KR20190135168A - Transport apparatus and method of location recognition of transport apparatus - Google Patents

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KR20190135168A
KR20190135168A KR1020180060273A KR20180060273A KR20190135168A KR 20190135168 A KR20190135168 A KR 20190135168A KR 1020180060273 A KR1020180060273 A KR 1020180060273A KR 20180060273 A KR20180060273 A KR 20180060273A KR 20190135168 A KR20190135168 A KR 20190135168A
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Abstract

Provided is a transfer apparatus. According to the present invention, the transfer apparatus includes: a guide rail; and a transfer body driven along the guide rail, wherein the transfer body includes: a transfer unit driven along the guide rail and configured to transfer a member; and a detection unit coupled to the transfer unit and configured to detect a position of the transfer body. The transfer body can be an overhead transfer transferring a carrier between facilities. The detection unit includes: an image obtaining part configured to obtain an image seen from a front surface when the transfer body is driven along the guide rail; and a detection part configured to detect a present position of the transfer body based on the image.

Description

이송 장치와 이송 장치의 위치 인식 방법{TRANSPORT APPARATUS AND METHOD OF LOCATION RECOGNITION OF TRANSPORT APPARATUS}TRANSPORT APPARATUS AND METHOD OF LOCATION RECOGNITION OF TRANSPORT APPARATUS}

본 발명은 이송 장치와 이송 장치의 위치 인식 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a transfer device and a method for recognizing a position of the transfer device.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물은 캐리어에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 캐리어를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다. 상기 캐리어는 OHT(Overhead Hoist Transport)에 의해 이송된다. 상기 OHT는 상기 대상물이 수납된 상기 캐리어를 이송하여 상기 반도체 공정 장치들의 로드 포트로 이송하고, 공정 처리된 대상물이 수납된 캐리어를 상기 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송한다. 기존의 OHT 장치에서는, OHT의 주행 경로에 일정 간격으로 부재를 배치하여 해당 부재를 지나갈 경우 지나간 해당 부재의 위치로 OHT의 현재 위치를 파악하는 시스템을 사용하였다. 해당 시스템은, OHT가 내부 혹은 외부의 원인으로 인해 OHT가 작동을 정지할 경우, OHT의 위치 파악을 할 수 없어 전체 공정 과정이 원활하게 진행되지 않는 문제점이 존재하였다.Generally, semiconductor processing apparatuses for manufacturing a semiconductor device are continuously arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. The object for performing the semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing apparatus in a state stored in a carrier, or may be recovered from each semiconductor processing apparatus using the carrier. The carrier is carried by an overhead hoist transport (OHT). The OHT transfers the carrier containing the object to the load port of the semiconductor processing apparatuses, and picks up the carrier containing the processed object from the load port and transports the carrier to the outside. In the existing OHT apparatus, a member is disposed on a driving path of the OHT at regular intervals, and a system for identifying the current position of the OHT by the position of the corresponding member when passing the member is used. In the system, when the OHT stops operating due to an internal or external cause of the OHT, the OHT cannot be located, and thus, the entire process does not proceed smoothly.

본 발명은 OHT가 작동을 정지하여 위치를 파악할 수 없을 경우에도, 비전 시스템(vision system)을 이용해 위치인식이 가능한 이송장치를 제공하고자 함이다.The present invention is to provide a transfer apparatus capable of position recognition using a vision system even when the OHT stops operation and cannot determine the position.

또한 본 발명은, 주행 경로 레일 상에 위치한 부재를 이용하여 위치를 인식하는 기존의 OHT의 위치 인식 방법에서 탈피하여 촬영한 이미지만으로 쉽게 위치를 파악할 수 있는 장치를 제공하고자 함이다. In another aspect, the present invention is to provide a device that can easily determine the location only by the image taken away from the conventional OHT location recognition method for recognizing the location using the member located on the travel path rail.

또한 본 발명은 레일에 부착되어 이송하는 이송 장치가 위치를 효율적으로 인식하는 방법을 제공하고자 함이다. In another aspect, the present invention is to provide a method for the transfer device attached to the rail to recognize the position efficiently.

본 발명의 실시예는 이송장치를 제공한다. 일 실시예에 의하면, 대상물을 이송하는 이송장치는, 가이드 레일과, 가이드 레일을 따라 주행하는 이송체를 포함할 수 있다.  An embodiment of the present invention provides a transfer device. According to one embodiment, the conveying apparatus for conveying the object may include a guide rail and a conveying body traveling along the guide rail.

상기 이송체는, 상기 가이드 레일을 따라 주행하며 부재를 이송하는 이송 유닛과, 상기 이송 유닛에 결합되며, 상기 이송체의 위치를 검출하는 검출 유닛을 포함할 수 있다.The conveying body may include a conveying unit which travels along the guide rail and conveys the member, and a detecting unit which is coupled to the conveying unit and detects a position of the conveying body.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 이송 유닛은 몸체;와 상기 몸체에 결합되며 상기 가이드 레일을 따라 주행하는 휠; 및 상기 몸체에 결합되며 상기 부재를 그립하는 그립부;를 포함할 수 있다.  According to one embodiment of the invention, the transfer unit is coupled to the body and the body and a wheel traveling along the guide rail; And a grip part coupled to the body to grip the member.

본 발명의 검출 유닛은, 상기 이송체가 상기 가이드 레일을 따라 주행 시 주변의 이미지를 획득하는 영상획득부와, 상기 이미지에 근거하여 상기 이송체의 현재 위치를 검출하는 검출부를 포함할 수 있다. The detection unit of the present invention may include an image acquisition unit for acquiring an image of the surroundings when the carrier moves along the guide rail, and a detection unit for detecting a current position of the carrier based on the image.

또한, 상기 검출 유닛은, 기준이미지들과 각각의 상기 기준이미지에 해당하는 위치 정보들을 주행 순서대로 저장하는 저장부, 주행하며 획득한 획득 이미지와 매칭되는 기준 이미지를 선별하는 선별부, 검출부 혹은 선별부에서 선별된 기준이미지에 해당하는 위치정보를 출력하는 출력부를 더 포함할 수 있다.The detection unit may include a storage unit which stores reference images and position information corresponding to each of the reference images in a driving order, and a selection unit, a detection unit, or a selection unit, which selects a reference image matching the acquired image obtained by traveling. The apparatus may further include an output unit configured to output position information corresponding to the reference image selected by the unit.

본 발명의 검출부는, 저장부에 저장된 기준이미지들과 영상획득부에 의해 획득된 획득 이미지를 비교하여 이송체의 현재 위치를 판정할 수 있다.  The detector of the present invention may compare the reference images stored in the storage unit with the acquired image acquired by the image acquisition unit to determine the current position of the conveying body.

본 발명의 검출부는, 기준 이미지로부터 매칭률이 일정 이상인 이미지를 선별하여 그 이미지에 대응하는 위치로 상기 이송체의 현재 위치를 대응하여 판정할 수 있다.  The detection unit of the present invention may select an image having a matching ratio of a predetermined value or more from a reference image and determine the current position of the conveying body correspondingly to a position corresponding to the image.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 검출부는 상기 매칭률이 일정 이상인 이미지가 다수일 경우, 해당 다수 이미지들의 주행 방향 이전의 n개의 이미지를 추출하여 동시에 비교하여 매칭률을 판단하고, 추출한 이미지들과 상기 다수 이미지들 사이에 매칭률이 가장 적게 차이나는 이미지 집단을 선택하고, According to another embodiment of the present invention, when there are a plurality of images having a predetermined or more matching rate, the detector extracts n images before the driving direction of the plurality of images and compares them at the same time to determine a matching rate. Selecting a group of images having the least difference between the plurality of images,

상기 이미지 집단에서 매칭률이 가장 높은 이미지에 대응하는 위치를 상기 이송체의 현재 위치로 판정할 수 있다.The position corresponding to the image having the highest matching rate in the group of images may be determined as the current position of the vehicle.

