RU2411620C1 - Laser modulation device - Google Patents
Laser modulation device Download PDFInfo
- Publication number
- RU2411620C1 RU2411620C1 RU2009130867/28A RU2009130867A RU2411620C1 RU 2411620 C1 RU2411620 C1 RU 2411620C1 RU 2009130867/28 A RU2009130867/28 A RU 2009130867/28A RU 2009130867 A RU2009130867 A RU 2009130867A RU 2411620 C1 RU2411620 C1 RU 2411620C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- platform
- diffraction grating
- axis
- relief
- grating
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к оптоэлектронике и приборостроению. Предлагаемое устройство предназначено для модуляции лазерного излучения во времени и в пространстве и может применяться в широком диапазоне длин волн лазерного излучения видимого и инфракрасного диапазона.The invention relates to optoelectronics and instrumentation. The proposed device is designed to modulate laser radiation in time and space and can be used in a wide range of wavelengths of laser radiation in the visible and infrared range.
Известны акустооптические модуляторы лазерного излучения, принцип работы которых основан на эффекте дифракции Брэгга на акустических волнах, распространяющихся в материале звукопровода [1]. Такие модуляторы могут осуществлять модуляцию мощности лазерного пучка, а также и его пространственную модуляцию, т.е. отклонение дифрагированного лазерного пучка от его начального направления при изменении частоты акустической волны. Акустооптические модуляторы - технически сложные и дорогие устройства.Acousto-optical modulators of laser radiation are known, the principle of operation of which is based on the Bragg diffraction effect on acoustic waves propagating in the material of a sound duct [1]. Such modulators can modulate the power of the laser beam, as well as its spatial modulation, i.e. the deviation of the diffracted laser beam from its initial direction with a change in the frequency of the acoustic wave. Acousto-optic modulators are technically sophisticated and expensive devices.
Известны механические модуляторы, которые производят модуляцию направления лазерного пучка [2]. В одном из устройств модуляция направления пучка оптического осуществляется за счет вращения оптического клина, через который проходит пучок оптического излучения. Известны также механические модуляторы, которые производят модуляцию мощности лазерного излучения во времени в результате периодического механического прерывания лазерного пучка. Наиболее близким из известных является модулятор, содержащий модулирующий блок в виде непрозрачного диска с прорезями, через которые проходит пучок лазерного света [3]. При вращении диска происходит прерывание лазерного пучка. Недостатки прототипа состоят в следующем. При очередном прерывании лазерного пучка происходит его частичное перекрытие, нарушается форма пучка и вследствие этого происходит искажение пространственного спектра модулированного лазерного пучка. Модулятор-прототип не дает возможности изменять глубину модуляции мощности оптического пучка пропорционально приложенному управляющему воздействию. Кроме того, модулятор типа диска с прорезями не производит углового отклонения оптического пучка.Known mechanical modulators that modulate the direction of the laser beam [2]. In one of the devices, the direction of the optical beam is modulated due to the rotation of the optical wedge through which the optical beam passes. Mechanical modulators are also known that modulate the power of laser radiation over time as a result of periodic mechanical interruption of the laser beam. The closest known one is a modulator containing a modulating unit in the form of an opaque disk with slots through which a beam of laser light passes [3]. When the disk rotates, the laser beam is interrupted. The disadvantages of the prototype are as follows. At the next interruption of the laser beam, its partial overlap occurs, the shape of the beam is violated and, as a result, the spatial spectrum of the modulated laser beam is distorted. The prototype modulator does not allow changing the depth of the optical beam power modulation in proportion to the applied control action. In addition, a slot type disk modulator does not produce an angular deflection of the optical beam.
Технический результат, на достижение которого направлено изобретение, состоит в расширении функциональных возможностей модулятора лазерного излучения.The technical result to which the invention is directed is to expand the functionality of a laser modulator.
