KR960005358B1 - Semiconductor memory device - Google Patents

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KR960005358B1
KR960005358B1 KR1019940000290A KR19940000290A KR960005358B1 KR 960005358 B1 KR960005358 B1 KR 960005358B1 KR 1019940000290 A KR1019940000290 A KR 1019940000290A KR 19940000290 A KR19940000290 A KR 19940000290A KR 960005358 B1 KR960005358 B1 KR 960005358B1
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memory cells
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memory
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KR1019940000290A
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도시야 사또
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니뽄 덴끼 가부시끼가이샤
세끼모또 다다히로
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Abstract

내용 없음.No content.

Description

반도체 메모리 장치Semiconductor memory device

제1도는 본 발명의 실시예에 따른 메모리 장치를 도시하는 블럭도.1 is a block diagram showing a memory device according to an embodiment of the present invention.

제2도는 제1도에 도시된 중복 메모리 셀 블럭과 메모리 셀 블럭들중 한 블럭을 나타내는 회로도.FIG. 2 is a circuit diagram showing one of the redundant memory cell blocks and the memory cell blocks shown in FIG.

제3도는 본 발명의 다른 실시예에 따른 메모리 장치를 도시하는 블럭도.3 is a block diagram illustrating a memory device according to another embodiment of the present invention.

제4도는 제3도에 도시된 중복 메모리 셀 블럭과 메모리 셀 블럭들중 한 블럭을 나타내는 회로도.FIG. 4 is a circuit diagram showing one of the redundant memory cell blocks and the memory cell blocks shown in FIG.

제5도는 종래의 EEPROM 장치를 도시하는 블럭도.5 is a block diagram showing a conventional EEPROM device.

제6도는 제5도에 도시된 중복 메모리 셀 블럭과 메모리 셀 블럭들중 한 블럭의 회로 구성을 도시하는 도면.FIG. 6 is a diagram showing a circuit configuration of one of the redundant memory cell blocks and the memory cell blocks shown in FIG.

제7도는 EEPROM에 이용되는 전형적인 메모리 셀 트랜지스터의 단면도.7 is a cross-sectional view of a typical memory cell transistor used in an EEPROM.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

CB : 메모리 셀 블럭 DCB : 중복 메모리 셀 블럭CB: memory cell block DCB: redundant memory cell block

[발명의 배경][Background of invention]

본 발명은 반도체 메모리 장치에 관한 것이며, 특히 전기적 소거가능한 프로그램가능 판독 전용 메모리(Electrically Erasable Programmable Read-Only-Memory)장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to semiconductor memory devices, and more particularly, to an electrically erasable programmable read-only memory.

최근에, 다수의 메모리 셀에 기억된 메모리 데이타를 동시에 소거할 수 있는 소위, 플래시 EEPROM이 개발되었다. 높은 메모리 용량을 가지는 동적 메모리 장치 또는 정적 메모리 장치와 유사하게, 플래시 EEPROM 역시 다수의 메모리 셀 블럭으로 분할된 메모리 셀 어레이를 갖는다. 이 경우에, 데이타 소거동작은 셀 블럭 각각에서 독립적으로 실행된다. 또한 플래시 EEPROM에서 중복 메모리 셀과 관련하는 하나이상의 중복 비트 라인을 가지는 중복 메모리 셀 블럭이 제공된다. 종래 기술에 널리 공지되어 있는 바와 같이, 중복 메모리 셀 블럭은 결함있는 메모리 셀이 엑세스 될때 상기 결함있는 메모리 셀 또는 셀들을 가지는 메모리 셀 블럭을 대신하여 이용된다. 하지만 데이타 소거 동작이 셀 블럭 유닛에서 실행되므로, 메모리 셀 블럭중 어떤 한 블럭을 대신하여 이용되는 중복 메모리 셀 블럭은 그 메모리 셀 블럭중 어떤 한 블럭을 대신하여 이용되는 중복 메모리 셀 블럭은 그 메모리 셀 블럭을 소거함과 동시에 소거되도록 요구되어진다.Recently, a so-called flash EEPROM has been developed that can simultaneously erase memory data stored in a plurality of memory cells. Similar to dynamic or static memory devices with high memory capacity, flash EEPROMs also have memory cell arrays divided into multiple memory cell blocks. In this case, the data erase operation is performed independently in each cell block. Also provided are redundant memory cell blocks having one or more redundant bit lines associated with redundant memory cells in a flash EEPROM. As is well known in the art, a redundant memory cell block is used in place of a memory cell block having the defective memory cell or cells when the defective memory cell is accessed. However, since the data erase operation is performed in the cell block unit, the redundant memory cell block used in place of any one of the memory cell blocks is used in place of any one of the memory cell blocks. It is required to erase the block at the same time.

제5도를 참조하면, 전형적인 플래시 EEPROM은 네개의 메모리 셀 블럭 CB1, CB2, CB3 및 CB4와, 중복 메모리 셀 블럭 DCB를 포함한다. 행 디코더 및 워드 구동기 회로 WD는 어드레스 버퍼 AB로부터 행 어드레스 신호 셋 Add1을 디코드하고 메밀 셀 블럭 CB1, CB2, CB3 및 CB4와, 중복 메모리 셀 블럭 DCB으로 확장된 워드 라인 WL(두개의 워드 라인 WL1 및 WL2가 도시)중 한 라인을 선택적으로 구동한다. 메모리 셀 블럭 CB1, CB2, CB3, CB4와 중복 메모리 셀 블럭 DCB는 열 선택기 CB1, CB2, CB3 CB4, 및 CSD와 전달 게이트 트랜지스터 TG1, TG2, TG3, TG4 및 TGD와 각각 관련하고 있다.Referring to FIG. 5, a typical flash EEPROM includes four memory cell blocks CB1, CB2, CB3 and CB4, and a redundant memory cell block DCB. The row decoder and word driver circuit WD decodes the row address signal set Add1 from the address buffer AB and expands the word line WL (two word lines WL1 and two) to the buckwheat cell blocks CB1, CB2, CB3 and CB4 and the redundant memory cell block DCB. WL2 selectively drives one line (shown). Memory cell blocks CB1, CB2, CB3, CB4 and redundant memory cell blocks DCB are associated with column selectors CB1, CB2, CB3 CB4, and CSD and transfer gate transistors TG1, TG2, TG3, TG4 and TGD, respectively.

제6도를 보면, 메모리 셀 블럭 CB1과 중복 메모리 셀 블럭, DCB의 회로성이 도시되어 있다. 다른 메모리 셀 블럭 CB2, CB3 및 CB4는 메모리 셀 블럭 CB1과 같은 구성을 가지고 있다. 메모리 셀 블럭 CB1은 행렬로 배치된 다수의 메모리 셀 트랜지스터 MCT111, MCT112, MCT11m, MCT121, 및 MCT122를 가지며, 이들 각각은 워드 라인 WL 중의 한 라인에 연결된 게이트, 비트 라인 BL11, BL12 및 BL1m중 한 라인에 연결된 드레인 및, 관련 전달 게이트 트랜지스터 TG1을 통하여 공통 소스 라인 SL에 연결된 소스 라인 SL1에 연결된 소스를 가진다. 이렇게 메모리 셀 블럭 CB 각각은 m 비트 라인 BL11, BL12, ... , BL1m 및, 하나의 소스 라인 SL1을 구비한다.6, the circuitry of the memory cell block CB1, the redundant memory cell block, and the DCB is shown. The other memory cell blocks CB2, CB3 and CB4 have the same configuration as the memory cell block CB1. The memory cell block CB1 has a plurality of memory cell transistors MCT111, MCT112, MCT11m, MCT121, and MCT122 arranged in a matrix, each of which is a gate connected to one line of the word line WL, one of the bit lines BL11, BL12, and BL1m. And a source connected to the source line SL1 connected to the common source line SL through the associated transfer gate transistor TG1. Each of the memory cell blocks CB has m bit lines BL11, BL12, ..., BL1m and one source line SL1.

이에 반해서, 중복 메모리 셀 블럭 DCB는 두개의 중복 비트 라인 BLD1 및 BLD2와, 다수의 메모리 셀 트랜지스터 MCTD11, MCTD12를 구비한다. 트랜지스터 각각은 관련 워드라인에 연결된 게이트, 두개의 중복 비트 라인 BLD1, BLD2중 한 라인에 연결된 드레인 및 소스 라인 SLD에 연결된 소스를 가진다.In contrast, the redundant memory cell block DCB includes two redundant bit lines BLD1 and BLD2 and a plurality of memory cell transistors MCTD11 and MCTD12. Each transistor has a gate connected to its associated word line, a drain connected to one of two redundant bit lines BLD1, BLD2, and a source connected to a source line SLD.

