KR20160120988A - Apparatus for measuring fluorescence lifetime - Google Patents

Apparatus for measuring fluorescence lifetime Download PDF

Info

Publication number
KR20160120988A
KR20160120988A KR1020150050311A KR20150050311A KR20160120988A KR 20160120988 A KR20160120988 A KR 20160120988A KR 1020150050311 A KR1020150050311 A KR 1020150050311A KR 20150050311 A KR20150050311 A KR 20150050311A KR 20160120988 A KR20160120988 A KR 20160120988A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pump light
fluorescence
pump
optical fiber
multimode optical
Prior art date
Application number
KR1020150050311A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102248372B1 (en
Inventor
주정진
Original Assignee
한국전자통신연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국전자통신연구원 filed Critical 한국전자통신연구원
Priority to KR1020150050311A priority Critical patent/KR102248372B1/en
Priority to CN201510520958.8A priority patent/CN106053400B/en
Publication of KR20160120988A publication Critical patent/KR20160120988A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102248372B1 publication Critical patent/KR102248372B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/6428Measuring fluorescence of fluorescent products of reactions or of fluorochrome labelled reactive substances, e.g. measuring quenching effects, using measuring "optrodes"
    • G01N21/643Measuring fluorescence of fluorescent products of reactions or of fluorochrome labelled reactive substances, e.g. measuring quenching effects, using measuring "optrodes" non-biological material
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/636Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited using an arrangement of pump beam and probe beam; using the measurement of optical non-linear properties
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/645Specially adapted constructive features of fluorimeters
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/6428Measuring fluorescence of fluorescent products of reactions or of fluorochrome labelled reactive substances, e.g. measuring quenching effects, using measuring "optrodes"
    • G01N2021/6434Optrodes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/645Specially adapted constructive features of fluorimeters
    • G01N2021/6463Optics
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/645Specially adapted constructive features of fluorimeters
    • G01N2021/6463Optics
    • G01N2021/6471Special filters, filter wheel
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/645Specially adapted constructive features of fluorimeters
    • G01N2021/6484Optical fibres
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06Illumination; Optics
    • G01N2201/061Sources
    • G01N2201/06113Coherent sources; lasers
    • G01N2201/0612Laser diodes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/08Optical fibres; light guides

Abstract

The present invention relates to a device to measure a lifetime of a fluorescence. According to an embodiment of the present invention, the device to measure the lifetime of the fluorescence comprises: a plurality of pump light sources which outputs a pump light of different wavelengths; a pump light combiner which combines the pump lights from the pump light sources, and outputs the result to a first multimode fiber (MMF); the first MMF which delivers the pump light inputted from the pump light combiner; a light isolator which allows the pump light delivered through the first MMF to pass through, blocking light inputted into the first MMF; a wavelength selection reflection filter which allows the pump light passing through the light isolator to pass through and reflects fluorescent light from a specimen; a second MMF which delivers the pump light passing through the wavelength selection reflection filter to the specimen and the fluorescent light from the specimen to the wavelength selection reflection filter; a third MMF which delivers the fluorescent light reflected from the wavelength selection reflection filter; a cut-off filter which absorbs the pump light wavelength from the fluorescent light delivered from the third MMF, allowing the remaining fluorescent light to pass through; and a photodiode which converts the fluorescent light passing through the cut-off filter into an electric signal.

Description

형광 수명 측정 장치{APPARATUS FOR MEASURING FLUORESCENCE LIFETIME}{APPARATUS FOR MEASURING FLUORESCENCE LIFETIME}

본 발명은 형광 수명 측정 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a fluorescence lifetime measuring apparatus.

고출력 고체 레이저는 희토류 이온이 미량 첨가된 단결정을 로드(rod) 혹은 디스크(disk) 형태로 제조하여 레이저 발진 매질로 사용한다. 이때, 레이저 발진 매질 내 희토류 이온의 도핑 농도 및 형광 수명은 레이저 발진 특성을 결정하는 매질의 핵심적인 물질 특성이다.High-power solid-state lasers are used as a laser oscillation medium in the form of rods or discs, in which rare-earth ions are added in small quantities. At this time, the doping concentration and fluorescence lifetime of the rare earth ions in the laser oscillation medium is a key material characteristic of the medium which determines the laser oscillation characteristics.

일반적으로 형광 수명은 시간 분해 형광 분광학(time resolved fluorescence spectroscopy)을 사용하여 형광세기 감쇄의 시간적 거동을 측정하여 형광 수명을 결정한다. 하지만, 종래기술에 따른 형광 수명 측정 방법은 형광의 특정 파장을 선택하는 방법으로 분광기(spectrometer)를 사용하기 때문에 측정 장비의 집적화 및 소형화에 한계가 있다.In general, the fluorescence lifetime is determined by measuring the temporal behavior of fluorescence intensity attenuation using time resolved fluorescence spectroscopy. However, since the fluorescence lifetime measurement method according to the prior art uses a spectrometer as a method of selecting a specific wavelength of fluorescence, integration and miniaturization of measurement equipment are limited.

도핑 농도는 화학적 분석법인 ICP-MS(Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer)를 사용하여 미량 원소의 질량을 측정하는 방법과 광흡수 분광법(optical absorption spectroscopy)을 사용하여 특정 희토류 이온의 광흡수 정도를 측정하여 농도를 분석하는 방법이 있다. The concentration of doping can be measured by measuring the mass of a trace element using an inductively coupled plasma mass spectrometer (ICP-MS), which is a chemical analysis method, and by measuring the light absorption of a specific rare earth ion using optical absorption spectroscopy .

