KR20220127629A - Material storage apparatus and logistics management equipment including the same - Google Patents

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Abstract

Disclosed are a material storage device and a logistics management facility including the same. The logistics management facility includes: a first storage module having a transfer rail for transferring a container in which a material is stored, a transfer vehicle configured to be movable along the transfer rail for transfer of the container, a purge unit disposed on one side of the transfer rail to be used to store the container and purging the inside of the container using a purge gas; a second storage module disposed on one side of the transfer rail to be used to store the container, and not having a purge function by the purge gas; and a controller for controlling operations of the transfer vehicle and the purge unit to transfer the container to the first storage module, perform a purge step by the purge gas, and transfer the container to the second storage module. It is possible to reduce an installation space and installation cost.

Description

자재 보관 장치 및 이를 포함하는 물류 관리 설비{MATERIAL STORAGE APPARATUS AND LOGISTICS MANAGEMENT EQUIPMENT INCLUDING THE SAME}MATERIAL STORAGE APPARATUS AND LOGISTICS MANAGEMENT EQUIPMENT INCLUDING THE SAME

본 발명의 실시예들은 자재 보관 장치 및 이를 이용하는 물류 관리 설비에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치의 제조 공정에서 웨이퍼들이 수납된 용기들의 임시 보관을 위해 사용되는 사이드 트랙 버퍼(Side Track Buffer; STB) 장치와 같은 자재 보관 장치와 이를 포함하는 물류 관리 설비에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a material storage device and a logistics management facility using the same. More particularly, it relates to a material storage device such as a side track buffer (STB) device used for temporary storage of containers in which wafers are accommodated in a manufacturing process of a semiconductor device, and a logistics management facility including the same.

반도체 장치의 제조 공정에서 반도체 웨이퍼, 반도체 스트립, 인쇄회로기판, 리드 프레임, 등과 같은 자재들은 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치, RGV(Rail Guided Vehicle) 장치, AGV(Automatic Guided Vehicle) 등과 같은 이송 장치에 의해 이송될 수 있다. 일 예로서, 상기 OHT 장치는 클린룸의 천장 부위에 설치되는 이송 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 이송 차량을 포함할 수 있다.In the manufacturing process of semiconductor devices, materials such as semiconductor wafers, semiconductor strips, printed circuit boards, lead frames, etc. are transferred to transport devices such as OHT (Overhead Hoist Transport), RGV (Rail Guided Vehicle), and AGV (Automatic Guided Vehicle). can be transported by As an example, the OHT device may include a transfer vehicle configured to be movable along a transfer rail installed on a ceiling portion of a clean room.

상기 이송 레일의 일측에는 상기 자재들의 임시 보관을 위한 사이드 트랙 버퍼 장치와 같은 자재 보관 장치가 배치될 수 있다. 예를 들면, 웨이퍼들의 수납을 위해 사용되는 용기가 상기 이송 차량에 의해 상기 자재 보관 장치로 이송될 수 있으며, 상기 자재 보관 장치는 상기 용기의 내부를 질소 가스와 같은 불활성 가스를 이용하여 퍼지하기 위한 퍼지 유닛을 구비할 수 있다. 일 예로서, 대한민국 공개특허공보 제10-2014-0055393호에는 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치가 개시되어 있다.A material storage device such as a side track buffer device for temporary storage of the materials may be disposed on one side of the transport rail. For example, a container used for accommodating wafers may be transferred to the material storage device by the transfer vehicle, and the material storage device is configured to purify the inside of the container using an inert gas such as nitrogen gas. A purge unit may be provided. As an example, Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2014-0055393 discloses a wafer purgeable ceiling storage device.

그러나, 상기 이송 레일을 따라 배치되는 모든 자재 보관 장치들에 각각 퍼지 유닛들을 장착하는 경우 상기 퍼지 유닛들을 구성하는 배관들과 밸브들의 설치를 위한 공간적인 제약이 발생될 수 있고, 또한 상기 퍼지 유닛들의 장착을 위한 비용이 크게 상승될 수 있다.However, when purge units are respectively installed in all material storage devices arranged along the transfer rail, spatial restrictions for installing pipes and valves constituting the purge units may occur, and also The cost for mounting can be greatly increased.

대한민국 공개특허공보 제10-2014-0055393호 (공개일자 2014년 05월 09일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2014-0055393 (published on May 09, 2014)

