KR20180056335A - Probe Card Electrical Characteristic Measuring Device - Google Patents

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KR20180056335A
KR20180056335A KR1020160160172A KR20160160172A KR20180056335A KR 20180056335 A KR20180056335 A KR 20180056335A KR 1020160160172 A KR1020160160172 A KR 1020160160172A KR 20160160172 A KR20160160172 A KR 20160160172A KR 20180056335 A KR20180056335 A KR 20180056335A
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문영성
김웅겸
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주식회사 에스디에이
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Abstract

Disclosed is an electrical characteristic measurement device of a probe card. The electrical characteristic measurement device of a probe card according to an embodiment comprises: a printed circuit board (PCB) horizontally mounted on a table and having a probe card mounting unit formed on one side to mount the probe card and a plurality of contact terminals formed on the other side to combine an integrated type channel control unit; an electronic type relay formed on one side of the table to turn on and off connection between each probe and a measurement unit; the integrated type channel control unit connected to the contact terminals of the PCB to turn on and off connection to a probe of the probe card by controlling drive of the relay according to the control of a main control unit and a power control unit; a pin probe connected to a measurement target probe according to a user′s handling to receive the current outputted from the measurement target probe by the integrated type channel control unit and output the current to the main control unit; a measurement unit connected to the pin probe; the power control unit for turning on and off the measurement unit; and the main control unit for controlling the integrated type channel control unit, checking whether each probe of the probe card is open, measuring electrical characteristics, and outputting measured data.

Description

프로브 카드의 전기적 특성 측정장치{Probe Card Electrical Characteristic Measuring Device}Technical Field [0001] The present invention relates to a probe card electrical characteristic measuring device,

개시되는 내용은 프로브 카드의 전기적 특성 측정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 공정(FAB)이 완료된 웨이퍼(Wafer) 상에 있는 각각의 칩(Chip)들을 검사하는 프로브 카드의 전기적 특성 측정장치에 관한 것이다. [0001] The present invention relates to an electrical characteristic measurement apparatus for a probe card, and more particularly, to an electrical characteristic measurement apparatus for a probe card for inspecting each chip on a wafer on which a semiconductor manufacturing process (FAB) .

본 명세서에서 달리 표시되지 않는 한, 이 섹션에 설명되는 내용들은 이 출원의 청구항들에 대한 종래 기술이 아니며, 이 섹션에 포함된다고 하여 종래 기술이라고 인정되는 것은 아니다.Unless otherwise indicated herein, the contents set forth in this section are not prior art to the claims of this application and are not to be construed as prior art to be included in this section.

프로브 카드(Probe card)는 특정 반도체 제조 공정(FAB)이 완료된 웨이퍼(Wafer) 상에 있는 각각의 칩(Chip)들을 검사하기 위한 것이다.A probe card is for inspecting each chip on a wafer on which a specific semiconductor manufacturing process (FAB) is completed.

PCB 위에 에폭시(Epoxy)로 고정시킨 니들을 이용하여 각각의 테스트하려는 칩의 패드(Pad)에 접촉시킨 후 테스트 시스템의 전기적 신호를 칩 상에 전달하여 웨이퍼의 양품과 불량품을 구분하는데 사용되는 핵심 장치이다.A core device used to separate the good and defective parts of the wafer by transferring the electrical signals of the test system onto the chip after touching the pad of the chip to be tested with a needle fixed with epoxy on the PCB to be.

종래에는 SDP2700등의 검사 장비를 이용하여 프로브 카드를 검사하였지만, 장비 시스템의 채널보드 릴레이 불량 교환 문제, Flexible 연결 케이블의 접촉, 꺽임, 끊어짐등으로 인한 측정 신호의 왜곡 문제등이 발생하였다. Conventionally, the probe card was inspected using an inspection device such as SDP2700. However, there was a problem of channel signal relay failure of the equipment system, distortion of the measurement signal due to contact, bending or break of the flexible connection cable.

