KR20190032720A - Scribing apparatus - Google Patents

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Abstract

A scribing apparatus according to an embodiment of the present invention includes: a scribing unit including a scribing head including a wheel holder supporting member into which a wheel holder for holding a scribing wheel is inserted; a wheel holder replacement unit for holding the wheel holder and attaching the wheel holder to the wheel holder supporting member or separating the wheel holder from the wheel holder supporting member; and a displacement measurement unit for measuring displacement of the wheel holder supporting member relative to the wheel holder when the wheel holder replacement unit mounts the wheel holder on the wheel holder supporting member. The scribing wheel can be quickly replaced to reduce the time required for the scribing process and enhance the convenience of operators.

Description

스크라이빙 장치{SCRIBING APPARATUS}[0001] SCRIBING APPARATUS [0002]

본 발명은 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a scribing device for forming a scribing line on a substrate.

일반적으로, 평판 디스플레이에 사용되는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등은 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널(이하, '기판'이라 함)로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(이하, '단위 기판'이라 함)을 사용한다.In general, a liquid crystal display panel, an organic electroluminescent display panel, an inorganic electroluminescent display panel, a transmissive projector substrate, a reflective projector substrate, and the like used in a flat panel display is a brittle mother glass panel (Hereinafter referred to as "unit substrate") is cut from the substrate 1 to a predetermined size.

기판을 절단하는 공정은, 기판이 절단될 절단 예정선을 따라 다이아몬드와 같은 재질의 스크라이빙 휠을 가압하면서 이동시켜 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정과, 스크라이빙 라인을 따라 기판을 가압하는 것에 의해 기판을 절단하여 단위 기판을 얻는 브레이킹 공정을 포함한다.The step of cutting the substrate includes a scribing step of moving a scribing wheel made of a material such as diamond along a line along which the substrate is to be cut to press and moving the scribing line to form a scribing line, And a breaking step of cutting the substrate to obtain a unit substrate.

스크라이빙 공정에서는, 기판의 이송 방향을 기준으로 기판의 전방측 단부 및 후방측 단부가 지지된 상태에서, 기판의 전방측 단부 및 후방측 단부 사이의 영역 내에서 스크라이빙 휠이 이동하면서 기판에 스크라이빙 라인을 형성하게 된다.In the scribing process, in a state in which the front side end portion and the rear side end portion of the substrate are supported with respect to the transfer direction of the substrate, the scribing wheel moves in the region between the front side end portion and the rear side end portion of the substrate To form a scribing line.

한편, 다수의 기판에 다수의 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서, 스크라이빙 휠이 마모되므로, 스크라이빙 라인을 형성하는 공정을 원활하게 수행하기 위해, 마모된 스크라이빙 휠을 새로운 스크라이빙 휠로 교체할 필요가 있다.On the other hand, in the process of forming a plurality of scribing lines on a large number of substrates, since the scribing wheels are worn, in order to smoothly perform the process of forming the scribing lines, You need to replace it with a cribbing wheel.

그러나, 종래에는 스크라이빙 휠을 작업자가 수동으로 교체하였으므로, 스크라이빙 휠을 교체하는 데에 장시간이 요구되며, 스크라이빙 휠의 교체 후, 스크라이빙 휠의 위치를 조절하는 별도의 과정이 요구되는 문제점이 있다.However, in the past, since the operator manually changed the scribing wheel, a long time is required to replace the scribing wheel, and after the replacement of the scribing wheel, a separate process of adjusting the position of the scribing wheel There is a problem that is required.

대한민국공개특허 제10-2007-0070824호(2007.07.04)Korean Patent Publication No. 10-2007-0070824 (2007.07.04)

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 스크라이빙 휠을 자동으로 교체할 수 있도록 하여 스크라이빙 공정에 소요되는 시간을 줄이고 작업자의 편의성을 향상시킬 수 있는 스크라이빙 장치를 제공하는 데에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide an automatic scribing device, which can automatically replace a scribing wheel to reduce the time required for a scribing process, To provide a scribing device having an integrated circuit.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 스크라이빙 휠을 유지하는 휠 홀더가 끼워지는 휠 홀더 지지 부재를 포함하는 스크라이빙 헤드를 포함하는 스크라이빙 유닛; 휠 홀더를 파지하여 휠 홀더 지지 부재에 장착하거나 휠 홀더 지지 부재로부터 분리하는 휠 홀더 교체 유닛; 및 휠 홀더 교체 유닛이 휠 홀더를 휠 홀더 지지 부재에 장착할 때 휠 홀더에 대한 휠 홀더 지지 부재의 변위를 측정하는 변위 측정 유닛을 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a scribing apparatus comprising a scribing head including a wheel holder supporting member for holding a wheel holder for holding a scribing wheel, ; A wheel holder replacement unit for holding the wheel holder and attaching it to the wheel holder support member or separating the wheel holder support member from the wheel holder support member; And a displacement measurement unit for measuring a displacement of the wheel holder supporting member relative to the wheel holder when the wheel holder replacement unit mounts the wheel holder on the wheel holder supporting member.

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 변위 측정 유닛에 의해 측정된 휠 홀더 지지 부재의 변위가 기 설정 변위의 범위를 벗어나는지 여부를 판단하는 제어 유닛을 더 포함할 수 있다.The scraping device according to the embodiment of the present invention may further comprise a control unit for judging whether or not the displacement of the wheel holder supporting member measured by the displacement measuring unit is out of the range of the predetermined displacement.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 스크라이빙 휠을 유지하는 휠 홀더가 끼워지는 휠 홀더 지지 부재를 포함하는 스크라이빙 헤드를 포함하는 스크라이빙 유닛; 휠 홀더를 파지하여 휠 홀더 지지 부재에 장착하거나 휠 홀더 지지 부재로부터 분리하는 휠 홀더 교체 유닛; 및 휠 홀더 교체 유닛이 휠 홀더를 휠 홀더 지지 부재에 장착할 때 휠 홀더에 의해 휠 홀더 지지 부재에 가해지는 하중을 측정하는 하중 측정 유닛을 포함할 수 있다.Further, a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention includes: a scribing unit including a scribing head including a wheel holder supporting member into which a wheel holder for holding a scribing wheel is inserted; A wheel holder replacement unit for holding the wheel holder and attaching it to the wheel holder support member or separating the wheel holder support member from the wheel holder support member; And a load measuring unit for measuring a load applied to the wheel holder supporting member by the wheel holder when the wheel holder replacement unit mounts the wheel holder on the wheel holder supporting member.

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 하중 측정 유닛에 의해 측정된 휠 홀더 지지 부재에 가해지는 하중이 기 설정 하중의 범위를 벗어나는지 여부를 판단하는 제어 유닛을 더 포함할 수 있다.The scraping device according to the embodiment of the present invention may further include a control unit for determining whether or not the load applied to the wheel holder supporting member measured by the load measuring unit is out of the predetermined load range.

휠 홀더 교체 유닛은 둘레 방향으로 복수의 휠 홀더 수용홈을 가지며, 복수의 휠 홀더 수용홈 중 하나가 휠 홀더 지지 부재에 대향하도록 회전될 수 있다.The wheel holder replacement unit has a plurality of wheel holder receiving grooves in the circumferential direction, and one of the plurality of wheel holder receiving grooves can be rotated so as to face the wheel holder supporting member.

휠 홀더 수용 모듈은, 서로 대향하게 배치되는 한 쌍의 스크라이빙 헤드 중 어느 하나의 스크라이빙 헤드에 대응하며 복수의 휠 홀더 수용홈을 갖는 제1 휠 홀더 수용 부재와, 다른 하나의 스크라이빙 헤드에 대응하며 복수의 휠 홀더 수용홈을 갖는 제2 휠 홀더 수용 부재를 포함할 수 있다.The wheel holder accommodating module includes a first wheel holder accommodating member corresponding to one of the pair of scribing heads disposed opposite to each other and having a plurality of wheel holder accommodating grooves, And a second wheel holder receiving member corresponding to the ice head and having a plurality of wheel holder receiving grooves.

휠 홀더 교체 유닛은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재 사이에 설치되어 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재를 상대 회전시키는 회전 모듈을 더 포함할 수 있다.The wheel holder replacement unit may further include a rotation module installed between the first and second wheel holder receiving members to relatively rotate the first and second wheel holder receiving members.

회전 모듈은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재를 동일한 방향 또는 상이한 방향으로 회전시킬 수 있다.The rotation module can rotate the first and second wheel holder receiving members in the same direction or in different directions.

회전 모듈은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재를 상이한 각도로 회전시킬 수 있다.The rotation module can rotate the first and second wheel holder receiving members at different angles.

휠 홀더 교체 유닛은 휠 홀더 수용홈에 구비되어 휠 홀더 수용홈에 삽입된 휠 홀더를 고정시키는 잠금 모듈을 더 포함할 수 있다.The wheel holder replacement unit may further include a lock module provided in the wheel holder receiving groove to fix the wheel holder inserted into the wheel holder receiving groove.