본 발명의 실시예들은 설치 공간 및 설치 비용을 감소시킬 수 있는 자재 보관 장치와 이를 포함하는 물류 관리 설비를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY Embodiments of the present invention have an object to provide a material storage device capable of reducing the installation space and installation cost, and a logistics management facility including the same.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 자재 보관 장치는, 자재가 수납된 용기의 이송을 위한 이송 레일의 일측에 배치되어 상기 용기의 보관을 위해 사용되며 상기 용기의 내부를 퍼지 가스를 이용하여 퍼지하는 퍼지 유닛을 구비하는 제1 보관 모듈과, 상기 이송 레일의 일측에 배치되어 상기 용기의 보관을 위해 사용되며 상기 퍼지 가스에 의한 퍼지 기능이 구비되지 않은 제2 보관 모듈을 포함할 수 있다.A material storage device according to an aspect of the present invention for achieving the above object is disposed on one side of a transfer rail for transfer of a container in which the material is accommodated and is used for storage of the container, and purge gas is used to purify the inside of the container. It may include a first storage module having a purge unit for purging using, and a second storage module disposed on one side of the transfer rail, used for storage of the container, and not equipped with a purge function by the purge gas. have.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 용기의 하부에는 상기 퍼지 가스의 공급을 위한 공급 포트와 상기 퍼지 가스의 배출을 위한 배출 포트가 구비되고, 상기 제1 보관 모듈은, 상기 퍼지 가스의 공급을 위한 제1 공급홀과 상기 퍼지 가스의 배출을 위한 제1 배출홀을 구비하는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트 상에 배치되고 상기 제1 공급홀과 연결되는 제2 공급홀과 상기 제1 배출홀과 연결되는 제2 배출홀을 구비하며 상기 용기가 놓여지는 서포트 플레이와, 상기 제1 공급홀과 연결되며 상기 퍼지 가스를 공급하기 위한 공급 배관과, 상기 제1 배출홀과 연결되며 상기 퍼지 가스를 배출하기 위한 배출 배관을 구비할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, a supply port for supplying the purge gas and a discharge port for discharging the purge gas are provided at a lower portion of the container, and the first storage module is configured to supply the purge gas a base plate having a first supply hole for , a first discharge hole for discharging the purge gas, a second supply hole disposed on the base plate and connected to the first supply hole, and the first discharge hole A support play having a second discharge hole connected to and on which the container is placed, a supply pipe connected to the first supply hole and supplying the purge gas, and the first discharge hole connected to the purge gas A discharge pipe for discharging may be provided.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 보관 모듈은, 상기 서포트 플레이트를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present disclosure, the first storage module may further include a vertical driving unit for moving the support plate in a vertical direction.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 자재 보관 장치는, 상기 서포트 플레이트 상의 상기 용기에 대한 퍼지 단계가 완료된 후 제2 용기에 대한 퍼지 단계를 수행하기 위하여 상기 서포트 플레이트를 상승시키도록 상기 수직 구동부의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the material storage device, the vertical drive unit to raise the support plate to perform the purge step for the second container after the purge step for the container on the support plate is completed It may further include a control unit for controlling the operation.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 서포트 플레이트가 상승된 후 상기 제2 용기는 상기 베이스 플레이트 상에 놓여지며, 상기 퍼지 가스는 상기 제1 공급홀을 통해 상기 제2 용기 내부로 공급되고 상기 제1 배출홀을 통해 상기 제2 용기로부터 배출될 수 있다.According to some embodiments of the present invention, after the support plate is raised, the second container is placed on the base plate, and the purge gas is supplied into the second container through the first supply hole and the It may be discharged from the second container through the first discharge hole.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 물류 관리 설비는, 자재가 수납된 용기의 이송을 위한 이송 레일과, 상기 용기의 이송을 위해 상기 이송 레일을 따라 이동 가능하도록 구성되는 이송 차량과, 상기 이송 레일의 일측에 배치되어 상기 용기의 보관을 위해 사용되며 상기 용기의 내부를 퍼지 가스를 이용하여 퍼지하는 퍼지 유닛을 구비하는 제1 보관 모듈과, 상기 이송 레일의 일측에 배치되어 상기 용기의 보관을 위해 사용되며 상기 퍼지 가스에 의한 퍼지 기능이 구비되지 않은 제2 보관 모듈과, 상기 용기를 상기 제1 보관 모듈로 이송하여 상기 퍼지 가스에 의한 퍼지 단계를 수행하고 상기 용기를 상기 제2 보관 모듈로 이송하도록 상기 이송 차량과 상기 퍼지 유닛의 동작을 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.Logistics management facility according to another aspect of the present invention for achieving the above object, a transport rail for transporting the container in which the material is accommodated, and a transport vehicle configured to be movable along the transport rail for transport of the container; , a first storage module disposed on one side of the transfer rail, used for storage of the container, and having a purge unit for purging the inside of the container using a purge gas, and disposed on one side of the transfer rail, the container a second storage module that is used for storage of and is not equipped with a purge function by the purge gas, and the container is transferred to the first storage module to perform a purge step with the purge gas, and the container is removed from the second storage module It may include a control unit for controlling the operation of the transfer vehicle and the purge unit to transfer to the storage module.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 물류 관리 설비에서, 제6항에 있어서, 상기 용기의 하부에는 상기 퍼지 가스의 공급을 위한 공급 포트와 상기 퍼지 가스의 배출을 위한 배출 포트가 구비되고, 상기 제1 보관 모듈은, 상기 퍼지 가스의 공급을 위한 제1 공급홀과 상기 퍼지 가스의 배출을 위한 제1 배출홀을 구비하는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트 상에 배치되고 상기 제1 공급홀과 연결되는 제2 공급홀과 상기 제1 배출홀과 연결되는 제2 배출홀을 구비하며 상기 용기가 놓여지는 서포트 플레이와, 상기 제1 공급홀과 연결되며 상기 퍼지 가스를 공급하기 위한 공급 배관과, 상기 제1 배출홀과 연결되며 상기 퍼지 가스를 배출하기 위한 배출 배관을 구비할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, in the logistics management facility, the lower portion of the container is provided with a supply port for supplying the purge gas and a discharge port for discharging the purge gas, The first storage module may include: a base plate having a first supply hole for supplying the purge gas and a first discharge hole for discharging the purge gas; A support play provided with a second supply hole connected to the second supply hole and a second discharge hole connected to the first discharge hole, on which the container is placed, a supply pipe connected to the first supply hole and supplying the purge gas; A discharge pipe connected to the first discharge hole and discharging the purge gas may be provided.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 물류 관리 설비에서, 상기 제1 보관 모듈은, 상기 서포트 플레이트를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, in the logistics management facility, the first storage module may further include a vertical driving unit for moving the support plate in a vertical direction.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 물류 관리 설비에서, 상기 제어부는 상기 서포트 플레이트 상의 상기 용기에 대한 퍼지 단계가 완료된 후 제2 용기에 대한 퍼지 단계를 수행하기 위하여 상기 서포트 플레이트를 상승시키도록 상기 수직 구동부의 동작을 제어할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, in the logistics management facility, the control unit raises the support plate to perform a purge step for the second container after the purge step for the container on the support plate is completed. An operation of the vertical driving unit may be controlled.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 물류 관리 설비에서, 상기 서포트 플레이트가 상승된 후 상기 제2 용기는 상기 이송 차량에 의해 상기 베이스 플레이트 상으로 이송되며, 상기 퍼지 가스는 상기 제1 공급홀을 통해 상기 제2 용기 내부로 공급되고 상기 제1 배출홀을 통해 상기 제2 용기로부터 배출될 수 있다.According to some embodiments of the present invention, in the logistics management facility, after the support plate is raised, the second container is transferred onto the base plate by the transfer vehicle, and the purge gas is supplied to the first supply hole. may be supplied to the inside of the second container and discharged from the second container through the first discharge hole.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 물류 관리 설비에서, 상기 제1 보관 모듈에는 인식 태그가 구비되고, 상기 이송 차량에는 상기 인식 태그를 독출하기 위한 리더기가 구비되며, 상기 제어부는 상기 리더기에 의해 상기 인식 태그가 독출되는 경우 상기 제2 용기에 대한 퍼지 단계를 수행하기 위해 상기 서포트 플레이트를 상승시키도록 상기 수직 구동부의 동작을 제어할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, in the logistics management facility, the first storage module is provided with an identification tag, the transfer vehicle is equipped with a reader for reading the identification tag, and the control unit is connected to the reader. When the recognition tag is read by the user, an operation of the vertical driving unit may be controlled to raise the support plate in order to perform a purge step on the second container.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 레일의 일측에는 퍼지 기능이 구비된 상기 제1 보관 모듈과 퍼지 기능이 구비되지 않은 상기 제2 보관 모듈이 배치될 수 있으며, 상기 이송 차량은 상기 제1 보관 모듈에서 퍼지 단계가 수행된 용기를 상기 제2 보관 모듈로 이송할 수 있다. 상기와 같이 제1 보관 모듈에만 퍼지 기능을 구비함으로써 상기 자재 보관 장치의 설치 공간과 설치 비용을 크게 감소시킬 수 있다. 아울러, 상기 용기의 퍼지 단계가 수행된 후 상기 용기를 상승시킴으로써 상기 제2 용기의 퍼지를 위한 대기 시간을 단축시킬 수 있고, 이를 통해 보다 효율적으로 상기 자재에 대한 물류 관리를 수행할 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the first storage module with a purge function and the second storage module without a purge function may be disposed on one side of the transfer rail, and the transfer vehicle may transfer the container on which the purge step has been performed in the first storage module to the second storage module. As described above, by providing the purge function only in the first storage module, it is possible to significantly reduce the installation space and installation cost of the material storage device. In addition, by raising the container after the purge step of the container is performed, the waiting time for purging the second container can be shortened, and through this, the logistics management for the material can be performed more efficiently.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자재 보관 장치 및 이를 포함하는 물류 관리 설비를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 차량을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 제1 보관 모듈을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 제2 보관 모듈을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 5 및 도 6은 도 3에 도시된 베이스 플레이트와 서포트 플레이트를 설명하기 위한 개략적인 부분 확대 단면도들이다.
도 7은 도 3에 도시된 수직 구동부의 동작을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 8 및 도 9는 도 3에 도시된 베이스 플레이트 상에 제2 용기가 로드되는 경우를 설명하기 위한 개략적인 부분 확대 단면도들이다.
도 10은 도 4에 도시된 제2 서포트 플레이트를 설명하기 위한 개략적인 부분 확대 단면도이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining a material storage device and a logistics management facility including the same according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic side view for explaining the transport vehicle shown in FIG. 1 .
3 is a schematic side view for explaining the first storage module shown in FIG. 1 .
FIG. 4 is a schematic side view for explaining the second storage module shown in FIG. 1 .
5 and 6 are schematic partial enlarged cross-sectional views for explaining the base plate and the support plate shown in FIG. 3 .
7 is a schematic side view for explaining the operation of the vertical driving unit shown in FIG. 3 .
8 and 9 are schematic partial enlarged cross-sectional views for explaining a case in which the second container is loaded on the base plate shown in FIG. 3 .
FIG. 10 is a schematic partially enlarged cross-sectional view for explaining the second support plate shown in FIG. 4 .

