RU188637U1 - Селективный многоканальный оптический спектрометр - Google Patents
Селективный многоканальный оптический спектрометр Download PDFInfo
- Publication number
- RU188637U1 RU188637U1 RU2018143314U RU2018143314U RU188637U1 RU 188637 U1 RU188637 U1 RU 188637U1 RU 2018143314 U RU2018143314 U RU 2018143314U RU 2018143314 U RU2018143314 U RU 2018143314U RU 188637 U1 RU188637 U1 RU 188637U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- optical
- optical filter
- output
- matching element
- processing unit
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 63
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 16
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 13
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 24
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 abstract description 19
- 230000010365 information processing Effects 0.000 abstract description 7
- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 abstract description 6
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 abstract description 5
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 5
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 4
- 239000013308 plastic optical fiber Substances 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000012882 sequential analysis Methods 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
Abstract
Полезная модель относится к области спектрометрии, а именно к устройствам спектрального анализа сигналов в оптическом диапазоне длин волн и может быть использована для исследований полей излучения источников оптических сигналов, непосредственный контакт с которыми невозможен либо нежелателен, а также спектральных характеристик материалов, атмосферы и т.п.Устройство содержит формирующую оптику, оптически связанную с волоконно-оптическим жгутом, и n каналов анализа спектра сигнала, в каждом из которых последовательно установлены по ходу светового пучка следующие элементы: первый согласующий элемент, оптический фильтр, второй согласующий элемент и блок обработки спектрометрической информации. Оптический фильтр выполнен в виде узкополосного интерференционного оптического фильтра, на одной стороне которого нанесены штрихи в виде чередующихся параллельных друг другу прозрачных и непрозрачных полос.Техническим результатом, достигаемым при осуществлении заявляемой полезной модели, является повышение ее разрешающей способности. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.
Description
Полезная модель относится к области спектрометрии, а именно к устройствам спектрального анализа сигналов в оптическом диапазоне длин волн и может быть использована для исследований полей излучения источников оптических сигналов, непосредственный контакт с которыми невозможен, либо нежелателен, а также спектральных характеристик материалов, атмосферы и т.п.
Известно устройство "Анализатор спектра сигналов оптического диапазона", (патент RU №2239802, МПК G01J 3/00, опубликован 2004.09.10).
Устройство содержит синтезатор частот, блок управления, регистратор, блок согласования, интегратор и канал анализа спектра сигнала, в котором последовательно установленные по ходу светового пучка формирующая оптика, оптическое волокно, соединенное посредством соединительных модулей с формирующей оптикой и с согласующим элементом, выход которого оптически связан со входом акустооптического модулятора, фокусирующая линза, щелевая диафрагма и фотоприемник. Согласующий элемент является пространственным Фурье-процессором, который состоит из двух слоев свободного пространства и Фурье-линзы между ними. Также устройство содержит цифроаналоговый преобразователь, регулируемый усилитель, модуль подключения к регистратору, аналого-цифровой преобразователь.
Устройство позволяет проводить последовательный анализ спектра оптических излучений, непосредственные контакты спектральной аппаратуры с которыми невозможны либо нежелательны.
Недостатками известного устройства анализатора спектра сигналов оптического диапазона являются, необходимость перестройки системы по диапазону длин волн, следствием которой является низкое быстродействие, определяемое временем перестройки. Также к недостаткам можно отнести проблему формирования плоского однородного фронта анализируемого излучения, падающего на диспергирующий элемент, в данном случае акустооптический модулятор, и проблему ввода оптического излучения в волокно. Предложенный дифракционный принцип анализа спектра сигналов С применением пространственного Фурье-процессора требует формирования светового пучка с плоским однородным фронтом, что может оказаться затруднительным. При применении многомодового оптического волокна в качестве линии передачи происходит разрушение плоского однородного волнового фронта анализируемого излучения за счет многомодового распространения излучения в волокне, что приводит к ухудшению разрешающей способности прибора и существенным погрешностям спектральных измерений. При применении одномодовых волокон возникают серьезные трудности с вводом оптического излучения в волокно, в результате чего снижается светосила линии передачи, а, следовательно, ухудшается чувствительность прибора.
