氣然 空 閥 面 閉 關 中 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 袈. 訂 閥 及 3 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 度 22角 構定 機一 閉轉 開回 鎖向 在方 設针 11降 蓋下 底始 時 反 向 1 2 2 軸 輪 凸 使 構 機 驅 之 部 内 部 凹 從 臂 定 鎖 出 拉 9 除 解 構時 機置 降位 昇定 内所 置到 裝降 , 下 時 定 鎖 之 中 4 圖 在 構 機 - 進又 取 匣 開 3 ο 2 條 軌 著 沿 為 卡 之 内 置 裝 在 設 由 置 裝 於 進 取 6 ο Ί* 匣 卡 圓 晶 將 \)/ 示 圖 略 省 圖 4 第 Μ 時 6 ο U 匣 卡 圓 晶 出 取 内 ο ο 2 置 裝 理 處 從 第 t 圖 3 第 -» 序 順 之 圖 1 可 作 ^09 各 驟 步 之 換 充 體 氣 之 中 第圖 ^ 2 g 第 圖咯 2 啦 第省 t 可 圖但 述 上 於 反 相 行 實 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 3 8 4 9 9 317553 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（1 ]) 1 如 上 述 > 本 實 施 形態中 之機 械式 介 面 裝 置 中 * 在 解除 1 1 1 密 封 容 器 之 底 蓋 之 Λ.Λ. 刖 實行氣 體充 換來 除 去 附 著 在 密 封 容器 ψ 1 1 及 半 導 體 晶 圓 處 埋 裝 置之與 外面 空氣 接 觸 面 之 塵 埃 因此 /—N 1 I 請 9 將 密 封 容 器 內 之 半 導體晶 圓取 進裝 置 内 時 9 可 避 免 半導 先 閱 1 I 1 體 晶 圓 被 塵 埃 等 污 染 ,又， 可避 免對 半 導 體 晶 圓 表 面 有不 背 L * I 之 1 L 良 影 響 之 外 面 空 氣 混 入底蓋 1 1 0内部及各間隙内。 注 意 拳 1 [第2實 施 例 ] 項 再 1 填 玆 參 考 第 5圖乃至第8圖 ,就 第2實施形態之機械式介 寫 本 袈 頁 1 面 裝 置 說 明 如 下 0 首 先，參 考第 5圖， 將本實施形態之機 '--- 1 械 式 介 面 裝 置 1 0之 構 成說明 之。 1 1 在 第 5圖中， 對應於第1圖之 各部 分 之 部 分 即 使 用 同樣 1 1 的 元 件 編 號 9 而 省 略 其說明 。第 5圖所示機械式介面裝置 訂 I 1 0與 第 1圖所示者相異之點為如下述。 1 I 1 1為 設 在 處 理 裝 置2 00内部之氣密室， 呈上面開放的 1 I 箱 形 狀 0 又 t 裝 置 内 昇降機構202在最高上昇位置（第 5圖 1 1 广一\ 中 之 裝 置 内 昇 降 機 構 2 0 2之位置） 時， 氣 密 室 1 1之 開 放 面側 Ί 之 周 緣 部 密 接 於 處 理 裝置之 上壁 2 0 0 a 之 開 P 部 周 邊 之 内面 1 1 I密接， 使氣密室1 1內氣密化。 I I 1 2為 設 在 氣 密 室 1 1内之 室内 昇降 機 構 t 在 氣 密 室 1 1内 I | 昇 降 鎖 開 閉 機構2 2 0。 又，第5圖 中， 室 内 昇 降 機 構 12係位 I 於 最 高 上 昇 位 置 t 在 該狀態 下， 設在 鎖 開 閉 機 構 2 2 0之凸 I I 緣 部 223之上面與處理裝置200之 開口 部 周 緣 部 之 內 面 205 1 1 I 附 近 密 接 藉 VX 使 處 理 裝帽部 氣密 化。 1 1 又 參 本 實 腌 形 態 之供氣 管2及排氣管4之 一 端 為 » 開口 1 1 13 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 3 8 49 9 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（l2) 在由氣密室11所氣密化之空間之一部分之處理裝置200之 開口部内周面。 玆參考第5圖乃至第8圖，將本實施形態中之半導體晶 圓處理裝置取進密封容氣内之晶圓卡匣106之動作說明如 下。 首先，在第5圖中，用機械手等載置密封容器100於處 理裝置200之鎖開閉機構220上面時，密封容器之底蓋110 内之凸輪（省略圖示）與凸輪袖221作鍵槽扣合，未圖示之 感測器測出該扣合時，鎖閂機構201向圖中箭號A之方向移 動而與凸緣部103扣合，固定容器本體101(參考圖6)。 其次，在圖7中，鎖定底蓋110之狀態下使室內昇降機 構1 2 F降藉由只使鎖開閉機構2 2 0下降，開放閥3及閥5 實行氣體沖淨（gas purging)。於是，將搬送密封容器100 時附著於底蓋110T面之塵埃及進入底蓋110內部之塵埃， Μ及附著於鎖開閉機構220表面之塵埃等，藉由排氣管4及 閥5而排出裝置外部。 然後，實行所定時間之氣體沖淨後，在第8圖中關閉 閥3及閥5,使室內昇降機構12上昇，使底蓋110内之凸輪 及凸輪軸2 2 1再作鍵槽扣合時，鎖開閉機構2 2 0内部之驅動 機構驅動而使凸輪軸221向反時針方向回轉一定角度，從 凹部1 0 3 a拉出鎖臂1 1 1來解除底蓋1 1 0之鎖定。 其次，在第9圖中，室内昇降機構12動作，連同載置 於鎖開閉機構220之底蓋110—起下降晶圓卡匣106,接著， 在第10圖中，裝置內昇降機構202沿著軌條203開始下降，

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ]Λ ν 〇 , α Q (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 袈- 訂 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 13 ) 1 r 降 至 一 定 位 置 時 9 由設 在 裝置内之 卡 匣取進機 構（省略 1 1 圖 示 )取進晶圓卡匣1 0 6於裝置内。 1 1 又 f 在 本 實 施 形 態之 機 械式介面 裝 置10中， 收容在密 /·—V 1 1 封 容 器 100之晶圓卡匣106取 進裝置内 時 ,可省略 第9圖所 請 先 閱 1 示 之 步 驟 該 時 » 晶 圓卡 匣 106為氣密室内昇降機構12上 讀 背 1 ί I 昇 至 最 高 位 置 之 狀 態 下， 取 進裝置內 0 之 注 意 1 [ I 根 據 上 述 之 機 械 式介 面 裝置10, 因 具備有氣 密室1 1的 事 項 再 填 寫 本 頁 1 1 關 係 > 如 第 7圖所示， 可分離底蓋110與鎖開閉機構220之 袈 後 實 行 氣 體 沖 淨 i 藉 此可 使 底蓋110 T面及鎖開閉機構220 1 1 上 面 等 所 附 著 之 塵 埃 等更 確 實地排出 外 部。 