RU2682556C1 - Infrared and terahertz radiation high-precise detector array - Google Patents
Infrared and terahertz radiation high-precise detector array Download PDFInfo
- Publication number
- RU2682556C1 RU2682556C1 RU2018100989A RU2018100989A RU2682556C1 RU 2682556 C1 RU2682556 C1 RU 2682556C1 RU 2018100989 A RU2018100989 A RU 2018100989A RU 2018100989 A RU2018100989 A RU 2018100989A RU 2682556 C1 RU2682556 C1 RU 2682556C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- matrix
- array
- gas
- chamber
- infrared
- Prior art date
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims abstract description 19
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 18
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract 1
- 239000006089 photosensitive glass Substances 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 9
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 6
- 238000013461 design Methods 0.000 description 5
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 2
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 1
- 238000011089 mechanical engineering Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000004297 night vision Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000012945 sealing adhesive Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000012800 visualization Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/38—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using extension or expansion of solids or fluids
- G01J5/42—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using extension or expansion of solids or fluids using Golay cells
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области измерений пространственного распределения электромагнитного излучения дальнего инфракрасного диапазона (включая терагерцовое).The invention relates to the field of measuring the spatial distribution of electromagnetic radiation far infrared (including terahertz).
Изобретение может быть использовано как в системах военного назначения (системы ночного видения, обнаружение безоболочечных взрывных устройств), так и в системах гражданского применения (системы технической и медицинской диагностики).The invention can be used both in military systems (night vision systems, detection of shellless explosive devices), and in civilian applications (systems of technical and medical diagnostics).
Известно, что приемники излучения классификационно делятся на:It is known that radiation receivers are classified into classification:
- класс фотонных (квантовых) фотоприемников, в которых энергия фотона преобразуется в некоторую первичную реакцию фотоприемника;- a class of photon (quantum) photodetectors in which the photon energy is converted into some primary reaction of the photodetector;
- класс тепловых, в которых энергия фотонов преобразуется в тепло, а реакция фотоприемника возникает как следствие повышения температуры чувствительного элемента.- a class of thermal, in which the photon energy is converted into heat, and the reaction of the photodetector arises as a result of an increase in the temperature of the sensitive element.
Принципиальным недостатком фотонных фотоприемников является то обстоятельство, что энергия фотона обратно пропорциональна длине волны излучения (E=hc/λ где h - постоянная Планка; с - скорость света; λ - длина волны), что делает их применение невозможным при длинах волн более 20 мкм даже в случае криогенного охлаждения.The fundamental drawback of photonic photodetectors is the fact that the photon energy is inversely proportional to the radiation wavelength (E = hc / λ where h is the Planck constant; c is the speed of light; λ is the wavelength), which makes their use impossible at wavelengths greater than 20 μm even in the case of cryogenic cooling.
Тепловые фотоприемники имеют постоянную обнаружительную способность в диапазоне 1-2000 мкм, а в диапазоне 20-2000 мкм являются фактически единственным классом фотоприемных устройств, пригодных для практического применения (см. например Киес Р.Дж. и др. Фотоприемники видимого и ИК диапазонов М. Радио и связь. 1985. стр. 64, рис. 2.22).Thermal photodetectors have a constant detecting ability in the range of 1-2000 μm, and in the range of 20-2000 μm they are actually the only class of photodetector devices suitable for practical use (see, for example, Kies R.J. et al. Photodetectors of the visible and IR ranges of M. Radio and communications. 1985. p. 64, Fig. 2.22).
В классе тепловых приемников особого внимания заслуживает приемник Голея, превосходящий по предельной обнаружительной способности пироэлектрические, термопарные и термисторные болометры, работающие без криогенного охлаждения в 5-15 раз и относящийся к числу наиболее широкополосных. Приемник Голея представляет собой разновидность волюметрических газовых термометров, в которых измеряется изменение объема (volume) газа с изменением температуры и основан на газовом законе Ж. Шарля.In the class of heat receivers, the Golay receiver deserves special attention, surpassing pyroelectric, thermocouple, and thermistor bolometers in operating limits by 5-15 times without cryogenic cooling and being one of the most broadband ones. The Golay receiver is a type of volumetric gas thermometers that measure the change in gas volume with temperature and is based on the gas law of Charles.