ICP-MS는 특정 용매에 단결정을 녹여 단결정을 구성하는 원자들의 질량비를 측정하기 때문에 측정 대상 시편을 파괴해야 하고, 용액 내에 존재하는 희토류 이온 농도의 평균값을 제공한다. 따라서, ICP-MS는 로드 혹은 디스크 형태의 고체 상태 시료에 대한 도핑 농도를 측정할 수 없고, 도핑 농도의 공간 분포를 측정할 수 없다는 문제점이 있다. 또한, 광흡수 분광법은 디스크 형태의 고체 시료를 대상으로 농도를 측정할 수 있으나, 시료에 입사하는 광의 난반사 및 산란을 최소화하기 위해 디스크 양면을 λ/5 미만의 광 품질(optical quality) 표면으로 가공해야 하고, 로드 형태의 시료는 측정할 수 없다는 문제점이 있다. 나아가, 광흡수 측정 장비는 광흡수 정도(optical density, OD) 4 미만에서만 정밀한 측정이 가능하므로 측정 가능한 disk 두께의 한계가 있으며(희토류 이온의 종류 및 도핑 농도에 따라 차이가 있어나 일반적으로 약 5 mm 미만 두께를 사용한다), 광흡수 분광기는 사용하는 빛의 beam size가 직경 약 3 mm 이상으로 disk 내에서 측정 가능한 도핑농도의 공간 분해능은 약 3 mm 이상이라는 문제점이 있다.ICP-MS dissolves a single crystal in a specific solvent to measure the mass ratio of the atoms constituting the single crystal. Therefore, the sample to be measured must be destroyed and the average value of the concentration of rare earth ions present in the solution is provided. Therefore, the ICP-MS can not measure the doping concentration with respect to the solid state sample in the form of rod or disk, and the spatial distribution of the doping concentration can not be measured. In addition, the optical absorption spectroscopy can measure the concentration of a disk-shaped solid sample. However, in order to minimize irregular reflection and scattering of light incident on the sample, both surfaces of the disk are processed to an optical quality surface of less than? / 5 There is a problem that a rod-shaped sample can not be measured. Furthermore, since the optical absorption measuring device can precisely measure only at an optical density (OD) of less than 4, there is a limit of the measurable disk thickness (depending on the kind of the rare earth ion and the doping concentration, mm), the optical absorption spectroscope has a problem that the beam size of the light used is about 3 mm or more in diameter and the spatial resolution of the doping concentration measurable in the disk is about 3 mm or more.

본 발명은 시료를 파괴하지 않고, 정확하고 용이하게 형광 수명을 측정할 수 있는 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide an apparatus which can accurately and easily measure fluorescence lifetime without destroying a sample.

본 발명의 일 실시예에 따른 형광 수명 측정 장치는, 서로 다른 파장의 펌프광을 출력하는 복수 개의 펌프 광원; 상기 복수 개의 펌프 광원에서 출력되는 펌프광을 결합하여, 제1 다중모드 광섬유(MultiMode Fiber, MMF)로 출력하는 펌프광 결합기; 상기 펌프광 결합기로부터 입력 받은 펌프광을 전달하는 제1 다중모드 광섬유; 상기 제1 다중모드 광섬유로부터 전달받은 펌프광은 투과하고, 상기 제1 다중모드 광섬유로 입력되는 광은 차단하는 광 아이솔레이터; 상기 광 아이솔레이터를 투과한 펌프광은 투과하고, 시료에서 발생한 형광은 반사하는 파장선택 반사필터; 상기 파장선택 반사필터를 투과한 펌프광을 상기 시료로 전달하고, 상기 시료에서 발생한 형광을 상기 파장선택 반사필터로 전달하는 제2 다중모드 광섬유; 상기 파장선택 반사 필터에서 반사되는 형광을 전달하는 제3 다중모드 광섬유; 상기 제3 다중모드 광섬유로부터 전달받은 형광에서 펌프광 파장을 흡수하고, 남은 형광을 통과시키는 차단 필터(cut-off filter); 및 상기 차단 필터를 통과한 형광을 전기 신호로 변환하는 포토다이오드(photodiode)를 포함하는 것을 특징으로 한다.The apparatus for measuring fluorescence lifetime according to an embodiment of the present invention includes: a plurality of pump light sources for outputting pump lights of different wavelengths; A pump coupler coupling the pump light output from the plurality of pump light sources and outputting the pump light to a first multi-mode fiber (MMF); A first multimode optical fiber for transmitting the pump light received from the pump coupler; An optical isolator that transmits the pump light transmitted from the first multimode optical fiber and blocks light input to the first multimode optical fiber; A wavelength selective reflection filter that transmits the pump light transmitted through the optical isolator and reflects the fluorescence emitted from the sample; A second multimode optical fiber for transmitting the pump light transmitted through the wavelength selective reflection filter to the sample and transmitting the fluorescence generated from the sample to the wavelength selective reflection filter; A third multimode optical fiber for transmitting the fluorescence reflected from the wavelength selective reflection filter; A cut-off filter for absorbing the pump light wavelength from the fluorescence transmitted from the third multimode optical fiber and passing the remaining fluorescence; And a photodiode for converting the fluorescence passing through the blocking filter into an electric signal.

본 발명에 따르면, 본 발명은 시료를 파괴하지 않고, 정확하고 용이하게 형광 수명을 측정할 수 있다.According to the present invention, the present invention can accurately and easily measure the fluorescence lifetime without destroying the sample.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 형광 수명 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 종래 기술을 이용하여 측정한 시료의 광흡수 스펙트럼을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 형광 수명 장치를 이용하여 측정한 시료의 형광 감쇠 역학(decay dynamics)을 나타내는 도면이다.
1 is a view showing a fluorescence lifetime apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a diagram showing a light absorption spectrum of a sample measured using a conventional technique.
FIG. 3 is a graph showing fluorescence decay dynamics of a sample measured using a fluorescence lifetime apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 통해 설명될 것이다. 그러나 본 발명은 여기에서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 단지, 본 실시예들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여 제공되는 것이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention, and how to accomplish it, will be described with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in other forms. The embodiments are provided so that those skilled in the art can easily carry out the technical idea of the present invention to those skilled in the art.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부분을 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
Throughout the specification, when a part is referred to as being "connected" to another part, it includes not only "directly connected" but also "indirectly connected" . Throughout the specification, when an element is referred to as "comprising ", it means that it can include other elements as well, without excluding other elements unless specifically stated otherwise.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 형광 수명 장치를 나타내는 도면이다. 1 is a view showing a fluorescence lifetime apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 형광 수명 장치는 펌프 광원부(100), 광 전달부(200), 수광부(300) 및 형광 수명 측정부(400)로 구성된다. 다만, 이러한 구분은 기능상 구분에 불과하며, 실제 구성 요소들은 변형 가능하다. The fluorescence lifetime apparatus according to an embodiment of the present invention includes a pump light source unit 100, a light transmission unit 200, a light receiving unit 300, and a fluorescence lifetime measurement unit 400. However, this distinction is merely a functional division, and actual components can be modified.

펌프 광원부(100)는 복수 개의 펌프 광원(111, 113,…, 11k), 펌프광 결합기(150) 및 제1 다중모드 광섬유(Multimode Fiber, MMF1, 170) 를 포함할 수 있다. 나아가, 펌프 광원부(100)는 펌프광 제어부(130)를 더 포함할 수 있다. The pump light source unit 100 may include a plurality of pump light sources 111, 113, ..., 11k, a pump light coupler 150 and a first multimode fiber (MMF1, 170). Furthermore, the pump light source unit 100 may further include a pump-light control unit 130.