1 1 [第3實 施 形 態 ] 1 1 其 次 > 參 考 第 11圖乃 至 第14圖， 就 第3賁施形態之機 訂 I 械 式 介 面 裝 置 說 明 如 下。 首 先，參考 第 11圖，將 本實施形 1 I 態 之 機 械 式 介 面 裝 置 20之 構 成說明之 〇 1 1 1 在 第 1 1圖 中 9 對 應於 第 5圖之各部分之部分即使用同 1 1 樣 的 元 件 編 號 9 而 省 略其 說 明。第11圖所示機械 式介面裝 1 置2 0與第 11圖 所 示 者相異之點為如下述。 1 1 2 1 ,2 2分別為從供氣管2分歧之分 歧 供氣管， 分歧供氣 I I 管 2 1之 一 端 為 在 處 理裝 置200之開口部内周面， 開口於 I I 由 氣 密 室 1 1所 氣 密 化 之空 間 。然後， 分 歧供氣管 22之一端 1 1- .為 開 □ 在 處 理 裝 置200之開口部内周面204a。又， 23為插 1 1 人 設 置 在 分 歧 供 氣 管 2 1中 途 之開閉閥 9 24為插入 設置在分 1 歧 供 氣 管 22中 途 之 開 閉閥 〇 1 1 又 > 2 5 ,2 6係分別為從排氣管4所 分 歧之分歧 排氣管， 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 15 3 8 49 9 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 38 49 9 A7 B7 五、發明説明（14) 分歧排氣管25之一端為，開口在構成由氣密11所氣密化之 空間之一部分之處埋裝置200之開口部內周面。然後，分 歧排氣管26之一端為開口在處理裝置200之開口部内周面 2 0 4a ' 〇 玆參考第11圖乃至第14圖，將本實施形態中之機械式 介面裝置20取密封容器内之晶圓卡匣106於裝置内之動作 說明如下。 首先，在第11圖中，用機械手等載置密封容器於 處理裝置200之鎖開閉機構220上面時，密封容器之底蓋 110内之凸輪（省略圖示）與凸輪軸221作鍵槽扣合，未圖示 之感測器測出該扣合時，鎖閂機構201向圖中箭號A之方向 移動而與凸緣部103扣合，固定容器本體101於處理裝置之 上壁200a之上面。 其次，在圖12中，開放閥23, 2 4,閥5來實行氣體淨 化。藉此，可使在搬送密封容器]〇〇時附著於底蓋110下面 之塵埃及進人底蓋U0内部之塵埃，Μ及鎖開閉機構2 20表 面等所符著之塵埃等，從分歧排氣管26經排氣管4及閥5而 排出裝置外部。又，存在於氣密室11内之氣體為，從分歧 排氣管25經排氣管4及閥5而排出裝置外部，氣密室11内被 置換成為高濃度之惰性氣。 然後，實行所定時間之氣體充換之後，關閉閥23,24 及5,停止供給惰性氣體Μ及遮斷外面空氣，驅動設在鎖 開閉機構220内部之驅動機構，使凸輸軸221向反時針方向 回轉一定角度•從凹部l〇3a接出鎖定臂111。 16 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 袈. 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（l5) 解除底蓋110之鎖定後，接著在第13圖中，室内昇降 機構1 2動作，將晶圓卡匣1 0 6連同載置於鎖開閉機構2 2 0之 底蓋110 —起下降，接著，在第14匾中，裝置内昇降機構 202沿著軌條203開始下降，下降至所定位置時，由設在裝 置内之卡匣取進機構（省略圖示）取進晶圓卡匣106於裝置 2 0 0 内。 根據上述之機械式介面裝置，對氣密室11内，凸緣部 ]0 3内面，底蓋1〗0之外周面及鎖開閉機構2 2 0之外周面所 形成之空間之兩處供給從高壓惰性氣體容器所供給之惰性 氣體，因此可縮短氣體沖淨之時間，因此，實施氣體沖淨 時，可節省惰性氣體之消耗量。 [第4實施形態] 其次，參考第15圖乃至第18画，就第4實施形態之機 械式介面裝置說明如下。首先，參考第15圖，將本實施形 態之機械式介面裝置30之構成說明之。 在第15圖中，對應於第5圖之各部分之部分即使用同 樣的元件編號，而省略其說明。第15圖所示機械式介面裝 置30與第11圖所示者相異之點為如下述。 31,3 2為，其内部空心的管狀定位用導閥，其一端貫 穿鎖開閉機構2 20內部而在氣密室開口，另一端為從鎖開 閉機構2 2 0之表面突出外部。又，密封容器1 〇 〇之底蓋U 〇 之下面，對應於定位用導閥31,32之設置位置分別設有導 孔115,當密封容器100載置於半導體晶圓處理裝置30之際 ，將定位用導閥31,32分別插入於相對應之導孔1]5内，藉 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 17 3 8 49 9 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 袈· 訂 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 16) 1 Μ 決 定 密 封 容 器 100之載置位置。 1 1 1 又 在 氣 密 室 1 1内 開 口之 定 位用導閥32之- -端， 連接 1 1 具 有 可 撓 性 之 管 3 3 ,該 管 33係 通 過半導體晶圓處理裝置3 0 1 I 請 1 之 内 部 而 延 伸 至 裝 置外 部 。再 者 ，鎖開閉機構220 之 表 面 先 閲 1 1 突 出 之 定 位 用 導 閥 3 1 , 3 2之另- •端之先端 為 如第 19 随 圖 所 示 背 面 1 I 之 1 之 構 造 C 注 意 1 1 第 1 9 圖 為 顯 示 定位 用 導閥 31 ,32之另 一 端先 端 之 剖 面 真 1 填 圖 > 通 常 (參照第1 9(a) ISI 画 )時， 彈簧35為 將 閥向 推 上 之 方 Μ 本 袈 頁 1 向 彈 壓 ， 因 此 9 閥 34之 折 彎部 3 4 a與密封 材 36為 密 接 呈 V_✓ 1 閉 閥 狀 態 0 又 9 當 密封 容 器]0 0載置於鎖 開 閉機 構 2 2 0 時， 1 1 閥 34為 通 過 底 蓋 11 0下面之導孔1 15而擋接於鎖開閉機構 1 1 2 0 0之内部上面， 抗著彈簧35之彈性壓力 而 懕下 閥 34 1 成 訂 1 為 開 閥 狀 態 (參考第19 ( b) 圖）。 