Известно устройство "Малогабаритный оптоволоконный спектрометр USB2000+" фирмы «Осеаn Optics» (Catalog 2017). Такой спектрометр построен по скрещенной схеме Черни-Тернера и содержит, размещенные в общем корпусе, входную щель, коллимирующее зеркало, плоскую дифракционную решетку, фокусирующее зеркало и детектор на базе прибора с зарядовой связью (далее - ПЗС-детектор). Входом спектрометра является оптический разъем SMA 905, к которому подключается волоконно-оптический кабель. Дополнительно в спектрометр может быть установлен длинноволновый поглощающий фильтр, отрезающий излучение 2-го и 3-го порядков дифракции. Спектрометр содержит аналого-цифровой преобразователь (далее - АЦП) и программируемый микроконтроллер, что позволяет подключить его к персональному компьютеру, используя специальное программное обеспечение фирмы «Осеаn Optics».
Недостатками известного устройства "Малогабаритный оптоволоконный спектрометр USB2000+" также являются проблема формирования плоского однородного фронта анализируемого излучения, падающего на диспергирующий элемент, в данном случае дифракционной решетки, и проблема ввода оптического излучения в волокно.
Другим существенным недостатком является то, что данный спектрометр не позволяет выполнять измерения в широком диапазоне оптических длин волн. При приобретении спектрометра производитель предлагает выбрать одну из 14 дифракционных решеток, каждая из которых характеризуется числом штрихов на мм (определяет разрешение) и определенным спектральным диапазоном (например, 200-575 нм; 250-800 нм; 350-850 нм; 500-1100 нм; 650-1100 нм). Замена дифракционной решетки возможна только производителем.
Кроме того, волоконно-оптический кабель используется для удобства оператора при проведении спектральных измерений во внелабораторных условия, либо для подключения дополнительных функциональных узлов измерительной установки, например проходной кюветы. Следовательно, этот спектрометр не способен проводить анализ спектра оптических излучений, непосредственные контакты спектральной аппаратуры с которыми невозможны либо нежелательны.
Известно устройство-прототип "Параллельный анализатор спектра сигналов оптического диапазона", (Патент РФ на полезную модель №86734, МПК G01J 3/26, опубликован 10.09.2009). Устройство содержит формирующую оптику, оптически связанную с волоконно-оптическим жгутом, n выходов которого для каждого из n каналов соединены со входами первых согласующих элементов, которые последовательно связаны с установленными по ходу светового пучка оптическими фильтрами, вторыми согласующими элементами и фотоприемниками, выходы которых соединены с n входами блока обработки спектрометрической информации, один из выходов которого соединен с регистратором, а второй с блоком индикации, пульт управления соединен с n+1 входом блока обработки спектрометрической информации.
Устройство позволяет проводить параллельный анализ спектра оптических излучений, непосредственные контакты спектральной аппаратуры с которыми невозможны либо нежелательны.
Недостатком известного устройства - прототипа анализатора спектра сигналов оптического диапазона является недостаточно высокая разрешающая способность, которая ограничивается полосой пропускания оптических фильтров.
Основной задачей, на решение которой направлено заявляемое устройство, является создание селективного многоканального оптического спектрометра, который позволял бы проводить одновременный спектральный анализ оптических излучений, непосредственные контакты спектральной аппаратуры с которыми невозможны либо нежелательны, с более высокой разрешающей способностью.
Техническим результатом, достигаемым при осуществлении заявляемой полезной модели является, повышение ее разрешающей способности.
Указанный технический результат достигается тем, что в устройстве, содержащее формирующую оптику, оптически связанную с волоконно-оптическим жгутом, n каналов анализа спектра сигнала, в каждом из которых последовательно установлены по ходу светового пучка, первый согласующий элемент, оптический фильтр, второй согласующий элемент и блок обработки спектрометрической информации, оптический фильтр выполнен в виде узкополосного интерференционного оптического фильтра, на одной стороне которого нанесены штрихи в виде чередующихся параллельных друг другу прозрачных и непрозрачных полос, причем блок обработки спектрометрической информации выполнен в виде последовательно установленных детектора на базе прибора с зарядовой связью, усилителя, аналого-цифрового преобразователя, программируемой логической интегральной схемы, первый выход которой соединен через двунаправленную шину со входом преобразователя интерфейса USB, выход которого соединен через двунаправленную шину с персональным компьютером, второй выход программируемой логической интегральной схемы соединен через двунаправленную шину с запоминающим устройством, а третий - со вторым входом усилителя, второй выход детектора на базе прибора с зарядовой связью соединен со вторым входом программируемой логической интегральной схемы.