복수 개의 펌프 광원(111, 113,…, 11k)은 서로 다른 파장의 펌프광을 출력한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 복수 개의 펌프 광원(111, 113,…, 11k)은 다양한 종류의 희토류 이온(Nd3 +, Er3 +, Yb3 + 등)의 여기 전자 상태의 광흡수 피크 파장(peak wavelength)의 광을 출력할 수 있다. 또한, 이러한 복수 개의 펌프 광원(111, 113,…, 11k)은 레이저 다이오드를 포함할 수 있다. The plurality of pump light sources 111, 113, ..., 11k output pump lights of different wavelengths. According to an embodiment of the present invention, the plurality of pump light sources 111, 113, ..., and 11k are arranged in the order of light absorption peaks of excitation electrons of various kinds of rare earth ions (Nd 3 + , Er 3 + , Yb 3 + And can output light having a peak wavelength. In addition, the plurality of pump light sources 111, 113, ..., 11k may include laser diodes.

본 발명의 일 실시예에 따른 형광 수명 측정 장치는, 이러한 복수 개의 펌프 광원(111, 113,…, 11k)을 제어할 수 있는 펌프광 제어부(130)를 포함할 수 있다. 펌프광 제어부(130)는 복수 개의 펌프 광원(111, 113,…, 11k)이 펄스 모드(pulse mode)로 동작하고, 사각 펄스(square pulse) 및 특정 반복율(repetition rate)로 구동하도록 제어할 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 펌프광 제어부(130)는 측정 대상 형광의 수명 범위에 따라 복수 개의 펌프 광원(111, 113,…, 11k)의 반복율과 펄스폭(pulse width)를 가변적으로 조절할 수 있다. The apparatus for measuring fluorescence lifetime according to an embodiment of the present invention may include a pump control unit 130 for controlling the plurality of pump light sources 111, 113, ..., 11k. The pump control unit 130 can control the plurality of pump light sources 111, 113, ..., 11k to operate in a pulse mode and to drive with a square pulse and a repetition rate . According to an embodiment of the present invention, the pump control unit 130 may vary the repetition rate and the pulse width of the plurality of pump light sources 111, 113, ..., 11k according to the lifetime range of the fluorescence to be measured Can be adjusted.

펌프광 결합기(150)는 복수 개의 펌프 광원(111, 113,…, 11k)에서 출력되는 펌프광을 결합하여, 제1 다중모드 광섬유(MultiMode Fiber, MMF)로 출력한다. 즉, 펌프광 결합기(150)는 서로 다른 파장의 펌프광을 제1 다중모드 광섬유(170)로 효과적으로 입력하는 수단을 제공하는 것이다. 이를 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 펌프광 결합기(150)는 광도파로 기반 결합기(waveguide coupler) 또는 렌즈 조합을 이용한 free-space 결합기를 포함할 수 있다. The pump light combiner 150 combines the pump light output from the plurality of pump light sources 111, 113, ..., 11k and outputs the combined pump light to a first multi-mode fiber (MMF). That is, the pump light coupler 150 provides a means for efficiently inputting pump lights of different wavelengths to the first multimode optical fiber 170. To this end, the pump light coupler 150 according to an embodiment of the present invention may include a waveguide coupler or a free-space coupler using a lens combination.

제1 다중모드 광섬유(170)는 펌프광 결합기(150)로부터 입력 받은 펌프광을 전달하는 역할을 한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1 다중모드 광섬유(170)는 펌프광 결합기(150)로부터 입력 받은 펌프광을 광 아이솔레이터(210)로 출력한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1 다중모드 광섬유(170)는 입출력부에 광의 결합 효율을 높이는 렌즈(171, 172)를 포함할 수 있다.The first multimode optical fiber 170 transmits the pump light inputted from the pump light coupler 150. According to an embodiment of the present invention, the first multimode optical fiber 170 outputs the pump light received from the pump light coupler 150 to the optical isolator 210. According to an embodiment of the present invention, the first multimode optical fiber 170 may include lenses 171 and 172 for increasing the coupling efficiency of light to the input / output unit.

종래 기술에 따르면, 다양한 종류의 희토류 이온을 여기하기 위해서는 여러 종류의 광원을 사용하여 여기 해야 하였다. 하지만, 본 발명에 따르면, 복수 개의 펌프 광원(111, 113,…, 11k)과 그 출력을 결합하는 펌프광 결합기(150)을 이용함으로써, 하나의 집적된 펌프 광원 모듈을 구성할 수 있고, 이에 따라, 여러 파장의 펌프광의 생성이 가능하여 다양한 종류의 희토류 이온을 여기 할 수 있다. According to the prior art, in order to excite various kinds of rare earth ions, various kinds of light sources have to be excited. However, according to the present invention, by using a plurality of pump light sources 111, 113, ..., and 11k and a pump light coupler 150 coupling the outputs thereof, one integrated pump light source module can be constructed, , It is possible to generate various wavelengths of pump light and excite various kinds of rare earth ions.

또한, 제1 다중모드 광섬유(170)를 이용하여, 별도의 광정렬이 필요하지 않고, 자유 공간에 노출된 종래의 기존 시간 분해 분광측정장비와 비교하여, 장비 운영 환경이 실험실 환경이 아닌 일반 잉곳(Ingot) 생산 현장에서도 운영이 가능하다는 장점이 있다. 나아가, 레이저 다이오드를 이용하는 경우 펌프 광원의 소형화가 용이하다. Further, as compared with conventional time-resolved spectroscopic measurement apparatuses which do not require separate optical alignment and are exposed to free space using the first multimode optical fiber 170, (Ingot) production site. Furthermore, in the case of using a laser diode, it is easy to miniaturize the pump light source.

광 전달부(200)는 광 아이솔레이터(210), 파장선택 반사필터(230) 및 제2 다중모드 광섬유(MMF2, 250)를 포함할 수 있다. The optical transmission unit 200 may include an optical isolator 210, a wavelength selective reflection filter 230, and a second multimode optical fiber (MMF2, 250).

광 아이솔레이터(210)는 제1 다중모드 광섬유(170)로부터 전달받은 펌프광은 투과하고, 제1 다중모드 광섬유(170)로 입력되는 광은 차단한다. 즉, 광 아이솔레이터(210)는 펌프 광원부(100)에서 발생한 펌프광은 시료(500)로 전달하지만, 시료(500)에서 발생한 형광 및 제2 다중모드 광섬유(MMF2, 250) 산란광을 펌프 광원부(100)로 입력되지 않도록 차단하는 역할을 한다. The optical isolator 210 transmits the pump light transmitted from the first multimode optical fiber 170 and blocks the light input to the first multimode optical fiber 170. The optical isolator 210 transmits the pump light generated from the pump light source unit 100 to the sample 500 and the fluorescence generated from the sample 500 and the scattered light of the second multimode optical fiber MMF2 250, As shown in FIG.