1 1 玆 參 昭 第 1 5 ΙΕΠ 國 乃至 第 1 8圖 將本實施形態中之機械式 1 I 介 面 裝 置 30取 進 密 封容 氣 内之 晶 圓卡匣1 06 於裝 置 内 之 動 1 1 广 作 說 明 如 下 〇 Ί 首 先 在 第 15 圖中 ) 用機 械 手等載置密封容器1 00於 1 半 導 體 晶 圓 處 理 裝 置30 之 鎖開 閉 機構2 2 0上 面時 » 密 封 容 1 1 器 之 底 蓋 11 0内之凸輪（ 省 略圖 示 )與凸輪 袖 221作鐽槽扣合 1 I 之 同 時 定 位 用 導 閥31 ，3 2之另- -端之先 端 分別 通 過 底 蓋 1 11 0之導孔1 15 » 再 者， 擋 接於 底 蓋1 1 0內 部 之上 面 9 以 該 身 1 1 推 壓 力 使 定 位 用 導 閥31 ,32之閥33均成為 開 閥狀 態 C 又 9 1 1 I 由 未 圖 示 之 感 測 器 測出 密 封容 器 100載置 於 鎖開 閉 機 構 220 1 1 時 » 鎖 閂 機 構 20 1向圖中箭號A 之 方向移動而與凸緣部1 03 1 1 18 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（2丨0X297公釐） 3 849 9 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 17) 1 扣 合 * 固 定 容 器 本 體 1 0 1於處理裝置之上壁2 0 0 a之上面。 1 1 1 其 次 ， 在 第 16圖 中 > 開 放 閥 3， 及閥5來 實 行 氣 體 沖 淨 1 1 0 藉 此 » 從 未 圖 示 之 高 壓 惰 性 氣 體 容 器 所 供 給 之 惰 性 氣 體 1 I 請 1 流 入 氣 密 室 1 1内 9 將 氣 密 室 1 1内 之 氣 體 經 非 氣 管 4及閥5而 先 閱 1 1 排 出 於 外 部 i 而 由 高 濃 度 之 惰 性 氣 體 所 取 代 〇 又 流 入 氣 密 背 I 之 1 1 室 1 1内 之 惰 性 氣 體 之 一 部 分 為 t 通 過 定 位 用 導 閥 31而 同 時 注 意 事 1 也 流 入 底 蓋 110内部， 底蓋110内 部 之 氣 體 為 » 進 入 内 部 之 項 再 1 填 塵 埃 一 起 > 從 定 位 用 導 閥 32通 過 管 33而 排 出 於 裝 置2 0 0外 寫 本 袈 頁 1 部 0 s- 1 然 後 9 實 行 一 定 時 間 之 氣 體 沖 淨 之 後 » 闞 閉 閥 3 , 5 , 1 1 停 止 供 給 惰 性 氣 體 Μ 及 遮 斷 外 面 空 氣 » 驅 動 設 在 鎖 開 閉 機 1 1 構22 0内部之驅動機構， 使凸輪軸2 2 1向 反 時 針 方 向 回 轉 所 訂 1 定 角 度 9 從 凹 部 103a 拉 出 鎖 定 臂 11 1 0 1 | 接 著 9 在 第 1 7圖 中 解 除 底 蓋 1 1 0之鎖定後， 室內昇 1 I 降 機 構 1 2動 作 $ 將 晶 圓 卡 匣 1 0 6連同載置於鎖開閉機構 1 1 2 2 0之底蓋1 1 0 一 起 下 降 * 在 第 18圖 中 裝 置 内 昇 降 機 構 Ί 202沿著軌條203下 降 至 一 定 位 置 時 9 由 設 在 裝 置 内 之 卡 匣 1 取 進 機 構 (省略圖示）取 進 晶 圓 卡 匣 106於裝置200內 0 1 根 據 本 實 施 形 態 之 機 械 式 介 面 裝 置 t 依 定 位 用 導 閥 來 1 | 對 底 蓋 内 部 直 接 供 給 惰 性 氣 體 因 此 $ 與 從 鎖 定 臂 1 1 1及 1 從 底 蓋 1 1 0内部使1貞定臂1 1 1之 另 一 端 通 過 用 之 孔 之 間 所 形 1 成 之 僅 小 間 隙 對 底 蓋 内 部 供 給 惰 性 氣 體 之 情 形 比 較 9 可 1 1 I 較 短 的 時 間 内 完 成 氣 體 沖 淨 〇 因 此 f 實 施 氣 體 沖 淨 時 t 可 1 1 節 省 惰 性 氣 體 之 消 耗 量 0 1 1 19 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 38 49 9 317553 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 18) 1 [第5 實 施 形 態 ] 1 I 在 本 實 施 形 態 中 » 就 將 前 述 之 第 2乃至第4 實 施 形 態 中 1 1 I 之 機 械 式 介 面 應 用 於 氣 體 沖 淨 裝 置 之 形 態說 明 如 下 C 在 此 /-—S 1 I 請 所 明 氣 體 沖 淨 裝 置 為 > 收 容 半 導 體 晶 圓 之密 封 容 器 內 部 之 先 閱 1 1 惰 性 氣 體 濃 度 f 在 等 待 搬 送 時 或 保 管 時 會變 成 規 定 值 Μ 下 背 面 1 之 1 的 情 形 t 該 時 f 將 密 封 容 器 再 度 予 Μ 氣 體沖 淨 > 提 高 惰 性 注 意 辜 1 I 氣 體 濃 度 成 為 規 定 值 Μ 上 之 裝 置 者 0 項 再 1 導 玆 就 利 用 刖 述 各 實 施 形 態 中 之 機 械 式介 面 裝 置 之 氣 體 HXL 寫 本 袈 頁 1 沖 淨 裝 置 說 明 如 下 0 1 第 20 圖 所 示 氣 體 沖 淨 裝 置 50為 $ 利 用第 2實施形態中 1 1 之 機 械 式 介 面 裝 置 之 一 部 分 者 > 在 該 圖 中， 相 對 應 於 第 5 1 1 圖 之 各 部 之 部 位 即 使 用 同 樣 的 元 件 編 號 ,而 省 略 其 說 明 〇 訂 1 又 $ 在 氣 體 沖 淨 裝 置 50 中 > 代 替 氣 密 室 11, 具 備 有 沖 淨 箱 1 1 5 1 之 點 為 與 第 5圖所示機械式介面裝置1 0不同。 該沖淨箱 1 I 5 1 為 9 當 室 内 昇 降 4$» m 構 1 2上 昇 到 最 高 之 狀態 下 t 沖 淨 箱 上 1 壁 5 2 之 内 面 與 鎖 開 閉 機 構 220之突緣部223之 上 面 密 接 • kk ’丨 1 該 狀 態 下 使 沖 淨 箱 51 内 部 翁 密 化 〇 1 玆 參 考 第 20 圖 • 將 氣 體 沖 淨 裝 置 50 之動 作 說 明 如 下 0 1 1 首 先 > 第 20 (a )圖中， 用機械手等載置密封容器1 0 0於 氣 體 1 1 沖 淨 裝 置 50 時 » 密 封 容 器 之 底 蓋 1 1 0内之凸輪（ 省 略 圖 示 ) 1 與 凸 輪 TMH 軸 22 1作鍵槽扣合之同時， 未圖示之感測器測出該 - 1 扣 合 » 使 鎖 閂 機 構 20 1動作而與凸緣部1 0 3扣 合 » 固 定 容 器 1 1 本 體 1 0 1 0 1 然 後 » 室 内 昇 降 機 構 12下 降 參 在 第 20 ( b )_中， 開放 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 20 3 8 49 9