Совокупность существенных признаков предлагаемого устройства обеспечивает достижение технического результата, достигаемого при осуществлении полезной модели в силу того, что применяемый узкополосный оптический фильтр, на одной стороне которого нанесена решеткоподобная структура, т.е. штрихи в виде чередующихся параллельных друг другу прозрачных и непрозрачных полос, позволяет проводить одновременный анализ спектра оптических сигналов в заранее определенных участках, перекрывающих весь интересующий диапазон анализа с высокой разрешающей способностью, которая в конечном счете определяется плотностью нанесенных штрихов. Выбор заранее определенных участков обусловлен конкретной решаемой практической задачей и задается полосой пропускания узкополосного интерференционного оптического фильтра. Таким образом, в данном спектрометре имеет место двойное спектральное разложение анализируемого широкополосного оптического излучения. Первичное спектральное разложение осуществляется по принципу узкополосной фильтрации в N параллельных каналах, каждый из которых содержит узкополосный оптический фильтр, настроенный на определенную длину волны. После узкополосной фильтрации выполняется вторичное спектральное разложение - анализируемое оптического излучения дифрагирует на решеткоподобной структуре (аналог - дифракционная решетка), нанесенной на одну из сторон оптического фильтра, и спектральные составляющие разделяются по направлению. Двойное спектральное разложение позволяет получить высокое разрешение в заданном участке спектра.
Проведенный заявителем анализ уровня техники установил, что аналоги, характеризующиеся совокупностями признаков, тождественным всем признакам заявленного устройства, селективного многоканального оптического спектрометра, отсутствуют, следовательно, заявленная полезная модель соответствует условию «новизна».
В настоящее время авторам не известны спектральные приборы, которые позволяли бы проводить в широком диапазоне анализируемых длин волн с такой же разрешающей способностью одновременный анализ спектра оптических излучений, непосредственные контакты спектральной аппаратуры с которыми невозможны либо нежелательны, например, в агрессивных химических средах при повышенной влажности и температуре.
Результаты поиска известных технических решений в данной и смежных областях техники с целью выявления признаков, совпадающих с отличительными от прототипов признаками заявленной полезной модели, показали, что они не следуют явным образом из уровня техники.
Сущность полезной модели поясняется чертежами, где на фиг. 1 - структурная схема селективного многоканального оптического спектрометра, фиг. 2 - изображение оптического фильтра, на одной стороне которого нанесены штрихи в виде чередующихся параллельных друг другу прозрачных и непрозрачных полос, фиг. 3 - структурная схема блока обработки спектрометрической информации:
1 - формирующая оптика;
2 - волоконно-оптический жгут;
3 - первый согласующий элемент;
4 - оптический фильтр;
5 - второй согласующий элемент;
6 - блок обработки спектрометрической информации;
6.1 - ПЗС-детектор;
6.2 - усилитель;
6.3 - АЦП;
6.4 - программируемая логическая интегральная схема (далее - ПЛИС);
6.5 - преобразователь интерфейса USB;
6.6 - запоминающее устройство;
7 - персональный компьютер.
Селективный многоканальный оптический спектрометр, содержит формирующую оптику 1, оптически связанную со входом волоконно-оптического жгута 2, n выходов которого соединены со входами первых согласующих элементов 3, для каждого из n каналов, которые связаны с последовательно установленными по ходу светового пучка узкополосными интерференционными оптическими фильтрами 4, на одной стороне которых нанесены штрихи в виде чередующихся параллельных друг другу прозрачных и непрозрачных полос, и вторыми согласующими элементами 5, выходы которых оптически соединены с входом блока обработки спектроскопической информации 6, который через двунаправленную шину соединен с персональным компьютером 7.