Газовыми термометрами измеряют температуры от 2 до 1300 К с предельно достижимой точностью 0.002-0.03 К. Газовый термометр применяется в качестве первичного термометрического прибора. При помощи газового термометра определены температуры реперных точек Международной практической температурной шкалы.Gas thermometers measure temperatures from 2 to 1300 K with an extremely achievable accuracy of 0.002-0.03 K. A gas thermometer is used as a primary thermometric device. Using a gas thermometer, the temperature of the reference points of the International Practical Temperature Scale was determined.
Газовый термометр представляет собой заполненную газом камеру. Термочувствительным элементом ячейки является газовая среда, которая при нагревании, вызванном поглощением электромагнитной энергии, расширяется. Для компенсации погрешностей, вызванных вариациями внешнего давления, рабочая расширительная камера дополняется герметизированной компенсационной. В зависимости от конструкции разделительного элемента, воспринимающего разность давлений между расширительной и компенсационной камерами газовые термометры делятся на термометры с жидкостным поршнем и термометры с гибкой мембраной (ячейки Голея).A gas thermometer is a gas-filled chamber. The heat-sensitive element of the cell is a gaseous medium, which expands when heated due to absorption of electromagnetic energy. To compensate for errors caused by variations in external pressure, the working expansion chamber is supplemented by a sealed compensation chamber. Depending on the design of the separation element, which senses the pressure difference between the expansion and compensation chambers, gas thermometers are divided into thermometers with a liquid piston and thermometers with a flexible membrane (Golei cells).
В зависимости от конструкции поглощающего элемента газовые термометры могут быть селективными, в которых излучение поглощает заполняющий камеру газ, содержащий в молекуле два и более различных атома, например, окись углерода СО, двуокись углерода СО2, метан СН4. Как следствие, спектральная чувствительность такого устройства определяется спектром поглощения заполняющего камеру газа. В неселективных устройствах поглощение излучения осуществляется тонкими металлическими пленками, размещаемыми внутри камеры на органических пленках или стенках камеры, а сама камера заполняется одноатомным газом с низкой теплоемкостью и высокой теплопроводностью.Depending on the design of the absorbing element, gas thermometers can be selective, in which radiation absorbs a gas filling the chamber containing two or more different atoms in the molecule, for example, carbon monoxide CO, carbon dioxide CO 2 , methane CH 4 . As a result, the spectral sensitivity of such a device is determined by the absorption spectrum of the gas filling the chamber. In non-selective devices, radiation is absorbed by thin metal films placed inside the chamber on organic films or chamber walls, and the chamber itself is filled with a monatomic gas with low heat capacity and high thermal conductivity.
Известны патенты, в которых описаны конструкции матричных фотоприемников для визуализации пространственного распределения электромагнитного излучения в области дальнего ИК на основе ячеек Голея (см., например, патент США 7045784 B1 Method and apparatus for mikro-Golay cell infrared detectors, патент RU 2414688 C1 Матричный приемник терагерцового излучения, патент RU 2561338 С1 Устройство для визуализации инфракрасного излучения), основным недостатком которых является зависимость чувствительности от геометрических размеров элементарной ячейки Голея.Patents are known that describe the design of photodetector arrays for visualizing the spatial distribution of electromagnetic radiation in the far infrared region based on Golei cells (see, for example, US Pat. No. 7,045,784 B1 Method and apparatus for mikro-Golay cell infrared detectors, Patent RU 2414688 C1 Matrix receiver terahertz radiation, patent RU 2561338 C1 Device for visualizing infrared radiation), the main disadvantage of which is the dependence of sensitivity on the geometric dimensions of the unit cell of Golei.