Сущность изобретения заключается в том, что в модуляторе лазерного излучения, содержащем лазер и модулирующий блок, модулирующий блок выполнен в виде платформы на оси поворота с закрепленной на платформе подложкой, на поверхности которой сформирована рельефная дифракционная решетка с прямоугольным профилем, глубина рельефа которой превышает четверть длины волны модулируемого лазерного излучения, поверх дифракционной решетки нанесено зеркальное отражающее покрытие, платформа опирается на электромеханический вибратор, установленный на расстоянии от оси поворота платформы, где Δx - амплитуда смещения электромеханического вибратора, а ΔΘ - амплитуда угловых колебаний платформы с решеткой, между электромеханическим вибратором и осью поворота установлена возвратная пружина, на выходе отраженного пучка лазерного излучения установлен пространственный фильтр в нулевом порядке дифракции.The essence of the invention lies in the fact that in a laser radiation modulator containing a laser and a modulating unit, the modulating unit is made in the form of a platform on a pivot axis with a substrate fixed to the platform, on the surface of which a relief diffraction grating with a rectangular profile is formed, the relief depth of which exceeds a quarter of the length waves of modulated laser radiation, a mirror reflective coating is applied over the diffraction grating, the platform is supported by an electromechanical vibrator, installed at a distance from the axis of rotation of the platform, where Δx is the displacement amplitude of the electromechanical vibrator, and ΔΘ is the amplitude of the angular oscillations of the platform with the lattice, a return spring is installed between the electromechanical vibrator and the axis of rotation, a spatial filter is installed at the output of the reflected laser beam in the zero diffraction order.
В предлагаемом устройстве процесс модуляции мощности оптического пучка не сопровождается искажением его формы. Модуляция мощности лазерного пучка происходит при его дифракции на отражающей фазовой дифракционной решетке с прямоугольным профилем вследствие изменения угла наклона отражающей плоскости этой решетки. При этом изменяется мощность дифрагированного пучка нулевого порядка и одновременно изменяется его направление. Глубина модуляции мощности пучка нулевого порядка зависит от амплитуды изменения угла наклона отражающей плоскости и может изменяться от нуля до 100%. Наряду с модуляцией во времени мощности дифрагированного оптического пучка имеет место зависимость мощности оптического пучка нулевого порядка дифракции от направления. В результате этого предлагаемое устройство дополнительно производит пространственную модуляцию лазерного пучка. При этом с помощью начальной настройки угла падения лазерного пучка на модулирующий блок возможен выбор типа кривой зависимости мощности пучка от направления. Возможны следующие варианты: возрастающая кривая или монотонно убывающая кривая, либо кривая, имеющая максимум или минимум мощности в секторе изменения углов отклонения светового пучка.In the proposed device, the modulation process of the power of the optical beam is not accompanied by a distortion of its shape. The modulation of the power of the laser beam occurs when it is diffracted on a reflective phase diffraction grating with a rectangular profile due to a change in the angle of inclination of the reflecting plane of this grating. In this case, the power of the diffracted zero-order beam changes and its direction changes simultaneously. The depth of modulation of the zero-order beam power depends on the amplitude of the angle of inclination of the reflecting plane and can vary from zero to 100%. Along with the time modulation of the power of the diffracted optical beam, there is a dependence of the power of the optical beam of the zero diffraction order on the direction. As a result of this, the proposed device additionally produces spatial modulation of the laser beam. In this case, using the initial adjustment of the angle of incidence of the laser beam on the modulating unit, it is possible to select the type of curve of the dependence of the beam power on the direction. The following options are possible: an increasing curve or a monotonically decreasing curve, or a curve having a maximum or minimum power in the sector of variation of the angles of deviation of the light beam.