각각의 메모리 셀 블럭 CB의 메모리 셀 트랜지스터 MCT111, MCT112, MCT11m, MCT121, 및 MCT122와, 중복 메모리 셀 블럭 DCB의 메모리 셀 트랜지스터 MCTD11, MCTD12가 동일한 구성으로 형성된다.The memory cell transistors MCT111, MCT112, MCT11m, MCT121, and MCT122 of each memory cell block CB and the memory cell transistors MCTD11, MCTD12 of the redundant memory cell block DCB are formed in the same configuration.

제 7도에 도시된 바와 같이 세부적으로 보면, 메모리 셀 트랜지스터 및 중복 메모리 셀 트랜지스터 각각은 반도체 기판 SUB에 형성된 MOS 형이며, 워드 라인 WL1에 연결된 제어 게이트 CGE 및 프로팅 게이트 FGE를 포함하는 스택트형 이트 전국 SGE를 가진다. 그 소스 영역 SR 및 드레인 영역 DR은 각각 소스 라인 SL1 및 비트 라인 BL11에 연결된다.In detail, as shown in FIG. 7, each of the memory cell transistors and the redundant memory cell transistors is a MOS type formed in the semiconductor substrate SUB and includes a stacked gate including a control gate CGE and a floating gate FGE connected to the word line WL1. Have a national SGE. The source region SR and the drain region DR are connected to the source line SL1 and the bit line BL11, respectively.

이러한 장치의 동작의 실례로 트랜지스터 MCT112인 메모리 셀 트랜지스터가 결함을 가지는 상태에서 설명될 수 있다. 이 경우에 결함을 가진 메모리 트랜지스터 MCT112를 나타내는 열 어드레스(clumm address)가 결함을 가진 열 어드레스 신호 AddD1로서 어드레스 래치 회로 AL에 프로그램된다. 비교기 COMP는 입력 열 어드레스 신호 Add2를 결함있는 열 어드레스 신호 AddD1과 비교하여 만일 이들이 서로간에 일치한다면 어드레스 신호 Add2를 열 어드레스 신호 AddR1으로 대체한다. 때문에, 실예로 중복 메모리 셀중 하나인, 메모리 셀 트랜지스터 MCTD11이 결함있는 메모리 셀 트랜지스터 MCT112를 대신하여 이용된다.As an example of the operation of such a device, the memory cell transistor, which is the transistor MCT112, can be described in a state of having a defect. In this case, a column address indicating a defective memory transistor MCT112 is programmed into the address latch circuit AL as the defective column address signal AddD1. Comparator COMP compares input column address signal Add2 with defective column address signal AddD1 and replaces address signal Add2 with column address signal AddR1 if they match each other. Therefore, the memory cell transistor MCTD11, which is, for example, one of the redundant memory cells, is used in place of the defective memory cell transistor MCT112.

프로그램 모드 동작에 있어서, 메모리 셀 트랜지스터 MCT111을 나타내는 어드레스 신호 Add가 입력되는 경우에 행 디코더 및 워드 구동기 회로 WD는 약 12V이며 전압 제어기 VC1으로부터 공급되는 프로그램 전압 Vp로 워드 라인을 구동한다. 비교기 COMP는 열 어드레스 신호 Add3으로서 어드레스 신호 Add2를 열 디코더 CD로 출력한다. 프로그램 증폭기 PA는 약 5V인 전원 전압 Vcc를 데이타 라인 DL를 통하여 열 셀렉터 CS1, CS2, CS3, CS4 및 CSD로 공급한다. 열 디코더 CD는 어드레스 신호 Add3을 디코드하여 열 선택 신호 YS를 비트 라인 BL11을 전압 Vcc로 구동하는 열 셀렉터 CS1으로 출력한다. 동시에, 전달 게이트 트랜지스터 TG1이 어드레스 신호 Add3에 응답하는 소스 라인 제어기 SCC로부터의 제어 신호 SC1에 따라 도전된다. 전압 제어기 VC2는 그라운드 전압 Vgnd를 공통 소스라인 SL로 공급한다. 결과적으로, 채널 전류는 지정된 메모리 셀 트랜지스터에 흐르게 되며, 그 드레인 영업 DR 부근에 채널 핫 일렉트론(CHE)을 일으킨다. 이런 채널 핫 일렉트론을 제어 게이트 전국 CGE에서 고접압 Vp에 따라 플로팅 게이트 전국 FGE로 전송되며, 실례로 프로그램되지 않은 상태에서의 약 2V로부터 프로그램된 상태의 약 7V로 메모리 셀 트랜지스터의 한계 전압 Vt를 높게한다. 이러한 프로그램된 상태는 실례로 "1"인 논리 메모리 데이타와 일치한다. 어떠한 다른 메모리 셀 블럭에서의 프로그램 모드 동작도 상기와 동일한 방법으로 실행된다. 이러한 장치에 있어서, 각각의 전달 게이트 트랜지스터 TG1, TG2, TG3, TG4 및 TGD가 단지 하나의 셀 트랜지스터 MCT111, MCT112, ... , MCTD11 또는 MCTD12의 채널 전류를 전달하도록 요구되어지므로, 제거 처리 과정 및 장치의 집적도를 위하여 동일한 구동 용량을 가지는 매우 작고 공통인 크기로 형성될 수 있다.In the program mode operation, when the address signal Add representing the memory cell transistor MCT111 is input, the row decoder and the word driver circuit WD are about 12V and drive the word line with the program voltage Vp supplied from the voltage controller VC1. The comparator COMP outputs the address signal Add2 as the column address signal Add3 to the column decoder CD. The program amplifier PA supplies a supply voltage Vcc of about 5V to the column selectors CS1, CS2, CS3, CS4 and CSD via the data line DL. The column decoder CD decodes the address signal Add3 and outputs the column select signal YS to the column selector CS1 for driving the bit line BL11 to the voltage Vcc. At the same time, the transfer gate transistor TG1 is challenged in accordance with the control signal SC1 from the source line controller SCC in response to the address signal Add3. The voltage controller VC2 supplies the ground voltage Vgnd to the common source line SL. As a result, the channel current flows to the designated memory cell transistor, causing a channel hot electron (CHE) near its drain operation DR. These channel hot electrons are transferred from the control gate nationwide CGE to the floating gate nationwide FGE according to the high voltage Vp and, for example, increase the threshold voltage Vt of the memory cell transistor from about 2V unprogrammed to about 7V programmed. do. This programmed state corresponds with logical memory data, for example " 1. " The program mode operation in any other memory cell block is performed in the same manner as above. In such a device, each transfer gate transistor TG1, TG2, TG3, TG4 and TGD is required to carry the channel current of only one cell transistor MCT111, MCT112, ..., MCTD11 or MCTD12, thus eliminating the need for It can be formed in a very small and common size with the same drive capacity for the degree of integration of the device.

메로리 셀 트랜지스터 MCT111에서 데이타를 판독하는 판독 모드 동작에 있어서, 워드 라인 WL1은 전압 Vcc로 구동되고 비트 라인 BL11은 상기와 동일한 방법으로 데이타 라인 DL에 연결된다. 판독 증폭기 RA는 약 1V인 판독 전압 Vr을 데이타 라인 DL로 공급한다. 전압 제어기 VC2는 그라운드 전압 Vgnd를 공통 소스 라인 SL 및 전달 트랜지스터 TG1을 통하여 소스 라인 SL 1으로 공급한다. 이 경우에 있어서, 메모리 셀 트랜지스터 MCT111이 약 7V의 그 한계 전압 Vt를 가지므로, 거기에서 채널 전류는 흐리지 않게 되고 비트 라인 BL11 및 데이타 라인 DL에서의 전압 레벨이 판독 전압 Vr에서 유지된다. 판독 증폭기 RA는 데이타 라인 DL에서 전압 레벨을 검출하고, 논리 메모리 데이타 "1"을 나타내는 고 레벨 판독 데이타 신호를 출력한다.In the read mode operation of reading data from the memory cell transistor MCT111, the word line WL1 is driven at the voltage Vcc and the bit line BL11 is connected to the data line DL in the same manner as above. The read amplifier RA supplies a read voltage Vr of about 1V to the data line DL. The voltage controller VC2 supplies the ground voltage Vgnd to the source line SL 1 through the common source line SL and the transfer transistor TG1. In this case, since the memory cell transistor MCT111 has its limit voltage Vt of about 7V, the channel current is not blurred there and the voltage levels at the bit line BL11 and the data line DL are maintained at the read voltage Vr. The read amplifier RA detects a voltage level on the data line DL and outputs a high level read data signal representing logical memory data " 1. "

