RU2009149620A - REFERENCE DEVICE - Google Patents

REFERENCE DEVICE Download PDF

Info

Publication number
RU2009149620A
RU2009149620A RU2009149620/28A RU2009149620A RU2009149620A RU 2009149620 A RU2009149620 A RU 2009149620A RU 2009149620/28 A RU2009149620/28 A RU 2009149620/28A RU 2009149620 A RU2009149620 A RU 2009149620A RU 2009149620 A RU2009149620 A RU 2009149620A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
track
reference device
auxiliary
main
recording medium
Prior art date
Application number
RU2009149620/28A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Гунтер БОЙЛИХ (DE)
Гунтер БОЙЛИХ
Петра ЮНКЕР (DE)
Петра ЮНКЕР
Эккехарт КЕНДЛЕР (DE)
Эккехарт КЕНДЛЕР
Вольфхарт БОЗИЕН (DE)
Вольфхарт БОЗИЕН
Original Assignee
Майворм Унд Др. Бозиен Грундштюкс Гбр (De)
Майворм Унд Др. Бозиен Грундштюкс Гбр
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE200710026302 external-priority patent/DE102007026302A1/en
Priority claimed from DE200810004254 external-priority patent/DE102008004254A1/en
Application filed by Майворм Унд Др. Бозиен Грундштюкс Гбр (De), Майворм Унд Др. Бозиен Грундштюкс Гбр filed Critical Майворм Унд Др. Бозиен Грундштюкс Гбр (De)
Publication of RU2009149620A publication Critical patent/RU2009149620A/en

Links

Landscapes

  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Abstract

1. Эталонное устройство, применяемое в способе изготовления носителя записи, причем на эталонном устройстве выполнена, по существу, спиральная или концентрично проходящая структура основной дорожки и, по меньшей мере, одна, по существу, спиральная или концентрично проходящая структура вспомогательной дорожки, причем структура вспомогательной дорожки размещена, по меньшей мере, на одной стороне структуры основной дорожки, и структура вспомогательной дорожки имеет прерывания, которые таким образом изменяют оптически воспринимаемое свойство поверхности носителя записи, что на носителе записи отображается, по меньшей мере, одна первая вспомогательная информация. ! 2. Эталонное устройство по п.1, отличающееся тем, что носитель записи имеет заданный уровень поверхности, и оптически воспринимаемое свойство представляет собой размещенное, по существу, в направлении дорожки отклонение от уровня поверхности между двумя прерываниями. ! 3. Эталонное устройство по п.2, отличающееся тем, что оптически воспринимаемое в носителе записи свойство представляет собой размещенное, по существу, в направлении дорожки, по существу, отклонение точечной формы от уровня поверхности между двумя прерываниями. ! 4. Эталонное устройство по п.2, отличающееся тем, что отклонение от уровня поверхности представляет собой углубление. ! 5. Эталонное устройство по п.2, отличающееся тем, что отклонение от уровня поверхности представляет собой выступ. ! 6. Эталонное устройство по п.1, отличающееся тем, что структура основной дорожки, по меньшей мере, особенно на участках, но непрерывно в направлении дорожки выполнена как, по существу, однородное с� 1. The reference device used in the method of manufacturing the recording medium, moreover, the reference device is made essentially spiral or concentric passing structure of the main track and at least one essentially spiral or concentric passing structure of the auxiliary track, and the structure of the auxiliary the track is placed on at least one side of the structure of the main track, and the structure of the auxiliary track has interruptions, which thus change their optically perceived the surface of the recording medium that at least one first auxiliary information is displayed on the recording medium. ! 2. The reference device according to claim 1, characterized in that the recording medium has a predetermined surface level, and the optically perceived property is a deviation from the surface level located essentially in the track direction between two interruptions. ! 3. The reference device according to claim 2, characterized in that the property which is optically perceived in the recording medium is a substantially deviation of the point shape from the surface level between two interruptions located essentially in the track direction. ! 4. The reference device according to claim 2, characterized in that the deviation from the surface level is a recess. ! 5. The reference device according to claim 2, characterized in that the deviation from the surface level is a protrusion. ! 6. The reference device according to claim 1, characterized in that the structure of the main track, at least especially in sections, but continuously in the direction of the track is made as essentially uniform with

Claims (30)