Схема предлагаемого устройства изображена на фиг.1. На фиг.2 приведена зависимость мощности нулевого порядка дифракции от угла падения лазерного пучка, а на фиг.3 показаны измеренная экспериментально и рассчитанная теоретически зависимости мощности нулевого порядка от угла падения лазерного пучка для рельефной решетки с глубиной h=13850 Ǻ. Устройство содержит лазер 1, модулирующий блок, содержащий платформу 2, закрепленную на оси поворота 3 с закрепленной на платформе подложкой 4, на поверхности которой сформирована периодическая рельефная дифракционная решетка 5 с прямоугольным профилем, с периодом ΛP во много раз меньшим диаметра лазерного пучка и с глубиной, превышающей четверть длины волны модулируемого лазерного излучения, с зеркально отражающим покрытием 6, нанесенным поверх дифракционной решетки, электромеханический вибратор 7, на который опирается платформа 2, установленный на расстоянии L от оси вращения, амплитуда механических колебаний которого может регулироваться внешним генератором, возвратную пружину 8, прикрепленную к платформе 2 между электромеханическим вибратором 7 и осью поворота 3, пространственный фильтр в виде щелевой диафрагмы 9, выделяющий нулевой дифракционный порядок, при этом лазер закреплен на регулируемом столике 10, с помощью которого производят установку необходимого угла падения Θ лазерного пучка на дифракционную решетку. Пространственный фильтр 9 также закреплен на регулируемом столике 11, с помощью которого производят установку необходимого положения для выделения нулевого дифракционного порядка. Плоскость падения-отражения лазерного пучка ориентирована таким образом, чтобы направления линий штрихов дифракционной решетки были параллельны плоскости падения-отражения. Пространственный фильтр 9 может быть выполнен в виде линзы с диафрагмой малого размера, которая выделяет нулевой порядок дифракции в фокальной плоскости линзы.A diagram of the proposed device is shown in figure 1. Figure 2 shows the dependence of the power of the zero diffraction order on the angle of incidence of the laser beam, and figure 3 shows the experimentally measured and theoretically calculated dependences of the power of zero order on the angle of incidence of the laser beam for a relief grating with a depth of h = 13850 Ǻ. The device comprises a
Устройство работает следующим образом. Пучок излучения лазера 1 направляется на дифракционную решетку 5 под определенным углом падения Θ. При отражении пучка излучения от дифракционной решетки 5 происходит дифракция с образованием многих дифракционных порядков. Поскольку диаметр лазерного пучка во много раз (типично в 5-10 раз) больше периода дифракционной решетки, в отраженном пучке существует дифракционная картина, в которой дифракционные порядки хорошо разделены в пространстве. С помощью щелевого пространственного фильтра 9 выделяют излучение нулевого порядка дифракции и направляют это излучение на выход устройства. Для пояснения принципа работы устройства воспользуемся расчетной зависимостью мощности отраженного пучка излучения в нулевом дифракционном порядке от угла падения лазерного пучка Θ, которая изображена на фиг.2 и соответствует решетке с глубиной рельефа, равной двум длинам волны лазерного излучения. Мощность падающего излучения равна 1 мВт, а коэффициент отражения пленки - 0,9.The device operates as follows. The radiation beam of the
Начальный угол падения излучения лазера на дифракционную решетку 5 устанавливают с помощью поворотного столика 10. Для обеспечения монотонно возрастающего или монотонно убывающего закона модуляции выберем начальный угол падения, соответствующий одной из точек Ti, которые расположены на серединах линейных участков зависимости мощности нулевого порядка от угла падения лазерного пучка Θ, которая изображена на фиг.2. Например, выберем угол падения Θ4, соответствующий точке Т4. После установки начального угла падения включают электромеханический вибратор 7, связанный с платформой 2. Под действием вибратора 7 и возвратной пружины 8 платформа 2 с закрепленной на ней дифракционной решеткой 5 совершает угловые колебания с амплитудой ΔΘ вокруг оси 3. При этом угол падения лазерного пучка на решетку 5 изменяется на величину ΔΘ, равную величине углового отклонения платформы 2, а отклонение выходного дифрагированного пучка от начального положения составляет 2ΔΘ. В результате углового отклонения решетки 5 на ΔΘ мощность лазерного излучения в нулевом порядке дифракции изменяется в соответствии с графиком зависимости, изображенном на фиг.2. В частности, при размахе колебаний, равном ΔΘmax-min, который соответствует диапазону углов от ΔΘmin до Θmax, при которых достигаются соответственно минимальное и максимальное значения мощности лазерного излучения в нулевом порядке, на выходе достигается наибольшая глубина модуляции, равная 100%. При этом модуляция мощности пучка сопровождается изменением направления выходного пучка (т.е. пространственной модуляцией) в пределах диапазона углов 2Θ Vmin-max. При величине размаха колебаний, значительно меньшей чем ΔΘmax-min, зависимость мощности лазерного излучения в нулевом порядке от угла отклонения платформы близка к линейной.The initial angle of incidence of the laser radiation on the diffraction grating 5 is set using the rotary stage 10. To ensure a monotonically increasing or monotonically decreasing modulation law, we choose the initial angle of incidence corresponding to one of the points T i that are located in the middle of the linear sections of the dependence of the zero order power on the angle of incidence laser beam Θ, which is shown in figure 2. For example, we choose the angle of incidence Θ 4 corresponding to the point T 4 . After setting the initial angle of incidence, an electromechanical vibrator 7 connected to the platform 2 is turned on. Under the action of the vibrator 7 and the return spring 8, the platform 2 with the diffraction grating 5 fixed to it performs angular oscillations with an amplitude ΔΘ around axis 3. The angle of incidence of the laser beam on the