소거 모드 동작에 있어서, 메모리 셀 블럭 CB1이 소거되는 경우에 중복 메모리 셀 블럭 DCB가 메모리 셀 블럭 CB1의 부분으로 동작하므로, 중복 메모리 셀 블럭 DCB 역시 소거되어야 한다. 때문에, 입력 어드레스 신호 Add2는 메모리 셀 블럭 CB1을 나타낸다. 비교기 COMP는 메모리 셀 블럭 CB1을 나타내는 어드레스 신호 Add2의 정보를, 메모리 셀 블럭 CB1을 나타내는 결함을 가진 어드레스 신호 Add1의 정보와 비교하여 메모리 셀 블럭 CB1과 중복 메모리 셀 블럭 DCB 모두를 나타내는 어드레스 신호 Add3을 출력한다. 때문에, 열 셀렉터 CS1 및 CSD는 이들의 모든 비트 라인 BL11, BL12 및 중복 비트 라인 BLD1, BLD2를 소거 제어기 EC로부터 그라운드 전압 Vgnd가 공급되는 데이타 라인 DL로 연결한다. 소스 라인 SL1 및 SL2에는 공통 소스 라인 SL 및 전달 게이트 트랜지스터 TG1 및 TGD를 통하여 전압 제어기 VC2로부터 약 12V인 소거 전압 Ve가 제공된다. 이에 반하여, 행 디코더 및 워드구동기 회로 WD는 모든 워드 라인 WL1 및 WL2를 그라운드 전압 Vgnd에서 유지한다. 반도체 기판 SUB는 그라운드 전압 Vgnd에서 유지된다. 때문에, 프로그램된 상태에 있는 중복 메모리 셀 트랜지스터 MCTD11 및 MCTD12와 메모리 셀 트랜지스터 MCT111, MCT112, MCT11m, MCT121, 및 MCT122의 플로팅 게이트 전국 FGE에 기어된 전자들이 FN 터널 효과에 의해 그들의 소스 영역으로 전송된다. 이렇게, 셀 블럭 CB1 및 DCB의 모든 메모리 셀 트랜지스터 MCT111, MCTD11등이 프로그램되지 않는 상태에 있도록 조절된다. 이 경우에 있어서, 종래의 메모리 장치에 따라, 소거 모든 동작의 전류 소비는 단지 거의 미세한 전류만을 일으키는 각 메모리 셀 트랜지스터의 FN 터널 효과에 의해서만 야기된다. 때문에 전달 게이크 트랜지스터 TG1 및 TGD는 다수의 메모리 셀 트랜지스터 MCT111, MCTD11등에 의해 야기된 전류를 공통 소스 라인 SL으로부터 또는 공통 소스 라인 SL로 전달하도록 요구되어지며, 전달 게이트 트랜지스터 TG1 및 TGD는 상기 언급된 바와 같이 공통이며 매우 작은 크기로 형성되어진다.In the erase mode operation, since the redundant memory cell block DCB operates as part of the memory cell block CB1 when the memory cell block CB1 is erased, the redundant memory cell block DCB must also be erased. Therefore, the input address signal Add2 represents the memory cell block CB1. The comparator COMP compares the information of the address signal Add2 representing the memory cell block CB1 with the information of the defective address signal Add1 representing the memory cell block CB1, and compares the address signal Add3 representing both the memory cell block CB1 and the redundant memory cell block DCB. Output Therefore, the column selectors CS1 and CSD connect all of these bit lines BL11, BL12 and redundant bit lines BLD1, BLD2 from the erase controller EC to the data line DL to which the ground voltage Vgnd is supplied. Source lines SL1 and SL2 are provided with an erase voltage Ve of about 12V from voltage controller VC2 through common source line SL and transfer gate transistors TG1 and TGD. In contrast, the row decoder and word driver circuit WD maintains all word lines WL1 and WL2 at ground voltage Vgnd. The semiconductor substrate SUB is held at the ground voltage Vgnd. Thus, electrons geared to the floating memory nation FGE of the redundant memory cell transistors MCTD11 and MCTD12 and the memory cell transistors MCT111, MCT112, MCT11m, MCT121, and MCT122 in the programmed state are transferred to their source region by the FN tunnel effect. In this way, all memory cell transistors MCT111, MCTD11, etc. of the cell blocks CB1 and DCB are adjusted so as not to be programmed. In this case, according to the conventional memory device, the current consumption of all the erase operations is caused only by the FN tunnel effect of each memory cell transistor which causes only a very small current. Therefore, the transfer gage transistors TG1 and TGD are required to transfer currents caused by the plurality of memory cell transistors MCT111, MCTD11, etc. from or to the common source line SL, and the transfer gate transistors TG1 and TGD are mentioned above. As is common, it is formed in a very small size.

하지만, 본 발명에 대한 이러한 종래의 장치에 있어서 FN 터널링 일으키기 위하여 12V와 같은 높은 레벨의 전압이 되도록 요구되는 소거 전압 Ve 역시 소스 영역 SR 및 반도체 기판 SUB간에 전류를 야기시키게 된다. 이 전류는 소스 영역 SR 및 기판 SUB 같의 PN 접합에서의 터널링 효과의 결과로 여겨진다. 특히, 플로팅 게이트 전국 FGE가 프로그램된 상태인 네가티브 전압에서 전자들로 채워질때, (이후 PN 터널링 전류로 언급될) 이러한 전류가 더욱 효과적으로 발생되어 FN 터널링 전류보다 상당히 더 크게된다. 때문에, 소거 모드 동작에서 특히, 프로그램된 상태에서 메모리 셀 트랜지스터 MCT111, MCTD11 등 각각은 소스 라인 SL1, SL2, SL3, SL4 및 SLD 각각을 통하여 전달될 총 전류를 매우 크게 할 큰 전류를 발생한다. 따라서, 전달 게이트 트랜지스터 TG1, TG2, TG3, TG4 및 TGD가 공통의 작은 크기로 형성되고 각각의 소스 라인 SL1, ... , SL4 및 SLD를 소거 전압 Ve에서 유지하기 위해 의도된 매우 작은 구동 용량을 가지므로, 소스 라인 SL1, ... , SL4 및 SLD에서의 전압 레벨은 소거 모드 동작동안에 소거 전압으로부터 감소하게 된다. 더우기 소스 라인 SL1, SL2, SL3 및 SL4 각각에서의 전압 감소는 에 연결된 다수의 메모리 셀 트랜지스터 MCT111, MCT112, MCT11m 등에 따라 소스 라인 SLD에서보다 더욱 크게된다. 때문에, 결과적으로 이 장치에 있어서 메모리 셀 블럭 CB1, CB2, CB3 또는 CB4 에서의 소거 모드 동작은 중복 메모리 셀 블러 DCB에 비하여 상당히 긴 시간을 필요로 한다. 따라서, 메모리 셀 블럭 CB1, CB2, CB3 및 CB4와 중복 메모리 셀 블럭 DCB중 한 블럭이 상기 설명된 바와 같은 시간에 소거되어야 하는 경우에, 만일 소거 모드 동작이 메모리 셀 블럭 CB1, CB2, CB3 또는 CB4에서의 모든 메모리 셀 트랜지스터 MCT111, MCT112, MCT11m 등을 소거하기에 충분한 시간동안 실행되다며, 중복 메모리 셀 블럭 DCB의 메모리 셀 트랜지스터 MCTD11 및 MCTD12는 지나치게 소거되어진다. 즉, 그 플로팅 게이트 전국 FGE의 전자들이 필요로 하는것 보다 많이 소스 영역 SR로 전송되어 중복 메모리 셀 트랜지스터 MCTD11 및 MCTD12는 디프레션 상태(depression state)가 된다. 일단 어떠한 메모리 셀 트랜지스터 MTTD11 및 MCTD12가 디프레션 상태가 되면, 그와 관련된 중복 비트 라인 BLD1 및 BLD2가 워드 라인 WL1 및 WL2에서의 전압에 관계없이 연속하여 소스 라인 SLD에 전기저으로 연결되어 이들은 정상저으로 작동하지 않게 되며, 장치의 총신뢰도를 극도록 낮게 한다. 이에 반하여, 만일 소거 모든 동작이 중복 메모리 셀 블럭 DCB에서의 메모리 셀 트랜지스터 MCTD11 및 ,MCTD12만을 소거하기에 충분한 시간동안 실행된다면, 메모리 셀 블럭 CB1, CB2, CB3 또는 CB4에서의 메모리 셀 트랜지스터 MCT11, MCT112, MCT11m 등이 충분히 소거되지 않게 되어 장치의 정상적인 기능을 저지하게 한다.However, in this conventional device of the present invention, the erase voltage Ve required to be a high level voltage such as 12V in order to cause FN tunneling also causes a current between the source region SR and the semiconductor substrate SUB. This current is believed to be the result of the tunneling effect at the PN junction, such as the source region SR and the substrate SUB. In particular, when the floating gate nationwide FGE is filled with electrons at the negative voltage in the programmed state, this current is generated more effectively (hereinafter referred to as PN tunneling current) and becomes significantly larger than the FN tunneling current. Therefore, in the erase mode operation, especially in the programmed state, each of the memory cell transistors MCT111, MCTD11, etc., generates a large current that will greatly increase the total current to be delivered through each of the source lines SL1, SL2, SL3, SL4, and SLD. Thus, the transfer gate transistors TG1, TG2, TG3, TG4 and TGD are formed in a common small size and have a very small drive capacity intended to hold each source line SL1, ..., SL4 and SLD at the erase voltage Ve. As such, the voltage levels at source lines SL1, ..., SL4 and SLD are reduced from the erase voltage during the erase mode operation. Moreover, the voltage reduction at each of the source lines SL1, SL2, SL3 and SL4 is even larger than in the source line SLD depending on the number of memory cell transistors MCT111, MCT112, MCT11m, etc., connected to. As a result, the erase mode operation in the memory cell block CB1, CB2, CB3 or CB4 in this device requires a considerably longer time compared to the redundant memory cell blur DCB. Thus, if one of the memory cell blocks CB1, CB2, CB3 and CB4 and the redundant memory cell block DCB is to be erased at the time as described above, the erase mode operation is performed in the memory cell block CB1, CB2, CB3 or CB4. The memory cell transistors MCTD11 and MCTD12 of the redundant memory cell block DCB are excessively erased. In other words, the electrons of the floating gate nationwide FGE are transferred to the source region SR more than necessary so that the redundant memory cell transistors MCTD11 and MCTD12 are in a depression state. Once any of the memory cell transistors MTTD11 and MCTD12 are depressed, their associated redundant bit lines BLD1 and BLD2 are connected electrically to source line SLD in series, regardless of the voltage at word lines WL1 and WL2, and they are brought to normal lows. It will not work, and the device's total reliability will be extremely low. In contrast, if the erase all operation is performed for a time sufficient to erase only the memory cell transistors MCTD11 and MCTD12 in the redundant memory cell block DCB, the memory cell transistors MCT11, MCT112 in the memory cell blocks CB1, CB2, CB3 or CB4. , MCT11m, etc., are not sufficiently erased, which impedes the normal functioning of the device.