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to fully convey the scope of the present invention to those skilled in the art, rather than being provided so that the present invention can be fully completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In embodiments of the present invention, when an element is described as being disposed or connected to another element, the element may be directly disposed or connected to the other element, and other elements may be interposed therebetween. it might be Alternatively, when one element is described as being directly disposed on or connected to another element, there cannot be another element between them. Although the terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and/or portions, the items are not limited by these terms. will not

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is only used for the purpose of describing specific embodiments, and is not intended to limit the present invention. In addition, unless otherwise limited, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as understood by one of ordinary skill in the art of the present invention. The above terms, such as those defined in conventional dictionaries, shall be interpreted as having meanings consistent with their meanings in the context of the relevant art and description of the present invention, ideally or excessively outwardly intuitive, unless clearly defined. will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic diagrams of ideal embodiments of the present invention. Accordingly, variations from the shapes of the diagrams, eg, variations in manufacturing methods and/or tolerances, are those that can be fully expected. Accordingly, the embodiments of the present invention are not to be described as being limited to the specific shapes of the areas described as diagrams, but rather to include deviations in the shapes, and the elements described in the drawings are entirely schematic and their shapes It is not intended to describe the precise shape of the elements, nor is it intended to limit the scope of the invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자재 보관 장치 및 이를 포함하는 물류 관리 설비를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining a material storage device and a logistics management facility including the same according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 자재 보관 장치(200) 및 이를 포함하는 물류 관리 설비(100)는 반도체 장치의 제조 공정에서 자재의 보관 및 관리를 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 자재 보관 장치(200)는 자재의 수납을 위한 용기(10; 도 2 참조), 예를 들면, 웨이퍼들의 수납을 위한 FOUP(Front Opening Unified Pod)과 같은 용기(10)를 보관하기 위해 사용될 수 있으며, 상기 물류 관리 설비(100)는 상기 자재 보관 장치(200)를 이용하는 상기 자재의 보관 및 관리를 위해 사용될 수 있다.Referring to FIG. 1 , a material storage device 200 and a logistics management facility 100 including the same according to an embodiment of the present invention may be used for storage and management of materials in a manufacturing process of a semiconductor device. For example, the material storage device 200 stores a container 10 (refer to FIG. 2 ) for storing materials, for example, a container 10 such as a Front Opening Unified Pod (FOUP) for storing wafers. can be used to, and the logistics management facility 100 can be used for storage and management of the material using the material storage device (200).

상기 물류 관리 설비(100)는, 상기 자재가 수납된 용기(10)의 이송을 위한 이송 레일(102)과, 상기 용기(10)의 이송을 위해 상기 이송 레일(102)을 따라 이동 가능하도록 구성되는 이송 차량들(110a, 110b)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 물류 관리 설비(100)는 클린룸의 천장 부위에 설치되는 이송 레일(102)과 상기 이송 레일(102)을 따라 이동 가능하도록 구성되는 이송 차량들(110a, 110b)로 구성되는 오버헤드 호이스트 이송(Overhead Hoist Transport; OHT) 장치를 포함할 수 있으며, 상기 이송 레일(102)의 일측에는 상기 용기(10)의 보관을 위한 제1 보관 모듈(210)과 제2 보관 모듈(260)이 배치될 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이 상기 이송 레일(102)의 양측에 제1 보관 모듈들(210)이 배치될 수 있고, 상기 이송 레일(102)을 따라 복수의 제2 보관 모듈들(260)이 상기 이송 레일(102)의 양측에 배치될 수 있다.The logistics management facility 100 is configured to be movable along the transfer rail 102 for the transfer of the container 10 in which the material is accommodated, and the transfer rail 102 for the transfer of the container 10 . It may include transport vehicles 110a and 110b that are used. For example, the logistics management facility 100 is composed of a transfer rail 102 installed on the ceiling of the clean room and transfer vehicles 110a and 110b configured to be movable along the transfer rail 102 . It may include an overhead hoist transport (OHT) device, and a first storage module 210 and a second storage module 260 for storage of the container 10 on one side of the transport rail 102 . ) can be placed. For example, as shown, first storage modules 210 may be disposed on both sides of the transport rail 102 , and a plurality of second storage modules 260 may be disposed along the transport rail 102 . It may be disposed on both sides of the transfer rail 102 .