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 휠 홀더를 자동으로 교체하는 휠 홀더 교체 유닛을 구비하므로, 스크라이빙 휠을 신속하게 교체하여 스크라이빙 공정에 소요되는 시간을 줄이고 작업자의 편의성을 향상시킬 수 있다.Since the scraping device according to the embodiment of the present invention includes the wheel holder replacement unit for automatically replacing the wheel holder, it is possible to quickly replace the scraping wheel, thereby reducing the time required for the scraping process and providing convenience for the operator Can be improved.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 스크라이빙 유닛의 일부분이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 휠 홀더 교체 유닛의 일부분이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 5 내지 도 11은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 동작이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 12 및 도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 요부가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 14 및 도 15는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 요부가 개략적으로 도시된 도면이다.1 is a plan view schematically showing a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a side view schematically illustrating a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a schematic illustration of a portion of a scribing unit of a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a schematic illustration of a portion of a wheel holder replacement unit of a scriber device according to an embodiment of the present invention.
5 to 11 are views schematically showing the operation of the scribing apparatus according to the embodiment of the present invention.
Figs. 12 and 13 are views schematically showing a main part of a scraping device according to another embodiment of the present invention.
Figs. 14 and 15 are views schematically showing a main part of a scraping device according to another embodiment of the present invention. Fig.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 대하여 설명한다.A scribing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

이하, 스크라이빙 공정이 수행될 기판(S)이 이송되는 방향을 Y축 방향이라 정의하고, 기판(S)이 이송되는 방향(Y축 방향)에 수직하는 방향을 X축 방향이라 정의한다. 그리고, 기판(S)이 놓이는 X-Y평면에 수직인 방향을 Z축 방향이라 정의한다.Hereinafter, a direction in which the substrate S to be scribed is conveyed is defined as a Y-axis direction, and a direction perpendicular to the direction in which the substrate S is conveyed (Y-axis direction) is defined as an X-axis direction. A direction perpendicular to the X-Y plane on which the substrate S is placed is defined as a Z-axis direction.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 스테이지(10)와, 스크라이빙 휠(21)을 유지하는 휠 홀더(22)를 지지하는 휠 홀더 지지 부재(26)를 포함하는 스크라이빙 헤드(23)를 포함하는 스크라이빙 유닛(20)과, 기판(S)을 파지하여 스크라이빙 유닛(20)으로 이송하는 기판 이송 장치(30)와, 휠 홀더(22)를 교체하도록 구성되는 휠 홀더 교체 유닛(40)을 포함할 수 있다.1 and 2, a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention includes a stage 10, a wheel holder 22 for holding a wheel holder 22 holding the scribing wheel 21, A scribing unit 20 including a scribing head 23 including a support member 26 and a substrate transfer device 30 for holding a substrate S and transferring the substrate S to the scribing unit 20, And a wheel holder replacement unit 40 configured to replace the wheel holder 22.

스테이지는 Y축 방향으로 소정의 간격으로 이격되게 배치되는 로딩 스테이지(11) 및 언로딩 스테이지(12)를 포함한다. 로딩 스테이지(11)는 기판(S)이 스크라이빙 장치로 로딩되는 영역을 제공하며, 언로딩 스테이지(12)는 스크라이빙 공정을 통하여 스크라이빙 라인이 형성된 기판(S)이 스크라이빙 장치로부터 언로딩되는 영역을 제공한다.The stage includes a loading stage (11) and an unloading stage (12) arranged so as to be spaced apart from each other by a predetermined distance in the Y axis direction. The loading stage 11 provides a region where the substrate S is loaded into the scriber device and the unloading stage 12 is a stage in which the substrate S on which the scribing line is formed through the scribing process is scribed And provides an area unloaded from the device.

로딩 스테이지(11) 및 언로딩 스테이지(12)는 각각 복수의 벨트(13)를 포함할 수 있다. 복수의 벨트(13)는 X축 방향으로 서로 이격될 수 있다. 각 벨트(13)는 복수의 롤러(14)에 의해 지지되며, 복수의 롤러(14) 중 적어도 하나는 벨트(13)를 회전시키는 구동력을 제공하는 구동 롤러일 수 있다.The loading stage 11 and the unloading stage 12 may each include a plurality of belts 13. The plurality of belts 13 may be spaced from each other in the X-axis direction. Each belt 13 is supported by a plurality of rollers 14 and at least one of the plurality of rollers 14 may be a drive roller that provides a driving force for rotating the belt 13. [

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 유닛(20)은 스크라이빙 헤드(23)가 장착되는 헤드 지지대(24)와, 헤드 지지대(24)가 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 프레임(25)을 포함한다.2 and 3, the scribing unit 20 includes a head support 24 on which the scribing head 23 is mounted, and a head support 24 on which the head support 24 is installed so as to be movable in the X- And a frame 25 which is made of a resin.

복수의 스크라이빙 헤드(23)가 Z축 방향으로 서로 이격되어 서로 대향하도록 구비될 수 있다. 예를 들면, 한 쌍의 스크라이빙 헤드(23)가 Z축 방향으로 서로 이격되어 서로 대향하도록 배치됨에 따라, 한 쌍의 스크라이빙 휠(21)이 기판(S)의 일면(상면) 및 타면(하면)에 서로 대향하도록 배치될 수 있다. 따라서, 한 쌍의 스크라이빙 휠(21)이 기판(S)의 일면 및 타면을 가압한 상태에서, 한 쌍의 스크라이빙 헤드(23)에 대한 기판(S)의 상대 이동 및/또는 기판(S)에 대한 한 쌍의 스크라이빙 헤드(23)의 상대 이동에 의하여, 기판(S)의 일면 및 타면에는 각각 스크라이빙 라인이 형성될 수 있다.A plurality of scribing heads 23 may be provided so as to be opposed to each other in the Z-axis direction. For example, a pair of scribing wheels 21 are arranged on one surface (upper surface) of the substrate S and the other surface And can be arranged so as to face each other on the other surface (lower surface). Therefore, the relative movement of the substrate S to the pair of scribing heads 23 and / or the relative movement of the substrate S to the pair of scribing heads 23, with the pair of scribing wheels 21 pressing the one surface and the other surface of the substrate S, A scribing line may be formed on one surface and the other surface of the substrate S by the relative movement of the pair of scribing heads 23 with respect to the substrate S. [

스크라이빙 헤드(23)는 헤드 지지대(24)에 대하여 Z축 방향으로 이동 가능하게 설치된다. 스크라이빙 헤드(23) 및 헤드 지지대(24) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 이에 따라, 스크라이빙 헤드(23)는 직선 이동 기구에 의해 헤드 지지대(24)에 대하여 Z축 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 스크라이빙 헤드(23)에 지지된 휠 홀더(22)도 Z축 방향으로 이동될 수 있다.The scribing head 23 is installed movably in the Z-axis direction with respect to the head support 24. Between the scribing head 23 and the head support 24, there can be provided a linear motion mechanism such as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ball screw mechanism. Accordingly, the scribing head 23 can be moved in the Z-axis direction with respect to the head support 24 by the linear movement mechanism, whereby the wheel holder 22 supported by the scribing head 23 Can also be moved in the Z-axis direction.

헤드 지지대(24)와 프레임(25) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 헤드 지지대(24)는 직선 이동 기구에 의해 프레임(24)을 따라 X축 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 스크라이빙 헤드(23)가 X축 방향으로 이동될 수 있다.Between the head support 24 and the frame 25, an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear motion mechanism such as a ball screw mechanism may be provided. Thus, the head support 24 can be moved in the X-axis direction along the frame 24 by the linear movement mechanism, whereby the scribing head 23 can be moved in the X-axis direction.

예를 들면, 프레임(25)에는 X축 방향으로 소정의 간격으로 복수의 스크라이빙 헤드(23)가 구비될 수 있다.For example, the frame 25 may be provided with a plurality of scribing heads 23 at predetermined intervals in the X-axis direction.

스크라이빙 헤드(23)에는 휠 홀더(22)를 지지하는 휠 홀더 지지 부재(26)가 장착될 수 있다. 휠 홀더 지지 부재(26)는 스크라이빙 헤드(23)에 삽입될 수 있다. 휠 홀더 지지 부재(26)는 스크라이빙 헤드(23)에 Z축 방향과 평행한 축을 중심으로 회전 가능하게 장착될 수 있다. 이를 위해, 휠 홀더 지지 부재(26)가 스크라이빙 헤드(23)에 연결되는 부분에는 베어링(미도시)이 장착될 수 있다.The scribing head 23 may be equipped with a wheel holder supporting member 26 for supporting the wheel holder 22. The wheel holder supporting member 26 can be inserted into the scribing head 23. The wheel holder supporting member 26 can be rotatably mounted on the scribing head 23 about an axis parallel to the Z-axis direction. To this end, a bearing (not shown) may be mounted on the portion of the wheel holder supporting member 26 connected to the scraping head 23.

이와 같이 휠 홀더 지지 부재(26)가 스크라이빙 헤드(23)에 회전 가능하게 장착되므로, 스크라이빙 휠(21)이 기판(S)에 가압된 상태에서 스크라이빙 헤드(23) 및/또는 기판(S)이 이동하면, 스크라이빙 휠(21)의 날의 방향이 스크라이빙 휠(21)이 이동하는 방향과 일치되도록 휠 홀더 지지 부재(26)가 회전될 수 있다. 이와 같은 휠 홀더 지지 부재(26)의 회전에 의해, 스크라이빙 휠(21) 및 휠 홀더(22)의 방향이 결정될 수 있다.The wheel holder supporting member 26 is rotatably mounted on the scribing head 23 so that the scribing head 23 and / Or when the substrate S moves, the wheel holder supporting member 26 can be rotated so that the direction of the blade of the scraping wheel 21 coincides with the direction in which the scraping wheel 21 moves. By such rotation of the wheel holder supporting member 26, the directions of the scraping wheel 21 and the wheel holder 22 can be determined.