[발명의 요약][Summary of invention]

때문에, 본 발명의 목적은 데이타 소거 동작이 높은 신뢰도로 실행되는 중복 메모리 셀 블럭을 가진 반도체 메모리 장치를 제공하는 것이다. 본 발명에 따른 메모리 장치는 메모리 셀 어레이에 제공되는 전달 게이트가 중복 메모리 셀 어레이에 제공되는 전달 게이트의 전류 구동 능력보다 큰 전류 구동 능력을 가지는 것을 특징으로 한다. 이러한 특징으로, 중복 메모리 셀 어레이를 흐르는 과도 전류를 억제함으로 인해 요구하는 셀 어레이에 공급되어진다. 이후인 특징으로, 중복 메모리 셀 어레이를 흐르는 과도 전류를 억제함으로 인해, 요구하는 전류가 셀 어레이에 공급되어진다. 이후에는 도면을 참조하여 본 설명의 상기 또는 다른 목적과 잇점 및 특징을 더욱 자세히 기술한다.It is therefore an object of the present invention to provide a semiconductor memory device having a redundant memory cell block in which a data erase operation is performed with high reliability. The memory device according to the present invention is characterized in that the transfer gate provided in the memory cell array has a current driving capability greater than that of the transfer gate provided in the redundant memory cell array. With this feature, it is supplied to the required cell array by suppressing the transient current flowing through the redundant memory cell array. As a later feature, by suppressing the transient current flowing through the redundant memory cell array, the required current is supplied to the cell array. Hereinafter, with reference to the drawings will be described in more detail the above and other objects and advantages and features of the present description.

[적절한 실시예의 상세한 설명][Detailed Description of Appropriate Embodiments]

제1도 및 제2도를 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 메모리 장치는 메모리 셀 블럭 CB1, CB2, CB3 및 CB4 각각이 제 1도에 도시된 바와 같은 전달 게이트 트랜지스터 TG11, TG1n, TG21, TG2n, TG31, TG3n, TG41 및 TG4n중 한 트랜지스터와 각각 관련하는 다수의 서브 블럭 SB11, SB1n, SB21, SB2n, SB31, SB3n, SB41 및 TG4n중 한 트랜지스터와 각각 관련하는 다수의 서브 블럭 SB11, SB1n, SB21, SB2n, SB31, SB41 및 SB4n을 구비한다는 것을 제외하면 종래의 장치와 동일한 구성을 가지고 있다. 메모리 셀 블럭 CB1 및 중복 메모리 셀 블럭 DCB는 제2도에 자세히 도시되어 있다. 다른 메모리 셀 블럭 CB2, CB3 및 CB4는 메모리 셀 블럭 CB1과 동일한 구성을 가진다. 제2도에 도시된 바와 같이, 중복 메모리 셀 블럭 DCB는 두개의 중복 비트 라인 BLD1 및 BLD2를 포함하고, 메모리 셀 블럭 CB1은 각각이 두개의 비트 라인 BL11/1 및 BL11/2, ... , BL1n/1 및 BL1n/2를 포함하는 n 서브블럭 SB11, ... , SB1n을 구비한다. 즉, 메모리 셀 블럭 CB1은 중복 메모리 셀 블럭 DCS의 트랜지스터와 같은 다수의 메모리 셀 트랜지스터 T11/11, ... , T11/22를 구비한다. 메모리 셀 블럭 CB1의 서브블럭 SB11, ... , SB1n 각각은 소스 라인 SL11, ... , SL1n 각각과 관련된다. 서브 블럭 SB11, ... , SB1n 각각에서, 실례로 전형적인 것으로서의 서브 블럭 SB11은 각 메모리 셀 트랜지스터 T11/11, T11/12, T11/21 및 T11/22가 제 7도에 도시된 바와 동일한 방법으로 형성되며, 워드 라인 WL1 및 WL2중 한 라인, 비트 라인 BL11/1 및 BL11/2중 한 라인 및 소스 라인 SL11과 각각 연결된 제어 게이트 전국 CGE, 드레인 영역 DR 및, 소스 영역 SR을 가진다. 소스 라인 SL11은 전달 게이트 트랜지스터 TG11을 통하여 공통 소스 라인 SL에 선택적으로 연결된다. 때문에, 이 장치에 있어서 상기 구성에 따라, 서브 블럭 SB11, SB1n, SB2, SB2n, SB31, SB3n, SB41 및 각각과 관련하는 전달 게이트 트랜지스터 TG11, TG1n, TG21, TG2n, TG31, TG3n, TG41 및 TG4n과 중복 메모리 셀 블럭 DCB와 관련하는 전달 게이트 트랜지스터 TGD 각각은 동일한 수의 비트 라인 각, 동일한 수의 메모리 셀 트랜지스터와 부합하여 하기에 설명될 바와 같은 공통 구동 능력을 가지는 작은 크기로 형성되게 한다.Referring to FIGS. 1 and 2, a memory device according to an embodiment of the present invention may include transfer gate transistors TG11, TG1n, TG21, each of which is shown in FIG. 1, in which memory cell blocks CB1, CB2, CB3, and CB4 are illustrated in FIG. 1. Multiple subblocks SB11, SB1n, SB21, SB2n, SB31, SB3n, SB41, and TG4n, respectively, associated with one of the transistors TB2n, TG31, TG3n, TG41, and TG4n, respectively. Except having SB21, SB2n, SB31, SB41, and SB4n, it has the same structure as the conventional apparatus. The memory cell block CB1 and the redundant memory cell block DCB are shown in detail in FIG. The other memory cell blocks CB2, CB3 and CB4 have the same configuration as the memory cell block CB1. As shown in FIG. 2, the redundant memory cell block DCB includes two redundant bit lines BLD1 and BLD2, and the memory cell block CB1 has two bit lines BL11 / 1 and BL11 / 2, ..., respectively. And n subblocks SB11, ..., SB1n comprising BL1n / 1 and BL1n / 2. That is, the memory cell block CB1 includes a plurality of memory cell transistors T11 / 11, ..., T11 / 22, such as transistors of the redundant memory cell block DCS. Each of the subblocks SB11, ..., SB1n of the memory cell block CB1 is associated with each of the source lines SL11, ..., SL1n. In each of the sub-blocks SB11, ..., SB1n, the sub-block SB11, which is typical for example, has the same method as each memory cell transistor T11 / 11, T11 / 12, T11 / 21 and T11 / 22 are shown in FIG. And a control gate nationwide CGE, drain region DR, and source region SR connected to one of word lines WL1 and WL2, one of bit lines BL11 / 1 and BL11 / 2, and source line SL11, respectively. Source line SL11 is selectively connected to common source line SL via transfer gate transistor TG11. Therefore, in this apparatus, the sub-blocks SB11, SB1n, SB2, SB2n, SB31, SB3n, SB41 and the transfer gate transistors TG11, TG1n, TG21, TG2n, TG31, TG3n, TG41, and TG4n associated with each, Each of the transfer gate transistors TGD associated with the redundant memory cell block DCB is formed in a small size with the same number of bit line angles, the same number of memory cell transistors, and with a common driving capability as described below.