Блок обработки спектрометрической информации 6 содержит последовательно установленные ПЗС-детектор 6.1, программируемый усилитель 6.2, АЦП 6.3, микросхему ПЛИС 6.4, первый выход которой соединен через двунаправленную шину со входом преобразователя интерфейса USB 6.5, выход которого соединен через двунаправленную шину с персональным компьютером 7, второй выход микросхемы ПЛИС 6.4 соединен через двунаправленную шину с запоминающим устройством 6.6, а третий - со вторым входом усилителя 6.2, второй выход ПЗС-детектора 6.1 соединен со вторым входом ПЛИС 6.4.
Формирующая оптика 1 может быть выполнена, например, из сферической линзы и второй сферической линзы, в фокусе которой расположен торец группы оптических волокон. Линзы могут быть выполнены в едином корпусе с юстировочной системой, обеспечивающей перемещение линзы вдоль оптической оси для достижения максимальной эффективности ввода оптического излучения в группу оптических волоки.
В качестве оптического волокна, входящего в состав волоконно-оптического жгута 2, может быть использовано, например пластиковое оптическое волокно типа POF (Plastic Optical Fiber). Пластиковое волокно имеет больший диаметр сердцевины, чем кварцевое, что позволяет улучшить эффективность ввода оптического излучения в волокно. Являясь пластиком, волокно данного типа меньше подвержено механическим воздействиям.
В качестве первого согласующего элемента 3 может быть использована коллимирующая линза.
В качестве оптического фильтра 4 может быть использован узкополосный интерференционный оптический фильтр на заданную длину волны. Штрихи могут быть нанесены путем напыления металла (например, хром) или другого оптически непрозрачного материала в соответствии с заданной топологией на одну из сторон оптического фильтра. Метод напыления накладывает ограничения на минимально возможный период нанесенных штрихов, связанные с технологическими особенностями метода. Для получения штриховой структуры с более мелким периодом, что приведет к увеличению разрешающей способности, возможно изготовление в обратной последовательности: на основание фильтра, изготовленного, например, из оптического стекла, сначала формируют штрихи по технологии с применением алмазного резца, после этого идет процесс напыление тонких пленок, образующих структуру узкополосного интерференционного оптического фильтра и обеспечивающих необходимые фильтрующие свойство фильтра.
В качестве второго согласующего элемента 5 может быть использована фокусирующая линза.
Блок обработки спектрометрической информации 6 может быть реализован на базе ПЗС-детектора 6.1, имеющего матричное расположение пикселов или линейное, например, фирмы Toshiba TCD1304AP, фирмы Sony ILX511B или фирмы Hamamatsu S7031-1006S. В качестве программируемого усилителя может быть использован операционный усилители с цифровым программированием коэффициента усиления, например PGA202. АЦП 6.3 может быть реализован на базе АЦП с разрядностью 12 бит ADC128S022 фирмы Texas Instruments. В качестве ПЛИС 6.4 может быть использована ПЛИС серии CYCLONE фирмы Altera. Преобразователь интерфейса USB 6.5 может быть реализован на базе преобразователя USB-FIFO FT245RL. В качестве ЗУ 6.6 может быть использована FLASH память с параллельным интерфейсом, например S29AL032D фирмы Spansion.
Устройство работает следующим образом: формирующая оптика 1 передает принимаемое из окружающего пространства анализируемое оптическое излучение на общий входной торец волоконно-оптического жгута 2, по которому оптическое излучение передается на заданное расстояние и через n выходов поступает на входы первых согласующих элементов 3, для каждого из n каналов, в которых с помощью оптического фильтра 4 излучение сначала проходит узкополосную фильтрацию, затем дифрагирует на решеткоподобной структуре, нанесенной на одну из сторон фильтра, и спектральные составляющие разделяются по направлению.
