NL8600697A - Beeldweergeefinrichting en een methode voor de vervaardiging ervan. - Google Patents

Description

PHN 11.687 1 N. V. Philips' Gloeilampenfabrieken te Eindhoven

Beeldweergeefinrichting en een methode voor de vervaardiging ervan.

De uitvinding heeft betrekking op een passieve beeldweer-geefinrichting met een transparante zichtsteunplaat en een op enige afstand parallel verlopende tweede steunplaat en met een aantal beeldweergeefelementen voor het besturen van de reflektie of transmissie 5 van licht die elk tenminste één met de tweede steunplaat verbonden vaste elektrode bevatten alsmede een met de tweede steunplaat verbonden, tussen de steunplaten beweegbare electrode, welke electrode van openingen en verende elementen is voorzien.

Onder een passieve weergeefinrichting wordt verstaan een 10 beeldweergeefinrichting waarvan de weergeefelementen zelf geen licht produceren maar het omgevingslicht zodanig reflecteren of doorlaten dat een beeld wordt verkregen.

Een passieve weergeefinrichting van het bovenvermelde electrostatische type is bekend uit bijvoorbeeld de op 1 maart 1977 15 gepubliceerde Nederlandse octrooiaanvrage nr. 7510103 (PHN 8119) ten name van Aanvrager.

In de bekende beeldweergeefinrichting is in de rusttoestand, d.i. de toestand waarbij op de beweegbare electrode geen electrostatische krachten worden uitgeoefend, de afstand tussen de 20 tweede steunplaat en de beweegbare electrode zeer gering, bijvoorbeeld O, 1 - 0,3 /urn. De beweegbare electrode ligt dus nagenoeg aan tegen de tweede steunplaat. Door aan de elektroden spanningspulsen toe te voegen worden electrostatische krachten opgewekt die de beweegbare electrode vanuit de rustpositie naar een tweede stabiele positie brengen waarbij 25 de beweegbare electrode aanligt tegen de dielectrische laag van een met de zichtsteunplaat verbonden vaste transparante electrode.

De beweegbare electrode wordt volgens de voornoemde Nederlandse octrooiaanvrage vervaardigd door de tweede (onderste) steunplaat te voorzien van een electrode die afgedekt wordt met 30 een laagje van een dielectrisch materiaal. Hierop wordt een Al laag van +0,2 ^um aangebracht en daarop een Ni laag. In de Ni laag worden verende elementen alsmede gaatjes geëtst volgens de gangbare >· · 6 :i t PHN 11.687 2 etstechnieken. Hierbij wordt een op de Ni laag aangebrachte laag van een fotoresist belicht via een masker dat het gewenste patroon bevat. De belichte fotoresist laag wordt ontwikkeld en de daaronder vrijgekomen delen van de Ni laag weggeëtst met een etsvloeistof zoals salpeterzuur 5 dat de Ni laag aantast doch geen invloed heeft op de onder de Ni laag aanwezige laag van Al. Vervolgens wordt geëtst met kaliloog dat de Ni laag niet aantast maar wel de Al laag. Door de zogenaamde onderetsing wordt de Al laag verwijderd met uitzondering van enige restanten Al. Via deze resterende Al-kolommen die een hoogte van 0,2 ƒurn hebben is de 10 beweegbare Ni-elektrode verbonden met de tweede steunplaat.

De bovenbeschreven bekende beeldweergeefinrichting heeft onder meer de volgende bezwaren.

Bij schakelen van een beeldweergeefelement waarbij de beweegbare electrode naar de zichtsteunplaat wordt verplaatst gaan de 15 zogenaamde bondplaten niet mee. De bondplaten zijn de tussen de verende elementen gelegen delen van de beweegbare electrode die verbonden zijn met de hierboven beschreven Al kolommen. Indien het beeldweergeefelement gevuld is met een kontrasterende vloeistof van bijvoorbeeld een blauwe kleur terwijl de beweegbare electrode wit reflecteert, zal in voornoemde 20 situatie het witte beeld blauwe stippen bevatten veroorzaakt door de boven de bondplaten aanwezige blauwe vloeistof.