또한, 본 발명은 가이드 레일을 따라 움직이는 이송장치의 위치인식 방법을 제공한다. 상기 위치인식 방법은, 이송장치가 가이드 레일을 따라 주행하며 주변의 이미지를 획득하는 단계; 주행하며 획득한 이미지를 위치 정보와 매칭하여 순차적으로 저장하는 단계; 이송 진행 중 획득한 이미지를 저장된 이미지와 비교하여 상기 이송장치의 현재 위치를 검출하는 단계;를 포함할 수 있다. The present invention also provides a method for recognizing the position of the conveying device moving along the guide rail. The position recognition method comprises the steps of: the transfer device traveling along the guide rail to obtain an image of the surroundings; Sequentially storing the acquired images while driving and matching the position information; And detecting the current position of the transfer device by comparing the image acquired during the transfer process with the stored image.

상기 이송 진행 중 획득한 이미지를 저장된 이미지와 비교하여 현재 위치를 검출하는 단계는, 상기 획득한 이미지와 저장된 이미지와 비교하여 매칭률이 일정 이상인 이미지를 선별하여 그 이미지에 대응하는 위치로 상기 이송장치의 현재 위치를 판정하는 단계;를 포함할 수 있다. The step of detecting the current position by comparing the image obtained during the transfer process with the stored image, selecting the image having a matching ratio or more compared to the obtained image and the stored image to the position corresponding to the image And determining a current location of the.

또 다른 실시예에 있어서, 상기 이송 진행 중 획득한 이미지를 저장된 이미지와 비교하여 현재 위치를 검출하는 단계는, 상기 매칭률이 일정 이상인 이미지가 다수일 경우, 해당 다수 이미지들의 주행 방향 이전의 n개의 이미지들을 추출하는 단계; 추출한 이미지들과 획득 이미지와의 매칭률을 판단하는 단계; 상기 추출한 이미지들과 획득 이미지와의 매칭률과 상기 다수 이미지들과 획득 이미지와의 매칭률이 가장 적게 차이나는 이미지 집단을 선택하는 단계; 상기 이미지 집단에 포함된 이미지 중 매칭률이 가장 높은 매칭 이미지를 선택하는 단계; 상기 선택된 매칭 이미지에 대응되는 위치 정보를 출력하는 단계;를 더 포함할 수 있다.According to another embodiment, the step of detecting the current position by comparing the image obtained during the transfer process with the stored image, if there are a plurality of images having a predetermined or more matching rate, n number of the previous image before the driving direction of the plurality of images Extracting images; Determining a matching rate between the extracted images and the acquired image; Selecting an image group having a smallest difference between a matching rate between the extracted images and the acquired image and a matching rate between the plurality of images and the acquired image; Selecting a matching image having the highest matching rate among the images included in the image group; The method may further include outputting location information corresponding to the selected matching image.

본 발명의 일 실시예에 의하면, OHT가 작동을 정지하여 위치를 파악할 수 없는 경우에도, 촬영한 이미지만을 이용하여 위치 인식이 가능할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, even when the OHT stops the operation and cannot determine the position, the position recognition may be performed using only the captured image.

또한 본 발명의 일 실시예에 의하면, 주행 경로 레일 상에 위치한 부재를 이용하여 위치를 인식하는 기존의 OHT의 위치 인식 방법에서 탈피하여 촬영한 이미지만으로 쉽게 위치를 파악할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, it is possible to easily grasp the position only by the image taken away from the conventional method for recognizing the position of the OHT using the member located on the travel path rail.

또한 본 발명의 다른 실시예에 의하면, 매칭되는 이미지가 중복되는 경우에도 정확한 위치를 인식할 수 있다.In addition, according to another embodiment of the present invention, it is possible to recognize the correct position even when the matching images overlap.

도 1은 본 발명에 따른 이송장치가 주행하는 것을 상부에서 바라본 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 오버헤드 트랜스퍼가 캐리어를 이송하는 것을 설명하는 도면이다.
도 3은 도 1에 따른 이송장치가 주행하는 것을 간략히 나타낸 정면도이다.
도 4는 본 발명의 이송 유닛의 구조를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 검출 유닛의 구조를 블록 형태로 나타낸 도면이다.
도 6 내지 도 8은 본 발명에서 매칭 이미지가 다수일 경우의 처리 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 본 발명의 위치 인식 방법을 나타낸 순서도이다.1 is a view as viewed from the top of the transport apparatus according to the invention running.
2 is a diagram illustrating the transfer of the carrier by the overhead transfer according to the present invention.
3 is a front view briefly showing that the transport apparatus according to FIG. 1 is traveling.
4 is a view showing the structure of the transfer unit of the present invention.
5 is a block diagram showing the structure of the detection unit of the present invention.
6 to 8 are views for explaining a processing method when there are a plurality of matching images in the present invention.
9 is a flowchart illustrating a location recognition method of the present invention.

아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention. In addition, in describing the preferred embodiment of the present invention in detail, if it is determined that the detailed description of the related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. In addition, the same reference numerals are used throughout the drawings for parts having similar functions and functions.

어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다."Including" any component means that other components may be included, but not included, unless specifically stated otherwise. Specifically, the terms "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described in the specification, and that one or more other features It should be understood that it does not exclude in advance the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts or combinations thereof.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In addition, the shape and size of the elements in the drawings may be exaggerated for more clear description.

본 명세서 전체에서 사용되는 '~부'는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위로서, 예를 들어 소프트웨어, FPGA 또는 ASIC과 같은 하드웨어 구성요소를 의미할 수 있다. 그렇지만 '~부'가 소프트웨어 또는 하드웨어에 한정되는 의미는 아니다. '~부'는 어드레싱할 수 있는 저장 매체에 있도록 구성될 수도 있고 하나 또는 그 이상의 프로세서들을 재생시키도록 구성될 수도 있다. As used throughout the present specification, '~ part' is a unit for processing at least one function or operation, and may mean, for example, a hardware component such as software, FPGA, or ASIC. However, '~' is not meant to be limited to software or hardware. '~ Portion' may be configured to be in an addressable storage medium or may be configured to play one or more processors.

일 예로서 '~부'는 소프트웨어 구성요소들, 객체지향 소프트웨어 구성요소들, 클래스 구성요소들 및 태스크 구성요소들과 같은 구성요소들과, 프로세스들, 함수들, 속성들, 프로시저들, 서브루틴들, 프로그램 코드의 세그먼트들, 드라이버들, 펌웨어, 마이크로 코드, 회로, 데이터, 데이터베이스, 데이터 구조들, 테이블들, 어레이들 및 변수들을 포함할 수 있다. 구성요소와 '~부'에서 제공하는 기능은 복수의 구성요소 및 '~부'들에 의해 분리되어 수행될 수도 있고, 다른 추가적인 구성요소와 통합될 수도 있다.As an example, '~' means components such as software components, object-oriented software components, class components, and task components, and processes, functions, properties, procedures, and subs. Routines, segments of program code, drivers, firmware, microcode, circuits, data, databases, data structures, tables, arrays, and variables. The functions provided by the component and the '~' may be performed separately by the plurality of components and the '~', or may be integrated with other additional components.

이하에서는 본 발명에서의 오버헤드 트랜스퍼 이송장치에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, the overhead transfer device in the present invention will be described in detail.

도 1은 본 발명에 따른 이송장치가 가이드 레일을 따라 주행하는 것을 상부에서 바라본 도면이다.1 is a view as seen from the top of the transport apparatus according to the invention traveling along the guide rail.