7 B

\—/ 9 IX 性 惰 之 給 供 所 器 容 體 氣 性 惰 壓 高 之 示 圖 未 從 5 /V明ΐ 兑及 明’ W 3 發閥 時 同 之 代 取 所 11體 蓋氣 底性 及惰 ΤΧ 5 之 箱度 淨濃 沖高 入由 流為 體體 氣氣 部 内 箱 淨 沖 使 蓋 底

境面 環 Τ 之10 内I 管閥 氣閉 排關 過 ， 通後 為之 Ο 等間22 埃時構 塵定機 之一 閉 面過開 上經鎖 ο h 2 ，昇 〜後上 然12 〇 構 部機 外降 於昇 出内 邛排室 1P而由 内 5 及閥5, 構 機 閉 鎖 及 袖 輪 凸 使 及及 1 4 3 2 之省 /IV 内 度 構角 11機定 蓋動一 底驅轉 及之回 輪圖 凸略 時 合 扣 槽 鐽 行 實 軸 輪 凸 使 , TOW 驅 \1/ 示 ο 方 22針 構時 機反 閉向 B3? TX W 2 鎖 部 向 定 鎖 之 ο IX 11 蓋 底 除 解 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 袈. 次匣 其卡 圖 晶 ο 2 第 在 閥 開 度 再 5 , 及 ο 3 22閥 構 ， 機降 閉r 開 2 鎖構 , 機 中降 圖昇 C)内 ί室 由 為 及 ο ΤΛ TX 蓋 底 器 容 封 密 入閥 流及 體 氣 性 惰 有 器 容 性 惰 壓 高10 之器 示容 圖封 未密 從將 内 訂 4 管 氣 bh Μ» 過 通 體 氣 之 内 同 之 部 外 出 bh 行構 實機 。 降 體昇 氣内 性室 情 ， 之 度 濃 高閥 為閉 成關 換 ， 置後 體之 氣淨 境沖 環體 之氣 部 之 内 間 將時 , 定 時 一 時 5 及 構 機 1ΒΠ 驅 之 11部 蓋内 底20 與2 1 構 2 養 2 機 S^nJ 輪開 凸鎖 使 動 , 驅 昇 ， 上合 12扣 I. 11 槽 2 鍵！ 予 度 再 輪 凸 之 部 内 軸 輪 凸 使 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 一2C淨 轉構沖 回機體 向閂氣 方鎖之 針 ，器 時後容 向之封 蓋 底 固 鎖 度 角 了 密 終成 作完 •ΜΙΧ * 述 動 上移 〇 向 10方 1之 □ 號 箭 向 中 圖 為 械 機 之 明 說 態 〇 形下 施如 實明 It 說 置 裝 淨 沖 體 氣 第 之 用30 利及 就 2 , 置 次裝 其面 介 式 第 及 態 形 施 實 置 裝 面 (a介 21式 第械 機 之 第 用 利 為 ο 6 置 裝 淨 沖 體 氣 之 圖 中 圖 該 在 者 分 部 1 之 中 態 第 形於 施應 實對 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2!0X297公釐） 3 8 4 9 9 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 20) 1 1 1 圖 之 各 部 之 部 位 即 使 用 同 樣 之 元 件 編 ， 省 略 其 說 明 0 1 I 在 氣 體 沖 淨 裝 置 60 中 9 與 第 1 1 圖 所 示 者 相 異 之 點 9 在 1 1 | 於 具 備 有 沖 淨 箱 6 1 Μ 取 代 氣 密 室 11 0 又 9 室 内 昇 降 機 構 1 I 請 1 2上 昇 至 最 高 之 狀 態 下 t 沖 淨 箱 上 壁 62 之 内 面 與 鎖 開 閉 ΜΆ m 先 閲 1 I 讀 1 | 構 2 20之突緣部223 之 上 面 密 接 » 在 該 狀 態 下 將 沖 淨 箱 6 1 之 背 面 \ | 之 1 I 内 部 予 Μ 氣 密 化 0 注 意 言 ί 其 次 9 就 氣 體 沖 淨 裝 置 60 之 動 作 說 明 如 r 0 首 先 > 用 項 再 1 機 械 手 等 載 置 密 封 容 器 100於氣體沖淨裝置60時， 密封容 寫 本 g* 袈 I 器 之 底 蓋 11 0内之凸輪（ 省 略 圖 示 )與凸輪袖221 作 鐽 槽 扣 合 Ά ··—^ 1 1 I 之 同 時 9 未 〇! _ 示 之 感 測 器 測 出 該 扣 合 9 使 m 閂 機 構 20 1動 1 1 作 而 與 凸 緣 部 103扣合， 固定容器本體1 0 1 0 1 1 m 後 開 放 閥 3 , 及閥5 t 從 未 |c*| _ 示 之 高 壓 惰 性 氣 體 容 訂 1 器 所 供 給 之 惰 性 氣 體 流 入 沖 淨 箱 51 及 底 蓋 11 〇內部， 沖淨 1 1 箱 5 1 内 之 環 境 氣 體 為 由 高 濃 度 之 惰 性 氣 體 所 取 代 之 同 時 * 1 I 底 蓋 11 0下面及内部， 及鎖開閉機構2 2 0上 面 之 塵 埃 等 為 通 過 排 氣 管 4及閥5 而 排 出 於 外 部 〇 m 後 t 經 過 一 定 時 間 之 後 Ί I » 關 閉 閥 3及5 9 由 室 内 昇 降 機 構 12上 昇 鎖 開 閉 機 構 2 2 0 , 1 1 使 凸 輪 1 fill 軸 22 1及底蓋1 1 0 内 之 凸 輪 實 行 礙 槽 扣 合 時 > 鎖 開 閉 1 機 構 22 0內部之驅動機構（ 省 略 圖 示 )驅動， 使凸輪軸221 向 1 1 反 時 针 方 向 回 轉 一 定 角 度 » 解 除 底 蓋 11 0之鎖定。 1 其 次 » 開 放 閥 23 f 24 9 及 5來實行氣體沖淨。 