Een tweede bezwaar is dat de bovenste steunplaat (zichtsteunplaat) die langs de randen steunt op een tussen eerste en tweede steunplaat aangebrachte “spacer", in het middendeel doorzakt waardoor de 25 beide steunplaten niet meer parallel lopen hetgeen de beeldkwaliteit niet ten goede komt. Ook ontstaan daardoor aansturingsproblemen.

Het voormelde bekende vervaardigingsproces voor de beweegbare electrode heeft het bezwaar dat bij het onderetsen van de Al laag, enige etsrechten achterblijven. Deze resten zijn electrisch geleidend en 30 kunnen aanleiding geven tot ongewenste electrische contacten tussen de verschillende beeldweergeefelementen. Ook kunnen Al resten binnendringen in de poriën van het dielectrischlaagje, zoals een S1O2 laagje dat de vaste electrode afdekt. Hierdoor kan kortsluiting ontstaan tussen de beweegbare electrode en de met de tweede steunplaat verbonden vaste 35 electrode.

Een ander bezwaar is dat als gevolg van zijwaartse etsing, de verende elementen van de beweegbare electrode en de gaatjes P; ; PHN 11.687 3 van deze electrode in aparte processen aangebracht moeten worden. Dit geldt vooral indien de beweegbare Ni-electrode is afgedekt met een Ag laagje.

De uitvinding beoogt een beeldweergeefinrichting en een 5 methode voor de vervaardiging ervan te verschaffen die voormelde bezwaren niet hebben.

Volgens de uitvinding wordt dit doel bereikt met een beeldweergeefinrichting van het in de aanhef genoemde type die hierdoor is gekenmerkt dat op de tweede steunplaat stutten van polymeer 10 materiaal zijn aangebracht die zich tot op korte afstand van de zichtsteunplaat uitstrekken, waarbij de beweegbare elektrode steunt op en verbonden is met de van de tweede steunplaat afgekeerde uiteinden van de stutten en daarbij aanligt of nagenoeg aanligt tegen de zichtsteunplaat .

15 De beeldweergeefinrichting volgens de uitvinding biedt het voordeel dat de zichtsteunplaat ondersteund wordt door de gelijkmatig over het oppervlak verdeelde stutten en daardoor geheel vlak blijft. Een ander voordeel is dat in de onbekrachtigde toestand (rusttoestand) de gehele beweegbare electrode dus ook de tussen de 20 verende elementen gelegen bondplaten die verbonden zijn met en ondersteund worden door de stutten, aanligt tegen de zichtsteunplaat. Hierdoor wordt in de rusttoestand een zeer egaal beeld verkregen.

In een gunstige uitvoeringsvorm is de beweegbare electrode vervaardigd uit Al. Vooral indien het Al is opgeruwd wordt bij 25 reflectie van licht, een helder wit beeld verkregen. Bovendien kan Al gemakkelijk door een opdamp- of sputterproces hechtend worden aangebracht op een polymeer.

In een verdere gunstige uitvoeringsvorm is de beweegbare electrode van Al aan beide hoofdoppervlakken voorzien van een laagje 30 van een dielectricum, in het bijzonder een laagje van Si02- Hierdoor wordt de helderheid van het beeld versterkt en in een extra maatregel ingebouwd om kortsluiting te voorkomen.

In een zeer interessante uitvoeringsvorm van de beeldweergeefinrichting volgens de uitvinding is de beweegbare electrode 35 vervaardigd uit Ag of afgedekt met een laagje Ag en is (zijn) de vaste electrode(n) voorzien van een dielectrisch laagje van polyimide.

