RU147266U1 - DEVICE FOR SCANNING SUPPORT SHOULDER OF OPTICAL COORENT TOMOGRAPH - Google Patents

DEVICE FOR SCANNING SUPPORT SHOULDER OF OPTICAL COORENT TOMOGRAPH Download PDF

Info

Publication number
RU147266U1
RU147266U1 RU2013152707/28U RU2013152707U RU147266U1 RU 147266 U1 RU147266 U1 RU 147266U1 RU 2013152707/28 U RU2013152707/28 U RU 2013152707/28U RU 2013152707 U RU2013152707 U RU 2013152707U RU 147266 U1 RU147266 U1 RU 147266U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
optical
mirror
scanning
radiation
collimator lens
Prior art date
Application number
RU2013152707/28U
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Сергей Геннадьевич Проскурин
Антон Юрьевич Потлов
Сергей Владимирович Фролов
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Тамбовский государственный технический университет" ФГБОУ ВПО ТГТУ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Тамбовский государственный технический университет" ФГБОУ ВПО ТГТУ filed Critical Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Тамбовский государственный технический университет" ФГБОУ ВПО ТГТУ
Priority to RU2013152707/28U priority Critical patent/RU147266U1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU147266U1 publication Critical patent/RU147266U1/en

Links

Images

Abstract

Устройство сканирующего опорного плеча оптического когерентного томографа, содержащее одномодовый световод, являющийся единственным входом и выходом для излучения, оптически связанные с ним линзу-коллиматор, дифракционную решетку с регулируемым углом наклона, сканирующее зеркало с регулируемым углом наклона и зеркало двойного прохода, отличающееся тем, что линза-коллиматор вмонтирована в зеркало двойного прохода, так чтобы сохранять его взаимную перпендикулярность с торцом оптически связанного с линзой-коллиматором одномодового световода, при этом используется фокусирующая дихроичная линза, причем сканирующее зеркало помещено на фокусное расстояние от нее.A scanning support arm of an optical coherent tomograph containing a single-mode optical fiber, which is the only input and output for radiation, an optically coupled collimator lens, a diffraction grating with an adjustable angle of inclination, a scanning mirror with an adjustable angle of inclination, and a double-pass mirror, characterized in that the collimator lens is mounted in a double-pass mirror so as to maintain its mutual perpendicularity with the end face of a single-mode optically coupled to a collimator lens etovoda, using the dichroic focusing lens, wherein the scanning mirror is placed on the focal length from it.

Description

Предлагаемое техническое решение (полезная модель) относится к области оптических устройств или приспособлений с использованием подвижных оптических элементов для управления интенсивностью, цветом, фазой, поляризацией или направлением света, в частности к сканирующим системам и может быть использовано в оптической когерентной томографии для сканирования измерительного объема по глубине.The proposed technical solution (utility model) relates to the field of optical devices or devices using movable optical elements to control the intensity, color, phase, polarization or direction of light, in particular to scanning systems and can be used in optical coherence tomography to scan the measurement volume by depth.

В оптической когерентной томографии внутреннюю структуру биообъекта восстанавливают с помощью селекции отраженного излучения по глубине, с которой оно пришло и степени отражения на ней. С этой целью сравнивают волны с опорного плеча и с плеча образца. Опорное плечо изготавливают таким образом, чтобы опорная волна каждый раз сравнивалась с долей излучения, пришедшего с разной глубины внутри образца (биообъекта), т.е. опорное плечо обеспечивает многократное управляемое изменение длины оптического пути, который проходит опорная волна. Для этого используется оптическая линия задержки на основе сканирующего зеркала или гальвано-сканера.In optical coherence tomography, the internal structure of a biological object is restored by selection of reflected radiation at the depth with which it came and the degree of reflection on it. To this end, the waves from the supporting shoulder and from the shoulder of the sample are compared. The support arm is made in such a way that the reference wave is compared each time with the fraction of radiation coming from different depths inside the sample (bioobject), i.e. the support arm provides a multiple controlled change in the length of the optical path that the reference wave travels. For this, an optical delay line based on a scanning mirror or a galvanic scanner is used.