1. Эталонное устройство, применяемое в способе изготовления носителя записи, причем на эталонном устройстве выполнена, по существу, спиральная или концентрично проходящая структура основной дорожки и, по меньшей мере, одна, по существу, спиральная или концентрично проходящая структура вспомогательной дорожки, причем структура вспомогательной дорожки размещена, по меньшей мере, на одной стороне структуры основной дорожки, и структура вспомогательной дорожки имеет прерывания, которые таким образом изменяют оптически воспринимаемое свойство поверхности носителя записи, что на носителе записи отображается, по меньшей мере, одна первая вспомогательная информация.1. The reference device used in the method of manufacturing the recording medium, moreover, the reference device is made essentially spiral or concentric passing structure of the main track and at least one essentially spiral or concentric passing structure of the auxiliary track, and the structure of the auxiliary the track is placed on at least one side of the structure of the main track, and the structure of the auxiliary track has interruptions, which thus change their optically perceived the surface of the recording medium that at least one first auxiliary information is displayed on the recording medium. 2. Эталонное устройство по п.1, отличающееся тем, что носитель записи имеет заданный уровень поверхности, и оптически воспринимаемое свойство представляет собой размещенное, по существу, в направлении дорожки отклонение от уровня поверхности между двумя прерываниями.2. The reference device according to claim 1, characterized in that the recording medium has a predetermined surface level, and the optically perceived property is a deviation from the surface level located essentially in the track direction between two interruptions. 3. Эталонное устройство по п.2, отличающееся тем, что оптически воспринимаемое в носителе записи свойство представляет собой размещенное, по существу, в направлении дорожки, по существу, отклонение точечной формы от уровня поверхности между двумя прерываниями.3. The reference device according to claim 2, characterized in that the property which is optically perceived in the recording medium is a substantially deviation of the point shape from the surface level between two interruptions located essentially in the track direction. 4. Эталонное устройство по п.2, отличающееся тем, что отклонение от уровня поверхности представляет собой углубление.4. The reference device according to claim 2, characterized in that the deviation from the surface level is a recess. 5. Эталонное устройство по п.2, отличающееся тем, что отклонение от уровня поверхности представляет собой выступ.5. The reference device according to claim 2, characterized in that the deviation from the surface level is a protrusion. 6. Эталонное устройство по п.1, отличающееся тем, что структура основной дорожки, по меньшей мере, особенно на участках, но непрерывно в направлении дорожки выполнена как, по существу, однородное свойство поверхности.6. The reference device according to claim 1, characterized in that the structure of the main track, at least especially in sections, but continuously in the direction of the track is made as a substantially uniform surface property. 7. Эталонное устройство по п.1, отличающееся тем, что структура основной дорожки имеет прерывания.7. The reference device according to claim 1, characterized in that the structure of the main track has interruptions. 8. Эталонное устройство по п.1, отличающееся тем, что структура вспомогательной дорожки имеет свойство поверхности, которое изменяет оптически воспринимаемое свойство поверхности структуры вспомогательной дорожки носителя записи таким образом, что на носителе записи отображается вторая вспомогательная информация.8. The reference device according to claim 1, characterized in that the auxiliary track structure has a surface property that changes the optically perceived surface property of the auxiliary track structure of the recording medium so that second auxiliary information is displayed on the recording medium. 9. Эталонное устройство по п.1, отличающееся тем, что структура основной дорожки выполнена без модуляции дорожки.9. The reference device according to claim 1, characterized in that the structure of the main track is made without modulating the track. 10. Эталонное устройство по п.1, отличающееся тем, что структура основной дорожки выполнена с модуляцией дорожки.10. The reference device according to claim 1, characterized in that the structure of the main track is made with modulation of the track. 11. Эталонное устройство по п.10, отличающееся тем, что модуляция дорожки является радиальной, по существу, синусоидальной модуляцией дорожки.11. The reference device according to claim 10, characterized in that the modulation of the track is a radial, essentially sinusoidal modulation of the track. 12. Эталонное устройство по п.10, отличающееся тем, что модуляция дорожки является моночастотной модуляцией дорожки.12. The reference device of claim 10, wherein the track modulation is a mono-frequency modulation of the track. 13. Эталонное устройство по п.10, отличающееся тем, что модуляция дорожки является модуляцией ширины дорожки.13. The reference device according to claim 10, characterized in that the modulation of the track is a modulation of the width of the track. 14. Эталонное устройство по п.10, отличающееся тем, что модуляция дорожки представляет дополнительную вспомогательную информацию.14. The reference device according to claim 10, characterized in that the modulation of the track provides additional supporting information. 15. Эталонное устройство по п.1, отличающееся тем, что структура вспомогательной дорожки размещена, по существу, на постоянном радиальном расстоянии относительно геометрической середины структуры основной дорожки.15. The reference device according to claim 1, characterized in that the structure of the auxiliary track is placed essentially at a constant radial distance relative to the geometric midpoint of the structure of the main track. 16. Эталонное устройство по п.1, отличающееся тем, что структура вспомогательной дорожки размещена только на одной стороне структуры основной дорожки.16. The reference device according to claim 1, characterized in that the structure of the auxiliary track is placed only on one side of the structure of the main track. 17. Эталонное устройство по п.1, отличающееся тем, что структура вспомогательной дорожки имеет переменную высоту и/или глубину.17. The reference device according to claim 1, characterized in that the structure of the auxiliary track has a variable height and / or depth. 18. Носитель записи, полученный способом изготовления с применением эталонного устройства согласно, по меньшей мере, одному из пп.1-17.18. A recording medium obtained by a manufacturing method using a reference device according to at least one of claims 1-17. 