Met deze belangrijke uitvoeringsvorm wordt bereikt dat •. ΰ PHN 11.687 4 geen electrische lading zich ophoopt in of op de dielectrische laagjes, tijdens het gebruik van de beeldweergeefinrichting. In dit verband wordt opgemerkt dat de ophoping (verzameling) van electrische lading op de dielectrische laagjes op zich een probleem is bij passieve 5 beeldweergeefinrichtingen. Deze oplading heeft de volgende oorzaak. Door het aangelegde electrische veld ontstaan extra ionen in de display-vloeistof, hetzij door injectie vanuit de metalen beweegbare electroden hetzij door velddissociatie van moleculen. Deze ionen worden onder invloed van het aangelegde electrische veld naar de dielectrische 10 laagjes van de vaste electroden verplaatst en aldaar aan het oppervlak geadsorbeerd. De hoeveelheid geadsorbeerde ionen neemt toe in de tijd, ook wanneer er een wisselspanning gebruikt wordt voor de aansturing. Opgehoopte lading op de dielectrische laagjes van de vaste electroden geeft een tegenwerkende kracht bij gebruik van het display 15 (beeldweergeefinrichting) waardoor het display slechter functioneert.

In de boven beschreven uitvoeringsvorm van een beeldweergeefinrichting volgens de uitvinding treedt geen blijvende electrische oplading op. Uit metingen is vastgesteld dat de ionen die bij het grensvlak Ag/vloeistof worden gevormd niet aan het polyimide 20 adsorberen. Bij aansturing met een blokvormige wisselspanning treden de volgende verschijnselen op. Als het Ag positief is worden er in geringe mate positieve ionen in de vloeistof geïnjecteerd die onmiddellijk door het electrische veld naar het polyimide worden getransporteerd. De transporttijd is gering ten opzichte van de schakelperiodetijd. Na een 25 halve periode wordt de spanning omgepoold. Daar de ionen niet geadsorbeerd zijn aan het polyimide worden deze met een grote snelheid teruggestuurd naar het Ag oppervlak waar ze worden geneutraliseerd. Dus extractie van ionen uit de vloeistof. In de volgende periode gebeurt precies hetzelfde, dus langzame injectie van ionen bij een positief 30 geladen Ag oppervlak en daarna een snelle en volledige extractie van ionen uit de vloeistof bij een negatief geladen Ag oppervlak.

De stutten kunnen uit een willekeurig polymeer materiaal, hetzij een plastische hetzij een geharde (verknoopte) kunststof zijn vervaardigd. Bij voorkeur zijn de stutten vervaardigd uit een 35 polyacrylaat kunststof, een polymethacrylaat kunststof, polycarbonaat kunststof of een polyimide kunststof.

In elk beeldelement van de beeldweergeefinrichting )6¾3 J- .* PHN 11.687 5 volgens de uitvinding kan de beweegbare electrode tussen twee stabiele posities worden verplaatst. In de ene stabiele positie, ook wel rustpositie of onbekrachtigde positie genoemd, ligt de beweegbare electrode aan tegen de zichtsteunplaat. In de andere stabiele positie 5 ligt de beweegbare electrode tegen de met de tweede steunplaat verbonden vaste electrode. Als gevolg van deze verplaatsing kan de transmissie of reflectie van opvallend licht gestuurd worden.

De verplaatsing van de beweegbare electrode vindt plaats onder invloed van electrostatische krachten, eventueel gecombineerd met 10 veerkrachten. Deze laatste krachten ontstaan in de veerelementen waarmede de beweegbare electrode verbonden is met de stutten. De beeldweergeefinrichting volgens de uitvinding kan op twee manieren zijn uitgevoerd. In een eerste uitvoeringsvorm is niet alleen de tweede steunplaat maar ook de zichtsteunplaat voorzien van een vaste 15 electrode. De electrode van de zichtsteunplaat moet transparant zijn en is bijvoorbeeld vervaardigd uit ITO (indium-tin oxyde). De beweegbare electrode beweegt zich dus tussen de twee vaste electroden uitsluitend onder invloed van electrostatische krachten. De veerkrachten zijn te verwaarlozen.