파장선택 반사필터(230)는 광 아이솔레이터(210)를 투과한 펌프광은 투과하고, 시료(500)에서 발생한 형광은 반사한다. 즉, 파장선택 반사필터(230)는 펌프 광원부(100)에서 발생한 펌프광이 광 아이솔레이터(210)를 투과하여 입력되면, 이를 제2 다중모드 광섬유(250)를 통해 시료(500)로 전달하고, 시료(500)에서 발생한 형광은 제2 다중모드 광섬유(250)를 통해 수신하여 수광부(300)로 전달하는 역할을 수행한다. The wavelength selective reflection filter 230 transmits the pump light transmitted through the optical isolator 210 and reflects the fluorescence emitted from the sample 500. That is, when the pump light generated from the pump light source unit 100 is transmitted through the optical isolator 210, the wavelength selective reflection filter 230 transmits the pump light to the sample 500 through the second multimode optical fiber 250, Mode optical fiber 250 and transmits the fluorescence generated in the second multimode optical fiber 250 to the light receiving unit 300.

제2 다중모드 광섬유(MMF2, 250)는 파장선택 반사필터(230)를 투과한 펌프광을 시료(500)로 전달하고, 시료(500)에서 발생한 형광을 파장선택 반사필터(230)로 전달한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 제2 다중모드 광섬유(250)는 입출력부에 광의 결합 효율을 높이는 렌즈(251, 252)를 포함할 수 있다. 또한, 제2 다중모드 광섬유(250)는 출력부에 볼록 렌즈(252)를 포함하고, 볼록 렌즈(252)를 통해 빔 웨이스트(Beam waist) 0.1mm 미만의 펌프광을 집광하여 시료(500)로 출력할 수 있다. 이러한 과정을 통해 시료(500)의 희토류 이온 전자 상태를 0.1 mm 미만 공간 분해능으로 여기 시킬 수 있다. 이때, 시료를 x, y, z 방향으로 각각 이동하여 펌프광을 조사하게 되면 형광의 공간적 분포를 측정할 수 있고 이를 통해 도핑 농도의 공간적 분포를 계산할 수 있다. The second multimode optical fiber MMF2 250 transmits the pump light transmitted through the wavelength selective reflection filter 230 to the sample 500 and transmits the fluorescence generated from the sample 500 to the wavelength selective reflection filter 230. [ According to an embodiment of the present invention, the second multimode optical fiber 250 may include lenses 251 and 252 for increasing the coupling efficiency of light to the input / output unit. The second multimode optical fiber 250 includes a convex lens 252 at an output portion and condenses the pump light having a beam waist less than 0.1 mm through the convex lens 252 and outputs the pump light to the sample 500 can do. Through this process, the rare-earth ion electron state of the sample 500 can be excited to spatial resolution of less than 0.1 mm. At this time, when the sample is moved in the x, y, and z directions and the pump is irradiated, the spatial distribution of fluorescence can be measured and the spatial distribution of the doping concentration can be calculated.

펌프광에 의해 여기된 희토류 이온은 펌프 펄스 “ON” 상태에서 연속적으로 형광을 방출하며, 펄스 “OFF”시작부터 형광 세기가 감쇄하는 시간적 거동을 보인다. 이러한 특성을 갖는 형광은 광 전달부(200)를 통해 수광부(300)로 전달된다. 특히, 광 전달부(200)에서 파장반사 필터(230) 및 제2 다중모드 광섬유(250)는 펌프광과 신호광이 동시에 공존하는 구간으로, 펌프광을 시료에 입력하고, 시료(500)에서 발생한 형광을 수광부(300)로 전달하는 역할을 수행한다. The rare earth ions excited by the pump light emit fluorescence continuously in the pump pulse "ON" state, and exhibit a temporal behavior in which the fluorescence intensity attenuates from the beginning of the pulse "OFF". The fluorescence having such characteristics is transmitted to the light receiving unit 300 through the light transmitting unit 200. Particularly, in the optical transmission unit 200, the wavelength reflection filter 230 and the second multimode optical fiber 250 are sections in which the pump light and the signal light coexist simultaneously. The pump light is input to the sample and the fluorescence generated in the sample 500 To the light receiving unit 300.

종래 기술에 따르면, 공간 분해능이 낮고, 광정렬이 필요하여 사용이 불편하다는 단점이 있으나, 본 발명에 따르면, 제2 다중모드 광섬유(250)를 이용하여, 별도의 광정렬이 필요하지 않고, 자유 공간에 노출된 종래의 기존 시간 분해 분광측정장비와 비교하여, 장비 운영 환경이 실험실 환경이 아닌 일반 잉곳(Ingot) 생산 현장에서도 운영이 가능하다는 장점이 있다. 또한, 다양한 형태 (Ingot, rod, disk)를 갖는 시료의 형광 수명을 시료의 파괴 없이 0.1 mm 미만의 공간 분해능으로 측정할 수 있다.According to the present invention, there is a disadvantage in that the spatial resolution is low and the optical alignment is required, which is inconvenient to use. However, according to the present invention, the second multimode optical fiber 250 is used, Compared with conventional time-resolved spectroscopic measurement equipment exposed to space, the equipment operating environment is advantageous in that it can be operated not only in a laboratory environment, but also in a general ingot production site. In addition, the fluorescence lifetime of a sample having various shapes (ingots, rods, disks) can be measured with a spatial resolution of less than 0.1 mm without destroying the sample.

수광부(300)는 제3 다중모드 광섬유(MMF3, 310), 차단 필터(330) 및 포토다이오드(350)를 포함할 수 있다. The light receiving unit 300 may include a third multimode optical fiber (MMF 3, 310), a cutoff filter 330, and a photodiode 350.

제3 다중모드 광섬유(310)는 파장선택 반사 필터(230)에서 반사되는 형광을 전달한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 제3 다중모드 광섬유(310)는 파장선택 반사 필터(230)에서 반사되는 형광을 입력 받아 차단 필터(cut-off filter, 330)로 출력한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 제3 다중모드 광섬유(310)는 입출력부에 광의 결합 효율을 높이는 렌즈(311, 312)를 포함할 수 있다.The third multimode optical fiber 310 transmits the fluorescence reflected from the wavelength selective reflection filter 230. According to an embodiment of the present invention, the third multimode optical fiber 310 receives the fluorescence reflected from the wavelength selective reflection filter 230 and outputs the fluorescence to a cut-off filter 330. According to an embodiment of the present invention, the third multimode optical fiber 310 may include lenses 311 and 312 that increase coupling efficiency of light to the input / output unit.

