SU1392386A1 - Device for measuring parameters of resonance oscillations - Google Patents
Device for measuring parameters of resonance oscillations Download PDFInfo
- Publication number
- SU1392386A1 SU1392386A1 SU853954674A SU3954674A SU1392386A1 SU 1392386 A1 SU1392386 A1 SU 1392386A1 SU 853954674 A SU853954674 A SU 853954674A SU 3954674 A SU3954674 A SU 3954674A SU 1392386 A1 SU1392386 A1 SU 1392386A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- differential amplifier
- preamplifiers
- vibration
- measurement
- signals
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени резонансных частот конструктивных элементов полупроводниковых приборов. Целью изобретени вл етс расширение функциональных возможностей за счет выполнени измерител в виде блока измерени амплитуды электрических колебаний . Устройство содержит вибростенд 3, рабочий и опорный вибропреобразователи 5,6, установленные соответственно на исследуемой детали 2 и на содержащем ее объекте 1. Сигналы с вибропреобразователей через предварительные усилители 7 поступают на дифференциальный усилитель 8, выходной сигнал которого .измер етс в блоке 10 измерени . Благодар предварительной балансировке сигналов рабочего и опорного каналов результаты измерени не содержат искажений, обусловленных вли нием резонансных колебаний объекта. 1 ил. « (ЛThe invention relates to a measurement technique and can be used to measure the resonant frequencies of the structural elements of semiconductor devices. The aim of the invention is to extend the functionality by performing the meter in the form of a unit measuring the amplitude of electrical oscillations. The device contains a vibrostand 3, operating and reference vibration transducers 5.6 installed respectively on the part 2 and the object containing it 1. Signals from the vibration transducers through preamplifiers 7 are fed to a differential amplifier 8, the output of which is measured in measurement unit 10. Due to the preliminary balancing of the signals of the working and reference channels, the measurement results do not contain distortions due to the influence of the resonant vibrations of the object. 1 il. "(L
Description
со со towith so to
соwith
0000
оьoh
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени резонансных частот конструктивных элементов полупроводниковых приборов.The invention relates to a measurement technique and can be used to measure the resonant frequencies of the structural elements of semiconductor devices.
Целью изобретени вл етс расширение функциональных возможностей за счет выполнени измерител в виде блока измерени амплитуды электрических колебаний.The aim of the invention is to extend the functionality by performing the meter in the form of a unit measuring the amplitude of electrical oscillations.
На чертеже представлена структурна схема устройства.The drawing shows a block diagram of the device.
Объект с исследуемой деталью 2 закреплен на вибростенде 3, который подключен к задатчику 4 параметров возбуждающих колебаний с частотомером . Вибропреобразователь 5 рабочего канала измерени электрически или механически св зан с исследуемой .деталью .The object with the investigated part 2 is fixed on the vibration table 3, which is connected to the setter of 4 parameters of exciting oscillations with a frequency meter. The vibration transducer 5 of the working measurement channel is electrically or mechanically connected to the test piece.
Вибропреобразователь 6 опорного канала измерени электрически или механически св зан с объектом . Выходы вибропреобразователей 5 и 6 подключены к.входам предварительных усилителей 7, выходы которых подключены к входам дифференциального усилител 8 с потенциометром 9 балансировки сигналов. Выход дифференциального усилител 8 подключен к входу блока 10 измерени амплитуды электрических колебаний.The vibration transducer 6 of the measurement reference channel is electrically or mechanically connected to the object. The outputs of the vibration transducers 5 and 6 are connected to the inputs of the pre-amplifiers 7, the outputs of which are connected to the inputs of the differential amplifier 8 with a potentiometer 9 signal balancing. The output of the differential amplifier 8 is connected to the input of the unit 10 for measuring the amplitude of electrical oscillations.
Устройство работает следующим образом .The device works as follows.
