Claims (26)
필터 패널 수납 구멍을 형성하는 다수의 필터 패널 지지 그리드 부재를 갖고, 필터 패널을 통해 공기가 통과하는 공기/입자 밀봉식 기밀 밀봉 청정실을 제공하기 위한 청정실 시일링 그리드 시스템으로서, 상기 그리드 부재들 각각이 상기 그리드 부재를 청정실내에 장착하기 위한 수단을 포함하는 구조상 상부 섹션과, 필터 패널이 청정실로 부터 상기 구멍속으로 삽입되게 해주는 상기 구멍에 인접한 제1 압축위치와 상기 구멍속으로 연장하여 상기 걸쇠 수단이 필터 패널을 작동가능하게 지지해주는 제2위치 사이를 이동할 수 있는 걸쇠 수단을 갖는 수직으로 향한 길다란 필터 장착 하부 섹션을 구비하는 것을 특징으로 하는 청정실 시일링 그리드 시스템.A clean room sealing grid system having a plurality of filter panel support grid members defining a filter panel receiving hole, wherein the clean room sealing grid system is for providing an air / particle sealed hermetic clean room through which air passes through the filter panel. A structural upper section comprising means for mounting the grid member in a clean room, and a first compression position adjacent the hole allowing the filter panel to be inserted into the hole from the clean room and extending into the hole and the clasp means A clean room sealing grid system, comprising a vertically oriented elongated filter mounting bottom section having a latch means capable of moving between second positions operably supporting the filter panel.
제1항에 있어서, 상기 걸쇠수단이, 단면이 U자형이고 상기 그리드 부재 필터 장착 하부 섹션상에 상기 스프링 클립을 정착하기 위한 수단을 갖는 정착 섹션과, 상부 및 바닥 단부를 갖고, 상기 바닥 단부는 정착 섹션에 부착되고, 상기 상부 단부는 상기 그리드 부재 필터 장착 하부 섹션으로 부터 멀어지게 구부러지도록 된 선택적으로 압축가능한 필터 결합 섹션으로 이루어지는 스프링 클립인 것을 특징으로 하는 시스템.2. The clasp according to claim 1, wherein the latch means has a fixing section having a U-shaped cross section and means for fixing the spring clip on the grid member filter mounted lower section, and a top and bottom end, the bottom end being And a spring clip attached to the fixing section, wherein the upper end is a spring clip consisting of an selectively compressible filter engagement section adapted to bend away from the grid member filter mounting lower section.
제2항에 있어서, 상기 스프링 클립 필터 결합 섹션 상부 단부가 플라스틱으로 구성된 것을 특징으로 하는 시스템.3. The system of claim 2, wherein the spring clip filter engagement section upper end is made of plastic.
제2항에 있어서, 상기 스프링 정착 섹션은 상기 그리드 부재 필터 장착 하부 섹션내에서 대향 배치된 노치들내의 결합부를 맞물어주기 위해 구성 및 배열된 적어도 하나의 수평 돌출부를 포함하고, 상기 결합부는 상기 스프링 클립 필터 결합 섹션상에 설치된 펄터의 중량을 지지하기 위한 수단을 제공하는 것을 특징으로 하는 시스템.3. The spring fixing section of claim 2, wherein the spring anchoring section comprises at least one horizontal protrusion configured and arranged to engage engagement in opposingly disposed notches in the grid member filter mounting lower section, wherein the engagement portion comprises the spring. Providing means for supporting the weight of the pulp installed on the clip filter engaging section.
제1항에 있어서, 상기 구조상 상부 섹션은, 각각 상부 단부 및 바닥 단부를 갖고, 상기 상부 단부는 상기 마주하는 측벽 부재를 향해 수직으로 각이져 있고, 상기 각이진 상부 단부는 그 사이에 공간을 형성하여 시일링 부착 수단을 내부에 배치하게 해주며, 상기 측벽 부재 바닥 단부는 각각 그리드 부재 밀봉부를 구성하도록 된 두개의 수직 측벽 부재와, 상기 측벽 부재들 사이에 위치하며, 상기 측벽 부재와 더불어 직사각형 단면을 갖는 그리드 부재 상부 챔버를 형성하는 상부 수평 횡단 부재 및 하부 수평 횡단 부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 시스템.2. The structure of claim 1, wherein the structural upper section has a top end and a bottom end, respectively, wherein the top end is vertically angled toward the opposing sidewall member, with the angled top end forming a space therebetween. To place the sealing attachment means therein, wherein the side wall member bottom ends are respectively arranged between the two side wall members and the two vertical side wall members configured to constitute a grid member seal, and a rectangular cross section with the side wall member. And a lower horizontal traverse member and a lower horizontal traverse member forming a grid member upper chamber having an upper chamber.
