KR20160032958A - Semiconductor package and method for fabricating the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 패키지 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 마킹 필름을 포함하는 반도체 패키지 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a semiconductor package and a manufacturing method thereof, and more particularly, to a semiconductor package including a marking film and a manufacturing method thereof.
반도체 패키지의 몰딩막은, 패키지 기판과 그의 상에 실장된 반도체 칩을 보호하는 역할을 수행한다. 또한 몰딩막은, 레이저를 이용한 마킹 공정을 통해, 패키지의 정보를 표시할 수 있다. 그러나, 레이저를 이용해 몰딩막 표면에 마킹을 수행하는 경우, 레이저에 의해 반도체 패키지가 열적 손상을 입을 수 있다. 따라서, 패키지 기판 및 반도체 칩을 보호하기 위해 몰딩막은 충분한 두께로 형성되어야 하는 실정이다.
The molding film of the semiconductor package serves to protect the package substrate and the semiconductor chip mounted on the package substrate. Further, the molding film can display package information through a marking process using a laser. However, when marking is performed on the surface of the molding film using a laser, the semiconductor package may be thermally damaged by the laser. Therefore, in order to protect the package substrate and the semiconductor chip, the molding film must be formed to a sufficient thickness.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 마킹 공정을 효율적으로 수행하면서 몰딩막의 두께를 줄일 수 있는 반도체 패키지를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a semiconductor package capable of reducing the thickness of a molding film while efficiently performing a marking process.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 마킹 공정을 효율적으로 수행하면서 몰딩막의 두께를 줄일 수 있는 반도체 패키지의 제조 방법을 제공하는 것이다.
Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a semiconductor package capable of reducing the thickness of a molding film while efficiently performing a marking process.
본 발명의 개념에 따른, 반도체 패키지는, 반도체 칩이 실장된 패키지 기판; 상기 패키지 기판을 덮는 몰딩막; 및 상기 몰딩막 상에 배치된 마킹 필름을 포함할 수 있다. 이때, 상기 마킹 필름은 전자기파에 반응하는 변색층을 포함할 수 있다.According to a concept of the present invention, a semiconductor package includes: a package substrate on which a semiconductor chip is mounted; A molding film covering the package substrate; And a marking film disposed on the molding film. At this time, the marking film may include a discoloration layer responsive to electromagnetic waves.
상기 전자기파는 레이저, 자외선 또는 이들의 조합을 포함하고, 상기 변색층은, 상기 전자기파에 반응하는 감온성 물질(thermochromic material) 또는 감광성 물질(photochromic material)을 포함할 수 있다.The electromagnetic wave includes a laser, ultraviolet ray or a combination thereof, and the color change layer may include a thermochromic material or a photochromic material in response to the electromagnetic wave.
상기 변색층은, 상기 전자기파를 반사하는 반사재들(reflectors)을 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 감온성 물질 또는 상기 감광성 물질은 결정립들(crystal gains)을 포함하는 결정 구조를 가지며, 상기 반사재들은 상기 결정립들 사이의 공간에 분산될 수 있다.The color change layer may further include reflectors for reflecting the electromagnetic waves. At this time, the thermosensitive material or the photosensitive material has a crystal structure including crystal gains, and the reflection materials can be dispersed in the space between the crystal grains.
상기 감온성 물질 또는 상기 감광성 물질은 류코 염료(leuco dye)를 포함할 수 있다.The thermosensitive material or the photosensitive material may include a leuco dye.
상기 변색층은 상기 마킹 필름의 강도를 향상시키는 보강재들(reinforcements)을 더 포함할 수 있다.The discoloration layer may further include reinforcements to improve the strength of the marking film.
상기 마킹 필름은 상기 변색층 및 상기 몰딩막 사이에 개재된 반사층을 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 반사층은 상기 전자기파를 반사하는 반사재들(reflectors)을 포함할 수 있다.The marking film may further include a reflective layer interposed between the coloring layer and the molding film. At this time, the reflection layer may include reflectors that reflect the electromagnetic waves.
상기 마킹 필름의 두께는 5μm 내지 40μm일 수 있다. The thickness of the marking film may be 5 탆 to 40 탆.
상기 반도체 패키지는, 상기 반도체 칩과 상기 패키지 기판을 전기적으로 연결하는 와이어들을 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 몰딩막은 상기 반도체 칩 및 상기 와이어들을 덮고, 상기 몰딩막의 상면과 상기 반도체 칩의 상면 사이의 거리는 50μm 내지 150μm일 수 있다.The semiconductor package may further include wires electrically connecting the semiconductor chip and the package substrate. At this time, the molding film covers the semiconductor chip and the wires, and the distance between the upper surface of the molding film and the upper surface of the semiconductor chip may be 50 탆 to 150 탆.
상기 반도체 패키지는, 상기 반도체 칩과 상기 패키지 기판 사이에 개재되어, 상기 반도체 칩과 상기 패키지 기판을 전기적으로 연결하는 연결 부재들을 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 몰딩막은 상기 반도체 칩을 덮고, 상기 몰딩막의 상면과 상기 반도체 칩의 상면 사이의 거리는 1μm 내지 40μm일 수 있다. The semiconductor package may further include connection members interposed between the semiconductor chip and the package substrate and electrically connecting the semiconductor chip and the package substrate. At this time, the molding film covers the semiconductor chip, and the distance between the upper surface of the molding film and the upper surface of the semiconductor chip may be 1 to 40 탆.
본 발명의 개념에 따른, 반도체 패키지의 제조 방법은, 반도체 칩이 실장된 패키지 기판을 제공하는 것; 상기 반도체 칩을 몰딩하는 몰딩막을 형성하는 것; 및 상기 몰딩막 상에, 전자기파에 반응하는 변색층을 포함하는 마킹 필름을 형성하는 것을 포함할 수 있다.According to the concept of the present invention, a method of manufacturing a semiconductor package includes: providing a package substrate on which a semiconductor chip is mounted; Forming a molding film for molding the semiconductor chip; And forming a marking film on the molding film, the marking film including a color change layer responsive to electromagnetic waves.
상기 몰딩막을 형성하는 것은, 상기 패키지 기판을 하부 몰드 상에 제공하는 것; 및 상부 몰드와 상기 하부 몰드 사이에 몰딩 수지를 제공하는 것을 포함할 수 있다.Forming the molding film comprises: providing the package substrate on a lower mold; And providing a molding resin between the upper mold and the lower mold.
상기 마킹 필름을 형성하는 것은, 상기 마킹 필름 및 베이스 필름이 순차적으로 적층된 패키지 필름을 상기 상부 몰드 아래에 제공하는 것; 및 상기 몰딩막 형성 후, 상기 상부 몰드를 상기 몰딩막으로부터 분리하면서 상기 베이스 필름도 함께 분리하는 것을 포함할 수 있다. 이때, 상기 마킹 필름은 상기 몰딩막 상에 남을 수 있다.Wherein the forming of the marking film comprises: providing a package film under the upper mold in which the marking film and the base film are sequentially laminated; And separating the base film from the mold while separating the upper mold from the molding film after forming the molding film. At this time, the marking film may remain on the molding film.
상기 베이스 필름은 상기 마킹 필름과 접하는 이형층(release layer)을 포함하며, 상기 이형층을 통해 상기 베이스 필름이 상기 마킹 필름으로부터 분리될 수 있다.The base film includes a release layer in contact with the marking film, and the base film can be separated from the marking film through the release layer.
상기 마킹 필름을 형성하는 것은, 상기 몰딩막 형성 후, 상기 마킹 필름을 상기 몰딩막 상에 접착하는 것을 포함할 수 있다.The forming of the marking film may include, after formation of the molding film, adhering the marking film onto the molding film.
상기 반도체 패키지의 제조 방법은, 상기 베이스 필름을 분리한 후, 상기 마킹 필름 상에 상기 전자기파를 조사하여, 정보를 표시하는 변색 영역을 형성하는 것을 더 포함할 수 있다.The manufacturing method of the semiconductor package may further include separating the base film and then irradiating the marking film with the electromagnetic wave to form a color change area for displaying information.
상기 패키지 기판을 제공하는 것은, 상기 몰딩막 형성 전에, 상기 반도체 칩과 상기 패키지 기판을 전기적으로 연결하는 와이어들을 형성하는 것을 포함하되, 상기 몰딩막은 상기 반도체 칩 및 상기 와이어들을 덮고, 상기 몰딩막의 상면과 상기 반도체 칩의 상면 사이의 거리는 50μm 내지 150μm일 수 있다.Providing the package substrate may include forming wires that electrically connect the semiconductor chip and the package substrate before forming the molding film, the molding film covering the semiconductor chip and the wires, And the upper surface of the semiconductor chip may be 50 [mu] m to 150 [mu] m.