Прототипом предлагаемому изобретению может служить патент RU 2561338 С1 «Устройство для визуализации инфракрасного излучения», которое представляет собой герметизированную сборку элементарных ячеек Голея (рабочих камер), выполненную на микроканальной пластине (МКП), заполненную газом, один торец которой закрыт входным окном для электромагнитного излучения, а противоположный торец закрыт гибкой мембраной с зеркальным покрытием с внешней стороны, дополненную второй герметизированной компенсационной камерой, образованной гибкой мембраной и тонким электролюминесцентным слоем, нанесенным на выходное окно. Система рабочих камер и компенсационная камера заполняются газом с низкой теплоемкостью и высокой теплопроводностью (ксенон) и герметизируются, образуя дифференциальную систему. Исследуемое излучение поглощается поглощающим слоем, размещенным внутри элементарной камеры. Повышение температуры поглощающего элемента за счет теплопередачи передается заполняющему ячейку газу. Газ нагревается и его давление увеличивается. Увеличение давления в рабочей камере приводит к деформации гибкой мембраны, покрытой тонким проводящим слоем. Таким образом пространственное распределение электромагнитной энергии преобразуется в геометрический рельеф металлизированной гибкой мембраны. Визуализация этого рельефа осуществляется с помощью сопряженной электролюминесцентной панели.The prototype of the invention can be patent RU 2561338 C1 “Device for visualizing infrared radiation”, which is a sealed assembly of Golei unit cells (working chambers) made on a microchannel plate (MCP) filled with gas, one end of which is closed by an input window for electromagnetic radiation and the opposite end is closed by a flexible membrane with a mirror coating on the outside, supplemented by a second sealed compensation chamber formed by a flexible membrane and a thin electroluminescent layer deposited on the exit window. The system of working chambers and the compensation chamber are filled with gas with low heat capacity and high thermal conductivity (xenon) and are sealed to form a differential system. The studied radiation is absorbed by an absorbing layer placed inside the elementary chamber. The increase in temperature of the absorbing element due to heat transfer is transferred to the gas filling the cell. The gas heats up and its pressure increases. The increase in pressure in the working chamber leads to deformation of the flexible membrane coated with a thin conductive layer. Thus, the spatial distribution of electromagnetic energy is converted into a geometric relief of a metallized flexible membrane. Visualization of this relief is carried out using a conjugated electroluminescent panel.
Недостатками этого изобретения, а также других(с ячейками Голея) являются:The disadvantages of this invention, as well as others (with Golei cells) are:
- резкое снижение чувствительности устройства при создании многоэлементных матриц с ограниченными габаритными размерами (уменьшении диаметра элементарной ячейки Голея).- a sharp decrease in the sensitivity of the device when creating multi-element matrices with limited overall dimensions (reducing the diameter of the unit cell of the Golay).
Величина прогиба δ центра плоской мембраны, закрепленной по контуру, при малых перемещениях под действием давления Р вычисляется по формулеThe deflection δ of the center of a flat membrane fixed along the contour at small displacements under the influence of pressure P is calculated by the formula
I
где R - рабочий радиус мембраны (по контуру закрепления); h - толщина мембраны, Е,μ - модуль упругости кГ/см2 и коэффициент Пуассона материала мембраны. (Андреева Л.Е. Упругие элементы приборов. - М.; Машиностроение, 1981).where R is the working radius of the membrane (along the contour of fastening); h is the membrane thickness, E, μ is the elastic modulus kG / cm 2 and the Poisson's ratio of the membrane material. (Andreeva L.E. Elastic elements of devices. - M .; Mechanical engineering, 1981).
Из представленного выражения следует принципиальная невозможность создания малогабаритных матричных фотоприемников большой размерности с высокой чувствительностью поскольку величина прогиба, а следовательно и чувствительность, пропорциональны четвертой степени радиуса элементарной ячейки, то его линейное уменьшение приводит к резкому уменьшению чувствительности.It follows from the presented expression that it is fundamentally impossible to create small-sized matrix photodetectors of large dimension with high sensitivity, since the deflection, and therefore sensitivity, is proportional to the fourth power of the unit cell radius, its linear decrease leads to a sharp decrease in sensitivity.
Задача изобретения.The objective of the invention.