Спектральные составляющие анализируемого излучения в каждом канале фокусируются вторыми согласующими элементами 5 на блок обработки спектрометрической информации 6, в котором с помощью ПЗС-детектора 6.1 производится фото детектирование анализируемого оптического сигнала. Чувствительная поверхность ПЗС-детектора программно разбита на области в соответствии с количеством каналов, в областях каждый пиксель соответствует определенной длине волны, попадающей в полосу пропускания фильтра. После фотодетектирования электрический сигнал поступает на вход усилителя с управляемым коэффициентом усиления 6.2, изменение коэффициента усиления позволяет увеличить динамический диапазон блока обработки спектрометрической информации. После усиления сигнал оцифровывается с помощью АЦП 6.3 и поступает на вход ПЛИС 6.4. Микросхема ПЛИС выполняет дальнейшую цифровую обработку анализируемого сигнала, управляет программируемым усилителем и программно управляет ПЗС-детектором 6.1. После обработки спектр анализируемого сигнала в цифровом виде через преобразователь интерфейса USB 6.5 передается на персональный компьютер 7. Запоминающее устройство 6.6 используется для хранения коэффициентов калибровки по длине волны и коэффициентов корректировки, компенсирующих разброса параметров оптических элементов спектрометра (оптического волокна, линз, оптических фильтров) для каждого канала. Отображение спектроскопической информации об анализируемом сигнале и управление блоком обработки спектроскопической информации осуществляется с помощью специально разработанного программного обеспечения.
Как следует из вышеизложенного, достижение технического результата селективным многоканальным оптическим спектрометром обеспечивается применением узкополосного оптического фильтра, на одной стороне которого нанесена решеткоподобная структура, т.е. штрихи в виде чередующихся параллельных друг другу прозрачных и непрозрачных полос, что позволяет проводить одновременный анализ спектра оптических сигналов в заранее определенных участках, перекрывающих весь интересующий диапазон анализа с высокой разрешающей способностью.
Сопоставление параметров, характеризующих заявляемую полезную модель, и прототип позволяет сделать вывод, что прототип не может обеспечить высокой разрешающей способности. Следовательно, объект полезной модели существенно увеличивает круг возможного применения спектральных измерений в науке и технике.
Таким образом, приведенные сведения доказывают, что при осуществлении заявленной полезной модели выполняются следующие условия:
- средство, воплощающее устройство-полезную модель при его осуществлении, предназначено для использования в области спектрометрии, а именно проведения с высокой разрешающей способностью одновременного спектрального анализа в широком диапазоне источников оптических излучений, непосредственные контакты спектральной аппаратуры с которыми не возможны либо не желательны в силу наличия вблизи таких источников агрессивной химической среды, повышенной температуры, влажности;
- для заявленной полезной модели в том виде, как оно охарактеризовано в независимом пункте формулы изобретения, подтверждена возможность его осуществления с помощью описанных или других известных до даты подачи заявки средств;
- средство, воплощающее заявленную полезную модель при его осуществлении, способно обеспечить получение указанного технического результата.
Следовательно, заявленная полезная модель соответствует условию патентоспособности «промышленная применимость».
Claims (2)
1. Селективный многоканальный оптический спектрометр, содержащий формирующую оптику, оптически связанную с волоконно-оптическим жгутом, n каналов анализа спектра сигнала, в каждом из которых последовательно установлены по ходу светового пучка, первый согласующий элемент, оптический фильтр, второй согласующий элемент и блок обработки спектрометрической информации, отличающийся тем, что оптический фильтр выполнен в виде узкополосного интерференционного оптического фильтра, на одной стороне которого нанесены штрихи в виде чередующихся параллельных друг другу прозрачных и непрозрачных полос.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что блок обработки спектрометрической информации выполнен в виде последовательно установленных детектора на базе прибора с зарядовой связью, усилителя, аналого-цифрового преобразователя, программируемой логической интегральной схемы, первый выход которой соединен через двунаправленную шину со входом преобразователя интерфейса USB, выход которого соединен через двунаправленную шину с персональным компьютером, второй выход программируемой логической интегральной схемы соединен через двунаправленную шину с запоминающим устройством, а третий - со вторым входом усилителя, второй выход детектора на базе прибора с зарядовой связью соединен со вторым входом программируемой логической интегральной схемы.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018143314U RU188637U1 (ru) | 2018-12-06 | 2018-12-06 | Селективный многоканальный оптический спектрометр |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018143314U RU188637U1 (ru) | 2018-12-06 | 2018-12-06 | Селективный многоканальный оптический спектрометр |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU188637U1 true RU188637U1 (ru) | 2019-04-18 |