상기 패키지 기판을 제공하는 것은, 상기 몰딩막 형성 전에, 상기 반도체 칩과 상기 패키지 기판 사이에 개재되어, 상기 반도체 칩과 상기 패키지 기판을 전기적으로 연결하는 연결 부재들을 형성하는 것을 포함하되, 상기 몰딩막의 상면과 상기 반도체 칩의 상면 사이의 거리는 1μm 내지 40μm일 수 있다.Providing the package substrate includes forming connection members that are interposed between the semiconductor chip and the package substrate and before the molding film is formed to electrically connect the semiconductor chip and the package substrate, The distance between the upper surface and the upper surface of the semiconductor chip may be 1 to 40 mu m.
본 발명의 개념에 따른, 패키지 필름은, 순차적으로 적층된 변색층 및 상기 변색층과 분리가능한 이형층을 포함할 수 있다. 이때, 상기 변색층은, 전자기파에 반응하는 감온성 물질 또는 감광성 물질을 포함하고, 상기 전자기파는 레이저, 자외선 또는 이들의 조합을 포함할 수 있다.According to the concept of the present invention, the package film may include a discoloration layer sequentially layered and a release layer separable from the discoloration layer. At this time, the color change layer may include a thermosensitive material or a photosensitive material that reacts with electromagnetic waves, and the electromagnetic waves may include laser, ultraviolet rays, or a combination thereof.
상기 변색층은, 상기 전자기파를 반사하는 반사재들을 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 감온성 물질 또는 상기 감광성 물질은 결정립들을 포함하는 결정 구조를 가지며, 상기 반사재들은 상기 결정립들 사이의 공간에 분산될 수 있다.The color change layer may further include reflectors for reflecting the electromagnetic waves. At this time, the thermosensitive material or the photosensitive material has a crystal structure including crystal grains, and the reflection materials can be dispersed in the space between the crystal grains.
상기 패키지 필름은, 상기 변색층 아래에 배치된 반사층을 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 반사층은 상기 전자기파를 반사하는 반사재들(reflectors)을 포함할 수 있다.
The package film may further include a reflective layer disposed below the discolored layer. At this time, the reflection layer may include reflectors that reflect the electromagnetic waves.
본 발명에 따른 반도체 패키지는, 몰딩막 상에 변색층을 포함하는 마킹 필름을 적용함으로써, 몰딩막 아래의 반도체 칩을 보호함과 동시에 효율적으로 미킹 공정을 수행할 수 있다. 나아가, 상기 몰딩막의 두께가 감소될 수 있어, 상기 반도체 패키지 전체의 두께는 더 감소될 수 있다. 또한, 상기 마킹 필름을 통해 상기 반도체 패키지의 휨(warpage) 현상을 방지하고, 상기 반도체 패키지의 표면에 광택을 부여하며, 상기 반도체 패키지의 표면의 색을 자유롭게 조절할 수 있다.
The semiconductor package according to the present invention can protect the semiconductor chip under the molding film and efficiently perform the etching process by applying the marking film including the color change layer on the molding film. Furthermore, the thickness of the molding film can be reduced, so that the thickness of the entire semiconductor package can be further reduced. Also, warpage of the semiconductor package can be prevented through the marking film, gloss of the surface of the semiconductor package can be improved, and color of the surface of the semiconductor package can be freely adjusted.
도 1은 일반적인 마킹 공정을 나타내는 반도체 패키지의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예들에 따른 패키지 필름의 단면도이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 실시예들에 따른 마킹 공정을 순차적으로 나타내는 반도체 패키지의 단면도들이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예들에 따른 패키지 필름의 단면도이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 다른 실시예들에 따른 마킹 공정을 순차적으로 나타내는 반도체 패키지의 단면도들이다.
도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 패키지의 제조 방법을 순차적으로 나타내는 반도체 패키지의 단면도들이다.
도 6e는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 패키지의 단면도이다.
도 7a 내지 도 7e는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 패키지의 제조 방법을 순차적으로 나타내는 반도체 패키지의 단면도들이다.
도 7e는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 패키지의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 패키지를 적용한 전자 장치의 시스템 블록도이다.
도 9는 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 패키지를 포함하는 전자 장치의 예를 보여주는 블록도이다.1 is a cross-sectional view of a semiconductor package showing a general marking process.
2 is a cross-sectional view of a package film according to embodiments of the present invention.
3A and 3B are sectional views of a semiconductor package sequentially illustrating a marking process according to embodiments of the present invention.
4 is a cross-sectional view of a package film according to another embodiment of the present invention.
5A and 5B are sectional views of a semiconductor package sequentially showing a marking process according to another embodiment of the present invention.
6A to 6E are sectional views of a semiconductor package sequentially illustrating a method of manufacturing a semiconductor package according to an embodiment of the present invention.
6E is a cross-sectional view of a semiconductor package according to an embodiment of the present invention.
7A to 7E are sectional views of a semiconductor package sequentially illustrating a method of manufacturing a semiconductor package according to another embodiment of the present invention.
7E is a cross-sectional view of a semiconductor package according to another embodiment of the present invention.
8 is a system block diagram of an electronic device to which a semiconductor package according to embodiments of the present invention is applied.
9 is a block diagram illustrating an example of an electronic device including a semiconductor package according to embodiments of the present invention.
본 발명의 구성 및 효과를 충분히 이해하기 위하여, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 설명한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라, 여러가지 형태로 구현될 수 있고 다양한 변경을 가할 수 있다. 단지, 본 실시예들의 설명을 통해 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위하여 제공되는 것이다. In order to fully understand the structure and effects of the present invention, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described below, but may be embodied in various forms and various modifications may be made. It will be apparent to those skilled in the art that the present invention may be embodied in many other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof.
본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분은 동일한 구성요소들을 나타낸다.In this specification, when an element is referred to as being on another element, it may be directly formed on another element, or a third element may be interposed therebetween. Further, in the drawings, the thickness of the components is exaggerated for an effective description of the technical content. The same reference numerals denote the same elements throughout the specification.
본 명세서에서 기술하는 실시예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 단면도 및/또는 평면도들을 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서의 다양한 실시예들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 여기에 설명되고 예시되는 실시예들은 그것의 상보적인 실시예들도 포함한다. Embodiments described herein will be described with reference to cross-sectional views and / or plan views that are ideal illustrations of the present invention. In the drawings, the thicknesses of the films and regions are exaggerated for an effective description of the technical content. Thus, the regions illustrated in the figures have schematic attributes, and the shapes of the regions illustrated in the figures are intended to illustrate specific types of regions of the elements and are not intended to limit the scope of the invention. Although the terms first, second, third, etc. in the various embodiments of the present disclosure are used to describe various components, these components should not be limited by these terms. These terms have only been used to distinguish one component from another. The embodiments described and exemplified herein also include their complementary embodiments.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소는 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
The terminology used herein is for the purpose of illustrating embodiments and is not intended to be limiting of the present invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. The terms "comprises" and / or "comprising" used in the specification do not exclude the presence or addition of one or more other elements.
도 1은 일반적인 마킹 공정을 나타내는 반도체 패키지의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a semiconductor package showing a general marking process.
도 1을 참조하면, 반도체 칩(110) 및 상기 반도체 칩(110)을 몰딩하는 몰딩막(130)이 제공될 수 있다. 도 1은 일반적인 반도체 패키지의 단면의 일부만을 나타낸 것으로, 상기 반도체 칩(110) 및 상기 몰딩막(130)을 위주로 설명한다. 상기 반도체 칩(110)은 메모리 또는 비메모리 소자일 수 있다. 일 예로, 상기 반도체 칩(110)은 디램 또는 플래시 메모리 소자일 수 있다. 상기 몰딩막(130)은 상기 반도체 칩(110) 상에 제1 두께(T1)로 형성될 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 두께(T1)는 상기 몰딩막(130)의 상면으로부터 상기 반도체 칩(110)의 상면까지의 거리일 수 있다. 상기 몰딩막(130)은 에폭시 몰딩 컴파운드(EMC)를 몰딩 수지로 하여 형성된 것일 수 있다.Referring to FIG. 1, a
상기 몰딩막(130) 상에 마킹 공정이 수행될 수 있다. 상기 마킹 공정은 상기 몰딩막(130) 상에, 반도체 패키지의 정보를 표시하는 부분을 형성하는 것일 수 있다. 상기 마킹 공정은 정보를 표시하는 상기 부분을 상기 몰딩막(130)과 다른 색으로 구현함으로써, 사용자가 상기 부분을 식별가능하도록 할 수 있다. 일반적으로, 상기 마킹 공정은 레이저 또는 잉크젯을 이용하여 수행될 수 있으며, 도 1에는 레이저(50)를 이용한 마킹 공정을 예시하였다.A marking process may be performed on the
상기 몰딩막(130) 상에 직접 상기 레이저(50)를 조사하는 경우, 상기 레이저(50)에 의해 상기 몰딩막(130)이 부분적으로 녹으면서(melt), 리세스 영역(131)이 형성될 수 있다. 또한, 상기 레이저(50)의 에너지에 의해 상기 리세스 영역(131)의 주위로 열 변성 영역(132)이 형성될 수 있다. 만약, 상기 제1 두께(T1)가 충분히 두껍지 못하다면, 상기 레이저(50)로 인해 상기 반도체 칩(110)이 손상을 입을 수 있다.When the
상기 반도체 칩(110)의 손상을 방지하기 위하여, 일반적으로 상기 제1 두께(T1)는 약 110μm일 수 있다. 만약, 상기 반도체 칩(110)과 패키지 기판(100)(미도시)을 전기적으로 연결하는 와이어(미도시)가 배치될 경우, 상기 와이어의 손상을 방지하기 위해 상기 제1 두께(T1)는 더 커질 수 있다. 이때, 상기 제1 두께(T1)는 약 150μm일 수 있다. 따라서, 상기 몰딩막(130) 상에 직접 레이저(50)를 조사하여 마킹 공정을 진행할 경우, 상기 몰딩막(130)의 두께가 두꺼워 짐으로써 패키지의 두께가 두꺼워지는 문제가 발생할 수 있다.