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 보관 모듈(210)은 퍼지 가스를 이용하여 상기 용기(10)의 내부를 퍼지하는 퍼지 유닛(240; 도 5 참조)을 구비할 수 있으며, 상기 제2 보관 모듈(260)에는 상기 퍼지 가스에 의한 퍼지 기능이 구비되지 않을 수 있다. 특히, 상기 물류 관리 설비(100)는 상기 이송 차량들(110a, 110b)과 상기 퍼지 유닛(240)의 동작을 제어하기 위한 제어부(150)를 구비할 수 있다. 예를 들면, 상기 제어부(150)는 상기 용기(10)를 상기 제1 보관 모듈(210)로 이송하여 상기 퍼지 가스에 의한 퍼지 단계를 수행하고 이어서 상기 용기(10)를 제2 보관 모듈(260)로 이송하도록 상기 이송 차량들(110a, 110b)과 상기 퍼지 유닛(240)의 동작을 제어할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the first storage module 210 may include a purge unit 240 (refer to FIG. 5 ) for purging the inside of the container 10 using a purge gas, and 2 The storage module 260 may not have a purge function by the purge gas. In particular, the logistics management facility 100 may include a control unit 150 for controlling the operations of the transport vehicles 110a and 110b and the purge unit 240 . For example, the controller 150 transfers the container 10 to the first storage module 210 to perform a purge step with the purge gas, and then transfers the container 10 to the second storage module 260 . ), the operation of the transport vehicles 110a and 110b and the purge unit 240 may be controlled.

도 2는 도 1에 도시된 이송 차량을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.FIG. 2 is a schematic side view for explaining the transport vehicle shown in FIG. 1 .

도 2를 참조하면, 상기 이송 차량(110a)은 상기 이송 레일(102) 상에서 이동 가능하게 구성되는 구동 모듈(120)과 상기 구동 모듈(120)의 하부에 연결되며 상기 용기의 승강을 위한 호이스트 모듈(130)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 2 , the transport vehicle 110a is connected to a driving module 120 configured to be movable on the transport rail 102 and a lower portion of the driving module 120 , and a hoist module for lifting and lowering the container. 130 may be included.

상기 구동 모듈(120)은, 상기 이송 레일(102) 상에 배치되는 전방 휠들 및 상기 전방 휠들을 회전시키기 위한 전방 모터를 포함하는 전방 구동 유닛(122)과, 상기 이송 레일(102) 상에 배치되는 후방 휠들 및 상기 후방 휠들을 회전시키기 위한 후방 모터를 포함하는 후방 구동 유닛(124)을 포함할 수 있다.The driving module 120 includes a front driving unit 122 including front wheels disposed on the transport rail 102 and a front motor for rotating the front wheels, and disposed on the transport rail 102 . and a rear drive unit 124 comprising a rear motor for rotating the rear wheels.

상기 호이스트 모듈(130)은 상기 전방 및 후방 구동 유닛들(122, 124)의 하부에 연결되며 상기 용기(10)를 수납하기 위한 내부 공간을 갖는 하우징(132)과, 상기 하우징(132) 내에 장착되며 상기 용기(10)의 승강을 위한 호이스트 유닛(134)과, 상기 호이스트 유닛(134)에 의해 승강 가능하도록 구성되며 상기 용기(10)를 파지하기 위한 핸드 유닛(136)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 호이스트 모듈(130)은 상기 호이스트 유닛(134)을 측방으로 이동시키기 위한 슬라이드 유닛(138)을 구비할 수 있다. 상기 핸드 유닛(136)은 복수의 승강 벨트들에 의해 상기 호이스트 유닛(134)과 연결될 수 있으며, 상기 용기(10)를 파지하기 위한 그리퍼를 구비할 수 있다.The hoist module 130 is connected to the lower portions of the front and rear driving units 122 and 124 and includes a housing 132 having an internal space for accommodating the container 10 and mounted in the housing 132 . and a hoist unit 134 for lifting and lowering the container 10, and a hand unit 136 configured to be lifted by the hoist unit 134 and gripping the container 10. In addition, the hoist module 130 may be provided with a slide unit 138 for moving the hoist unit 134 laterally. The hand unit 136 may be connected to the hoist unit 134 by a plurality of elevating belts, and may include a gripper for gripping the container 10 .

도 3은 도 1에 도시된 제1 보관 모듈을 설명하기 위한 개략적인 측면도이며, 도 4는 도 1에 도시된 제2 보관 모듈을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다. 도 5 및 도 6은 도 3에 도시된 베이스 플레이트와 서포트 플레이트를 설명하기 위한 개략적인 부분 확대 단면도들이다.FIG. 3 is a schematic side view illustrating the first storage module illustrated in FIG. 1 , and FIG. 4 is a schematic side view illustrating the second storage module illustrated in FIG. 1 . 5 and 6 are schematic partial enlarged cross-sectional views for explaining the base plate and the support plate shown in FIG. 3 .

도 3 내지 도 6을 참조하면, 상기 제1 보관 모듈(210)은 상기 퍼지 가스의 공급을 위한 제1 공급홀(222)과 상기 퍼지 가스의 배출을 위한 제1 배출홀(224)을 구비하는 베이스 플레이트(220)와, 상기 베이스 플레이트(220) 상에 배치되고 상기 제1 공급홀(222)과 연결되는 제2 공급홀(232)과 상기 제1 배출홀(224)과 연결되는 제2 배출홀(234)을 구비하며 상기 용기(10)가 놓여지는 서포트 플레이트(230)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 제1 보관 모듈(210)은 대략 사각 박스 형태로 구성되며 상기 클린룸의 천장 부위에 설치되는 제1 프레임(212)을 포함할 수 있으며, 상기 베이스 플레이트(220)는 상기 제1 프레임(212)의 하부에 장착될 수 있다.3 to 6 , the first storage module 210 includes a first supply hole 222 for supplying the purge gas and a first discharge hole 224 for discharging the purge gas. A base plate 220, a second discharge hole 232 disposed on the base plate 220 and connected to the first supply hole 222, and a second discharge hole connected to the first discharge hole 224 It may include a support plate 230 having a hole 234 and on which the container 10 is placed. In addition, the first storage module 210 may have a substantially rectangular box shape and may include a first frame 212 installed on the ceiling of the clean room, and the base plate 220 is the first frame. It may be mounted on the lower part of the 212 .