В другом варианте, если начальный угол падения лазерного пучка установлен равным величине Θmax, то при колебаниях платформы 4 с закрепленной на ней дифракционной решеткой 5 в диапазоне углов, равном ±ΔΘmax-min, имеет место пространственно-временная модуляция, при которой зависимость мощности от угла отклонения светового пучка имеет максимум в центре зоны углового отклонения отраженного пучка.In another embodiment, if the initial angle of incidence of the laser beam is set equal to Θ max , then when the
В третьем варианте, если начальный угол падения лазерного пучка установлен равным величине Θmin, то при колебаниях платформы 4 с закрепленной на ней дифракционной решеткой 5 в диапазоне углов, равном ±ΔΘmax-min, имеет место пространственно-временная модуляция, при которой зависимость мощности от угла отклонения светового пучка имеет минимум в центре зоны углового отклонения отраженного пучка.In the third embodiment, if the initial angle of incidence of the laser beam is set equal to Θ min , then when the
Если пространственная модуляция нежелательна, то ее можно исключить, применив пространственный фильтр с линзой либо поставив линзу после диафрагмы и установив плоскость наблюдения, которая проходила бы через точку оптической оси отраженного пучка, в которой формируется изображение точки отражающей плоскости.If spatial modulation is undesirable, it can be eliminated by applying a spatial filter with a lens or by placing a lens after the diaphragm and setting the observation plane, which would pass through the point of the optical axis of the reflected beam, in which the image of the point of the reflecting plane is formed.
Для более детального пояснения принципа работы устройства приведем ряд соотношений. Мощность излучения в нулевом дифракционном порядке зависит от величины амплитуды фазовой модуляции ФМ волнового фронта световой волны, отраженной от рельефной поверхности решетки с глубиной h. Эта зависимость определяется выражением (3).For a more detailed explanation of the principle of operation of the device, we present a number of relations. The radiation power in the zero diffraction order depends on the amplitude of the phase modulation Φ M of the wave front of the light wave reflected from the relief surface of the grating with depth h. This dependence is determined by expression (3).
Здесь Pu - мощность падающего излучения лазера, R - коэффициент отражения, ФМ - амплитуда пространственной фазовой модуляции светового пучка, равная половине фазового набега между лучом, отраженным от выступа, и лучом, отраженным от впадины рельефа дифракционной решетки.Here, P u is the power of the incident laser radiation, R is the reflection coefficient, Φ M is the amplitude of the spatial phase modulation of the light beam equal to half the phase incursion between the beam reflected from the protrusion and the beam reflected from the cavity of the relief of the diffraction grating.
Величина ФМ зависит от угла падения лазерного пучка Θ, от глубины рельефа h и от длины световой волны λ следующим образом:The value of F M depends on the angle of incidence of the laser beam Θ, on the relief depth h and on the light wavelength λ as follows:
В результате, как следует из формул (2) и (3), зависимость мощности дифрагированного пучка нулевого порядка от угла падения выражается формулой:As a result, as follows from formulas (2) and (3), the dependence of the power of the diffracted zero-order beam on the angle of incidence is expressed by the formula:
Эта зависимость мощности от угла падения лазерного пучка имеет осциллирующий характер. Величина мощности излучения в отраженном пучке излучения в нулевом дифракционном порядке изменяется от минимальной (нулевой) величины до максимальной величины, равной Pmax=Pu·R, при изменении угла наклона дифракционной решетки. Зависимость мощности излучения в нулевом дифракционном порядке от угла падения Θ, рассчитанная по формуле (3), показана на фиг.2. При расчетах принимали, что глубина решетки h=2λ, Pmax=Pu·R=0,9 мВт.This dependence of the power on the angle of incidence of the laser beam is oscillatory in nature. The value of the radiation power in the reflected radiation beam in the zero diffraction order changes from a minimum (zero) value to a maximum value equal to P max = P u · R, when the angle of inclination of the diffraction grating changes. The dependence of the radiation power in the zero diffraction order on the angle of incidence Θ, calculated by the formula (3), is shown in figure 2. In the calculations, it was assumed that the lattice depth h = 2λ, P max = P u · R = 0.9 mW.