In order to prevent damage to the
개념예Concept example 1 One
도 2는 본 발명의 실시예들에 따른 패키지 필름(PF)의 단면도이다.2 is a sectional view of a package film PF according to embodiments of the present invention.
도 2를 참조하면, 패키지 필름(PF)은 순차적으로 적층된 마킹 필름(MF) 및 베이스 필름(BF)을 포함할 수 있다. 상기 마킹 필름(MF)은 반사층(10), 및 상기 반사층(10) 상에 배치된 변색층(20)을 포함할 수 있다. 상기 베이스 필름(BF)은 상기 변색층(20) 상에 배치된 이형층(release layer, 30), 및 상기 이형층(30) 상에 배치된 베이스층(40)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 2, the package film PF may include a sequential stacked marking film MF and a base film BF. The marking film MF may include a
상기 반사층(10)은 전자기파를 반사하는 반사재들(reflectors)을 포함할 수 있다. 상기 전자기파는 레이저 또는 자외선일 수 있으며, 본 발명의 실시예들에서는 레이저(50)를 예시하였다(도 3b 참조). 상기 반사층(10)은, 상기 변색층(20)을 통하여 입사된 레이저(50)가 상기 반사층(10)을 통과하지 못하도록 반사할 수 있다. 일 예로, 상기 반사재들은 Sb2O3, BaSO4, (PbCO3)2·Pb(OH)2, TiO2, ZnO, ZnS, Al2O3, SiO2 또는 이들의 혼합물을 포함할 수 있다. 나아가, 상기 반사층(10)은 접착 물질을 더 포함할 수 있다. 이로써, 상기 반사층(10)은 접착층의 기능도 수행할 수 있다.The
상기 변색층(20)은, 상기 전자기파에 반응하는 감온성 물질(thermochromic material) 및/또는 감광성 물질(photochromic material)을 포함할 수 있다. 상기 감온성 물질 및/또는 상기 감광성 물질은 류코 염료(leuco dye)를 포함할 수 있다. 상기 감온성 물질은 전자 공여성 물질(electron donating material) 혹은 전자 수용성 물질(electron accepting material)의 공액계(conjugated system)로서, 특정 온도(예를 들어, 상온)에서 구조를 변경하여 색을 발현할 수 있다. 상기 감온성 물질은 가역적으로 발색하는 경우도 있으며, 발색조제(color developer)와 증감제(sensitizer), 또는 부가반응을 통해 비가역적인 발색도 유도할 수 있다.The
예를 들어, 상기 류코 염료는 크산텐(xanthene) 류코 염료, 티오크산텐(thioxanthene) 류코 염료, 아크리딘(acridine) 류코 염료, 페녹사진(phenoxazine) 류코 염료, 페나진(phenazine) 류코 염료, 메로시아닌(merocyanine) 류코 염료, 티아진(thiazine) 류코 염료, 옥사진(oxazine) 류코 염료, 아진(azine) 류코 염료, 메틴(methane) 류코 염료, 아조(azo) 류코 염료, 피라졸린(pyrazoline) 류코 염료, 스틸벤(stilbene) 류코 염료, 쿠마린(coumarin) 류코 염료, 트리아릴메탄(triarylmethane) 류코 염료, 스피로피란(spiropyran) 류코 염료, 프탈라이드(phthalide) 류코 염료, 플루오란(fluoran) 류코 염료, 아크릴(acyl) 류코 염료, 오라민(auramine) 류코 염료, 로다민-락탐(rhodamine-lactam) 류코 염료, 크로멘(chromene) 류코 염료, 퀴닌(quinine) 류코 염료, 아미노 히드로시나믹 산(amino hydrocinnamic acid) 류코 염료, 2-(p-hydroxyphenyl)-4,5-diphenylimidazole 류코 염료, 인다논(indanone) 류코 염료, 인다민(indamine) 류코 염료, 히드라진(hydrazine) 류코 염료, 인디고이드(indigoid) 류코 염료, amino-2,3-dihydroanthraquinone 류코 염료, tetrahalo-p,p'-biphenol 류코 염료, 페닐에틸 아닐린(phenylethyl aniline) 류코 염료, 또는 이들의 혼합물을 포함할 수 있다.For example, the leuco dyes may be selected from the group consisting of xanthene leuco dyes, thioxanthene leuco dyes, acridine leuco dyes, phenoxazine leuco dyes, phenazine leuco dyes, Azo leuco dyes, azo leuco dyes, pyrazoline dyes, thiazine leuco dyes, oxazine leuco dyes, azine leuco dyes, methane leuco dyes, azo leuco dyes, pyrazoline dyes, (Stilbene) leuco dyes, coumarin leuco dyes, triarylmethane leuco dyes, spiropyran leuco dyes, phthalide leuco dyes, fluoran leuco dyes, stilbene leuco dyes, Dyes, acyl leuco dyes, auramine leuco dyes, rhodamine-lactam leuco dyes, chromene leuco dyes, quinine leuco dyes, amino hydroxamic acids ( amino hydrocinnamic acid) leuco dyes, 2- (p-hydroxyphenyl) -4,5-diph indanone leuco dyes, indamine leuco dyes, hydrazine leuco dyes, indigoid leuco dyes, amino-2,3-dihydroanthraquinone leuco dyes, tetrahalo-p, p '-biphenol leuco dyes, phenylethyl aniline leuco dyes, or mixtures thereof.