상기 퍼지 유닛(240)은, 상기 제1 공급홀(222)과 연결되며 상기 퍼지 가스를 공급하기 위한 공급 배관(242)과, 상기 제1 배출홀(224)과 연결되며 상기 퍼지 가스를 배출하기 위한 배출 배관(244)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 퍼지 유닛(240)은, 도시되지는 않았으나, 상기 퍼지 가스의 공급 및 배출을 제어하기 위한 제어 밸브들(미도시)을 포함할 수 있다.The purge unit 240 is connected to the first supply hole 222 and is connected to a supply pipe 242 for supplying the purge gas, and the first discharge hole 224 to discharge the purge gas. It may include a discharge pipe 244 for. Also, although not shown, the purge unit 240 may include control valves (not shown) for controlling supply and discharge of the purge gas.

도 4를 참조하면, 상기 제2 보관 모듈(260)은, 대략 사각 박스 형태로 구성되며 상기 클린룸의 천장 부위에 설치되는 제2 프레임(262)과, 상기 제2 프레임(262)의 하부에 장착되며 상기 용기(10)를 지지하기 위한 제2 서포트 플레이트(264)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 4 , the second storage module 260 has a substantially rectangular box shape and is installed in a ceiling portion of the clean room with a second frame 262 , and a lower portion of the second frame 262 . It is mounted and may include a second support plate 264 for supporting the container 10 .

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 용기(10)는 상기 이송 차량(110a)에 의해 상기 제1 보관 모듈(210)의 서포트 플레이트(230) 상으로 이송될 수 있다. 상기 용기(10)의 하부에는 상기 퍼지 가스의 공급을 위한 공급 포트(12)와 상기 퍼지 가스의 배출을 위한 배출 포트(14)가 구비될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the container 10 may be transferred onto the support plate 230 of the first storage module 210 by the transfer vehicle 110a. A supply port 12 for supplying the purge gas and a discharge port 14 for discharging the purge gas may be provided at a lower portion of the container 10 .

상기 베이스 플레이트(220) 상에는 상기 제1 공급홀(222)과 상기 제2 공급홀(232)을 연결하고 상기 제1 배출홀(224)과 상기 제2 배출홀(234)을 연결하기 위한 제1 연결 패드들(226)이 장착될 수 있다. 상기 제1 연결 패드들(226)은 상기 퍼지 가스의 공급 및 배출 과정에서 상기 퍼지 가스의 누설을 방지하기 위해 사용될 수 있다.On the base plate 220 , the first supply hole 222 and the second supply hole 232 are connected, and the first discharge hole 224 and the second discharge hole 234 are connected to each other. Connection pads 226 may be mounted. The first connection pads 226 may be used to prevent leakage of the purge gas during supply and discharge of the purge gas.

특히, 상기 제1 연결 패드들(226)은 상기 제1 공급홀(222)과 상기 제2 공급홀(232) 그리고 상기 제1 배출홀(224)과 상기 제2 배출홀(234)을 서로 연결하기 위한 제1 관통홀(228)을 각각 구비할 수 있다. 또한, 상기 퍼지 가스의 누설을 방지하기 위하여 상기 제1 연결 패드들(226)의 상부면에는 상기 제1 관통홀(228)을 감싸도록 원형 링 형태를 갖는 제1 돌기부가 구비될 수 있다.In particular, the first connection pads 226 connect the first supply hole 222 and the second supply hole 232 , and the first discharge hole 224 and the second discharge hole 234 to each other. Each of the first through-holes 228 may be provided. In addition, in order to prevent leakage of the purge gas, first protrusions having a circular ring shape may be provided on upper surfaces of the first connection pads 226 to surround the first through hole 228 .

상기 서포트 플레이트(230) 상에는 상기 제2 공급홀(232)과 상기 용기(10)의 공급 포트(12)를 연결하고 상기 제2 배출홀(234)과 상기 용기(10)의 배출 포트(14)를 연결하기 위한 제2 연결 패드들(236)이 장착될 수 있다. 상기 제2 연결 패드들(236)은 상기 퍼지 가스의 공급 및 배출 과정에서 상기 퍼지 가스의 누설을 방지하기 위해 사용될 수 있다.On the support plate 230 , the second supply hole 232 and the supply port 12 of the container 10 are connected, and the second discharge hole 234 and the discharge port 14 of the container 10 are connected. Second connection pads 236 for connecting the . The second connection pads 236 may be used to prevent leakage of the purge gas during supply and discharge of the purge gas.

특히, 상기 제2 연결 패드들(236)은 상기 제2 공급홀(232)과 상기 공급 포트(12) 그리고 상기 제2 배출홀(234)과 상기 배출 포트(14)를 서로 연결하기 위한 제2 관통홀(238)을 각각 구비할 수 있다. 또한, 상기 퍼지 가스의 누설을 방지하기 위하여 상기 제2 연결 패드들(236)의 상부면에는 상기 제2 관통홀(238)을 감싸도록 원형 링 형태를 갖는 제2 돌기부가 구비될 수 있다.In particular, the second connection pads 236 are second for connecting the second supply hole 232 and the supply port 12 and the second discharge hole 234 and the discharge port 14 to each other. Each of the through holes 238 may be provided. In addition, in order to prevent leakage of the purge gas, second protrusions having a circular ring shape may be provided on upper surfaces of the second connection pads 236 to surround the second through hole 238 .

상기 용기(10)의 공급 포트(12)와 배출 포트(14) 각각에는 그로밋 시일(grommet seal; 16)이 장착될 수 있다. 상기 그로밋 시일(16)은 상부 플랜지와 하부 플랜지를 구비할 수 있으며, 상기 용기(10)가 상기 서포트 플레이트(230) 상에 안착되는 경우 상기 제2 연결 패드들(236)의 제2 돌기부들은 상기 용기(10)의 공급 포트(12)와 배출 포트(14)에 장착된 그로밋 시일들(16)의 하부 플랜지에 밀착될 수 있다.A grommet seal 16 may be mounted on each of the supply port 12 and the discharge port 14 of the vessel 10 . The grommet seal 16 may have an upper flange and a lower flange, and when the container 10 is seated on the support plate 230 , the second protrusions of the second connection pads 236 are It can adhere to the lower flange of the grommet seals 16 mounted to the supply port 12 and the discharge port 14 of the vessel 10 .

상기와 같이 서포트 플레이트(230) 상에 상기 용기(10)가 안착된 후 상기 퍼지 가스는 상기 제1 공급홀(222)과 제2 공급홀(232) 및 상기 공급 포트(12)를 통해 상기 용기(10) 내부로 공급될 수 있으며, 상기 배출 포트(14)와 제2 배출홀(234) 및 상기 제1 배출홀(224)을 통해 상기 용기(10)로부터 배출될 수 있다.After the vessel 10 is seated on the support plate 230 as described above, the purge gas is supplied to the vessel through the first supply hole 222 , the second supply hole 232 , and the supply port 12 . (10) may be supplied to the inside, and may be discharged from the container 10 through the discharge port 14, the second discharge hole 234, and the first discharge hole 224.

