KR20220097144A - Transfer apparatus - Google Patents

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KR20220097144A
KR20220097144A KR1020210085880A KR20210085880A KR20220097144A KR 20220097144 A KR20220097144 A KR 20220097144A KR 1020210085880 A KR1020210085880 A KR 1020210085880A KR 20210085880 A KR20210085880 A KR 20210085880A KR 20220097144 A KR20220097144 A KR 20220097144A
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이수웅
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세메스 주식회사
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Abstract

A transfer device is disclosed. The transfer device comprises: a conveyor unit for transferring materials; an alignment unit for aligning the materials on the conveyor unit to a preset alignment position; and a control unit for controlling operation of the conveyor unit to stop the materials at a preset preliminary alignment position and then controlling operation of the alignment unit to align the materials at the alignment position.

Description

이송 장치{TRANSFER APPARATUS}transfer unit {TRANSFER APPARATUS}

본 발명의 실시예들은 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치의 제조 공정에서 웨이퍼들의 수납을 위해 사용되는 용기와 같은 자재의 이송을 위해 사용되는 이송 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a conveying device. More particularly, it relates to a transfer device used for transferring a material such as a container used for accommodating wafers in a manufacturing process of a semiconductor device.

일반적으로 반도체 장치의 제조 라인은 복층으로 구성되며 각 층들은 증착, 노광, 식각, 세정 등의 공정 수행을 위한 설비들이 배치되는 클린룸들로 구성될 수 있다. 상기 클린룸들에서는 반도체 기판으로서 사용되는 반도체 웨이퍼에 대하여 반도체 장치의 제조를 위한 일련의 단위 공정들이 수행될 수 있다.In general, a semiconductor device manufacturing line is composed of multiple layers, and each layer may be composed of clean rooms in which facilities for performing processes such as deposition, exposure, etching, and cleaning are disposed. In the clean rooms, a series of unit processes for manufacturing a semiconductor device may be performed on a semiconductor wafer used as a semiconductor substrate.

상기 클린룸들에서 자재의 이송은 오버헤드 호이스트 이송(Overhead Hoist Transport; OHT) 장치 또는 무인 반송차에 의해 수행될 수 있으며, 상기 각 층들 사이에서의 자재 이송은 상기 각 층들을 통해 수직 방향으로 설치되는 타워 리프트에 의해 이루어질 수 있다. 상기 클린룸들의 내부에는 자재 보관을 위한 스토커 설비가 배치될 수 있으며, 일 예로서, 반도체 기판들이 수납된 FOUP(Front Opening Unified Pod)과 같은 용기는 상기 OHT 장치에 의해 상기 스토커(Stocker) 설비로 이송될 수 있다.Material transport in the clean rooms may be performed by an overhead hoist transport (OHT) device or an unmanned transport vehicle, and the material transport between the respective floors is installed in a vertical direction through the respective floors. This can be done by means of a tower lift. A stocker facility for material storage may be disposed inside the clean rooms, and as an example, a container such as a FOUP (Front Opening Unified Pod) in which semiconductor substrates are accommodated is transferred to the stocker facility by the OHT device. can be transported

한편, 상기 OHT 장치와 상기 스토커 설비 또는 상기 타워 리프트 사이에는 상기 자재의 이송을 위한 이송 장치가 배치될 수 있으며, 상기 이송 장치는 상기 반송물이 놓여지는 제1 포트와 제2 포트 및 상기 반송물을 이송하기 위한 이송 로봇을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 OHT 장치에 의해 상기 제1 포트 상에 상기 자재가 로드된 후 상기 이송 로봇은 상기 자재를 상기 제1 포트로부터 상기 제2 포트 상으로 이송할 수 있으며, 이어서 상기 자재는 상기 스토커 설비에 구비되는 스토커 로봇 또는 상기 타워 리프트의 캐리지 로봇에 의해 상기 제2 포트로부터 상기 스토커 설비 또는 타워 리프트의 내부로 이송될 수 있다. 즉, 상기 이송 장치는 상기 OHT 장치와 스토커 설비 또는 타워 리프트 사이에서 상기 자재의 전달을 위해 사용될 수 있다.On the other hand, a transport device for transporting the material may be disposed between the OHT device and the stocker facility or the tower lift, and the transport device transports the transported product and the first port and the second port where the transported material is placed. It may include a transfer robot for doing so. For example, after the material is loaded onto the first port by the OHT device, the transfer robot may transfer the material from the first port onto the second port, and then the material is transferred to the stocker It may be transferred from the second port to the inside of the stocker facility or the tower lift by a stocker robot provided in the facility or a carriage robot of the tower lift. That is, the transfer device may be used for transferring the material between the OHT device and the stocker facility or tower lift.