Рассмотрим пример технической реализации. Рельефная решетка 5 с прямоугольным профилем была изготовлена на подложке из стекла с применением технологии фотолитографии и химического травления подложки через маску из фоторезиста. Период решетки составлял 100 мкм. Глубина рельефа составляла h=13850 Ǻ, что при длине используемого полупроводникового лазера с длиной волны λ=0,65 мкм равнялось h=2,13λ. Измерение глубины проводилось с помощью профилометра DECTAC 150. Затем на поверхность рельефа была напылена пленка алюминия, коэффициент отражения пленки составлял 80%.Consider an example of technical implementation. A relief grating 5 with a rectangular profile was made on a glass substrate using photolithography technology and chemical etching of the substrate through a photoresist mask. The lattice period was 100 μm. The relief depth was h = 13850 Ǻ, which at the length of the used semiconductor laser with a wavelength of λ = 0.65 μm was equal to h = 2.13λ. Depth measurement was carried out using a DECTAC 150 profilometer. Then, an aluminum film was sprayed onto the surface of the relief, the reflection coefficient of the film was 80%.
Измеренная зависимость мощности отраженного пучка в нулевом порядке дифракции от угла падения лазерного пучка приведена на фиг.3. На этой же фигуре сплошной линией начерчена расчетная нормированная зависимость для данной глубины рельефа, рассчитанная по формуле (3). Совмещение вертикальных масштабов расчетных и экспериментальных кривых проводилось путем нормировки значений экспериментальных данных на величину измеренного выходного сигнала в первом максимуме зависимости выходного сигнала от угла падения.The measured dependence of the power of the reflected beam in the zeroth diffraction order on the angle of incidence of the laser beam is shown in Fig.3. In the same figure, the calculated normalized dependence for a given relief depth calculated by formula (3) is drawn by a solid line. The vertical scales of the calculated and experimental curves were combined by normalizing the values of the experimental data by the value of the measured output signal at the first maximum of the dependence of the output signal on the angle of incidence.
Когда изготовленную решетку 5 устанавливали на платформу 2, выставляли начальный угол падения, соответствующий точке Т4, и приводили платформу в колебательное движение, наблюдалась модуляция мощности оптического излучения. Наибольшая глубина модуляции, от 0 до Pmax=Pu·R, наблюдалась при изменении угла в пределах ΔΘmax-min. Для данного экземпляра модулятора и для точки Т4 размах колебаний составил ΔΘmax-min=8,7°. На практике установку начальной точки Т4 удобно производить по величине выходной мощности, которая должна быть равна половине максимальной мощности излучения в нулевом порядке, измеренная при отклонении платформы 2 с подложкой 4 в пределах, превышающих ΔΘmax-min.When the fabricated
Источники информацииInformation sources
1. Справочник по лазерам под редакцией Прохорова A.M. // 1978. Т.2, с.191-194.1. The Laser Guide edited by Prokhorov A.M. // 1978.Vol. 2, p. 191-194.
2. Г.П.Катыс. Оптико-электронная обработка информации. // Москва. Изд-во Машиностроение. 1973, с.296.2. G.P. Katys. Optoelectronic information processing. // Moscow. Publishing House Engineering. 1973, p. 266.
3. Г.П.Катыс. Оптико-электронная обработка информации. // Москва. Изд-во Машиностроение. 1973, с.287-291.3. G.P. Katys. Optoelectronic information processing. // Moscow. Publishing House Engineering. 1973, p. 287-291.