제5항에 있어서, 상기 그리드 부재 밀봉부는 상기 하부 수평 횡단 부재 아래에서 상기 구조상 상부 섹션 측벽 부재로 부터 하방으로 연장하며, 상기 그리드 부재 걸쇠 수단에 의해 지지된 필터 패널과 협력하여 나이프 엣지 밀봉 수단을 제공하는 것을 특징으로 하는 시스템.6. The knife edge sealing means of claim 5, wherein the grid member seal extends downwardly from the structural upper section sidewall member below the lower horizontal cross member and cooperates with a filter panel supported by the grid member latch means. System for providing.
제6항에 있어서, 다수의 축방향 그리드 부재 상부 챔버내에서 미끄럼 가능하게 배치하기 위해 구성 및 배열되고, 상기 그리드 부재를 위한 지지 및 상대적 정렬을 제공하는 연결부재와, 상기 연결된 그리드 부재의 그리드 부재 밀봉부에 적절히 부착하기 위해 구성 및 배열되고, 상기 그리드 부재 밀봉부의 접속부에 밀봉 수단을 제공하는 탭 조각을 또한 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.7. The connecting member of claim 6, further comprising: a connecting member configured and arranged for slidably disposed in the plurality of axial grid member upper chambers, the connecting member providing support and relative alignment for the grid member; And a tab piece constructed and arranged to properly attach to the seal, the tab piece providing sealing means to the connection of the grid member seal.
제1항에 있어서, 상기 그리드 부재들 각각은, 상기 그리드 부재 구조상 상부 섹션을 통해 연장하며, 또 다른 그리드 부재와의 접촉면을 위해 설계된 상기 그리드 부재의 제1단부에 인접하여 상기 그리드 부재 구조상 상부 섹션속으로 코오킹 혼합물이 주입되게 해주는 구멍과, 상기 그리드 부재의 제1단부상에 설치되며, 상기 접촉면 둘레에서의 코오킹 혼합물의 누설을 허용해주는 다수의 돌출부와, 상기 그리드 부재 구조상 상부 섹션내에 설치되며, 예정된 양의 코오킹 혼합물이 상기 구조상 섹션속으로 들어가게 해주는 코오킹 정지 수단을 한 포함하고, 상기 예정된 코오킹 혼합물이 상기 구멍을 통해 상기 구조상 상부 섹션속으로 주입될때, 코오킹 혼합물의양은 상기 돌출부를 지나 상기 그리드 부재 구조상 상부 섹션으로 부터 밀어 붙혀지고, 상기 코오킹 혼합물 누설은 상기 그리드 부재들 사이의 접촉면을 밀봉하는 것을 특징으로 하는 시스템.The grid member structural upper section of claim 1, wherein each of the grid members extends through the upper section on the grid member structure and is adjacent to a first end of the grid member designed for a contact surface with another grid member. A hole for injecting the coking mixture into the chamber, a plurality of protrusions installed on the first end of the grid member and allowing leakage of the coking mixture around the contact surface, and in the upper section of the grid member structure And a coking stop means to allow a predetermined amount of coking mixture to enter the structural section, and when the predetermined coking mixture is injected into the structural upper section through the aperture, the amount of coking mixture is Pushed from the upper section on the grid member structure past the protrusions, The caulking mixture leakage seals the contact surface between the grid members.