20 In de tweede uitvoeringsvorm wordt de beweegbare electrode door electrostatische krachten verplaatst vanuit de rustpositie bij de zichtsteunplaat naar de van een vaste electrode voorziene tweede steunplaat. De in de veerelementen ontstane veerkrachten worden gebruikt om de beweegbare electrode weer in de 25 beginpositie (rustpositie) terug te brengen. De zichtsteunplaat behoeft niet voorzien te zijn van een vaste electrode. In beide uitvoeringsvormen wordt kortsluiting tussen de beweegbare electrode en de vaste electrode(n) voorkomen door een electrisch isolerende laag. Deze kan op het oppervlak van de vaste electrode(n) zijn aangebracht, op de 30 oppervlakken van de beweegbare electrode of op de oppervlakken van zowel de vaste als de beweegbare electroden. Een geschikte electrisch isolerende laag is een laag Si02-

De weergeefinrichting is zowel geschikt voor het werken in de reflectie-mode als in de transmissie-mode. Bij het werken in de 35 reflectie-mode is de weergeefinrichting gevuld met een vloeistof waarvan de kleur kontrasteert met de kleur van het oppervlak van de beweegbare electrode, dat naar het op de weergeefinrichting vallende licht is " is ^ y *·' t; . / J \J * PHN 11.687 6 gekeerd. Afhankelijk van in welke stabiele positie de beweegbare electrode zich bevindt zal voor de waarnemer het betreffende beeldelement de kleur van het oppervlak van de beweegbare electrode of de kleur van de kontrasterende vloeistof aannemen. Aldus kan met de beeld-5 elementen een beeld worden opgebouwd.

Bij het werken in de transmissie-mode vormt elk weergeef-element een bestuurbare lichtsluiter. De constructie is daarbij bijvoorbeeld zodanig dat de beweegbare electrode van een patroon van lichtdoor-latende gebieden is voorzien en dat de vaste electrode op één van de 10 steunplaten is voorzien van een patroon van lichtdoorlatende gebieden dat het negatief is van dat van de beweegbare electrode. Geen licht wordt doorgelaten als beide electroden nagenoeg in één vlak liggen.

Bij gebruik van de weergeefinrichting, bijvoorbeeld een weergeefinrichting met een drie-electroden systeem, worden aan de vaste 15 electroden d.w.z. de vaste boven-electrode en de vaste beneden-electrode spanningspulsen van respectievelijk +V en -V toegevoerd, terwijl aan de beweegbare electrode gelijktijdig een variabele spanningspuls Vg wordt toegevoerd. Indien de spanning op de beweegbare electrode omstreeks -V bedraagt zal de beweegbare electrode door de vaste beneden-electrode 20 worden afgestoten en worden aangetrokken door de vaste boven-electrode. De beweegbare electrode zal dan aanliggen tegen de vaste boven-electrode. Wordt aan de beweegbare electrode een spanning in de buurt van +V toegevoerd, dan zal de beweegbare electrode zich verplaatsen van de vaste boven-electrode naar de vaste beneden-electrode.

25 De uitvinding heeft voorts betrekking op een methode voor de vervaardiging van een passieve beeldweergeefinrichting waarbij een grondsteunplaat aan één zijde wordt voorzien van een elektrode die afgedekt wordt met een laagje van een dielectrisch materiaal, hierop achtereenvolgens een laag van een polymeer, een laag Al of Ag, een 30 fotoresistlaag en een masker dat voorzien is van openingen wordt aangebracht, de fotoresist laag via het masker wordt belicht en ontwikkeld, de laag Al of Ag wordt geëtst waarbij in deze laag een patroon van openingen wordt gevormd die overeenkomt met die van het masker, welk patroon lipvormige elementen bevat en daartussen gelegen 35 bondplaten, via de openingen in de Al of Ag laag het polymeer wordt geëtst met behulp van een gasplasma, waarbij onder de bondplaten stutten van polymeer materiaal worden gevormd en de rest van het p^ q 7 * · ·* iy « PHN 11.687 7 polymeer materiaal wordt weggeëtst en vervolgens de Al of Ag laag wordt afgedekt met een transparante zichtsteunplaat.