기계식 릴레이는 수명이 정해져있고 먼지 등 이물질에 대한 오동작이 발생 할 수 있는 문제점이 있었다.Mechanical relays have a problem in that a lifetime is determined and malfunctions such as dust may occur.

또한 기계식 릴레이는 장비 시스템과 마더보드간 채널 연결용 플렉시블 케이블은 오래 사용하거나 작업자가 잘못 사용하면 케이블이 손상될 우려가 있다. Mechanical relays can also damage the cables if they are used for a long time or if the operator uses the flexible cable for channel connection between the equipment system and the motherboard.

위와 같은 경우 시스템 또는 케이블 블록을 전체 분해하여 수리 및 교체해야 하는데 시간이 많이 소요 되는 등 유지보수가 어려운 문제점을 가지고 있었다.In such a case, the system or cable block has to be disassembled for repair and replacement, which is time-consuming and difficult to maintain.

한국 등록특허 1557826호.Korean Patent No. 1557826.

종래 기술은 프로브 카드에 형성된 약 1400~1800개의 채널을 일대일로 대응하기 위해 1500개 이상의 커넥트 케이블을 사용해야 했으므로 케이블 다발의 부피가 커지게 되어 연결 작업 및 관리가 어려운 단점이 있었다. In the prior art, since more than 1500 connect cables have to be used in order to correspond to about 1,400 to 1,800 channels formed on the probe card on a one-to-one basis, the volume of the cable bundle becomes large, which makes it difficult to connect and manage.

개시되는 발명은 시스템과 마더보드 간 채널 연결을 케이블 없이 직접적인 전기 단자의 연결이 가능하도록 하여 부피를 감소시킬 수 있고 케이블 손상의 우려를 배제시킬 수 있도록 한 프로브 카드의 전기적 특성 측정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention provides an apparatus for measuring the electrical characteristics of a probe card, which can reduce the volume of a channel connection between a system and a motherboard by allowing direct electrical terminals to be connected without a cable, There is a purpose.

실시예의 목적은, 프로브 카드 전기적 측정장치에 있어서, 테이블; 테이블의 상부에 수평하게 장착되며 일측에는 프로브 카드가 장착되는 프로브카드 장착부가 형성되고, 타측에는 다수의 접점단자가 형성되어 일체형 채널 제어부가 결합되는 피씨비 기판; 테이블의 일측에 형성되며, 프로브 카드의 각 프로브와 측정부의 연결을 온/오프 시키는 전자식 릴레이; 상기 피씨비 기판의 접점단자에 결합되며, 주제어부와 전원 제어부의 제어에 따라 상기 릴레이의 구동을 제어하여 프로브 카드의 프로브와의 접속을 온/오프하는 일체형 채널 제어부; 사용자의 조작에 따라 측정대상 프로브에 접속되어 측정대상 프로브로부터 출력되는 전류를 일체형 채널 제어부에서 입력받아 주제어부로 출력하는 핀 탐색 핀; 핀 탐색기에 연결된 계측기;상기 계측기를 온/오프하는 전원 제어부; 일체형 채널 제어부를 제어하며, 프로브 카드의 각 프로브의 오픈여부검사, 전기적 특성을 측정하고 측정된 데이터를 출력하는 주제어부;를 포함하는 프로브 카드 전기적 검사장치에 의해 달성될 수 있다.An object of an embodiment is a probe card electrical measuring apparatus comprising: a table; A PCB board mounted horizontally on an upper portion of the table, a probe card mounting portion on one side of which a probe card is mounted, and a plurality of contact terminals formed on the other side thereof, An electronic relay formed on one side of the table for turning on and off the connection between each probe of the probe card and the measurement unit; An integrated channel controller coupled to a contact terminal of the PCB and controlling the driving of the relay according to a control of the main controller and the power controller to turn on / off the connection with the probe of the probe card; A pin search pin connected to a measurement target probe according to a user operation to receive a current output from the measurement target probe from the integrated channel control unit and output to the main control unit; A power controller for turning on / off the meter; And a main controller for controlling the integrated channel control unit, checking whether each probe of the probe card is opened, measuring electrical characteristics, and outputting measured data.