휠 홀더 지지 부재(26)에는 휠 홀더(22)가 삽입되는 삽입홈(261)이 형성될 수 있다. 삽입홈(261) 내에는 자석(262)이 설치될 수 있으며, 삽입홈(261)에 삽입되는 휠 홀더(22)의 부분은 자석(262)에 부착되는 재료로 이루어질 수 있다. 이에 따라, 휠 홀더(22)가 삽입홈(261)에 삽입되면, 휠 홀더(22)가 자석(262)에 부착되면서, 휠 홀더(22)가 고정될 수 있다. 또한, 휠 홀더(22)를 자석(262)으로부터 잡아당기는 것에 의해, 휠 홀더(22)가 삽입홈(261)으로부터 용이하게 분리될 수 있다.The wheel holder supporting member 26 may be formed with an insertion groove 261 into which the wheel holder 22 is inserted. A magnet 262 may be installed in the insertion groove 261 and a portion of the wheel holder 22 inserted into the insertion groove 261 may be made of a material attached to the magnet 262. Thus, when the wheel holder 22 is inserted into the insertion groove 261, the wheel holder 22 can be fixed while the wheel holder 22 is attached to the magnet 262. [ Further, by pulling the wheel holder 22 from the magnet 262, the wheel holder 22 can be easily separated from the insertion groove 261.

기판 이송 장치(30)는 기판(S)을 파지하는 파지 유닛(31)과, 파지 유닛(31)을 지지하는 지지바(32)와, 지지바(32)의 양단에 연결되며 Y축 방향으로 연장되는 가이드 레일(33)을 포함할 수 있다. 지지바(32)의 양단과 가이드 레일(33) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 기판(S)은 파지 유닛(31)에 의해 파지된 상태로 직선 이동 기구에 의해 Y축 방향으로 이송될 수 있다.The substrate transfer device 30 includes a gripping unit 31 for gripping the substrate S, a support bar 32 for supporting the gripping unit 31, And may include an extended guide rail 33. Between both ends of the support bar 32 and the guide rail 33, an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism may be provided. Accordingly, the substrate S can be transferred in the Y-axis direction by the linear movement mechanism in a state held by the gripping unit 31. [

지지바(32)에는 복수의 파지 유닛(31)이 구비될 수 있다. 이 경우, 복수의 파지 유닛(31)은 기판(S)을 함께 파지할 수 있다. 파지 유닛(31)은 지지바(32)에 X축 방향으로 이동 가능하게 구비될 수 있다. 예를 들면, 파지 유닛(31)과 지지바(32) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 파지 유닛(31)는 직선 이동 기구에 의해 지지바(32)를 따라 X축 방향으로 이동될 수 있다.The support bar 32 may be provided with a plurality of gripping units 31. In this case, the plurality of gripping units 31 can hold the substrate S together. The grip unit 31 may be provided on the support bar 32 so as to be movable in the X-axis direction. For example, between the gripping unit 31 and the support bar 32, an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism may be provided have. Therefore, the gripping unit 31 can be moved in the X-axis direction along the support bar 32 by the linear movement mechanism.

도 2에 도시된 바와 같이, 파지 유닛(31)은, 기판(S)을 파지하도록 구성되는 한 쌍의 파지 부재(311)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 일반적인 클램프와 같이, 한 쌍의 파지 부재(311)는 유압 또는 공압에 의해 서로 이격되거나 인접하게 이동되도록 구성될 수 있다. 한 쌍의 파지 부재(311)는 서로 인접하게 이동되어 기판(S)을 물리적으로 가압하여 유지할 수 있고, 서로 이격되게 이동되어 기판(S)을 해제할 수 있다.2, the holding unit 31 may include a pair of holding members 311 configured to hold the substrate S. For example, as in a general clamp, the pair of gripping members 311 can be configured to be moved away from each other or adjacent to each other by hydraulic pressure or air pressure. The pair of gripping members 311 can be moved adjacent to each other to physically pressurize and hold the substrate S and can be moved apart from each other to release the substrate S. [

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 휠 홀더 교체 유닛(40)은 교체될 또는 교체된 휠 홀더(22)를 수용하는 휠 홀더 수용 모듈(44)과, 휠 홀더 수용 모듈(44)을 Z축 방향과 평행한 축을 중심으로 회전시키는 회전 모듈(45)과, 휠 홀더 수용 모듈(44)에 설치되어 휠 홀더 수용 모듈(44)에 수용되는 휠 홀더(22)을 선택적으로 잠그고 잠금 해제하는 잠금 모듈(46)과, 휠 홀더 수용 모듈(44)을 Z축 방향으로 이동시키는 승강 모듈(47)과, 휠 홀더 수용 모듈(44)이 X축 방향으로 이동 가능하게 지지되는 지지대(48)와, 지지대(48)의 양단에 연결되어 Y축 방향으로 연장되는 가이드 레일(49)을 포함할 수 있다.4 and 5, the wheel holder replacing unit 40 includes a wheel holder accommodating module 44 for accommodating a wheel holder 22 to be replaced or replaced, a wheel holder accommodating module 44 for accommodating the wheel holder accommodating module 44 in a Z A rotation module 45 that rotates about an axis parallel to the axial direction and a lock for selectively locking and unlocking the wheel holder 22 installed in the wheel holder accommodating module 44 and accommodated in the wheel holder accommodating module 44, An elevating module 47 for moving the module 46 and the wheel holder accommodating module 44 in the Z axis direction, a supporter 48 for supporting the wheel holder accommodating module 44 movably in the X axis direction, And guide rails 49 connected to both ends of the support base 48 and extending in the Y axis direction.

휠 홀더 수용 모듈(44)은 스크라이빙 유닛(20)의 스크라이빙 헤드(23)의 휠 홀더 지지 부재(26)로 접근 가능하게 구성될 수 있다. 휠 홀더 수용 모듈(44)은 스테이지(10) 상부에 X축 방향으로 연장되는 지지대(48)를 따라 X축 방향으로 이동될 수 있다. 이를 위하여, 휠 홀더 수용 모듈(44)과 지지대(48) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구(481)가 구비될 수 있다.The wheel holder receiving module 44 can be configured to be accessible to the wheel holder supporting member 26 of the scribing head 23 of the scribing unit 20. [ The wheel holder accommodating module 44 can be moved in the X-axis direction along the supporter 48 extending in the X-axis direction on the stage 10. To this end, a linear motion mechanism 481, such as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ballscrew mechanism, is provided between the wheel holder receiving module 44 and the support 48 .

휠 홀더 수용 모듈(44)은 직선 이동 기구(481)에 의해 X축 방향으로 이동되어 스크라이빙 헤드(23)로 접근할 수 있다. 또한, 휠 홀더 수용 모듈(44)은 직선 이동 기구(481)에 의해 지지대(48)를 따라 X축 방향으로 이동되어 기판 이송 장치(30)의 파지 유닛(31)의 이동 경로 및 기판 이송 장치(30)에 의해 이송되는 기판(S)의 이송 경로로부터 벗어날 수 있다. 따라서, 휠 홀더 수용 모듈(44)이 기판 이송 장치(30) 또는 기판(S)과 간섭하는 것이 방지될 수 있다.The wheel holder accommodating module 44 can be moved in the X-axis direction by the linear movement mechanism 481 and can be accessed by the scribing head 23. The wheel holder accommodating module 44 is moved in the X-axis direction along the supporter 48 by the linear movement mechanism 481 to move the movement path of the grip unit 31 of the substrate transfer device 30, 30). ≪ / RTI > Therefore, the wheel holder accommodating module 44 can be prevented from interfering with the substrate transfer device 30 or the substrate S. [

지지대(48)에는 하나의 휠 홀더 수용 모듈(44)이 설치되는 것으로 도시되지만, 복수의 휠 홀더 수용 모듈(44)이 지지대(48)에 서로 이격되게 설치될 수 있다. 지지대(48)는 가이드 레일(49)을 따라 Y축 방향으로 이동될 수 있다. 예를 들면, 지지대(48)과 가이드 레일(49) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 지지대(48)가 직선 이동 기구에 의해 Y축 방향으로 이동하는 것에 의해, 휠 홀더 수용 모듈(44)이 Y축 방향으로 이동될 수 있다.Although a single wheel holder receiving module 44 is shown as being mounted on the support 48, a plurality of wheel holder receiving modules 44 may be mounted on the support 48 spaced apart from each other. The support rods 48 can be moved along the guide rails 49 in the Y-axis direction. For example, an actuator that is actuated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear motion mechanism such as a ballscrew mechanism may be provided between the support table 48 and the guide rail 49 . Therefore, by moving the support table 48 in the Y-axis direction by the linear movement mechanism, the wheel holder accommodating module 44 can be moved in the Y-axis direction.

승강 모듈(47)은 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로 구성될 수 있다.The lifting and lowering module 47 may be constituted by an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear moving mechanism such as a ball screw mechanism.