다시 도 3을 참조하면, 상기 제1 보관 모듈(210)은 상기 서포트 플레이트(230)를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부(250)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 프레임(212)의 상부에는 상기 수직 구동부(250)가 장착되는 마운트 플레이트(214)가 장착될 수 있고, 상기 수직 구동부(250)로는 상기 서포트 플레이트(230)의 양측 부위에 연결되는 한 쌍의 공압 실린더가 사용될 수 있다.Referring back to FIG. 3 , the first storage module 210 may include a vertical driving unit 250 for vertically moving the support plate 230 . For example, a mount plate 214 on which the vertical driving unit 250 is mounted may be mounted on the upper portion of the first frame 212 , and the vertical driving unit 250 includes both sides of the support plate 230 . A pair of pneumatic cylinders connected to may be used.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 서포트 플레이트(230) 상에서 상기 퍼지 가스에 의해 상기 용기(10)에 대한 퍼지 단계가 수행된 후, 상기 용기(10)는 상기 이송 차량(110a)에 의해 상기 제1 보관 모듈(210)로부터 상기 제2 보관 모듈(260)로 이송될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, after the purge step of the container 10 is performed by the purge gas on the support plate 230 , the container 10 is moved to the container 10 by the transfer vehicle 110a. It may be transferred from the first storage module 210 to the second storage module 260 .

도 7은 도 3에 도시된 수직 구동부의 동작을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.7 is a schematic side view for explaining the operation of the vertical driving unit shown in FIG. 3 .

도 7을 참조하면, 상기 용기(10)를 상기 제1 보관 모듈(210)로부터 상기 제2 보관 모듈(260)로 이송하기 위한 이송 차량(110a)보다 퍼지 단계의 수행이 요구되는 제2 용기(10b)를 이송하는 다른 이송 차량(110b)이 상기 제1 보관 모듈(210)에 먼저 도착하는 경우, 상기 제어부(150)는 상기 용기(10)에 대한 퍼지 단계가 완료된 후 상기 서포트 플레이트(230)를 상승시키도록 상기 수직 구동부(250)의 동작을 제어할 수 있다.Referring to FIG. 7, the second container ( When another transfer vehicle 110b for transferring 10b) arrives at the first storage module 210 first, the control unit 150 controls the support plate 230 after the purge step for the container 10 is completed. It is possible to control the operation of the vertical driving unit 250 to raise the .

이어서, 상기 제어부(150)는 상기 제2 용기(10b)가 상기 베이스 플레이트(220) 상에 로드되도록 상기 다른 이송 차량(110b)의 동작을 제어할 수 있으며, 상기 베이스 플레이트(110b) 상에서 상기 퍼지 가스에 의해 상기 제2 용기(10b)에 대한 퍼지 단계가 수행될 수 있다.Subsequently, the controller 150 may control the operation of the other transfer vehicle 110b so that the second container 10b is loaded on the base plate 220 , and the purge is performed on the base plate 110b. A purge step of the second container 10b may be performed by gas.

도 8 및 도 9는 도 3에 도시된 베이스 플레이트 상에 제2 용기가 로드되는 경우를 설명하기 위한 개략적인 부분 확대 단면도들이다.8 and 9 are schematic partial enlarged cross-sectional views for explaining a case in which the second container is loaded on the base plate shown in FIG. 3 .

도 8 및 도 9를 참조하면, 상기 제2 용기(10b)가 상기 베이스 플레이트(220) 상에 로드되는 경우, 상기 제2 용기(10b)의 공급 포트(12b)와 배출 포트(14b)는 상기 베이스 플레이트(220)의 제1 공급홀(222)과 제1 배출홀(224)에 각각 연결될 수 있다. 구체적으로, 상기 제2 용기(10b)의 공급 포트(12b)와 배출 포트(14b)에 장착된 그로밋 시일들(16b)이 상기 베이스 플레이트(220) 상에 장착된 제1 연결 패드들(226) 상에 밀착될 수 있으며, 상기 퍼지 가스는 상기 제1 공급홀(222)을 통해 상기 제2 용기(10b) 내부로 공급되고 상기 제1 배출홀(224)을 통해 상기 제2 용기(10b)로부터 배출될 수 있다.8 and 9, when the second container 10b is loaded on the base plate 220, the supply port 12b and the discharge port 14b of the second container 10b are the It may be respectively connected to the first supply hole 222 and the first discharge hole 224 of the base plate 220 . Specifically, first connection pads 226 mounted on the base plate 220 are grommet seals 16b mounted on the supply port 12b and the discharge port 14b of the second vessel 10b. The purge gas may be in close contact with the phase, and the purge gas is supplied into the second container 10b through the first supply hole 222 and is supplied from the second container 10b through the first discharge hole 224 . can be emitted.

한편, 도시되지는 않았으나, 상기 제1 보관 모듈(210)에는 인식 태그(미도시), 예를 들면, RFID(Radio Frequency Identification) 태그와 같은 전자 태그가 장착될 수 있으며, 상기 이송 차량들(110a, 110b)에는 상기 인식 태그를 독출하기 위한 리더기(미도시)가 각각 구비될 수 있다. 상기 제어부(150)는 상기 이송 차량들(110a, 110b)과 무선 통신 가능하도록 구성될 수 있으며, 상기 다른 이송 차량(110b)에 구비된 상기 리더기에 의해 상기 인식 태그가 독출되는 경우 상기 제2 용기(10b)에 대한 퍼지 단계를 수행하기 위해 상기 서포트 플레이트(230)를 상승시키도록 상기 수직 구동부(250)의 동작을 제어할 수 있다.Meanwhile, although not shown, the first storage module 210 may be equipped with an identification tag (not shown), for example, an electronic tag such as a radio frequency identification (RFID) tag, and the transfer vehicles 110a. , 110b) may each be provided with a reader (not shown) for reading the recognition tag. The control unit 150 may be configured to enable wireless communication with the transfer vehicles 110a and 110b, and when the recognition tag is read by the reader provided in the other transfer vehicle 110b, the second container The operation of the vertical driving unit 250 may be controlled to raise the support plate 230 to perform the purge step for (10b).