De methode volgens de uitvinding biedt in vergelijk met de eerder beschreven bekende methode het voordeel dat door de toepassing 5 van een polymeer en van een gasplasma als etsmiddel geen kortsluiting in de beeldweergeefinrichting ontstaat tussen de verschillende delen van de beweegbare electrode en tussen de vaste en beweegbare electrode. Een verder voordeel is dat de beweegbare Al of Ag electrode in z'n geheel, dus voorzien van gaten en verende elementen, in één bewerking 10 vervaardigd kan worden. Andere gunstige aspecten van de methode volgens de uitvinding zijn dat de Al of Ag laag goed hecht op de polymeerlaag, dat de polymeerlaag ongevoelig is voor het etsmiddel van de Al of Ag laag en dat anderszins het gasplasma voor etsing van het polymeer geen desastreus effect heeft op met name de Al laag.

15 In een voorkeursvorm van de methode volgens de uitvinding wordt de polymeerlaag geëtst met een zuurstof plasma. In dat geval verdient het de voorkeur om als electrodemateriaal Al te kiezen. Ag is wat gevoeliger voor een O2 plasma. Bij toepassing van Ag kan beter een H2 plasma worden toegepast voor de etsing van de polymeerlaag.

20 In een gunstige uitvoeringsvorm van de methode volgens de uitvinding wordt een polymeerlaag toegepast waarvan het van de grondsteunplaat afgekeerde oppervlak een ruwe textuur heeft.

Hiermede wordt bereikt dat de op de polymeerlaag opgedampte of gesputterde laag van Al of Ag aan beide oppervlakken zulk 25 een ruwe textuur heeft en dus ook de uiteindelijk verkregen beweegbare electrode ruwe oppervlakken bezit. Dit biedt het voordeel dat de adhesie tussen een oppervlak van de beweegbare electrode en een vaste electrode minder is en dus de electrostatische krachten om de beweegbare electrode vanuit de ene stabiele positie naar de andere stabiele positie te ver-30 plaatsen, minder groot zijn.

Bij voorkeur wordt het ruwe oppervlak van de polymeerlaag verkregen door de grondsteunplaat waarop de vaste electrode en een dielectrisch materiaal zijn aangebracht, te voorzien van een laagje van een vloeibare, hardbare kunststofsamenstelling, het geheel tegen een 35 matrijs te drukken waarvan het oppervlak een textuur heeft die het negatief is van de gewenste textuur van de polymeerlaag, vervolgens de kunststofsamenstelling te harden en de matrijs te verwijderen.

^ ' / *** u PHN 11.687 8

Een geschikte kunststofsamenstelling is een met U.V. licht hardbare samenstelling van mono-, di-, tri- en/of tetra-acrylaten.

In een verdere gunstige uitvoeringsvorm van de methode volgens de uitvinding wordt bewerkstelligd dat bij het wegetsen 5 van de polymeer laag niet alleen de onder de bondplaten gelegen delen (stutten) behouden blijven maar ook de op de omtreksrand van de grondsteunplaat gelegen delen van de polymeerlaag zodat hierdoor een afdichtingsrand van polymeer materiaal tussen de grondsteunplaat en de zichtsteunplaat wordt gevormd.

10 De uitvinding wordt toegelicht met behulp van de tekening, waarbij figuur 1 een dwarsdoorsnede is van een beeldweergeef-inrichting volgens de uitvinding, figuur 2 een perspectivisch aanzicht is in gedeeltelijk 15 opengewerkte toestand van de inrichting volgens figuur 1, en figuur 3 in dwarsdoorsnede de vervaardiging van de beeld-weergeefinrichting toelicht.