휠 홀더 수용 모듈(44)은 승강 모듈(47)에 의해 Z축 방향으로 이동되면서, 휠 홀더(22)를 휠 홀더 지지 부재(26)로부터 분리시킬 수 있고, 휠 홀더 수용 모듈(44)에 수용된 휠 홀더(22)를 휠 홀더 지지 부재(26)에 장착시킬 수 있다. 또한, 휠 홀더 수용 모듈(44)은 승강 모듈(47)에 의해 Z축 방향으로 이동되어 기판 이송 장치(30)의 파지 유닛(31)의 이동 경로 및 기판(S)의 이송 경로로부터 벗어날 수 있다. 따라서, 휠 홀더 수용 모듈(44)이 기판 이송 장치(30) 또는 기판(S)과 간섭하는 것이 방지될 수 있다.The wheel holder accommodating module 44 can be moved in the Z axis direction by the lift module 47 to separate the wheel holder 22 from the wheel holder supporting member 26 and to rotate the wheel holder accommodating module 44 The wheel holder 22 can be mounted on the wheel holder supporting member 26. [ The wheel holder accommodating module 44 can be moved in the Z axis direction by the elevating module 47 to escape from the moving path of the holding unit 31 of the substrate feeding device 30 and the feeding path of the substrate S . Therefore, the wheel holder accommodating module 44 can be prevented from interfering with the substrate transfer device 30 or the substrate S. [

한편, 스크라이빙 헤드(23)가 Z축 방향으로 서로 이격되어 서로 대향하도록 배치되어, 상부에 배치되는 제1 스크라이빙 헤드(23)와 하부에 배치되는 제2 스크라이빙 헤드(23)를 포함하는 경우, 휠 홀더 수용 모듈(44)은 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(23)의 휠 홀더 지지 부재(26)에 장착된 휠 홀더(22)를 모두 교체하도록 구성될 수 있다.The first scribing head 23 and the second scribing head 23 are arranged so that the scribing heads 23 are spaced apart from each other in the Z-axis direction so as to face each other, The wheel holder receiving module 44 may be configured to replace all of the wheel holders 22 mounted on the wheel holder supporting members 26 of the first and second scribing heads 23.

이를 위하여, 휠 홀더 수용 모듈(44)은 제1 스크라이빙 헤드(23)에 대응하도록 배치되는 제1 휠 홀더 수용 부재(41)와, 제2 스크라이빙 헤드(23)에 대응하도록 배치되는 제2 휠 홀더 수용 부재(42)를 포함할 수 있다. 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)는 원형의 판 형상으로 형성될 수 있다. 이와 같이, 휠 홀더 수용 모듈(44)이 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)를 포함하므로, 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(23)의 휠 홀더(22)를 교체하는 동작을 순차적으로 또는 동시에 신속하게 수행할 수 있다.To this end, the wheel holder receiving module 44 includes a first wheel holder receiving member 41 disposed to correspond to the first scribing head 23 and a second wheel holder receiving member 41 disposed corresponding to the second scribing head 23 And a second wheel holder receiving member 42. The first and second wheel holder receiving members 41 and 42 may be formed in a circular plate shape. As described above, since the wheel holder accommodating module 44 includes the first and second wheel holder receiving members 41 and 42, the wheel holder 22 of the first and second scriber heads 23 can be replaced The operation can be performed quickly or sequentially.

그리고, 회전 모듈(45)은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42) 사이에 설치될 수 있다. 회전 모듈(45)은 연결 로드(451)을 통하여 승강 모듈(47)에 연결될 수 있다. 회전 모듈(45)은 정방향 및 역방향으로 회전할 수 있는 일반적인 회전 모터로 구성될 수 있다. 회전 모듈(45)은 회전 모터와 연결되는 복수의 기어 및/또는 링크를 포함할 수 있으며, 이에 따라, 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)를 다양한 방식으로 상대 회전시킬 수 있다.The rotation module 45 may be installed between the first and second wheel holder receiving members 41 and 42. The rotation module 45 may be connected to the lift module 47 via the connection rod 451. The rotation module 45 may be constituted by a general rotary motor capable of rotating in the forward and reverse directions. The rotation module 45 may include a plurality of gears and / or links connected to the rotating motor, thereby allowing the first and second wheelholder receiving members 41 and 42 to relatively rotate in various manners .

예를 들면, 회전 모듈(45)은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)를 서로 동일한 방향 및/또는 상이한 방향으로 회전시킬 수 있다. 또한, 회전 모듈(45)은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)를 상이한 각도로 회전시킬 수 있다. 예를 들면, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)가 회전되면서 제1 스크라이빙 헤드(23)에 휠 홀더(22)를 장착하거나 제1 스크라이빙 헤드(23)로부터 휠 홀더(22)를 분리하는 과정에서, 제2 휠 홀더 수용 부재(42)가 제1 휠 홀더 수용 부재(41)의 회전 방향과 반대 방향으로 회전될 수 있거나 제1 휠 홀더 수용 부재(41)의 회전 각도와 다른 각도로 회전될 수 있다. 따라서, 제1 스크라이빙 헤드(23)에 휠 홀더(22)를 장착하거나 제1 스크라이빙 헤드(23)로부터 휠 홀더(22)를 분리하는 과정에서, 제2 휠 홀더 수용 부재(42)(특히, 제2 휠 홀더 수용 부재(42)에 수용된 휠 홀더(22))가 다른 부품과 간섭하지 않도록 회전될 수 있다.For example, the rotation module 45 can rotate the first and second wheel holder receiving members 41, 42 in the same direction and / or in different directions with respect to each other. Further, the rotation module 45 can rotate the first and second wheel holder receiving members 41 and 42 at different angles. For example, when the wheel holder 22 is mounted on the first scribing head 23 or the wheel holder 22 is moved from the first scribing head 23 to the first scribing head 23 while the first wheel holder receiving member 41 is rotated The second wheel holder receiving member 42 can be rotated in a direction opposite to the rotating direction of the first wheel holder receiving member 41 or at an angle different from the rotating angle of the first wheel holder receiving member 41 . Therefore, in the process of attaching the wheel holder 22 to the first scribing head 23 or separating the wheel holder 22 from the first scribing head 23, the second wheel holder receiving member 42, (In particular, the wheel holder 22 housed in the second wheel holder receiving member 42) can be rotated so as not to interfere with other parts.

또한, 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)가 상이한 방향 또는 상이한 각도로 회전되면서, 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(23)로부터 동시에 휠 홀더(22)를 분리시키거나 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(23)에 동시에 휠 홀더(22)를 장착할 수 있다.It is also possible to separate the wheel holder 22 from the first and second scribing heads 23 simultaneously while rotating the first and second wheel holder receiving members 41 and 42 in different directions or at different angles, 1 and the second scribing head 23 at the same time.

또한, 회전 모듈(45)은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42) 중 어느 하나만을 회전시킬 수 있다. 예를 들면, 제1 스크라이빙 헤드(23)에 휠 홀더(22)를 장착하거나 제1 스크라이빙 헤드(23)로부터 휠 홀더(22)를 분리하는 과정에서, 제2 휠 홀더 수용 부재(42)가 정지된 상태에서 제1 휠 홀더 수용 부재(41)만이 회전될 수 있다. 따라서, 제1 스크라이빙 헤드(23)에 휠 홀더(22)를 장착하거나 제1 스크라이빙 헤드(23)로부터 휠 홀더(22)를 분리하는 과정에서 제2 휠 홀더 수용 부재(42)가 정지된 상태에 있을 수 있으므로, 제2 휠 홀더 수용 부재(42)에 수용된 휠 홀더(22)가 주변 구성 부품과 간섭하는 것을 방지할 수 있다.Also, the rotation module 45 can rotate only one of the first and second wheel holder receiving members 41 and 42. [ For example, in the process of mounting the wheel holder 22 to the first scribing head 23 or separating the wheel holder 22 from the first scribing head 23, the second wheel holder receiving member Only the first wheel holder receiving member 41 can be rotated in a state where the first wheel holder receiving member 41 is stopped. Therefore, in the process of mounting the wheel holder 22 to the first scraping head 23 or separating the wheel holder 22 from the first scraping head 23, the second wheel holder receiving member 42 The wheel holder 22 housed in the second wheel holder receiving member 42 can be prevented from interfering with peripheral components.

제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)는 각각 회전 모듈(45)의 회전 중심 주위로 둘레 방향으로 배치되는 복수의 휠 홀더 수용홈(441)을 포함할 수 있다. 복수의 휠 홀더 수용홈(441)에는 휠 홀더(22)가 삽입될 수 있다. 휠 홀더 수용홈(441)은 스크라이빙 휠(21)이 장착된 휠 홀더(22)의 형상에 대응하는 형상을 가질 수 있다.The first and second wheel holder receiving members 41 and 42 may include a plurality of wheel holder receiving grooves 441 disposed circumferentially around the rotational center of the rotating module 45, respectively. The wheel holder 22 can be inserted into the plurality of wheel holder receiving grooves 441. The wheel holder receiving groove 441 may have a shape corresponding to the shape of the wheel holder 22 on which the scribing wheel 21 is mounted.