상기 변색층(20)은 다양한 색을 구현하기 위해 발색조제(color developer)를 더 포함할 수 있다. 상기 발색조제는 크리스탈 바이올렛 락톤(crystal violet lactone), 말라카이트 그린 락톤(malachite green lactone), 비스-인돌일 프탈라이드 염료(bis-indolyl phthalide dye), 디아미노 플루오란 염료(diamino fluoran dye) 또는 크산텐 염료(xanthene dye)를 포함할 수 있다. 상기 발색조제를 통해 상기 변색층(20)의 색을 자유롭게 조절함으로써, 사용자에게 심미감을 부여할 수 있다.The
상기 변색층(20)은 광 안정제(light stabilizer) 및/또는 증감제(sensitizer)를 더 포함할 수 있다. 상기 광 안정제를 통해 상기 감온성 물질 및/또는 상기 감광성 물질의 안정성을 높일 수 있다. 상기 증감제를 통해 상기 변색층(20)의 발색 온도를 조절하거나 변색 효율을 증가시킬 수 있다.The
본 실시예에서, 상기 감온성 물질 및/또는 상기 감광성 물질은 제1 결정립들(crystal gains, 21)을 포함하는 결정 구조를 가질 수 있다. 상기 제1 결정립들(21)은 상기 변색층(20) 내에 균일하게 분산되어 있을 수 있다.In the present embodiment, the temperature-sensitive material and / or the photosensitive material may have a crystal structure including first crystal gains. The
일 예로, 상기 변색층(20)은, 상기 감온성 물질 및/또는 상기 감광성 물질을 통해 표면 광택을 가질 수 있다. 다른 예로, 상기 변색층(20)은 추가적으로 광택제를 더 포함함으로써, 표면에 광택을 가질 수 있다. 나아가, 상기 변색층(20)은 보강재들(reinforcements)을 포함할 수 있다. 이로써, 상기 마킹 필름(MF)의 기계적 강도(예를 들어, 인장 강도 등)를 향상시킬 수 있다. 일 예로, 상기 보강재들은 유리섬유일 수 있다. 다른 실시예로, 도시되진 않았으나, 상기 마킹 필름(MF)은 기계적 강도 향상을 위한 보강층(미도시)을 더 포함할 수 있고, 상기 보강재들은 상기 보강층 내에 포함될 수 있다.For example, the
상기 반사층(10) 및 상기 변색층(20)의 두께의 합, 즉 상기 마킹 필름(MF)의 두께는 제2 두께(T2)를 가질 수 있다. 일 예로, 상기 제2 두께(T2)는 5μm 내지 40μm일 수 있다. 상기 반사층(10) 및 상기 변색층(20)은 열경화성 수지를 이용하여 형성될 수 있다. 일예로, 상기 열경화성 수지는 페놀수지, 요소수지, 멜라민수지, 에폭시수지, 폴리에스터수지, 또는 이들의 혼합물일 수 있다.The sum of the thicknesses of the
상기 이형층(30)은 상기 베이스 필름(BF)이 상기 마킹 필름(MF)으로부터 분리될 수 있도록 할 수 있다. 상기 이형층(30)은 실리콘계 이형제, 에폭시계 이형제 또는 불소계 이형제를 포함할 수 있으며, 특별히 제한되는 것은 아니다.The
상기 베이스층(40)은 상기 패키지 필름(PF) 전체를 지지할 수 있다. 일 예로, 상기 베이스 필름(BF)은 폴리에틸렌 테레프타레이트(polyethylene Terephthalate), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리프로필렌(polypropylene), 폴리메틸메타클릴레이트(poly methyl methacrylate), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리우레탄(polyurethane), 또는 이들의 혼합물일 수 있으며, 특별히 제한되는 것은 아니다.The
본 실시예에 따른 상기 패키지 필름(PF)은 반도체 패키지 상에 적용될 수 있다. 이때, 상기 마킹 필름(MF)이 상기 패키지 필름(PF)으로부터 상기 반도체 패키지 상으로 전사될 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술한다.
The package film PF according to the present embodiment can be applied on a semiconductor package. At this time, the marking film MF can be transferred from the package film PF onto the semiconductor package. A detailed description thereof will be described later.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 실시예들에 따른 마킹 공정을 순차적으로 나타내는 반도체 패키지의 단면도들이다.3A and 3B are sectional views of a semiconductor package sequentially illustrating a marking process according to embodiments of the present invention.
도 3a를 참조하면, 반도체 칩(110) 및 상기 반도체 칩(110)을 몰딩하는 몰딩막(130)이 제공될 수 있다. 도 3a 및 도 3b는 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 패키지의 단면의 일부만을 나타낸 것으로, 상기 반도체 칩(110) 및 상기 몰딩막(130)을 위주로 설명한다. 상기 반도체 칩(110) 및 상기 몰딩막(130)에 대한 설명은 앞서 도 1을 참조하여 설명한 것과 유사할 수 있다.3A, a
상기 몰딩막(130) 상에 앞서 도 2를 참조하여 설명한 패키지 필름(PF)이 제공될 수 있다. 반사층(10)은 접착 물질을 포함할 수 있으므로, 상기 패키지 필름(PF)은 상기 반사층(10)을 통해 상기 몰딩막(130)의 상면과 접착될 수 있다.The package film PF described above with reference to FIG. 2 may be provided on the
도 3b를 참조하면, 상기 패키지 필름(PF)의 베이스 필름(BF)이 마킹 필름(MF)으로부터 분리될 수 있다. 즉, 상기 마킹 필름(MF)이 상기 몰딩막(130) 상에 전사(transfer)될 수 있다. 구체적으로, 상기 베이스 필름(BF) 하부의 이형층(30)을 통해, 상기 베이스 필름(BF)과 상기 마킹 필름(MF)은 서로 용이하게 분리될 수 있다.Referring to FIG. 3B, the base film BF of the package film PF may be separated from the marking film MF. That is, the marking film MF can be transferred onto the
이어서, 상기 마킹 필름(MF) 상에 전자기파가 조사될 수 있다. 일 예로, 상기 전자기파는 레이저(50)일 수 있다. 상기 레이저(50)가 조사된 영역 아래의 감온성 물질 및/또는 감광성 물질은, 상기 레이저(50)에 의해 반응하여 색이 변할 수 있다. 즉, 제1 결정립들(21)로부터 변색 결정립들이 형성될 수 있다. 이로써, 사용자가 식별가능한 변색 영역(CP)이 상기 변색층(20) 내에 형성될 수 있다. 도시되진 않았지만, 평면적 관점에서, 상기 변색 영역(CP)은 반도체 패키지의 정보를 표시할 수 있다. 상기 레이저(50)를 사용하는 경우, 특정 영역에만 전자기파 에너지를 전달할 수 있으므로, 상기 변색 영역(CP)을 용이하게 형성할 수 있다.Then, electromagnetic waves may be irradiated onto the marking film MF. In one example, the electromagnetic wave may be a
조사된 상기 레이저(50)는 상기 변색층(20)의 반응을 유도할 뿐, 상기 반사층(10)에 의해 반사되어 상기 반사층(10)을 투과하지 못할 수 있다. 따라서, 상기 몰딩막(130) 및 상기 반도체 칩(110)에는 상기 레이저(50)의 에너지가 전달되지 않을 수 있다. 본 실시예의 몰딩막(130)은 제3 두께(T3)로 형성될 수 있으며, 이는 도 1에서 설명한 제1 두께(T1)보다 더 작을 수 있다. 즉, 도 1에서와는 달리, 상기 몰딩막(130)은 레이저(50)에 의해 손상을 받지 않기 때문에, 상기 제3 두께(T3)는 감소될 수 있다.The
구체적으로, 상기 제3 두께(T3)는 상기 몰딩막(130)의 상면으로부터 상기 반도체 칩(110)의 상면까지의 거리일 수 있다. 일예로, 상기 제3 두께(T3)는 1μm 내지 40μm일 수 있다. 만약, 상기 반도체 칩(110)과 패키지 기판(100)(미도시)을 전기적으로 연결하는 와이어(미도시)가 배치될 경우, 상기 와이어의 손상을 방지하기 위해 상기 제3 두께(T3)는 더 커질 수 있다. 이때, 상기 제3 두께(T3)는 50μm 내지 150μm일 수 있다. 즉, 본 실시예들에 따른 반도체 패키지에 있어서 상기 몰딩막(130)의 두께는, 도 1을 참조하여 설명한 일반적인 반도체 패키지의 몰딩막(130) 두께에 비해, 현저히 감소될 수 있다.The third thickness T3 may be a distance from the upper surface of the
본 실시예들에 따른 반도체 패키지는, 상기 마킹 필름(MF)을 상기 몰딩막(130) 상에 적용함으로써, 상기 반도체 칩(110)을 보호함과 동시에 효율적으로 미킹 공정을 수행할 수 있다. 상기 몰딩막(130)의 두께는 감소되므로, 상기 반도체 패키지의 전체 두께는 더 감소될 수 있다. 또한, 상기 변색층(20)은, 이의 두께를 늘리거나 보강재들을 첨가함으로써, 상기 마킹 필름(MF)의 기계적 강도를 증가시킬 수 있다. 이로써, 상기 마킹 필름(MF)이 반도체 패키지의 휨(warpage) 현상을 방지할 수 있다. 또한, 상기 변색층(20) 내의 감온성 물질 및/또는 감광성 물질을 조절함으로써, 상기 반도체 패키지 표면에 광택을 부여할 수 있고, 또한 상기 변색층(20) 및 상기 변색 영역(CP)의 색을 자유롭게 조절할 수 있다. 따라서, 사용자에게 심미감을 부여할 수도 있다.
The semiconductor package according to the present embodiments can protect the
개념예Concept example 2 2
도 4는 본 발명의 다른 실시예들에 따른 패키지 필름(PF)의 단면도이다. 본 실시예에서는, 앞서 도 2를 참조하여 설명한 것과 중복되는 기술적 특징에 대한 상세한 설명은 생략하고, 차이점에 대해 상세히 설명한다. 앞서 본 발명의 개념 및 일 실시예를 설명하기 위한 패키지 필름(PF)과 동일한 구성에 대하여는 동일한 참조번호가 제공될 수 있다.4 is a cross-sectional view of a package film PF according to another embodiment of the present invention. In the present embodiment, the detailed description of the technical features overlapping with those described with reference to FIG. 2 will be omitted, and the differences will be described in detail. The same reference numerals as those of the package film PF for describing the concept and the embodiment of the present invention can be provided earlier.