본 발명에 따른 이송장치(1)는 가이드 레일(10)을 따라 정해진 경로를 주행하게 된다. 도 1의 실시 예에서는 육각형의 형태로 가이드 레일(10)이 도시되었으나, 가이드 레일(10)의 형상은 원형, 사각형 등 다양하게 제공될 수 있다. 가이드 레일(10)은 천장부에 부착되어 기판 처리 설비들(30)을 상부에서 확인할 수 있도록 설치될 수 있다. 가이드 레일(10)의 설치 범위는 기판 처리 설비들(30)을 전체적으로 조망할 수 있도록 넓은 영역으로 배치될 수 있다. 도 1에 도시된 가이드 레일(10)을 중심으로 하여 이송체(20)가 주행하며 기판 처리 설비들(30)의 이미지를 획득할 수 있다.The conveying apparatus 1 according to the present invention travels a predetermined path along the guide rail 10. In the embodiment of Figure 1, the guide rail 10 is shown in the form of a hexagon, the shape of the guide rail 10 may be provided in a variety of circles, squares and the like. The guide rail 10 may be attached to the ceiling to be installed to check the substrate processing facilities 30 from above. The installation range of the guide rail 10 may be arranged in a large area so that the substrate processing facilities 30 can be viewed as a whole. The conveyer 20 may travel around the guide rail 10 shown in FIG. 1 to acquire images of the substrate processing facilities 30.

도 2는 본 발명에 따른 오버헤드 트랜스퍼가 캐리어를 이송하는 것을 나타내는 도면이다. 2 is a diagram showing that an overhead transfer according to the present invention carries a carrier.

로드포트(320)들은 카세트 공급부(300)의 전면(302), 즉 기판 처리 설비의 전방에 설치된다. 로드포트(320)는 카세트(C)가 놓여지는 테이블(322)을 가지며, 이 테이블(322)은 설비로의 카세트 반입 및 설비로부터의 카세트 반출을 위해 전후 방향으로 슬라이드 이동된다. 물론, 카세트 공급부(300)의 전면(302) 에는 테이블(322)에 놓여진 카세트(C)가 설비로 출입할 수 있는 개구(304)가 형성된다. 카세트(C)는 반도체 생산 라인의 천장에 설치되어 있는 카세트 물류 장치의 하나인 오버헤드 호이스트 트랜스포트(이하; OHT라고 함)(20)를 통해 이송되어 로드포트(320)의 테이블(322)에 놓여진다. 로드 포트(322)에 놓여진 카세트(C)는 테이블(322)의 슬라이드 이동에 의해 개구(304)를 통해 설비 안쪽으로 반입된다. 이렇게 반입된 카세트(C)는 카세트 반송 로봇(310)에 의해 카세트 오프너(220) 또는 대기 테이블(330)들로 반송된다.The load ports 320 are installed on the front surface 302 of the cassette supply 300, that is, in front of the substrate processing facility. The load port 320 has a table 322 on which the cassette C is placed, which is slidably moved forward and backward for cassette loading into and out of the facility. Of course, the front surface 302 of the cassette supply unit 300 is formed with an opening 304 through which the cassette C placed on the table 322 can enter and exit the facility. The cassette C is conveyed through an overhead hoist transport (hereinafter referred to as OHT) 20, which is one of the cassette distribution apparatuses installed on the ceiling of the semiconductor production line, to the table 322 of the load port 320. Is placed. The cassette C placed in the load port 322 is carried into the installation through the opening 304 by the slide movement of the table 322. The cassette C thus carried is conveyed to the cassette opener 220 or the waiting table 330 by the cassette transport robot 310.

도 3은 도 1에 따른 이송장치(1)가 주행하는 것을 간략하게 나타낸 정면도이다. 본 발명에 따른 이송장치(1)는 가이드 레일(10)과 이송체(20)를 포함할 수 있다. 이송체(20)는 가이드 레일(10)을 따라 정해진 경로를 주행할 수 있다. 이송체(20)의 주행 방향은 시계 방향 혹은 반시계 방향일 수 있다. 이송체(20)는 이송 유닛(100)과 검출 유닛(200)을 포함할 수 있다. 이송체(20)에 부착된 영상획득부(210)를 통해 이송체를 중심으로 한 설비 영역의 상부에서 바라본 이미지를 획득할 수 있다. 영상획득부(210)의 렌즈 형태 및 설정에 따라 얻는 이미지의 영역 범위가 달라질 수 있다.3 is a front view briefly showing that the transport apparatus 1 according to FIG. 1 is traveling. The conveying apparatus 1 according to the present invention may include a guide rail 10 and a conveying body 20. The conveying body 20 may travel a predetermined path along the guide rail 10. The running direction of the conveying body 20 may be clockwise or counterclockwise. The transfer body 20 may include a transfer unit 100 and a detection unit 200. Through the image acquisition unit 210 attached to the conveying body 20 can be obtained an image viewed from the top of the installation area around the conveying body. The area range of the obtained image may vary according to the lens type and setting of the image acquisition unit 210.

도 4는 본 발명에서의 이송 유닛(100)의 구조를 나타낸 도면이다. 4 is a view showing the structure of the transfer unit 100 in the present invention.

본 발명의 이송 유닛(100)은 휠(110), 몸체(120), 그립부(130)를 포함하는 구성일 수 있다. 도 4에는 이송체(20)의 이송 유닛(100)부만 도시하였으나, 이송체(20)는 검출 유닛(200)도 포함할 수 있다. 검출 유닛(200)에 대해서는 후술한다.The transfer unit 100 of the present invention may have a configuration including a wheel 110, a body 120, and a grip 130. Although only the conveying unit 100 part of the conveying body 20 is shown in FIG. 4, the conveying body 20 may also include a detection unit 200. The detection unit 200 will be described later.

이송 유닛(100)의 휠(110)은 가이드 레일(10)과 접할 수 있고, 몸체(120)의 측면에 결합될 수 있다. 휠(110)은 적어도 한 쌍으로 제공될 수 있다. 휠(110)은 이송체(20)가 가이드 레일(10)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 휠(110)을 이용하여 가이드 레일(10)을 따라 주행할 수 있다. 그러나 이송 유닛(100)의 휠(110)은 이송체(20)를 구동할 수 있는 모터 등으로 대체될 수 있다. The wheel 110 of the transfer unit 100 may be in contact with the guide rail 10 and may be coupled to the side of the body 120. The wheels 110 may be provided in at least one pair. The wheel 110 is provided such that the conveying body 20 is movable along the guide rail 10. The wheel 110 may travel along the guide rail 10. However, the wheel 110 of the transfer unit 100 may be replaced with a motor capable of driving the transfer body 20.

그립부(130)는 캐리어를 이송할 때 캐리어를 지지하여 옮길 수 있도록 제공될 수 있다. 그립부(130)는 몸체(120)에 결합되며 부재를 그립할 수 있다. The grip 130 may be provided to support and move the carrier when transferring the carrier. The grip 130 is coupled to the body 120 and may grip the member.

도 5는 본 발명에서의 검출 유닛(200)의 구조를 나타낸 도면이다.5 is a view showing the structure of the detection unit 200 in the present invention.

검출 유닛(200)은 영상획득부(210), 검출부(220), 저장부(230), 선별부(240), 출력부(250)를 포함할 수 있다. 이하에서 검출 유닛(200)의 각각의 구성요소들에 대해 상세히 설명한다.The detection unit 200 may include an image acquisition unit 210, a detection unit 220, a storage unit 230, a selection unit 240, and an output unit 250. Hereinafter, respective components of the detection unit 200 will be described in detail.