По патенту US 6654127 B2, МПК G02B 6/34, G01N 21/45, G01B 11/24, A61B 10/00, G01N 21/17, G02B 26/00, G01B 9/02, G01B 9/023, G02F 1/11, G02B 26/10, опубл. 25.11.2003 г., известно устройство оптической линии задержки, предназначенное для применения преимущественно в когерентной оптической рефлектометрии во временной области и оптической когерентной томографии, включающее в себя множество оптических элементов находящихся в оптической связи друг с другом, в котором: по меньшей мере, один из множества оптических элементов способен пространственно разделять световые волны, т.е. обеспечивать пространственную дисперсию оптического сигнала; по меньшей мере, один из множества оптических элементов можно регулировать, т.е. влиять на фазовую и групповую задержку оптического сигнала; по меньшей мере, один из множества оптических элементов компенсирует дисперсию широкого спектра источника излучения, по меньшей мере, одного из оптических элементов пространственно разделяющих световые волны. Техническим результатом использования устройства является обеспечение регулируемой временной задержки оптического излучения.According to the patent US 6654127 B2, IPC G02B 6/34, G01N 21/45, G01B 11/24, A61B 10/00, G01N 21/17, G02B 26/00, G01B 9/02, G01B 9/023, G02F 1 / 11, G02B 26/10, publ. 11/25/2003, the device of the optical delay line is known, intended for use mainly in coherent optical reflectometry in the time domain and optical coherence tomography, including many optical elements in optical communication with each other, in which: at least one of the many optical elements is able to spatially separate light waves, i.e. provide spatial dispersion of the optical signal; at least one of the plurality of optical elements can be adjusted, i.e. affect the phase and group delay of the optical signal; at least one of the plurality of optical elements compensates for the dispersion of a wide spectrum of the radiation source of at least one of the optical elements spatially separating light waves. The technical result of using the device is to provide an adjustable time delay of optical radiation.

Недостатком данного устройства является невысокое пространственное разрешение, вызванное недостаточной фокусировкой излучения обратно в острие (торец) оптического волокна, приводящей в свою очередь к неполному восстановлению коллимированного излучения и соответственно потере части полезного сигнала.The disadvantage of this device is the low spatial resolution caused by insufficient focusing of radiation back to the tip (end) of the optical fiber, which in turn leads to incomplete restoration of collimated radiation and, accordingly, loss of a portion of the useful signal.

По патенту US 20090279171 A1, МПК A61B 5/00, G11B 7/005, A61B 3/12, G11B 7/085, G01B 11/02, G01B 11/00, G11B 7/24, G01B 11/12, G11B 7/125, G11B 7/135, G01J 1/00, H01S 5/14, G11B 7/00, G01N 21/47, G01B 9/02, G02B 27/44, G01B 11/24, A61B 5/103, G02B 5/18, A61B 3/10, опубл. 12.11.2009 г., известно устройство оптической линии задержки, универсальной для различных оптических систем, в которой в одном варианте на протяжении оптического пути (от оптического входа до оптического выхода) свет последовательно ортогонально отражается первой, второй и третьей отражающим поверхностям линейно подвижной секции и выходит через часть секции в направлении противоположном его изначальному направлению. В другом варианте используется более сложная маршрутизация излучения: свет последовательно ортогонально отражается первой, второй и третьей отражающим поверхностям линейно подвижной секции и с помощью вспомогательной подвижной секции, расположенной примерно параллельно по отношению, по меньшей мере, либо к оптическому входу, либо к оптическому выходу, выходит в направлении противоположном направлению его прибытия. Техническим результатом использования устройства является обеспечение регулируемой по времени задержки оптического излучения.According to patent US 20090279171 A1, IPC A61B 5/00, G11B 7/005, A61B 3/12, G11B 7/085, G01B 11/02, G01B 11/00, G11B 7/24, G01B 11/12, G11B 7 / 125, G11B 7/135, G01J 1/00, H01S 5/14, G11B 7/00, G01N 21/47, G01B 9/02, G02B 27/44, G01B 11/24, A61B 5/103, G02B 5 / 18, A61B 3/10, publ. 11/12/2009, it is known that an optical delay line device is universal for various optical systems, in which in one embodiment, along the optical path (from the optical input to the optical output), the light is sequentially orthogonally reflected by the first, second and third reflective surfaces of the linearly movable section and exits through part of the section in the direction opposite to its original direction. In another embodiment, a more complex radiation routing is used: the light is sequentially orthogonally reflected by the first, second and third reflective surfaces of the linearly movable section and by means of an auxiliary movable section located approximately parallel with respect to at least either the optical input or the optical output, goes in the opposite direction of his arrival. The technical result of the use of the device is the provision of a time-controlled delay of optical radiation.