Задачей изобретения является создание нового типа высокочувствительного матричного устройства для визуализации пространственного распределения ИК и терагерцового излучения в реальном масштабе времени.The objective of the invention is to create a new type of highly sensitive matrix device for visualizing the spatial distribution of IR and terahertz radiation in real time.
Технический эффект: реализация возможности анализа пространственного распределения дальнего ИК и терагерцового излучения низкой интенсивности в реальном масштабе времени при значительном снижении весогабаритных характеристик устройства.Technical effect: realizing the possibility of analyzing the spatial distribution of far-infrared and terahertz radiation of low intensity in real time with a significant reduction in the weight and size characteristics of the device.
Раскрытие изобретения.Disclosure of the invention.
Поставленная задача решена использованием гибридной фотоприемной матрицы, содержащей матрицу приемников ИК излучения на основе трубчатых элементов, представляющую собой плотноупакованную систему рабочих камер, один торец матричной структуры является входным окном для электромагнитного излучения, а с противоположной стороны выход каждой рабочей камеры закрыт подвижным жидкостным поршнем, несущим электрический заряд. Внутри рабочей камеры располагается термически развязанный от ее стенок поглощающий элемент в виде тонкой пленки металла с малой теплоемкостью (висмут, свинец), нанесенной на полиэфиновую пленку со сквозной пористостью. Система рабочих камер дополнена второй герметизированной компенсационной камерой, образованной наружными поверхностями жидких поршней и подложкой матрицы интегральных усилителей, обеспечивающей считывание, предварительное усиление и мультиплексирование сигналов фотоприемной матрицы. Рабочие и компенсационная камеры заполняются газом с низкой теплоемкостью и высокой теплопроводностью (ксенон) и герметизируются, образуя дифференциальную систему. Поглощение анализируемого излучения металлической пленкой приводит к ее нагреву. За счет теплопередачи газ, заполняющий камеру нагревается и его давление увеличивается. Увеличение давления в рабочей камере приводит к смещению подвижного жидкостного поршня. Порог чувствительности термометрической ячейки с жидкостным поршнем определяется действием капиллярной силы, зависящей от поверхностного натяжения жидкости поршня и радиуса рабочей камеры, и силой вязкого трения. Действие капиллярной силы и силы вязкого трения на жидкостный поршень приводит к тому, что при поглощении инфракрасного излучения перемещение жидкостного поршня начинается только тогда когда сила обусловленная градиентом давления между рабочей и компенсационной камерами превысит пороговое значение. Компенсация действия капиллярной силы и силы вязкого трения осуществляется вибрационным воздействием на блок фотоприемных рабочих камер с помощью кольцевого ультразвукового возбудителя, размещенного в компенсационной камере.The problem is solved using a hybrid photodetector matrix containing a matrix of infrared radiation receivers based on tubular elements, which is a close-packed system of working chambers, one end of the matrix structure is an input window for electromagnetic radiation, and on the opposite side, the output of each working chamber is closed by a movable liquid piston carrying electric charge. Inside the working chamber there is an absorbing element thermally decoupled from its walls in the form of a thin metal film with low heat capacity (bismuth, lead) deposited on a polyethylene film with through porosity. The system of working chambers is supplemented with a second sealed compensation chamber formed by the outer surfaces of the liquid pistons and the substrate of the matrix of integrated amplifiers, which provides reading, preliminary amplification, and multiplexing of the signals of the photodetector matrix. The working and compensation chambers are filled with gas with low heat capacity and high thermal conductivity (xenon) and sealed, forming a differential system. The absorption of the analyzed radiation by a metal film leads to its heating. Due to heat transfer, the gas filling the chamber is heated and its pressure increases. The increase in pressure in the working chamber leads to the displacement of the movable fluid piston. The sensitivity threshold of a thermometric cell with a liquid piston is determined by the action of capillary force, which depends on the surface tension of the piston fluid and the radius of the working chamber, and the force of viscous friction. The action of capillary and viscous friction forces on the liquid piston leads to the fact that when absorbing infrared radiation, the movement of the liquid piston begins only when the force due to the pressure gradient between the working and compensation chambers exceeds the threshold value. Compensation of the action of capillary and viscous friction is carried out by vibrational action on the block of photodetector working chambers using an annular ultrasonic exciter located in the compensation chamber.