차단 필터(330)는 제3 다중모드 광섬유(310)로부터 전달받은 형광에서 펌프광 파장을 흡수하거나 반사하고, 남은 형광을 통과시킨다. 즉, 차단 필터(330)는 포토다이오드(350)로 입력되는 펌프광의 광 파워를 최소화하기 위해 펌프광 파장은 흡수 혹은 반사 하고 형광은 투과한다. The blocking filter 330 absorbs or reflects the pump light wavelength from the fluorescence transmitted from the third multimode optical fiber 310, and passes the remaining fluorescence. That is, in order to minimize the optical power of the pump light input to the photodiode 350, the cutoff filter 330 absorbs or reflects the wavelength of the pump light and transmits the fluorescence.

포토다이오드(350)는 차단 필터를 통과한 형광을 전기 신호로 변환하는 역할을 수행한다. 즉, 형광을 분석할 수 있는 형태의 신호로 변환하는 것이다. The photodiode 350 serves to convert the fluorescence that has passed through the blocking filter into an electrical signal. That is, it converts the fluorescence into a signal of a type that can be analyzed.

종래 기술에 따르면, 파장 선별을 위하여 분광기(monochromator)를 사용함으로써 형광 수명 측정 장치의 소형화가 어려웠으나, 본 발명에 따르면, 수광부를 제3 다중모드 광섬유(MMF3, 310), 차단 필터(330) 및 포토다이오드(350)로 단순화 하여, 형광 수명 측정 장치의 소형화가 가능하다. 또한, 제3 다중모드 광섬유(310)를 이용하여, 별도의 광정렬이 필요하지 않고, 자유 공간에 노출된 종래의 기존 시간 분해 분광측정장비와 비교하여, 장비 운영 환경이 실험실 환경이 아닌 일반 잉곳(Ingot) 생산 현장에서도 운영이 가능하다는 장점이 있다.According to the present invention, it is difficult to miniaturize the fluorescence lifetime measuring apparatus by using a monochromator for wavelength selection. However, according to the present invention, the light receiving unit is connected to the third multimode optical fiber (MMF3, 310) The photodiode 350 can be simplified to make it possible to miniaturize the fluorescence lifetime measuring device. Further, as compared with conventional time-resolved spectroscopic measurement apparatuses which do not require separate optical alignment and are exposed to free space using the third multimode optical fiber 310, (Ingot) production site.

형광 수명 측정부(400)는 포토다이오드(350)가 변환한 전기 신호를 분석하여 형광 수명을 측정하는 역할을 수행한다. 형광 수명 측정부(400)는 증폭기(410), A/D 컨버터(430) 및 신호분석부(450)를 포함할 수 있다. The fluorescence lifetime measuring unit 400 analyzes the electrical signal converted by the photodiode 350 and measures fluorescence lifetime. The fluorescence lifetime measuring unit 400 may include an amplifier 410, an A / D converter 430, and a signal analyzer 450.

증폭기(410)는 포토다이오드(350)로부터 수신한 신호를 해석 가능한 크기로 증폭하고, A/D 컨버터(430)는 증폭된 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하며, 신호분석부(450)는 디지털 신호를 분석하여 형광 수명을 측정한다. 이때, 증폭기(410)는 20MHZ 이상의 광대역 증폭기를 사용할 수 있으며, 여러 번 측정된 측정값을 평균하여 형광 수명을 측정할 수 있다. The A / D converter 430 converts the amplified analog signal into a digital signal. The signal analyzer 450 converts the digital signal into a digital signal, And the fluorescence lifetime is measured. At this time, the amplifier 410 can use a broadband amplifier of 20 MHZ or more and can measure the fluorescence lifetime by averaging measured values measured several times.

본 발명에 따르면, 펌프 광원부(100) 및 수광부(300)를 집적화, 단순화하여 형광 수명 장치의 크기를 줄일 수 있고, 다중모드 광섬유(150, 250, 310)를 이용함으로써, 광경로를 단순화하고, 광정렬이 불필요하며, 일반 생산 현장에서의 장비 운영이 가능하다. According to the present invention, it is possible to reduce the size of the fluorescence lifetime device by integrating and simplifying the pump light source unit 100 and the light receiving unit 300. By using the multimode optical fibers 150, 250 and 310, the optical path can be simplified, Optical alignment is unnecessary and equipment operation is possible in the general production site.

나아가, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 형광 수명 측정부(400)에서 측정한 형광 수명을 바탕으로 수학식(1)을 이용하여 상기 시료의 도핑 농도를 계산하는 도핑 농도 계산부를 더 포함할 수 있다. Further, according to an embodiment of the present invention, the apparatus may further include a doping concentration calculation unit for calculating a doping concentration of the sample using Equation (1) based on the fluorescence lifetime measured by the fluorescence lifetime measuring unit 400 have.

C = Q [(τof) -1]1/2 수학식(1)C = Q [(? O /? F ) -1] 1/2 Equation (1)

C : 도핑 농도, Q : 담금질 매개 변수(quenching parameter), τo : 비방사 에너지 전달 과정이 없는 경우의 여기 전자 상태 수명, τf : 형광소광(fluorescence quenching) 과정이 일어나는 특정 도핑 통도 조건에서 여기 전자 상태 수명C is the doping concentration, Q is the quenching parameter, τ o is the excited electron state lifetime in the absence of the non-radiative energy transfer process, and τ f is the excitation current in a specific doping conduction condition where fluorescence quenching occurs. Electronic state life

고체레이저용 단결정(host)에 도핑된 희토류 이온(dopant) 농도는 희토류 이온의 여기 전자상태(excited electronic state)의 수명을 분석하여 측정할 수 있다. 보다 상세히 설명하면, 여기 전자상태 수명은 감쇠(decay) 과정에서 발생되는 형광의 감쇠 역학(decay dynamics)을 시간 분해 형광 분광학(time resolved fluorescence spectroscopy)을 이용해 측정할 수 있다. 즉, 여기 전자상태에 있는 이온들은 비방사 에너지전달(nonradioactive energy transfer) 과정이 도핑 농도에 비례하여 활성화되고, 형광소광(fluorescence quenching) 현상이 발생하여 형광 수명이 도핑농도가 증가 할수록 짧아지는 특징을 가진다. 이러한 특징을 이용하여 도핑 농도를 계산할 수 있다. 희토류 이온이 도핑된 레이저 단결정의 Q 및 τo 는 물질과 여기 전자상태가 결정되면 정해지는 고유한 상수이고, 따라서, 형광 수명 τf 를 측정하면 도핑농도를 결정할 수 있다.The dopant concentration doped in a solid-state laser host can be measured by analyzing the lifetime of the excited electronic state of the rare-earth ion. In more detail, the excited electron state lifetime can be measured using time resolved fluorescence spectroscopy, the decay dynamics of fluorescence generated during the decay process. That is, the ions in the excited state are activated by the nonradioactive energy transfer process in proportion to the doping concentration, and the fluorescence quenching phenomenon occurs and the fluorescence lifetime becomes shorter as the doping concentration increases I have. With this feature, the doping concentration can be calculated. The Q and τ o of a rare earth ion doped laser single crystal are inherent constants that are determined when the material and excited electron states are determined, and thus the doping concentration can be determined by measuring the fluorescence lifetime τ f .