실시예에 따르면, 일체형 채널 제어부는 박스형상으로 이루어지고 내부에 다수의 슬롯이 형성된 결합패널로 구성되는 본체; 결합패널의 슬롯에 결합되며 일측에는 테이블의 접점단자와 결합되는 입력부 소켓이 형성되고, 타측에는 신호를 제어부로 송출하는 출력부 소켓이 형성된 탐색카드;를 포함하는 것을 특징으로 한다. According to an embodiment of the present invention, the integral channel control unit includes a body formed of a coupling panel having a box shape and having a plurality of slots formed therein; And a search card coupled to the slot of the coupling panel and having an input socket coupled to a contact terminal of the table at one side and an output socket for transmitting a signal to the controller at the other side.

실시예에 따르면, 본체의 하부에 결합되며 입력부 소켓이 삽입되는 관통공이 형성된 제1지지대; 상기 제1지지대에 중첩 결합되며 상면에는 입력부 소켓이 결합되는 커넥터가 다수 형성되고, 하면에는 다수의 접속핀이 형성된 플레이트;를 포함하는 것을 특징으로 한다. According to an embodiment of the present invention, there is provided a portable terminal comprising: a first support member coupled to a lower portion of a main body and having a through hole into which an input socket is inserted; And a plate having a plurality of connectors formed on an upper surface thereof and a plurality of connecting pins formed on the lower surface thereof, the connector having a socket for an input unit coupled thereto.

상기 플레이트에 중첩 결합되며 다수의 접속핀이 결합되도록 다수의 홀이 형성된 제2지지대;를 포함하는 것을 특징으로 한다. And a second support which is coupled to the plate and has a plurality of holes for coupling the plurality of connection pins.

개시된 실시예에 따르면, 시스템과 마더보드 간 채널 연결을 케이블 없이 직접적인 전기 단자의 연결이 가능하도록 하여 부피를 감소시킬 수 있고 케이블 손상의 우려를 배제시킬 수 있는 효과가 있다.According to the disclosed embodiment, the channel connection between the system and the motherboard can be directly connected to the electric terminal without a cable, thereby reducing the volume and eliminating the possibility of cable damage.

도 1은 실시예에 따른 프로브 카드의 전기적 특성 측정장치에 대한 구성도,
도 2는 실시예에 따른 프로브 카드의 전기적 특성 측정장치에 대한 사시도,
도 3은 상기 도 2에서 요부 확대도,
도 4는 '일체형 채널 제어부'에 대한 분해 저면 사시도,
도 5는 '일체형 채널 제어부'에 대한 분해 평면 사시도,
도 6은 '일체형 채널 제어부'에 대한 평면도,
도 7은 '일체형 채널 제어부'에 대한 결합된 단면도,
도 8은 '탐색카드'에 대한 사시도.FIG. 1 is a block diagram of an apparatus for measuring electrical characteristics of a probe card according to an embodiment. FIG.
2 is a perspective view of an apparatus for measuring electric characteristics of a probe card according to an embodiment,
Fig. 3 is an enlarged view of the main part in Fig. 2,
4 is an exploded bottom perspective view of the 'integrated channel control unit'
5 is an exploded plan perspective view of the 'integrated channel control unit'
6 is a plan view of the 'integrated channel control unit'
FIG. 7 is a combined cross-sectional view for an " integral channel control "
8 is a perspective view of a " navigation card ".

이하 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 토대로 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

하기에서 설명될 실시예는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것이며, 이로 인해 본 발명의 기술적인 사상 및 범주가 한정되는 것을 의미하지는 않는다.It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory and are intended to provide further explanation of the invention as claimed. It does not mean anything.

또한, 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있으며, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있고, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 함을 밝혀둔다. In addition, the sizes and shapes of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of explanation, and the terms defined specifically in consideration of the configuration and operation of the present invention may vary depending on the intention or custom of the user, operator It should be noted that the definitions of these terms should be made on the basis of the contents throughout this specification.