잠금 모듈(46)은 휠 홀더 수용홈(441) 내에 설치되어 휠 홀더 수용홈(441)에 삽입된 휠 홀더(22)를 선택적으로 잠그고 잠금 해제하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 잠금 모듈(46)은 휠 홀더 수용홈(441) 내에 삽입된 휠 홀더(22)의 일면을 가압하는 가압 부재(461)와, 가압 부재(461)를 이동시키는 구동 장치(462)를 포함할 수 있다. 복수의 잠금 모듈(46)이 하나의 휠 홀더 수용홈(441) 내에 설치될 수 있다. 복수의 가압 부재(461)가 휠 홀더(22)의 측면에 균일한 압력을 가하면서 휠 홀더(22)를 고정시킬 수 있다.The lock module 46 may be configured to selectively lock and unlock the wheel holder 22 installed in the wheel holder receiving groove 441 and inserted in the wheel holder receiving groove 441. [ The lock module 46 includes a pressing member 461 for pressing one surface of the wheel holder 22 inserted in the wheel holder receiving groove 441 and a driving device 462 for moving the pressing member 461, . ≪ / RTI > A plurality of lock modules 46 may be installed in one wheel holder receiving groove 441. The wheel holder 22 can be fixed while applying a uniform pressure to the side surfaces of the wheel holder 22 by the plurality of pressing members 461. [

다른 예로서, 잠금 모듈(46)은 휠 홀더 수용홈(441) 내에 설치되어 휠 홀더 수용홈(441)에 삽입된 휠 홀더(22)을 흡착하도록 구성될 수 있다. 이와 같이, 휠 홀더 수용홈(441)에 삽입된 휠 홀더(22)를 고정시킬 수 있다면, 잠금 모듈(46)의 구성은 한정되지 않는다.As another example, the lock module 46 may be configured to be installed in the wheel holder receiving groove 441 to suck the wheel holder 22 inserted into the wheel holder receiving groove 441. [ Thus, if the wheel holder 22 inserted into the wheel holder receiving groove 441 can be fixed, the configuration of the locking module 46 is not limited.

이하, 도 5 내지 도 11을 참조하여, 스크라이빙 장치의 동작에 대하여 설명한다.Hereinafter, the operation of the scribing apparatus will be described with reference to Figs. 5 to 11. Fig.

먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판 이송 장치(30)의 파지 유닛(31)이 기판(S)의 후행단을 파지한 상태에서 지지바(32)가 가이드 레일(33)을 따라 Y축 방향으로 이동되면, 기판(S)이 스크라이빙 유닛(20)으로 이송될 수 있다. 기판(S)이 기판 이송 장치(30)에 의해 단속적으로 이동되면서, 스크라이빙 유닛(20)에 의해 기판(S)에 스크라이빙 라인이 형성된다.2, when the holding unit 31 of the substrate transfer device 30 grasps the rear end of the substrate S, the supporting bar 32 is moved along the guide rail 33 to the Y axis The substrate S can be transported to the scribing unit 20. In this case, A scribing line is formed on the substrate S by the scribing unit 20 while the substrate S is intermittently moved by the substrate transfer device 30. [

다수의 기판(S)에 다수의 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서, 스크라이빙 휠(21)이 마모된다. 따라서, 스크라이빙 라인을 형성하는 공정을 원활하게 수행하기 위해, 마모된 스크라이빙 휠(21)을 새로운 스크라이빙 휠(21)로 교체할 필요가 있다. 이러한 스크라이빙 휠(21)의 교체는 미리 설정된 개수의 기판(S)에 스크라이빙 라인을 형성한 이후 또는 소정의 시간 간격으로 수행될 수 있다. 스크라이빙 휠(21)의 교체는 휠 홀더(22)를 교체하는 것을 통하여 수행될 수 있다.In the process of forming a plurality of scribing lines on a plurality of substrates (S), the scribing wheel (21) is worn. Therefore, in order to smoothly carry out the process of forming the scribing line, it is necessary to replace the worn scribing wheel 21 with a new scribing wheel 21. The replacement of the scribing wheel 21 may be performed after forming the scribing line on the predetermined number of the substrates S or at predetermined time intervals. The replacement of the scribing wheel 21 can be performed by replacing the wheel holder 22.

도 5 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 휠 홀더(22)의 교체는 본 발명의 실시예에 따른 휠 홀더 교체 유닛(40)에 의해 수행될 수 있다. 이하, 휠 홀더(22)를 교체하는 과정이 도면에서 상측에 배치된 제1 스크라이빙 헤드(23)와 연관되어 설명되지만, 유사한 과정이 도면에서 하측에 배치된 스크라이빙 헤드(23)에 대해서도 수행될 수 있다.As shown in Figs. 5 to 11, the replacement of the wheel holder 22 can be performed by the wheel holder replacement unit 40 according to the embodiment of the present invention. Hereinafter, although the process of replacing the wheel holder 22 will be described in connection with the first scribing head 23 disposed on the upper side in the drawing, a similar process is performed on the scribing head 23 disposed on the lower side in the drawing . ≪ / RTI >

먼저, 도 5에 도시된 바와 같이, 휠 홀더 수용 모듈(44)은 기판 이송 장치(30)의 파지 유닛(31)의 이동 경로 및 기판(S)의 이송 경로로부터 벗어난 위치로부터 스크라이빙 유닛(20)에 인접한 위치로 이동될 수 있다. 이와 같은 과정에서, 휠 홀더 수용 모듈(44)은 직선 이동 기구(481)에 의해 지지대(48)를 따라 X축 방향으로 이동될 수 있고, 지지대(48)가 가이드 레일(49)을 따라 Y축 방향으로 이동됨에 따라 휠 홀더 수용 모듈(44)이 Y축 방향으로 이동될 수 있으며, 휠 홀더 수용 모듈(44)은 승강 모듈(47)에 의해 Z축 방향으로 이동될 수 있다.5, the wheel holder accommodating module 44 is moved from a position away from the movement path of the holding unit 31 of the substrate transfer device 30 and the transfer path of the substrate S to the scribing unit 20). ≪ / RTI > The wheel holder accommodating module 44 can be moved in the X axis direction along the support base 48 by the linear movement mechanism 481 and the support base 48 can be moved along the guide rail 49 along the Y axis The wheel holder accommodating module 44 can be moved in the Y axis direction and the wheel holder accommodating module 44 can be moved in the Z axis direction by the elevator module 47. [

그리고, 도 6에 도시된 바와 같이, 지지대(48)가 가이드 레일(49)을 따라 Y축 방향으로 이동됨에 따라 휠 홀더 수용 모듈(44)이 Y축 방향으로 스크라이빙 유닛(20)을 향하여 이동된다. 이때, 휠 홀더 수용 모듈(44)이 휠 홀더 지지 부재(26)에 끼워진 휠 홀더(22)로 용이하게 접근할 수 있도록, 스크라이빙 헤드(23)가 소정의 높이로 상승될 수 있다.6, as the support table 48 is moved along the guide rail 49 in the Y-axis direction, the wheel holder receiving module 44 is moved toward the scraping unit 20 in the Y-axis direction . At this time, the scribing head 23 can be raised to a predetermined height so that the wheel holder accommodating module 44 can be easily accessed by the wheel holder 22 fitted in the wheel holder supporting member 26. [

그리고, 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)의 휠 홀더 수용홈(441)이 휠 홀더 지지 부재(26)에 끼워진 휠 홀더(22) 아래에 위치되면, 승강 모듈(47)에 의해 제1 휠 홀더 수용 부재(41)가 휠 홀더(22)를 향하여 상승되며, 이에 따라, 휠 홀더(22)가 휠 홀더 수용홈(441) 내에 삽입된다.7, when the wheel holder receiving groove 441 of the first wheel holder receiving member 41 is positioned below the wheel holder 22 fitted to the wheel holder supporting member 26, The wheel holder 22 is inserted into the wheel holder receiving groove 441 by the first wheel holder receiving member 41 and the first wheel holder receiving member 41 is raised toward the wheel holder 22. [

이때, 잠금 모듈(46)이 휠 홀더 수용홈(441) 내에 삽입된 휠 홀더(22)를 고정시킨다.At this time, the lock module 46 fixes the wheel holder 22 inserted in the wheel holder receiving groove 441.

그리고, 도 8에 도시된 바와 같이, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)가 하강하며, 이에 따라, 잠금 모듈(46)에 의해 고정된 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)로부터 분리된다.8, the first wheel holder receiving member 41 is lowered so that the wheel holder 22 fixed by the lock module 46 is separated from the wheel holder supporting member 26 do.

그리고, 도 9에 도시된 바와 같이, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)가 회전 모듈(45)에 의해 회전되며, 이에 따라, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)에 미리 수용된 새로운 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)의 아래에 위치된다.9, the first wheel holder receiving member 41 is rotated by the rotation module 45 so that a new wheel holder 22 (see Fig. 9) previously accommodated in the first wheel holder receiving member 41 Is located under the wheel holder supporting member 26. [0050]

그리고, 도 10에 도시된 바와 같이, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)가 다시 상승되며, 이에 따라, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)에 수용된 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)의 삽입홈(261)에 삽입된다.10, the first wheel holder receiving member 41 is raised again so that the wheel holder 22 housed in the first wheel holder receiving member 41 is rotated by the wheel holder supporting member 26 As shown in Fig.

이때, 잠금 모듈(46)이 휠 홀더(22)를 잠금 해제하면, 휠 홀더(22)는 삽입홈(261) 내에 설치된 자석(262)의 자력에 의해 삽입홈(261) 내에 유지될 수 있다.At this time, when the lock module 46 unlocks the wheel holder 22, the wheel holder 22 can be held in the insertion groove 261 by the magnetic force of the magnet 262 installed in the insertion groove 261.