Недостатками данного устройства является невозможность компенсации дисперсии и разделения фазовой и групповой задержки, а также не высокое пространственное разрешение, вызванное разделением оптического входа и оптического выхода.The disadvantages of this device is the inability to compensate for the dispersion and separation of the phase and group delay, as well as the low spatial resolution caused by the separation of the optical input and optical output.

Ближайшим аналогом (прототипом) разработанной полезной модели является устройство сканирующей оптической линии задержки (патент US 6111645 А, МПК A61B 5/00, G11B 7/005, A61B 3/12, G11B 7/085, G01B 11/02, G01B 11/00, G11B 7/24, G01B 11/12, G11B 7/125, G11B 7/135, G01J 1/00, H01S 5/14, G11B 7/00, G01N 21/47, G01B 9/02, G02B 27/44, G01B 11/24, A61B 5/103, G02B 5/18, A61B 3/10, опубл. 29.08.2000 г.) для оптической интерферометрии, в том числе оптической когерентной томографии, в котором временная задержка оптического излучения достигается с помощью дифракционных оптических элементов в сочетании с элементами для формирования изображений. В одном варианте осуществления дифракционная решетка разлагает по частотам или длинам волн доставленный с помощью оптического волокна и коллимированный с помощью линзы световой пучок. Зеркало, помещенное на фокусное расстояние от фокусирующей линзы, и дифракционная решетка с переменными плотностью штрихов, углом блеска, а также углом общего наклона решетки и/или углом наклона зеркала производят изменение групповой и фазовой задержки. В других вариантах осуществления это устройство позволяет выполнять сканирование с задержкой по времени без использования подвижных частей. Техническим результатом использования устройства является обеспечение регулируемой групповой и фазовой задержки для каждой позиции при угловом движении сканирующего зеркала.The closest analogue (prototype) of the developed utility model is a scanning optical delay line device (patent US 6111645 A, IPC A61B 5/00, G11B 7/005, A61B 3/12, G11B 7/085, G01B 11/02, G01B 11/00 , G11B 7/24, G01B 11/12, G11B 7/125, G11B 7/135, G01J 1/00, H01S 5/14, G11B 7/00, G01N 21/47, G01B 9/02, G02B 27/44 , G01B 11/24, A61B 5/103, G02B 5/18, A61B 3/10, publ. 08/29/2000) for optical interferometry, including optical coherence tomography, in which the time delay of optical radiation is achieved using diffraction optical elements in combination with elements for forming images. In one embodiment, the diffraction grating decomposes in terms of frequency or wavelength delivered by an optical fiber and collimated by a lens light beam. A mirror placed at the focal length from the focusing lens and a diffraction grating with variable stroke density, gloss angle, and also the angle of the overall tilt of the grating and / or the angle of tilt of the mirror produce a change in the group and phase delay. In other embodiments, the implementation of this device allows you to scan with a time delay without using moving parts. The technical result of using the device is to provide an adjustable group and phase delay for each position during the angular movement of the scanning mirror.

Недостатком данного устройства также является невысокое пространственное разрешение, вызванное недостаточной фокусировкой излучения обратно в острие оптического волокна.The disadvantage of this device is also the low spatial resolution caused by insufficient focusing of radiation back to the tip of the optical fiber.

Технической задачей полезной модели является повышение пространственного разрешения сканирования по глубине, за счет организации более эффективной фокусировки излучения в острие оптического волокна, приводящей к лучшему восстановлению коллимированного излучения и соответственно снижающей потери полезного сигнала.The technical task of the utility model is to increase the spatial resolution of scanning in depth, by organizing a more efficient focusing of radiation at the tip of the optical fiber, leading to better recovery of collimated radiation and, accordingly, reducing the loss of the useful signal.