19. Устройство для изготовления эталонного устройства, в частности, согласно, по меньшей мере, одному из пп.1-17 с19. Device for the manufacture of a reference device, in particular, according to at least one of claims 1-17 первым оптическим устройством для записи структуры основной дорожки посредством первого светового луча на основном носителе,the first optical device for recording the structure of the main track through the first light beam on the main carrier, электрооптическим дефлектором (13) луча, через который проходит первый световой луч (1), иelectro-optical deflector (13) of the beam through which the first light beam (1) passes, and вторым оптическим устройством для записи структуры вспомогательной дорожки посредством второго светового луча (2) на основном носителе, причемthe second optical device for recording the structure of the auxiliary track through the second light beam (2) on the main carrier, and второй световой луч (2) проходит через второй электрооптический дефлектор (14) луча, который устанавливает, по существу, одинаковое радиальное расстояние между серединой структуры основной дорожки и структуры вспомогательной дорожки посредством подведенного управляющего сигнала, иthe second light beam (2) passes through the second electro-optical beam deflector (14), which sets essentially the same radial distance between the middle of the structure of the main track and the structure of the auxiliary track through the summed control signal, and генератор (19) вспомогательной дорожки управляет вторым световым лучом (2), по меньшей мере, в зависимости от первой и/или второй вспомогательной информации,the auxiliary track generator (19) controls the second light beam (2), at least depending on the first and / or second auxiliary information, по меньшей мере, одной измерительной камерой, на которую отображается установленный на эталоне лазерный фокус обоих монохроматических световых лучей,at least one measuring camera, which displays mounted on the reference laser focus of both monochromatic light rays, по меньшей мере, одним блоком обработки изображений, который вычисляет, по существу, из информации изображений, по меньшей мере, одной измерительной камеры, положение лазерного фокуса основного и вспомогательного лучей на эталоне.at least one image processing unit, which calculates, from essentially the image information of the at least one measuring camera, the position of the laser focus of the main and auxiliary rays on the standard. 20. Устройство по п.19, отличающееся тем, что посредством электрооптического дефлектора (13) луча выполняется модуляция ширины дорожки первого светового луча (1).20. The device according to claim 19, characterized in that by means of the electro-optical beam deflector (13), the track width of the first light beam (1) is modulated. 21. Устройство по п.19, отличающееся тем, что первый световой луч (1) управляется посредством генератора (18) основной дорожки.21. The device according to claim 19, characterized in that the first light beam (1) is controlled by the generator (18) of the main track. 22. Устройство по п.21, отличающееся тем, что генератор (18) основной дорожки выдает постоянный сигнал и переменный сигнал для управления первым световым лучом (1).22. The device according to item 21, wherein the generator (18) of the main track provides a constant signal and an alternating signal for controlling the first light beam (1). 23. Устройство по п.22, отличающееся тем, что генератор (18) основной дорожки выдает аналоговый сигнал для управления электрооптическим дефлектором (13) луча.23. The device according to p. 22, characterized in that the generator (18) of the main track provides an analog signal for controlling the electro-optical beam deflector (13). 24. Устройство по п.19, отличающееся тем, что второй световой луч (2) управляется генератором (19) вспомогательной дорожки.24. The device according to claim 19, characterized in that the second light beam (2) is controlled by an auxiliary track generator (19). 25. Устройство по п.24, отличающееся тем, что генератор (19) вспомогательной дорожки выдает постоянный сигнал и переменный сигнал для управления вторым световым лучом (2).25. The device according to p. 24, characterized in that the generator (19) of the auxiliary track generates a constant signal and an alternating signal for controlling the second light beam (2). 26. Устройство по п.24, отличающееся тем, что генератор (19) вспомогательной дорожки выдает сигнал постоянного напряжения и/или сигнал переменного напряжения для управления вторым электрооптическим дефлектором (14) луча.26. The device according to paragraph 24, wherein the auxiliary track generator (19) provides a constant voltage signal and / or an alternating voltage signal for controlling the second beam electro-optical deflector (14). 27. Устройство по п.26, отличающееся тем, что управляющий сигнал, поданный на второй электрооптический дефлектор (14) луча, является сигналом напряжения с постоянной составляющей.27. The device according to p. 26, characterized in that the control signal supplied to the second electro-optical beam deflector (14) is a voltage signal with a constant component. 28. Устройство по п.23, отличающееся тем, что аналоговый сигнал, выданный генератором (18) основной дорожки для управления электрооптическим дефлектором (13) луча, подается на электрооптический дефлектор (13) луча.28. The device according to item 23, wherein the analog signal issued by the generator (18) of the main track to control the electro-optical beam deflector (13) is supplied to the beam electro-optical deflector (13). 29. Устройство для изготовления носителя записи с применением эталонного устройства согласно, по меньшей мере, одному из пп.1-17.29. A device for manufacturing a recording medium using a reference device according to at least one of claims 1-17. 30. Способ изготовления эталонного устройства согласно, по меньшей мере, одному из пп.1-17 с этапами:30. A method of manufacturing a reference device according to at least one of claims 1 to 17 with the steps: экспонирование основного носителя со структурой основной дорожки посредством первого светового луча (1), причем на поверхность основного носителя нанесен фоторезист,exposure of the main carrier with the structure of the main track through the first light beam (1), and a photoresist is applied to the surface of the main carrier экспонирование основного носителя со структурой вспомогательной дорожки посредством второго светового луча (2),exposure of the main carrier with the structure of the auxiliary track through the second light beam (2), проявление экспонированного фоторезиста,manifestation of the exposed photoresist, удаление неэкспонированного фоторезиста с основного носителя,removal of unexposed photoresist from the main carrier, нанесение первого металлического слоя на основной носитель иapplying the first metal layer to the main carrier and нанесение второго металлического слоя на основной носитель. applying a second metal layer to the main carrier.
RU2009149620/28A 2007-06-06 2008-06-06 REFERENCE DEVICE RU2009149620A (en)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200710026302 DE102007026302A1 (en) 2007-06-06 2007-06-06 Master device for use in method for manufacturing recording medium, comprises spiraled or concentrically extending main track structure and spiraled or concentrically extending secondary track structure
DE102007026302.5 2007-06-06
DE200810004254 DE102008004254A1 (en) 2008-01-14 2008-01-14 Master device for optical recording medium producing method, has secondary track structure exhibiting disruptions, which vary optically detectable surface property of recording medium such that auxiliary information is produced on medium
DE102008004254.4 2008-01-14
DE102008018222.2 2008-04-10