또한 상기 장치에 있어서, 실례로 트랜지스터 T11/11인 메모리 셀 트랜지스터가 결함을 가지고 있다면, 그 결함있는 트랜지스터를 나타내는 열 어드레스 신호가 결함있는 어드레스 신호로서 어드레스 래치 회로 AL에서 사전에 검출되어 프로그램 된다. 때문에, 결함있는 어드레스 신호와 동일한 입력 열 어드레스 신호 Add2가 중복 열 어드레스 신호 AddR1 또는 AddR2로 대체된다. 즉, 비트 라인 BL11/1이 중복 비트 라인 BLD1 또는 BLD2로 대체된다.Further, in the above apparatus, for example, if a memory cell transistor which is a transistor T11 / 11 has a defect, a column address signal representing the defective transistor is detected and programmed in advance in the address latch circuit AL as a defective address signal. Therefore, the input column address signal Add2 which is the same as the defective address signal is replaced by the duplicate column address signal AddR1 or AddR2. That is, the bit line BL11 / 1 is replaced with the redundant bit line BLD1 or BLD2.

다음에, 프로그램 모드 동작이 비트 라인 BL11/1이 중복 비트 라인 BLD1으로 대체되는 동일한 조건으로 설명될 것이다. 먼저 클럭 발생기 CG는 외부 입력 신호 PGM에 따라 고 레벨 제어 신호 ψ2를 출력한다.어드레스 신호 Add가 공급되는 어드레스 버퍼 AB는 행 어드레스 신호 Add1를 행 디코더 및 워드 동기 회로 WD로 출력하고 열 어드레스 신호 Add2를 비교기 COMP로 출력한다. 동시에, 전압 제어기 VC1은 행 어드레스 신호 Add1에 따라사 워드라인 WL1을 전압 Vp로 구동하는 행 디코더 및 워드 구동기 회로 WD로, 제어 신호 ψ2에 따라서 약 12V인 프로그램 전압 Vp를 공급한다. 비교기 COMP는 입력 열 어드레서 신호 Add2를 결함있는 어드레스와 비교하여, 이후에 설명될 바와 같이 어드레스 신호를 중복 어드레스 신호 AddR1으로 대체한다. 그에 따라서 중복 메모리 셀 블럭 DCB는 실례로 서브 블럭 SB11을 대신하여 메모리 셀 블럭 CB1의 부분으로 작용한다. 그 동안에, 프로그램 증폭기 PA는 제어신호 ψ2에 의해 활성화 되어 약 5V인 상기 장치의 전원 전압 Vcc를, 데이타 라인 DL을 통하여 열 셀렉터 CS1, CS2, CS3, CS4 및 CSD로 공급한다. 열 디코더 CD는 비트 라인 BL11/1을 대신하여 중복 비트 라인 BLD1을 나타내는 어드레스 신호 Add3을 디코드하여, 전압 Vcc로 비트 라인 BLD1을 구동하는 열 셀렉터 CSD로 열 선택 신호 YS를 출력한다. 이에 반하여, 소스 제어기 SCC는 역시 어드레스 신호 Add3을 디코드하여, 제어 신호 SCD를 전달 게이트 트랜지스터 TGD로 출력하며, 상기 TGD는 그에 따라 도전상태로 전환된다. 전압 제어기 VC2는 전달 게이트 트랜지스터 TGD를 통하여 중복 메모리 셀 블럭 DCB의 소스 라인 SLD에 전기적으로 접속한 공통 소스 라인 SL로, 제어신호 ψ2에 따라 그라운드 전압 Vgnd를 공급한다. 때문에, 채널 전류는 중복 메모리 셀 트랜지스터 MCTD11에 흐르며, 그 드레인 영역 DR 부근에 채널 핫 일렉트론 (CHF)를 야기시킨다. 이러한 채널 핫 일렉트론은 제어 게이트 전국 CGE에서 고전압 Vp에 따라 플로팅 게이트 전국 FGE으로 전송되어, 실례로 상기 언급된 바와 같이 프로그램 되지 않는 상태의 약 2V에서 프로그램된 상태의 약 7V로 중복 메모리 셀 트랜지스터 MCTD11의 한계 전압 Vt를 높게한다. 상기 프로그램된 상태는 실례로 논리 메모리 데이타 "1"과 일치한다. 이 경우에, 종래의 장치와 유사하게 전달 게이트 트랜지스터는 단지한 메모리 셀 트랜지스터 MCT11에 의해 발생된 전류만을 전달하도록 요구되어지므로 작은 크기로 형성될 수 있게 된다.Next, the program mode operation will be described with the same condition that the bit line BL11 / 1 is replaced by the redundant bit line BLD1. First, the clock generator CG outputs the high level control signal? 2 according to the external input signal PGM. The address buffer AB to which the address signal Add is supplied outputs the row address signal Add1 to the row decoder and the word sync circuit WD and the column address signal Add2. Output to comparator COMP. At the same time, the voltage controller VC1 supplies the program voltage Vp which is about 12V in accordance with the control signal? 2 to the row decoder and the word driver circuit WD for driving the word line WL1 to the voltage Vp in accordance with the row address signal Add1. Comparator COMP compares the input column addresser signal Add2 with a defective address and replaces the address signal with a duplicate address signal AddR1 as will be described later. Accordingly, the redundant memory cell block DCB serves as part of the memory cell block CB1 instead of the sub block SB11, for example. In the meantime, the program amplifier PA supplies the power supply voltage Vcc of the device, which is activated by the control signal? 2, to about 5V, to the column selectors CS1, CS2, CS3, CS4 and CSD via the data line DL. The column decoder CD decodes the address signal Add3 representing the redundant bit line BLD1 in place of the bit line BL11 / 1, and outputs the column select signal YS to the column selector CSD which drives the bit line BLD1 with the voltage Vcc. In contrast, the source controller SCC also decodes the address signal Add3, and outputs the control signal SCD to the transfer gate transistor TGD, which is thus switched to the conducting state. The voltage controller VC2 is a common source line SL electrically connected to the source line SLD of the redundant memory cell block DCB through the transfer gate transistor TGD, and supplies the ground voltage Vgnd according to the control signal ψ2. Therefore, the channel current flows in the redundant memory cell transistor MCTD11, causing a channel hot electron (CHF) near its drain region DR. These channel hot electrons are transferred from the control gate nationwide CGE to the floating gate nationwide FGE according to the high voltage Vp, for example as described above, from about 2V unprogrammed to about 7V programmed. Increase the threshold voltage Vt. The programmed state is for example consistent with logical memory data " 1. " In this case, similar to the conventional apparatus, the transfer gate transistor can be formed in a small size since it is required to transfer only the current generated by only one memory cell transistor MCT11.