Поставленная техническая задача достигается тем, что в устройстве сканирующего опорного плеча оптического когерентного томографа, так же, как и в устройстве, которое является ближайшим аналогом, содержатся одномодовый световод, являющийся единственным входом и выходом для излучения, оптически связанные с ним линза-коллиматор, дифракционная решетка с регулируемым углом наклона, сканирующее зеркало с регулируемым углом наклона и зеркало двойного прохода.The stated technical problem is achieved by the fact that the device of the scanning support arm of the optical coherent tomograph, as well as the device, which is the closest analogue, contains a single-mode fiber, which is the only input and output for radiation, an optical diffraction lens, a collimator lens tilt grille, scan tilt mirror and double pass mirror.

Новым в разработанном устройстве сканирующего опорного плеча оптического когерентного томографа является то, что линза-коллиматор жестко сочленена с зеркалом двойного прохода, так чтобы сохранять его взаимную перпендикулярность с торцом оптически связанного с линзой-коллиматором одномодового световода, при этом используется фокусирующая дихроичная линза, причем сканирующее зеркало помещено на фокусное расстояние от нее.A novel feature in the developed device of the scanning support arm of an optical coherent tomograph is that the collimator lens is rigidly articulated with a double-pass mirror so as to maintain its mutual perpendicularity with the end face of a single-mode fiber optically coupled to the collimator lens, and a focusing dichroic lens is used, the scanning the mirror is placed at the focal length from it.

На фиг.1 представлена схема реализации разработанного устройства сканирующего опорного плеча оптического когерентного томографа в соответствии с формулой полезной модели.Figure 1 presents the implementation diagram of the developed device scanning reference arm of an optical coherent tomograph in accordance with the formula of the utility model.

Принцип работы устройства по фиг.1. следующий. Из одномодового световода излучение поступает на линзу-коллиматор, с ее помощью оно преобразуется в параллельные лучи и попадает на дифракционную решетку, где происходит их разложение. Затем лучи фокусируются краем фокусирующей дихроичной линзы и далее попадают на сканирующее зеркало (или на зеркало гальвано-сканера). Отразившись от него, они проходят через центр линзы, опять разлагаются на дифракционной решетке и поступают на зеркало двойного прохода, отразившись от которого излучение фокусируется, и возвращаются практически по тому же пути (в пределах погрешности) в острие световода. Возможность варьировать углами наклона дифракционной решетки (угол α) и сканирующего зеркала (угол β) позволяет эффективно регулировать процессы фокусировки и сканирования.The principle of operation of the device of figure 1. following. From a single-mode fiber, the radiation enters the collimator lens, with its help it is converted into parallel rays and gets on the diffraction grating, where they decompose. Then the rays are focused by the edge of the focusing dichroic lens and then fall on the scanning mirror (or on the mirror of the galvanic scanner). Reflected from it, they pass through the center of the lens, again decompose on the diffraction grating and enter a double-pass mirror, reflected from which the radiation is focused, and return almost along the same path (within the error) to the tip of the fiber. The ability to vary the angles of inclination of the diffraction grating (angle α) and the scanning mirror (angle β) allows you to effectively adjust the focusing and scanning processes.

Наиболее важной отличительной особенностью предложенной полезной модели является то, что после разложения излучения в спектр дифракционной решеткой оно попадет на край фокусирующей дихроичной линзы, который по своим оптическим свойствам во многом схож с усеченной призмой, вследствие чего лучи света, падающие туда, очень эффективно собираются в точку фокуса линзы (именно там располагается сканирующее зеркало), т.е. фокусирующая дихроичная линза ведет себя так же, как и обычная двояковыпуклая линза. Но, фокусирующая дихроичная линза имеет свойство фокусировать более широкий спектр излучения источников света, чем обычная фокусирующая линза, а значит лучше подходит для нужд оптической когерентной томографии, где, как правило, используются широкополосные источники излучения.The most important distinguishing feature of the proposed utility model is that after the radiation is decomposed into a spectrum by a diffraction grating, it will fall on the edge of a focusing dichroic lens, which in its optical properties is largely similar to a truncated prism, as a result of which light rays incident there are very efficiently collected the focus point of the lens (this is where the scanning mirror is located), i.e. a focusing dichroic lens behaves the same as a conventional biconvex lens. But, a focusing dichroic lens has the property of focusing a wider spectrum of radiation from light sources than a conventional focusing lens, and therefore is better suited to the needs of optical coherent tomography, where, as a rule, broadband radiation sources are used.