아래에서 종래 기술을 이용하여 도핑 농도를 구하는 방법과 본 발명의 실시예에 따라 도핑 농도를 구하는 방법을 비교해본다. Hereinafter, a method of obtaining the doping concentration using the conventional technique and a method of obtaining the doping concentration according to the embodiment of the present invention will be compared.

도 2는 종래 기술을 이용하여 측정한 시료의 광흡수 스펙트럼을 나타내는 도면이다. 2 is a diagram showing a light absorption spectrum of a sample measured using a conventional technique.

도 2에서 X축은 파장(wavelength)을 나타내고, Y축은 광흡수 정도(optical density)를 나타낸다.In FIG. 2, the X axis represents wavelength and the Y axis represents optical density.

서로 다른 도핑 농도를 갖는 Nd:YAG 결정에 대하여 수학식(2)를 이용해 종래 광흡수 측정법으로 Nd3 + 이온의 도핑 농도를 구하면 다음과 같다. For Nd: YAG crystals having different doping concentrations, the doping concentration of Nd 3 + ions is determined by the conventional light absorption measurement method using equation (2) as follows.

N = 2.3 * [OD/(d*λ)] 수학식(2)N = 2.3 * [OD / (d *?)] Equation (2)

OD: 광흡수 정도(optical density), d: 시료의 두께, λ: 이온의 absorption cross-section OD: optical density, d: thickness of the sample, l: absorption cross-section of the ion

시료의 두께를 0.31cm라 하고, 808nm 파장에서 Nd3 + 이온의 absorption cross-section은 7.7 x 1020 cm2 이다. 이때, N = 1.38 x 1020 cm-3이 1 at% Nd3 + 이온의 도핑 농도에 대응된다. 이를 바탕으로 Sample A와 Sample B 의 Nd3 + 이온의 도핑 농도를 계산하면 다음과 같다. 표 1은 수학식(2)로 산출된 Nd3 + 이온 도핑농도이다.The thickness of the sample is 0.31 cm, and the absorption cross-section of the Nd 3 + ion at the wavelength of 808 nm is 7.7 × 10 20 cm 2 . At this time, N = 1.38 x 10 20 cm -3 corresponds to the doping concentration of 1 at% Nd 3 + ions. Based on this, the doping concentration of Nd 3 + ions in Sample A and Sample B can be calculated as follows. Table 1 shows the Nd 3 + ion doping concentration calculated by the equation (2).

Sample ASamplee Sample BSample B 도핑농도Doping concentration 1.16 at%1.16 at% 1.58 at%1.58 at%

시료 A,B 시편에 대하여 본 발명의 일 실시예에 따른 형광 수명 측정 장치를 이용하여 808 nm 펌프광으로 시료를 여기 하여 Nd3 + 이온 형광(1064 nm)의 감쇠 역학을 측정하면 도 3과 같다.
3 shows the results of measurement of the damping dynamics of Nd 3 + ion fluorescence (1064 nm) by exciting a sample with 808 nm pump light using a fluorescence lifetime measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 형광 수명 장치를 이용하여 측정한 시료의 형광 감쇠 역학(decay dynamics)을 나타내는 도면이다.FIG. 3 is a graph showing fluorescence decay dynamics of a sample measured using a fluorescence lifetime apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG.

도 3에서 X축은 시간을 나타내고, Y축은 형광 강도(fluorescence intensity)를 나타낸다.In Fig. 3, the X-axis represents time and the Y-axis represents fluorescence intensity.

도 3의 측정 데이터를 선형 근사(linear fitting)하여 형광 수명을 구하면 표 2와 같다. 표 2는 Nd3 + 이온의 형광 수명(τf)을 나타낸다. Table 3 shows the fluorescence lifetime obtained by linearly fitting the measurement data of FIG. Table 2 shows the fluorescence lifetime (τ f ) of Nd 3 + ions.

Sample ASamplee Sample BSample B 형광 수명(μs)Fluorescence lifetime (μs) 124124 111111

소광 매개 변수(quenching parameter) Q는 물질에 의존하는 상수 값이다. 여기서는 Q를 1.33±0.01 x 1020 cm-3 라 하고, τo 는 형광소광(fluorescence quenching)이 없는 경우의 수명(lifetime) 값으로 260 μs을 사용한다. 이러한 방법으로 계산한 도핑농도는 다음과 같다. 표 3은 Nd3 + 이온 도핑농도를 나타낸다.
The quenching parameter Q is a constant value that depends on the material. Here, Q is 1.33 ± 0.01 × 10 20 cm -3 , and τ o is 260 μs as the lifetime value in the absence of fluorescence quenching. The doping concentration calculated by this method is as follows. Table 3 shows the Nd 3 + ion doping concentration.

Cabs [at%]C abs [at%] τf [μs]τ f [μs] Q [ 1020 cm-3 ]Q [10 20 cm -3 ] Sample ASamplee 1.161.16 124124 1.321.32 Sample BSample B 1.581.58 111111 1.341.34

표 1과 표 3을 비교해보면, 종래 기술에 의해 계산한 도핑 농도와 본 발명의 일 실시예에 따른 형광 수명 장치를 이용하여 계산한 도핑 농도가 동일함을 알 수 있다.
Table 1 and Table 3 show that the doping concentration calculated by the conventional technique is the same as the doping concentration calculated using the fluorescent lifespan device according to one embodiment of the present invention.

본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 본 발명의 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것일 뿐이며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형 예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.The embodiments of the present invention disclosed in the present specification and drawings are merely illustrative examples of the present invention and are not intended to limit the scope of the present invention in order to facilitate understanding of the present invention. It will be apparent to those skilled in the art that other modifications based on the technical idea of the present invention are possible in addition to the embodiments disclosed herein.