대한민국 등록특허공보 제10-2185264호 (등록일자 2020년 11월 25일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2185264 (Registration date November 25, 2020) 대한민국 등록특허공보 제10-2189275호 (등록일자 2020년 12월 03일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2189275 (Registration date December 03, 2020)

본 발명의 실시예들은 반도체 장치의 제조 공정에서 자재의 이송을 위해 사용되는 보다 개선된 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an improved transport device used for transporting materials in a manufacturing process of a semiconductor device.

본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치는, 자재의 이송을 위한 컨베이어 유닛과, 상기 컨베이어 유닛 상의 상기 자재를 기 설정된 정렬 위치에 정렬하기 위한 정렬 유닛과, 상기 자재가 기 설정된 예비 정렬 위치에서 정지하도록 상기 컨베이어 유닛의 동작을 제어하고 이어서 상기 자재가 상기 정렬 위치에 정렬되도록 상기 정렬 유닛의 동작을 제어하는 제어 유닛을 포함할 수 있다.A conveying device according to an embodiment of the present invention includes a conveyor unit for conveying material, an alignment unit for aligning the material on the conveyor unit to a predetermined alignment position, and the material is stopped at a predetermined preliminary alignment position and a control unit for controlling the operation of the conveyor unit to do so and then controlling the operation of the alignment unit to align the material in the alignment position.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 정렬 유닛은 상기 예비 정렬 위치에서 정지된 상기 자재를 밀어서 상기 정렬 위치에 위치시킬 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the alignment unit may be positioned in the alignment position by pushing the material stopped in the preliminary alignment position.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제어 유닛은 상기 자재의 이동 방향으로 배열되며 상기 자재를 검출하기 위한 제1 검출 센서와 제2 검출 센서를 포함하고, 상기 컨베이어 유닛은 상기 자재의 후면 부위가 상기 제1 및 제2 검출 센서들에 의해 순차적으로 검출되도록 상기 자재를 이동시키며, 상기 제어 유닛은 상기 제1 검출 센서에 의해 상기 자재가 검출된 후 상기 제2 검출 센서에 의해 상기 자재의 후면 부위가 검출되는 경우 상기 자재의 이동이 정지되도록 상기 컨베이어 유닛의 동작을 제어하고, 상기 제1 검출 센서에 의한 상기 자재의 검출 상태가 해제될 때까지 상기 자재를 밀어서 정렬하도록 상기 정렬 유닛의 동작을 제어할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the control unit is arranged in the moving direction of the material and includes a first detection sensor and a second detection sensor for detecting the material, and the conveyor unit has a rear portion of the material. moves the material to be sequentially detected by the first and second detection sensors, and the control unit detects the material by the first detection sensor and then the rear portion of the material by the second detection sensor When is detected, the operation of the conveyor unit is controlled so that the movement of the material is stopped, and the operation of the alignment unit is controlled to align by pushing the material until the detection state of the material by the first detection sensor is released. can do.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 컨베이어 유닛은 상기 자재의 양측 부위들을 각각 지지하도록 구성된 한 쌍의 컨베이어 벨트들을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the conveyor unit may include a pair of conveyor belts configured to respectively support both sides of the material.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 정렬 유닛은, 상기 컨베이어 벨트들 사이에서 상기 자재의 이동 방향으로 배치되며 실린더 로드의 직선 왕복 운동과 회전 운동이 가능하도록 구성된 공압 실린더와, 상기 실린더 로드의 단부에 장착되어 상기 자재를 상기 이동 방향으로 이동시키기 위한 핸드 부재를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the alignment unit includes a pneumatic cylinder disposed in the movement direction of the material between the conveyor belts and configured to enable linear reciprocating and rotational motion of the cylinder rod, and an end of the cylinder rod It may include a hand member for moving the material in the moving direction.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제어 유닛은 상기 자재를 검출하기 위한 검출 센서를 포함하고, 상기 컨베이어 유닛은 상기 자재의 후면 부위가 상기 검출 센서에 의해 먼저 검출되도록 상기 자재를 이동시키며, 상기 제어 유닛은 상기 자재가 상기 검출 센서에 의해 검출된 후 상기 검출 센서의 검출 상태가 해제되는 경우 상기 자재가 정지되도록 상기 컨베이어 유닛의 동작을 제어하며 이를 통해 상기 자재를 상기 예비 정렬 위치에서 정지시킬 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the control unit includes a detection sensor for detecting the material, and the conveyor unit moves the material so that the rear portion of the material is first detected by the detection sensor, The control unit controls the operation of the conveyor unit to stop the material when the detection state of the detection sensor is released after the material is detected by the detection sensor, thereby stopping the material in the preliminary alignment position have.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 정렬 유닛은, 상기 자재를 지지하기 위한 핸드 부재와, 상기 핸드 부재 상에 배치되며 상기 자재의 하부에 구비되는 정렬홈들에 대응하는 정렬핀들과, 상기 핸드 부재를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the alignment unit includes a hand member for supporting the material, alignment pins disposed on the hand member and corresponding to alignment grooves provided under the material, and the hand It may include a vertical drive for moving the member in a vertical direction.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제어 유닛은 상기 자재가 상기 정렬핀들에 의해 상기 정렬 위치에서 정렬되도록 상기 핸드 부재를 상승시키고 이어서 상기 자재가 상기 컨베이어 유닛 상에 놓여지도록 상기 핸드 부재를 하강시키도록 상기 수직 구동부의 동작을 제어할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the control unit raises the hand member so that the material is aligned in the alignment position by the alignment pins and then lowers the hand member so that the material is placed on the conveyor unit. to control the operation of the vertical driving unit.