In figuur 1 is met het verwijzingscijfer 1 een grondsteunplaat weergegeven die bijvoorbeeld uit glas, keramisch materiaal of 20 kunststof is vervaardigd. Grondsteunplaat 1 is voorzien van een aantal stripvormige vaste electroden 2 met een dikte van ongeveer 0,2 ƒurn. De electroden 2 zijn bijvoorbeeld uit ITO (indium-tin oxyde) vervaardigd.

De electroden 2 zijn afgedekt met een dielectrisch laagje 3 van bijvoorbeeld kwarts. De dikte van het dielectrisch laagje bedraagt 1-2 25 /um. Evenwijdig met grondsteunplaat 1 loopt de transparante zichtsteunplaat 4 die bijvoorbeeld uit glas of een transparante kunststof is vervaardigd. De beide steunplaten 1 en 4 zijn aan hun rand onderling verbonden door een zogenaamde spacer 5 die bijvoorbeeld vervaardigd is uit kunststof. Spacer 5 heeft tevens de functie van een afdichtelement 30 waardoor een afgesloten celruimte 6 ontstaat. Steunplaat 4 is aan het naar steunplaat 1 toegekeerde oppervlak voorzien van een vaste transparante electrode 7 die bijvoorbeeld vervaardigd is uit indiumoxyde. Electrode 7 is afgedekt met een dielectrisch laagje 8 van kwarts. De dikte van electrode 7 en laagje 8 is identiek aan de dikte 35 van respectievelijk electrode 2 en dielectrisch laagje 3.

Op dielectrisch laagje 3 staan stutten 9 van een polymeer (kunststof) zoals van een met licht of warmte verknoopte polyacrylaat - ' o J j PHN 11.687 9 kunststof. De stutten 9 vormen een ondersteuning voor de beweegbare electroden 10 die uit Al of Ag zijn vervaardigd. Indien de beweegbare electroden 10 uit Ag zijn vervaardigd of zijn afgedekt met een laagje Ag, verdient het de duidelijke voorkeur om de dielectrische laagjes 3 en 5 8 van respectievelijk de vaste electroden 2 en 7, te vervaardigen van polyimide. Electroden 10 zijn voorzien van openingen 11 en verende elementen 12 (zie figuur 2, waarin voor dezelfde onderdelen dezelfde verwijzingscijfers als in figuur 1 zijn toegepast). Het tussen de verende elementen 12 gelegen verbindingsdeel 13 van de beweegbare 10 electroden 10 wordt bondplaat genoemd. De stutten 9 ondersteunen de electroden 10 ter plaatse van de bondplaten 13 en zijn met hun uiteinden verbonden met de bondplaten 13. De beweegbare electroden 10 zijn door middel van de verende elementen 12 en bondplaten 13 in één richting doorverbonden en vormen stripvormige electroden, die de electroden 2 15 loodrecht kruisen. Indien de electroden 10 zijn vervaardigd uit Al verdient het de voorkeur beide oppervlakken van de electroden 10 te voorzien van een dielectrisch laagje van bijvoorbeeld Si02. In de rusttoestand zoals is weergegeven in figuur 1, liggen de electroden 10 tegen het dielectrisch laagje 8 van de vaste electrode 7. De ruimte 6 20 tussen de steunplaten 1 en 4 is gevuld met een ondoorzichtige, niet geleidende vloeistof waarvan de kleur contrasteert met de diffuus reflecterende kleur van de electroden 10. De vloeistof wordt bijvoorbeeld gevormd door een oplossing van sudan-zwart in tolueen. Door het aanleggen van spanningen op de electroden 2, 7 en 10 kunnen de 25 electroden 10 van de ene in de andere stabiele toestand worden gestuurd. Bevinden de electroden 10 zich tegen de dielectrische laag 8, dan wordt door de electroden 10 het omgevingslicht gereflecteerd. Bevinden de electroden 10 zich tegen de dielectrische laag 3, dan zijn de electroden 10 aan de waarnemingszijde via de transparante steunplaat 30 4 niet zichtbaar en wordt het omgevingslicht door de vloeistof geabsorbeerd of althans alleen in de kleur van de vloeistof gereflekteerd. De inrichting vormt een zogenaamde matrixweergeefinrichting, waarbij de stripvormige electroden 2 bijvoorbeeld de rijelectroden en de stripvormige electroden 10 de 35 kolomelectroden van de inrichting vormen.