100: 펌프 광원부
111, 113,…, 11k: 복수 개의 펌프 광원
130: 펌프광 제어부
150: 펌프광 결합기
170: 제1 다중모드 광섬유
200: 광 전달부
210: 아이솔레이터
230: 파장선택 반사필터
250: 제2 다중모드 광섬유
300: 수광부
310: 제3 다중모드 광섬유
330: 차단 필터
350: 포토다이오드
400: 형광 수명 측정부
410: 증폭기
430: A/D 컨버터
450: 신호분석부
100: pump light source part
111, 113, ... , 11k: a plurality of pump light sources
130: Pump control unit
150: Pump coupler
170: first multimode optical fiber
200:
210: Isolator
230: wavelength selective reflection filter
250: second multimode optical fiber
300:
310: Third multimode optical fiber
330: Cutoff filter
350: photodiode
400: Fluorescence lifetime measuring unit
410: Amplifier
430: A / D converter
450: Signal Analysis Section

Claims (11)

서로 다른 파장의 펌프광을 출력하는 복수 개의 펌프 광원;
상기 복수 개의 펌프 광원에서 출력되는 펌프광을 결합하여, 제1 다중모드 광섬유(MultiMode Fiber, MMF)로 출력하는 펌프광 결합기;
상기 펌프광 결합기로부터 입력 받은 펌프광을 전달하는 제1 다중모드 광섬유;
상기 제1 다중모드 광섬유로부터 전달받은 펌프광은 투과하고, 상기 제1 다중모드 광섬유로 입력되는 광은 차단하는 광 아이솔레이터;
상기 광 아이솔레이터를 투과한 펌프광은 투과하고, 시료에서 발생한 형광은 반사하는 파장선택 반사필터;
상기 파장선택 반사필터를 투과한 펌프광을 상기 시료로 전달하고, 상기 시료에서 발생한 형광을 상기 파장선택 반사필터로 전달하는 제2 다중모드 광섬유;
상기 파장선택 반사 필터에서 반사되는 형광을 전달하는 제3 다중모드 광섬유;
상기 제3 다중모드 광섬유로부터 전달받은 형광에서 펌프광 파장을 흡수 혹은 반사하고, 남은 형광을 통과시키는 하는 차단 필터(cut-off filter); 및
상기 차단 필터를 통과한 형광을 전기 신호로 변환하는 포토다이오드(photodiode)를 포함하는 형광 수명 측정 장치.
A plurality of pump light sources for outputting pump lights of different wavelengths;
A pump coupler coupling the pump light output from the plurality of pump light sources and outputting the pump light to a first multi-mode fiber (MMF);
A first multimode optical fiber for transmitting the pump light received from the pump coupler;
An optical isolator that transmits the pump light transmitted from the first multimode optical fiber and blocks light input to the first multimode optical fiber;
A wavelength selective reflection filter that transmits the pump light transmitted through the optical isolator and reflects the fluorescence emitted from the sample;
A second multimode optical fiber for transmitting the pump light transmitted through the wavelength selective reflection filter to the sample and transmitting the fluorescence generated from the sample to the wavelength selective reflection filter;
A third multimode optical fiber for transmitting the fluorescence reflected from the wavelength selective reflection filter;
A cut-off filter for absorbing or reflecting the wavelength of the pump light from the fluorescence transmitted from the third multimode optical fiber and allowing the remaining fluorescence to pass therethrough; And
And a photodiode for converting the fluorescence passing through the blocking filter into an electric signal.
제1항에 있어서,
상기 포토다이오드가 변환한 전기 신호를 분석하여 형광 수명을 측정하는 형광 수명 측정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 형광 수명 측정 장치.
The method according to claim 1,
Further comprising a fluorescence lifetime measuring unit for measuring the fluorescence lifetime by analyzing the electric signal converted by the photodiode.
제2항에 있어서,
상기 형광 수명 측정부에서 측정한 형광 수명을 바탕으로 수학식(1)을 이용하여 상기 시료의 도핑 농도를 계산하는 도핑 농도 계산부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 형광 수명 측정 장치.
C = Q [(τof) -1]1/2 수학식(1)
C : 도핑 농도, Q : 담금질 매개 변수(quenching parameter), τo : 비방사 에너지 전달 과정이 없는 경우의 여기 전자 상태 수명, τf : 형광소광(fluorescence quenching) 과정이 일어나는 특정 도핑 통도 조건에서 여기 전자 상태 수명
3. The method of claim 2,
And a doping concentration calculation unit for calculating a doping concentration of the sample using Equation (1) based on the fluorescence lifetime measured by the fluorescence lifetime measuring unit.
C = Q [(? O /? F ) -1] 1/2 Equation (1)
C is the doping concentration, Q is the quenching parameter, τ o is the excited electron state lifetime in the absence of the non-radiative energy transfer process, and τ f is the excitation current in a specific doping conduction condition where fluorescence quenching occurs. Electronic state life
제1항에 있어서,
상기 복수 개의 펌프 광원은,
희토류 이온의 여기 전자 상태의 광흡수 피크 파장(peak wavelength)의 광을 출력하는 것을 특징으로 하는 형광 수명 측정 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the plurality of pump light sources comprises:
And outputs light having a peak absorption wavelength in the excited state of rare earth ions.
제1항에 있어서,
상기 복수 개의 펌프 광원은,
레이저 다이오드를 포함하는 것을 특징으로 하는 형광 수명 측정 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the plurality of pump light sources comprises:
A device for measuring fluorescence lifetime comprising a laser diode.
제1항에 있어서,
상기 복수 개의 펌프 광원을 제어하는 펌프광 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 형광 수명 측정 장치.
The method according to claim 1,
Further comprising a pump control unit for controlling the plurality of pump light sources.
제6항에 있어서,
상기 펌프광 제어부는,
상기 복수 개의 펌프 광원이 펄스 모드(pulse mode)로 동작하고, 사각 펄스(square pulse) 및 특정 반복율(repetition rate)로 구동하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 형광 수명 측정 장치.
The method according to claim 6,
Wherein the pump-
Wherein the plurality of pump light sources operate in a pulse mode and are controlled to be driven by a square pulse and a repetition rate.
제7항에 있어서,
상기 펌프광 제어부는,
측정 대상 형광의 수명 범위에 따라 상기 복수 개의 펌프 광원의 반복율과 펄스폭(pulse width)를 가변적으로 조절하는 것을 특징으로 하는 형광 수명 측정 장치.
8. The method of claim 7,
Wherein the pump-
Wherein the repetition rate and the pulse width of the plurality of pump light sources are variably controlled according to the lifetime range of the fluorescence to be measured.
제1항에 있어서,
상기 펌프광 결합기는,
광도파로 기반 결합기(waveguide coupler) 또는 렌즈 조합을 이용한 free-space 결합기를 포함하는 것을 특징으로 하는 형광 수명 측정 장치.
The method according to claim 1,
The pump-
And a free-space coupler using a waveguide coupler or a combination of lenses.
제1항에 있어서,
상기 제1 다중모드 광섬유, 상기 제2 다중모드 광섬유 또는 상기 제3 다중모드 광섬유 중 적어도 하나 이상의 다중모드 광섬유는,
입출력부에 광의 결합 효율을 높이는 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 형광 수명 측정 장치.
The method according to claim 1,
Mode optical fiber, at least one of the first multimode optical fiber, the second multimode optical fiber, and the third multimode optical fiber,
And a lens for increasing the coupling efficiency of light to the input / output unit.
제10항에 있어서,
상기 제2 다중모드 광섬유는
출력부에 볼록 렌즈를 포함하고, 상기 볼록 렌즈를 통해 빔 웨이스트(Beam waist) 0.1mm 미만의 펌프광을 집광하여, 상기 시료로 출력하는 것을 특징으로 하는 형광 수명 측정 장치.
11. The method of claim 10,
The second multimode optical fiber
Wherein a convex lens is included in the output section, and the pump light having a beam waist less than 0.1 mm is condensed through the convex lens and outputted to the sample.
KR1020150050311A 2015-04-09 2015-04-09 Apparatus for measuring fluorescence lifetime KR102248372B1 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150050311A KR102248372B1 (en) 2015-04-09 2015-04-09 Apparatus for measuring fluorescence lifetime
CN201510520958.8A CN106053400B (en) 2015-04-09 2015-08-21 For measuring the device of fluorescence lifetime