상기 제2 용기(10b)에 대한 퍼지 단계가 완료된 후 상기 제2 용기(10b)와 상기 용기(10)는 상기 이송 차량들(110a, 110b)에 의해 순차적으로 상기 제2 보관 모듈(260)로 이송될 수 있다.After the purge step of the second container 10b is completed, the second container 10b and the container 10 are sequentially transferred to the second storage module 260 by the transport vehicles 110a and 110b. can be transported

도 10은 도 4에 도시된 제2 서포트 플레이트를 설명하기 위한 개략적인 부분 확대 단면도이다.FIG. 10 is a schematic partially enlarged cross-sectional view for explaining the second support plate shown in FIG. 4 .

도 10을 참조하면, 상기 제2 서포트 플레이트(264) 상에는 상기 용기(10)의 공급 포트(12)와 배출 포트(14)를 차단하기 위한 밀봉 패드들(266)이 배치될 수 있다. 상기 밀봉 패드들(266) 각각의 상부면에는 각각의 상기 공급 포트(12) 또는 배출 포트(14)를 감싸도록 원형 링 형태의 제3 돌기부가 구비될 수 있으며, 이에 따라 상기 용기(10)가 상기 제2 서포트 플레이트(264) 상에서 보관되어 있는 동안 상기 용기(10) 내부로부터 상기 퍼지 가스의 누설이 방지될 수 있다.Referring to FIG. 10 , sealing pads 266 for blocking the supply port 12 and the discharge port 14 of the container 10 may be disposed on the second support plate 264 . A third protrusion in the form of a circular ring may be provided on the upper surface of each of the sealing pads 266 to surround each of the supply port 12 or the discharge port 14, and thus the container 10 is Leakage of the purge gas from the inside of the container 10 while being stored on the second support plate 264 may be prevented.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 레일(102)의 일측에는 퍼지 기능이 구비된 상기 제1 보관 모듈(210)과 퍼지 기능이 구비되지 않은 상기 제2 보관 모듈(260)이 배치될 수 있으며, 상기 이송 차량(110a)은 상기 제1 보관 모듈(210)에서 퍼지 단계가 수행된 용기(10)를 상기 제2 보관 모듈(260)로 이송할 수 있다. 상기와 같이 제1 보관 모듈(210)에만 퍼지 기능을 구비함으로써 상기 자재 보관 장치(200)의 설치 공간과 설치 비용을 크게 감소시킬 수 있다. 아울러, 상기 용기(10)의 퍼지 단계가 수행된 후 상기 용기(10)를 상승시킴으로써 상기 제2 용기(10b)의 퍼지를 위한 대기 시간을 단축시킬 수 있고, 이를 통해 보다 효율적으로 상기 자재에 대한 물류 관리를 수행할 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the first storage module 210 having a purge function and the second storage module 260 without a purge function are provided on one side of the transfer rail 102 . may be disposed, and the transfer vehicle 110a may transfer the container 10 on which the purge step has been performed in the first storage module 210 to the second storage module 260 . By providing the purge function only to the first storage module 210 as described above, the installation space and installation cost of the material storage device 200 can be greatly reduced. In addition, by raising the container 10 after the purge step of the container 10 is performed, it is possible to shorten the waiting time for purging the second container 10b, and through this, more efficiently Logistics management can be performed.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that there is

10 : 용기 12 : 공급 포트
14 : 배출 포트 16 : 그로밋 시일
100 : 물류 관리 설비 102 : 이송 레일
110a : 이송 차량 120 : 구동 모듈
130 : 호이스트 모듈 150 : 제어부
200 : 자재 보관 장치 210 : 제1 보관 모듈
212 : 제1 프레임 220 : 베이스 플레이트
222 : 제1 공급홀 224 : 제1 배출홀
226 : 제1 연결 패드 228 : 제1 관통홀
230 : 서포트 플레이트 232 : 제2 공급홀
234 : 제2 배출홀 236 : 제2 연결 패드
238 : 제2 관통홀 240 : 퍼지 유닛
242 : 공급 배관 244 : 배출 배관
250 : 수직 구동부 260 : 제2 보관 모듈
262 : 제2 프레임 264 : 제2 서포트 플레이트
266 : 밀봉 패드10: vessel 12: supply port
14: exhaust port 16: grommet seal
100: logistics management equipment 102: transport rail
110a: transport vehicle 120: drive module
130: hoist module 150: control unit
200: material storage device 210: first storage module
212: first frame 220: base plate
222: first supply hole 224: first discharge hole
226: first connection pad 228: first through hole
230: support plate 232: second supply hole
234: second discharge hole 236: second connection pad
238: second through hole 240: purge unit
242: supply pipe 244: discharge pipe
250: vertical driving unit 260: second storage module
262: second frame 264: second support plate
266: sealing pad

Claims (11)