Bij het inschrijven van het beeld wordt uitgegaan van de toestand dat alle electroden 10 zich aan de zijde van de h υ - PHN 11.687 10 zichtsteunplaat 4 bevinden. De rijelectroden 2 en de gemeenschappelijke vaste electrode 7 worden respectievelijk op een spanning +V en -V volt gehouden. De informatie voor een aangestuurde rijelectrode 2 wordt gelijktijdig op alle kolomelectroden aangeboden. Aan de kolomelectroden 5 waarvan de electrode 10 op het kruispunt met de aangestuurde rijelectrode 2 naar de steunplaat 1 moet omklappen, worden spanningspulsen Vg van -V volt toegevoerd terwijl aan de overige kolomelectroden spanningspulsen van 0 volt worden toegevoerd. Na het inschrijven kunnen alle electroden 10 weer naar de zichtsteunplaat 4 10 gebracht worden door gelijktijdig alle kolomelectroden op +V volt te brengen.

In figuur 3A is met het verwijzingscijfer 15 een steunplaat van bijvoorbeeld glas weergegeven die aan één zijde voorzien is van een electrode 16, een dielectrisch laagje 17, een laag 15 18 van een acrylaat polymeer en een laag 19 van Al. De laag Al is aan beide oppervlakken voorzien van een niet weergegeven laagje S1O2. Op laag 19 wordt een fotoresist laag 20 aangebracht die wordt afgedekt met een masker 21 waarin openingen 22 zijn aangebracht. Fotoresistlaag 20 wordt via masker 21 belicht en vervolgens ontwikkeld. Op de belichte 20 plaatsen van resistlaag 20 worden openingen 23 gevormd. Via openingen 23 wordt de Al laag 19 geëtst met een alkalisch etsmiddel zoals een waterige oplossing van Κ0Η. Hierbij worden in laag 19 openingen 24 gevormd. Het masker 21 en de restanten van fotoresistlaag 20 zijn inmiddels verwijderd.

25 Vervolgens wordt polymeer laag 18 behandeld met een O2 plasma, via de openingen 24 in laag 19. Het O2 plasma tast de Al laag 19 niet aan maar etst de onder openingen 24 liggende delen van de polymeerlaag 18 weg. Deze intermediaire situatie is weergegeven in figuur 3B. In polymeer laag 18 zijn de met het verwijzingscijfer 25 30 weergegeven delen reeds verwijderd.

Opgemerkt wordt dat openingen 24 van laag 19 cirkelvormig zijn. Zie hiertoe de openingen 11 weergegeven in figuur 2. De openingen 26 in laag 19 zijn spieetvormig. Verwezen mag worden naar spleten 14 in figuur 2. Bij verdere etsing van de polymeer laag 18 met het 02 plasma 35 ontstaat de situatie zoals is weergegeven in figuur 3C. Van polymeer laag 18 zijn nog de stutten 27 overgebleven. De boven stutten 27 gelegen delen 28 van de laag 19 worden bondplaten genoemd. Verwezen mag worden PHN 11.687 11 naar het verwijzingscijfer 13 in de figuren 1 en 2.

Tot slot wordt over de gevormde beweegbare electrode (19, 24, 26, 28) een in figuur 3D weergegeven transparante steunplaat 29 geplaatst die aan de zijde van de beweegbare electrode voorzien is van 5 een vaste electrode 30 die met een dielectrische laag 31 is afgedekt.