판독 모드 동작에 있어서, 메모리 셀 트랜지스터 MCT11/11을 나타내는 어드레스 신호 Add가 입력되는 동일한 경우에 클럭 발생기 CG는 데이타 라인 DL을 통하여 열 셀렉터 CSD로 약 1V인 판독 전압 Vr을 공급하도록 판도 증폭기 RA를 활성화하는 외부 입력 신호 OE에 따라 제어 신호 ψ3을 출력한다. 열 디코더 CD 및 열 셀렉터 CSD는 프로그램 모드 동작과 동일한 방법으로 비트 라인 BLD1을 선택하며, 판독 전압 Vr을 공급한다. 또한, 워드라인 WL1이 선택되어 어드레스 버퍼 AB로부터의 어드레스 신호 Add1에 따라 전압 Vcc로 구동되며, 메모리 셀 트랜지스터 MCTD11이 선택된다. 이 경우에, 소스 라인 제어기 SCC가 역시 어드레스 신호 Add3에 따라 전달 게이트 트랜지스터 TGD를 선택한다. 전압 제어기 VC2는 제어 신호 ψ3에 따라 그라운드 전압 Vgnd를 출력한다. 때문에, 소스 라인 SLD가 그라운드 전압에서 유지된다. 이 경우, 메모리 셀 트랜지스터 MCTD11이 프로그램되어 약 7V인 한계전압 Vt를 가지므로써, 채널 전류가 그곳에 흐르지 않게 된다. 따라서, 비트 라인 BLD1 및 데이타 라인 DL에서의 전압 레벨이 판독 전압 Vr에서 유지되어, 판독 증폭기 RA는 데이타 라인 DL에서 전압 레벨을 검출하여 논리 메모리 데이타 "1"을 나타내는 고 레벨 판독 데이타 신호를 출력한다. 하지만 이러한 판독 모드 동작에서 만일 선택된 메모리 셀 트랜지스터 MCTD11가 프로그램되지 않은 상태에 있다면, 그곳에 채널 전류가 발생하여 비트 라인 BLD1 및 데이타 라인 DL에서 전압 감소를 야기시키고 판독 증폭기 RA는 논리 메모리 데이타 "0"을 나타내는 저 레벨 판독 데이타 신호를 출력하게 한다.In the read mode operation, the clock generator CG activates the dominant amplifier RA to supply a read voltage Vr of about 1 V to the column selector CSD through the data line DL when the address signal Add representing the memory cell transistors MCT11 / 11 is input. The control signal ψ3 is output in accordance with the external input signal OE. The column decoder CD and column selector CSD select the bit line BLD1 in the same manner as the program mode operation and supply the read voltage Vr. Further, word line WL1 is selected to be driven at voltage Vcc in accordance with address signal Add1 from address buffer AB, and memory cell transistor MCTD11 is selected. In this case, the source line controller SCC also selects the transfer gate transistor TGD in accordance with the address signal Add3. The voltage controller VC2 outputs the ground voltage Vgnd in accordance with the control signal ψ3. Thus, the source line SLD is maintained at ground voltage. In this case, the memory cell transistor MCTD11 is programmed to have a threshold voltage Vt of about 7V so that no channel current flows there. Thus, the voltage levels at bit line BLD1 and data line DL are maintained at read voltage Vr, so that read amplifier RA detects the voltage level at data line DL and outputs a high level read data signal representing logical memory data " 1. " . In this read mode operation, however, if the selected memory cell transistor MCTD11 is in an unprogrammed state, a channel current will be generated there, causing a voltage drop at the bit line BLD1 and the data line DL, and the read amplifier RA will generate a logical memory data “0”. Outputs the low level read data signal indicated.

소거 모드 동작에 있어서, 상기 설명된 종래의 장치와 동일한 방법으로 메모리 셀 블럭 CB1이 소거 되는 경우에, 중복 메모리 셀 블럭 DCB가 메모리 셀 블럭 CB1의 서브 클럭 SB11을 대신하여 작용하므로, 중복 메모리 셀 블럭 DCB 역시 동시에 소거되어야 한다. 즉, 먼저 클럭 발생기 CG가 어드레스 버퍼 AB로부터 역시 이드레시 신호 Add2가 공급되는 비교기 COMP로 외부 입력 신호 EE에 따라 제어 신호 ψ1을 출력한다. 이 경우에 어드레스 신호 Add2는 메모리 셀 블럭 CB1을 나타낸다. 때문에, 비교기 COMP는 제어 신호 ψ1에 따라 결함이 있는 어드레스 신호 AddD1 및 AddD2에 포함된 메모리 셀 블럭 CB1을 나타내는 정보를 입력 어드레스 신호 Add2에 비교한다. 즉, 각각의 결함있는 어드레스 신호 AddD1 및 AddD2는 메모리 셀 블럭 CB1을 나타내는 블럭 어드레스 신호 AddK1 또는 AddK2와, 셀 블럭 CB1의 비트 라인중 한 라인을 나타내는 비트 라인 어드레스 신호 AddT1 또는 AddT2로 구성된다. 제어 신호 ψ1에 의해 활성화되는 비교기 COMP는 결함있는 어드레스 신호 AddD1 또는 AddD2 각각의 블럭 어드레스 신호 Add2와 비교하고, 만약 이들이 서로간에 일치한다면 메모리 셀 블럭 CB1 및 중복 메모리 셀 블럭 DCB 양쪽 모두를 나타내는 어드레스 신호 Add3을 출력한다. 제어 신호 ψ1및 어드레스 신호 Add3에 응답하여 열 디코더 CD는 비트 라인 BL11/1, BL11/2, ... , BL1n/2 및 중복 비트 라인 BLD1, BLD2를 선택하여 이들을 데이타 라인 DL에 연결하는 메모리 셀 블럭 CB1 및 중복 메모리 셀 블럭 DCB로 열 선택 YS를 출력한다. 데이타 라인 DL에는 제어 신호 ψ1이 공급되는 소거 제어기 EC로부터의 그라운드 전압 Vgnd가 공급된다. 그 동안에, 제어신호 ψ1 및 어드레스 신호 Add3에 따른 소스 라인 제어기 SCC가 제어 신호 SC1 및 SCD를 전달 게이트 트랜지스터 TG11, ... , TG1n 및 전달 발생하여, 메모리 셀 블럭 CB1은 공통 소스 라인 SL로 전달될 중복 메모리 셀 블럭에 의해 야기된 전류보다 상당히 더 큰 양의 공통 소스 라인 SL에 전달될 총 전류를 발생시킨다. 하지만, 이러한 실시에 따라서, 메모리 셀 블럭 CB1의 메모리 셀 트랜지스터 T11/11, ... , T1n/22가 전달 게이트 트랜지스터 TG11, ... , TG1n과 관련하는 n 서브 블럭 SB11, ... , SB1n으로 각각 분할되고, 전달 게이트 트랜지스터 TGD와 관련하는 중복 메모리 셀블럭 DCB로서 동일한 수의 메모리 셀 트랜지스터 T/11/11, ... , T11/22를 포함하며, 전달 게이트 트랜지스터 TG11, ... , TG1n 및 TGD가 상기 언급된 바와 같이 서로간에 동일한 구동 능력을 가지는 동일한 크기로 형성되므로써, 소스 라인 SL11, ... , SL1n 및 SLD는 소거 전압 Ve와 동일한 전압 레벨에 거의 근접하여 서로간에 동일한 전압 레벨에서 유지된다. 이렇게, 메모리 셀 블럭 CB1 및 중복 메모리 셀 블럭 DCB의 모든 메모리 셀 트랜지스터 T11/11, ... , T11/22 및 MCTD11, ... , MCTD22는 동시에 프로그램되지 않는 상태에 있도록 조절된다. 때문에 상기 실시예에 따라서, 메모리 셀 블럭 CB1 및 중복 메모리 셀 블럭 DCB는 서로 다른 수의 메모리 셀 트랜지스터 T11/11, ... , T1n/22 및 MCTD11, ... , MCTD22를 구비하며, 각각의 메모리 셀 트랜지스터 T11/11, ... , T1n/22 및 MCTD11, ... , MCTD22의 소스 영역 RE에서의 전압은 소거 모드 동작중에 동일한 레벨에서 유지되어, 소거 모드 동작이 소거될 모든 메모리 셀 트랜지스터 T11/11, ... , T1n/22 및 MCTD11, ... , MCTD22가 충분하고 정상적으로 동시에 소거 되도록 실행된다. 결과적으로, 이러한 실시예의 장치는 총동작 신뢰도를 매우 높게하는 중복 메모리 셀 블럭을 안전하게 활용할 수 있다.In the erase mode operation, when the memory cell block CB1 is erased in the same manner as the conventional apparatus described above, the redundant memory cell block DCB acts in place of the sub-clock SB11 of the memory cell block CB1, so that the redundant memory cell block DCB must also be erased at the same time. That is, the clock generator CG first outputs the control signal ψ 1 according to the external input signal EE from the address buffer AB to the comparator COMP supplied with the address signal Add2. In this case, the address signal Add2 represents the memory cell block CB1. Therefore, the comparator COMP compares the information indicating the memory cell block CB1 included in the defective address signals AddD1 and AddD2 with the input address signal Add2 in accordance with the control signal? 1. That is, each defective address signal AddD1 and AddD2 is composed of a block address signal AddK1 or AddK2 representing a memory cell block CB1, and a bit line address signal AddT1 or AddT2 representing one line of the bit lines of the cell block CB1. The comparator COMP activated by the control signal ψ1 compares with the block address signal Add2 of each of the defective address signal AddD1 or AddD2, and if they coincide with each other, the address signal Add3 indicating both the memory cell block CB1 and the redundant memory cell block DCB. Outputs In response to the control signal ψ1 and the address signal Add3, the column decoder CD selects the bit lines BL11 / 1, BL11 / 2, ..., BL1n / 2 and the redundant bit lines BLD1, BLD2 and connects them to the data line DL. The column select YS is output to the block CB1 and the redundant memory cell block DCB. The data line DL is supplied with the ground voltage Vgnd from the erasing controller EC to which the control signal? 1 is supplied. In the meantime, the source line controller SCC according to the control signal ψ1 and the address signal Add3 has generated the transfer gate transistors TG11, ..., TG1n and transfer the control signals SC1 and SCD, so that the memory cell block CB1 is transferred to the common source line SL. The total current to be delivered to the common source line SL is significantly greater than the current caused by the redundant memory cell block. However, according to this embodiment, the memory cell transistors T11 / 11, ..., T1n / 22 of the memory cell block CB1 are n sub-blocks SB11, ..., SB1n associated with the transfer gate transistors TG11, ..., TG1n. A redundant memory cell block DCB associated with the transfer gate transistor TGD, each of which is divided into and includes the same number of memory cell transistors T / 11/11, ..., T11 / 22, and transfer gate transistors TG11, ..., Since TG1n and TGD are formed in the same size with the same driving capability between each other as mentioned above, the source lines SL11, ..., SL1n and SLD are almost close to the same voltage level as the erase voltage Ve and have the same voltage level between each other. Is maintained at. Thus, all the memory cell transistors T11 / 11, ..., T11 / 22 and MCTD11, ..., MCTD22 of the memory cell block CB1 and the redundant memory cell block DCB are adjusted so as not to be programmed at the same time. Therefore, according to the above embodiment, the memory cell block CB1 and the redundant memory cell block DCB have different numbers of memory cell transistors T11 / 11, ..., T1n / 22 and MCTD11, ..., MCTD22, respectively. The voltages in the source regions RE of the memory cell transistors T11 / 11, ..., T1n / 22 and MCTD11, ..., MCTD22 are maintained at the same level during the erase mode operation, so that all the memory cell transistors for which the erase mode operation is to be erased T11 / 11, ..., T1n / 22 and MCTD11, ..., MCTD22 are executed to be sufficient and normally erased simultaneously. As a result, the device of this embodiment can safely utilize a redundant memory cell block which makes the total operation reliability very high.