제5항에 있어서, 상기 그리드 부재는 상기 그리드 부재 상부 챔버내에 부압 플리넘을 발생시키기 위한 수단을 이루는 선택적으로 작동가능한 측벽 구멍을 포함하고, 상기 그리드 부재 하부 수평 횡단 부재는 상기 상부 챔버와 하부 챔버 사이를 연장하며 상기 상부 및 하부 챔버들 사이에서 공기 흐름을 허용하는 구멍을 포함하며, 상기 그리드 부재 부압 플리넘은 상기 그리드 부재 상부 및 하부 챔버의 내부로 부터 여과되지 않은 공기를 제거하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.6. The grid member of claim 5, wherein the grid member includes a selectively operable sidewall hole that constitutes means for generating a negative pressure plenum in the grid member upper chamber, wherein the grid member lower horizontal cross member is between the upper chamber and the lower chamber. And a hole allowing air flow between the upper and lower chambers, wherein the grid member negative pressure plenum includes means for removing unfiltered air from the interior of the grid member upper and lower chambers. System characterized in that.
제5항에 있어서, 상기 그리드 부재 밀봉부는 상기 그리드 부재의 길이를 따라 연장하며 원하는 청정실 그리드 시스템 패턴에 따라 상기 그리드 부재 밀봉부의 정확한 절단을 용이하게 해주는 축방향 홈을 또한 갖는 것을 특징으로 하는 시스템.6. The system of claim 5, wherein the grid member seal also has an axial groove that extends along the length of the grid member and facilitates accurate cutting of the grid member seal in accordance with a desired clean room grid system pattern.
제1항에 있어서, 상기 걸쇠 수단상에 필터 패널을 지지하기 위해 구성 및 배열된 측방향으로 돌출하는 상부 원주 플랜지를 필터 패널을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.2. The system of claim 1, comprising a filter panel with a laterally projecting upper circumferential flange constructed and arranged to support the filter panel on the latch means.
제11항에 있어서, 상기 상부 원주 플랜지는 그 사이에 밀봉제 홈통을 형성하는 제1 및 제2벽을 갖는 U자형 단면을 이루고, 상기 밀봉제 홈통은 상기 그리드 부재 밀봉부와 협력하여 상기 필터를 기밀 밀봉하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.12. The apparatus of claim 11, wherein the upper circumferential flange has a U-shaped cross section with first and second walls defining a seal trough therebetween, wherein the seal trough cooperates with the grid member seal to seal the filter. And means for hermetically sealing.
제11항에 있어서, 상기 상부 원주 플랜지는 단면이 W자형이고 그들 사이에 적어도 하나의 밀봉제 홈통을 형성하는 제1, 제2 및 제3벽을 갖고, 상기 제1 및 제3벽 사이에 위치한 제2벽은 상기 필터 패널 위에 위치한 플리넘 부재를 지지해주는 수단을 구비하고, 상기 밀봉제 홈통은 상기 그리드 부재 및 플리넘 부재와 헙력하여 상기 필터 패널을 기밀 밀봉하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.12. The upper circumferential flange of claim 11, wherein the upper circumferential flange has first, second, and third walls that are W-shaped in cross section and form at least one seal trough therebetween, and located between the first and third walls. A second wall having means for supporting a plenum member positioned above the filter panel, and the seal trough includes means for hermetically sealing the filter panel in coordination with the grid member and the plenum member. System.
제11항에 있어서, 상기 필터 패널 각각은 측벽과 하부 원주 플랜지를 구비하고, 상기 측벽은 상기 상부 원주 플랜지와 상기 하부 원주 플랜지 사이를 연장하며, 상기 필터 패널 측벽은 인접한 필터 패널들 사이 및 필터 패널과 인접한 청정실 측벽사이에 원주 체적을 형성하는 것을 특징으로 하는 시스템.12. The filter panel of claim 11, wherein each of the filter panels has a side wall and a lower circumferential flange, the side walls extend between the upper and lower circumferential flanges, and the filter panel side walls are between adjacent filter panels and the filter panel. And a circumferential volume between the and adjacent cleanroom sidewalls.
제14항에 있어서, 상기 하부 원주 플랜지는, 상기 하부 원주 플랜지로 부터 하방으로 돌출하며, 하부 밀봉 수단을 구성하는 수직으로 향한 하부 엣지 부재와, 상기 하부 원주 플랜지로 부터 하방으로 돌출하며, 필터 캡과 적절히 결합하도록 구성 및 배열된 각진면을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.The lower circumferential flange of claim 14, wherein the lower circumferential flange projects downwardly from the lower circumferential flange, and projects downwardly from the lower circumferential flange, vertically facing lower edge members constituting the lower sealing means. And an angled surface constructed and arranged to properly engage with the system.