첨부된 도면 중에서, 도 1은 실시예에 따른 프로브 카드의 전기적 특성 측정장치에 대한 구성도, 도 2는 실시예에 따른 프로브 카드의 전기적 특성 측정장치에 대한 사시도, 도 3은 상기 도 2에서 요부 확대도, 도 4는 '일체형 채널 제어부'에 대한 분해 저면 사시도, 도 5는 '일체형 채널 제어부'에 대한 분해 평면 사시도, 도 6은 '일체형 채널 제어부'에 대한 평면도, 도 7은 '일체형 채널 제어부'에 대한 결합된 단면도, 도 8은 '탐색카드'에 대한 사시도이다.2 is a perspective view of an apparatus for measuring electrical characteristics of a probe card according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a perspective view of a probe card according to an embodiment of the present invention. 5 is an exploded plane perspective view of the 'integrated channel control unit', FIG. 6 is a plan view of the 'integrated channel control unit', and FIG. 7 is a plan view of the 'integrated channel control unit' ', And FIG. 8 is a perspective view of the' navigation card '.

도 1 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 실시예에 따른 프로브 카드의 전기적 특성 측정장치는, 프로브 카드 전기적 측정장치에 있어서, 테이블(100), 테이블(100)의 상부에 형성된 피씨비 기판(2), 테이블(100)의 내부에 형성되는 전자식 릴레이, 피씨비 기판(2)의 일측에 장착되는 일체형 채널 제어부(4), 핀 탐색기(6), 계측기(8), 전원 제어부(92), 주제어부(94)를 포함한다. 1 to 8, an apparatus for measuring electrical characteristics of a probe card according to an embodiment of the present invention includes a table 100, a PCB 2 formed on the top of the table 100, An electronic relay formed inside the table 100, an integrated channel control unit 4 mounted on one side of the PCB 2, a pin search unit 6, a meter 8, a power control unit 92, 94).

테이블(100)은 지면에 지지되며 내부에 공간이 형성되고, 공간을 개폐하는 도어가 형성된다. The table 100 is supported on the ground, a space is formed therein, and a door for opening and closing the space is formed.

피씨비 기판(2)은 테이블(100)의 상부에 수평하게 장착되며, 일측에는 프로브 카드가 장착되는 프로브카드 장착부(24)가 형성되고, 타측에는 다수의 접점단자(22)가 형성되어 일체형 채널 제어부(4)가 통전 가능하게 결합된다. The PCB 2 is horizontally mounted on the upper portion of the table 100. The probe card mounting portion 24 on which a probe card is mounted is formed on one side and a plurality of contact terminals 22 are formed on the other side, (4) is energized.

테이블(100)의 내부 공간 일측에 전자식 릴레이가 형성되어 프로브 카드의 각 프로브와 측정부의 연결을 온/오프 시킨다. An electronic relay is formed on one side of the inner space of the table 100 to turn on / off the connection between each probe of the probe card and the measurement unit.

일체형 채널 제어부(4)는 피씨비 기판(2)의 접점단자(22)에 결합되며, 주제어부(94)와 전원 제어부(92)의 제어에 따라 릴레이의 구동을 제어하여 프로브 카드의 프로브와의 접속을 온/오프하게 된다. The integral channel control unit 4 is coupled to the contact terminal 22 of the PCB 2 and controls the driving of the relay in accordance with the control of the main control unit 94 and the power control unit 92, / RTI >

핀 탐색기(6)은 사용자의 조작에 따라 측정대상 프로브에 접속되어 측정대상 프로브 카드의 각 프로브로부터 출력되는 전류를 일체형 채널 제어부(4)에서 입력받아 주제어부로 출력하게 된다. The pin searcher 6 is connected to the measurement target probe according to the user's operation and receives the current output from each probe of the measurement target probe card from the integrated channel control unit 4 and outputs the current to the main control unit.