В работах: Жежера Н.И., Ильин О.Н. Применение вибрации при испытаниях изделий на герметичность жидкостью. Интернет-журнал «НАУКОВЕДЕНИЕ» Выпуск 1, январь - февраль 2014 http://naukovedenie.ru 32TVN114; Жежера Н.И. Анализ влияния сил поверхностного натяжения и сил вязкого трения различных жидкостей на перемещение жидкостного поршня в горизонтальной трубке устройств контроля герметичности изделий. Альманах современной науки и образования Тамбов: Грамота, 2012. №9 (64). С.58-63. ISSN 1993-5552 показано, что возбуждение продольных колебаний позволяет осуществлять компенсацию капиллярной силы и силы вязкого трения и значительно снизить порог чувствительности устройства.In the works: Zhezher N.I., Ilyin O.N. The use of vibration when testing products for liquid tightness. SCIENCE SCIENCE
Конструкция устройства и его работа. Конструкция устройства поясняется фиг. 1. Матрица рабочих камер состоит из трех блоков (нижний 4, средний 6, верхний 8), выполненных из фотоситала и установленных в корпусной шайбе 16. Через герметизирующий клеевой слой 3 шайба закрыта входным окном 2, а с другой стороны через герметизирующий слой 11 закрыта подложкой 10 матрицы электронных усилителей.The design of the device and its operation. The design of the device is illustrated in FIG. 1. The matrix of the working chambers consists of three blocks (
Анализируемое ИК излучение 18 проходит через входное окно 2, выполненное из прозрачного в исследуемом диапазоне длин волн материала, отсекающего коротковолновую часть спектра, имеющее просветляющее покрытие 1 на наружной плоскости, проникает в систему рабочих камер 17, выполненных из трех блоков фотоситалла по технологии микроканальных пластин электронно-оптических преобразователей, и поглощается в тонкой металлической пленке 5, нагревая ее. Нагретый поглощающий элемент 5 нагревает газ, заполняющий камеру. Газ нагревается и его давление увеличивается. Увеличение давления в рабочей камере приводит к смещению в сторону компенсационной камеры 12 подвижного жидкостного поршня 15, выполненного из диэлектрической жидкости и несущего электрический заряд. Изменение положения заряженного жидкостного поршня приводит к изменению электрического потенциала затвора входного каскада сопряженного интегрального усилителя и появлению на выходе усилителя электрического сигнала пропорционального смещению жидкостного поршня. Заряд поршней осуществляется от проводящего слоя 7, имеющего вывод 14. Таким образом, пространственное распределение электромагнитной энергии преобразуется в совокупность электрических сигналов на выходе сопряженной интегральной матрицы электронных усилителей 9. Компенсация изменения реологических свойств жидкости поршня при изменениях температуры окружающей среды осуществляется подачей компенсирующего напряжения на ввод 14. Компенсация капиллярной силы и силы вязкого трения жидкостного поршня, определяющих порог чувствительности устройства, осуществляется с помощью продольных ультразвуковых колебаний системы рабочих камер с помощью кольцевого ультразвукового возбудителя 13.Analyzed
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018100989A RU2682556C1 (en) | 2018-01-10 | 2018-01-10 | Infrared and terahertz radiation high-precise detector array |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018100989A RU2682556C1 (en) | 2018-01-10 | 2018-01-10 | Infrared and terahertz radiation high-precise detector array |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2682556C1 true RU2682556C1 (en) | 2019-03-19 |
Family
ID=65806068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2018100989A RU2682556C1 (en) | 2018-01-10 | 2018-01-10 | Infrared and terahertz radiation high-precise detector array |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2682556C1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110862602A (en) * | 2019-11-29 | 2020-03-06 | 云南平海新材料科技有限公司 | Biodegradable far infrared terahertz agricultural mulching film |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7045784B1 (en) * | 2003-12-18 | 2006-05-16 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Method and apparatus for micro-Golay cell infrared detectors |
