SU469159A1

SU469159A1 - Способ получени растра пучка зар женных частиц

Info

Publication number: SU469159A1
Application number: SU1642995A
Authority: SU
Inventors: Георгий Александрович Богдановский; Георгий Глебович Дутов; Лев Николаевич Малахов; Александр Иванович Дутов
Original assignee: Предприятие П/Я Р-6681
Priority date: 1971-04-02
Filing date: 1971-04-02
Publication date: 1975-04-30

Description

Изобретение относитс к области электровакуумных приборов и может быть применено дл получени растра в электронно-лучевых приборах.

Известны электронно-оптические способы фокусировки и развертки элежт-ронного зонда, которые реализуютс в системах с пространственно разделенными электронно-оптическими элемента:ми. При этом, если фокусирующий элемент - линза предшествует от.клон ющей системе перед плоскостью изображени , то в системе нельз получить малый рабочий отрезок и большое уменьшение источника, как это имеет место в кинескопах. Если же линза расположена между отклон юш,ей системой и плоскостью изображени , то размытие зонда и искажени растра, обусловленные, главным образом, сферической аберрацией, ухудшают качество растра и сильно ограничивают поле зрени . В ф01кусируюше-отклон ющих системах нередаюш,их телевизионных трубок, где фокусируюнда система расположена над отклон ющей системой, на краю пол зрени возникает изменение нормальной составл ющей скорости электронов в несколько вольт.

Цель изобретени - уменьшение диаметра зонда и дисторсии раствора в плоскости изображени , а также повышени мобильности управлени раствором.

Дл этого фокусировку и развертку пучка

осуществл ют одновременно, причем через «вадрупольный дублет одновременно пропускают посто нный ток дл фокусировки пучка и переменный ток - через первый квадруполь

дл развертки пучка и через второй квадруполь дл свертки растра.

Па чертеже изображена одна из возможных схем прибора, осуществл ющего предлагаемый способ.

Схема содержит первый квадруполь 1, второй квадруполь 2 электронную (источник электронов) 3, меридиональные обмотки 4 квадруполей, сагиттальные обмотки 5 квадруполей, магнитопроводы 6 квадруполей,

плоскость изображени 7, электронный пучок 8, главную траекторию 9 электронного пучка. При подаче на квадруноли 1 и 2 посто нного напр жени нучок 8, выход щий из электронной пущки 3, фокусируетс квадрупольныМ дублетом в плоскости изображени 7. При этом главный луч пучка совпадает с оптической осью фокусирующего дублета. Плоскость чертежа вл етс рассеивающей плоскостью дл квадрупол 1 и собирающей плоскостью дл квадрупол 2. При подаче на одну или обе пары катущек квадрупол отклон ющего тока, что соответствует уменьшению тока в одной катущке и одинаковому увеличению тока в противоположной катущке той

же пары, фокусирующие свойства квадрунол

в параксиальном приближении не мен ютс . Поэтому, подава переменный отклон ющий ток на обмотки квадрупол 1, получают в плоскости изображени 7 сфокусированный сканирующий пучок. При этом формат растра, определ емый амплитудой переменного отклон ющего TOiKa в квадруполе 1, измен етс совместным фокусирующим действием посто нных полей квадруполей 1 и 2. Это изменение исправл ют подачей па катущки 4 и 5 квадрупол 2 помимо фокусирующего посто нного тока переменных отклон ющих токов с соответственно выбранными амплитудами. Выбором соотношени амплитуд отклон ющих токов, подаваемых на обмотки квадруполей Л и 2, осуществл ют управление растром, а именно форматом растра и сверткой растра. Например, получают свертку растра в действительной точке оси пространства изображени , или получают телескопическую развертку, при которой главна ось траектории 9 пучка в пространстве изображений в каждый данный момент времени остаетс параллельной оси системы. Независимо от характера развертки электронный пучок остаетс сфокусированным в плоскости изображени 7.

Практически способ может быть осущестВлеп как в системе из двух магнитных квадруполей , так и в системе из электростатических квадруполей.

Совмещение фокусировки и отклонени обеспечивает получение зонда и растра с параметрами лучшими, чем в системах, где фокусировка и отклонение пространственно разделены как дл коротких, так и дл длинных рабочих отрезков.

Предмет изобретени

Способ получени растра пучка зар женных частиц, основанный на фокусировке и

развертке пучка с помощью квадрупольных электронно-оптических элементов, отличающийс тем, что, с целью уменьщени диаметра зонда и дисторспи растра в плоскости изображени , а также повышени мобильности управлени растром, фокусировку и развержу пучка осуществл ют одновременно, причем через квадрупольный дублет одновременно пропускают посто нный ток дл фокусировки пучка и неременный ток - через первый квадруноль дл развертки пучка, а через второй квадруполь дл свертки растра.

6 ,5