제15항에 있어서, 상기 필터 패널 하부 원주 플랜지에 제거가능하게 부착되고 단면이 역 A자형인 상기 필터 캡은 상부 단부 및 하부 단부를 갖는 측벽을 구비하고, 상기 필터 캡 측벽 상부 단부는 상기 필터 패널로부터 상기 필터 캡 측벽상에 공기 흐름을 원활하게 변이시켜 주도록 구성 및 배열되며, 상기 필터 측벽은 필터 패널 공기 흐름축으로 부터 멀어지는 방향으로 약 4°와 12°사이의 경사 각도를 갖는 것을 특징으로 하는 시스템.16. The filter cap of claim 15, wherein said filter cap removably attached to said filter panel lower circumferential flange and having an inverted A cross section has sidewalls having an upper end and a lower end, said filter cap sidewall upper end being the filter panel. And configured to smoothly transition airflow on the filter cap sidewalls, the filter sidewalls having an inclination angle of between about 4 ° and 12 ° in a direction away from the filter panel air flow axis. system.
제15항에 있어서, 상기 필터 하부 원주 플랜지에 제거가능하게 부착되고 단면이 V자형인 상기 필터 캡은 상부 단부 및 하부 단부를 갖고 그 사이에 적어도 하나의 계단형 섹션을 구비하는 측벽을 포함하고, 상기 필터 캡 측벽 상부 단부는 상기 필터 패널로 부터 상기 필터 캡 측벽상에 공기 흐름을 원활하게 변이시켜주도록 구성 및 배열되며, 상기 측벽 계단형 섹션 각각은 상기 필터 패널로 부터 공기 흐름축에 수직으로 향한 폭 규정면과, 상기 필터 패널로 부터 공기 흐름축에 평행하게 되어 있는 높이 규정면을 포함하고, 상기 측벽 계단형 섹션 각각은 약 1 : 1.5와 1 : 7사이의 종횡비를 가지며, 상기 필터 캡 하부 단부 아래에서 실질적인 청정실 층류 공기를 허용하는 상기 필터 캡 상부 단부와 하부 단부사이의 영역으로 공기 흐름 와류의 장소를 조절하기 위한 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 시스템.16. The filter cap of claim 15, wherein said filter cap removably attached to said filter lower circumferential flange and having a V-shaped cross section includes sidewalls having an upper end and a lower end and having at least one stepped section therebetween, The filter cap sidewall upper end is configured and arranged to smoothly vary airflow from the filter panel onto the filter cap sidewall, each sidewall stepped section being perpendicular to the air flow axis from the filter panel. A width defining surface and a height defining surface parallel to the air flow axis from the filter panel, wherein each of the side wall stepped sections has an aspect ratio between about 1: 1.5 and 1: 7, and below the filter cap Adjust the location of the air flow vortex to an area between the filter cap upper and lower ends that allows substantial clean room laminar air below the end. The system comprising: means for group.
제1항에 있어서, 그 위에 수직 경사 돌출부를 갖는 측벽을 구비한 필터 패널을 포함하고, 상기 경사 돌출부는 장착된 필터 패널을 상기 그리드 부재로 부터 용이하게 제거하기 위해 상기 걸쇠 수단과 협력하는 것을 특징으로 하는 시스템.2. A filter panel according to claim 1, comprising a filter panel having a side wall having a vertically inclined protrusion thereon, wherein the inclined protrusion cooperates with the latch means to easily remove a mounted filter panel from the grid member. System.