계측기(8)는 핀 탐색기(6)에 연결되며 액정화면과 각종 스위치가 형성되어 이루어진다. The meter 8 is connected to the pin searcher 6 and comprises a liquid crystal screen and various switches.

전원 제어부(92)는 상기 계측기(8)를 온/오프하게 된다. The power control unit 92 turns the meter 8 on and off.

주제어부(94)는 일체형 채널 제어부(4)를 제어하며, 프로브 카드의 각 프로브의 오픈여부검사, 전기적 특성을 측정하고 측정된 데이터를 출력한다.The main control unit 94 controls the integral channel control unit 4, checks whether each probe of the probe card is open, measures electrical characteristics, and outputs measured data.

프로브 카드에는 약 1400~1800개의 채널이 형성되어 있고, 일체형 채널 제어부(4)는 프로브 카드의 각 채널과 일대일 대응되게 형성된다. About 1400 to 1800 channels are formed on the probe card, and the integrated channel control unit 4 is formed so as to correspond one-to-one with the respective channels of the probe card.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 일체형 채널 제어부(4)는 박스형상으로 이루어지고 내부에 다수의 슬롯이 형성된 결합패널(41)로 구성되는 본체(42); 결합패널(41)의 슬롯에 결합되며 일측에는 피씨비 기판(2)의 접점단자(22)와 결합되는 입력부 소켓(442)이 형성되고, 타측에는 신호를 제어부로 송출하는 출력부 소켓(441)이 형성된 탐색카드(44);를 포함하여 구성된다. As shown in FIGS. 4 and 5, the integrated channel control unit 4 includes a main body 42 formed of a box-shaped coupling panel 41 having a plurality of slots formed therein; An input socket 442 coupled to the contact terminal 22 of the PCB 2 is formed on one side of the coupling panel 41 and an output socket 441 is connected to the other side of the input side socket 442 for transmitting a signal to the control unit And a formed navigation card 44.

본체(42)의 하부에 결합되며 입력부 소켓(442)이 삽입되는 관통공(450)이 형성된 제1지지대(45); 제1지지대(45)에 중첩 결합되며 상면에는 입력부 소켓(442)이 결합되는 커넥터(463)가 다수 형성되고, 하면에는 다수의 접속핀(461)이 형성된 플레이트(46); 플레이트(46)에 중첩 결합되며 다수의 접속핀(461)이 결합되도록 다수의 홀(470)이 형성된 제2지지대(47);를 포함하여 구성된다. A first support 45 coupled to a lower portion of the main body 42 and having a through hole 450 through which the input socket 442 is inserted; A plate 46 having a plurality of connectors 463 which are coupled to the first support 45 and have an input socket 442 on the upper surface thereof and a plurality of connection pins 461 on the lower surface thereof; And a second support 47 which is superimposed on the plate 46 and has a plurality of holes 470 formed therein so as to couple a plurality of connection pins 461 thereto.

제1지지대(45), 플레이트(46), 제2지지대(47)는 동일한 크기의 판상이며 3중으로 중첩되어 본체(42)를 지지하는 받침 역할을 하게 된다.The first support 45, the plate 46 and the second support 47 are plates of the same size and are stacked in triplicate to serve as a support for supporting the main body 42.

제1지지대(45)의 관통공(450)을 통해 입력부 소켓(442)이 관통되어 하부에 노출된다.The input socket 442 is penetrated through the through hole 450 of the first support base 45 and exposed at the lower portion.

노출된 입력부 소켓(442)이 다수의 접속핀(461)에 각기 대응하여 결합된다.The exposed input socket 442 is correspondingly coupled to the plurality of connection pins 461.

접속핀(461)의 단부가 제2지지대(47)의 홀(470)을 관통하여 노출된다. The end of the connection pin 461 is exposed through the hole 470 of the second support base 47.