종래 기술의 경우 상기 OHT 장치에서 물류 정체가 발생되는 경우 상기 물류 정체가 상기 스토커 설비 또는 타워 리프트로 전달될 수 있으나, 상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 자재를 이동시키기 위하여 상기 컨베이어 유닛을 사용함으로써 상기 OHT 장치의 물류 정체가 발생되는 경우 복수의 자재들을 상기 컨베이어 유닛 상에서 대기시킬 수 있으며, 이에 따라 상기 OHT 장치의 물류 정체가 상기 스토커 설비 또는 상기 타워 리프트로 전달되지 않도록 할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 자재를 상기 예비 정렬 위치에서 정지시킨 후 상기 정렬 유닛을 이용하여 상기 자재를 상기 정렬 위치에 정확하게 위치시킬 수 있으므로, 상기 자재의 전달 과정에서 상기 자재의 정렬 오류에 의한 문제점이 해결될 수 있다.In the case of the prior art, when logistics congestion occurs in the OHT device, the logistics congestion may be transferred to the stocker facility or tower lift, but according to the embodiments of the present invention as described above, in order to move the material, the By using the conveyor unit, when a logistics congestion of the OHT device occurs, a plurality of materials can be queued on the conveyor unit, so that the logistics congestion of the OHT device is not transferred to the stocker facility or the tower lift. have. In addition, according to embodiments of the present invention, after stopping the material at the preliminary alignment position, the material can be accurately positioned at the alignment position using the alignment unit, so that in the process of transferring the material, the material A problem caused by an alignment error can be solved.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 3 내지 도 5는 도 1에 도시된 이송 장치의 동작을 설명하기 위한 개략적인 평면도들이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도들이다.1 is a schematic plan view for explaining a transfer device according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a schematic front view for explaining the transfer device shown in Figure 1;
3 to 5 are schematic plan views for explaining the operation of the transfer device shown in FIG.
6 and 7 are schematic front views for explaining a transport device according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to sufficiently convey the scope of the present invention to those skilled in the art, rather than being provided so that the present invention can be completely completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In embodiments of the present invention, when an element is described as being disposed or connected to another element, the element may be directly disposed or connected to the other element, and other elements may be interposed therebetween. it might be Conversely, when one element is described as being directly disposed on or connected to another element, there cannot be another element between them. Although the terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and/or portions, the items are not limited by these terms. will not

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is only used for the purpose of describing specific embodiments, and is not intended to limit the present invention. Further, unless otherwise limited, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as understood by one of ordinary skill in the art of the present invention. The above terms, such as those defined in ordinary dictionaries, shall be interpreted to have meanings consistent with their meanings in the context of the related art and description of the present invention, ideally or excessively outwardly intuitive, unless clearly defined. will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic diagrams of ideal embodiments of the present invention. Accordingly, changes from the shapes of the diagrams, eg, changes in manufacturing methods and/or tolerances, are those that can be fully expected. Accordingly, the embodiments of the present invention are not to be described as being limited to the specific shapes of the areas described as diagrams, but rather to include deviations in the shapes, and the elements described in the drawings are purely schematic and their shapes It is not intended to describe the precise shape of the elements, nor is it intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.FIG. 1 is a schematic plan view for explaining a transport device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic front view for explaining the transport device shown in FIG. 1 .