그리고, 도 11에 도시된 바와 같이, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)는 하강한 다음, 원래의 위치로 복귀하거나, 다른 스크라이빙 헤드(23)에 장착된 휠 홀더(22)를 교체하기 위해 이동할 수 있다.11, the first wheel holder receiving member 41 is lowered and then returned to its original position, or the wheel holder 22 mounted on the other scribing head 23 is replaced Can move to.

지지대(48)에 복수의 휠 홀더 수용 모듈(44)이 구비되는 경우, 복수의 휠 홀더 수용 모듈(44) 중 일부는 제1 스크라이빙 헤드(23)의 휠 홀더(22)를 교체하는 동작을 수행할 수 있으며, 다른 일부는 제2 스크라이빙 헤드(23)의 휠 홀더(22)를 교체하는 동작을 수행할 수 있다.When a plurality of wheel holder accommodating modules 44 are provided on the support table 48, some of the plurality of wheel holder accommodating modules 44 are moved by the operation of replacing the wheel holder 22 of the first scribing head 23 And the other part can perform the operation of replacing the wheel holder 22 of the second scribing head 23.

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 휠 홀더(22)를 자동으로 교체하는 휠 홀더 교체 유닛(40)을 구비하므로, 스크라이빙 휠(21)을 신속하게 교체하여 스크라이빙 공정에 소요되는 시간을 줄이고 작업자의 편의성을 향상시킬 수 있다.The scribing apparatus according to the embodiment of the present invention includes the wheel holder replacement unit 40 for automatically replacing the wheel holder 22 so that the scribing wheel 21 can be quickly replaced to perform the scribing process The time required can be reduced and the convenience of the operator can be improved.

한편, 도 12 및 도 13에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 헤드(23)에는 스크라이빙 헤드(23)의 변위를 측정하는 변위 측정 유닛(50)이 구비될 수 있다. 휠 홀더 지지 부재(26)는 스크라이빙 헤드(23)에 연결되므로, 변위 측정 유닛(50)은 휠 홀더 지지 부재(26)의 변위를 측정하도록 구성될 수 있다.On the other hand, as shown in Figs. 12 and 13, the scribing head 23 may be provided with a displacement measuring unit 50 for measuring the displacement of the scribing head 23. Since the wheel holder supporting member 26 is connected to the scraping head 23, the displacement measuring unit 50 can be configured to measure the displacement of the wheel holder supporting member 26. [

여기에서, 휠 홀더 지지 부재(26)의 변위는 수평 방향(X축 방향 및 Y축 방향)으로의 변위 및/또는 수직 방향(Z축 방향)으로의 변위일 수 있다. 본 발명의 실시예에서는, 변위 측정 유닛(50)이 휠 홀더 지지 부재(26)의 Z축 방향으로의 변위를 측정하는 구성에 대하여 설명한다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 휠 홀더 지지 부재(26)의 Z축 방향으로의 변위를 측정하는 구성이 휠 홀더 지지 부재(26)의 X축 방향 및/또는 Y축 방향으로의 변위를 측정하는 구성으로서 변위 측정 유닛(50)에 적용될 수 있다.Here, the displacement of the wheel holder supporting member 26 may be a displacement in the horizontal direction (X-axis direction and Y-axis direction) and / or a displacement in the vertical direction (Z-axis direction). In the embodiment of the present invention, a configuration in which the displacement measurement unit 50 measures the displacement of the wheel holder supporting member 26 in the Z-axis direction will be described. However, the present invention is not limited to this, and the configuration for measuring the displacement of the wheel holder supporting member 26 in the Z-axis direction may be a displacement of the wheel holder supporting member 26 in the X- and / or Y- It can be applied to the displacement measurement unit 50 as a measurement configuration.

예를 들면, 변위 측정 유닛(50)은, 프레임(25)에 구비되는 기준 부재(51)와, 기준 부재(51)에 대향하도록 휠 홀더 지지 부재(26)에 구비되어 기준 부재(51)에 대한 상대 위치를 감지하는 감지 부재(52)를 포함할 수 있다. 다른 예로서, 기준 부재(51)가 휠 홀더 지지 부재(26)에 구비될 수 있고, 감지 부재(52)가 프레임(25)에 구비될 수 있다. 이러한 변위 측정 유닛(50)은 기준 부재(51)와 감지 부재(52)의 상호 작용을 사용하여 휠 홀더 지지 부재(26)의 위치 및 변위를 측정한다.For example, the displacement measuring unit 50 includes a reference member 51 provided on the frame 25 and a wheel member 52 provided on the wheel holder supporting member 26 so as to face the reference member 51, And a sensing member 52 for sensing a relative position with respect to the sensor. As another example, the reference member 51 may be provided on the wheel holder supporting member 26, and the sensing member 52 may be provided on the frame 25. [ This displacement measuring unit 50 measures the position and displacement of the wheel holder supporting member 26 using the interaction of the reference member 51 and the sensing member 52. [

일 예로서, 기준 부재(51)는 소정의 눈금을 가지는 스케일로 구성될 수 있고, 감지 부재(52)는 스케일을 촬상하는 카메라로 구성될 수 있다. 이러한 경우, 감지 부재(52)에 의하여 촬상된 스케일의 이미지를 기준으로 기준 부재(51)와 감지 부재(52) 사이의 상대 위치를 측정하고, 측정된 상대 위치를 기준으로 휠 홀더 지지 부재(26)의 위치 및 변위를 측정할 수 있다.As an example, the reference member 51 may be constituted by a scale having a predetermined scale, and the sensing member 52 may be constituted by a camera for imaging a scale. In this case, the relative position between the reference member 51 and the sensing member 52 is measured based on the image of the scale imaged by the sensing member 52, and the relative position of the wheel holder supporting member 26 ) Can be measured.

다른 예로서, 기준 부재(51)는 위치에 따라 반사 각도가 달라지는 반사면으로 구성될 수 있고, 감지 부재(52)는 반사면을 향하여 광을 발광하는 발광 센서와 반사면에서 반사되는 광을 수광하는 수광 센서로 구성될 수 있다. 이러한 경우, 반사면에서 반사되는 광의 반사 각도를 측정하는 것에 의해, 기준 부재(51)와 감지 부재(52) 사이의 상대 위치를 측정하고, 측정된 상대 위치를 기준으로 휠 홀더 지지 부재(26)의 위치 및 변위를 측정할 수 있다.As another example, the reference member 51 may be constituted by a reflection surface whose reflection angle varies depending on the position, and the sensing member 52 may include a light emission sensor for emitting light toward the reflection surface, And a light receiving sensor for receiving the light. In this case, the relative position between the reference member 51 and the sensing member 52 is measured by measuring the reflection angle of the light reflected from the reflection surface, and the wheel holder supporting member 26, Can be measured.

그리고, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 변위 측정 유닛(50)과 연결되어 휠 홀더 지지 부재(26)의 변위가 기 설정 변위의 범위를 벗어나는지 여부를 판단하는 제어 유닛(70)을 더 포함할 수 있다.The scraping device according to the embodiment of the present invention includes a control unit 70 connected to the displacement measurement unit 50 to determine whether the displacement of the wheel holder supporting member 26 is out of the range of the predetermined displacement, As shown in FIG.

변위 측정 유닛(50)은, 휠 홀더 교체 유닛(40)이 휠 홀더(22)를 휠 홀더 지지 부재(26)에 장착할 때, 휠 홀더 지지 부재(26)의 변위를 측정할 수 있다.The displacement measurement unit 50 can measure the displacement of the wheel holder supporting member 26 when the wheel holder replacement unit 40 mounts the wheel holder 22 to the wheel holder supporting member 26. [

여기에서, 휠 홀더 교체 유닛(40)이 정상적으로 작동하여 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)의 삽입홈(261)에 정상적으로 삽입되는 경우에는 휠 홀더 지지 부재(26)가 변위하지 않거나 매우 미세하게 변위할 수 있다.Here, when the wheel holder replacement unit 40 is normally operated and the wheel holder 22 is normally inserted into the insertion groove 261 of the wheel holder support member 26, the wheel holder support member 26 is not displaced It can be displaced very finely.

그러나, 도 13에 도시된 바와 같이, 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)의 삽입홈(261)에 정상적으로 삽입되지 않고, 제1 또는 제2 휠 홀더 수용 부재(41)에 수용된 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)의 외면에 충돌하는 경우, 제1 또는 제2 휠 홀더 수용 부재(41)의 일부분이 휠 홀더 지지 부재(26)의 외면에 충돌하는 경우와 같이, 휠 홀더 지지 부재(26)에 비정상적인 외력이 가해지는 경우에는, 휠 홀더 지지 부재(26)가 기 설정 범위를 초과하는 거리로 변위할 수 있다.However, as shown in Fig. 13, the wheel holder 22 is not normally inserted into the insertion groove 261 of the wheel holder supporting member 26, but the wheel holder 22, which is accommodated in the first or second wheel holder receiving member 41, When the holder 22 collides with the outer surface of the wheel holder supporting member 26 and a portion of the first or second wheel holder receiving member 41 collides with the outer surface of the wheel holder supporting member 26, When an abnormal external force is applied to the wheel holder supporting member 26, the wheel holder supporting member 26 can be displaced to a distance exceeding the predetermined range.