도 4를 참조하면, 패키지 필름(PF)은 순차적으로 적층된 마킹 필름(MF) 및 베이스 필름(BF)을 포함할 수 있다. 상기 마킹 필름(MF)은 변색층(20)을 포함하는 단일층일 수 있다. 즉, 반사층(10)은 생략될 수 있다(도 2 참조). 상기 베이스 필름(BF)은 상기 마킹 필름(MF) 상에 배치된 이형층(30), 및 상기 이형층(30) 상에 배치된 베이스층(40)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 4, the package film PF may include a sequential stacked marking film MF and a base film BF. The marking film MF may be a single layer including the
상기 마킹 필름(MF)은 전자기파를 반사하는 반사재들을 더 포함할 수 있다. 상기 반사재들은, 상기 마킹 필름(MF)을 통하여 입사된 상기 전자기파가 상기 마킹 필름(MF)을 완전히 통과하지 못하도록 반사할 수 있다. 일 예로, 상기 반사재들은 Sb2O3, BaSO4, (PbCO3)2·Pb(OH)2, TiO2, ZnO, ZnS, Al2O3, SiO2 또는 이들의 혼합물을 포함할 수 있다.The marking film MF may further include reflectors that reflect electromagnetic waves. The reflectors may reflect the electromagnetic wave incident through the marking film MF so as not to pass the marking film MF completely. For example, the reflectors may include Sb 2 O 3 , BaSO 4 , (PbCO 3 ) 2 .Pb (OH) 2 , TiO 2 , ZnO, ZnS, Al 2 O 3 , SiO 2 or mixtures thereof.
상기 마킹 필름(MF) 내의 감온성 물질 및/또는 감광성 물질은 제1 결정립들(21)을 포함하는 결정 구조를 가질 수 있다. 또한, 상기 반사재들은 제2 결정립들(11)을 포함하는 결정 구조를 가질 수 있다. 이때, 상기 제1 결정립들(21)은 그들 사이의 공간을 가지며 상기 마킹 필름(MF) 내에 균일하게 분산될 수 있으며, 상기 제2 결정립들(11)은 상기 공간 사이에 분산될 수 있다.The thermosensitive material and / or photosensitive material in the marking film MF may have a crystal structure including the
본 실시예에서는, 도 2를 참조하여 설명한 변색층(20) 및 반사층(10)을 하나의 층으로 결합하여, 상기 마킹 필름(MF)을 단일층으로 구성할 수 있다. 이로써, 상기 마킹 필름(MF)이 보다 얇아질 수 있다. 구체적으로, 상기 마킹 필름(MF)은 제4 두께(T4)를 가질 수 있다. 상기 제4 두께(T4)는 5μm 내지 30μm일 수 있다.
In this embodiment, the
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 다른 실시예들에 따른 마킹 공정을 순차적으로 나타내는 반도체 패키지의 단면도들이다. 본 실시예에서는, 앞서 도 3a 및 도 3b를 참조하여 설명한 것과 중복되는 기술적 특징에 대한 상세한 설명은 생략하고, 차이점에 대해 상세히 설명한다. 앞서 본 발명의 개념 및 일 실시예를 설명하기 위한 반도체 패키지와 동일한 구성에 대하여는 동일한 참조번호가 제공될 수 있다.5A and 5B are sectional views of a semiconductor package sequentially showing a marking process according to another embodiment of the present invention. In the present embodiment, detailed description of technical features overlapping with those described above with reference to FIGS. 3A and 3B will be omitted, and differences will be described in detail. The same reference numerals as those of the semiconductor package for describing the concept and the embodiment of the present invention can be provided before.
도 5a를 참조하면, 반도체 칩(110) 및 상기 반도체 칩(110)을 몰딩하는 몰딩막(130)이 제공될 수 있다. 도 5a 및 도 5b은 본 발명의 다른 실시예들에 따른 반도체 패키지의 단면의 일부만을 나타낸 것으로, 상기 반도체 칩(110) 및 상기 몰딩막(130)을 위주로 설명한다. 상기 반도체 칩(110) 및 상기 몰딩막(130)에 대한 설명은 앞서 도 1을 참조하여 설명한 것과 유사할 수 있다.Referring to FIG. 5A, a
상기 몰딩막(130) 상에 앞서 도 4를 참조하여 설명한 패키지 필름(PF)이 제공될 수 있다. 상기 패키지 필름(PF)은 마킹 필름(MF)을 통해 상기 몰딩막(130)의 상면과 접착될 수 있다.The package film PF described above with reference to FIG. 4 may be provided on the
도 5b를 참조하면, 상기 패키지 필름(PF)의 베이스 필름(BF)이 마킹 필름(MF)으로부터 분리될 수 있다. 이어서, 상기 마킹 필름(MF) 상에 전자기파가 조사될 수 있다. 일 예로, 상기 전자기파는 레이저(50)일 수 있다. 상기 레이저(50)가 조사된 영역 아래의 제1 결정립들(21)로부터 변색 결정립들이 형성될 수 있다. 이로써, 사용자가 식별가능한 변색 영역(CP)이 상기 마킹 필름(MF) 내에 형성될 수 있다.Referring to FIG. 5B, the base film BF of the package film PF may be separated from the marking film MF. Then, electromagnetic waves may be irradiated onto the marking film MF. In one example, the electromagnetic wave may be a
조사된 상기 레이저(50)는 상기 마킹 필름(MF) 내 반사재들의 제2 결정립들(11)에 의해 반사되어, 상기 마킹 필름(MF)을 완전히 투과하지 못할 수 있다. 따라서, 상기 몰딩막(130) 및 상기 반도체 칩(110)에는 상기 레이저(50)의 에너지가 전달되지 않을 수 있다.
The
실시예Example 1 One
도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 패키지의 제조 방법을 순차적으로 나타내는 반도체 패키지의 단면도들이다. 본 실시예에서는, 하나의 반도체 칩이 실장된 하나의 패키지 기판(100)이 예시되었지만, 이는 도면 크기에 의해 제한하여 나타낸 것이고, 복수개의 반도체 칩들이 실장된 패키지 기판(100)에 대해서도 동일하게 적용될 수 있다. 이 경우, 최종적으로 커팅 공정을 통해 반도체 패키지가 제조될 수 있다.6A to 6E are sectional views of a semiconductor package sequentially illustrating a method of manufacturing a semiconductor package according to an embodiment of the present invention. In this embodiment, one
도 6a를 참조하면, 반도체 칩(110)이 실장된 패키지 기판(100)이 제공될 수 있다. 상기 패키지 기판(100)은 서로 대향되는 상면(100a)과 바닥면(100b)을 포함할 수 있다. 상기 패키지 기판(100)은 단층 혹은 다층의 인쇄 회로 기판(PCB) 또는 세라믹 기판일 수 있다. 일 예로, 도시되진 않았지만, 상기 패키지 기판(100)은 그의 내부 및 표면에 구리로 이루어진 배선 패턴(미도시) 내지 상부 단자들(140) 등이 형성될 수 있다. 상기 상부 단자들(140)은 상기 상면(100a) 상에 형성될 수 있다. 나아가, 상기 패키지 기판(100)의 상기 상면(100a) 및 상기 바닥면(100b)을 둘러싸며, 상기 배선 패턴(미도시) 및 상기 상부 단자들(140) 등을 보호하는 보호막(미도시)이 형성될 수 있다.Referring to FIG. 6A, a
상기 반도체 칩(110)은 그의 바닥면이 상기 패키지 기판(100)의 상기 상면(100a)을 바라보도록 실장될 수 있다. 상기 반도체 칩(110)은 메모리 또는 비메모리 소자일 수 있다. 일 예로, 상기 반도체 칩(110)은 디램 또는 플래시 메모리 소자일 수 있다.The
상기 반도체 칩(110)의 상면 상에는 칩 접속 단자들(145)이 배치될 수 있다. 본 실시예에서, 상기 반도체 칩(110)은 상기 패키지 기판(100) 상에 와이어 본딩 방식으로 실장될 수 있다. 이로써, 상기 칩 접속 단자들(145)과 상기 상부 단자들(140)은 와이어들(150)로 연결될 수 있다. 상기 반도체 칩(110)과 상기 패키지 기판(100) 사이는 언더필수지막(120)으로 채워질 수 있다.