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치(100)는 반도체 장치의 제조 공정에서 자재(10)의 이송을 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 장치(100)는 복수의 웨이퍼들을 수납하기 위한 용기(10), 예를 들면, FOUP(Front Opening Unified Pod)과 같은 용기(10)를 이송하기 위해 사용될 수 있다. 특히, 상기 이송 장치(100)는 OHT 장치와 스토커 설비 또는 타워 리프트 사이에서 상기 자재(10)의 이송을 위해 사용될 수 있다. 다른 예로서, 상기 이송 장치(100)는 상기 스토커 설비와 상기 타워 리프트 사이에서 상기 자재(10)를 이송하기 위해 사용될 수도 있다.1 and 2 , a transport apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may be used to transport a material 10 in a semiconductor device manufacturing process. For example, the transfer device 100 may be used to transfer a container 10 for accommodating a plurality of wafers, for example, a container 10 such as a Front Opening Unified Pod (FOUP). In particular, the transport device 100 can be used for transporting the material 10 between an OHT device and a stocker facility or tower lift. As another example, the transfer device 100 may be used to transfer the material 10 between the stocker facility and the tower lift.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 장치(100)는, 상기 자재(10)의 이송을 위한 컨베이어 유닛(110)과, 상기 컨베이어 유닛(110) 상의 상기 자재(10)를 기 설정된 정렬 위치에 정렬하기 위한 정렬 유닛(130)과, 상기 자재(10)가 기 설정된 예비 정렬 위치에서 정지하도록 상기 컨베이어 유닛(110)의 동작을 제어하고 상기 자재(10)가 상기 정렬 위치에 정렬되도록 상기 정렬 유닛(130)의 동작을 제어하는 제어 유닛(미도시)을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the transfer device 100 includes a conveyor unit 110 for transferring the material 10 and a preset alignment position for the material 10 on the conveyor unit 110 . An alignment unit 130 for aligning to, and controlling the operation of the conveyor unit 110 so that the material 10 stops at a preset preliminary alignment position, and the alignment so that the material 10 is aligned at the alignment position A control unit (not shown) for controlling the operation of the unit 130 may be included.

예를 들면, 상기 컨베이어 유닛(110)은 상기 자재(10)의 양측 부위들을 각각 지지하도록 구성되는 한 쌍의 컨베이어 벨트들(112)과, 상기 컨베이어 벨트들(112)을 회전시키기 위한 모터(114)와, 상기 컨베이어 벨트들(112)이 권취되며 상기 모터에 연결되는 풀리들(116, 118)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 컨베이어 벨트들(112)을 회전시키기 위한 구동 풀리들(116)과 종동 풀리들(118)을 포함할 수 있으며, 상기 구동 풀리들(116) 사이는 회전축(120)에 의해 서로 연결될 수 있다. 또한, 상기 컨베이어 유닛(110)은 상기 컨베이어 벨트들(112)의 처짐을 방지하기 위한 아이들 풀리들(122)을 포함할 수 있다.For example, the conveyor unit 110 includes a pair of conveyor belts 112 configured to support both sides of the material 10 , respectively, and a motor 114 for rotating the conveyor belts 112 . ) and pulleys 116 and 118 on which the conveyor belts 112 are wound and connected to the motor. For example, it may include driving pulleys 116 and driven pulleys 118 for rotating the conveyor belts 112 , and the driving pulleys 116 are interposed between each other by a rotating shaft 120 . can be connected In addition, the conveyor unit 110 may include idle pulleys 122 for preventing the conveyor belts 112 from sagging.

상기 정렬 유닛(130)은 상기 예비 정렬 위치에서 정지된 상기 자재(10)를 수평 이동시켜 상기 정렬 위치에 위치시킬 수 있으며, 일 예로서 스윙 클램프 공압 장치를 사용하여 구성될 수 있다. 예를 들면, 상기 정렬 유닛(130)은 상기 컨베이어 벨트들(112) 사이에서 상기 자재(10)의 이동 방향으로 배치되며 실린더 로드의 직선 왕복 운동과 회전 운동이 가능하도록 구성된 공압 실린더(132)와, 상기 실린더 로드의 단부에 장착되어 상기 자재(10)를 상기 이동 방향으로 이동시키기 위한 핸드 부재(134)를 포함할 수 있다. 특히, 상기 자재(10)를 이동시키는 동안 상기 자재(10)의 방향을 일정하게 유지하기 위하여 상기 컨베이어 벨트들(112)에 각각 인접하도록 한 쌍의 정렬 유닛들(130)이 사용될 수 있다. 아울러, 도시된 바에 의하면, 상기 정렬 유닛(130)은 상기 공압 실린더(132)의 신장 방향으로 상기 자재(10)를 밀어서 정렬하고 있으나, 상기와 반대로 상기 공압 실린더(132)의 배치 방향을 반대로 하여 상기 공압 실린더(132)의 수축 방향으로 상기 자재(10)의 정렬이 이루어질 수도 있다.The alignment unit 130 may horizontally move the material 10 stopped at the preliminary alignment position to position it in the alignment position, and may be configured using, for example, a swing clamp pneumatic device. For example, the alignment unit 130 is disposed in the moving direction of the material 10 between the conveyor belts 112 and a pneumatic cylinder 132 configured to enable linear reciprocating and rotational motion of the cylinder rod; , It is mounted on the end of the cylinder rod may include a hand member 134 for moving the material 10 in the moving direction. In particular, a pair of alignment units 130 may be used so as to be adjacent to each of the conveyor belts 112 to keep the direction of the material 10 constant while moving the material 10 . In addition, as shown, the alignment unit 130 is aligned by pushing the material 10 in the extension direction of the pneumatic cylinder 132, but by reversing the arrangement direction of the pneumatic cylinder 132 as opposed to the above Alignment of the material 10 may be made in the contraction direction of the pneumatic cylinder 132 .