제3도는 본 발명의 다른 실시예의 따른 메모릴 장치를 도시한다. 상기 장치는 상기 설명된 첫번째 실시예의 장치와 거의 동일한 구조를 가지고 있는데 다만, 메모리 셀 블럭 CB1, CB2, CB3 및 CB4 각각이 각 전달 게이트 트랜지스터 TG101, TG102, TG103 또는 TG104에 연결된 각 소스 라인 SL101, SL102, SL103 또는 SL104를 비하고 있는 점이 다를 뿐이다. 각 메모리 셀 블럭 CB1, CB2, CB3 및 CB4(실례로 CB1)는 K 비트 라인 BL1/1, ... , BL1/K를 구비하며, 중복 메모리 셀 블럭 DCB는 두 비트 라인 BLD1 및 BLD2를 구비한다. 즉, 메모리 셀 블럭 CB1은 제4도에 도시된 바와 같이 중복 메모리 셀 블럭 DCB의 K/2배인 메모리 셀 트랜지스터 T1/1/1/, ... , T1/2/K를 구비한다. 또한, 전달 게이트 트랜지스터 T101은 중복 메모리 셀 블럭 DCB와 관련하는 전달 게이트 트랜지스터 TGD보다 K/2배 큰 구동 능력을 가진다. 메모리 셀 블럭 CB2, CB3 및 CB4과 전달 게이트 트랜지스터 TG102, TG103 및 TG104는 모메리 셀 블럭 CB1 및 전달 게이트 TG101과 동일한 구성을 갖는다. MOS형인 전달 게이트 트랜지스터 TG101, TG102, TG103, TG104 및 TGD의 구동능력은 채널 영역에서의 게이트 넓이, 게이트 같이 또는 불순물 농도를 조절함으로써 결정된다.3 shows a memory device according to another embodiment of the present invention. The device has almost the same structure as the device of the first embodiment described above, except that the memory cell blocks CB1, CB2, CB3 and CB4 are each source line SL101, SL102, each connected to a respective transfer gate transistor TG101, TG102, TG103 or TG104. The only difference is that SL103 or SL104 is compared. Each memory cell block CB1, CB2, CB3 and CB4 (for example CB1) has K bit lines BL1 / 1, ..., BL1 / K, and the redundant memory cell block DCB has two bit lines BLD1 and BLD2. . That is, the memory cell block CB1 includes the memory cell transistors T1 / 1/1 /, ..., T1 / 2 / K which are K / 2 times the redundant memory cell block DCB as shown in FIG. In addition, the transfer gate transistor T101 has a driving capability K / 2 times larger than the transfer gate transistor TGD associated with the redundant memory cell block DCB. The memory cell blocks CB2, CB3 and CB4 and the transfer gate transistors TG102, TG103 and TG104 have the same configuration as the memory cell blocks CB1 and the transfer gate TG101. The driving capability of the transfer gate transistors TG101, TG102, TG103, TG104 and TGD, which are of the MOS type, is determined by adjusting the gate width in the channel region, the gate like, or the impurity concentration.

상기 장치의 동작은 첫번째 실시예의 장치와 거의 동일한다. 때문에, 이러한 구성에 따라 소거 모드 동작에 있어서, 실례로 메모리 셀 블럭 CB1 및 중복 메모리 셀 블럭 DCB가 동시에 소거되어야 하는 경우 상기 두 메모리 셀 블럭은 서로 다른 수의 메모리 셀 트랜지스터 T1/1/1/, ... , T1/2/K 및 MCTD11, ... , MCTD22를 구비하며, 소스 라인 SL101 및 SLD에서의 전압 레벨이 PN 터널링 전류에도 불구하고 소거 전압 Ve와 서로간에 동일한 레벨에서 유지된다. 또한 상기 장치는 안전하게 중복 메모리 셀 블럭을 활용할 수 있으며, 그 동작 신뢰도를 높일 수 있다.The operation of the apparatus is almost the same as the apparatus of the first embodiment. Therefore, in the erase mode operation according to this configuration, for example, when the memory cell block CB1 and the redundant memory cell block DCB are to be erased at the same time, the two memory cell blocks have different numbers of memory cell transistors T1 / 1/1 //, ..., T1 / 2 / K and MCTD11, ..., MCTD22, the voltage levels at source lines SL101 and SLD remain at the same level with the erase voltage Ve, despite the PN tunneling current. In addition, the device can safely utilize the redundant memory cell block, and can increase the operation reliability.

본 발명은 상기 실시예들에 제한되는 것은 아니며, 본 발명의 범위 및 취지를 벗어나지 않고서 다양한 변경 및 수정이 가능하다.The present invention is not limited to the above embodiments, and various changes and modifications can be made without departing from the scope and spirit of the present invention.