자재가 수납된 용기의 이송을 위한 이송 레일의 일측에 배치되어 상기 용기의 보관을 위해 사용되며 상기 용기의 내부를 퍼지 가스를 이용하여 퍼지하는 퍼지 유닛을 구비하는 제1 보관 모듈; 및
상기 이송 레일의 일측에 배치되어 상기 용기의 보관을 위해 사용되며 상기 퍼지 가스에 의한 퍼지 기능이 구비되지 않은 제2 보관 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 자재 보관 장치.a first storage module disposed on one side of a transport rail for transporting a container in which a material is accommodated, used for storage of the container, and having a purge unit for purging the inside of the container using a purge gas; and
and a second storage module disposed on one side of the transport rail, used for storage of the container, and not provided with a purge function by the purge gas. 제1항에 있어서, 상기 용기의 하부에는 상기 퍼지 가스의 공급을 위한 공급 포트와 상기 퍼지 가스의 배출을 위한 배출 포트가 구비되고,
상기 제1 보관 모듈은,
상기 퍼지 가스의 공급을 위한 제1 공급홀과 상기 퍼지 가스의 배출을 위한 제1 배출홀을 구비하는 베이스 플레이트와,
상기 베이스 플레이트 상에 배치되고 상기 제1 공급홀과 연결되는 제2 공급홀과 상기 제1 배출홀과 연결되는 제2 배출홀을 구비하며 상기 용기가 놓여지는 서포트 플레이와,
상기 제1 공급홀과 연결되며 상기 퍼지 가스를 공급하기 위한 공급 배관과,
상기 제1 배출홀과 연결되며 상기 퍼지 가스를 배출하기 위한 배출 배관을 구비하는 것을 특징으로 하는 자재 보관 장치.According to claim 1, wherein the lower portion of the vessel is provided with a supply port for supplying the purge gas and a discharge port for discharging the purge gas,
The first storage module,
a base plate having a first supply hole for supplying the purge gas and a first discharge hole for discharging the purge gas;
a support play disposed on the base plate and having a second supply hole connected to the first supply hole and a second discharge hole connected to the first discharge hole, on which the container is placed;
a supply pipe connected to the first supply hole and configured to supply the purge gas;
and a discharge pipe connected to the first discharge hole and configured to discharge the purge gas. 제2항에 있어서, 상기 제1 보관 모듈은,
상기 서포트 플레이트를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자재 보관 장치.According to claim 2, wherein the first storage module,
Material storage device, characterized in that it further comprises a vertical drive for moving the support plate in a vertical direction. 제3항에 있어서, 상기 서포트 플레이트 상의 상기 용기에 대한 퍼지 단계가 완료된 후 제2 용기에 대한 퍼지 단계를 수행하기 위하여 상기 서포트 플레이트를 상승시키도록 상기 수직 구동부의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자재 보관 장치.The method of claim 3, further comprising: a control unit for controlling the operation of the vertical drive unit to raise the support plate to perform the purge step for the second container after the purge step for the container on the support plate is completed Material storage device, characterized in that. 제4항에 있어서, 상기 서포트 플레이트가 상승된 후 상기 제2 용기는 상기 베이스 플레이트 상에 놓여지며, 상기 퍼지 가스는 상기 제1 공급홀을 통해 상기 제2 용기 내부로 공급되고 상기 제1 배출홀을 통해 상기 제2 용기로부터 배출되는 것을 특징으로 하는 자재 보관 장치.The method of claim 4, wherein the second container is placed on the base plate after the support plate is raised, and the purge gas is supplied into the second container through the first supply hole and the first discharge hole. Material storage device, characterized in that discharged from the second container through. 자재가 수납된 용기의 이송을 위한 이송 레일;
상기 용기의 이송을 위해 상기 이송 레일을 따라 이동 가능하도록 구성되는 이송 차량;
상기 이송 레일의 일측에 배치되어 상기 용기의 보관을 위해 사용되며 상기 용기의 내부를 퍼지 가스를 이용하여 퍼지하는 퍼지 유닛을 구비하는 제1 보관 모듈;
상기 이송 레일의 일측에 배치되어 상기 용기의 보관을 위해 사용되며 상기 퍼지 가스에 의한 퍼지 기능이 구비되지 않은 제2 보관 모듈; 및
상기 용기를 상기 제1 보관 모듈로 이송하여 상기 퍼지 가스에 의한 퍼지 단계를 수행하고 상기 용기를 상기 제2 보관 모듈로 이송하도록 상기 이송 차량과 상기 퍼지 유닛의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 물류 관리 설비.a transport rail for transporting the container in which the material is accommodated;
a transport vehicle configured to be movable along the transport rail for transport of the container;
a first storage module disposed on one side of the transfer rail, used for storage of the container, and having a purge unit for purging the inside of the container using a purge gas;
a second storage module disposed on one side of the transfer rail, used for storage of the container, and not provided with a purge function by the purge gas; and
and a controller configured to control operations of the transport vehicle and the purge unit to transport the container to the first storage module to perform a purge step with the purge gas and to transport the container to the second storage module. Logistics management equipment with 제6항에 있어서, 상기 용기의 하부에는 상기 퍼지 가스의 공급을 위한 공급 포트와 상기 퍼지 가스의 배출을 위한 배출 포트가 구비되고,
상기 제1 보관 모듈은,
상기 퍼지 가스의 공급을 위한 제1 공급홀과 상기 퍼지 가스의 배출을 위한 제1 배출홀을 구비하는 베이스 플레이트와,
상기 베이스 플레이트 상에 배치되고 상기 제1 공급홀과 연결되는 제2 공급홀과 상기 제1 배출홀과 연결되는 제2 배출홀을 구비하며 상기 용기가 놓여지는 서포트 플레이와,
상기 제1 공급홀과 연결되며 상기 퍼지 가스를 공급하기 위한 공급 배관과,
상기 제1 배출홀과 연결되며 상기 퍼지 가스를 배출하기 위한 배출 배관을 구비하는 것을 특징으로 하는 물류 관리 설비.The method according to claim 6, wherein a supply port for supplying the purge gas and a discharge port for discharging the purge gas are provided at a lower portion of the container,
The first storage module,
a base plate having a first supply hole for supplying the purge gas and a first discharge hole for discharging the purge gas;
a support play disposed on the base plate and having a second supply hole connected to the first supply hole and a second discharge hole connected to the first discharge hole, on which the container is placed;
a supply pipe connected to the first supply hole and configured to supply the purge gas;
Logistics management facility connected to the first discharge hole and comprising a discharge pipe for discharging the purge gas. 제7항에 있어서, 상기 제1 보관 모듈은,
상기 서포트 플레이트를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 물류 관리 설비.The method of claim 7, wherein the first storage module,
Logistics management facility, characterized in that it further comprises a vertical drive for moving the support plate in the vertical direction. 제8항에 있어서, 상기 제어부는 상기 서포트 플레이트 상의 상기 용기에 대한 퍼지 단계가 완료된 후 제2 용기에 대한 퍼지 단계를 수행하기 위하여 상기 서포트 플레이트를 상승시키도록 상기 수직 구동부의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 물류 관리 설비.The method of claim 8, wherein the control unit controls the operation of the vertical drive unit to raise the support plate to perform the purge step for the second container after the purge step for the container on the support plate is completed. Logistics management equipment with 제9항에 있어서, 상기 서포트 플레이트가 상승된 후 상기 제2 용기는 상기 이송 차량에 의해 상기 베이스 플레이트 상으로 이송되며, 상기 퍼지 가스는 상기 제1 공급홀을 통해 상기 제2 용기 내부로 공급되고 상기 제1 배출홀을 통해 상기 제2 용기로부터 배출되는 것을 특징으로 하는 물류 관리 설비.The method of claim 9, wherein after the support plate is raised, the second container is transferred onto the base plate by the transfer vehicle, and the purge gas is supplied into the second container through the first supply hole, Logistics management facility, characterized in that discharged from the second container through the first discharge hole. 제9항에 있어서, 상기 제1 보관 모듈에는 인식 태그가 구비되고, 상기 이송 차량에는 상기 인식 태그를 독출하기 위한 리더기가 구비되며,
상기 제어부는 상기 리더기에 의해 상기 인식 태그가 독출되는 경우 상기 제2 용기에 대한 퍼지 단계를 수행하기 위해 상기 서포트 플레이트를 상승시키도록 상기 수직 구동부의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 물류 관리 설비.10. The method of claim 9, wherein the first storage module is provided with an identification tag, the transfer vehicle is equipped with a reader for reading the identification tag,
The control unit, when the recognition tag is read by the reader, logistics management facility, characterized in that for controlling the operation of the vertical drive unit to raise the support plate to perform the purge step for the second container.
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