검출 유닛(200)의 영상획득부(210)는 이송체가 주행할 때 영상을 획득할 수 있다. 영상획득부(210)는 카메라일 수 있다. 또는 영상획득부(210)는 영상을 수집할 수 있는 촬상 장치 중 어느 하나일 수 있다. 도 3에 도시한 바와 같이, 영상획득부(210)는 이송체(20)의 저면에 부착될 수 있다. 도 4를 참조하면, 영상획득부(210)는 이송 유닛(100)의 몸체(120)의 저면에 부착될 수 있다. 이 때, 몸체(120)의 양 돌출부 중 한쪽의 저면에만 부착될 수도 있고, 양 돌출부의 저면에 모두 부착되어 동시에 영상을 획득하는 것 역시 가능하다. 영상 획득부(210)는 이송체(20)의 저면에 부착되어, 가이드 레일을 따라 주행하며 상면에서 바라보는 기판 처리 설비들의 이미지를 획득할 수 있다.The image acquisition unit 210 of the detection unit 200 may acquire an image when the carrier travels. The image acquisition unit 210 may be a camera. Alternatively, the image acquisition unit 210 may be any one of the imaging devices that can collect an image. As shown in FIG. 3, the image acquisition unit 210 may be attached to the bottom of the transfer body 20. Referring to FIG. 4, the image acquisition unit 210 may be attached to the bottom surface of the body 120 of the transfer unit 100. At this time, it may be attached only to the bottom surface of one of both protrusions of the body 120, it is also possible to be attached to both the bottom surface of both protrusions to acquire an image at the same time. The image acquisition unit 210 may be attached to the bottom surface of the transfer body 20 to acquire images of substrate processing facilities that travel along the guide rail and view from the top surface.

검출 유닛(200)의 저장부(230)는 획득되는 이미지와 위치 정보를 함께 저장한다. 저장부(230)는 상기 영상획득부(210)가 주행하는 순서대로 영상을 획득하면, 해당 순서대로 이미지를 저장하고, 그에 따라 위치 정보를 넘버링하여 저장할 수 있다. 본 발명에서의 저장부(230)가 이미지와 위치 정보를 함께 저장하는 방법으로, 카메라 캘리브레이션(camera calibration)을 통해 거리를 측정하여 위치정보를 함께 저장할 수 있다. 혹은 GPS를 사용하거나, 광파기 등의 외부 측정 장치를 활용하여 위치 정보를 함께 저장할 수도 있다. 혹은 기존 시스템의 위치 정보에 대한 상대적인 위치 정보를 비교함으로써 해당 위치 정보를 저장할 수도 있다. 상기 기재한 방법들 외에 본 발명의 설명에서 개시하지 아니한 방법이더라도, 통상의 기술자의 수준에서 이미지와 위치 정보를 대응시켜 저장할 수 있는 기술이라면 본 발명의 저장부의 저장 방법에 적용할 수 있을 것이다.The storage unit 230 of the detection unit 200 stores the obtained image and the location information together. When the image acquisition unit 210 acquires the images in the order in which the image acquisition unit 210 travels, the storage unit 230 may store the images in the corresponding order, and number and store the location information accordingly. In the present invention, the storage unit 230 stores the image and the location information together. The storage unit 230 may store the location information together by measuring a distance through a camera calibration. Alternatively, location information may be stored together using GPS or an external measuring device such as an optical wave. Alternatively, the corresponding location information may be stored by comparing relative location information with respect to the location information of the existing system. In addition to the methods described above, even if the method is not disclosed in the description of the present invention, any technology capable of storing images and location information in correspondence with those of ordinary skill will be applicable to the storage method of the storage unit of the present invention.

검출 유닛(200)의 선별부(240)는 획득한 이미지와 매칭되는 기준 이미지를 선별할 수 있다. 상기의 기준 이미지는 상기 저장부(230)에서 주행 순서에 따라 순차적으로 저장된 이미지들을 의미한다. 선별부(240)는 상기 영상획득부(210)의 특정 지점에서 획득한 이미지와 기준 이미지를 비교하여, 매칭률이 일정 이상인 기준 이미지를 선별하여 검출부(220)에 제공할 수 있다. 상기 일정 이상의 매칭률 값은 70% 이상일 수 있다. 그러나 상기 값은 고정된 값은 아니며, 자유롭게 사용자가 조정할 수 있다. 선별부(240)의 이미지 매칭 방법으로는, 특징점 매칭 방법 혹은 이미지 자체 매칭 방법을 사용할 수 있다. 이 때, 통상적으로 사용하는 매칭 방법은 이미지에 나타나는 자연 특징점을 이용하여 특징점을 매칭하는 방법을 사용한다. 그러나, 본원 발명의 경우 기판 처리 장치들의 특성 상 자연 특징점으로 위치 구분 및 매칭이 어려울 수 있다. 본원발명에서는 자연 특징점을 이용하여 매칭하는 방법 외에도, 각각의 기판 처리 장치에 인공적인 표식 장치를 추가함으로써 특징점을 매칭하는 방법을 사용할 수 있다. 구체적으로, 이송장치가 가이드 레일을 따라 이동하며 상부에서 영상을 획득하는 부분에서 인식할 수 있는 위치에 기판 처리 장치마다 구분이 가능한 인공적인 표식 장치를 배치함으로써 자연 특징점으로 매칭하는 방법보다 훨씬 수월하게 매칭을 진행할 수 있다. The selector 240 of the detection unit 200 may select a reference image that matches the obtained image. The reference image refers to images stored sequentially in the driving order in the storage unit 230. The selection unit 240 may compare the image acquired at a specific point of the image acquisition unit 210 with the reference image, and select the reference image having a predetermined matching ratio or more and provide the detection image to the detection unit 220. The predetermined or more matching rate value may be 70% or more. However, the value is not fixed and can be freely adjusted by the user. As the image matching method of the selector 240, a feature point matching method or an image self matching method may be used. In this case, a commonly used matching method uses a method of matching feature points using natural feature points appearing in an image. However, in the case of the present invention, it may be difficult to distinguish the location and match the natural feature point due to the characteristics of the substrate processing apparatus. In the present invention, in addition to the method of matching using natural feature points, a method of matching feature points may be used by adding an artificial marking device to each substrate processing apparatus. More specifically, by placing an artificial marking device that can be distinguished for each substrate processing device at a position that can be recognized in a portion where the transfer device moves along the guide rail and acquires an image from the upper side, it is much easier than matching with natural feature points. Matching can proceed.

검출부(220)는 이미지에 근거하여 이송체(20)의 현재 위치를 검출할 수 있다. 검출부(220)는 저장부(230)에 저장된 기준 이미지들과 영상 획득부(210)에 의해 획득된 획득 이미지를 비교하여 이송체(20)의 현재 위치를 판정할 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 검출부(220)가 이송체(20)의 현재 위치를 판정하는 방법은, 매칭률이 일정 이상인 이미지가 존재할 경우 그 이미지에 대응하는 위치정보를 현재 위치로 대응시켜 판정할 수 있다.The detector 220 may detect a current position of the conveying body 20 based on the image. The detector 220 may determine the current position of the carrier 20 by comparing the reference images stored in the storage 230 with the acquired image acquired by the image acquirer 210. More specifically, the method of the detection unit 220 determines the current position of the conveying body 20, when there is an image having a matching ratio of a predetermined value or more can be determined by matching the position information corresponding to the image with the current position. .

그러나 매칭률이 일정 이상인 이미지가 다수 개 존재할 경우의 알고리즘을 도 6 내지 도 8을 이용하여 설명한다.However, an algorithm in the case where there are a plurality of images having a predetermined matching ratio or more will be described with reference to FIGS. 6 to 8.

도 6에 따르면, 저장부(230)는 순차적으로 주행함에 따라 저장된 이미지들과 위치 정보를 매칭하여 저장한다. 저장된 이미지들(A1~A1000)은 순차적으로 배열되어 저장된다. 도면 상으로는 설명을 위해 1000장의 이미지가 저장된 것으로 작성하였으나, 이는 주행 시간 및 촬상 간격에 따라 조정될 수 있는 값에 해당한다.According to FIG. 6, the storage 230 matches and stores the stored images and the location information as they sequentially travel. The stored images A1 to A1000 are sequentially arranged and stored. In the drawing, 1000 images are stored for explanation, but they correspond to values that can be adjusted according to the travel time and the imaging interval.