Claims (9)

반도체 메모리 장치에 있어서, 다수의 제1메모리 셀을 포함하는 제1메모로 셀어레이와, 상기 제1메모리 셀 보다는 그 수가 작은 다수의 제2 메모리 셀을 포함하는 제2메모리 셀 어레이와, 소정의 전압을 동작 가능하게 발생하는 전압 발생기와, 상기 제1메모리 셀 어레이와 상기 전압 발생기 사이에 연결되어 상기 소정의 전압을 상기 제1메모리 셀 각각으로 동작가능하게 공급하는 제1전류 능력을 가지는 제1수단과, 상기 제2메모리 셀 어레이와 상기 전압 발생기 사이에 연결되어 상기 소정의 전압을 상기 제2메모리 셀 각각으로 동작가능하게 공급하는, 상기 제1전류 능력보다 적은 제2전류 능력을 가지는 제2수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.A semiconductor memory device comprising: a first memory cell array including a plurality of first memory cells, a second memory cell array including a plurality of second memory cells smaller in number than the first memory cell, and A first voltage generator operable to generate a voltage and a first current capability coupled between the first memory cell array and the voltage generator to operably supply the predetermined voltage to each of the first memory cells; Means and a second current capability less than the first current capability, coupled between the second memory cell array and the voltage generator to operatively supply the predetermined voltage to each of the second memory cells. And a means. 제1항에 있어서, 상기 제1수단은 각각이 서로 동시에 도전 상태 및 비도전 상태중 한 상태가 되도록 제1제어 신호에 의해 제어되는 다수의 제1전달 트랜지스터를 포함하고, 상기 제2수단은 제2제어 신호에 의해 제어되며 그 수에서 상기 제1 전달 게이트 트랜지스터보다 작은 최소한 하나의 제2전달 게이트 트랜지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.2. The apparatus of claim 1, wherein the first means comprises a plurality of first transfer transistors controlled by a first control signal such that each of the first means is in one of a conductive state and a non-conductive state simultaneously. And at least one second transfer gate transistor controlled by a control signal and smaller in number than the first transfer gate transistor. 제2항에 있어서, 상기 제1전달 게이트 트랜지스터 각각은 상기 제1 메모리 셀중 관련하는 셀에 연결되며, 상기 제1 메모리 셀의 상기 관련 셀은 상기 최소한 하나의 제2 전달 게이트 트랜지스터에 연결된 상기 제2 메모리 셀의 수와 동일하고, 제1 전달 게이트 트랜지스터 각각은 상기 최소한 하나의 제2전달 게이트 트랜지스터의 전류 능력과 거의 동일한 전류 능력을 가지는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.3. The display device of claim 2, wherein each of the first transfer gate transistors is connected to an associated cell of the first memory cells, and wherein the associated cell of the first memory cell is connected to the at least one second transfer gate transistor. And the first transfer gate transistors each having a current capacity substantially equal to the current capacity of the at least one second transfer gate transistor. 제1항에 있어서, 상기 제1수단은 상기 제1 전류 능력을 가지는 제1 전달 게이트 트랜지스터를 포함하고, 상기 제2 수단은 상기 제2 전류 능력을 가지는 제2 전달 게이트 트랜지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.2. The method of claim 1, wherein the first means comprises a first transfer gate transistor having the first current capability and the second means comprises a second transfer gate transistor having the second current capability. A semiconductor memory device. 반도체 메모리 장치에 있어서, 다수의 워드 라인, 다수의 비트 라인 및, 각각 상기 워드 라인중 한 라인과 상기 비트 라인중 한 라인에 연결된 다수의 메모리 셀을 갖는 메모리 셀 어레이를 구비하는 반도체 메모리 장치로서, 상기 메모리 셀 어레이는 다수의 제1 메모리 셀 블럭 및 제2 메모리 셀 블럭으로 분할되고, 상기 제2 메모리 셀 블럭은 소정수와 상기 메모리 셀과 그에 포함된 상기 메모리 셀 각각에 연결된 제2 신호 라인을 가지며, 상기 제1 메모리 셀 블럭 각각은 각각 소정수의 상기 메모리 셀을 갖는 다수의 서브 블럭으로 분할되고, 상기 서브 블럭 각각은 또한, 그 블럭에 포함된 상기 메모리 셀 각각에 연결된 제1 신호 라인과, 제어 전압을 그 출력 노드에 동작가능하게 발생하는 전압 제어기와, 상기 서브 블럭의 상기 제1신호 라인중 관련된 한 라인과 상기 전압 발생기의 상기 출력 노드 사이에 각각 연결된 다수의 제1 전달 게이트, 및 상기 제2신호 라인과 상기 전압 발생기의 상기 출력 노드 사이에 연결된 제2 전달 게이트를 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.A semiconductor memory device, comprising: a memory cell array having a plurality of word lines, a plurality of bit lines, and a plurality of memory cells each connected to one of the word lines and one of the bit lines; The memory cell array is divided into a plurality of first memory cell blocks and a second memory cell block, and the second memory cell block includes a predetermined number and a second signal line connected to each of the memory cells and the memory cells included therein. Each of the first memory cell blocks is divided into a plurality of sub blocks each having a predetermined number of the memory cells, each of the sub blocks further comprising: a first signal line connected to each of the memory cells included in the block; A voltage controller operatively generating a control voltage at an output node thereof, the voltage signal being associated with said first signal line of said subblock. And a plurality of first transfer gates connected between a line and the output node of the voltage generator, and a second transfer gate connected between the second signal line and the output node of the voltage generator. . 제1항에 있어서, 상기 메모리 셀 각각은 상기 워드 라인중 관련된 한 라인에 연결된 제어 게이트, 상기 비트 라인중 관련된 한 라인에 연결된 드레인 및 상기 제1 및 제2신호 라인중 관련된 한 라인에 연결된 소스를 갖는 메모리 셀 트랜지스터를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.The memory cell of claim 1, wherein each of the memory cells comprises a control gate connected to a related one of the word lines, a drain connected to a related one of the bit lines, and a source connected to a related one of the first and second signal lines. And a memory cell transistor having the semiconductor memory device. 제1항에 있어서, 상기 제1 전달 게이트 각각의 전류 능력은 상기 제2 전달 게이트와 동일한 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.2. The semiconductor memory device of claim 1, wherein the current capability of each of the first transfer gates is the same as the second transfer gate. 제1항에 있어서, 상기 제1전달 게이트는 각각 상기 서브 블럭중 관련된 한 블럭에 일치하는 다수의 그룹으로 분할되며, 상기 각 그룹의 제1전달 게이트는 서로 동시에 도전되는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.The semiconductor memory device of claim 1, wherein each of the first transfer gates is divided into a plurality of groups corresponding to a related block among the sub-blocks, and the first transfer gates of each group are simultaneously conductive to each other. . 반도체 메모리 장치에 있어서, 다수의 워드 라인, 다수의 비트 라인, 및 각각 사이 워드 라인중 한 라인과 상기 비트 라인중 한 라인에 연결된 다수의 메모리 셀을 갖는 메모리 셀 어레이를 구비하는 반도체 메모리 장치로서, 상기 메모리 셀 어레이는 제1의 다수의 상기 메모리 셀을 갖는 제1 메모리 셀 블럭과 상기 제1의 수보다 적은 제2의 다수의 상기 메모리 셀을 갖는 제2 메모리 셀 블럭으로 분할되며, 상기 제1 메모리 셀 블럭각각은 그에 포함된 상기 메모리 셀 각각에 연결된 제1신호 라인을 가지며, 상기 제2 메모리 셀 블럭은 또한, 그 블럭에 포함된 상기 메모리 셀 각각은 연결된 제2 신호 라인과, 제어 전압을 출력 노드에서 동작 가능하게 발생하는 전압 발생기와, 각각 상기 제1 신호 라인중 관련된 한 라인과 상기 전압 발생기의 상기 출력 노드 사이에 연결되어, 제1 구동 능력을 가지는 다수의 제1 전달 게이트, 및 상기 제2 신호 라인과 상기 전압 발생의 상기 출력 노드 사이에 연결되어, 제2 구동 능력을 가지는 제2 전달 게이트를 가지며, 상기 제1 구동 능력 대 상기 제2 구동 능력의 비는 상기 제1의 수 대 사이 제2의 수의 비와 동일한 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.A semiconductor memory device, comprising: a memory cell array having a plurality of word lines, a plurality of bit lines, and a plurality of memory cells connected to one of the word lines and one of the bit lines, respectively; The memory cell array is divided into a first memory cell block having a first plurality of the memory cells and a second memory cell block having a second plurality of the memory cells less than the first number, the first memory cell block having the first plurality of memory cells. Each of the memory cell blocks has a first signal line connected to each of the memory cells included in the memory cell block, and the second memory cell block may further include a second signal line connected to each other and a control voltage. A voltage generator operatively generated at an output node, one associated line of said first signal lines and said output node of said voltage generator, respectively And a plurality of first transfer gates having a first driving capability, and a second transfer gate having a second driving capability, connected between the second signal line and the output node of the voltage generation. And the ratio of the first driving capability to the second driving capability is equal to the ratio of the second number between the first number and the second number.
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