도 6b를 참조하면, 상기 반도체 칩(110)이 실장된 상기 패키지 기판(100)이 하부 몰드(200) 상에 제공될 수 있다. 상기 패키지 기판(100)은 상기 하부 몰드(200)의 안착부(205) 상에 배치될 수 있다.Referring to FIG. 6B, the
패키지 필름(PF)이 상부 몰드(210) 아래에 제공될 수 있다. 상기 패키지 필름(PF)은 앞서 도 2 또는 도 4를 통해 설명한 패키지 필름(PF)과 동일할 수 있다. 상기 패키지 필름(PF)은 베이스 필름(BF) 및 마킹 필름(MF)을 포함할 수 있다. 상기 상부 몰드(210)는 감압부들(215)을 포함할 수 있다. 상기 감압부들(215)을 통해 상기 상부 몰드(210)에 진공(VC)이 가해질 수 있다. 구체적으로, 도시되진 않았지만, 상기 상부 몰드(210) 아래에 제공된 상기 패키지 필름(PF)에 열처리가 수행될 수 있다. 열처리를 통해 상기 패키지 필름(PF)은 변형될 수 있으며, 이때 상기 진공(VC)에 의해 상기 패키지 필름(PF)은 상기 상부 몰드(210)의 내측벽을 감쌀 수 있다.A package film PF may be provided under the
도 6c를 참조하면, 상기 상부 몰드(210)와 상기 하부 몰드(200)가 결합될 수 있다. 이와 함께, 상기 패키지 기판(100)을 덮으면서 상기 반도체 칩(110)을 몰딩하는 몰딩막(130)이 형성될 수 있다. 구체적으로, 상기 상부 몰드(210)와 상기 하부가 결합되어 형성된 내부 공간(S)으로 몰딩 수지를 제공할 수 있다. 일 예로, 상기 몰딩 수지는 에폭시 몰딩 컴파운드(EMC)일 수 있다. 상기 몰딩 수지는, 상기 상부 몰드(210)에 제공된 진공(VC)으로 인해 상기 내부 공간(S)이 감압됨으로써, 상기 내부 공간(S) 내로 제공될 수 있다. 상기 몰딩막(130)은 제5 두께(T5)를 갖도록 형성될 수 있다. 상기 제5 두께(T5)는 상기 몰딩막(130)의 상면으로부터 상기 반도체 칩(110)의 상면까지의 거리일 수 있다. 상기 제5 두께(T5)는 50μm 내지 150μm일 수 있다.Referring to FIG. 6C, the
도 6d를 참조하면, 상기 패키지 기판(100)으로부터 상기 상부 몰드(210) 및 상기 하부 몰드(200)가 분리될 수 있다. 상기 상부 몰드(210)가 분리됨과 동시에, 상기 베이스 필름(BF)이 상기 몰딩막(130)으로부터 분리될 수 있다. 이로써, 상기 몰딩막(130) 상에 마킹 필름(MF)이 형성될 수 있다. 구체적으로, 앞서 도 3b 또는 도 5b를 참조하여 설명한 바와 같이, 상기 베이스 필름(BF) 하부의 이형층(30)을 통해 상기 베이스 필름(BF)과 상기 마킹 필름(MF)이 분리되고, 상기 마킹 필름(MF)은 상기 몰딩막(130) 상에 남을 수 있다.Referring to FIG. 6D, the
도 6e를 참조하면, 상기 마킹 필름(MF) 상에 레이저(50)를 조사하여 변색 영역들(CP)이 형성될 수 있다. 도 3b 또는 도 5b를 참조하여 설명한 바와 같이, 상기 마킹 필름(MF) 내의 변색층(20)은 감온성 물질 및/또는 감광성 물질을 포함할 수 있다. 상기 레이저(50)가 조사된 영역 아래의 상기 감온성 물질 및/또는 상기 감광성 물질은 상기 레이저(50)에 의해 반응하여 색이 변할 수 있다. 이로써, 사용자가 식별가능한 변색 영역들(CP)이 상기 마킹 필름(MF) 내에 형성될 수 있다. 도시되진 않았지만, 평면적 관점에서, 상기 변색 영역들(CP)은 반도체 패키지의 정보를 표시할 수 있다.
Referring to FIG. 6E, discoloring areas CP may be formed by irradiating a
도 6e는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 패키지의 단면도이다.6E is a cross-sectional view of a semiconductor package according to an embodiment of the present invention.
도 6e를 참조하면, 패키지 기판(100) 상에 반도체 칩(110)이 실장될 수 있다. 상기 패키지 기판(100)을 덮을 덮으며 상기 반도체 칩(110)을 몰딩하는 몰딩막(130)이 배치될 수 있다. 상기 반도체 칩(110)과 상기 패키지 기판(100) 사이는 언더필수지막(120)으로 채워질 수 있다. 상기 패키지 기판(100)과 상기 반도체 칩(110)을 와이어들(150)이 전기적으로 연결할 수 있다. 상기 패키지 기판(100), 상기 반도체 칩(110), 상기 언더필수지막(120) 및 상기 와이어들(150)에 대한 구체적인 설명은, 앞서 도 6a에서 설명한 바와 동일할 수 있다.Referring to FIG. 6E, the
상기 몰딩막(130)은 에폭시 몰딩 컴파운드(EMC)로 형성될 수 있다. 상기 몰딩막(130)은 제5 두께(T5)를 가질 수 있다. 구체적으로, 상기 제5 두께(T5)는 상기 몰딩막(130)의 상면으로부터 상기 반도체 칩(110)의 상면까지의 거리일 수 있다. 상기 제5 두께(T5)는 50μm 내지 150μm일 수 있다.The
상기 몰딩막(130) 상에 마킹 필름(MF)이 배치될 수 있다. 상기 마킹 필름(MF)은 앞서 도 2 또는 도 4를 참조하여 설명한 패키지 필름(PF)의 마킹 필름(MF)과 동일할 수 있다. 상기 마킹 필름(MF) 내의 변색층(20)은 감온성 물질 및/또는 감광성 물질을 포함할 수 있다. 레이저(50)가 조사된 영역 아래의 상기 감온성 물질 및/또는 상기 감광성 물질은 상기 레이저(50)에 의해 반응하여 색이 변할 수 있다. 이로써, 상기 마킹 필름(MF)은 사용자가 식별가능한 변색 영역들(CP)을 포함할 수 있다.
The marking film MF may be disposed on the
실시예Example 2 2
도 7a 내지 도 7e는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 패키지의 제조 방법을 순차적으로 나타내는 반도체 패키지의 단면도들이다. 본 실시예에서는, 앞서 도 6a 내지 도 6e를 참조하여 설명한 것과 중복되는 기술적 특징에 대한 상세한 설명은 생략하고, 차이점에 대해 상세히 설명한다. 앞서 본 발명의 개념 및 일 실시예를 설명하기 위한 반도체 패키지의 제조 방법과 동일한 구성에 대하여는 동일한 참조번호가 제공될 수 있다.7A to 7E are sectional views of a semiconductor package sequentially illustrating a method of manufacturing a semiconductor package according to another embodiment of the present invention. In the present embodiment, a detailed description of the technical features overlapping with those described with reference to Figs. 6A to 6E will be omitted, and the differences will be described in detail. The same reference numerals as those of the semiconductor package manufacturing method for describing the concept of the present invention and one embodiment can be provided.
본 실시예에서는, 하나의 반도체 칩이 실장된 하나의 패키지 기판이 예시되었지만, 이는 도면 크기에 의해 제한하여 나타낸 것이고, 복수개의 반도체 칩들이 실장된 패키지 기판에 대해서도 동일하게 적용될 수 있다. 이 경우, 최종적으로 커팅 공정을 통해 반도체 패키지가 제조될 수 있다.In this embodiment, one package substrate on which one semiconductor chip is mounted is exemplified, but this is limited by the size of the drawing, and the same can be applied to a package substrate on which a plurality of semiconductor chips are mounted. In this case, the semiconductor package can be finally manufactured through the cutting process.