도 7에 따르면, 선별부(240)는 획득 이미지와 기준 이미지들을 비교한다. 선별부(240)는 획득 이미지(B)와 기준 이미지들(A1~A1000)을 비교하여 일정 매칭률 이상 되는 기준 이미지들을 선별하여 검출부(220)에 전송한다. 도 7에서는 매칭률의 값을 70%로 설정하였다. 도 7에서, 획득 이미지(B)와 일정 매칭률 이상 매칭되는 기준 이미지들(A150, A275, A718)이 선별되었다. 각각의 기준 이미지들의 획득 이미지(B)와의 매칭률은 73%, 70%, 80%에 해당한다. 이 때, 매칭률이 가장 높은 80%를 선택할 경우, 위치 인식 결과에 오류가 발생할 가능성이 있다. 선별부(240)는 기판 처리 설비의 구조 및 배치되는 위치 등을 고려하여 기준 이미지와 획득 이미지의 매칭률을 판단할 것인 바, 매칭률이 일정 값 이상인 매칭 이미지는 다수 개가 나타날 수 있으므로, 무조건 매칭률이 가장 높은 기준 이미지를 선택한다고 해서 해당 위치가 매칭 이미지라고 확신할 수 없다. 다수의 기준 이미지들과 비교했을 때, 매칭 시스템 상 미묘한 차이로 매칭률이 차이가 나게 될 수도 있다.According to FIG. 7, the selector 240 compares the acquired image with the reference images. The selector 240 compares the acquired image B with the reference images A1 to A1000 and selects and transmits the reference images having a predetermined matching ratio or more to the detection unit 220. In FIG. 7, the value of the matching rate is set to 70%. In FIG. 7, reference images A150, A275, and A718 that match the acquired image B with a predetermined matching ratio or more are selected. Matching rates of the respective reference images with the acquired image B correspond to 73%, 70%, and 80%. At this time, if 80% of the highest matching rate is selected, an error may occur in the position recognition result. The sorting unit 240 determines the matching ratio between the reference image and the acquired image in consideration of the structure and the location of the substrate processing facility. Since a plurality of matching images having a matching rate greater than or equal to a predetermined value may appear, unconditionally Selecting a reference image with the highest matching rate does not guarantee that the location is a matching image. When compared with multiple reference images, the matching rate may be different due to subtle differences in the matching system.

따라서, 이와 같은 경우 정확도를 향상하기 위해 다음과 같이 판단한다. Therefore, in this case, it is determined as follows to improve the accuracy.

도 8을 참고하면, 검출부(220)는 매칭률이 일정 기준 이상에 해당하는 기준 이미지들의 주행 이전 n개의 이미지들을 추출하여 비교하여 검출한다. 본 실시 예에서는 n 값을 3으로 지정한다. 도 7에서 매칭률이 일정 기준 이상(70% 이상)에 해당하는 기준 이미지가 A150, A275, A718이었으므로, 주행 이전 3개의 이미지를 비교할 경우 A150은 A147, A148, A149 이미지를, A275는 A272, A273, A274 이미지를, A718은 A715, A716, A717 이미지를 각각 추출하고, 획득 이미지(B)와의 매칭률을 비교하게 된다. 이 때 n값은 정해져 있는 값은 아니나, 주행 이전 n개의 이미지를 비교할 때 n값에 따라 매칭률이 일정하지 않고 매칭률 차이가 크게 나타나는 임의의 값으로 설정할 수 있다. n은 정수일 수 있다. 본 발명에서의 이미지 집단이란, 매칭률이 일정 기준 이상에 해당하는 기준이미지들에 주행 이전 n개의 이미지들을 추가적으로 포함하는 이미지들의 각 집단을 의미한다. 즉 도 8에서의 이미지 집단은, 매칭률이 일정 기준 이상에 해당하는 기준이미지들(A150, A275, A718)로부터 주행 이전 n개의 이미지들을 포함하도록 구성할 경우 {A147, A148, A149, A150}, {A272, A273, A274, A275}, {A715, A716, A717, A718} 으로 표현된다.Referring to FIG. 8, the detector 220 extracts and compares n images before driving of reference images having a matching ratio equal to or greater than a predetermined reference and detects the extracted n images. In this embodiment, n is designated as 3. In FIG. 7, since the reference images corresponding to the matching ratio of the predetermined reference value (70% or more) were A150, A275, and A718, when comparing the three images before driving, A150 represents A147, A148, and A149 images, and A275 represents A272 and A273. , A274 image, A718 extracts A715, A716, and A717 images, respectively, and compares the matching rate with the acquired image (B). In this case, the n value is not a predetermined value, but when comparing the n images before driving, the n value may be set to an arbitrary value in which the matching rate is not constant and a large difference in the matching rate occurs. n may be an integer. In the present invention, the image group refers to each group of images additionally including n images before driving to the reference images having a matching ratio equal to or greater than a predetermined criterion. That is, when the image group in FIG. 8 is configured to include n images before driving from the reference images A150, A275, and A718 corresponding to a predetermined criterion or more, {A147, A148, A149, A150}, {A272, A273, A274, A275}, {A715, A716, A717, A718}.

도 8을 계속 참고하면, A150의 주행 이전 3개의 이미지들의 획득 이미지(B)와의 매칭률은 52%에 해당하고, A275의 주행 이전 3개의 이미지들의 획득 이미지(B)와의 매칭률은 80%에 해당하며, A718의 주행 이전 3개의 이미지들의 획득 이미지(B)와의 매칭률은 50%에 해당한다. 추출한 이미지들과 상기 다수 이미지들 사이에 매칭률이 가장 적게 차이나는 이미지 집단은 {A272, A273, A274, A275} 집단으로 선택된다. 선택된 이미지 집단에서, 획득 이미지(B)와 비교했을 때 가장 매칭률이 높은 이미지의 위치가 현재 이송체의 위치로 판정된다. 8, the matching rate of the three images before driving of the A150 with the acquired image B corresponds to 52%, and the matching ratio of the three images before the driving of the A275 with the acquired image B is 80%. The matching ratio of the three images before driving of the A718 with the acquired image B corresponds to 50%. The image group having the least difference between the extracted images and the plurality of images is selected as the {A272, A273, A274, A275} group. In the selected group of images, the position of the image with the highest matching rate as compared with the acquired image B is determined as the position of the current vehicle.

즉, 초반에 기준 이미지로 매칭되었던 A275의 매칭률은 70%로 선별된 기준이미지 중 가장 낮은 매칭률을 기록하였으나, 주행 이전 n개의 이미지를 비교한 결과 획득 이미지(B)와 매칭률이 가장 높은 결과가 나타난 것을 확인할 수 있다. 즉 매칭률이 일정 확률 이상인 매칭 이미지가 다수 개에 해당할 경우 주행 이전 n개의 이미지를 함께 비교함으로써 획득 이미지(B)와 매칭률이 높은 이미지를 정확하게 찾을 수 있다. 물론 이것은 일 예시에 불과한 것이므로, 선별된 다수의 기준이미지 중 가장 높은 매칭률을 기록한 이미지가 정확한 이미지일 수도 있다.That is, the matching rate of the A275, which was initially matched as the reference image, recorded the lowest matching rate among the reference images selected at 70%. However, as a result of comparing the n images before driving, the acquired image (B) had the highest matching rate. You can see the result. That is, when a plurality of matching images having a matching probability of more than a predetermined probability corresponds to a plurality of images, the acquired image B and the image having a high matching rate can be accurately found by comparing the n images before driving. Of course, since this is only an example, the image having the highest matching rate among the plurality of selected reference images may be an accurate image.