필터 패널 수납구멍을 형성하는 다수의 필터 패널 지지 그리드 부재를 갖고, 필터 패널을 통해 공기가 통과하는 공기/입자 밀봉식 기밀 밀봉 청정실을 제공하기 위한 청정실 시일링 그리드 시스템으로서, 상기 그리드 부재들 각각은, 상부 원주 플랜지와 하부 원주 플랜지 및 그 사이를 연장하는 측벽을 갖고, 상기 필터 패널 측벽이 인접한 필터 패널들 사이 및 필터 패널과 인접 청정실 측벽 사이에 원주 체적을 규정해 주는 필터 패널과, 각각 상부 단부 및 바닥 단부를 갖고 상기 상부 단부가 대향 하는 측벽 부재를 향해 수직으로 각이져 있고 이 각이진 상부 단부가 그들 사이에 공간을 형성하여 내부에 시일링 부착 수단을 배치하게 해주며 상기 측벽 부재 바닥 단부의 각각이 상기 그리드 부재 구조상 상부 섹션으로 부터 하방으로 연장하는 그리드 부재 밀봉부를 구성하고 상기 그리드 부재가 나이프 엣지 밀봉 수단을 제공하도록 된 두개의 수직 대향 측벽 부재와, 상기 측벽 부재들 사이에 위치하며 상기 측벽부재와 함께 직사각형 단면의 그리드 부재 상부 챔버를 형성하는 상부 수평 횡단 부재 및 하부 수평 횡단 부재와, 다양한 그리드 패턴을 형성하도록 다수의 그리드 부재를 용이하게 연결해주는 수단, 및 다수의 연결된 그리드 부재의 접촉면을 기밀 밀봉해주는 수단으로 이루어지는 구조상 상부 섹션, 및 상기 필터 패널이 청정실로 부터 상기 구멍속으로 삽입되게 해주는 상기 구멍에 인접한 제1 압축 위치와 상기 구멍속으로 연장하여 상기 스프링 클립이 상기 필터 패널을 작동가능하게 지지해주는 제2 위치 사이에 위치 결정 가능하게 부착된 스프링 클립을 갖는 길다란 수직 필터 장착 하부 섹션으로 구성된 필터 패널 지지 그리드 부재 및, 상기 청정실내에 실질적인 층류 공기를 제공해주는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 청정실 시일링 그리드 시스템.A clean room sealing grid system having a plurality of filter panel support grid members defining a filter panel receiving aperture and for providing an air / particle sealed hermetically sealed clean room through which air passes through the filter panel, wherein each of the grid members comprises: A filter panel having an upper circumferential flange and a lower circumferential flange and sidewalls extending therebetween, the filter panel sidewalls defining a circumferential volume between adjacent filter panels and between the filter panel and the adjacent cleanroom sidewalls, each of the upper end; And having a bottom end and vertically angled toward the opposing side wall member, the angled top end forming a space therebetween to place a sealing attachment means therein and A grid portion each extending downward from an upper section in the grid member structure Two horizontally opposing sidewall members, which constitute a reseal, and wherein the grid member is adapted to provide a knife edge sealing means, and between the sidewall members and together with the sidewall member to form a grid member upper chamber of rectangular cross section; A structural upper section consisting of a cross member and a lower horizontal cross member, means for easily connecting a plurality of grid members to form various grid patterns, and means for hermetically sealing a contact surface of the plurality of connected grid members, and the filter panel A spring movably attached between a first compression position adjacent the aperture allowing insertion into the aperture from a clean room and a second position extending into the aperture such that the spring clip operably supports the filter panel Long vertical filter mounting bottom with clip And a filter panel support grid member comprised of sections and means for providing substantial laminar air in said cleanroom.
제19항에 있어서, 상기 그리드 부재 필터 장착 하부 섹션에 면한 상기 필터 패널 측벽상에 위치한 수직경사 돌출부와, 핸들부와, 상기 핸들부에 부착된 수평 필터 패널 지지부 및, 상기 필터 패널 지지부에 부착되고 상기 경사 돌출부와 스프링 클립을 결합하도록 구성 및 배열된 다수의 수직판을 가지며 상기 필터 패널이 해제되어 그 자체의 중량에 의해 필터 패널 제거 공구의 필터 패널 지지부상에 하방으로 이동하는 상기 제1 압축 위치로 상기 필터 상부 원주 플랜지와의 지지 결합부로 부터 상기 스프링 클립 필터 결합 섹션 상부 단부를 작동 가능하게 위치 결정 해주는 스프링 클립 위치 결정부를 갖는 필터 패널 제거 공구를 또한 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.20. The device of claim 19, further comprising a vertical inclined protrusion located on the filter panel side wall facing the grid member filter mounting lower section, a handle portion, a horizontal filter panel support attached to the handle portion, and the filter panel support portion. The first compression position having a plurality of vertical plates constructed and arranged to engage the inclined protrusion and the spring clip, the filter panel being released and moving downward on the filter panel support of the filter panel removal tool by its own weight And a filter panel removal tool having a spring clip positioning portion for operatively positioning the spring clip filter engagement section upper end from the support engagement with the filter upper circumferential flange.