상기 노출된 접속핀(461)의 단부가 피씨비 기판(2)의 다수의 접점단자(22)에 꽂혀지게 되어 일체형 채널 제어부(4)가 피씨비 기판(2)에 통전 가능하게 결합된다. The ends of the exposed connection pins 461 are inserted into the plurality of contact terminals 22 of the PCB 2 so that the integrated channel control unit 4 is electrically coupled to the PCB 2.

따라서 탐색카드(44)의 입력부 소켓(442)은 프로브 카드에 형성된 채널에 1:1로 대응되게 형성되므로, 일체형 채널 제어부(4)와 그에 연결된 다수의 접점단자(22)를 통해 프로브 카드를 검사하여 각 프로브의 오픈여부검사 및 전기적 특성을 측정할 수 있게 된다. Therefore, since the input socket 442 of the search card 44 is formed to correspond to the channels formed on the probe card 1: 1, the probe card can be inspected through the integrated channel control unit 4 and the plurality of contact terminals 22 connected thereto So that each probe can be checked for openness and electrical characteristics can be measured.

이와 같이 구성된 본 실시예의 작용을 설명하면 다음과 같다.The operation of this embodiment will be described as follows.

테이블(100)의 프로브카드 장착부(24)에 프로브 카드(미도시)를 안착시킨다. 프로브 카드의 채널 갯수에 대응하도록 일체형 채널 제어부(4)에 탐색카드(44)를 꽂아 장착한다. A probe card (not shown) is seated on the probe card mounting portion 24 of the table 100. The navigation card 44 is inserted into the integrated channel control unit 4 so as to correspond to the number of channels of the probe card.

탐색카드(44)의 각 입력부 소켓(442)이 프로브카드의 채널 갯수에 일대일 대응하도록 준비한다. The input socket 442 of the search card 44 corresponds to the number of channels of the probe card one to one.

프로브카드의 채널에 통전되도록 한 일체형 채널 제어부(4)의 신호는 핀 탐색기(6) 및 계측기(8) 그리고 주제어부(94)로 송신되어 신호 전달이 이루어지게 되고, 프로브 카드의 채널의 이상 여부를 판독할 수 있다. The signal of the integral channel control unit 4 which is energized to the channel of the probe card is transmitted to the pin searcher 6, the meter 8 and the main control unit 94 so that signal transmission is performed. Can be read.

비록 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정 및 변형이 가능한 것은 당업자라면 용이하게 인식할 수 있을 것이며, 이러한 변경 및 수정은 모두 첨부된 청구의 범위에 속함은 자명하다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the invention, and all such changes and modifications are intended to be within the scope of the appended claims. It is self-evident.

2 : 피씨비 기판 4 : 일체형 채널 제어부
6 : 핀 탐색기 8 : 계측기
92 : 전원제어부 94 : 주제어부
100 : 테이블 2: PCB substrate 4: integrated channel control unit
6: Pin Explorer 8: Meter
92: Power control unit 94:
100: Table

Claims (5)