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제어 유닛은 상기 자재(10)의 이동 방향으로 배열되며 상기 자재(10)를 검출하기 위한 제1 검출 센서(140)와 제2 검출 센서(142)를 포함하고, 상기 컨베이어 유닛(110)은 상기 자재(10)의 후면 부위가 상기 제1 및 제2 검출 센서들(140, 142)에 의해 순차적으로 검출되도록 상기 자재(10)를 이동시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 및 제2 검출 센서들(140, 142)로는 광 센서들이 사용될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the control unit is arranged in the moving direction of the material 10 and includes a first detection sensor 140 and a second detection sensor 142 for detecting the material 10 . And, the conveyor unit 110 may move the material 10 so that the rear portion of the material 10 is sequentially detected by the first and second detection sensors 140 and 142 . For example, optical sensors may be used as the first and second detection sensors 140 and 142 .

도 3 내지 도 5는 도 1에 도시된 이송 장치의 동작을 설명하기 위한 개략적인 평면도들이다.3 to 5 are schematic plan views for explaining the operation of the transfer device shown in FIG.

도 3을 참조하면, 상기 제어 유닛은 상기 자재(10)의 이송을 위해 상기 컨베이어 유닛(110)을 동작시킬 수 있다. 이때, 상기 컨베이어 유닛(110) 상의 자재(10)는 후면이 전방을 향하도록 이동될 수 있다. 아울러, 상기 제어 유닛은 도 4에 도시된 바와 같이 상기 제1 검출 센서(140)에 의해 상기 자재(10)의 후면 부위가 검출된 후 상기 제2 검출 센서(142)에 의해 상기 자재(10)의 후면 부위가 검출되는 경우 상기 자재(10)의 이동이 정지되도록 상기 컨베이어 유닛(110)의 동작을 제어할 수 있다. 상기와 같이 컨베이어 유닛(110)에 의해 이동된 위치가 상기 예비 정렬 위치가 될 수 있으며, 이때 상기 제1 검출 센서(140)에 의한 상기 자재(10)의 검출 상태는 그대로 유지될 수 있다. 상기와 같은 자재(10)의 검출을 위해 상기 제1 검출 센서(140)와 제2 검출 센서(142)는 상기 자재(10)의 전후 방향 폭보다 좁은 간격으로 배치될 수 있다.Referring to FIG. 3 , the control unit may operate the conveyor unit 110 to transport the material 10 . At this time, the material 10 on the conveyor unit 110 may be moved so that the rear side faces the front. In addition, as shown in FIG. 4 , the control unit detects the back side of the material 10 by the first detection sensor 140 and then controls the material 10 by the second detection sensor 142 as shown in FIG. When the rear portion of the is detected, the operation of the conveyor unit 110 can be controlled so that the movement of the material 10 is stopped. The position moved by the conveyor unit 110 as described above may be the preliminary alignment position, and in this case, the detection state of the material 10 by the first detection sensor 140 may be maintained as it is. For the detection of the material 10 as described above, the first detection sensor 140 and the second detection sensor 142 may be arranged at a narrower interval than the front-rear width of the material 10 .

이어서, 상기 정렬 유닛(130)은 상기 컨베이어 유닛(110) 상에서 정지된 상기 자재(10)를 상기 자재(10)의 이동 방향으로 수평 이동시킴으로써 상기 자재(10)를 상기 정렬 위치에서 정렬시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 정렬 유닛(130)은 상기 제1 검출 센서(140)에 의한 상기 자재(10)의 검출 상태가 해제될 때까지 상기 자재(10)를 상기 이송 방향으로 수평 이동시킬 수 있으며, 상기 제1 검출 센서(140)에 의한 상기 자재(10)의 검출 상태가 해제되는 위치가 상기 정렬 위치일 수 있다.Subsequently, the alignment unit 130 may align the material 10 in the alignment position by horizontally moving the material 10 stopped on the conveyor unit 110 in the moving direction of the material 10 . . For example, the alignment unit 130 may horizontally move the material 10 in the transport direction until the detection state of the material 10 by the first detection sensor 140 is released, The position at which the detection state of the material 10 by the first detection sensor 140 is released may be the alignment position.