Другой заявленной отличительной особенностью является жесткое сочленение линзы-коллиматора и зеркала двойного прохода. Оно объясняется геометрией оптических связей между структурными элементами предложенной полезной модели, и позволяет сохранять взаимную перпендикулярность зеркала двойного прохода и торца оптически связанного с линзой-коллиматором одномодового световода, а значит упростить фокусировку излучения в торец этого световода и последующее восстановление коллимированного излучения.Another claimed distinctive feature is the rigid articulation of the collimator lens and the double-pass mirror. It is explained by the geometry of the optical bonds between the structural elements of the proposed utility model, and allows one to preserve the mutual perpendicularity of the double-pass mirror and the end face of a single-mode fiber optically coupled to the collimator lens, and thus simplify the focusing of radiation at the end of this fiber and the subsequent restoration of collimated radiation.

В конкретной реализации разработанного устройства сканирующего опорного плеча оптического когерентного томографа в качестве одномодового световода был использован метровый одномодовый световод P3-980A-FC-1 (970-1650 нм, FC/APC). В качестве линзы-коллиматора был использован коллиматор F220APC-1064 (1064 нм, FC/APC). В качестве дифракционной решетки была использована дифракционная решетка GTI25-03A (300 штрихов/мм, угол блеска 31.7°). Вместо сканирующего зеркала был использован 1D гальвано-сканер GVS001 (400-2000 нм, зеркало с серебряным напылением, угол сканирования ±12.5). Фокусирующая дихроичная линза была склеена из дихроичного фильтра DMLP900 (диаметр 25.4 мм, полоса пропускания 932-1300 нм) и двояковыпуклой линзы LB1757-C (диаметр 25.4 мм, фокусное расстояние 30 мм). Все комплектующие производства фирмы «Thorlabs» (США).In a specific implementation of the developed device of the scanning support arm of an optical coherent tomograph, a meter single-mode fiber P3-980A-FC-1 (970-1650 nm, FC / APC) was used as a single-mode fiber. The F220APC-1064 collimator (1064 nm, FC / APC) was used as a collimator lens. As a diffraction grating, a GTI25-03A diffraction grating was used (300 lines / mm, brightness angle 31.7 °). Instead of a scanning mirror, a 1D galvanic scanner GVS001 was used (400-2000 nm, silver coated mirror, scanning angle ± 12.5). The focusing dichroic lens was glued from a DMLP900 dichroic filter (diameter 25.4 mm, passband 932-1300 nm) and a biconvex lens LB1757-C (diameter 25.4 mm, focal length 30 mm). All components manufactured by Thorlabs (USA).

Таким образом, использование фокусирующей дихроичной линзы, в сочетании с жестким сочленением линзы-коллиматора и зеркала двойного прохода, а также особым взаимным расположением фокусирующей дихроичной линзы и сканирующего зеркала позволяет эффективно фокусировать и возвращать широкополосное излучение по тому же оптическому пути, по которому оно изначально пришло. В конкретной реализации погрешность не превышала 1 микрона. Поскольку одномодовый световод P3-980A-FC-1 имеет диаметр сердечника - 5.8 микрон, погрешность не более 1 микрона является приемлемой и позволяет организовать эффективную фокусировку в торец оптического волокна (и последующее восстановление коллимированного излучения), а значит снизить потери полезного сигнала и тем самым повысить пространственное разрешение сканирования по глубине.Thus, the use of a focusing dichroic lens, in combination with a rigid joint of a collimator lens and a double-pass mirror, as well as a special mutual arrangement of the focusing dichroic lens and a scanning mirror, allows one to efficiently focus and return broadband radiation along the same optical path along which it originally came . In a specific implementation, the error did not exceed 1 micron. Since the P3-980A-FC-1 single-mode fiber has a core diameter of 5.8 microns, an error of no more than 1 micron is acceptable and allows one to organize effective focusing at the end of the optical fiber (and subsequent restoration of collimated radiation), which means reducing the loss of the useful signal and thereby increase spatial resolution of scanning in depth.

Предлагаемое устройство сканирующего опорного плеча может быть использовано как в оптической когерентной томографии и когерентной оптической рефлектометрии во временной области, так и в оптической интерферометрии в целом.The proposed device of the scanning support arm can be used both in optical coherence tomography and coherent optical reflectometry in the time domain, and in optical interferometry as a whole.