Family
ID=66168653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2018143314U RU188637U1 (ru) | 2018-12-06 | 2018-12-06 | Селективный многоканальный оптический спектрометр |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU188637U1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU214303U1 (ru) * | 2022-06-09 | 2022-10-19 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения" | Матричный анализатор оптических сигналов |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20020180968A1 (en) * | 2000-01-10 | 2002-12-05 | Jung Wayne D. | Spectrometric apparatus and method for measuring optical characteristics of an object |
| RU81574U1 (ru) * | 2008-10-10 | 2009-03-20 | Общество с ограниченной ответвенностью "Оптолекс" | Волоконно-оптическая измерительная система (варианты) |
| RU86734U1 (ru) * | 2009-04-28 | 2009-09-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный университет Аэрокосмического приборостроения" | Параллельный анализатор спектра сигналов оптического диапазона |
| US20170146399A1 (en) * | 2013-02-22 | 2017-05-25 | Kla-Tencor Corporation | Systems for Providing Illumination in Optical Metrology |
-
2018
- 2018-12-06 RU RU2018143314U patent/RU188637U1/ru active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20020180968A1 (en) * | 2000-01-10 | 2002-12-05 | Jung Wayne D. | Spectrometric apparatus and method for measuring optical characteristics of an object |
| RU81574U1 (ru) * | 2008-10-10 | 2009-03-20 | Общество с ограниченной ответвенностью "Оптолекс" | Волоконно-оптическая измерительная система (варианты) |
| RU86734U1 (ru) * | 2009-04-28 | 2009-09-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный университет Аэрокосмического приборостроения" | Параллельный анализатор спектра сигналов оптического диапазона |
| US20170146399A1 (en) * | 2013-02-22 | 2017-05-25 | Kla-Tencor Corporation | Systems for Providing Illumination in Optical Metrology |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU214303U1 (ru) * | 2022-06-09 | 2022-10-19 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения" | Матричный анализатор оптических сигналов |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8018597B2 (en) | Slab waveguide spatial heterodyne spectrometer assembly | |
| US7315667B2 (en) | Propagating light to be sensed | |
| US7433552B2 (en) | Obtaining analyte information | |
| US8553224B2 (en) | Fiber bundle for high efficiency, spatially resolved coupling | |
| US10012535B2 (en) | Dispersive element and spectrometer using the same | |
| EP2685304A1 (en) | Spectroscopic confocal microscope with aperture stop for increased spatial resolution and parallelized data acquisition | |
| KR19980071314A (ko) | 대역통과 광자 검출기 | |
| US7193707B2 (en) | Small sized wide wave-range spectroscope | |
| RU188637U1 (ru) | Селективный многоканальный оптический спектрометр | |
| CN113906274B (zh) | 拉曼光谱测量系统的方法、系统、和装置 | |
| KR102039826B1 (ko) | Awg 분광센서 | |
| KR101101196B1 (ko) | 복수개의 광파이버와 연결된 다중채널 분광기 | |
| US10578486B2 (en) | Method of calibrating spectrum sensors in a manufacturing environment and an apparatus for effecting the same | |
| WO2017111603A1 (en) | An optical module comprising a grating assembly and an image sensor | |
| US20180136041A1 (en) | Optical analysis system with optical conduit light delivery | |
| Vaganov et al. | Spectrum analysis of optical signals is based on the resonance phenomenon | |
| CN114207391A (zh) | 信号采集光谱仪 | |
| RU86734U1 (ru) | Параллельный анализатор спектра сигналов оптического диапазона | |
| CN113720824B (zh) | 一种荧光探测系统及荧光光谱拼接方法 | |
| JP2005121574A (ja) | 近赤外分光装置 | |
| RU214303U1 (ru) | Матричный анализатор оптических сигналов | |
| CN113203727B (zh) | 一种光谱测量装置和方法 | |
| EP4328555A1 (en) | Pyrometer with high spatial resolution | |
| WO2015121244A1 (en) | Spectrometer and detector arrangement for use therewith | |
| CN114485960A (zh) | 基于衍射光栅进行分光高精度宽波段波长测量结构及方法 |