또한 도 8과 같이 매칭률이 일정 이상인 매칭 이미지들이 다수 개일 경우, 주행 이전 n개의 이미지들을 비교하였을 때 획득 이미지와의 매칭률이 급격히 감소하는 경우에는(A150 및 A718), 주행 경로상으로 판단하였을 때 획득 이미지(B)와 대응되는 정확한 위치에 해당하지 아니한다는 것 역시 파악 가능할 것이다. In addition, when there are a large number of matching images having a predetermined or more matching rate as shown in FIG. 8, when the matching rate with the acquired image decreases sharply when comparing n images before driving (A150 and A718), it may be determined as a driving path. It will also be appreciated that it does not correspond to the exact position corresponding to the acquired image (B).

따라서 정리하면, 도 6 내지 도 8의 경우 선별부(240)에서 매칭된 이미지인 A150, A275, A718 중 주행 이전 n개의 이미지를 획득 이미지(B)와 비교하였을 때, 매칭률의 변화가 크게 차이가 없는 A275이 획득 이미지(B)의 실제 위치와 가장 흡사한 것이므로, A275의 주행 이전 n개의 이미지를 비교했을 때 그 중 가장 매칭률이 높은 A272의 이미지를 매칭 이미지로 선택한다.6 to 8, when the n images before driving among the images A150, A275, and A718 matched by the selection unit 240 are compared with the acquired image B, the change in the matching rate is significantly different. Since A275 without is most similar to the actual position of the acquired image B, when comparing the n images before driving of A275, the image of A272 having the highest matching ratio is selected as the matching image.

상기 도 6 내지 도 8로 설명한 본 발명의 이미지 매칭 시스템이 기존의 이미지 매칭 시스템과 다른 점은, 기존의 매칭 시스템은 순서와 상관없이 모든 이미지를 하나하나 비교하여 찾는 경우가 대부분이었다. 본 발명에서는 기준이미지를 순서대로 저장하고, 기준이미지 중 획득 이미지와 비교해 일정 매칭률 이상인 이미지를 선별하고, 해당 기준이미지가 여러 장일 경우 주행 방향 이전의 이미지를 비교함으로써, 주행 순서대로 저장된 이미지를 활용하여 이미지 매칭의 정확도를 높일 수 있는 점이 기존 발명과 차이가 있다.The image matching system of the present invention described with reference to FIGS. 6 to 8 is different from the existing image matching system, in which the conventional matching system mostly searches for all images one by one regardless of order. According to the present invention, the reference images are stored in order, the images are compared with the acquired images among the reference images, and the images having a predetermined matching ratio or more are selected. Therefore, the accuracy of image matching is different from the existing invention.

출력부(250)는 상기 검출부(220) 혹은 선별부(240)에서 매칭된 기준이미지에 해당하는 위치정보를 출력할 수 있다. 매칭되는 기준 이미지가 정해질 경우, 해당 기준 이미지가 포함하고 있는 위치 정보가 알고자 하는 위치 정보와 동일하므로, 해당 위치정보를 출력함으로써 이송체(20)의 현재 위치를 인식할 수 있다.The output unit 250 may output position information corresponding to the reference image matched by the detector 220 or the selector 240. When the matching reference image is determined, since the position information included in the reference image is the same as the position information to be known, the current position of the transfer body 20 may be recognized by outputting the position information.

도 9는 본 발명에 따른 위치인식 방법의 순서도를 나타낸 도면이다. 9 is a flowchart illustrating a position recognition method according to the present invention.

본 발명에 따른 위치인식 방법은 다음과 같이 설명할 수 있다.Position recognition method according to the invention can be described as follows.

본 발명의 이송체(20)는 가이드 레일(10)을 따라 주행한다. 이 때, 주행하면서 상부에서 바라보는 설비 장치들의 영상 혹은 이미지를 획득할 수 있다. 이미지를 획득하는 간격은 사용자가 조정할 수 있다. 주행하며 획득한 이미지는 위치 정보와 매칭하여 순차적으로 저장될 수 있다. 일 주기에 따른 주행을 완료하여 주행 방향에 따른 순차적인 이미지들을 저장한 후에, 다시 이송체(20)는 주행한다. 영상획득부(210)는 원하는 지점에서 이미지를 획득할 수 있다. 상기 원하는 지점은 이송 장치(1)가 갑자기 주행을 멈춘 경우일 때의 지점일 수 있다. 혹은 이송체(20)의 현재 위치를 파악해야 하는 시점일 수 있다. 선별부(240)에서는, 획득한 이미지와 상기 저장한 이미지를 비교한다. 이 때 매칭률의 값을 소정의 값으로 지정한다. 그 후 획득한 이미지와 매칭률이 소정의 값 이상인 이미지를 추출한다. 추출한 결과 매칭률이 소정의 값 이상인 이미지가 1개일 경우, 해당 이미지에 대응하는 위치가 현재 위치에 해당하는 바, 해당 위치를 현재 위치로 판정한다.The conveying body 20 of the present invention travels along the guide rail 10. At this time, it is possible to obtain an image or an image of the equipment devices viewed from the top while driving. The interval at which the image is acquired can be adjusted by the user. Images obtained while driving may be sequentially stored by matching with location information. After the driving in one cycle is completed and the sequential images in the driving direction are stored, the carrier 20 again runs. The image acquisition unit 210 may acquire an image at a desired point. The desired point may be a point when the transport device 1 suddenly stops running. Or it may be a point in time to determine the current position of the conveying body (20). The selector 240 compares the acquired image with the stored image. At this time, the value of the matching rate is designated as a predetermined value. Thereafter, an image having a matching rate equal to or greater than a predetermined value is extracted. As a result of the extraction, when there is one image having a matching ratio equal to or greater than a predetermined value, the position corresponding to the image corresponds to the current position, and thus the position is determined as the current position.

만일 매칭률이 소정의 값 이상인 이미지가 1개가 아니고 2개 이상에 해당할 경우, 매칭률이 일정 이상인 이미지들을 추출한다. 상기 매칭률이 일정 이상인 다수의 이미지들을 추출한 뒤에, 추출한 이미지들의 주행 방향 n개 이전의 이미지들을 각각 추출한다. 상기 주행 방향 n개 이전의 이미지들과 획득한 이미지와의 매칭률을 추가적으로 비교한다. 상기 추출한 이미지들과 획득 이미지와의 매칭률과, 상기 다수 이미지들과 획득 이미지와의 매칭률이 가장 적게 차이나는 이미지 집단을 선택한다. 상기 이미지 집단에 포함된 이미지들 중에서, 매칭률이 가장 높은 매칭 이미지를 선택한다. 선택된 이미지에 대응하는 위치로 현재 위치를 출력하여 판정한다.If the matching rate is more than a predetermined value but not one, but two or more images, the matching rate is extracted to a predetermined value or more. After extracting a plurality of images having a predetermined matching ratio or more, the n previous images of driving directions of the extracted images are respectively extracted. The matching ratio between the images before the n driving directions and the acquired image is further compared. An image group having a smallest difference in matching ratio between the extracted images and the acquired image and a matching ratio between the plurality of images and the acquired image is selected. Among the images included in the image group, the matching image having the highest matching rate is selected. The current position is output to the position corresponding to the selected image to determine it.

상기 실시예는 오버헤드 트랜스퍼 형식의 이송장치에 대해 기재하였으나, 본 발명에서의 실시예는 오버헤드 트랜스퍼 형식의 이송장치에만 한정되는 것이 아닌 가이드 레일이 설치되고 해당 레일을 따라 이송장치가 이동하는 발명에 모두 적용할 수 있을 것이다.Although the above embodiment has described a transfer apparatus of an overhead transfer type, the embodiment of the present invention is not limited to only an overhead transfer type transfer apparatus, but a guide rail is installed and the transfer apparatus moves along the rail. Will apply to all.