도 6a를 참조하면, 반도체 칩(110)이 실장된 패키지 기판(100)이 제공될 수 있다. 상기 패키기 기판의 상면(100a) 상에는 상부 단자들(140)이 형성될 수 있다. 상기 반도체 칩(110)은 그의 상면이 상기 패키지 기판(100)의 상기 상면(100a)을 바라보도록 실장될 수 있다. 본 실시예에서는, 센터 패드 구조를 가진 상기 반도체 칩(110)이 상기 패키지 기판(100) 상에 플립 실장될 수 있다. 그러나, 다른 실시예로, 상기 반도체 칩(110)은 에지 패드 구조 또는 매트릭스 패드 구조일 수 있다. 일 예로, 상기 반도체 칩(110)은 센터 패드 구조를 갖는 디램 또는 플래시 메모리 소자일 수 있다. 상기 반도체 칩(110)의 상기 상면 상에는 칩 접속 단자들(145)이 배치될 수 있다.Referring to FIG. 6A, a
상기 상부 단자들(140) 및 상기 칩 접속 단자들(145) 사이에 연결 부재들(155)이 개재될 수 있다. 이로써, 상기 연결 부재들(155)을 통해 상기 상부 단자들(140)과 상기 칩 접속 단자들(145)이 연결될 수 있으며, 나아가 상기 패키지 기판(100)과 상기 반도체 칩(110)이 전기적으로 연결될 수 있다. 일 예로, 상기 연결 부재들(155)은 솔더볼들일 수 있다. 상기 반도체 칩(110)과 상기 패키지 기판(100) 사이는 언더필수지막(120)으로 채워질 수 있다.The
도 7b를 참조하면, 상기 반도체 칩(110)이 실장된 상기 패키지 기판(100)이 하부 몰드(200) 상에 제공될 수 있다. 패키지 필름(PF)이 상부 몰드(210) 아래에 제공될 수 있다. 구체적으로, 상기 상부 몰드(210)에는 진공(VC)이 가해질 수 있으며, 상기 진공(VC)에 의해 상기 패키지 필름(PF)은 상기 상부 몰드(210)의 내측벽을 감쌀 수 있다.Referring to FIG. 7B, the
도 7c를 참조하면, 상기 상부 몰드(210)와 상기 하부 몰드(200)가 결합되고, 상기 패키지 기판(100)을 덮으면서 상기 반도체 칩(110)을 몰딩하는 몰딩막(130)이 형성될 수 있다. 상기 몰딩막(130)은 제6 두께(T6)를 갖도록 형성될 수 있다. 상기 제6 두께(T6)는 상기 몰딩막(130)의 상면으로부터 상기 반도체 칩(110)의 상면까지의 거리일 수 있다. 상기 제6 두께(T6)는 1μm 내지 40μm일 수 있다. 즉, 본 실시예에 따른 반도체 패키지는 와이어들(150)을 포함하지 않으므로, 상기 제6 두께(T6)는 도 6c를 참조하여 설명한 제5 두께(T5)에 비해 더 작을 수 있다.The
도 7d를 참조하면, 상기 패키지 기판(100)으로부터 상기 상부 몰드(210) 및 상기 하부 몰드(200)가 분리될 수 있다. 상기 상부 몰드(210)가 분리됨과 동시에, 베이스 필름(BF)이 상기 몰딩막(130)으로부터 분리될 수 있다(도 3b 또는 도 5b 참조). 이로써, 상기 몰딩막(130) 상에 마킹 필름(MF)이 형성될 수 있다.Referring to FIG. 7D, the
도 7e를 참조하면, 상기 마킹 필름(MF) 상에 레이저(50)를 조사하여 변색 영역들(CP)이 형성될 수 있다. 도시되진 않았지만, 평면적 관점에서, 상기 변색 영역들(CP)은 반도체 패키지의 정보를 표시할 수 있다.
Referring to FIG. 7E, discoloring areas CP may be formed by irradiating a
도 7e는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 패키지의 단면도이다. 본 실시예에서는, 앞서 도 6e를 참조하여 설명한 것과 중복되는 기술적 특징에 대한 상세한 설명은 생략하고, 차이점에 대해 상세히 설명한다. 앞서 본 발명의 개념 및 일 실시예를 설명하기 위한 반도체 패키지와 동일한 구성에 대하여는 동일한 참조번호가 제공될 수 있다.7E is a cross-sectional view of a semiconductor package according to another embodiment of the present invention. In the present embodiment, detailed description of technical features overlapping with those described above with reference to FIG. 6E will be omitted, and differences will be described in detail. The same reference numerals as those of the semiconductor package for describing the concept and the embodiment of the present invention can be provided before.
도 7e를 참조하면, 패키지 기판(100) 상에 반도체 칩(110)이 실장될 수 있다. 상기 패키지 기판(100)을 덮을 덮으며 상기 반도체 칩(110)을 몰딩하는 몰딩막(130)이 배치될 수 있다. 상기 반도체 칩(110)과 상기 패키지 기판(100) 사이는 언더필수지막(120)으로 채워질 수 있다. 상기 패키지 기판(100)과 상기 반도체 칩(110) 사이의 연결 부재들(155)이 이들을 전기적으로 연결할 수 있다. 상기 패키지 기판(100), 상기 반도체 칩(110), 상기 언더필수지막(120) 및 상기 연결 부재들(155)에 대한 구체적인 설명은, 앞서 도 7a에서 설명한 바와 동일할 수 있다.Referring to FIG. 7E, the
상기 몰딩막(130)은 에폭시 몰딩 컴파운드(EMC)로 형성될 수 있다. 상기 몰딩막(130)은 제6 두께(T6)를 가질 수 있다. 구체적으로, 상기 제6 두께(T6)는 상기 몰딩막(130)의 상면으로부터 상기 반도체 칩(110)의 상면까지의 거리일 수 있다. 상기 제6 두께(T6)는 1μm 내지 40μm일 수 있다.The
상기 몰딩막(130) 상에 마킹 필름(MF)이 배치될 수 있다. 상기 마킹 필름(MF)은, 레이저(50)에 의해 형성되며 사용자가 식별가능한 변색 영역들(CP)을 포함할 수 있다.
The marking film MF may be disposed on the
적용예Application example
도 8은 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 패키지를 적용한 전자 장치의 시스템 블록도이다. 8 is a system block diagram of an electronic device to which a semiconductor package according to embodiments of the present invention is applied.
도 8을 참조하면, 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 패키지는 전자 시스템(1100)에 적용될 수 있다. 상기 전자 시스템(1100)은 바디(1110: Body)와, 마이크로 프로세서 유닛(1120: Micro Processor Unit)과, 파워 유닛(1130: Power Unit)과, 기능 유닛(1140: Function Unit)과, 그리고 디스플레이 컨트롤러 유닛(1150: Display Controller Unit)을 포함할 수 있다. 상기 바디(1110)는 내부에 인쇄 회로 기판으로 형성된 세트 보드(Set Board)를 포함할 수 있으며, 마이크로 프로세서 유닛(1120), 파워 유닛(1130), 기능 유닛(1140), 디스플레이 컨트롤러 유닛(1150) 등이 상기 바디(1110)에 실장될 수 있다. Referring to FIG. 8, a semiconductor package according to embodiments of the present invention may be applied to the
파워 유닛(1130)은 외부 배터리(미도시) 등으로부터 일정 전압을 공급 받아 이를 요구되는 전압 레벨로 분기하여 마이크로 프로세서 유닛(1120), 기능 유닛(1140), 디스플레이 컨트롤러 유닛(1150) 등으로 공급한다. The
마이크로 프로세서 유닛(1120)은 파워 유닛(1130)으로부터 전압을 공급받아 기능 유닛(1140)과 디스플레이 유닛(1160)을 제어할 수 있다. 기능 유닛(1140)은 다양한 전자 시스템(1100)의 기능을 수행할 수 있다. 예를 들어, 상기 전자 시스템(1100)이 휴대폰인 경우 기능 유닛(1140)은 다이얼링, 외부 장치(1170: External device)와의 통신으로 디스플레이 유닛(1160)로의 영상 출력, 스피커로의 음성 출력 등과 같은 휴대폰 기능을 수행할 수 있는 여러 구성요소들을 포함할 수 있으며, 카메라가 함께 형성된 경우 카메라 이미지 프로세서(Camera Image Processor)일 수 있다. 예를 들어, 전자 시스템(1100)이 용량 확장을 위해 메모리 카드 등과 연결되는 경우, 기능 유닛(1140)은 메모리 카드 컨트롤러일 수 있다. 기능 유닛(1140)은 유선 혹은 무선의 통신 유닛(1180; Communication Unit)을 통해 외부 장치(1170)와 신호를 주고 받을 수 있다. 예를 들어, 전자 시스템(1100)이 기능 확장을 위해 유에스비(USB, Universal Serial Bus) 등을 필요로 하는 경우 경우 기능 유닛(1140)은 인터페이스(interface) 컨트롤러일 수 있다. 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 패키지는 마이크로 프로세서 유닛(1120)과 기능 유닛(1140) 중 적어도 어느 하나에 쓰일 수 있다.The
도 9는 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 패키지를 포함하는 전자 장치의 예를 보여주는 블록도이다.9 is a block diagram illustrating an example of an electronic device including a semiconductor package according to embodiments of the present invention.