시일링과 마루 및 그들 사이를 연장하는 측벽들에 의해 경계가 정해진 청정실로 이루어지는 공기/입자 밀봉식 기밀 일봉 청정실을 제공하기 위한 청정실 시일링 그리드 시스템으로서, 상기 청정실은 상기 청정실 시일링 아래의 패턴내에 배열된 다수의 시일링 장착 그리드 부재를 구비한 시일링 그리드 필터 시스템을 포함하고, 상기 시일링 그리드 패턴은 내부에 필터 패널을 수납 하기에 적합한 다수의 구멍을 형성해주고 상기 필터 패널은 상기 구멍을 규정해주는 상기 그리드 부재의 부분상에 장착되며 각각 공급공기를 수납하도록 구성 배열된 상부 단부와 상기 청정실 및 필터 패널 측벽속으로 여과된 공기를 방출하기 위해 구성 패널들사이 및 필터 패널과 인접 청정실 측벽사이에 원주 채적을 형성해 주고, 상기 시일링 그리드 필터 시스템은 각각 상부 단부 및 하부 단부를 갖는 필터 캡을 포함하여 상기 필터 캡 상부 단부는 상기 필터 하부 단부에 제거 가능하게 부착가능하고 상기 필터 캡은 상기 청정실속으로 하향 연장하며 상기 원주 체적을 기밀 밀봉함과 동시에 상기 필터 캡 하부 단부아래에 실질적으로 층류 청정실 공기를 제공해주는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 청정실 시일링 그리드 시스템.A clean room sealing grid system for providing an air / particle sealed hermetic sealed clean room consisting of a clean room delimited by a sealing and a floor and sidewalls extending therebetween, the clean room being in a pattern under the clean room sealing. A sealing grid filter system having a plurality of sealing mounting grid members arranged therein, wherein the sealing grid pattern defines a plurality of holes therein suitable for receiving a filter panel therein, the filter panel defining the holes A top end mounted on a portion of the grid member and arranged to receive supply air, respectively, between component panels and between filter panels and adjacent clean room sidewalls to release filtered air into the clean room and filter panel sidewalls. Circumferential deposits, the sealing grid filter system The filter cap upper end including a filter cap having an upper end and a lower end is removably attachable to the lower end of the filter and the filter cap extends downward into the clean room and hermetically seals the circumferential volume. And a means for providing substantially laminar flow clean room air under the filter cap lower end.
제21항에 있어서, 상기 필터 캡 각각은, 상기 필터 패널로 부터 상기 필터 캡 측벽속으로 공기 흐름이 방해받지 않고 변이되는 것을 특징으로 허용하도록 구성 배열된 필터 캡 상부 단부 및, 단면이 V자형이고, 필터 패널 공기 흐름축으로 부터 멀어지는 방향으로 4°와 12°사이의 경사각도를 갖는 필터 캡 측벽을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.22. The filter cap upper end and cross-section of the filter cap of claim 21, wherein each of the filter caps is V-shaped and arranged to allow the flow of air from the filter panel into the filter cap sidewalls undisturbed. And a filter cap sidewall having an angle of inclination between 4 ° and 12 ° in a direction away from the filter panel air flow axis.
제22항에 있어서, 상기 필터 캡은 내부에 밀봉제 수단을 수납하도록 구성 배열된 적어도 하나의 수평횡단 부재를 포함하고, 상기 밀봉제 수단은 기밀 밀봉체를 형성하도록 상기 필터 패널 하부 단부와 협력하는 것을 특징으로 하는 시스템.23. The filter cap as claimed in claim 22, wherein the filter cap includes at least one horizontal transverse member arranged to receive a seal means therein, the seal means cooperating with the filter panel lower end to form an airtight seal. System characterized in that.