На одной из частот вибрации, достаточно удаленной от ожидаемых значений резонансных частот объекта и детали , устанавливают одинаковую чувствительность по каждому из двух каналов, что осуществл етс с помощь потенциометра 9 балансировки. При зтом электрические сигналы, снимае , At one of the vibration frequencies, which are sufficiently distant from the expected values of the resonant frequencies of the object and the part, the same sensitivity is set for each of the two channels, which is carried out using the balancing potentiometer 9. When this electrical signals are removed,
923862923862
мые с рабочего и опорного вибропреобразователей , равны по величине и фазе ,Weeders from the working and reference vibration transducers are equal in size and phase,
После взаимного вычитани этих сигналов дифференциальным усилителем напр жение, зафиксированное блоком 10 измерени , будет близким к нулю. При возникновении на какой-либо из час10 тот резонансных колебаний исследуемой детали относительно объекта на выходе блока 10 измерени по вл етс электрическое напр жение, пропорциональное виброскорости исследуемой After these signals are subtracted by the differential amplifier, the voltage recorded by the measurement unit 10 will be close to zero. When a resonant oscillation of the investigated part occurs at any of the clock parts relative to the object, an electrical voltage appears at the output of the measurement unit 10 proportional to the vibration velocity of the investigated
15 детали относительно объекта. По максимальному значению этого напр жени на его частотной зависимости определ ют резонансную частоту детали.15 details regarding the object. The maximum value of this voltage at its frequency dependence determines the resonant frequency of the part.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU853954674A SU1392386A1 (en) | 1985-09-17 | 1985-09-17 | Device for measuring parameters of resonance oscillations |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU853954674A SU1392386A1 (en) | 1985-09-17 | 1985-09-17 | Device for measuring parameters of resonance oscillations |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1392386A1 true SU1392386A1 (en) | 1988-04-30 |
Family
ID=21197785
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU853954674A SU1392386A1 (en) | 1985-09-17 | 1985-09-17 | Device for measuring parameters of resonance oscillations |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1392386A1 (en) |
-
1985
- 1985-09-17 SU SU853954674A patent/SU1392386A1/en active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР 1227957, кл.С 01 Н 13/00, 1984. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH10253339A (en) | Method and apparatus for measurement by utilizing sound wave | |
| US5349863A (en) | Shock sensor and devices to which the latter is applied | |
| SU1392386A1 (en) | Device for measuring parameters of resonance oscillations | |
| SU1428939A1 (en) | Ultrasonic vibration meter | |
| SU746204A1 (en) | Ultrasonic vibration meter | |
| SU1227957A1 (en) | Arrangement for measuring vibration parameters | |
| SU1237916A1 (en) | Device or measuring resonance frequency of parts | |
| SU798185A1 (en) | Method and device for control of structure vibrotreatment | |
| SU1642227A1 (en) | Device and method for measuring vibrations of machine- and construction members | |
| SU1362363A1 (en) | Device for measuring contact potential difference | |
| JP3679888B2 (en) | Automation method in absolute calibration method of vibration pickup using interference fringe elimination method | |
| JP3679887B2 (en) | Automation method in absolute calibration method of vibration pickup using interference fringe counting method | |
| SU1536332A1 (en) | Apparatus for testing seismometers | |
| SU1191815A1 (en) | Pulse-interference method of measuring ultrasound velocity | |
| SU716135A1 (en) | Method of non-destructive quality control of piezoelements | |
| SU1276951A1 (en) | Method for determining the damping of elastic vibrations in material | |
| SU1244559A1 (en) | Electroacoustical hardness gauge | |
| SU1408238A1 (en) | Device for contactless measurement of vibration parameters | |
| SU1539704A1 (en) | Device for measuring frequency of natural oscillations of electrodynamic or magnetoelectric transducer | |
| SU1744475A1 (en) | Device for measurement of gas-air flow velocity | |
| SU1422019A1 (en) | Method of measuring low-frequency interferences of piezoelectric radiator | |
| SU1714461A1 (en) | Device for vibration diagnostics of a cutting tool | |
| SU1679233A1 (en) | Method for determining damping factor and device for effecting the same | |
| SU1485172A1 (en) | Method and apparatus for acoustic logging | |
| SU1161828A1 (en) | Device for determining unbalance of branches of quartz crystal vibrator tuning fork |