구체적으로, 상기 정렬 유닛(130)은 상기 공압 실린더(132)의 신장 동작을 통해 상기 핸드 부재(134)를 회전시킬 수 있다. 즉, 상기 자재(10)가 상기 정렬 유닛(130)의 상부를 통과하는 동안 상기 공압 실린더(132)는 후진된 상태일 수 있고 이때 상기 핸드 부재(134)는 수평 상태로 위치될 수 있다. 상기 자재(10)가 상기 정렬 유닛(130)의 상부를 통과한 후 상기 공압 실린더(132)는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 핸드 부재(134)를 전진시킬 수 있으며 이때 상기 핸드 부재(134)는 수직 상태가 되도록 회전될 수 있다. 즉, 상기 핸드 부재(134)는 상기 공압 실린더(132)에 의해 상기 자재(10)의 전면과 마주하도록 회전될 수 있으며 이어서 상기 핸드 부재(134)의 전진에 의해 상기 자재(10)가 도 1에 도시된 바와 같이 상기 정렬 위치로 이동될 수 있다. 이때, 상기 정렬 유닛(130)의 동작은 상기 제1 검출 센서(140)의 신호에 기초하여 상기 제어 유닛에 의해 제어될 수 있다.Specifically, the alignment unit 130 may rotate the hand member 134 through the expansion operation of the pneumatic cylinder 132 . That is, while the material 10 passes through the upper portion of the alignment unit 130 , the pneumatic cylinder 132 may be in a retracted state, and in this case, the hand member 134 may be positioned in a horizontal state. After the material 10 has passed the upper part of the alignment unit 130, the pneumatic cylinder 132 may advance the hand member 134 as shown in FIG. 5, wherein the hand member 134 can be rotated to be vertical. That is, the hand member 134 can be rotated to face the front surface of the material 10 by the pneumatic cylinder 132 , and then the material 10 is moved by the advancement of the hand member 134 in FIG. 1 . As shown in , it can be moved to the alignment position. In this case, the operation of the alignment unit 130 may be controlled by the control unit based on the signal of the first detection sensor 140 .

상기와 같은 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 자재(10)의 크기 즉 상기 용기의 크기가 다른 경우에도 상기 자재(10)의 전면 부위를 기준으로 상기 자재(10)를 정렬할 수 있으며, 이에 따라 여러 종류의 자재들(10)을 이송하는 경우에도 항상 일정한 위치에서 상기 자재들(10)을 정렬할 수 있다.According to one embodiment of the present invention as described above, even when the size of the material 10, that is, the size of the container is different, the material 10 can be aligned with respect to the front portion of the material 10, Accordingly, even when transferring several types of materials 10 , the materials 10 can be always aligned at a constant position.

도 6 및 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도들이다.6 and 7 are schematic front views for explaining a transport device according to another embodiment of the present invention.

도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 제어 유닛은 상기 자재(10)를 검출하기 위한 검출 센서(150)를 포함하고, 상기 컨베이어 유닛(110)은 상기 자재(10)의 후면 부위가 상기 검출 센서(150)에 의해 먼저 검출되도록 상기 자재(10)를 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 제어 유닛은 상기 자재(10)가 상기 검출 센서(150)에 의해 검출된 후 계속 이동하여 상기 검출 센서(150)에 의한 검출 상태가 해제되는 경우 상기 자재(10)가 정지되도록 상기 컨베이어 유닛(110)을 제어할 수 있으며, 이를 통해 상기 자재(10)를 상기 예비 정렬 위치에 위치시킬 수 있다.6 and 7, according to another embodiment of the present invention, the control unit includes a detection sensor 150 for detecting the material 10, the conveyor unit 110 is the material ( The material 10 may be moved so that the rear portion of 10) is first detected by the detection sensor 150 . At this time, the control unit continues to move after the material 10 is detected by the detection sensor 150 so that the material 10 stops when the detection state by the detection sensor 150 is released. It is possible to control the unit 110 , thereby positioning the material 10 in the preliminary alignment position.

이때, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 이송 장치(100)는 상기 자재(10)의 정렬을 위한 정렬 유닛(160)을 포함할 수 있으며, 상기 정렬 유닛(160)은, 상기 자재(10)를 지지하기 위한 핸드 부재(162)와, 상기 핸드 부재(162) 상에 배치되며 상기 자재(10)의 하부에 구비되는 정렬홈들(12)에 대응하는 정렬핀들(164)과, 상기 핸드 부재(162)를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부(166)를 포함할 수 있다.At this time, according to another embodiment of the present invention, the transport device 100 may include an alignment unit 160 for aligning the material 10 , and the alignment unit 160 is the material 10 . ), a hand member 162 for supporting the hand member 162, and alignment pins 164 corresponding to the alignment grooves 12 provided on the hand member 162 and provided under the material 10, and the hand A vertical driving unit 166 for moving the member 162 in a vertical direction may be included.