여기에서, 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)의 외면에 충돌할 때, 그 충격에 의해 스크라이빙 헤드(23)가 헤드 지지대(24)에 대하여 Z축 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 휠 홀더 지지 부재(26)가 Z축 방향으로 변위될 수 있다.Here, when the wheel holder 22 impacts the outer surface of the wheel holder supporting member 26, the impact can move the scraping head 23 in the Z-axis direction with respect to the head support 24 , Whereby the wheel holder supporting member 26 can be displaced in the Z-axis direction.

다른 예로서, 휠 홀더 지지 부재(26)는 스크라이빙 헤드(23)에 대하여 Z축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있으며, 이에 따라, 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)의 외면에 충돌할 때, 그 충격에 의해, 휠 홀더 지지 부재(26)가 스크라이빙 헤드(23)에 대하여 Z축 방향으로 변위될 수 있다.As another example, the wheel holder supporting member 26 may be configured to be movable in the Z-axis direction with respect to the scribing head 23, so that the wheel holder 22 is supported by the wheel holder supporting member 26 The wheel holder supporting member 26 can be displaced in the Z-axis direction with respect to the scribing head 23 by the impact.

이와 같은 경우, 제어 유닛(70)은 변위 측정 유닛(50)에 의해 측정된 휠 홀더 지지 부재(26)의 변위가 기 설정 범위를 초과하는지 여부를 판단하고, 휠 홀더 지지 부재(26)의 변위가 기 설정 범위를 초과하는 경우, 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)에 정상적으로 장착되지 않고, 휠 홀더 지지 부재(26)가 비정상적인 외력에 의해 변위하고 있음을 판단할 수 있다.In such a case, the control unit 70 determines whether or not the displacement of the wheel holder supporting member 26 measured by the displacement measuring unit 50 exceeds the predetermined range, and the displacement of the wheel holder supporting member 26 The wheel holder 22 is not normally mounted on the wheel holder supporting member 26 and it can be determined that the wheel holder supporting member 26 is displaced by an abnormal external force.

이와 같은 경우, 제어 유닛(70)은, 예를 들면, 디스플레이 장치, 음향 장치 등을 통하여, 휠 홀더(22)가 비정상적으로 장착되고 있음을 사용자에게 알릴 수 있다. 다른 예로서, 제어 유닛(70)은 스크라이빙 장치의 구동을 정지시킬 수 있다.In such a case, the control unit 70 can notify the user that the wheel holder 22 is abnormally mounted, for example, through a display device, a sound device, or the like. As another example, the control unit 70 may stop the driving of the scribing device.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따르면, 휠 홀더 지지 부재(26)의 변위를 측정하고, 측정된 휠 홀더 지지 부재(26)의 변위를 기준으로 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)에 정상적으로 장착되는지 여부를 판단하고, 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)에 정상적으로 장착되지 않는 경우, 사용자에게 이를 알리거나 스크라이빙 장치의 구동을 정지시킬 수 있다. 따라서, 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)에 비정상적으로 장착될 때 발생할 수 있는, 휠 홀더(22), 휠 홀더 지지 부재(26), 제1 또는 제2 휠 홀더 수용 부재(41) 및/또는 헤드 유닛(23)의 파손을 미연에 방지할 수 있다.As described above, according to the embodiment of the present invention, the displacement of the wheel holder supporting member 26 is measured, and the wheel holder 22 is supported by the wheel holder supporting member 26 And if the wheel holder 22 is not properly mounted on the wheel holder supporting member 26, it can inform the user or stop driving the scraping device. The wheel holder 22, the wheel holder supporting member 26, the first or second wheel holder receiving member 41 (or the first or second wheel holder supporting member 26), which may occur when the wheel holder 22 is abnormally mounted on the wheel holder supporting member 26 And / or the head unit 23 can be prevented from being damaged beforehand.

다른 예로서, 도 14 및 도 15에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 헤드(23)에는 휠 홀더 지지 부재(26)에 가해지는 하중을 측정하는 하중 측정 유닛(60)이 구비될 수 있다. 휠 홀더 지지 부재(26)는 스크라이빙 헤드(23)에 연결되므로, 하중 측정 유닛(60)은 스크라이빙 헤드(23)에 가해지는 하중을 측정하도록 구성될 수 있다.As another example, as shown in Figs. 14 and 15, the scribing head 23 may be provided with a load measuring unit 60 for measuring a load applied to the wheel holder supporting member 26. Fig. Since the wheel holder supporting member 26 is connected to the scribing head 23, the load measuring unit 60 can be configured to measure the load applied to the scribing head 23.

여기에서, 휠 홀더 지지 부재(26)의 하중은 수평 방향(X축 방향 및 Y축 방향)으로의 하중 및/또는 수직 방향(Z축 방향)으로의 하중일 수 있다. 본 발명의 실시예에서는, 하중 측정 유닛(60)이 휠 홀더 지지 부재(26)의 Z축 방향으로의 하중을 측정하는 구성에 대하여 설명한다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 휠 홀더 지지 부재(26)의 Z축 방향으로의 하중을 측정하는 구성이 휠 홀더 지지 부재(26)의 X축 방향 및/또는 Y축 방향으로의 하중을 측정하는 구성으로서 하중 측정 유닛(60)에 적용될 수 있다.Here, the load of the wheel holder supporting member 26 may be a load in the horizontal direction (X-axis direction and Y-axis direction) and / or a load in the vertical direction (Z-axis direction). In the embodiment of the present invention, a configuration in which the load measuring unit 60 measures the load in the Z-axis direction of the wheel holder supporting member 26 will be described. However, the present invention is not limited to this, and the configuration for measuring the load in the Z-axis direction of the wheel holder supporting member 26 may be applied to the wheel holder supporting member 26 in the X-axis direction and / And can be applied to the load measuring unit 60 as a measuring configuration.

예를 들면, 하중 측정 유닛(60)은, 휠 홀더 지지 부재(26)가 스크라이빙 헤드(23)에 연결되는 부분에 구비되는 하중 센서(61)를 포함할 수 있다. 하중 센서(61)로는, 예를 들면, 물리적인 하중을 전기적인 신호로 변환하는 로드 셀이 사용될 수 있다. 그리고, 휠 홀더 지지 부재(26)는 휠 홀더(22)에 의해 가해지는 힘에 의해 하중 센서(61)를 가압하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 휠 홀더 지지 부재(26)는 스크라이빙 헤드(23)에 대하여 Z축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있으며, 이에 따라, 휠 홀더 지지 부재(26)는 휠 홀더(22)에 의해 가해지는 힘에 의해 하중 센서(61)를 가압할 수 있다.For example, the load measuring unit 60 may include a load sensor 61 provided at a portion where the wheel holder supporting member 26 is connected to the scraping head 23. As the load sensor 61, for example, a load cell that converts a physical load into an electrical signal can be used. Then, the wheel holder supporting member 26 can be configured to press the load sensor 61 by the force applied by the wheel holder 22. For example, the wheel holder supporting member 26 can be configured to be movable in the Z-axis direction with respect to the scribing head 23, so that the wheel holder supporting member 26 can be moved to the wheel holder 22 The load sensor 61 can be pressed by the force applied by the load sensor 61. [

그리고, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에서는, 제어 유닛(70)이 하중 측정 유닛(60)과 연결되어 휠 홀더 지지 부재(26)의 하중이 기 설정 하중의 범위를 벗어나는지 여부를 판단할 수 있다.In the scribing apparatus according to the embodiment of the present invention, the control unit 70 is connected to the load measuring unit 60 to determine whether the load of the wheel holder supporting member 26 is out of the predetermined load range It can be judged.

하중 측정 유닛(60)은, 휠 홀더 교체 유닛(40)이 휠 홀더(22)를 휠 홀더 지지 부재(26)에 장착할 때, 휠 홀더 지지 부재(26)에 가해지는 하중을 측정할 수 있다.The load measuring unit 60 can measure the load applied to the wheel holder supporting member 26 when the wheel holder replacement unit 40 mounts the wheel holder 22 to the wheel holder supporting member 26 .

여기에서, 휠 홀더 교체 유닛(40)이 정상적으로 작동하여 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)의 삽입홈(261)에 정상적으로 삽입되는 경우에는 휠 홀더 지지 부재(26)에는 기 설정 범위 내의 하중이 작용할 수 있다.Here, when the wheel holder replacement unit 40 operates normally and the wheel holder 22 is normally inserted into the insertion groove 261 of the wheel holder support member 26, the wheel holder support member 26 is provided with the preset range A load may be applied.