이상의 실시예들은 본 발명의 이해를 돕기 위하여 제시된 것으로, 본 발명의 범위를 제한하지 않으며, 이로부터 다양한 변형 가능한 실시예들도 본 발명의 범위에 속하는 것임을 이해하여야 한다. 본 발명에서 제공되는 도면은 본 발명의 최적의 실시예를 도시한 것에 불과하다. 본 발명의 기술적 보호범위는 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이며, 본 발명의 기술적 보호범위는 특허청구범위의 문언적 기재 그 자체로 한정되는 것이 아니라 실질적으로는 기술적 가치가 균등한 범주의 발명까지 미치는 것임을 이해하여야 한다.The above embodiments are presented to aid the understanding of the present invention, and do not limit the scope of the present invention, from which it should be understood that various modifications are within the scope of the present invention. The drawings provided in the present invention merely illustrate the best embodiment of the present invention. The technical protection scope of the present invention should be defined by the technical spirit of the claims, and the technical protection scope of the present invention is not limited to the literary description of the claims per se, but the scope of the technical equivalents is substantially equal. It should be understood that the invention extends to the invention.

1 : 이송 장치 10 : 가이드 레일
20 : 이송체 100 : 이송 유닛
110 : 휠 120 : 몸체
130 : 그립부 200 : 검출 유닛
210 : 영상획득부 220 : 검출부
230 : 저장부 240 : 선별부
250 : 출력부1: transfer device 10: guide rail
20: transfer body 100: transfer unit
110: wheel 120: body
130 grip part 200 detection unit
210: image acquisition unit 220: detection unit
230: storage unit 240: selection unit
250: output unit

Claims (20)