상기 제어 유닛은 상기 예비 정렬 위치에 위치된 상기 자재(10)가 정렬 위치에 정확하게 위치될 수 있도록 상기 정렬 유닛(160)의 동작을 제어할 수 있다. 구체적으로, 상기 수직 구동부(166)는 상기 핸드 부재(162) 상에 상기 자재(10)가 위치되도록 상기 핸드 부재(162)를 상승시킬 수 있으며, 이때 상기 핸드 부재(162) 상의 정렬핀들(164)이 상기 자재(10)의 정렬홈들(12)에 삽입될 수 있고, 이 과정에서 상기 자재(10)의 위치가 상기 핸드 부재(162) 상에서 정렬될 수 있다. 이어서, 상기 수직 구동부(166)는 상기 정렬된 자재(10)가 상기 컨베이어 유닛(110) 상에 다시 놓여지도록 상기 핸드 부재(162)를 하강시킬 수 있다.The control unit may control the operation of the alignment unit 160 so that the material 10 positioned in the preliminary alignment position can be accurately positioned in the alignment position. Specifically, the vertical driving unit 166 may raise the hand member 162 so that the material 10 is positioned on the hand member 162 , and in this case, the alignment pins 164 on the hand member 162 . ) may be inserted into the alignment grooves 12 of the material 10 , and in this process, the position of the material 10 may be aligned on the hand member 162 . Then, the vertical driving unit 166 may lower the hand member 162 so that the aligned material 10 is placed back on the conveyor unit 110 .

종래 기술의 경우 상기 OHT 장치에서 물류 정체가 발생되는 경우 상기 물류 정체가 상기 스토커 설비 또는 타워 리프트로 전달될 수 있으나, 상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 자재(10)를 이동시키기 위하여 상기 컨베이어 유닛(110)을 사용함으로써 상기 OHT 장치의 물류 정체가 발생되는 경우 복수의 자재들(10)을 상기 컨베이어 유닛(110) 상에서 대기하도록 할 수 있으며, 이에 따라 상기 OHT 장치의 물류 정체가 상기 스토커 설비 또는 상기 타워 리프트로 전달되지 않도록 할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 자재(10)를 상기 예비 정렬 위치에서 정지시킨 후 상기 정렬 유닛(130)을 이용하여 상기 자재(10)를 상기 정렬 위치에 정확하게 위치시킬 수 있으므로, 상기 자재(10)의 전달 과정에서 상기 자재의 정렬 오류에 의한 문제점이 해결될 수 있다.In the case of the prior art, when logistics congestion occurs in the OHT device, the logistics congestion may be transferred to the stocker facility or tower lift, but according to the embodiments of the present invention as described above, the material 10 is moved When the logistics congestion of the OHT device occurs by using the conveyor unit 110 in order to may not be delivered to the stocker facility or the tower lift. In addition, according to embodiments of the present invention, after stopping the material 10 at the preliminary alignment position, using the alignment unit 130, the material 10 can be accurately positioned in the alignment position, In the process of transferring the material 10 , a problem caused by an error in the alignment of the material can be solved.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that there is

10 : 자재 12 : 정렬홈
100 : 이송 장치 110 : 컨베이어 유닛
112 : 컨베이어 벨트 114 : 모터
116 : 구동 풀리 118 : 종동 풀리
120 : 회전축 122 : 아이들 풀리
130 : 정렬 유닛 132 : 공압 실린더
134 : 핸드 부재 140 : 제1 검출 센서
142 : 제2 검출 센서 150 : 검출 센서
160 : 정렬 유닛 162 : 핸드 부재
164 : 정렬핀 166 : 수직 구동부10: material 12: alignment groove
100: transport device 110: conveyor unit
112: conveyor belt 114: motor
116: drive pulley 118: driven pulley
120: rotation shaft 122: idle pulley
130: alignment unit 132: pneumatic cylinder
134: hand member 140: first detection sensor
142: second detection sensor 150: detection sensor
160: alignment unit 162: hand member
164: alignment pin 166: vertical drive unit

Claims (8)