Claims (10)

1. Passieve beeldweergeefinrichting met een transparante zichtsteunplaat en een op enige afstand parallel verlopende tweede steunplaat en met een aantal beeldweergeefelementen voor het besturen van de reflektie of transmissie van licht die elk tenminste één met 5 de tweede steunplaat verbonden vaste elektrode bevatten alsmede een met de tweede steunplaat verbonden, tussen de steunplaten beweegbare electrode, welke electrode van openingen en verende elementen is voorzien, met het kenmerk, dat op de tweede steunplaat stutten van polymeer materiaal zijn aangebracht die zich tot op korte afstand van de 10 zichtsteunplaat uitstrekken, waarbij de beweegbare elektrode steunt op en verbonden is met de van de tweede steunplaat afgekeerde uiteinden van de stutten en daarbij aanligt of nagenoeg aanligt tegen de zichtsteunplaat .

2. Beeldweergeefinrichting volgens conclusie 1, met het 15 kenmerk, dat de beweegbare electrode uit Al is vervaardigd.

3. Beeldweergeefinrichting volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat de beweegbare electrode aan beide hoofdoppervlakken is voorzien van een laagje van een dielectricum, in het bijzonder een laagje van Si02-

4. Beeldweergeefinrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de beweegbare electrode uit Ag is vervaardigd of is afgedekt met een laagje Ag en dat de vaste electrode(n) voorzien is (zijn) van een dielectrisch laagje van polyimide.

5. Beeldweergeefinrichting volgens conclusie 1, met het 25 kenmerk, dat de stutten vervaardigd zijn uit een polyacrylaat kunststof, polymethacrylaat kunststof, polycarbonaat kunststof of een polyimide kunststof.

6. Methode voor de vervaardiging van een passieve beeld-weergeefinrichting waarbij een grondsteunplaat aan één zijde wordt 30 voorzien van een electrode die afgedekt wordt met een laagje van een dielectrisch materiaal, hierop achtereenvolgens een laag van een polymeer, een laag Al of Ag, een fotoresistlaag en een masker dat voorzien is van openingen wordt aangebracht, de fotoresist laag via het masker wordt belicht en ontwikkeld, de laag Al of Ag wordt geëtst 35 waarbij in deze laag een patroon van openingen wordt gevormd die overeenkomt met die van het masker, welk patroon lipvormige elementen bevat en daartussen gelegen bondplaten, via de openingen in de Al of Ag .,v. ·-< ^ y 1 _ ^ w PHN 11.687 13 laag het polymeer wordt geëtst met behulp van een gasplasma, waarbij onder de bondplaten stutten van polymeer materiaal worden gevormd en de rest van het polymeer materiaal wordt weggeëtst en vervolgens de Al of Ag laag wordt afgedekt met een transparante zichtsteunplaat.

7. Methode volgens conclusie 6, met het kenmerk, dat in de methode een polymeer laag wordt toegepast waarvan het van de grondsteunplaat afgekeerd oppervlak een ruwe structuur heeft.

8. Methode volgens conclusie 7, met het kenmerk, dat de polymeerlaag wordt vervaardigd door de grondsteunplaat waarop de eerste 10 electrode en het laagje van dielectrisch materiaal is aangebracht, te voorzien van een laagje van een vloeibare, hardbare kunststofsamenstelling, het geheel tegen een matrijs te drukken waarvan het oppervlak een textuur heeft die het negatief is van de gewenste textuur van de polymeerlaag, vervolgens de kunststofsamenstelling te 15 harden en de matrijs te verwijderen.

9. Methode volgens conclusie 6, met het kenmerk, dat het etsen van de polymeerlaag wordt uitgevoerd met een O2 gasplasma.

10. Methode volgens conclusie 6, met het kenmerk, dat bij het wegetsen van de polymeer laag niet alleen de onder de bondplaten gelegen 20 delen (stutten) behouden blijven maar ook de op de omtreksrand van de grondsteunplaat gelegen delen van de polymeerlaag zodat hierdoor een afdichtingsrand van polymeermateriaal tussen de grondsteunplaat en de zichtsteunplaat wordt gevormd.