도 9를 참조하면, 전자 시스템(1300)은 제어기(1310), 입출력 장치(1320) 및 기억 장치(1330)를 포함할 수 있다. 상기 제어기(1310), 입출력 장치(1320) 및 기억 장치(1330)는 버스(1350, bus)를 통하여 결합될 수 있다. 상기 버스(1350)는 데이터들이 이동하는 통로라 할 수 있다. 예컨대, 상기 제어기(1310)는 적어도 하나의 마이크로프로세서, 디지털 신호 프로세서, 마이크로컨트롤러, 그리고 이들과 동일한 기능을 수행할 수 있는 논리 소자들 중에서 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. 상기 제어기(1310) 및 기억 장치(1330)는 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 패키지를 포함할 수 있다. 상기 입출력 장치(1320)는 키패드, 키보드 및 표시 장치(display device) 등에서 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 기억 장치(1330)는 데이터를 저장하는 장치이다. 상기 기억 장치(1330)는 데이터 및/또는 상기 제어기(1310)에 의해 실행되는 명령어 등을 저장할 수 있다. 상기 기억 장치(1330)는 휘발성 기억 소자 및/또는 비휘발성 기억 소자를 포함할 수 있다. 또는, 상기 기억 장치(1330)는 플래시 메모리로 형성될 수 있다. 예를 들면, 모바일 기기나 데스크 톱 컴퓨터와 같은 정보 처리 시스템에 본 발명의 기술이 적용된 플래시 메모리가 장착될 수 있다. 이러한 플래시 메모리는 반도체 디스크 장치(SSD)로 구성될 수 있다. 이 경우 전자 시스템(1300)은 대용량의 데이터를 상기 플래시 메모리 시스템에 안정적으로 저장할 수 있다. 상기 전자 시스템(1300)은 통신 네트워크로 데이터를 전송하거나 통신 네트워크로부터 데이터를 수신하기 위한 인터페이스(1340)를 더 포함할 수 있다. 상기 인터페이스(1340)는 유무선 형태일 수 있다. 예컨대, 상기 인터페이스(1340)는 안테나 또는 유무선 트랜시버 등을 포함할 수 있다. 그리고, 도시되지 않았지만, 상기 전자 시스템(1300)에는 응용 칩셋(Application Chipset), 그리고 카메라 이미지 프로세서(Camera Image Processor:CIP) 등이 더 제공될 수 있음은 이 분야의 통상적인 지식을 습득한 자들에게 자명하다.9, the electronic system 1300 may include a controller 1310, an input / output device 1320, and a storage device 1330. The controller 1310, the input / output device 1320, and the storage device 1330 may be coupled through a bus 1350. [ The bus 1350 may be a path through which data flows. For example, the controller 1310 may include at least one of at least one microprocessor, a digital signal processor, a microcontroller, and logic elements capable of performing the same functions. The controller 1310 and the storage device 1330 may include a semiconductor package according to embodiments of the present invention. The input / output device 1320 may include at least one selected from a keypad, a keyboard, and a display device. The storage device 1330 is a device for storing data. The storage device 1330 may store data and / or instructions that may be executed by the controller 1310. The storage device 1330 may include a volatile storage element and / or a non-volatile storage element. Alternatively, the storage device 1330 may be formed of a flash memory. For example, a flash memory to which the technique of the present invention is applied can be mounted on an information processing system such as a mobile device or a desktop computer. Such a flash memory may consist of a semiconductor disk device (SSD). In this case, the electronic system 1300 can stably store a large amount of data in the flash memory system. The electronic system 1300 may further include an interface 1340 for transferring data to or receiving data from the communication network. The interface 1340 may be in wired or wireless form. For example, the interface 1340 may include an antenna or a wired or wireless transceiver. Although not shown, the electronic system 1300 may be provided with an application chipset, a camera image processor (CIP), and the like, as well as those skilled in the art. It is obvious.
Claims (10)
상기 패키지 기판을 덮는 몰딩막; 및
상기 몰딩막 상에 배치된 마킹 필름을 포함하되,
상기 마킹 필름은 전자기파에 반응하는 변색층을 포함하는 반도체 패키지.
A package substrate on which a semiconductor chip is mounted;
A molding film covering the package substrate; And
And a marking film disposed on the molding film,
Wherein the marking film comprises a discoloration layer responsive to electromagnetic waves.
상기 전자기파는 레이저, 자외선 또는 이들의 조합을 포함하고,
상기 변색층은, 상기 전자기파에 반응하는 감온성 물질(thermochromic material) 또는 감광성 물질(photochromic material)을 포함하는 반도체 패키지.
The method according to claim 1,
The electromagnetic wave includes a laser, ultraviolet light or a combination thereof,
Wherein the color change layer includes a thermochromic material or a photochromic material that reacts with the electromagnetic wave.
상기 변색층은, 상기 전자기파를 반사하는 반사재들(reflectors)을 더 포함하되,
상기 감온성 물질 또는 상기 감광성 물질은 결정립들(crystal gains)을 포함하는 결정 구조를 가지며,
상기 반사재들은 상기 결정립들 사이의 공간에 분산된 반도체 패키지.
3. The method of claim 2,
Wherein the color change layer further includes reflectors for reflecting the electromagnetic wave,
Wherein the thermosensitive material or the photosensitive material has a crystal structure including crystal gains,
Wherein the reflective members are dispersed in a space between the crystal grains.
상기 감온성 물질 또는 상기 감광성 물질은 류코 염료(leuco dye)를 포함하는 반도체 패키지.
3. The method of claim 2,
Wherein the thermosensitive material or the photosensitive material comprises a leuco dye.
상기 마킹 필름은 상기 변색층 및 상기 몰딩막 사이에 개재된 반사층을 더 포함하되,
상기 반사층은 상기 전자기파를 반사하는 반사재들(reflectors)을 포함하는 반도체 패키지.
The method according to claim 1,
Wherein the marking film further comprises a reflective layer interposed between the discoloration layer and the molding film,
Wherein the reflective layer comprises reflectors that reflect the electromagnetic waves.
상기 반도체 칩과 상기 패키지 기판을 전기적으로 연결하는 와이어들을 더 포함하되,
상기 몰딩막은 상기 반도체 칩 및 상기 와이어들을 덮고,
상기 몰딩막의 상면과 상기 반도체 칩의 상면 사이의 거리는 50μm 내지 150μm인 반도체 패키지.
The method according to claim 1,
Further comprising wires electrically connecting the semiconductor chip and the package substrate,
Wherein the molding film covers the semiconductor chip and the wires,
Wherein a distance between an upper surface of the molding film and an upper surface of the semiconductor chip is 50 占 퐉 to 150 占 퐉.
상기 반도체 칩과 상기 패키지 기판 사이에 개재되어, 상기 반도체 칩과 상기 패키지 기판을 전기적으로 연결하는 연결 부재들을 더 포함하되,
상기 몰딩막은 상기 반도체 칩을 덮고,
상기 몰딩막의 상면과 상기 반도체 칩의 상면 사이의 거리는 1μm 내지 40μm인 반도체 패키지.
The method according to claim 1,
Further comprising connecting members interposed between the semiconductor chip and the package substrate to electrically connect the semiconductor chip and the package substrate,
Wherein the molding film covers the semiconductor chip,
Wherein a distance between an upper surface of the molding film and an upper surface of the semiconductor chip is 1 to 40 占 퐉.
상기 반도체 칩을 몰딩하는 몰딩막을 형성하는 것; 및
상기 몰딩막 상에, 전자기파에 반응하는 변색층을 포함하는 마킹 필름을 형성하는 것을 포함하는 반도체 패키지의 제조 방법.
Providing a package substrate on which a semiconductor chip is mounted;
Forming a molding film for molding the semiconductor chip; And
And forming a marking film on the molding film, the marking film including a color change layer responsive to electromagnetic waves.
상기 몰딩막을 형성하는 것은:
상기 패키지 기판을 하부 몰드 상에 제공하는 것; 및
상부 몰드와 상기 하부 몰드 사이에 몰딩 수지를 제공하는 것을 포함하는 반도체 패키지의 제조 방법.
9. The method of claim 8,
The molding film is formed by:
Providing the package substrate on a lower mold; And
And providing a molding resin between the upper mold and the lower mold.
상기 마킹 필름을 형성하는 것은:
상기 마킹 필름 및 베이스 필름이 순차적으로 적층된 패키지 필름을 상기 상부 몰드 아래에 제공하는 것; 및
상기 몰딩막 형성 후, 상기 상부 몰드를 상기 몰딩막으로부터 분리하면서 상기 베이스 필름도 함께 분리하는 것을 포함하되,
상기 마킹 필름은 상기 몰딩막 상에 남는 반도체 패키지의 제조 방법.10. The method of claim 9,
The marking film is formed by:
Providing a package film in which the marking film and the base film are sequentially stacked under the upper mold; And
Separating the upper mold from the molding film and separating the base film together after forming the molding film,
Wherein the marking film remains on the molding film.
Priority Applications (5)
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---|---|---|---|
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US14/739,060 US9418943B2 (en) | 2014-09-17 | 2015-06-15 | Semiconductor package and method of manufacturing the same |
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