제21항에 있어서, 상기 필터 캡 각각은, 상기 필터 패널로 부터 상기 필터 캡 측벽상에 공기 흐름이 방해받지 않고 변이하는 것을 허용하도록 구성 배열된 필터 캡 상부 단부와, 상기 필터 패널로 부터 공기 흐름축에 수직하게 되어 있는 폭 규정면과 상기 필터 패널로 부터 공기 흐름축에 평행하게 되어 있는 높이 규정면을 갖는 상기 측벽 내의 적어도 하나의 계단형 섹션을 포함하고, 상기 계단형 섹션 각각은 약 1 : 1.5와 1 : 7사이의 종횡비를 가지며 상기 필터 캡 상부 단부와 하부단부 사이의 청정실공기 와류를 조절하기 위한 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 시스템.22. The filter cap top end of claim 21, wherein each of the filter caps comprises: a filter cap upper end arranged to allow unobstructed transition of air flow from the filter panel onto the filter cap sidewalls; At least one stepped section in the sidewall having a width defining surface perpendicular to the axis and a height defining surface parallel to the air flow axis from the filter panel, each of the stepped sections being approximately one: And means for regulating clean room air vortex between said filter cap upper and lower ends having an aspect ratio between 1.5 and 1: 7.
내부 챔버를 형성하는 수직 및 수평 벽 부분을 각각 갖는 다수의 공유접촉 그리드 부재에 대한 공기/입자 밀봉식 기밀 밀봉을 제공하기 위한 청정실 시일링 그리드 시스템으로서, 상기 그리드 부재 각각은, 상기 그리드 부재의 벽 부분을 통해 연장하며, 또 다른 그리드 부재와 공유 접촉하게 설계된 상기 그리드 부재의 제1 단부에 인접한 상기 그리드 부재 내부 챔버 속으로 코오킹 혼합물이 주입되게 해주는 구멍과, 상기 그리드 부재의 제1단부상에 위치하며 코오킹 혼합물이 상기 공유 접촉면을 지나 누설되는 것을 허용해주는 다수의 돌출부 및, 상기 그리드 부재 내부 챔버내에 위치하며 예정된 양의 코오킹 혼합물이 상기 내부 챔버속으로 주입되는 것을 허용해주는 코오킹 정지 수단을 포함하고, 상기 예정된 양의 코오킹 혼합물이 상기 구멍을 통해 상기 내부 챔버속으로 주입될때, 소정량의 코오킹 혼합물이 상기 내부 챔버로 부터 상기 돌출부를 지나 밀어붙혀지고, 상기 코오킹 혼합물 누설이 상기 다수의 그리드 부재들 사이의 상기 공유 접촉면을 밀봉해주는 것을 특징으로 하는 청정실 시일링 그리드 시스템.A clean room sealing grid system for providing an air / particle sealed hermetic seal for a plurality of covalent contact grid members each having vertical and horizontal wall portions forming an interior chamber, each grid member being a wall of the grid member. On a first end of the grid member and through a hole extending through the portion and allowing a caulking mixture to be injected into the chamber within the grid member adjacent to the first end of the grid member designed to be in covalent contact with another grid member; A plurality of protrusions positioned and allowing the coking mixture to leak past the shared contact surface, and coking stopping means located within the grid member inner chamber and allowing a predetermined amount of coking mixture to be injected into the inner chamber. Wherein said predetermined amount of coking mixture is through said aperture. When injected into the inner chamber, a predetermined amount of coking mixture is pushed past the protrusion from the inner chamber and the coking mixture leakage seals the shared contact surface between the plurality of grid members. Clean room sealing grid system.
상기 코오킹 정지 수단은 상기 그리드 부재 내부 챔버속에 삽입하도록 구성 배열된 코오킹 컵을 포함하고, 상기 코오킹 컵은 상기 그리드 부재의 제1 단부 상에 적절히 결합하기 위한 립형상 보유 수단과, 코오킹 혼합물이 통과하여 주입되는 것을 허용해주는 구멍을 규정해주는 측부를 구비하는 것을 특징으로 하는 시스템.The coking stop means comprises a coking cup configured to be inserted into the chamber inside the grid member, the coking cup having lip shape retaining means for properly engaging on the first end of the grid member; And a side defining a hole that allows the mixture to be injected therethrough.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.