이송장치에 있어서,
기판을 처리하는 설비들의 상부에서 상기 설비들과 이격되도록 제공되는 가이드 레일과;
상기 가이드 레일을 따라 주행하는 이송체;를 포함하고,
상기 이송체는,
상기 가이드 레일을 따라 주행하며 부재를 이송하는 이송 유닛;과
상기 이송 유닛에 결합되며, 상기 이송체의 위치를 검출하는 검출 유닛;을 포함하며,
상기 이송체는 캐리어를 상기 설비들 간에 반송하는 오버헤드 트랜스퍼인 것을 특징으로 하는 이송장치.In the conveying device,
A guide rail provided to be spaced apart from the facilities on top of the facilities for processing a substrate;
And a conveying body traveling along the guide rail.
The conveying body,
A conveying unit which travels along the guide rail and conveys the member; and
A detection unit coupled to the transfer unit and detecting a position of the transfer body;
And said conveying member is an overhead transfer for conveying a carrier between said facilities. 제1항에 있어서,
상기 이송 유닛은,
몸체와,
상기 몸체에 결합되며 상기 가이드 레일을 따라 주행하는 휠과; 그리고
상기 몸체에 결합되며 상기 부재를 그립하는 그립부를 포함하는 이송장치.The method of claim 1,
The transfer unit,
Body,
A wheel coupled to the body and traveling along the guide rail; And
And a grip portion coupled to the body and configured to grip the member. 제1항에 있어서,
상기 검출 유닛은,
상기 이송체가 상기 가이드 레일을 따라 주행 시 상면에서 바라보는 이미지를 획득하는 영상획득부와;
상기 이미지에 근거하여 상기 이송체의 현재 위치를 검출하는 검출부;를 포함하는 이송장치. The method of claim 1,
The detection unit,
An image acquisition unit for acquiring an image viewed from an upper surface of the conveying body when the vehicle moves along the guide rail;
And a detector configured to detect a current position of the conveying member based on the image. 제3항에 있어서,
상기 검출 유닛은 기준이미지들과 각각의 상기 기준이미지들에 해당하는 위치 정보들을 주행 순서대로 저장하는 저장부;
주행하며 획득한 획득 이미지와 매칭되는 기준 이미지를 선별하는 선별부;
상기 검출부 혹은 상기 선별부에서 선별된 기준이미지에 해당하는 위치정보를 출력하는 출력부;를 더 포함하는 이송장치.The method of claim 3,
The detection unit may include a storage unit which stores reference images and location information corresponding to each of the reference images in a driving order;
A selection unit which selects a reference image matching the acquired image acquired while driving;
And an output unit for outputting position information corresponding to the reference image selected by the detection unit or the selection unit. 제4항에 있어서,
상기 검출부는,
상기 저장부에 저장된 기준이미지들과 상기 영상획득부에 의해 획득한 획득 이미지를 비교하여 상기 이송체의 현재 위치를 판정하는 이송장치.The method of claim 4, wherein
The detection unit,
And a reference device stored in the storage unit and the acquired image obtained by the image acquisition unit to determine a current position of the conveying body. 제4항에 있어서,
상기 검출부는,
상기 기준 이미지로부터 매칭률이 일정 이상인 이미지를 선별하여 그 이미지에 대응하는 위치로 상기 이송체의 현재 위치를 대응하여 판정하는 이송장치.The method of claim 4, wherein
The detection unit,
A transfer apparatus for selecting an image having a predetermined matching ratio from the reference image and determining the current position of the transfer body correspondingly to the position corresponding to the image. 제6항에 있어서,
상기 검출부는,
상기 매칭률이 일정 이상인 이미지가 다수일 경우, 해당 다수 이미지들의 주행 방향 이전의 n개의 이미지를 추출하여 동시에 비교하여 매칭률을 판단하고,
추출한 이미지들과 상기 다수 이미지들 사이에 매칭률이 가장 적게 차이나는 이미지 집단을 선택하고,
상기 이미지 집단의 이미지들 중에서 매칭률이 가장 높은 이미지에 대응하는 위치를 상기 이송체의 현재 위치로 판정하는 이송장치.The method of claim 6,
The detection unit,
When there are a plurality of images having a predetermined or more matching rate, the matching rate is determined by extracting and comparing the n images before the driving direction of the plurality of images simultaneously,
Selecting a group of images having the smallest matching rate between the extracted images and the plurality of images,
And a position corresponding to the image having the highest matching rate among the images of the image group as the current position of the conveying body. 기판 처리 설비와 일정 거리 이격되게 배치된 가이드 레일을 따라 움직이는 이송장치의 위치인식 방법에 있어서,
상기 이송장치가 상기 가이드 레일을 따라 주행하며 상부에서 바라보는 이미지를 획득하는 단계;
주행하며 획득한 이미지를 위치 정보와 매칭하여 순차적으로 저장하는 단계;
이송 진행 중 획득한 이미지를 저장된 이미지와 비교하여 상기 이송장치의 현재 위치를 검출하는 단계;를 포함하는 이송장치의 위치인식 방법.In the method for recognizing the position of the conveying device moving along the guide rail disposed a predetermined distance away from the substrate processing equipment,
Acquiring an image viewed from above by the conveying device traveling along the guide rail;
Sequentially storing the acquired images while driving and matching the position information;
And detecting the current position of the transfer device by comparing the image acquired during the transfer process with the stored image. 제8항에 있어서,
상기 이송 진행 중 획득한 이미지를 저장된 이미지와 비교하여 현재 위치를 검출하는 단계는,
상기 획득한 이미지와 저장된 이미지와 비교하여 매칭률이 일정 이상인 이미지를 선별하여 그 이미지에 대응하는 위치로 상기 이송장치의 현재 위치를 판정하는 단계;를 포함하는 이송장치의 위치 인식 방법.The method of claim 8,
The step of detecting the current position by comparing the image obtained during the transfer process with the stored image,
And determining a current position of the transfer apparatus to a position corresponding to the image by selecting an image having a predetermined matching ratio or more compared with the obtained image and the stored image. 제9항에 있어서,
상기 이송 진행 중 획득한 이미지를 저장된 이미지와 비교하여 현재 위치를 검출하는 단계는,
상기 매칭률이 일정 이상인 이미지가 다수일 경우,
해당 다수 이미지들의 주행 방향 이전의 n개의 이미지들을 추출하는 단계;
추출한 이미지들과 획득 이미지와의 매칭률을 판단하는 단계;
상기 추출한 이미지들과 획득 이미지와의 매칭률과 상기 다수 이미지들과 획득 이미지와의 매칭률이 가장 적게 차이나는 이미지 집단을 선택하는 단계;
상기 이미지 집단에 포함된 이미지 중 매칭률이 가장 높은 매칭 이미지를 선택하는 단계;
상기 선택된 매칭 이미지에 대응되는 위치 정보를 출력하는 단계; 를 더 포함하는 이송장치의 위치 인식 방법.The method of claim 9,
The step of detecting the current position by comparing the image obtained during the transfer process with the stored image,
If there are a plurality of images having a predetermined or more matching rate,
Extracting n images before the driving direction of the plurality of images;
Determining a matching rate between the extracted images and the acquired image;
Selecting an image group having a smallest difference between a matching rate between the extracted images and the acquired image and a matching rate between the plurality of images and the acquired image;
Selecting a matching image having the highest matching rate among the images included in the image group;
Outputting location information corresponding to the selected matching image; Position recognition method of the transfer device further comprising. 대상물을 이송하는 이송장치에 있어서,
가이드 레일과;
상기 가이드 레일을 따라 주행하는 이송체;를 포함하고,
상기 이송체는,
상기 가이드 레일을 따라 주행하며 부재를 이송하는 이송 유닛;과
상기 이송 유닛에 결합되며, 상기 이송체의 위치를 검출하는 검출 유닛;을 포함하는 이송장치.In the transfer device for transferring the object,
With guide rails;
And a conveying body traveling along the guide rail.
The conveying body,
A conveying unit which travels along the guide rail and conveys the member; and
And a detection unit coupled to the transfer unit and detecting a position of the transfer body. 제11항에 있어서,
상기 이송 유닛은,
몸체와,
상기 몸체에 결합되며 상기 가이드 레일을 따라 주행하는 휠과; 그리고
상기 몸체에 결합되며 상기 부재를 그립하는 그립부를 포함하는 이송장치.The method of claim 11,
The transfer unit,
Body,
A wheel coupled to the body and traveling along the guide rail; And
And a grip portion coupled to the body and configured to grip the member. 제11항에 있어서,
상기 검출 유닛은,
상기 이송체가 상기 가이드 레일을 따라 주행 시 주변의 이미지를 획득하는 영상획득부와,
상기 이미지에 근거하여 상기 이송체의 현재 위치를 검출하는 검출부;를 포함하는 이송장치. The method of claim 11,
The detection unit,
An image acquisition unit for acquiring an image of a surrounding when the carrier travels along the guide rail;
And a detector configured to detect a current position of the conveying member based on the image. 제13항에 있어서,
상기 검출 유닛은 기준이미지들과 각각의 상기 기준이미지에 해당하는 위치 정보들을 주행 순서대로 저장하는 저장부;
주행하며 획득한 획득 이미지와 매칭되는 기준 이미지를 선별하는 선별부;
상기 검출부 혹은 상기 선별부에서 선별된 기준이미지에 해당하는 위치정보를 출력하는 출력부;를 더 포함하는 이송장치.The method of claim 13,
The detection unit may include a storage unit which stores reference images and location information corresponding to each of the reference images in a driving order;
A selection unit which selects a reference image matching the acquired image acquired while driving;
And an output unit for outputting position information corresponding to the reference image selected by the detection unit or the selection unit. 제14항에 있어서,
상기 검출부는,
상기 저장부에 저장된 기준이미지들과 상기 영상획득부에 의해 획득한 획득 이미지를 비교하여 상기 이송체의 현재 위치를 판정하는 이송장치.The method of claim 14,
The detection unit,
And a reference device stored in the storage unit and the acquired image obtained by the image acquisition unit to determine a current position of the conveying body. 제14항에 있어서,
상기 검출부는,
상기 기준 이미지로부터 매칭률이 일정 이상인 이미지를 선별하여 그 이미지에 대응하는 위치로 상기 이송체의 현재 위치를 대응하여 판정하는 이송장치.The method of claim 14,
The detection unit,
A transfer apparatus for selecting an image having a predetermined matching ratio from the reference image and determining the current position of the transfer body correspondingly to the position corresponding to the image. 제16항에 있어서,
상기 검출부는,
상기 매칭률이 일정 이상인 이미지가 다수일 경우, 해당 다수 이미지들의 주행 방향 이전의 n개의 이미지를 추출하여 동시에 비교하여 매칭률을 판단하고,
추출한 이미지들과 상기 다수 이미지들 사이에 매칭률이 가장 적게 차이나는 이미지 집단을 선택하고,
상기 이미지 집단의 이미지들 중에서 매칭률이 가장 높은 이미지에 대응하는 위치를 상기 이송체의 현재 위치로 판정하는 이송장치. The method of claim 16,
The detection unit,
When there are a plurality of images having a predetermined or more matching rate, the matching rate is determined by extracting and comparing the n images before the driving direction of the plurality of images simultaneously,
Selecting a group of images having the smallest matching rate between the extracted images and the plurality of images,
And a position corresponding to the image having the highest matching rate among the images of the image group as the current position of the conveying body. 가이드 레일을 따라 움직이는 이송장치의 위치인식 방법에 있어서,
상기 이송장치가 상기 가이드 레일을 따라 주행하며 주변의 이미지를 획득하는 단계;
주행하며 획득한 이미지를 위치 정보와 매칭하여 순차적으로 저장하는 단계;
이송 진행 중 획득한 이미지를 저장된 이미지와 비교하여 상기 이송장치의 현재 위치를 검출하는 단계;를 포함하는 이송장치의 위치인식 방법.In the position recognition method of the conveying device moving along the guide rail,
The transfer device traveling along the guide rail to obtain an image of a surrounding;
Sequentially storing the acquired images while driving and matching the position information;
And detecting the current position of the transfer device by comparing the image acquired during the transfer process with the stored image. 제18항에 있어서,
상기 이송 진행 중 획득한 이미지를 저장된 이미지와 비교하여 현재 위치를 검출하는 단계는,
상기 획득한 이미지와 저장된 이미지와 비교하여 매칭률이 일정 이상인 이미지를 선별하여 그 이미지에 대응하는 위치로 상기 이송장치의 현재 위치를 판정하는 단계;를 포함하는 이송장치의 위치 인식 방법.The method of claim 18,
The step of detecting the current position by comparing the image obtained during the transfer process with the stored image,
And selecting an image having a matching ratio equal to or more than the acquired image and the stored image and determining a current position of the transfer apparatus to a position corresponding to the image. 제19항에 있어서,
상기 이송 진행 중 획득한 이미지를 저장된 이미지와 비교하여 현재 위치를 검출하는 단계는,
상기 매칭률이 일정 이상인 이미지가 다수일 경우, 해당 다수 이미지들의 주행 방향 이전의 n개의 이미지들을 추출하는 단계;
추출한 이미지들과 획득 이미지와의 매칭률을 판단하는 단계;
상기 추출한 이미지들과 획득 이미지와의 매칭률과 상기 다수 이미지들과 획득 이미지와의 매칭률이 가장 적게 차이나는 이미지 집단을 선택하는 단계;
상기 이미지 집단에 포함된 이미지 중 매칭률이 가장 높은 매칭 이미지를 선택하는 단계;
상기 선택된 매칭 이미지에 대응되는 위치 정보를 출력하는 단계; 를 더 포함하는 이송장치의 위치 인식 방법.The method of claim 19,
The step of detecting the current position by comparing the image obtained during the transfer process with the stored image,
Extracting n images before a driving direction of the plurality of images when the number of images having a predetermined or more matching rate is greater than a predetermined number;
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