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150050311A KR102248372B1 (en) 2015-04-09 2015-04-09 Apparatus for measuring fluorescence lifetime

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160120988A true KR20160120988A (en) 2016-10-19
KR102248372B1 KR102248372B1 (en) 2021-05-07

Family

ID=57179440

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150050311A KR102248372B1 (en) 2015-04-09 2015-04-09 Apparatus for measuring fluorescence lifetime

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR102248372B1 (en)
CN (1) CN106053400B (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114608807A (en) * 2022-02-25 2022-06-10 武汉睿芯特种光纤有限责任公司 Multi-wavelength fluorescence lifetime measuring device for gain optical fiber

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106814051A (en) * 2016-12-21 2017-06-09 哈尔滨工业大学 The system and method for oxygen content in a kind of room temperature phosphorimetry detection patient's expiration based on metalloporphyrin
CN109765206B (en) * 2019-01-31 2020-11-24 清华大学 Method for characterizing two-dimensional material defects and application thereof
CN110311293B (en) * 2019-07-16 2020-10-13 安徽大学 Method and system for measuring fluorescence lifetime of laser working substance

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030075325A (en) * 2002-03-18 2003-09-26 주식회사 럭스퍼트 Optical time domain reflectometer
KR20080052191A (en) * 2006-12-05 2008-06-11 한국전자통신연구원 Apparatus for measuring of nonlinear coefficient in optical fiber
KR100885927B1 (en) * 2007-10-16 2009-02-26 광주과학기술원 Apparatus and method for measuring fluorescence lifetime
KR20120001533A (en) * 2010-06-29 2012-01-04 광주과학기술원 A device for measuring fluorescence lifetime and a method thereof

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5814820A (en) * 1996-02-09 1998-09-29 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Pump probe cross correlation fluorescence frequency domain microscope and microscopy
JP4459390B2 (en) * 2000-06-08 2010-04-28 浜松ホトニクス株式会社 Fluorescence measurement method, fluorescence measurement apparatus, and sample evaluation apparatus using the same
JP4593739B2 (en) * 2000-07-27 2010-12-08 独立行政法人科学技術振興機構 Multiphoton excited fluorescence lifetime imaging system
JP5086765B2 (en) * 2007-10-17 2012-11-28 オリンパス株式会社 microscope
CN103592277B (en) * 2013-11-20 2017-01-11 中国科学技术大学 High-precision fluorescent lifetime measuring device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030075325A (en) * 2002-03-18 2003-09-26 주식회사 럭스퍼트 Optical time domain reflectometer
KR20080052191A (en) * 2006-12-05 2008-06-11 한국전자통신연구원 Apparatus for measuring of nonlinear coefficient in optical fiber
KR100885927B1 (en) * 2007-10-16 2009-02-26 광주과학기술원 Apparatus and method for measuring fluorescence lifetime
KR20120001533A (en) * 2010-06-29 2012-01-04 광주과학기술원 A device for measuring fluorescence lifetime and a method thereof

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114608807A (en) * 2022-02-25 2022-06-10 武汉睿芯特种光纤有限责任公司 Multi-wavelength fluorescence lifetime measuring device for gain optical fiber
CN114608807B (en) * 2022-02-25 2024-03-29 武汉睿芯特种光纤有限责任公司 Multi-wavelength fluorescence lifetime measuring device for gain optical fiber

Also Published As

Publication number Publication date
KR102248372B1 (en) 2021-05-07
CN106053400B (en) 2018-12-11
CN106053400A (en) 2016-10-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Crawford et al. High-Power Broadly Tunable 3-$\mu\hbox {m} $ Fiber Laser for the Measurement of Optical Fiber Loss
Sahar et al. Excited singlet-state absorption in dyes and their effect on dye lasers
US9007594B1 (en) Gas detection system using fiber laser with active feedback compensation by reference cavity
US8295314B2 (en) Fiber laser having superior resistance to reflection light
KR102248372B1 (en) Apparatus for measuring fluorescence lifetime
CN101968381A (en) Raman spectroscopic apparatus and method for measuring raman spectrum containing fluorescent materials
CN104737390A (en) Device for emitting super-continuous wide-band light and uses thereof
Zhang et al. Pptv-level intra-cavity QEPAS sensor for acetylene detection using a high power Q-switched fiber laser
Šulc et al. Holmium doping concentration influence on Ho: YAG crystal spectroscopic properties
CN110739601A (en) tunable ultrashort pulse fiber laser based on fiber high-order Raman effect
US7184143B2 (en) Method for remote sensing of pollutant molecules in a transparent medium using ultra-short intense lasers
US7700929B2 (en) Remote laser assisted biological aerosol standoff detection in atmosphere
Hohimer et al. Picogram detection of cesium in aqueous solution by nonflame atomic fluorescence spectroscopy with dye laser excitation
Bayramian et al. Characterization of Yb/sup 3+: Sr/sub 5-x/Ba/sub x/(PO/sub 4/)/sub 3/F crystals for diode-pumped lasers
EP0426222A2 (en) Active fiber optical amplifier having a wide band signal wavelength
US6774993B2 (en) Method and apparatus for atomic emission spectroscopy
US5889808A (en) Photoexcitation solid laser amplifier photoexcitation solid laser unit and solid laser excitation method
Talavera et al. Holmium-doped fluoride fiber laser at 2950 nm pumped at 1175 nm
Yadlowsky Pump wavelength-dependent spectral-hole burning in EDFA's
Luo et al. Lasing action in air induced by ultrafast laser filamentation
US10177523B2 (en) Recovering a rare-earth-doped optical fiber under irradiation
CN114608807B (en) Multi-wavelength fluorescence lifetime measuring device for gain optical fiber
US7110111B2 (en) Controlled wide spectrum compact ultrabrief laser source
Lytle et al. Spectrally shaped broadband study of up-conversion in Y2O3: Er3+
Zhang et al. Fiber absorption measurement errors resulting from re-emission of radiation

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right