4. В.А.Комоцкий. Применение методов пространственно-частотного анализа для решения некоторых задач когерентной оптики. // Москва. Изд-во РУДН. 1994, с.13-36.4. V.A.Komotsky. The use of spatial frequency analysis methods to solve some problems of coherent optics. // Moscow. PFUR Publishing House. 1994, p. 13-36.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2009130867/28A RU2411620C1 (en) | 2009-08-13 | 2009-08-13 | Laser modulation device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2009130867/28A RU2411620C1 (en) | 2009-08-13 | 2009-08-13 | Laser modulation device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2411620C1 true RU2411620C1 (en) | 2011-02-10 |
Family
ID=46309397
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2009130867/28A RU2411620C1 (en) | 2009-08-13 | 2009-08-13 | Laser modulation device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2411620C1 (en) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2477914C2 (en) * | 2011-03-24 | 2013-03-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Российский университет дружбы народов" (РУДН) | Laser radiation modulator |
RU2517823C2 (en) * | 2012-07-27 | 2014-05-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет" | Apparatus for modulating monochromatic optical radiation |
RU2547825C1 (en) * | 2013-11-26 | 2015-04-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "ДАГЕСТАНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ" | Method for phase modulation of optical wave |
RU2616935C1 (en) * | 2015-12-04 | 2017-04-18 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Российский университет дружбы народов" (РУДН) | Laser modulation device |
RU181381U1 (en) * | 2018-03-05 | 2018-07-11 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Российский университет дружбы народов" (РУДН) | Device for filtering the spectra of optical signals |
-
2009
- 2009-08-13 RU RU2009130867/28A patent/RU2411620C1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2477914C2 (en) * | 2011-03-24 | 2013-03-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Российский университет дружбы народов" (РУДН) | Laser radiation modulator |
RU2517823C2 (en) * | 2012-07-27 | 2014-05-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет" | Apparatus for modulating monochromatic optical radiation |
RU2547825C1 (en) * | 2013-11-26 | 2015-04-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "ДАГЕСТАНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ" | Method for phase modulation of optical wave |
RU2616935C1 (en) * | 2015-12-04 | 2017-04-18 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Российский университет дружбы народов" (РУДН) | Laser modulation device |
RU181381U1 (en) * | 2018-03-05 | 2018-07-11 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Российский университет дружбы народов" (РУДН) | Device for filtering the spectra of optical signals |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9785114B2 (en) | Method and device for the layered production of thin volume grid stacks, and beam combiner for a holographic display | |
RU2411620C1 (en) | Laser modulation device | |
JP2022519015A (en) | Linear polarization conversion element, manufacturing method and linear polarization conversion system | |
US20090310197A1 (en) | Reflective Optical System, Tracking System and Holographic Projection System and Method | |
KR20070088725A (en) | Fabrication of structures in an optical substrate | |
KR20090022596A (en) | Diffraction type optical modulator and display apparatus including this | |
JP2005303309A (en) | Wavelength variable optical source and method for operating the wavelength variable optical source | |
JPH116925A (en) | High precise wavelength control device and method for writing into automatic optical fiber black grating | |
TWI245473B (en) | Tunable laser source and wavelength selecting method thereof | |
JP3401419B2 (en) | Optical filter alignment device and optical filter alignment method | |
WO2000079345A1 (en) | Acousto-optic light projector | |
US10101652B2 (en) | Exposure method, method of fabricating periodic microstructure, method of fabricating grid polarizing element and exposure apparatus | |
JP7297075B2 (en) | Optical deflection device and optical device | |
US6490390B1 (en) | Grating writing systems based on an acousto-optic element | |
JPH05265059A (en) | Method and instrument for measuring time for forming refractive index grating for optical nonlinear medium | |
RU2477914C2 (en) | Laser radiation modulator | |
CN108415110B (en) | Plane holographic grating scanning exposure device | |
US3931592A (en) | Surface acoustic wave tuned laser | |
RU2616935C1 (en) | Laser modulation device | |
US6633385B2 (en) | System and method for recording interference fringes in a photosensitive medium | |
RU181381U1 (en) | Device for filtering the spectra of optical signals | |
US20240152022A1 (en) | Passive dispersion compensation for an acousto-optic deflector | |
RU2640963C1 (en) | Method of controlling phase shift in interference systems | |
CN107248691B (en) | Programmable control ultra-short pulse fiber laser based on digital micromirror device | |
CN116520484B (en) | Fiber grating inscription method and device and fiber grating F-P cavity |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20140814 |