Claims (1)

Устройство сканирующего опорного плеча оптического когерентного томографа, содержащее одномодовый световод, являющийся единственным входом и выходом для излучения, оптически связанные с ним линзу-коллиматор, дифракционную решетку с регулируемым углом наклона, сканирующее зеркало с регулируемым углом наклона и зеркало двойного прохода, отличающееся тем, что линза-коллиматор вмонтирована в зеркало двойного прохода, так чтобы сохранять его взаимную перпендикулярность с торцом оптически связанного с линзой-коллиматором одномодового световода, при этом используется фокусирующая дихроичная линза, причем сканирующее зеркало помещено на фокусное расстояние от нее.
Figure 00000001
A scanning support arm of an optical coherent tomograph containing a single-mode optical fiber, which is the only input and output for radiation, an optically coupled collimator lens, a diffraction grating with an adjustable angle of inclination, a scanning mirror with an adjustable angle of inclination, and a double-pass mirror, characterized in that the collimator lens is mounted in a double-pass mirror so as to maintain its mutual perpendicularity with the end face of a single-mode optically coupled to a collimator lens etovoda, using the dichroic focusing lens, wherein the scanning mirror is placed on the focal length from it.
Figure 00000001
RU2013152707/28U 2013-11-27 2013-11-27 DEVICE FOR SCANNING SUPPORT SHOULDER OF OPTICAL COORENT TOMOGRAPH RU147266U1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013152707/28U RU147266U1 (en) 2013-11-27 2013-11-27 DEVICE FOR SCANNING SUPPORT SHOULDER OF OPTICAL COORENT TOMOGRAPH

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013152707/28U RU147266U1 (en) 2013-11-27 2013-11-27 DEVICE FOR SCANNING SUPPORT SHOULDER OF OPTICAL COORENT TOMOGRAPH

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU147266U1 true RU147266U1 (en) 2014-10-27

Family

ID=53384404

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013152707/28U RU147266U1 (en) 2013-11-27 2013-11-27 DEVICE FOR SCANNING SUPPORT SHOULDER OF OPTICAL COORENT TOMOGRAPH

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU147266U1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101869466B (en) Confocal scanning and optical coherence tomograph based on self-adaptive optical technology
JP4734502B2 (en) Optical measurement system and optical measurement method
CN106441571B (en) A kind of light source module and the line scanning multi-optical spectrum imaging system using it
CN101884524B (en) Wide view field optical coherence tomographic instrument based on adaptive optical technology
KR102403875B1 (en) A retinal imaging system that scans with a confocal light beam
AU2003207507A1 (en) Apparatus for oct imaging with axial line focus for improved resolution and depth of field
JP4151159B2 (en) Medium measuring device
CN102841083A (en) Method and system of laser scanning phase-microscope imaging
US20140125951A1 (en) Optical coherence tomography device and optical cohrence tomography method
CN102499648A (en) Spectral-domain optical coherence tomography imaging system based on Fresnel spectrometer
CN102519573A (en) Remote non-contact vibration measuring device
CN102499635A (en) Line scanning-based fundus retina multispectral imaging system and method
CN103307969B (en) White light-interference measuring apparatus
KR20120072757A (en) Endoscopic spectral domain optical coherence tomography system based on optical coherent fiber bundle
JP2018200468A (en) Optical system for light collection
CN104224117A (en) Spectrally encoded confocal and optical coherence tomography cooperative imaging method and system
KR102043881B1 (en) Inspection apparatus for hign speed and large area
CN112729135B (en) Area array frequency sweep distance measuring/thickness measuring device and method with active optical anti-shake function
CN103845039B (en) For the spectrogrph of frequency domain OCT system
CN206248212U (en) A kind of light source module and the line scanning multi-optical spectrum imaging system using it
CN211014821U (en) Microscope
CN203828901U (en) Spectrometer for frequency domain OCT system
RU147266U1 (en) DEVICE FOR SCANNING SUPPORT SHOULDER OF OPTICAL COORENT TOMOGRAPH
RU2579640C1 (en) Confocal image spectrum analyser
TW201303263A (en) Optical tomography system

Legal Events

Date Code Title Description
MM1K Utility model has become invalid (non-payment of fees)

Effective date: 20141128