| RU2013127148A (en) * | 2013-06-14 | 2014-12-20 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Софком" | MATRIX RECEIVER OF HEAT RADIATION |
| RU2561338C1 (en) * | 2014-06-16 | 2015-08-27 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук (ИАиЭ СО РАН) | Infrared radiation visualisation device |
| WO2017062626A1 (en) * | 2015-10-09 | 2017-04-13 | Honeywell International Inc. | Electromagnetic radiation detector using a planar golay cell |
-
2018
- 2018-01-10 RU RU2018100989A patent/RU2682556C1/en active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7045784B1 (en) * | 2003-12-18 | 2006-05-16 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Method and apparatus for micro-Golay cell infrared detectors |
| RU2013127148A (en) * | 2013-06-14 | 2014-12-20 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Софком" | MATRIX RECEIVER OF HEAT RADIATION |
| RU2561338C1 (en) * | 2014-06-16 | 2015-08-27 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук (ИАиЭ СО РАН) | Infrared radiation visualisation device |
| WO2017062626A1 (en) * | 2015-10-09 | 2017-04-13 | Honeywell International Inc. | Electromagnetic radiation detector using a planar golay cell |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110862602A (en) * | 2019-11-29 | 2020-03-06 | 云南平海新材料科技有限公司 | Biodegradable far infrared terahertz agricultural mulching film |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Mansoor et al. | Silicon diode temperature sensors—A review of applications | |
| US5141331A (en) | Ultrasonic temperature measurement and uses in optical spectroscopy and calorimetry | |
| US8242446B2 (en) | Thermal detector | |
| Zhao et al. | Novel optical fiber sensor for simultaneous measurement of temperature and salinity | |
| Barritault et al. | Low power CO2 NDIR sensing using a micro-bolometer detector and a micro-hotplate IR-source | |
| Kakuta et al. | Simultaneous imaging of temperature and concentration of ethanol–water mixtures in microchannel using near-infrared dual-wavelength absorption technique | |
| Hetsroni et al. | Infrared temperature measurements in micro-channels and micro-fluid systems | |
| Yamashita et al. | Miniaturized infrared sensor using silicon diaphragm based on Golay cell | |
| RU2660413C2 (en) | Device for reducing the pressure and temperature sensitivity error in highly-precise displacement optical measuring transmitters | |
| Wendong et al. | Two-channel IR gas sensor with two detectors based on LiTaO3 single-crystal wafer | |
| Wen et al. | Photomechanical meta-molecule array for real-time terahertz imaging | |
| Bilgin et al. | A MEMS-based terahertz detector with metamaterial-based absorber and optical interferometric readout | |
| RU2682556C1 (en) | Infrared and terahertz radiation high-precise detector array | |
| US10352910B2 (en) | Gas analyzer | |
| Wang et al. | Characterization of a submillimeter high-angular-resolution camera with a monolithic silicon bolometer array for the Caltech Submillimeter Observatory | |
| RU2561338C1 (en) | Infrared radiation visualisation device | |
| Graf et al. | Seebeck's effect in micromachined thermopiles for infrared detection. A review. | |
| Jarvis et al. | Determination of the surface temperature of water during evaporation studies. A comparison of thermistor with infrared radiometer measurements | |
| US7485870B2 (en) | Pneumatic infrared detector | |
| WO2015055997A1 (en) | Pressure sensor | |
| RU2746095C1 (en) | Infrared and thz radiation optical acoustic receiver | |
| Ramaiah et al. | Wavelength dependence of photothermal deflection in Au/Si bimaterial microcantilevers | |
| Sesek et al. | A microbolometer system for radiation detection in the THz frequency range with a resonating cavity fabricated in the CMOS technology | |
| Gibin et al. | Optical-acoustic detectors of IR and THz radiation with nano-electro-mechanical elements based on single-layer graphene | |
| FR3012880A1 (en) | CALORIMETER AT STABILIZED TEMPERATURE. |