於是， - 1 從 未 rot 國 示 之 高 壓 性 氣 體 容 器 所 供 給 之 惰 性 氣 體 為 9 與 底 蓋 1 1 I 11 0與外面空氣接觸面及P ]部， 及鎖開閉機構2 2 0與 外 面 空 1 1 I 氣 之 接 觸 面 « 以 及 氣 密 室 11 内 等 所 附 著 之 塵 埃 等 一 起 為 通 1 1 2 2 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 3 8 4 9 9 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 2 2) 1 態 下 » 沖 淨 箱 上 壁72 之 内 面 與 鎖 開 閉 W 構 2 20之突緣部223 1 1 1 之 上 面 密 接 9 在 該狀 態 下 將 沖 淨 箱 71 之 内 部 予 Μ 氣密 化 0 1 1 其 次 就 氣 體沖 淨 裝 置 70 之 動 作 說 明 如 下 〇 首先 » 用 1 1 請 1 機 械 手 等 載 置 密 封容 器 1 0 0於氣體沖淨裝置7 0時， 密封容 先 閱 1 I 1 1 器 之 底 蓋 11 0内之凸輪1 1 2 (省略圖示）與 凸 輪 ΤΪΠΙ 袖 22 1作鍵槽 背 l· | 之 1 扣 合 之 同 時 9 定 位用 導 閥 3 1 > 32 另 一 端 之 先 端 分 別通 過 底 注 意 L 事 1 蓋 11 0之導孔1 15 ,再 者 9 擋 接 於 底 蓋 11 0之上內面擋接， 項 再 填 1 A 以 該 推 壓 力 使 定 位用 専 閥 31 > 32 之 閥 33 均 圼 開 閥 狀態 0 又 % 本 袈 I > 由 未 圖 示 之 感 測器 測 出 密 封 容 器 1 0 0載置於鎖開閉機構 頁 ·--- 1 1 2 2 0上時， 使鎖閂機構2 0 1 動 作 而 與 凸 緣 部 103扣合，固定 1 1 容 器 本 體 1 0 1於氣體沖淨裝置7 0上。 1 1 m »v 後 9 開 放 閥3, 及閥5來 實 行 氣 體 沖 淨 〇 於 是， 從 未 訂 I 圖 示 之 高 壓 惰 性 氣體 容 器 所 供 給 之 惰 性 氣 體 流 入 沖淨 箱 1 I 7 1 内 > 使 沖 淨 箱 7 1內 之 氣 體 通 過 排 氣 管 4及閥5 而 排出 於 外 1 1 I 部 0 又 * 流 入 箱 71内 之 部 分 惰 性 氣 體 為 t 通 過 閥 3 1而 流 入 1 1 底 蓋 1 1 0內部， 底蓋1 1 0 內 部 之 氣 體 為 與 進 入 內 部 之塵 埃 一 Ί 起 t 從 定 位 導 閥 32通 過 管 33排 出 氣 體 沖 淨 裝 置 70外部 〇 1 I 然 後 ί 實 行 一定 時 間 的 氣 體 沖 淨 之 後 * 關 閉 閥3 , 5來 1 停 止 供 給 惰 性 氣 體Μ 及 遮 斷 外 面 空 氣 > 驅 動 設 在 鎖開 閉 m 1 | 構 220内部之驅動機構， 使凸輪軸221 向 反 時 针 方 向回 轉 一 1 定 角 度 從 凹 部 103a 拉 出 鎖 定 臂 11 1 0 因此而解除底蓋 1 1 1 1 0之鎖固之後， 室内昇降機構1 2動作， 與鎖開閉機構 1 1 I 2 20 , 底蓋1 1 0 及 晶圓 卡 匣 106- -起下降。 再度開放閥3 f 5 , 1 1 從 未 [ΞΙ 圖 示 之 高 壓 惰性 氣 體 容 器 使 惰 性 氣 體 流 入 密 封容 器 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 3 849 9 2 4 A7 317553 B7 五、發明説明（2 1) 過分歧排氣管25，2 6,從排氣管4通過閥5而排出於氣體沖 淨裝置6 0之外部。 然後，實行一定時間的氣體沖淨之後，關閉閥23, 24及閥5來停止供給惰性氣體Μ及遮斷外面空氣，驅動設 在鎖開閉機構2 20内部之驅動機構，使凸輪軸221向反時針 方向回轉一定角度，從凹部103a拉出鎖定臂111。因此而 解除底蓋110之鎖固之後，室內昇降機構12為與鎖開閉機 構220,底蓋110及晶圓卡匣106 —起下降，再度開放閥23, 24及閥5,從未圖示之高惰性氣體容器使惰性氣體流入密 封容器100内部，使密封容器100内之氣體通過排氣管4及 閥5排出外部之同時，Μ高濃度之惰性氣體取代其内部之 環境氣體。 經過一定時間之後，闞閉閥2 3, 2 4及閥5,接著室内 昇降機構12上昇，使凸輪軸221與底蓋110内部之凸輪再度 予Μ鐽槽扣合，驅動鎖開閉機構2 20内部之驅動機構，使 凸輪軸221向時针方向回轉一定角度，鎖固底蓋110。上述 動作终了之後，鎖閂機構2 01為圖中向箭號口之方向移動， 完成密封容器之氣體沖淨。 第2 1 ( b )圖之氣體沖淨裝置7 0係利用第4實胞形態中之 機械式介面裝置30之一部分者；在該圖中，對應於第15圖 各部之部位即使用同樣之元件編號，省略其說明。 在氣體沖淨裝置70中，與第15圖所示之半導體晶圓處 理裝置2 0之機械式介面裝置相異之點，在於具備有沖淨箱 71以取代氣密室11。又，室内昇降機構12上昇至最高之狀 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 袈· 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 23 3 8 4 9 9 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（23 ) 1 1 00内部， 使密封容器1 00 内 之 氣 體 通 過 排 氣 管 4及閥5排 出 1 I 外 部 之 同 時 9 Μ 高 濃 度 之 惰 性 氣 體 取 代 其 内 部 之 環 境 氣 體 1 1 I 0 ^—\ 請 1 I 4 經 過 一 定 時 間 之 後 ) 關 閉 閥 3及閥5 9 接 著 室 内 昇 降 先 閱 1 I 讀 1 憐 構 1 2上 昇 f 使 凸 輪 袖 22 1及底蓋1 1 0 内 之 凸 輪 再 度 實 行 鍵 背 面 1 * I 之 1 I 槽 扣 合 驅 動 鎖 開 閉 機 構 2 2 0内部之驅動機構（省 略 圖 示 ), 注 意 I 1 使 凸 輪 f ΙΠ| 軸 22 1向時針方向回轉- -定角度， 鎖定底蓋1 1 0 〇 上 項 再 1 4 述 動 作 完 了 時 » 鎖 閂 機 構 20 1為向圖中箭號口之方向移動， 寫 本 袈 頁 1 完 成 密 封 容 器 内 之 氣 體 沖 淨 C '— 1 I 依 上 述 之 各 棰 氣 體 沖 淨 裝 置 9 在 實 行 氣 體 沖 淨 之 前 > 1 1 一 旦 排 除 在 搬 送 密 封 容 器 時 附 著 在 容 器 之 底 蓋 等 之 塵 埃 等 1 1 1 因 此 • 可 避 兔 塵 埃 等 進 入 密 封 容 器 內 部 » 經 常 可 保 持 密 訂 1 封 容 器 内 部 為 沖 淨 之 狀 態 0 1 1 [發明之效果] 1 I 如 Μ 上 說 明 9 根 據 申 請 專 利 範 圍 第 1 項 之 發 明 * 當 密 1 