다수의 채널이 형성된 프로브 카드를 검사하는 프로브 카드 전기적 측정장치에 있어서,
테이블;
테이블의 상부에 수평하게 장착되며 일측에는 프로브 카드가 장착되는 프로브카드 장착부가 형성되고, 타측에는 다수의 접점단자가 형성되어 일체형 채널 제어부가 결합되는 피씨비 기판;
테이블의 일측에 형성되며, 프로브 카드의 각 프로브와 측정부의 연결을 온/오프 시키는 전자식 릴레이;
상기 피씨비 기판의 접점단자에 결합되며, 주제어부와 전원 제어부의 제어에 따라 상기 전자식 릴레이의 구동을 제어하여 프로브 카드의 프로브와의 접속을 온/오프하는 일체형 채널 제어부;
사용자의 조작에 따라 측정대상 프로브에 접속되어 측정대상 프로브로부터 출력되는 전류를 일체형 채널 제어부에서 입력받아 주제어부로 출력하는 핀 탐색 핀;
핀 탐색기에 연결된 계측기;
상기 계측기를 온/오프하는 전원 제어부;
일체형 채널 제어부를 제어하며, 프로브 카드의 각 프로브의 오픈여부검사, 전기적 특성을 측정하고 측정된 데이터를 출력하는 주제어부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 전기적 검사장치.1. A probe card electrical measuring apparatus for inspecting a probe card having a plurality of channels formed therein,
table;
A PCB board mounted horizontally on an upper portion of the table, a probe card mounting portion on one side of which a probe card is mounted, and a plurality of contact terminals formed on the other side thereof,
An electronic relay formed on one side of the table for turning on and off the connection between each probe of the probe card and the measurement unit;
An integrated channel controller coupled to a contact terminal of the FPC board and controlling the driving of the electronic relay according to the control of the main controller and the power controller to turn on / off connection with the probe of the probe card;
A pin search pin connected to a measurement target probe according to a user operation to receive a current output from the measurement target probe from the integrated channel control unit and output to the main control unit;
A meter connected to the pin navigator;
A power controller for turning on / off the meter;
A main controller for controlling the integrated channel controller, checking whether each probe of the probe card is open, measuring electrical characteristics, and outputting measured data;
Wherein the probe card electrically inspects the probe card. 제 1항에 있어서,
상기 일체형 채널 제어부는
박스형상으로 이루어지고 내부에 다수의 슬롯이 형성된 결합패널로 구성되는 본체;
상기 결합패널의 슬롯에 결합되며 일측에는 테이블의 접점단자와 결합되는 입력부 소켓이 형성되고, 타측에는 신호를 제어부로 송출하는 출력부 소켓이 형성된 탐색카드;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 전기적 검사장치.The method according to claim 1,
The integrated channel control unit
A body formed of a box-shaped coupling panel having a plurality of slots formed therein;
An input socket coupled to a slot of the coupling panel and coupled to a contact terminal of the table at one side and an output socket for transmitting a signal to the controller at the other side;
Wherein the probe card electrically inspects the probe card. 제 2항에 있어서,
상기 본체의 하부에 결합되며 입력부 소켓이 삽입되는 관통공이 형성된 제1지지대;
상기 제1지지대에 중첩 결합되며 상면에는 입력부 소켓이 결합되는 커넥터가 다수 형성되고, 하면에는 다수의 접속핀이 형성된 플레이트;
상기 플레이트에 중첩 결합되며 다수의 접속핀이 결합되도록 다수의 홀이 형성된 제2지지대;를 포함하고,
상기 접속핀의 단부가 제2지지대의 홀을 관통하여 노출되며,
상기 노출된 접속핀의 단부가 피씨비 기판의 다수의 접점단자에 꽂혀지게 되어 일체형 채널 제어부가 피씨비 기판에 통전 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 전기적 검사장치.3. The method of claim 2,
A first support which is coupled to a lower portion of the main body and has a through hole through which an input socket is inserted;
A plurality of connectors each of which is coupled to the first support and to which an input socket is coupled on an upper surface thereof and a plurality of connection pins are formed on a lower surface thereof;
And a second support member coupled to the plate and having a plurality of holes for coupling a plurality of connection pins,
The end of the connecting pin is exposed through the hole of the second support,
And an end of the exposed connection pin is inserted into a plurality of contact terminals of the PCB, so that the integrated channel control unit is electrically coupled to the PCB. 제 3항에 있어서,
상기 제1지지대, 플레이트, 제2지지대는 동일한 크기의 판상이며, 제1지지대, 플레이트, 제2지지대가 3중으로 중첩되어 상기 본체를 지지하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 전기적 검사장치.The method of claim 3,
Wherein the first support, the plate, and the second support are plate-shaped in the same size, and the first support, the plate, and the second support are stacked in triple to support the body. 제 1항에 있어서,
상기 탐색카드의 입력부 소켓은 상기 프로브 카드에 형성된 다수의 채널에 대응되게 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 전기적 검사장치.
The method according to claim 1,
Wherein the input socket of the search card is formed to correspond to a plurality of channels formed on the probe card.
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