자재의 이송을 위한 컨베이어 유닛;
상기 컨베이어 유닛 상의 상기 자재를 기 설정된 정렬 위치에 정렬하기 위한 정렬 유닛; 및
상기 자재가 기 설정된 예비 정렬 위치에서 정지하도록 상기 컨베이어 유닛의 동작을 제어하고 이어서 상기 자재가 상기 정렬 위치에 정렬되도록 상기 정렬 유닛의 동작을 제어하는 제어 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.Conveyor unit for transferring material;
an alignment unit for aligning the material on the conveyor unit to a preset alignment position; and
and a control unit for controlling the operation of the conveyor unit so that the material stops at a preset preliminary alignment position and then controlling the operation of the alignment unit to align the material at the alignment position. 제1항에 있어서, 상기 정렬 유닛은 상기 예비 정렬 위치에서 정지된 상기 자재를 밀어서 상기 정렬 위치에 위치시키는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The conveying device according to claim 1, wherein the alignment unit pushes the material stopped in the preliminary alignment position to position it in the alignment position. 제2항에 있어서, 상기 제어 유닛은 상기 자재의 이동 방향으로 배열되며 상기 자재를 검출하기 위한 제1 검출 센서와 제2 검출 센서를 포함하고,
상기 컨베이어 유닛은 상기 자재의 후면 부위가 상기 제1 및 제2 검출 센서들에 의해 순차적으로 검출되도록 상기 자재를 이동시키며,
상기 제어 유닛은 상기 제1 검출 센서에 의해 상기 자재가 검출된 후 상기 제2 검출 센서에 의해 상기 자재의 후면 부위가 검출되는 경우 상기 자재의 이동이 정지되도록 상기 컨베이어 유닛의 동작을 제어하고, 상기 제1 검출 센서에 의한 상기 자재의 검출 상태가 해제될 때까지 상기 자재를 밀어서 정렬하도록 상기 정렬 유닛의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.3. The method according to claim 2, wherein the control unit comprises a first detection sensor and a second detection sensor arranged in a movement direction of the material and configured to detect the material,
The conveyor unit moves the material so that the rear portion of the material is sequentially detected by the first and second detection sensors,
The control unit controls the operation of the conveyor unit so that the movement of the material is stopped when the back side of the material is detected by the second detection sensor after the material is detected by the first detection sensor, A transfer device, characterized in that controlling the operation of the alignment unit to align by pushing the material until the detection state of the material by the first detection sensor is released. 제1항에 있어서, 상기 컨베이어 유닛은 상기 자재의 양측 부위들을 각각 지지하도록 구성된 한 쌍의 컨베이어 벨트들을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The conveying apparatus according to claim 1, wherein the conveyor unit includes a pair of conveyor belts configured to respectively support both sides of the material. 제4항에 있어서, 상기 정렬 유닛은,
상기 컨베이어 벨트들 사이에서 상기 자재의 이동 방향으로 배치되며 실린더 로드의 직선 왕복 운동과 회전 운동이 가능하도록 구성된 공압 실린더와,
상기 실린더 로드의 단부에 장착되어 상기 자재를 상기 이동 방향으로 이동시키기 위한 핸드 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.According to claim 4, wherein the alignment unit,
A pneumatic cylinder disposed between the conveyor belts in the direction of movement of the material and configured to enable linear reciprocating and rotational motion of the cylinder rod;
and a hand member mounted on an end of the cylinder rod to move the material in the moving direction. 제1항에 있어서, 상기 제어 유닛은 상기 자재를 검출하기 위한 검출 센서를 포함하고,
상기 컨베이어 유닛은 상기 자재의 후면 부위가 상기 검출 센서에 의해 먼저 검출되도록 상기 자재를 이동시키며,
상기 제어 유닛은 상기 자재가 상기 검출 센서에 의해 검출된 후 상기 검출 센서의 검출 상태가 해제되는 경우 상기 자재가 정지되도록 상기 컨베이어 유닛의 동작을 제어하며 이를 통해 상기 자재를 상기 예비 정렬 위치에서 정지시키는 것을 특징으로 하는 이송 장치.According to claim 1, wherein the control unit comprises a detection sensor for detecting the material,
The conveyor unit moves the material so that the rear portion of the material is first detected by the detection sensor,
The control unit controls the operation of the conveyor unit so that the material is stopped when the detection state of the detection sensor is released after the material is detected by the detection sensor, thereby stopping the material in the preliminary alignment position Transport device, characterized in that. 제6항에 있어서, 상기 정렬 유닛은,
상기 자재를 지지하기 위한 핸드 부재와,
상기 핸드 부재 상에 배치되며 상기 자재의 하부에 구비되는 정렬홈들에 대응하는 정렬핀들과,
상기 핸드 부재를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 6, wherein the alignment unit,
a hand member for supporting the material;
Alignment pins disposed on the hand member and corresponding to alignment grooves provided in the lower portion of the material;
and a vertical driving unit for moving the hand member in a vertical direction. 제7항에 있어서, 상기 제어 유닛은 상기 자재가 상기 정렬핀들에 의해 상기 정렬 위치에서 정렬되도록 상기 핸드 부재를 상승시키고 이어서 상기 자재가 상기 컨베이어 유닛 상에 놓여지도록 상기 핸드 부재를 하강시키도록 상기 수직 구동부의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.8. The vertical movement of claim 7, wherein the control unit raises the hand member so that the material is aligned in the alignment position by the alignment pins and then lowers the hand member so that the material is placed on the conveyor unit. Transfer device, characterized in that for controlling the operation of the driving unit.
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CN117589688A (en) * 2024-01-18 2024-02-23 湖北省高创公路工程咨询监理有限公司 Bridge expansion joint steel structure detection device and method thereof
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