1 广 封 容 器 載 置 於 各 種 處 理 裝 置 時 > 在 蓋 開 閉 機 構 未 實 行 密 封 Ί 1 容 器 之 蓋 體 之 開 鎖 操 作 之 前 > 用 供 氣 裝 置 實 行 氣 體 沖 淨 > 1 將 密 封 容 器 » 密 封 裝 置 及 處 理 裝 置 間 所 形 成 空 間 内 之 氣 1 1 體 從 排 氣 裝 置 排 出 來 置 換 成 為 上 述 惰 性 氣 體 » 因 此 > 將 附 1 1 著 於 密 封 容 器 及 半 導 體 晶 圓 處 理 裝 置 中 與 外 Μ 空 氣 接 觸 面 1 I · 之 塵 埃 t 與 上 述 空 間 内 之 氣 體 一 起 排 出 密 封 容 器 内 之 半 1 導 體 晶 圓 取 進 裝 置 内 時 * 可 避 免 半 導 體 晶 圓 受 到 塵 埃 污 染 1 1 I t 又 > 可 避 免 混 入 底 蓋 11 0内部及各間隙之外面空氣對半 1 1 1 導 體 晶 圓 表 面 有 不 良 影 響 0 1 1 25 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 3 8 4 9 9 317553 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（24) 1 » 1 又 > 根 據 申 請 專 利 範 圍 第 2 項 之 發 明 1 由 於 具 有 m .密 1 1 I 維 持 裝 置 t 因 此 蓋 開 閉 機 構 實 行 密 封 容 器 之 蓋 體 之 開 鎖 操 1 1 作 之 前 1 使 蓋 體 與 密 封 裝 置 — 旦 分 離 之 狀 態 下 可 實 行 氣 體 1 I 請 1 t 沖 淨 t 因 此 f 可 確 實 排 除 附 著 於 曝 露 外 面 空 氣 之 密 封 容 器 先 閱 1 I 讀 1 之 蓋 體 之 下 面 9 及 未 載 置 密 封 容 器 之 期 間 内 曝 露 在 外 面 背 面 卜 1 之 1 空 氣 之 密 封 裝 置 表 面 等 之 塵 埃 等 0 注 棄 1 事 1 又 f 根 據 串 請 專 利 範 圍 第 3 項 之 發 明 参 具 備 有 導 銷 » 項 再 1 因 此 t 氣 體 可 直 接 流 入 蓋 內 部 t 又 9 可 將 蓋 內 部 之 氣 Mlffi 體 排 寫 JL 农 頁 1 出 處 理 裝 置 外 部 根 據 申 請 專 利 範 圍 第 4 項 之 發 明 » 對 由 1 密 封 容 器 9 密 封 裝 置 及 處 理 裝 置 所 形 成 之 空 間 及 由 密 封 1 1 裝 置 9 氣 密 維 持 裝 置 及 處 理 裝 置 所 形 成 為 空 間 之 兩 處 同 時 1 1 供 給 氣 體 t 同 時 t 排 出 原 存 在 於 該 等 空 間 之 氣 體 9 因 此 i 訂 I 可 在 更 短 時 間 内 完 成 氣 體 沖 淨 0 因 此 » 實 施 氣 體 沖 淨 時 9 1 I 可 節 省 氣 體 之 消 耗 量 0 1 1 I [圖式之簡單說明] 1 1 第 1圖為說明本發明第1實 胞 形 態 之 機 械 式 介 面 裝 置 之 ] 構 成 > 及 將 密 封 容 器 内 之 半 導 體 晶 圓 取 進 處 理 裝 置 内 部 之 1 步 驟 之 說 明 圖 〇 1 第 2圖為說明Μ該機械式介面裝置， 將密封容器內之 1 I 半 導 贖 晶 圓 取 進 處 理 裝 置 内 部 之 步 驟 之 說 明 圖 0 1 r 第 3圖為說明Μ該機械式介面裝置， 將密封容器P ]之 1 1 μ 半 専 體 晶 圓 取 進 處 理 裝 置 内 部 之 步 驟 之 說 明 圖 0 Γ 1 I 第 4圖為說明以該機械式介裝置， % ί密封容器内之 1 1 半 導 體 晶 圓 取 進 處 理 裝 置 內 部 之 步 驟 之 說 明 ΓΒΙ W 〇 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 2 6 3 8 4 9 9 317553 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 2 5) 1 W 1 第 5圖為說明本發明第2實 施 形 態 之 機 械 式 介 S裝置 之 1 I 構 成 t Μ及 將 密 封 容 器 内 之 半 専 體 晶 圓 取 進 處 理裝置内 部 1 1 1 之 步 驟 之說 明 圖 0 /«-S 1 I •請 [ I 第 6圖為說明Μ該機械式介面裝置， 將密封容 器內之 先 聞 1 半 導 體 晶圓 取 進 處 理 裝 置 内 部 之 步 驟 之 說 明 圖 〇 臂 面 1· | 之 1 第 7圖為說明Μ該機械式介面裝置， 將密封容 器內之 注 意 1 事 1 半 導 體 晶圓 取 進 處 理 裝 置 内 部 之 步 驟 之 說 明 圖 〇 項 再 1 A 第 8圖為說明以該機械式介面裝置， 將密封容 器內之 寫 4- 頁 1 半 導 體 晶圓 取 進 處 理 裝 置 内 部 之 步 驟 之 說 明 圖 0 S_X 1 第 9圖為說明Μ該機械式介面裝置， 將密封容 器內之 1 1 半 導 體 晶圓 取 進 處 理 裝 置 内 部 之 步 驟 之 說 明 圖 〇 1 1 第 1 0圖 為 說 明 VX 該 m 械 式 介 面 裝 置 ， 將 密 封容器内 之 訂 1 半 導 體 晶圓 取 進 處 理 裝 置 内 部 之 步 驟 之 說 明 因 圖 0 1 1 第 1 1圖 為 說 明 本 發 明 第 3實施形態之機械式介 面裝置 1 I 之 構 成 ，Μ 及 將 密 封 容 器 內 之 半 導 體 晶 圓 取 進 處理裝置 内 1 部 之 步 驟之 說 明 圖 0 1 I 第 1 2圖 為 說 明 Μ 該 機 械 式 介 [M 裝 置 $ 將 密 封容器内 之 1 半 導 體 晶圓 取 進 處 理 裝 置 内 部 之 步 驟 之 說 明 圖 0 1 第 1 3圖 為 說 明 Μ 該 擁 械 式 介 tfii 裝 置 9 將 密 封容器內 之 1 1 半 導 體 晶圓 取 進 理 裝 置 内 部 之 步 驟 之 說 明 面 圖 Ο 1 I Λ 第 14圖為 說 明 以 該 機 械 式 介 面 裝 置 ， 將 密 封容器内 Z 1 半 導 體 晶圓 取 進 處 理 裝 置 内 部 之 步 驟 之 說 明 圖 〇 1 1 I 第 1 5圖 為 說 明 本 發 明 第 4實施形態之機械式介 Ifi裝置 1 1 I 之 構 成 ,Μ 及 將 密 封 容 器 内 之 半 導 體 體 晶 圓 取 進處理裝 置 1 1 2 7 