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2009149620A true RU2009149620A (en) 2011-07-20

Family

ID=44752022

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009149620/28A RU2009149620A (en) 2007-06-06 2008-06-06 REFERENCE DEVICE

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2009149620A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4761432B2 (en) Laser processing equipment
US11002995B2 (en) Phase modulator, control method for phase modulator, and fringe projector apparatus
US7332709B2 (en) Photoelectric encoder
US20140340733A1 (en) Apparatus and method for high-speed phase shifting for interferometric measurement systems
TWI628028B (en) Apparatus and method for laser processing
US20240004225A1 (en) Spatial light modulator, light modulating device, and method for driving spatial light modulator
JP4899455B2 (en) Photoelectric encoder
JP2022502689A (en) Equipment and methods for measuring the position of marks
RU2009149620A (en) REFERENCE DEVICE
KR101245396B1 (en) Drawing device and drawing method
US9304401B2 (en) Measurement of the position of a radiation beam spot in lithography
JP7111678B2 (en) Light modulation device and method for driving spatial light modulator
JP4970190B2 (en) Interference fringe forming method, interference fringe forming apparatus, and interference fringe forming medium manufacturing method
CN104849964B (en) A kind of focal plane measurement apparatus and its measuring method
JP3834906B2 (en) Diffraction grating forming method, forming apparatus, and diffraction grating pattern
CN112817182A (en) High-speed exposure patterning liquid crystal photo-alignment device and method
EP0458276A2 (en) Doppler velocimeter
KR100275672B1 (en) Method and apparatus leveling of wafer exposure
CA2690315A1 (en) Master device
TW202247933A (en) Laser processing device
Korolkov et al. Computer controlling of writing beam in laser microfabrication of diffractive optics
CN112817158A (en) Large-breadth controllable polarization pattern generation device and method
Zhao et al. Real Time Monitoring of Exposure Controlled Projection Lithography with Time-varying Scanning Points
CN112817168A (en) Imaging detection assembly
JP2007187571A (en) Encoder

Legal Events

Date Code Title Description
FA92 Acknowledgement of application withdrawn (lack of supplementary materials submitted)

Effective date: 20121025