그러나, 도 15에 도시된 바와 같이, 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)의 삽입홈(261)에 정상적으로 삽입되지 않고, 제1 또는 제2 휠 홀더 수용 부재(41)에 수용된 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)의 외면에 충돌하는 경우, 제1 또는 제2 휠 홀더 수용 부재(41)의 일부분이 휠 홀더 지지 부재(26)의 외면에 충돌하는 경우와 같이, 휠 홀더 지지 부재(26)에 비정상적인 외력이 가해지는 경우에는, 휠 홀더 지지 부재(26)에는 기 설정 범위를 초과하는 하중이 가해질 수 있다.However, as shown in Fig. 15, the wheel holder 22 is not normally inserted into the insertion groove 261 of the wheel holder supporting member 26, and the wheel holder 22, which is received in the first or second wheel holder receiving member 41, When the holder 22 collides with the outer surface of the wheel holder supporting member 26 and a portion of the first or second wheel holder receiving member 41 collides with the outer surface of the wheel holder supporting member 26, When an abnormal external force is applied to the wheel holder supporting member 26, a load exceeding a preset range may be applied to the wheel holder supporting member 26. [

따라서, 제어 유닛(70)은 하중 측정 유닛(60)에 의해 측정된 휠 홀더 지지 부재(26)에 가해지는 하중이 기 설정 범위를 초과하는지 여부를 판단하고, 휠 홀더 지지 부재(26)에 가해지는 하중이 기 설정 범위를 초과하는 경우, 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)에 정상적으로 장착되지 않고, 휠 홀더 지지 부재(26)에 비정상적인 외력이 작용하고 있음을 판단할 수 있다.Therefore, the control unit 70 determines whether or not the load applied to the wheel holder supporting member 26 measured by the load measuring unit 60 exceeds the preset range, and determines whether the load applied to the wheel holder supporting member 26 It is possible to determine that the wheel holder 22 is not normally mounted on the wheel holder supporting member 26 and an abnormal external force is acting on the wheel holder supporting member 26 when the losing load exceeds the preset range.

이와 같은 경우, 제어 유닛(70)은, 예를 들면, 디스플레이 장치, 음향 장치 등을 통하여, 휠 홀더(22)가 비정상적으로 장착되고 있음을 사용자에게 알릴 수 있다. 다른 예로서, 제어 유닛(70)은 스크라이빙 장치의 구동을 정지시킬 수 있다.In such a case, the control unit 70 can notify the user that the wheel holder 22 is abnormally mounted, for example, through a display device, a sound device, or the like. As another example, the control unit 70 may stop the driving of the scribing device.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따르면, 휠 홀더 지지 부재(26)에 가해지는 하중을 측정하고, 측정된 하중을 기준으로 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)에 정상적으로 장착되는지 여부를 판단하고, 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)에 정상적으로 장착되지 않는 경우, 사용자에게 이를 알리거나 스크라이빙 장치의 구동을 정지시킬 수 있다. 따라서, 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)에 비정상적으로 장착될 때 발생할 수 있는, 휠 홀더(22), 휠 홀더 지지 부재(26), 제1 또는 제2 휠 홀더 수용 부재(41) 및/또는 헤드 유닛(23)의 파손을 미연에 방지할 수 있다.As described above, according to the embodiment of the present invention, the load applied to the wheel holder supporting member 26 is measured, and it is determined whether the wheel holder 22 is normally mounted on the wheel holder supporting member 26 on the basis of the measured load If the wheel holder 22 is not normally mounted on the wheel holder supporting member 26, it can inform the user or stop driving the scraping device. The wheel holder 22, the wheel holder supporting member 26, the first or second wheel holder receiving member 41 (or the first or second wheel holder supporting member 26), which may occur when the wheel holder 22 is abnormally mounted on the wheel holder supporting member 26 And / or the head unit 23 can be prevented from being damaged beforehand.

본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described by way of example, the scope of the present invention is not limited to these specific embodiments, and can be appropriately changed within the scope of the claims.

10: 스테이지 20: 스크라이빙 유닛
30: 기판 이송 장치 40: 휠 홀더 교체 유닛
44: 휠 홀더 수용 모듈 45: 회전 모듈
46: 잠금 모듈 47: 승강 모듈
48: 지지대 49: 가이드 레일10: stage 20: scribing unit
30: substrate transfer device 40: wheel holder replacement unit
44: wheel holder receiving module 45: rotation module
46: Locking module 47: Lift module
48: support base 49: guide rail

Claims (10)

스크라이빙 휠을 유지하는 휠 홀더가 끼워지는 휠 홀더 지지 부재를 포함하는 스크라이빙 헤드를 포함하는 스크라이빙 유닛;
상기 휠 홀더를 파지하여 상기 휠 홀더 지지 부재에 장착하거나 상기 휠 홀더 지지 부재로부터 분리하는 휠 홀더 교체 유닛; 및
상기 휠 홀더 교체 유닛이 상기 휠 홀더를 상기 휠 홀더 지지 부재에 장착할 때 상기 휠 홀더에 대한 상기 휠 홀더 지지 부재의 변위를 측정하는 변위 측정 유닛을 포함하는 스크라이빙 장치.A scribing unit including a scribing head including a wheel holder supporting member into which a wheel holder for holding a scribing wheel is fitted;
A wheel holder replacement unit for holding the wheel holder and attaching the wheel holder to the wheel holder support member or separating the wheel holder support member from the wheel holder support member; And
And a displacement measuring unit for measuring a displacement of the wheel holder supporting member with respect to the wheel holder when the wheel holder replacement unit mounts the wheel holder to the wheel holder supporting member. 청구항 1에 있어서,
상기 변위 측정 유닛에 의해 측정된 상기 휠 홀더 지지 부재의 변위가 기 설정 변위의 범위를 벗어나는지 여부를 판단하는 제어 유닛을 더 포함하는 스크라이빙 장치.The method according to claim 1,
And a control unit for determining whether or not the displacement of the wheel holder supporting member measured by the displacement measuring unit is out of the range of the predetermined displacement. 스크라이빙 휠을 유지하는 휠 홀더가 끼워지는 휠 홀더 지지 부재를 포함하는 스크라이빙 헤드를 포함하는 스크라이빙 유닛;
상기 휠 홀더를 파지하여 상기 휠 홀더 지지 부재에 장착하거나 상기 휠 홀더 지지 부재로부터 분리하는 휠 홀더 교체 유닛; 및
상기 휠 홀더 교체 유닛이 상기 휠 홀더를 상기 휠 홀더 지지 부재에 장착할 때 상기 휠 홀더에 의해 상기 휠 홀더 지지 부재에 가해지는 하중을 측정하는 하중 측정 유닛을 포함하는 스크라이빙 장치.A scribing unit including a scribing head including a wheel holder supporting member into which a wheel holder for holding a scribing wheel is fitted;
A wheel holder replacement unit for holding the wheel holder and attaching the wheel holder to the wheel holder support member or separating the wheel holder support member from the wheel holder support member; And
And a load measuring unit for measuring a load applied to the wheel holder supporting member by the wheel holder when the wheel holder replacement unit mounts the wheel holder on the wheel holder supporting member. 청구항 3에 있어서,
상기 하중 측정 유닛에 의해 측정된 상기 휠 홀더 지지 부재에 가해지는 하중이 기 설정 하중의 범위를 벗어나는지 여부를 판단하는 제어 유닛을 더 포함하는 스크라이빙 장치.The method of claim 3,
And a control unit for determining whether or not a load applied to the wheel holder supporting member measured by the load measuring unit is out of a predetermined load range. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
상기 휠 홀더 교체 유닛은, 둘레 방향으로 복수의 휠 홀더 수용홈을 가지며 상기 복수의 휠 홀더 수용홈 중 하나가 상기 휠 홀더 지지 부재에 대향하도록 회전되는 휠 홀더 수용 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.The method according to any one of claims 1 to 4,
Wherein the wheel holder replacement unit includes a wheel holder accommodating module having a plurality of wheel holder accommodating grooves in the circumferential direction and rotated so that one of the plurality of wheel holder accommodating grooves faces the wheel holder supporting member Crybing device. 청구항 5에 있어서,
상기 휠 홀더 수용 모듈은,
서로 대향하게 배치되는 한 쌍의 스크라이빙 헤드 중 어느 하나의 스크라이빙 헤드에 대응하며 복수의 휠 홀더 수용홈을 갖는 제1 휠 홀더 수용 부재; 및
다른 하나의 스크라이빙 헤드에 대응하며 복수의 휠 홀더 수용홈을 갖는 제2 휠 홀더 수용 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.The method of claim 5,
The wheel holder accommodating module includes:
A first wheel holder receiving member corresponding to any one of the pair of scribing heads disposed opposite to each other and having a plurality of wheel holder receiving grooves; And
And a second wheel holder receiving member corresponding to the other scribing head and having a plurality of wheel holder receiving grooves. 청구항 6에 있어서,
상기 휠 홀더 교체 유닛은, 상기 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재 사이에 설치되어 상기 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재를 상대 회전시키는 회전 모듈을 더 포함하는 스크라이빙 장치.The method of claim 6,
Wherein the wheel holder replacing unit further includes a rotation module installed between the first and second wheel holder receiving members for relatively rotating the first and second wheel holder receiving members. 청구항 7에 있어서,
상기 회전 모듈은 상기 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재를 동일한 방향 또는 상이한 방향으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.The method of claim 7,
Wherein the rotating module rotates the first and second wheel holder receiving members in the same direction or in different directions. 청구항 7에 있어서,
상기 회전 모듈은 상기 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재를 상이한 각도로 회전시키는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.The method of claim 7,
And the rotating module rotates the first and second wheel holder receiving members at different angles. 청구항 5에 있어서,
상기 휠 홀더 교체 유닛은, 상기 휠 홀더 수용홈에 구비되어 상기 휠 홀더 수용홈에 삽입된 상기 휠 홀더를 고정시키는 잠금 모듈을 더 포함하는 스크라이빙 장치.The method of claim 5,
Wherein the wheel holder replacing unit further comprises a lock module provided in the wheel holder receiving groove to fix the wheel holder inserted into the wheel holder receiving groove.
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