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 3 8 499 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 五、發明説明（ 26) 1 • 1 内 部 之 步驟 之 說 明 圖 0 1 I 第 16圖為 說 明 Μ 該 機 械 式 介 面 裝 置 將 密 封 容 器 内 之 1 1 I 半 導 體 晶圓 取 進 處 理 裝 置 内 部 之 步 驟 之 說 明 圖 0 /—S 1 | 請 I 先 1« 第 17圖 為 說 明 該 機 械 式 介 面 裝 置 將 密 封 容 器 之 半 Η I 讀 1 | 導 體 晶 圓取 進 處 理 裝 置 内 部 之 步 驟 之 說 明 圖 0 背 I fel 1 之 1 I 第 1 8圖 為 說 明 Μ 該 機 械 式 介 面 裝 置 t 將 密 封 容 器 之 半 注 意 1 事 1 導 體 晶 圓取 進 處 理 裝 置 内 部 之 步 驟 之 說 明 圖 0 項 再 1 A 第 1 9圖 為 說 明 該 機 械 式 介 面 裝 置 之 定 位 用 導 閥 先 端 構 寫 本 頁 1 造 用 之 說明 _ 〇 1 I 第 20圖 為 說 明 本 發 明 第 5實施形態之氣體沖淨裝置之 1 1 I 構 成 > Μ及 氣 體 沖 淨 步 驟 用 之 說 明 圖 0 1 1 第 21圖 為 說 明 該 實 施 形 態 氣 體 沖 淨 裝 置 之 其 他 構 成 用 訂 1 之 說 明 圖。 1 1 第 22圖 為 顯 示 先 前 之 密 封 容 器 外 觀 之 外 觀 圖 0 1 1 第 23圖 為 顯 示 該 密 封 容 器 之 剖 面 及 容 器 收 容 物 之 收 容 1 狀 態 之 剖面 rsr 圆 〇 1 I 第 24圖 為 說 明 該 密 封 容 器 外 觀 之 底 蓋 内 部 構 造 之 說 明 1 圖 0 1 1 第 25圖 為 說 明 設 在 該 底 蓋 内 部 之 上 鎖 ♦ 開 鎖 擁 構 之 局 1 1 部 構 造 用之 說 明 圖 0 1 h 第 26圖 為 說 明 先 Λ f. 刖 之 m 械 式 介 面 裝 置 之 構 成 I Μ 及 將 1 密 封 容 器内 之 半 導 體 晶 圓 取 進 處 理 裝 置 内 部 之 步 驟 之 說 明 1 I 圖 0 1 1 I 第 27圖 為 說 明 用 該 機 械 式 介 面 裝 置 9 將 密 封 容 器 内 之 1 1 2 8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 3 8 49 9 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 2 7) 1 半導體 晶圓 取進 處 理 裝 置 内 部 之 步 驟 之 說 明 圖 0 1 1 第 28圖 為說 明 用 該 機 械 式 介 面 裝 置 9 將 密 封 容 器 內 之 1 1 半導體 晶圓 取進 處 理 裝 置 內 部 之 步 驟 之 說 明 圖 〇 1 I 第 29圖 為說 明 用 該 機 械 式 介 面 裝 置 $ 將 密 封 容 器 内 之 •請 先 1 r 聞 I 半導體 晶圓 取進 處 理 裝 置 内 部 之 步 驟 之 說 明 圖 〇 讀 背 卜 I 第 3 0圖 為說 明 當 搬 送 密 封 容 器 時 9 有 塵 埃 等 可 能 附 著 之 注 1 1 之部位 ，及 在先 前 之 該 機 械 式 介 面 裝 置 中 9 有 塵 埃 等 可 能 意 事 項 I 附著之 部位 之設 明 圖 0 再 導 1 [元編號之說明] 寫 本 頁 表 1 1 , 10,20,30 ： 機 械 式 介 面 裝 置 1 1 2 ： 供氣管 1 1 3 , 5,23 ，24 : 閥 1 訂 10 :機 械式 介 面 1 1 11 :氣 密室 1 1 12 ：室 內昇 降 4*16 懦 構 1 1 2 1 ,22 ： 分歧供氣管 1 25:26: 分歧排氣管 1 I 3 1 ,32 ： 定位用導閥 1 33 ：管 子 1 34 :閥 1 1 34 a :折彎部 1 麄 35 :彈 簧 1 1 36 ：密 封材 料 1 1 50 ,60 , 70 ： 氣 體 沖 淨 裝 置 1 1 5 1 ,61 , 7 1: 沖 淨 箱 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 2 9 3 8 4 9 9

Claims (1)

1. 317553 A8 B8 C8 D8 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 0 I 1 . 一 種 機 械 式 介 面 裝 置 ， 係 對 由 容 器 本 體 i 可 氣 密 地 封 1 I 閉 該 容 器 本 體 開 □ 部 之 蓋 體 > 及 設 在 該 蓋 體 内 部 9 依 1 1 I 從 外 部 之 操 縱 可 鎖 定 或 開 放 AU. 月U 述 蓋 體 之 鎖 定 ♦ 開 鎖 機 請 先 閱 讀 1 匕 構 所 成 之 密 封 式 容 器 内 所 收 容 之 收 容 物 f 實 行 一 定 處 1 1 理 之 處 理 裝 置 所 設 置 而 將 前 述 收 容 物 不 接 觸 外 面 空 氣 背 Λ I 之 1 之 狀 態 下 取 進 前 述 處 理 裝 置 内 部 之 機 械 式 介 面 裝 置 > 注 意 1 I 事 1 其 特 徵 為 » 包 含 有 » 項 再 導 1 昇 降 裝 置 1 在 月tl 述 處 理 裝 置 内 昇 降 > 烏 本 裝 頁 1 密 封 裝 置 t 係 設 在 該 昇 降 裝 置 9 當 該 昇 降 裝 置 上 1 I 昇 到 最 高 時 > 與 前 述 蓋 體 一 起 取 進 刖 述 收 容 物 而 設 在 1 1 前 述 處 理 裝 置 之 開 P 部 t 從 a 刖 述 處 理 裝 置 內 部 予 Μ 密 1 1 訂 1 封 * 且 內 藏 有 實 行 前 述 鎖 定 * 開 鎖 機 構 之 開 閉 操 作 之 蓋 體 開 閉 機 構 » 1 1 氣 體 供 給 裝 置 » 當 在 月ij 述 開 □ 部 周 部 載 置 前 述 密 1 I 封 容 器 時 9 對 由 前 述 密 封 容 器 9 密 封 裝 置 * 及 處 理 裝 1 S 置 所 形 成 之 空 間 供 給 惰 性 氣 體 • Ί I 排 氣 裝 置 f 將 由 前 述 密 封 容 器 * 密 封 装 置 t 及 處 1 理 裝 置 所 形 成 之 空 間 所 排 出 之 氣 體 排 出 於 外 部 1 而 成， 1 1 當 前 述 密 封 容 器 載 置 於 前 述 處 理 裝 置 之 開 0 部 周 1 1 部 時 在 前 述 蓋 體 開 閉 機 構 未 實 行 前 述 鎖 定 ♦ 開 鎖 機 1 Γ 構 之 開 鎖 操 縱 之 前 > 藉 由 刖 述 氣 體 供 給 .裝 置 供 給 惰 性 1 氣 體 » 將 前 述 密 封 容 器 » 密 封 裝 置 9 及 處 理 裝 置 間 所 1 1 I 形 成 之 空 間 内 之 氣 體 從 前 述 排 氣 裝 置 予 Η 排 出 並 Μ 1 1 1 前 逑 惰 性 氣 體 置 換 該 空 間 內 者 0 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 30 3 8 499 A8 B8 C8 D8 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 2 . 一 種 機 械 式 介 面 裝 置 f 係 對 由 容 器 本 體 9 可 氣 密 地 封 1 1 I 閉 該 容 器 本 體 開 口 部 之 蓋 體 % 及 設 在 該 蓋 體 內 部 » 依 1 1 從 外 部 之 操 縱 可 鎖 定 或 開 放 月rj 述 蓋 體 之 鎖 定 * 開 鎖 機 1 I 請 1 | * 構 所 成 之 密 封 式 容 器 內 所 收 容 之 收 容 物 9 實 行 一 定 處 先 閲 1 1 理 之 處 理 裝 置 所 設 置 而 將 a 月 述 收 容 物 不 接 觸 外 面 空 氣 1 面 1 Λ I 之 1 之 狀 態 下 取 進 前 述 處 理 裝 置 內 部 之 m 械 式 介 面 裝 置 * 注 意 1 拳 1 其 特 徵 為 ί 包 含 有 項 再 1 —Ν 填 第 1昇降裝置， 在前述處理裝置内昇降； 寫 本 裝 頁 1 氣 密 性 維 持 裝 置 » 其 內 部 為 空 心 9 具 有 開 □ 之 箱 1 形 狀 之 氣 密 維 持 裝 置 ， 設 在 前 述 第 1昇降裝置， 該第1 1 1 昇 降 裝 置 上 昇 到 最 高 時 該 氣 密 維 持 裝 置 之 開 □ 周 緣 1 1 部 > 擋 接 於 為 取 進 前 述 收 容 物 而 設 在 前 述 處 理 裝 置 之 訂 1 裝 置 開 P 部 周 圍 之 裝 置 内 面 Μ 維 持 前 述 處 理 裝 置 內 1 I 之 氣 密 性 * 1 1 I 第 2昇降裝置， 係設在該氣密性維持裝置之内部； 1 1 —S 密 封 裝 置 9 係 設 在 該 第 2昇降裝置， 當該第2昇 降 Ί 裝 置 上 昇 到 最 高 時 從 前 述 處 理 裝 置 内 部 密 封 前 述 裝 置 1 開 P 部 f 且 內 藏 實 行 前 述 鎖 定 ♦ 開 鎖 4jd6 擁 構 之 開 閉 操 縱 1 1 之 蓋 開 閉 機 構 9 1 I 氣 體 供 給 裝 置 f 當 在 前 述 開 □ 部 周 部 載 置 月》J 述 密 1 |· 封 容 器 時 * 對 由 前 述 密 封 容 器 > 氣 密 性 維 持 裝 置 » 及 » 1 1 處 理 裝 置 所 形 成 之 空 間 供 給 惰 性 氣 體 • >λ 及 1 1 1 排 氣 裝 置 » 將 由 前 述 密 封 容 器 > 氣 密 性 維 持 裝 置， 1 1 及 處 理 裝 置 形 成 之 空 間 所 排 出 之 U 體 排 出 於 外 部 者 0 1 1 3 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 3 8 49 9 申請專利範圍 A8 B8 C8 D8 如申請專利範圍第2項之機械式介面裝置，其中，前 密至 述中 •前其 置， 載銷 部導 周數 部複 口 之 開用 置置 裝位 述置 前載 在其 , 定 有決 具 ， 置際 裝之 封器 密容 述封 •一朋 在為 口成 開 時 為器 端容 一 封 其密 且置 , 載 心為 空端 為一 控另 部 ， 内側 之部 銷内 導置 枝裝 兩理 有處 少述 為管 枝性 一 撓 有可 少接 至連 , 有 中端 當一 銷之 導側 該部 在内 , 置 造裝 構理 閥處 閉述 開 前 之於 態口 狀開 放在 封 地 密 氣 可 體 〇 本 者器 部容 外由 置對 裝係 ϊκ 理 ， 處置 述裝 前面 於介 通式 連械 且機 , 種 子一 4 體放 蓋開 之或 部定 口鎖 開可 體縱 本操 器之 容部 該外 閉從 依機 ， 鎖 部 開 內 ♦ 體定 蓋鎖 該之 在體 設蓋 及述 處氣 ， 定 空 置 所面裝 行 外面 實觸介 ，接式 物不械 容物機 收容之 之收部 容述內 收前 置 所將裝 内而理 器置處 容設述 式所前 封置進 密裝取 之理r 成處態 所之狀 構理之 ! 昇 為 1 徴第 特 其 有 含 包 降 昇 內 置 裝 理 處 述 前 在 置 裝 降 (褚先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 時 ，*高 *罾最 裝持 ϋ肖二 維性 &罾置 S3*€ 2 Ξ 狀降 形1# 心第 空 述 為前 部在 内設 其 ， 箱 之 0 開 有 具 密 氣 該 第周 該 口 , 開 置 之 裝置 降裝 I#持 t維 置置 裝裝 II fit 理理 處處 述述 前 ，前 在持 設維 而M 物 ， 容面 收内 述置 前裝 進之 取圍 為周 於部 接 口 擋開 ，置 部裝 緣之 置 性丨裝 昇 密 cvi 封 氣第密 之 内 置 裝 降 昇 部 内 之第 置該 裝當 持 ， 維置 性裝 密降 氣昇 該 在 設 係 第 該 在 設 係 降 昇 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 32 3 8 499 3 5 5 7 ABCD 六、申請專利範圍 裝置上昇到最高時從前述處理裝置内部密封前述裝置 開口部，且内藏實行前述鎖定*開鎖機構之開閉操縱 之蓋開閉機構； 氣體供給裝置，當在前述開口部周部載置前述密 封容器時，對由前述密封容器，密封裝置及處理装置 所形成之空間，及密封裝置，氣密性維持裝置，及處

   排氣裝置，將由前述密封容器，密封裝置及處理 裝置所形成之空間，及由密封裝置，氣密性維持裝置， 及處理裝置形成之空間形成之空間分別排出之氣體排 出於外部者。 (請先聞面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 3 8 499 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）